一种双片收纳系统及收纳方法与流程

xiaoxiao9月前  63


本发明属于硅片收纳,具体涉及一种双片收纳系统及收纳方法。


背景技术:

1、硅片收纳装置是硅片在生产过程中不可或缺的一部分,硅片需要使用输送装置将硅片收纳至花篮内,再将花篮输送至其他工序处,其中关于硅片收纳的主流的装置通常采用行走臂控制吸附组件在花篮和输送带之间往返运动,配合吸附组件完成硅片的吸附和放置;

2、但是,在吸附组件吸附硅片后,需要等待吸附组件将硅片放置在花篮并返回后,才能进行下一片硅片的吸附,为此需要阵列设置多组行走臂和吸附组件才能适配输送带对硅片的输送节奏,此种设计增加的装置整体的体积;

3、因此,提供一种同体积下提高硅片的收纳效率的双片收纳系统及收纳方法是很有必要的。


技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种同体积下提高硅片的收纳效率的双片收纳系统及收纳方法

2、为了解决上述技术问题,本发明提供了一种双片收纳系统,包括:输送带;若干设置在所述输送带侧方的收料花篮;若干阵列设置的收纳机构,所述收纳机构设置在所述输送带的上方,所述收纳机构包括一对镜像设置的水平移动副,所述水平移动副的移动端上滑动设置有竖直移动副,所述水平移动副的移动方向垂直于所述输送带的输送方向;设置在所述竖直移动副的移动端的吸附组件,所述吸附组件层叠设置。

3、作为优选,所述水平移动副包括水平横梁,所述水平横梁上设置有水平滑轨,所述水平滑轨上滑动设置有水平滑块,所述水平滑块的侧壁设置有水平连接板,所述竖直移动副设置在所述水平连接板的侧壁。

4、作为优选,所述竖直移动副包括一对竖直滑轨、若干竖直滑块和竖直连接板;所述竖直滑块安装在所述水平连接板的侧壁,并且所述竖直滑块设置成两列,所述竖直滑轨分别插接在所述竖直滑块内,所述竖直连接板设置在所述竖直滑轨的底部,所述吸附组件设置在所述竖直连接板的底部。

5、作为优选,所述吸附组件包括吸附连接板和吸附板;所述吸附连接板安装在所述竖直连接板的底部,所述吸附板通过支柱连接在所述吸附连接板的下方,所述吸附板的顶部设置有吸附入口,所述吸附板的底部设置有若干吸附出口,吸附入口和吸附出口连通。

6、作为优选,所述水平移动副还包括“t”形的安装板,所述水平横梁设置在所述安装板的竖梁的两侧。

7、作为优选,所述安装板的顶部设置有一对保护拖链,所述保护拖链的固定端安装在所述安装板的顶部;所述水平连接板的顶部设置有水平支撑架,所述保护拖链的移动端安装在所述水平支撑架的底部。

8、作为优选,所述水平横梁的端部设置有驱动电缸,并且所述驱动电缸的移动端插接在所述水平横梁内;所述水平横梁的侧壁开设有驱动槽,所述驱动电缸的移动端伸出所述驱动槽,并且与所述水平滑块连接。

9、作为优选,所述水平滑块的侧壁开设有“t”形的连接槽,所述驱动电缸的移动端设置有与所述连接槽适配的连接块。

10、作为优选,所述竖直连接板为“l”形,所述竖直连接板的竖直端的内侧壁连接在所述竖直滑轨的外侧壁,所述吸附组件设置在所述竖直连接板的水平端的底部。

11、作为优选,所述竖直连接板的侧壁设置有驱动气缸,所述驱动气缸的活塞杆连接在所述竖直连接板的水平端的顶部。

12、作为优选,所述竖直连接板的竖直端开设有避让缺口。

13、本发明提供了一种使用双片收纳系统的收纳方法,包括:

14、s1、所述输送带输送硅片至所述收纳机构的下方;

15、s2、下层的所述吸附组件下降,吸附硅片后抬起;

16、s3、下层的所述吸附组件移动至所述收料花篮处,完成硅片的放置后移动至上层;

17、同时,上层的所述吸附组件移动至下层,并下降吸附硅片后抬起;

18、s4、原下层的所述吸附组件重新移动至所述输送带处后重新移动至下层,同时原上层的所述吸附组件移动至所述收料花篮处,完成硅片的放置后重新移动至上层。

19、s5、原上层的所述吸附组件重新移动至所述输送带处。

20、本发明的有益效果是:

21、通过竖直移动副能够实现吸附组件的上下移动,实现吸附输送带上的硅片和将硅片放置于收料花篮内;进一步的,吸附组件的滑动设置能够使其层叠放置,两层吸附组件能够在水平移动时不发生干涉,实现了吸附组件对硅片的交替收纳(即一个吸附组件向收料花篮内放置硅片时,另一个吸附组件从输送带上吸附硅片),提高了硅片的收纳效率,并且相较于简单的阵列行走臂,减小了装置的体积。

22、本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本发明而了解。

23、为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。



技术特征:

1.一种双片收纳系统,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的双片收纳系统,其特征在于,

3.如权利要求2所述的双片收纳系统,其特征在于,

4.如权利要求3所述的双片收纳系统,其特征在于,

5.如权利要求2所述的双片收纳系统,其特征在于,

6.如权利要求5所述的双片收纳系统,其特征在于,

7.如权利要求6所述的双片收纳系统,其特征在于,

8.如权利要求7所述的双片收纳系统,其特征在于,

9.如权利要求3所述的双片收纳系统,其特征在于,

10.如权利要求9所述的双片收纳系统,其特征在于,

11.如权利要求10所述的双片收纳系统,其特征在于,

12.使用如权利要求1所述的双片收纳系统的收纳系统,其特征在于,


技术总结
本发明属于硅片收纳技术领域,具体涉及一种双片收纳系统及收纳方法,本装置包括:输送带;若干设置在所述输送带侧方的收料花篮;若干阵列设置的收纳机构,所述收纳机构设置在所述输送带的上方,所述收纳机构包括一对镜像设置的水平移动副,所述水平移动副的移动端上滑动设置有竖直移动副,所述水平移动副的移动方向垂直于所述输送带的输送方向;设置在所述竖直移动副的移动端的吸附组件,所述吸附组件层叠设置;通过竖直移动副能够实现吸附组件的上下移动,实现吸附输送带上的硅片和将硅片放置于收料花篮内;进一步的,吸附组件的滑动设置能够使其层叠放置,两层吸附组件能够在水平移动时不发生干涉,实现了吸附组件对硅片的交替收纳。

技术研发人员:左国军,胡永涛,张亚运
受保护的技术使用者:常州捷佳创智能装备有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/9/23

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