机台探针更换装置的制造方法
机台探针更换装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及集成电路制造领域，尤其是一种机台探针更换装置。
【背景技术】
[0002]AFM(Atomic Force Microscope，原子力显微镜)机台的探针需要定期更换，目前更换的主要方式是通过人工手动方式进行更换。
[0003]在运输的过程中，为了保护所述探针不会由于碰到所述包装盒的盖子而损坏所述探针，所述探针在包装盒中时，所述探针的背面朝上，那么在使用所述探针时，需要将所述探针翻面，也就是说使得所述探针的正面朝上，然后再将所述探针放置到探针盒指定的针槽中。
[0004]在人工手动更换过程中，一般采用镊子夹取的方式，就是人工用镊子将所述探针从包装盒中将所述探针夹取出来，然后翻面，需要用手一直捏住镊子，并且，在夹取的过程中要保证所述探针的探针头不能碰到任何东西，一旦因为手抖或者其他原因使得所述探针头碰到其他的东西，所述探针即会损坏而不能使用，即所述探针作废。而在将所述探针放入针槽中的过程中，人工在摆放的过程中存在摆放的死角，容易使所述探针放置的位置便宜，从而导致机台自动吸取所述探针失败，安装精度不高。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种机台探针更换装置，以解决手动探针更换过程中导致探针损坏而安装失败以及安装精度不高的问题。
[0006]为了达到上述目的，本实用新型提供了一种机台探针更换装置，包括:
[0007]基座；
[0008]第一立柱，所述第一立柱垂直固定于所述基座的上表面；
[0009]第一连接头，所述第一立柱穿过所述第一连接头，所述第一连接头可沿所述第一立柱滑动以及围绕所述第一立柱转动；
[0010]第一横杆，所述第一横杆的一端与所述第一连接头连接，另一端与一承放台连接;
[0011]第二连接头，所述第一横杆穿过所述第二连接头，所述第二连接头可沿所述第一横杆滑动以及围绕所述第一横杆转动；
[0012]第二立柱，所述第二立柱的一端与所述第二连接头连接，所述第二立柱穿过一第三连接头，所述第三连接头可沿所述第二立柱滑动以及围绕所述第二立柱转动；
[0013]第二横杆，所述第二横杆的一端与所述第三连接头连接，另一端与一第一探针吸取装置连接；
[0014]第三立柱，所述第三立柱的一端与所述第二连接头连接，所述第三立柱穿过一第四连接头，所述第四连接头可沿所述第三立柱滑动以及围绕所述第三立柱转动；以及
[0015]第三横杆，所述第三横杆的一端与所述第四连接头连接，另一端与一第二探针吸取装置连接。
[0016]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第一横杆与所述基座的上表面平行。
[0017]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二横杆与所述基座的上表面平行。
[0018]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第三横杆与所述基座的上表面平行。
[0019]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二立柱与所述第一横杆垂直。
[0020]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二横杆和所述第二立柱垂直，所述第三横杆和所述第三立柱垂直。
[0021]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二立柱和所述第三立柱在同一条直线上。
[0022]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第一探针吸取装置包括一第一注射器，所述第一注射器的针头处设置一第一吸头，所述第一吸头所在一侧的内壁与所述第一注射器的推动阀连接。
[0023]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第一吸头所在一侧的内壁与所述第一注射器的推动阀通过一第一弹簧连接。
[0024]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第一吸头面向所述承放台，所述第一注射器的推动阀背离所述承放台。
[0025]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二探针吸取装置包括一第二注射器，所述第二注射器的针头处设置一第二吸头，所述第二吸头所在一侧的内壁与所述第二注射器的推动阀连接。
[0026]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二吸头所在一侧的内壁与所述第二注射器的推动阀通过一第二弹簧连接。
[0027]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二吸头面向所述承放台，所述第二注射器的推动阀背离所述承放台。
