本发明涉及硅片制造领域,尤其是涉及一种pcb板喷淋退膜装置。
背景技术:
1、当前社会,太阳能硅片已经应用到我们生活的方方面面,例如将多个太阳能硅片组合在一起,搭建成太阳能电池板后再按照一定电路连接方式组成具有一定电压和功率的太阳能电池模块,该模块可以将光能直接转化为电能,广泛用于户外太阳能灯具、家用太阳能电力系统以及太阳能发电站的供电设备中。
2、在太阳能硅片制造过程中,通过曝光制版、显影后,将硅片要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果,其中去除保护膜这一步骤通常使用喷淋装置对硅片进行药液的喷淋,从而与保护膜发生化学反应除去保护膜。
3、针对上述中的相关技术,在使用喷淋装置对硅片进行喷淋时,若喷淋压力过低,则难以满足生产需求,若喷淋压力过高,会使得硅片产生振动,导致硅片产生碰撞从而破损。
技术实现思路
1、为了在提高喷淋压力的同时减少对硅片的冲击,本技术提供一种pcb板喷淋退膜装置。
2、本技术提供的一种pcb板喷淋退膜装置采用如下的技术方案:
3、一种pcb板喷淋退膜装置,包括安装架、一对喷淋架和若干组滚轮;两所述喷淋架设置为上喷淋架和下喷淋架,所述上喷淋架和所述下喷淋架均安装于所述安装架上,所述安装架上转动式安装有若干对第一转轴,各所述第一转轴均沿z轴方向分布设置,若干对所述第一转轴沿x轴方向排列设置且位于所述上喷淋架与所述下喷淋架之间,同一对的两所述第一转轴沿y轴排列且错位设置;
4、每组所述滚轮包括上滚轮和下滚轮,各组所述上滚轮与各组所述下滚轮分别套设于同一对的两所述第一转轴,所述上滚轮与所述下滚轮之间形成用于供硅片进行移动的移动腔;
5、所述上喷淋架和所述上喷淋架均安装有若干排喷嘴,各排喷嘴均沿x轴方向排列设置,同一排的各所述喷嘴沿z轴方向排列设置,所述上喷淋架的各排所述喷嘴位于安装有各组所述下滚轮的所述第一转轴正上方,所述下喷淋架的各排所述喷嘴位于安装有所述下滚轮的各所述第一转轴正下方。
6、通过采用上述技术方案,将硅片放置在上滚轮和下滚轮之间,启动第一转轴开始对硅片进行传输,同时启动喷淋架开始对硅片进行喷淋,喷嘴喷出的水流对硅片进行冲刷,而在硅片另一侧且正对该处喷嘴的滚轮对硅片进行支撑;通过滚轮的设置,能够对硅片进行支撑,降低水压冲击硅片产生振动从而损坏硅片的情况,从而使得工人能够提高水流压强对硅片进行冲刷,满足生产需求;再者,使用上下间隔喷淋的设计,对硅片上下两侧进行充分的冲刷,进一步清除硅片的表面镀膜;另外多组喷嘴在传输过程中维持对硅片的喷淋从而充分清除保护膜。
7、优选的,所述安装架上转动式安装有若干对第二转轴,一对所述第二转轴与一所述第一转轴上下对应,各对所述第二转轴均位于对应的所述第一转轴与正对该所述第一转轴的所述喷嘴之间,同一对的两所述第二转轴均沿x轴方向排列设置且位于对应的所述喷嘴在x轴方向上的两侧;各所述第二转轴上均套设有夹持轮,同一对的所述第二转轴上的所述夹持轮用于与所述滚轮配合对所述硅片形成夹持。
8、通过采用上述技术方案,夹持轮与滚轮相互配合,将硅片稳定夹持在第一转轴和第二转轴之间,同时将两个第二转轴设置在喷嘴的两侧,两个第二转轴上的夹持轮减少硅片在水流冲击下偏向两侧的风险,通过多组夹持轮和滚轮配合,使得硅片在传输过程中一直保持稳定。
9、优选的,位于所述移动腔下方且在所述第一转轴沿x轴方向两侧的两所述第二转轴上套设有若干限位轮,所述限位轮的轮径大于所述滚轮的轮径,所述移动腔位于相邻两所述限位轮之间。
