一种真空环境下的工件移送机构的制作方法

[]本技术涉及像增强器制管设备，尤其涉及一种真空环境下的工件移送机构。

背景技术：

0、[背景技术]

1、微光夜视设备的核心是像增强器。像增强器是能够把亮度很低的光学图像变为足够亮度的像的真空光电管。

2、像增强器的加工及组装需要在超高真空及高温加热的环境内进行。像增强器的组装过程中需要将光电阴极和光电阳极在超高真空及高温加热的环境下进行输送到组装部位。

3、传统的像增强器的生产是通过生产人员手动来控制操纵杆对超高真空及高温腔体中的工件进行操作，实现工件的移送和处理，不仅效率底下，成品率不高，而且对生产人员有着极高的要求，生产成本居高不下。

技术实现思路

0、[
技术实现要素：
]

1、本实用新型要解决的技术问题是提供一种自动化程度高的真空环境下的工件移送机构。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是，一种真空环境下的工件移送机构，包括真空腔体、移料机构和物料托板，真空腔体包括输送管道，输送管道的轴线沿x轴方向布置；移料机构包括安装架、z轴往复运动机构、x轴往复运动机构和移料架，移料机构布置在输送管道的内腔中，移料架由z轴往复运动机构和x轴往复运动机构驱动；移料架的下端包括沿y轴方向向前方凸出的n个物料提升板，n个物料提升板沿x轴方向分开布置，相邻物料提升板之间的间距等于移料节距，n为大于2的整数；物料托板沿y轴方向的前部固定在输送管道的内壁上，物料托板布置在输送管道内腔的下部；物料托板包括n+1个托料槽孔，n+1个托料槽孔沿x轴方向分开布置，相邻托料槽孔之间的间距等于移料节距；托料槽孔沿y轴方向的后端开口，托料槽孔沿x轴方向的宽度大于物料提升板沿x轴方向的宽度。

3、以上所述的工件移送机构，移料机构包括两套自动控制电机驱动装置，移料架横向的截面为ч形，包括两块立板和横板，第一立板的下端通过横板与第二立板的中部相连，n个物料提升板固定在第二立板的下端；x轴往复运动机构包括齿轮齿条副，齿轮齿条副的齿轮与第一自动控制电机驱动装置连接；齿轮齿条副的齿条布置在第一立板或第二立板的内侧，齿条的长轴沿x轴方向布置；安装架为u形槽结构，包括底板和两块侧板，安装架u形槽的开口朝下，安装架u形槽的底板固定在输送管道顶部的内壁上；安装架的长轴沿x轴方向布置，移料架的上部插入到安装架的u形槽中，与安装架u形槽的侧板滑动配合；z轴往复运动机构包括复数套摆动提升装置和联动杆，复数套摆动提升装置沿x轴方向分开布置；摆动提升装置包括摆动轴和两个摆臂，摆动轴沿y轴方向穿过安装架两块侧板，位于移料架的上方，摆动轴由安装架两块侧板上的承孔支承；两个摆臂分开布置在安装架两块侧板的外侧，摆臂的上端固定在摆动轴上；移料架立板上部的外侧包括滑动槽，滑动槽沿x轴方向布置；摆臂下端的内侧包括驱动销，安装架两块侧板包括与摆臂对应的驱动销的避让孔，摆臂下端的驱动销穿过所述的避让孔，插入到移料架立板对应的滑动槽中；联动杆与所有摆动提升装置同一侧摆臂的下端铰接，复数个摆动提升装置中包括一个主动摆动提升装置，主动摆动提升装置的摆动轴与第二自动控制电机驱动装置连接。

4、以上所述的工件移送机构，自动控制电机驱动装置包括编码器电机、减速器和磁流体转轴，编码器电机通过减速器与磁流体转轴的输入轴连接；真空腔体包括两个驱动装置接口，驱动装置接口包括接盘；第一驱动装置接口竖直地布置在输送管道的上方，第一自动控制电机驱动装置磁流体转轴的接盘与第一驱动装置接口的接盘连接，第一自动控制电机驱动装置磁流体转轴的输出轴与齿轮齿条副的齿轮连接；第二驱动装置接口沿y轴方向横向布置在输送管道的后方，第二自动控制电机驱动装置磁流体转轴的接盘与第二驱动装置接口的接盘连接，第二自动控制电机驱动装置磁流体转轴的输出轴与主动摆动提升装置的摆动轴连接。