[0028]在本实用新型提供的机台探针更换装置中，将探针的包装盒放置在所述承放台上，所述第一探针吸取装置吸取所述探针，然后使所述第一连接头围绕所述第二立柱转动，带动所述第二横杆以及所述第一探针吸取装置转动，使所述第四连接头围绕所述第三立柱转动，带动所述第三横杆以及所述第二探针吸取装置转动，使得所述第一探针吸取装置和所述第二探针吸取装置相对，并通过所述第二连接头在所述第二立柱上的上下移动、所述第四连接头在所述第三立柱上的上下移动，调整所述第一探针吸取装置和所述第二探针吸取装置之间的距离。然后所述第二探针吸取装置吸取所述第一探针吸取装置上的所述探针，完成所述探针的翻面。再去掉所述承放台上的包装盒，将探针盒固定在所述承放台上，再调整所述第二连接头、所述第三连接头以及所述第四连接头，使得所述探针与所述探针盒中的针槽对准，然后将所述探针安装在所述探针盒的针槽中，在整个安装过程中，均为机械式操作，所述探针的探针头不会因为操作人员的手抖动碰到其他物品，保证了所述探针的安全，也提高了安装精度。
【附图说明】
[0029]图1为本实用新型实施例中机台探针更换装置的结构示意图；
[0030]图2为本实用新型实施例中机台探针更换装置吸取探针翻面时的结构示意图；
[0031]图中:101-基座；102-第一立柱；103_第一连接头；104_第一横杆；105_承放台；106_第二连接头；107_第二立柱；108_第三连接头；109_第二横杆；110_第一注射器；111-第三立柱；112-第四连接头；113-第三横杆；114-第二注射器；115-第一吸头；116-第一弹簧；117-第二吸头；118-第二弹簧；119-第一锁止螺丝；120-第二锁止螺丝；121-第三锁止螺丝；122_第四锁止螺丝；123_探针。
【具体实施方式】
[0032]下面将结合示意图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细的描述。根据下列描述并结合权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0033]本实施例提供了一种机台探针更换装置，如图1和图2所不，包括:基座101，第一立柱102，所述第一立柱102垂直固定于所述基座101的上表面，即所述第一立柱102竖直设置。所述第一立柱102穿过一第一连接头103，所述第一连接头103可以在所述第一立柱102上上下滑动，也可以围绕所述第一立柱102转动，且所述第一立柱102和所述第一连接头103之间通过一第一锁止螺丝119固定。也就是说，当需要所述第一连接头103在所述第一立柱102上滑动或者转动时，就松动所述第一锁止螺丝119，在所述第一连接头103到达指定位置或者需要的位置之后，再拧紧所述第一锁止螺丝119，使所述第一立柱102和所述第一连接头103之间固定。
[0034]所述第一连接头103为一圆柱体形，一第一横杆104的一端连接于所述第一连接头103的侧壁，所述第一横杆104的另一端与一承放台105连接，所述承放台105为一长方体形，所述承放台105的上表面与所述基座101的上表面平行，所述第一横杆104与所述第一立柱102垂直，与所述基座101的上表面平行。
[0035]所述第一横杆104穿过一第二连接头106，所述第二连接头106可在所述第一横杆104上滑动、转动。也就是说，所述第二连接头106可以沿着所述第一横杆104向靠近所述第一连接头103的一侧滑动，也可以沿着所述第一横杆104向靠近所述承放台105的一侧滑动，还可以围绕所述第一横杆104转动。所述第一横杆104和所述第二连接头106之间通过一第二锁止螺丝120固定。所述第二锁止螺丝120的作用和使用方法与所述第一锁止螺丝119 一致，在此不再赘述。
[0036]一第二立柱107的一端与所述第二连接头106固定连接，所述第二立柱107与所述第一横杆104垂直，所述第二立柱107穿过一第三连接头108，所述第三连接头108和所述第二立柱107之间通过一第三锁止螺丝121固定，所述第三连接头108可沿所述第二立柱107滑动以及围绕所述第二立柱107转动。一第二横杆109的一端与所述第三连接头108连接，另一端与一第一探针吸取装置固定连接。在本实施例中，所述第一探针吸取装置包括一第一注射器110，所述第二横杆109与所述第二立柱107垂直，与所述基座101的上表面平行，所述第一注射器110与所述第二立柱107平行设置，所述第一注射器110的针头处设置有一第一吸头115，所述第一吸头115面向所述承放台105。所述第一注射器110的推动阀与所述第一吸头115所在一侧的内壁通过一第一弹簧116连接，所述第一注射器110的推动阀背离所述承放台105。
[0037]—第三立柱111也与所述第二连接头106连接，所述第三立柱111与所述第二立柱107在一条直线上，所述第三立柱111也与所述第一横杆104垂直，所述第三立柱111穿过一第四连接头112，所述第四连接头112和所述第三立柱113之间通过一第四锁止螺丝122固定，所述第四连接头112可以沿着所述第三立柱111滑动以及围绕所述第三立柱111转动。一第三横杆113的一端与所述第四连接头112连接，另一端与一第二探针吸取装置固定连接。
[0038]在本实施例中，所述第二探针吸取装置包括一第二注射器114，所述第三横杆113与所述第三立柱111垂直，与所述基座101的上表面平行。所述第二注射器114与所述第三立柱111平行设置，所述第二注射器114的针头处设置有一第二吸头117，所述第二吸头117面向所述承放台105。所述第二注射器114的推动阀与所述第二吸头117所在 一侧的内壁通过一第二弹簧118连接，所述第二注射器114的推动阀背离所述承放台105。