10、通过采用上述技术方案,按照硅片的尺寸设定相邻两个限位轮之间的间距后,将硅片放置在移动腔内,随着第一转轴的转动将硅片在安装架内进行传输,多对相邻的限位轮对硅片进行限位,使得硅片一直往直线方向移动,从而减少相邻硅片在移动过程中产生偏移相互碰撞从而破片的风险。
11、优选的,各所述限位轮在靠近另一限位轮的一侧外径处沿周向设置有导向面,当所述硅片抵接于所述导向面时,在所述导向面作用下向远离所述导向面方向移动。
12、通过采用上述技术方案,在硅片产生偏移时,硅片会在滚轮推动下移动至限位轮上,此时硅片在导向面上受到自身重力在导向面上的分力从而重新滑移至移动腔内,使得偏移后的硅片能重新回复至直线传输,减少硅片偏移的情况。
13、优选的,两所述喷淋架均沿z轴方向滑移式安装于所述安装架,所述安装架上安装有用于驱使所述喷淋架沿z轴方向往复移动的第一驱动组件。
14、通过采用上述技术方案,若喷嘴相对于滚轮固定,当喷嘴产生堵塞时,喷淋覆盖存在盲区,对硅片的冲刷不充分;当使用第一驱动组件驱使喷淋架在安装架内移动,从而使得喷淋架上的喷嘴随之移动,即使其中的喷嘴存在堵塞,相邻的喷嘴在摇摆后能对盲区进行喷淋,使得喷淋覆盖均匀。
15、优选的,所述第一驱动组件包括驱动轴、一对驱动杆和一对偏心轮,所述驱动轴沿y轴方向延伸设置且转动式安装于所述安装架,两所述偏心轮均套设于所述驱动轴且沿所述驱动轴长度方向排列设置,各所述偏心轮上均套设有偏心套,各所述偏心套上均连接有所述驱动杆,其中一所述驱动杆固定连接于所述上喷淋架,另外一所述驱动杆固定连接于所述下喷淋架;所述驱动组件还包括用于驱使所述驱动轴转动的驱动件,所述驱动件固定安装于所述安装架。
16、通过采用上述技术方案,当驱动件驱使驱动轴转动后,带动偏心轮转动,从而驱使偏心套往复运动,进而带动驱动杆往复移动,将滑移式安装在安装架的上下两个喷淋架进行移动,该驱动方式只需通过驱动轴转动即可带动两个喷淋架进行往复移动,无需使用不同的驱动件驱使两个喷淋架移动,减少驱动件的成本;另外,因为安装架内充满喷淋的液体,驱动组件在安装架内的部分均为纯机械结构,减少水汽对驱动组件的影响。
17、优选的,所述驱动轴上套设有主动锥齿轮,位于所述电路板下方的各所述第一转轴上均套设有从动锥齿轮,所述主动锥齿轮与所述从动锥齿轮相啮合,各所述第一转轴之间通过皮带轮组传动连接。
18、通过采用上述技术方案,使用两个锥齿轮的组合,使得驱动轴能同步驱使第一转轴转动,继而通过皮带轮和皮带带动其他第一转轴在安装架内转动,该驱动方式只需使用一个驱动件驱使驱动轴转动即可实现,减少驱动件的使用成本。
19、优选的,所述皮带轮组包括第一皮带轮、一对第一皮带、第二皮带轮和第二皮带;所述第一转轴和所述第二转轴靠近所述驱动轴的一端均套设有所述第一皮带轮,其中一所述第一皮带绕设于位于移动腔上方的各第一皮带轮,另一所述第一皮带绕设于位于所述移动腔下方的各所述第一皮带轮,其中分别位于所述移动腔上下两侧的两所述第一转轴上分别套设有所述第二皮带轮,所述第二皮带同时绕设于两所述第二皮带轮。
20、通过采用上述技术方案,当驱动件通过锥齿轮组驱使下方的第一转轴转动后,下方的第一皮带与第一皮带轮带动沿x轴方向排列设置的各个第一转轴同步转动,同时通过第二皮带轮和第二皮带的配合带动上方的其中一个第一转轴转动,并通过上方的第一皮带和第一皮带轮带动剩余的第一转轴转动,在皮带轮组的作用下,启动驱动件即可同步驱使各第一转轴转动,使得各处转动速度相等,在开始硅片传输的同时即可实现喷淋架的摇摆喷淋。
