光刻机高分辨率显微镜模组的制作方法

本发明涉及光刻机，尤其涉及光刻机高分辨率显微镜模组。

背景技术：

1、光刻机，又名：掩模对准曝光机，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，是把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上的设备。

2、其中，光刻机的掩膜是制造芯片中非常重要的组成部分，它类似于一个透明或半透明的模板，上面印刻有制造芯片的设计图案，掩膜的制造和使用是芯片制造过程中的关键，在掩膜制造和检验的过程中，均需要通过光学显微镜等工具对掩膜进行检验，确保掩膜的芯片图案符合设计要求，总之利用光学显微镜对掩膜进行观察检验，其最终成果是直接影响到芯片结构精度和质量的。

3、总是，光学显微镜在光刻机中可以用于掩膜和芯片的微观形貌观测，可以帮助操作者精确地观察到掩膜和芯片表面的图形和线路，从而指导其进行光刻制程的调整和微调，而一般光学显微镜由于其构造，仍然在使用led光源作为光源来源，此光源波长λ值较长，无法对掩膜表面进行高精度照射，且由于一般显微镜在使用过程中，杂散光较大，使得无法获得高分辨率的影像构成。

4、总体来说，一般的光学显微镜在使用中，由于在照明系统上的缺陷，并不利于对掩膜和芯片表面的图形和线路进行观察。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的光刻机高分辨率显微镜模组。

2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

3、光刻机高分辨率显微镜模组，包括主体，所述主体的上端通过固定座安装有观察目镜组，观察目镜组与物镜组连接，物镜组通过转座转动安装在主体一端，且位于物镜组的下方设有置物平台，置物平台的下方设有照明机构。

4、此外，优选的结构是，所述主体下部一侧转动安装有调节轮，位于调节轮的一侧安装有控制模块，且位于主体的下端安装有底座，底座的下方转动安装有检修板，检修板与主体的内部连通。

5、此外，优选的结构是，所述主体的一端通过转座转动安装有物镜组，且物镜组的下方安装有置物平台，置物平台的一侧通过调节盘限位移动在主体上，同时位于主体的内壁设置安装有辅助照灯，其中辅助照灯的照明方向正对置物平台中部。

6、此外，优选的结构是，所述照明机构包括安装壳、照明灯、安装座、散热铝板、疝气灯模组、冷光镜板、第一聚光模组、高纯水折射模组、第二聚光模组，其中安装壳的一端安装在主体的底壁上，且位于安装壳的另一端安装有照明灯，照明灯的外侧围设有挡板，挡板固定安装在安装壳的上端。

7、此外，优选的结构是，所述安装座的一端固定安装在主体的底壁上，且位于安装座上固定安装有散热铝板，散热铝板上设有疝气灯模组，疝气灯模组的上端盖设安装有冷光镜板，且冷光镜板的上端安装有第一聚光模组，第一聚光模组上通过固定座安装有高纯水折射模组，高纯水折射模组上通过固定架安装有第二聚光模组，第二聚光模组的一端伸出安装壳的顶部连接安装有照明灯。

8、此外，优选的结构是，所述疝气灯模组包括石英管导线、疝气透管、ptc发热模块，其中疝气灯模组通过安装座固定安装散热铝板的上端，且位于安装座的中部水平安装有多个疝气透管，每个疝气透管的一端均通过石英管导线与电源模组连接，且位于安装座的内壁上设有多个ptc发热模块，每个ptc发热模块均串联连接。

9、此外，优选的结构是，所述第一聚光模组、第二聚光模组的中部均水平安装有多个折射透镜，每个折射透镜均对应水平安装。

10、此外，优选的结构是，所述第一聚光模组的上端安装有高纯水折射模组，其中高纯水折射模组包括高纯水安装座和高纯水，其中高纯水安装座内填充有高纯水，且位于高纯水安装座的顶部和底部均设有透光镜片。

11、此外，优选的结构是，所述安装壳的内壁设有基层机构，基层结构上设有凹凸板，凹凸板上涂设有消光涂层。

12、此外，优选的结构是，所述主体的一端安装有控制模块，其中控制模块与疝气灯模组中的每个ptc发热模块连接。

13、本发明的有益效果为：

14、本发明中，通过在显微镜内设置有疝气灯模组，使得能拥有比传统led灯源更短的照射光源的波长，且通过可控温度的ptc发热模块，使得通过改变温度以加强疝气灯的照射强度和更短的波长；

15、进一步的，本发明通过可抑制杂散光的安装壳，大大较少了杂散光的产生，以增加显微镜的可视分辨率，保证了显微镜观察的清晰度，同时也提高了对掩膜和芯片的检测效率。

技术特征：

1.光刻机高分辨率显微镜模组，包括主体（1），所述主体（1）的上端通过固定座（3）安装有观察目镜组（301），其特征在于，所述观察目镜组（301）与物镜组（4）连接，所述物镜组（4）通过转座转动安装在主体（1）一端，且位于物镜组（4）的下方设有置物平台（5），置物平台（5）的下方设有照明机构。