[0039]由于所述第二立柱107与所述第三立柱111在同一条直线上，而所述第一注射器110与所述第二立柱107平行设置，所述第二注射器114与所述第三立柱111平行设置，所述第二横杆109通过所述第三连接头106与所述第二立柱107垂直连接，所述第三横杆113通过所述第四连接头112与所述第三立柱111垂直连接，而所述第一注射器110与所述第二横杆109固定连接，所述第二注射器114与所述第三横杆113固定连接，因此，通过调整所述第三连接头108和所述第四连接头112，就可以带动所述第一注射器110和所述第二注射器114运动，总是可以使得所述第一注射器110和所述第二注射器114在同一条直线上，这里也要求所述第二横杆109和所述第三横杆113的长度一致。
[0040]当需要对机台的探针123进行更换时，具体步骤如下:
[0041]I)将所述探针123的包装盒放置在所述承放台105上并打开；
[0042]2)松开所述第二锁止螺丝120，使得所述第二连接头106在所述第一横杆104上滑动，带动与所述第二连接头106固定连接的所述第二立柱107和所述第三立柱111沿所述第一横杆104滑动，从而使得所述第一注射器110和所述第二注射器114均正对着所述承放台105上的探针包装盒，然后固定住所述第二锁止螺丝120。
[0043]3)松开所述第三锁止螺丝121，使得所述第三连接头108沿着所述第二立柱107滑动，用于调整所述第一注射器110的第一吸头115和所述承放台105上探针123之间的距离，当所述第一吸头115能轻轻碰触到所述探针123的背面时，固定所述第三锁止螺丝121。
[0044]4)推动所述第一注射器110的推动阀，使得所述第一注射器110的推动阀向靠近所述第一吸头115的一侧移动，使得所述第一注射器110的推动阀碰触到所述第一注射器110中靠近所述第一吸头115的一侧内壁，同时，所述第一弹簧116被压缩，然后放开所述第一注射器I1的推动阀，所述第一弹簧116要恢复形变，就对所述第一注射器110的推动阀产生一个弹力，所述第一注射器110的推动阀在这个弹力的作用下，远离所述第一吸头115，此时，所述第一注射器110的推动阀与所述第一注射器110靠近第一吸头115的一侧内壁之间形成真空环境，所述探针123在大气压强的作用下被所述第一吸头115吸附住。所述第一吸头115为硅胶吸头，防止在吸附过程中损坏所述探针123。在吸附的过程中，应当尽量使得所述第一吸头115吸附远离所述探针123的探针头的一端，也是为了避免在吸附过程中损坏所述探针123的探针头。
[0045]5)如图2所示，同时转动所述第三连接头108和所述第四连接头112，使得所述第一吸头115和所述第二吸头117相对，并且使得所述第二吸头117能稍稍碰触到所述探针123。因为所述第一吸头115和所述第二吸头117相对，这时，所述第二吸头117面对的就是所述探针123露出探针头的一侧，因为所述第一吸头吸附的是远离所述探针123的探针头的一端，因此，所述第二吸头117也是碰触到远离所述探针123的探针头的一端。
[0046]同时按下所述第一注射器110的推动阀和所述第二注射器114的推动阀，所述第一弹簧117和所述第二弹簧118均发生形变，然后松开所述第二注射器114的推动阀，则所述第二注射器114的推动阀和所述第二注射器114靠近所述第二吸头一侧的内壁之间就形成真空环境，所述探针123在大气压的作用下，被所述第二吸头117吸附，完成了对所述探针123的翻面。
[0047]6)转动所述第二连接头106，使得所述第二注射器114位于所述承放台105的上方。
[0048]7)取下所述探针123的包装盒，将探针123盒放置在所述承放台105上，先使所述第四连接头112沿着所述第三立柱111滑动，使得所述第二吸头117远离所述承放台105，以免碰触到所述第二吸头117上吸附的所述探针123。然后再转动所述第四连接头112，使得所述探针123位于所述承放台105的正上方。然后再通过调整所述第四连接头112，使得所述探针123与所述承放台105上的探针盒中的针槽对准。
[0049]8)按下所述第二注射器114的推动阀，使得所述第二注射器114的推动阀能够碰触到所述第二注射器114中所述第二吸头117所在一侧的内壁，此时所述探针123两侧所受到的大气压力相同，所述探针123在其重力作用下，放置到所述探针盒的针槽中，从而完成所述探针123的安装。
[0050]在整个安装的过程中，均为机械式操作，所述探针123的探针头不会因为操作人员的手抖而碰到其他物品，保证了所述探针123的安全。而且在步骤8)中，可以多次调整所述探针123与所述探针盒中针槽的位置关系，也就不存在手动安装过程中的安装死角，从而提尚了安装的精度。