5、以上所述的工件移送机构，输送管道的两端各包括与真空控制闸阀连接的接盘，物料托板的两端分别沿x轴方向伸到真空控制闸阀连接接盘的外面。

6、以上所述的工件移送机构，包括多个载具，载具包括容纳工件的内腔，载具的下部包括柱体，上部包括环形的突缘；物料提升板的顶面上包括载具定位凹槽，载具定位凹槽的直径等于载具下部柱体的直径；物料托板托料槽孔沿x轴方向的宽度小于载具上部突缘的直径。

7、以上所述的工件移送机构，物料提升板载具定位凹槽的中心与物料托板托料槽孔底边沿y轴方向的距离小于载具上部突缘的半径。

8、以上所述的工件移送机构，真空腔体包括检测视窗，检测视窗包括竖直视窗和复数个斜向视窗，复数个斜向视窗分别布置在输送管道的前上方和后上方，朝向物料托板的后部，复数个斜向视窗沿x轴方向错开。

9、以上所述的工件移送机构，包括复数个设备连接接口和复数个仪器安装接口，所述的设备连接接口包括真空泵连接接口。

10、以上所述的工件移送机构，所述的设备连接接口包括等离子体清洗设备连接接口、电子束清洗设备连接接口、烘烤除气设备连接接口、铯氧镀膜设备连接接口和加热设备连接接口中的至少一种。

11、以上所述的工件移送机构，所述的仪器安装接口包括热电偶传感器安装接口、大气压至超真空计安装接口、气体分析仪安装接口、图像传感器安装接口和电源安装接口中的至少一种。

12、本实用新型真空环境下的工件移送机构自动化程度高，可以提高成品率，降低生产成本。

技术特征：

1.一种真空环境下的工件移送机构，包括真空腔体，其特征在于，包括移料机构和物料托板，真空腔体包括输送管道，输送管道的轴线沿x轴方向布置；移料机构包括安装架、z轴往复运动机构、x轴往复运动机构和移料架，移料机构布置在输送管道的内腔中，移料架由z轴往复运动机构和x轴往复运动机构驱动；移料架的下端包括沿y轴方向向前方凸出的n个物料提升板，n个物料提升板沿x轴方向分开布置，相邻物料提升板之间的间距等于移料节距，n为大于2的整数；物料托板沿y轴方向的前部固定在输送管道的内壁上，物料托板布置在输送管道内腔的下部；物料托板包括n+1个托料槽孔，n+1个托料槽孔沿x轴方向分开布置，相邻托料槽孔之间的间距等于移料节距；托料槽孔沿y轴方向的后端开口，托料槽孔沿x轴方向的宽度大于物料提升板沿x轴方向的宽度。

2.根据权利要求1所述的工件移送机构，其特征在于，移料机构包括两套自动控制电机驱动装置，移料架横向的截面为ч形，包括两块立板和横板，第一立板的下端通过横板与第二立板的中部相连，n个物料提升板固定在第二立板的下端；x轴往复运动机构包括齿轮齿条副，齿轮齿条副的齿轮与第一自动控制电机驱动装置连接；齿轮齿条副的齿条布置在第一立板或第二立板的内侧，齿条的长轴沿x轴方向布置；安装架为u形槽结构，包括底板和两块侧板，安装架u形槽的开口朝下，安装架u形槽的底板固定在输送管道顶部的内壁上；安装架的长轴沿x轴方向布置，移料架的上部插入到安装架的u形槽中，与安装架u形槽的侧板滑动配合；z轴往复运动机构包括复数套摆动提升装置和联动杆，复数套摆动提升装置沿x轴方向分开布置；摆动提升装置包括摆动轴和两个摆臂，摆动轴沿y轴方向穿过安装架两块侧板，位于移料架的上方，摆动轴由安装架两块侧板上的承孔支承；两个摆臂分开布置在安装架两块侧板的外侧，摆臂的上端固定在摆动轴上；移料架立板上部的外侧包括滑动槽，滑动槽沿x轴方向布置；摆臂下端的内侧包括驱动销，安装架两块侧板包括与摆臂对应的驱动销的避让孔，摆臂下端的驱动销穿过所述的避让孔，插入到移料架立板对应的滑动槽中；联动杆与所有摆动提升装置同一侧摆臂的下端铰接，复数个摆动提升装置中包括一个主动摆动提升装置，主动摆动提升装置的摆动轴与第二自动控制电机驱动装置连接。