2.根据权利要求1所述的光刻机高分辨率显微镜模组，其特征在于，所述主体（1）下部一侧转动安装有调节轮（8），位于调节轮（8）的一侧安装有控制模块（101），且位于主体（1）的下端安装有底座（2），底座（2）的下方转动安装有检修板（10），检修板（10）与主体（1）的内部连通。

3.根据权利要求1所述的光刻机高分辨率显微镜模组，其特征在于，所述主体（1）的一端通过转座转动安装有物镜组（4），且物镜组（4）的下方安装有置物平台（5），置物平台（5）的一侧通过调节盘（501）限位移动在主体（1）上，同时位于主体（1）的内壁设置安装有辅助照灯（9），其中辅助照灯（9）的照明方向正对置物平台（5）中部。

4.根据权利要求1所述的光刻机高分辨率显微镜模组，其特征在于，所述照明机构包括安装壳（6）、照明灯（7）、安装座（11）、散热铝板（12）、疝气灯模组（13）、冷光镜板（14）、第一聚光模组（15）、高纯水折射模组（16）、第二聚光模组（17），其中安装壳（6）的一端安装在主体（1）的底壁上，且位于安装壳（6）的另一端安装有照明灯（7），照明灯（7）的外侧围设有挡板（18），挡板（18）固定安装在安装壳（6）的上端。

5.根据权利要求4所述的光刻机高分辨率显微镜模组，其特征在于，所述安装座（11）的一端固定安装在主体（1）的底壁上，且位于安装座（11）上固定安装有散热铝板（12），散热铝板（12）上设有疝气灯模组（13），疝气灯模组（13）的上端盖设安装有冷光镜板（14），且冷光镜板（14）的上端安装有第一聚光模组（15），第一聚光模组（15）上通过固定座安装有高纯水折射模组（16），高纯水折射模组（16）上通过固定架安装有第二聚光模组（17），第二聚光模组（17）的一端伸出安装壳（6）的顶部连接安装有照明灯（7）。

6.根据权利要求5所述的光刻机高分辨率显微镜模组，其特征在于，所述疝气灯模组（13）包括石英管导线（1301）、疝气透管（1302）、ptc发热模块（1303），其中疝气灯模组（13）通过安装座固定安装散热铝板（12）的上端，且位于安装座的中部水平安装有多个疝气透管（1302），每个疝气透管（1302）的一端均通过石英管导线（1301）与电源模组连接，且位于安装座的内壁上设有多个ptc发热模块（1303），每个ptc发热模块（1303）均串联连接。

7.根据权利要求5所述的光刻机高分辨率显微镜模组，其特征在于，所述第一聚光模组（15）、第二聚光模组（17）的中部均水平安装有多个折射透镜，每个折射透镜均对应水平安装。

8.根据权利要求5所述的光刻机高分辨率显微镜模组，其特征在于，所述第一聚光模组（15）的上端安装有高纯水折射模组（16），其中高纯水折射模组（16）包括高纯水安装座和高纯水，其中高纯水安装座内填充有高纯水，且位于高纯水安装座的顶部和底部均设有透光镜片。

9.根据权利要求4所述的光刻机高分辨率显微镜模组，其特征在于，所述安装壳（6）的内壁设有基层机构（601），基层结构（601）上设有凹凸板（602），凹凸板（602）上涂设有消光涂层（603）。

10.根据权利要求2所述的光刻机高分辨率显微镜模组，其特征在于，所述主体（1）的一端安装有控制模块（101），其中控制模块（101）与疝气灯模组（13）中的每个ptc发热模块（1303）连接。

技术总结
本发明涉及光刻机领域，尤其涉及光刻机高分辨率显微镜模组，包括主体，主体的上端通过固定座安装有观察目镜组，观察目镜组与物镜组连接，物镜组通过转座转动安装在主体一端，且位于物镜组的下方设有置物平台，置物平台的下方设有照明机构。本发明中，通过在显微镜内设置有疝气灯模组，使得能拥有比传统LED灯源更短的照射光源的波长，且通过可控温度的PTC发热模块，使得通过改变温度以加强疝气灯的照射强度和更短的波长，且通过可抑制杂散光的安装壳，大大较少了杂散光的产生，以增加显微镜的可视分辨率，保证了显微镜观察的清晰度，提高了对掩膜和芯片的检测效率。

技术研发人员：靳亚超,吴瑞笑,林世超,傅舰艇,尹韶云
受保护的技术使用者：浙江中特微电子有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/9/23