[0051]综上，在本实用新型实施例提供的机台探针更换装置中，将探针的包装盒放置在所述承放台上，所述第一探针吸取装置吸取所述探针，然后使所述第一连接头围绕所述第二立柱转动，带动所述第二横杆以及所述第一探针吸取装置转动，使所述第四连接头围绕所述第三立柱转动，带动所述第三横杆以及所述第二探针吸取装置转动，使得所述第一探针吸取装置和所述第二探针吸取装置相对，并通过所述第二连接头在所述第二立柱上的上下移动、所述第四连接头在所述第三立柱上的上下移动，调整所述第一探针吸取装置和所述第二探针吸取装置之间的距离。然后所述第二探针吸取装置吸取所述第一探针吸取装置上的所述探针，完成所述探针的翻面。再去掉所述承放台上的包装盒，将探针盒固定在所述承放台上，再调整所述第二连接头、所述第三连接头以及所述第四连接头，使得所述探针与所述探针盒中的针槽对准，然后将所述探针安装在所述探针盒的针槽中，在整个安装过程中，均为机械式操作，所述探针的探针头不会因为操作人员的手抖动碰到其他物品，保证了所述探针的安全，也提高了安装精度。
[0052]上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种机台探针更换装置，其特征在于，包括: 基座； 第一立柱，所述第一立柱垂直固定于所述基座的上表面； 第一连接头，所述第一立柱穿过所述第一连接头，所述第一连接头可沿所述第一立柱滑动以及围绕所述第一立柱转动； 第一横杆，所述第一横杆的一端与所述第一连接头连接，另一端与一承放台连接； 第二连接头，所述第一横杆穿过所述第二连接头，所述第二连接头可沿所述第一横杆滑动以及围绕所述第一横杆转动； 第二立柱，所述第二立柱的一端与所述第二连接头连接，所述第二立柱穿过一第三连接头，所述第三连接头可沿着所述第二立柱滑动以及围绕所述第二立柱转动； 第二横杆，所述第二横杆的一端与所述第三连接头连接，另一端与一第一探针吸取装置连接； 第三立柱，所述第三立柱的一端与所述第二连接头连接，所述第三立柱穿过一第四连接头，所述第四连接头可沿所述第三立柱滑动以及围绕所述第三立柱转动；以及 第三横杆，所述第三横杆的一端与所述第四连接头连接，另一端与一第二探针吸取装置连接。2.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第一横杆与所述基座的上表面平行。3.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二横杆与所述基座的上表面平行。4.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第三横杆与所述基座的上表面平行。5.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二立柱与所述第一横杆垂直。6.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二横杆和所述第二立柱垂直，所述第三横杆和所述第三立柱垂直。7.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二立柱和所述第三立柱在同一条直线上。8.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第一探针吸取装置包括一第一注射器，所述第一注射器的针头处设置一第一吸头，所述第一吸头所在一侧的内壁与所述第一注射器的推动阀连接。9.如权利要求8所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第一吸头所在一侧的内壁与所述第一注射器的推动阀通过一第一弹簧连接。10.如权利要求8所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第一吸头面向所述承放台，所述第一注射器的推动阀背离所述承放台。11.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二探针吸取装置包括一第二注射器，所述第二注射器的针头处设置一第二吸头，所述第二吸头所在一侧的内壁与所述第二注射器的推动阀连接。12.如权利要求11所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二吸头所在一侧的内壁与所述第二注射器的推动阀通过一第二弹簧连接。13.如权利要求11所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二吸头面向所述承放台，所述第二注射器的推动阀背离所述承放台。
【专利摘要】本实用新型提供了一种机台探针更换装置，包括：基座、第一立柱，所述第一立柱垂直固定于所述基座的上表面；第一连接头，所述第一立柱穿过所述第一连接头；第一横杆；第二连接头，所述第一横杆穿过所述第二连接头；第二立柱，所述第二立柱与所述第二连接头连接；第二横杆，所述第二横杆与所述第三连接头以及一第一探针吸取装置连接；第三立柱，所述第三立柱与所述第二连接头连接，所述第三立柱穿过一第四连接头；以及第三横杆，所述第三横杆与所述第四连接头以及一第二探针吸取装置连接。在安装过程中，均为机械式操作，所述探针的探针头不会因为操作人员的手抖动碰到其他物品，保证了所述探针的安全，也提高了安装精度。
【IPC分类】G01Q60/38
【公开号】CN204694732
【申请号】CN201520351706
【发明人】陆飞, 李文
【申请人】武汉新芯集成电路制造有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年5月27日