21、优选的,所述上喷淋架和所述下喷淋架上均转动式安装有若干第三转轴,若干第三转轴沿z轴方向排列设置,各所述第三转轴沿x轴方向延伸设置,同一组的各所述喷嘴与各所述第三转轴对应,各组的各所述喷嘴均固定安装于对应的所述第三转轴,所述安装架上还安装有用于驱使各所述第三转轴在所述喷淋架上转动的第二驱动组件。
22、通过采用上述技术方案,将喷嘴安装在第三转轴上,使用第二驱动组件驱使第三转轴在各喷淋架内转动,从而带动喷嘴在竖直方向上转动,转动后的喷嘴喷洒范围扩大,同一个喷嘴喷出的水流能覆盖更多面积,减少喷嘴的数量,降低退膜装置的成本;同时摇摆的喷嘴产生的水流对硅片表面进行扫动冲刷,进而将附着在硅片表面的药液扫除,增强药液喷淋的效果。
23、优选的,所述第二驱动组件包括顶杆、若干驱动块和若干连接杆,所述顶杆固定安装于所述安装架且沿z轴方向延伸设置,所述驱动块、所述连接杆与所述第三转轴一一对应,所述驱动块沿z轴方向滑移式安装于所述喷淋架,所述连接杆一端固定连接于所述第三转轴、另一端滑移式安装于所述驱动块,所述顶杆远离固定点的一端穿设入所述喷淋架且固定连接于所述驱动块。
24、通过采用上述技术方案,当驱动轴驱使喷淋架移动后,顶杆相对于喷淋架滑移,从而驱使驱动块在喷淋架上滑移,进而带动连接杆安装于驱动块上的一端滑移,使得连接杆以另一端的端点为支点开始转动,驱使第三转轴在喷淋架上转动,固定在第三转轴上的喷嘴同步转动,对硅片进行摇摆冲刷,该驱动方式利用喷淋架与顶杆的共同作用,在喷淋架移动的同时驱使喷嘴开始摆动,从而减少驱动件的使用。
25、综上所述,本技术包括以下至少一种有益技术效果:
26、1.通过滚轮的设置,第一能够对硅片进行支撑,降低水压冲击硅片产生振动从而损坏硅片的情况,从而使得工人能够提高水流压强对硅片进行冲刷,满足生产需求;再者,使用上下间隔喷淋的设计,对硅片上下两侧进行充分的冲刷,进一步清除硅片的表面镀膜;另外多组喷嘴在传输过程中维持对硅片的喷淋从而充分清除镀膜;
27、2.同一个喷嘴喷出的水流能覆盖更多面积,减少喷嘴的数量,降低退膜装置的成本;同时摇摆的喷嘴产生的水流对硅片表面进行扫动冲刷,进而将附着在硅片表面的药液扫除,增强药液喷淋的效果。
1.一种pcb板喷淋退膜装置,其特征在于,包括安装架(1)、一对喷淋架(2)和若干组滚轮(3);两所述喷淋架(2)设置为上喷淋架(21)和下喷淋架(22),所述上喷淋架(21)和所述下喷淋架(22)均安装于所述安装架(1)上,所述安装架(1)上转动式安装有若干对第一转轴(11),各所述第一转轴(11)均沿z轴方向延伸设置,若干对所述第一转轴(11)沿x轴方向排列设置且位于所述上喷淋架(21)与所述下喷淋架(22)之间,同一对的两所述第一转轴(11)沿y轴排列且错位设置;
2.根据权利要求1所述的一种pcb板喷淋退膜装置,其特征在于,所述安装架(1)上转动式安装有若干对第二转轴(12),一对所述第二转轴(12)与一所述第一转轴(11)上下对应,同一对的两所述第二转轴(12)均沿x轴方向排列设置且位于对应的所述喷嘴(23)在x轴方向上的两侧;各所述第二转轴(12)上均套设有夹持轮(121),同一对的所述第二转轴(12)上的所述夹持轮(121)用于与所述滚轮(3)配合对所述硅片形成夹持。