3.根据权利要求2所述的工件移送机构，其特征在于，自动控制电机驱动装置包括编码器电机、减速器和磁流体转轴，编码器电机通过减速器与磁流体转轴的输入轴连接；真空腔体包括两个驱动装置接口，驱动装置接口包括接盘；第一驱动装置接口竖直地布置在输送管道的上方，第一自动控制电机驱动装置磁流体转轴的接盘与第一驱动装置接口的接盘连接，第一自动控制电机驱动装置磁流体转轴的输出轴与齿轮齿条副的齿轮连接；第二驱动装置接口沿y轴方向横向布置在输送管道的后方，第二自动控制电机驱动装置磁流体转轴的接盘与第二驱动装置接口的接盘连接，第二自动控制电机驱动装置磁流体转轴的输出轴与主动摆动提升装置的摆动轴连接。

4.根据权利要求1所述的工件移送机构，其特征在于，输送管道的两端各包括与真空控制闸阀连接的接盘，物料托板的两端分别沿x轴方向伸到真空控制闸阀连接接盘的外面。

5.根据权利要求1所述的工件移送机构，其特征在于，包括多个载具，载具包括容纳工件的内腔，载具的下部包括柱体，上部包括环形的突缘；物料提升板的顶面上包括载具定位凹槽，载具定位凹槽的直径等于载具下部柱体的直径；物料托板托料槽孔沿x轴方向的宽度小于载具上部突缘的直径。

6.根据权利要求5所述的工件移送机构，其特征在于，物料提升板载具定位凹槽的中心与物料托板托料槽孔底边沿y轴方向的距离小于载具上部突缘的半径。

7.根据权利要求1所述的工件移送机构，其特征在于，真空腔体包括检测视窗，检测视窗包括竖直视窗和复数个斜向视窗，复数个斜向视窗分别布置在输送管道的前上方和后上方，朝向物料托板的后部，复数个斜向视窗沿x轴方向错开。

8.根据权利要求1所述的工件移送机构，其特征在于，真空腔体包括复数个设备连接接口和复数个仪器安装接口，所述的设备连接接口包括真空泵连接接口。

9.根据权利要求8所述的工件移送机构，其特征在于，所述的设备连接接口包括等离子体清洗设备连接接口、电子束清洗设备连接接口、烘烤除气设备连接接口、铯氧镀膜设备连接接口和加热设备连接接口中的至少一种。

10.根据权利要求8所述的工件移送机构，其特征在于，所述的仪器安装接口包括热电偶传感器安装接口、大气压至超真空计安装接口、气体分析仪安装接口、图像传感器安装接口和电源安装接口中的至少一种。

技术总结
本技术公开了一种真空环境下的工件移送机构，包括输送管道、移料机构和物料托板，移料机构包括安装架和由Z轴往复运动机构、X轴往复运动机构驱动的移料架，移料机构布置在输送管道的内腔中；移料架的下端包括向前方凸出的N个物料提升板，N个物料提升板沿X轴方向分开布置，相邻物料提升板之间的间距等于移料节距；物料托板的前部固定在输送管道的内壁上，物料托板布置在输送管道内腔的下部；物料托板包括N+1个托料槽孔，N+1个托料槽孔沿X轴方向分开布置，相邻托料槽孔之间的间距等于移料节距；托料槽孔的后端开口，托料槽孔的宽度大于物料提升板的宽度。本技术的工件移送机构自动化程度高，可以提高成品率，降低生产成本。

技术研发人员：黄德和,林强,吴传军,吴苏黎
受保护的技术使用者：万维智安科技（深圳）有限公司
技术研发日：20240320
技术公布日：2024/9/23