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及集成电路制造领域，尤其是一种机台探针更换装置。
【背景技术】
[0002]AFM(Atomic Force Microscope，原子力显微镜)机台的探针需要定期更换，目前更换的主要方式是通过人工手动方式进行更换。
[0003]在运输的过程中，为了保护所述探针不会由于碰到所述包装盒的盖子而损坏所述探针，所述探针在包装盒中时，所述探针的背面朝上，那么在使用所述探针时，需要将所述探针翻面，也就是说使得所述探针的正面朝上，然后再将所述探针放置到探针盒指定的针槽中。
[0004]在人工手动更换过程中，一般采用镊子夹取的方式，就是人工用镊子将所述探针从包装盒中将所述探针夹取出来，然后翻面，需要用手一直捏住镊子，并且，在夹取的过程中要保证所述探针的探针头不能碰到任何东西，一旦因为手抖或者其他原因使得所述探针头碰到其他的东西，所述探针即会损坏而不能使用，即所述探针作废。而在将所述探针放入针槽中的过程中，人工在摆放的过程中存在摆放的死角，容易使所述探针放置的位置便宜，从而导致机台自动吸取所述探针失败，安装精度不高。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于提供一种机台探针更换装置，以解决手动探针更换过程中导致探针损坏而安装失败以及安装精度不高的问题。
[0006]为了达到上述目的，本实用新型提供了一种机台探针更换装置，包括:
[0007]基座；
[0008]第一立柱，所述第一立柱垂直固定于所述基座的上表面；
[0009]第一连接头，所述第一立柱穿过所述第一连接头，所述第一连接头可沿所述第一立柱滑动以及围绕所述第一立柱转动；
[0010]第一横杆，所述第一横杆的一端与所述第一连接头连接，另一端与一承放台连接;
[0011]第二连接头，所述第一横杆穿过所述第二连接头，所述第二连接头可沿所述第一横杆滑动以及围绕所述第一横杆转动；
[0012]第二立柱，所述第二立柱的一端与所述第二连接头连接，所述第二立柱穿过一第三连接头，所述第三连接头可沿所述第二立柱滑动以及围绕所述第二立柱转动；
[0013]第二横杆，所述第二横杆的一端与所述第三连接头连接，另一端与一第一探针吸取装置连接；
[0014]第三立柱，所述第三立柱的一端与所述第二连接头连接，所述第三立柱穿过一第四连接头，所述第四连接头可沿所述第三立柱滑动以及围绕所述第三立柱转动；以及
[0015]第三横杆，所述第三横杆的一端与所述第四连接头连接，另一端与一第二探针吸取装置连接。
[0016]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第一横杆与所述基座的上表面平行。
[0017]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二横杆与所述基座的上表面平行。
[0018]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第三横杆与所述基座的上表面平行。
[0019]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二立柱与所述第一横杆垂直。
[0020]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二横杆和所述第二立柱垂直，所述第三横杆和所述第三立柱垂直。
[0021]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二立柱和所述第三立柱在同一条直线上。
[0022]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第一探针吸取装置包括一第一注射器，所述第一注射器的针头处设置一第一吸头，所述第一吸头所在一侧的内壁与所述第一注射器的推动阀连接。
[0023]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第一吸头所在一侧的内壁与所述第一注射器的推动阀通过一第一弹簧连接。
[0024]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第一吸头面向所述承放台，所述第一注射器的推动阀背离所述承放台。
[0025]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二探针吸取装置包括一第二注射器，所述第二注射器的针头处设置一第二吸头，所述第二吸头所在一侧的内壁与所述第二注射器的推动阀连接。
[0026]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二吸头所在一侧的内壁与所述第二注射器的推动阀通过一第二弹簧连接。
[0027]优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二吸头面向所述承放台，所述第二注射器的推动阀背离所述承放台。