3.根据权利要求2所述的一种pcb板喷淋退膜装置,其特征在于,位于所述移动腔下方的各所述第二转轴(12)上均套设有若干限位轮(122),所述限位轮(122)的轮径大于所述滚轮(3)的轮径,所述移动腔位于相邻两所述限位轮(122)之间。
4.根据权利要求3所述的一种pcb板喷淋退膜装置,其特征在于,各所述限位轮(122)在靠近另一限位轮(122)的一侧外径处沿周向设置有导向面,当所述硅片抵接于所述导向面时,在所述导向面作用下向远离所述导向面方向移动。
5.根据权利要求2所述的一种pcb板喷淋退膜装置,其特征在于,两所述喷淋架(2)均沿z轴方向滑移式安装于所述安装架(1),所述安装架(1)上安装有用于驱使所述喷淋架(2)沿z轴方向往复移动的第一驱动组件(15)。
6.根据权利要求5所述的一种pcb板喷淋退膜装置,其特征在于,所述第一驱动组件(15)包括驱动轴(151)、一对驱动杆(152)和一对偏心轮(153),所述驱动轴(151)沿z轴方向延伸设置且转动式安装于所述安装架(1),两所述偏心轮(153)均套设于所述驱动轴(151)且沿所述驱动轴(151)长度方向排列设置,各所述偏心轮(153)上均套设有偏心套(154),各所述偏心套(154)上均连接有所述驱动杆(152),其中一所述驱动杆(152)固定连接于所述上喷淋架(21),另外一所述驱动杆(152)固定连接于所述下喷淋架(22);所述驱动组件还包括用于驱使所述驱动轴(151)在所述安装架(1)上转动的驱动件(156),所述驱动件(156)固定安装于所述安装架(1)。
7.根据权利要求6所述的一种pcb板喷淋退膜装置,其特征在于,所述驱动轴(151)上套设有若干个主动锥齿轮(41),位于电路板下方的各所述第一转轴(11)上均套设有从动锥齿轮(42),各所述主动锥齿轮(41)与各所述从动锥齿轮(42)相啮合,各所述第一转轴(11)之间通过皮带轮组(5)传动连接。
8.根据权利要求6所述的一种pcb板喷淋退膜装置,其特征在于,皮带轮组(5)包括第一皮带轮、一对第一皮带、第二皮带轮和第二皮带;所述第一转轴(11)和所述第二转轴(12)靠近所述驱动轴(151)的一端均套设有所述第一皮带轮,其中一所述第一皮带绕设于位于移动腔上方的各第一皮带轮,另一所述第一皮带绕设于位于所述移动腔下方的各所述第一皮带轮,其中分别位于所述移动腔上下两侧的两所述第一转轴(11)上分别套设有所述第二皮带轮,所述第二皮带同时绕设于两所述第二皮带轮。
9.根据权利要求6所述的一种pcb板喷淋退膜装置,其特征在于,所述上喷淋架(21)和所述下喷淋架(22)上均转动式安装有若干第三转轴(6),若干第三转轴(6)沿z轴方向排列设置,各所述第三转轴(6)沿x轴方向延伸设置,同一排的各所述喷嘴(23)与各所述第三转轴(6)对应,各排的各所述喷嘴(23)均固定安装于对应的所述第三转轴(6),所述安装架(1)上还安装有用于驱使各所述第三转轴(6)在所述喷淋架(2)上转动的第二驱动组件(7)。
10.根据权利要求9所述的一种pcb板喷淋退膜装置,其特征在于,所述第二驱动组件(7)包括顶杆(71)、若干驱动块(72)和若干连接杆(73),所述顶杆(71)固定安装于所述安装架(1)且沿z轴方向延伸设置,所述驱动块(72)、所述连接杆(73)与所述第三转轴(6)一一对应,所述驱动块(72)沿z轴方向滑移式安装于所述喷淋架(2),所述连接杆(73)一端固定连接于所述第三转轴(6)、另一端滑移式安装于所述驱动块(72),所述顶杆(71)远离固定点的一端穿设入所述喷淋架(2)且固定连接于所述驱动块(72)。