[0028]在本实用新型提供的机台探针更换装置中，将探针的包装盒放置在所述承放台上，所述第一探针吸取装置吸取所述探针，然后使所述第一连接头围绕所述第二立柱转动，带动所述第二横杆以及所述第一探针吸取装置转动，使所述第四连接头围绕所述第三立柱转动，带动所述第三横杆以及所述第二探针吸取装置转动，使得所述第一探针吸取装置和所述第二探针吸取装置相对，并通过所述第二连接头在所述第二立柱上的上下移动、所述第四连接头在所述第三立柱上的上下移动，调整所述第一探针吸取装置和所述第二探针吸取装置之间的距离。然后所述第二探针吸取装置吸取所述第一探针吸取装置上的所述探针，完成所述探针的翻面。再去掉所述承放台上的包装盒，将探针盒固定在所述承放台上，再调整所述第二连接头、所述第三连接头以及所述第四连接头，使得所述探针与所述探针盒中的针槽对准，然后将所述探针安装在所述探针盒的针槽中，在整个安装过程中，均为机械式操作，所述探针的探针头不会因为操作人员的手抖动碰到其他物品，保证了所述探针的安全，也提高了安装精度。
【附图说明】
[0029]图1为本实用新型实施例中机台探针更换装置的结构示意图；
[0030]图2为本实用新型实施例中机台探针更换装置吸取探针翻面时的结构示意图；
[0031]图中:101-基座；102-第一立柱；103_第一连接头；104_第一横杆；105_承放台；106_第二连接头；107_第二立柱；108_第三连接头；109_第二横杆；110_第一注射器；111-第三立柱；112-第四连接头；113-第三横杆；114-第二注射器；115-第一吸头；116-第一弹簧；117-第二吸头；118-第二弹簧；119-第一锁止螺丝；120-第二锁止螺丝；121-第三锁止螺丝；122_第四锁止螺丝；123_探针。
【具体实施方式】
[0032]下面将结合示意图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细的描述。根据下列描述并结合权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0033]本实施例提供了一种机台探针更换装置，如图1和图2所不，包括:基座101，第一立柱102，所述第一立柱102垂直固定于所述基座101的上表面，即所述第一立柱102竖直设置。所述第一立柱102穿过一第一连接头103，所述第一连接头103可以在所述第一立柱102上上下滑动，也可以围绕所述第一立柱102转动，且所述第一立柱102和所述第一连接头103之间通过一第一锁止螺丝119固定。也就是说，当需要所述第一连接头103在所述第一立柱102上滑动或者转动时，就松动所述第一锁止螺丝119，在所述第一连接头103到达指定位置或者需要的位置之后，再拧紧所述第一锁止螺丝119，使所述第一立柱102和所述第一连接头103之间固定。
[0034]所述第一连接头103为一圆柱体形，一第一横杆104的一端连接于所述第一连接头103的侧壁，所述第一横杆104的另一端与一承放台105连接，所述承放台105为一长方体形，所述承放台105的上表面与所述基座101的上表面平行，所述第一横杆104与所述第一立柱102垂直，与所述基座101的上表面平行。
[0035]所述第一横杆104穿过一第二连接头106，所述第二连接头106可在所述第一横杆104上滑动、转动。也就是说，所述第二连接头106可以沿着所述第一横杆104向靠近所述第一连接头103的一侧滑动，也可以沿着所述第一横杆104向靠近所述承放台105的一侧滑动，还可以围绕所述第一横杆104转动。所述第一横杆104和所述第二连接头106之间通过一第二锁止螺丝120固定。所述第二锁止螺丝120的作用和使用方法与所述第一锁止螺丝119 一致，在此不再赘述。
[0036]一第二立柱107的一端与所述第二连接头106固定连接，所述第二立柱107与所述第一横杆104垂直，所述第二立柱107穿过一第三连接头108，所述第三连接头108和所述第二立柱107之间通过一第三锁止螺丝121固定，所述第三连接头108可沿所述第二立柱107滑动以及围绕所述第二立柱107转动。一第二横杆109的一端与所述第三连接头108连接，另一端与一第一探针吸取装置固定连接。在本实施例中，所述第一探针吸取装置包括一第一注射器110，所述第二横杆109与所述第二立柱107垂直，与所述基座101的上表面平行，所述第一注射器110与所述第二立柱107平行设置，所述第一注射器110的针头处设置有一第一吸头115，所述第一吸头115面向所述承放台105。所述第一注射器110的推动阀与所述第一吸头115所在一侧的内壁通过一第一弹簧116连接，所述第一注射器110的推动阀背离所述承放台105。
[0037]—第三立柱111也与所述第二连接头106连接，所述第三立柱111与所述第二立柱107在一条直线上，所述第三立柱111也与所述第一横杆104垂直，所述第三立柱111穿过一第四连接头112，所述第四连接头112和所述第三立柱113之间通过一第四锁止螺丝122固定，所述第四连接头112可以沿着所述第三立柱111滑动以及围绕所述第三立柱111转动。一第三横杆113的一端与所述第四连接头112连接，另一端与一第二探针吸取装置固定连接。
[0038]在本实施例中，所述第二探针吸取装置包括一第二注射器114，所述第三横杆113与所述第三立柱111垂直，与所述基座101的上表面平行。所述第二注射器114与所述第三立柱111平行设置，所述第二注射器114的针头处设置有一第二吸头117，所述第二吸头117面向所述承放台105。所述第二注射器114的推动阀与所述第二吸头117所在 一侧的内壁通过一第二弹簧118连接，所述第二注射器114的推动阀背离所述承放台105。
[0039]由于所述第二立柱107与所述第三立柱111在同一条直线上，而所述第一注射器110与所述第二立柱107平行设置，所述第二注射器114与所述第三立柱111平行设置，所述第二横杆109通过所述第三连接头106与所述第二立柱107垂直连接，所述第三横杆113通过所述第四连接头112与所述第三立柱111垂直连接，而所述第一注射器110与所述第二横杆109固定连接，所述第二注射器114与所述第三横杆113固定连接，因此，通过调整所述第三连接头108和所述第四连接头112，就可以带动所述第一注射器110和所述第二注射器114运动，总是可以使得所述第一注射器110和所述第二注射器114在同一条直线上，这里也要求所述第二横杆109和所述第三横杆113的长度一致。
[0040]当需要对机台的探针123进行更换时，具体步骤如下:
[0041]I)将所述探针123的包装盒放置在所述承放台105上并打开；
[0042]2)松开所述第二锁止螺丝120，使得所述第二连接头106在所述第一横杆104上滑动，带动与所述第二连接头106固定连接的所述第二立柱107和所述第三立柱111沿所述第一横杆104滑动，从而使得所述第一注射器110和所述第二注射器114均正对着所述承放台105上的探针包装盒，然后固定住所述第二锁止螺丝120。
[0043]3)松开所述第三锁止螺丝121，使得所述第三连接头108沿着所述第二立柱107滑动，用于调整所述第一注射器110的第一吸头115和所述承放台105上探针123之间的距离，当所述第一吸头115能轻轻碰触到所述探针123的背面时，固定所述第三锁止螺丝121。
[0044]4)推动所述第一注射器110的推动阀，使得所述第一注射器110的推动阀向靠近所述第一吸头115的一侧移动，使得所述第一注射器110的推动阀碰触到所述第一注射器110中靠近所述第一吸头115的一侧内壁，同时，所述第一弹簧116被压缩，然后放开所述第一注射器I1的推动阀，所述第一弹簧116要恢复形变，就对所述第一注射器110的推动阀产生一个弹力，所述第一注射器110的推动阀在这个弹力的作用下，远离所述第一吸头115，此时，所述第一注射器110的推动阀与所述第一注射器110靠近第一吸头115的一侧内壁之间形成真空环境，所述探针123在大气压强的作用下被所述第一吸头115吸附住。所述第一吸头115为硅胶吸头，防止在吸附过程中损坏所述探针123。在吸附的过程中，应当尽量使得所述第一吸头115吸附远离所述探针123的探针头的一端，也是为了避免在吸附过程中损坏所述探针123的探针头。
[0045]5)如图2所示，同时转动所述第三连接头108和所述第四连接头112，使得所述第一吸头115和所述第二吸头117相对，并且使得所述第二吸头117能稍稍碰触到所述探针123。因为所述第一吸头115和所述第二吸头117相对，这时，所述第二吸头117面对的就是所述探针123露出探针头的一侧，因为所述第一吸头吸附的是远离所述探针123的探针头的一端，因此，所述第二吸头117也是碰触到远离所述探针123的探针头的一端。
[0046]同时按下所述第一注射器110的推动阀和所述第二注射器114的推动阀，所述第一弹簧117和所述第二弹簧118均发生形变，然后松开所述第二注射器114的推动阀，则所述第二注射器114的推动阀和所述第二注射器114靠近所述第二吸头一侧的内壁之间就形成真空环境，所述探针123在大气压的作用下，被所述第二吸头117吸附，完成了对所述探针123的翻面。
[0047]6)转动所述第二连接头106，使得所述第二注射器114位于所述承放台105的上方。
[0048]7)取下所述探针123的包装盒，将探针123盒放置在所述承放台105上，先使所述第四连接头112沿着所述第三立柱111滑动，使得所述第二吸头117远离所述承放台105，以免碰触到所述第二吸头117上吸附的所述探针123。然后再转动所述第四连接头112，使得所述探针123位于所述承放台105的正上方。然后再通过调整所述第四连接头112，使得所述探针123与所述承放台105上的探针盒中的针槽对准。
[0049]8)按下所述第二注射器114的推动阀，使得所述第二注射器114的推动阀能够碰触到所述第二注射器114中所述第二吸头117所在一侧的内壁，此时所述探针123两侧所受到的大气压力相同，所述探针123在其重力作用下，放置到所述探针盒的针槽中，从而完成所述探针123的安装。
[0050]在整个安装的过程中，均为机械式操作，所述探针123的探针头不会因为操作人员的手抖而碰到其他物品，保证了所述探针123的安全。而且在步骤8)中，可以多次调整所述探针123与所述探针盒中针槽的位置关系，也就不存在手动安装过程中的安装死角，从而提尚了安装的精度。
[0051]综上，在本实用新型实施例提供的机台探针更换装置中，将探针的包装盒放置在所述承放台上，所述第一探针吸取装置吸取所述探针，然后使所述第一连接头围绕所述第二立柱转动，带动所述第二横杆以及所述第一探针吸取装置转动，使所述第四连接头围绕所述第三立柱转动，带动所述第三横杆以及所述第二探针吸取装置转动，使得所述第一探针吸取装置和所述第二探针吸取装置相对，并通过所述第二连接头在所述第二立柱上的上下移动、所述第四连接头在所述第三立柱上的上下移动，调整所述第一探针吸取装置和所述第二探针吸取装置之间的距离。然后所述第二探针吸取装置吸取所述第一探针吸取装置上的所述探针，完成所述探针的翻面。再去掉所述承放台上的包装盒，将探针盒固定在所述承放台上，再调整所述第二连接头、所述第三连接头以及所述第四连接头，使得所述探针与所述探针盒中的针槽对准，然后将所述探针安装在所述探针盒的针槽中，在整个安装过程中，均为机械式操作，所述探针的探针头不会因为操作人员的手抖动碰到其他物品，保证了所述探针的安全，也提高了安装精度。
[0052]上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种机台探针更换装置，其特征在于，包括: 基座； 第一立柱，所述第一立柱垂直固定于所述基座的上表面； 第一连接头，所述第一立柱穿过所述第一连接头，所述第一连接头可沿所述第一立柱滑动以及围绕所述第一立柱转动； 第一横杆，所述第一横杆的一端与所述第一连接头连接，另一端与一承放台连接； 第二连接头，所述第一横杆穿过所述第二连接头，所述第二连接头可沿所述第一横杆滑动以及围绕所述第一横杆转动； 第二立柱，所述第二立柱的一端与所述第二连接头连接，所述第二立柱穿过一第三连接头，所述第三连接头可沿着所述第二立柱滑动以及围绕所述第二立柱转动； 第二横杆，所述第二横杆的一端与所述第三连接头连接，另一端与一第一探针吸取装置连接； 第三立柱，所述第三立柱的一端与所述第二连接头连接，所述第三立柱穿过一第四连接头，所述第四连接头可沿所述第三立柱滑动以及围绕所述第三立柱转动；以及 第三横杆，所述第三横杆的一端与所述第四连接头连接，另一端与一第二探针吸取装置连接。2.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第一横杆与所述基座的上表面平行。3.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二横杆与所述基座的上表面平行。4.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第三横杆与所述基座的上表面平行。5.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二立柱与所述第一横杆垂直。6.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二横杆和所述第二立柱垂直，所述第三横杆和所述第三立柱垂直。7.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二立柱和所述第三立柱在同一条直线上。8.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第一探针吸取装置包括一第一注射器，所述第一注射器的针头处设置一第一吸头，所述第一吸头所在一侧的内壁与所述第一注射器的推动阀连接。9.如权利要求8所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第一吸头所在一侧的内壁与所述第一注射器的推动阀通过一第一弹簧连接。10.如权利要求8所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第一吸头面向所述承放台，所述第一注射器的推动阀背离所述承放台。11.如权利要求1所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二探针吸取装置包括一第二注射器，所述第二注射器的针头处设置一第二吸头，所述第二吸头所在一侧的内壁与所述第二注射器的推动阀连接。12.如权利要求11所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二吸头所在一侧的内壁与所述第二注射器的推动阀通过一第二弹簧连接。13.如权利要求11所述的机台探针更换装置，其特征在于，所述第二吸头面向所述承放台，所述第二注射器的推动阀背离所述承放台。
【专利摘要】本实用新型提供了一种机台探针更换装置，包括：基座、第一立柱，所述第一立柱垂直固定于所述基座的上表面；第一连接头，所述第一立柱穿过所述第一连接头；第一横杆；第二连接头，所述第一横杆穿过所述第二连接头；第二立柱，所述第二立柱与所述第二连接头连接；第二横杆，所述第二横杆与所述第三连接头以及一第一探针吸取装置连接；第三立柱，所述第三立柱与所述第二连接头连接，所述第三立柱穿过一第四连接头；以及第三横杆，所述第三横杆与所述第四连接头以及一第二探针吸取装置连接。在安装过程中，均为机械式操作，所述探针的探针头不会因为操作人员的手抖动碰到其他物品，保证了所述探针的安全，也提高了安装精度。
【IPC分类】G01Q60/38
【公开号】CN204694732
【申请号】CN201520351706
【发明人】陆飞, 李文
【申请人】武汉新芯集成电路制造有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年5月27日
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