气供应系统的侦测装置的制造方法
气供应系统的侦测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种NH3气供应系统的侦测装置。
【背景技术】
[0002]在半导体行业中，见13气体系统的应用是非常广泛的，它被用于整个工厂各个重要的制程区域，同时气体的工艺要求非常高，如果工艺的问题导致制成的中断，将是对全厂造成重大影响。中芯国际上海厂由于受到产能的需求，见13气体的需求从建厂初期的每天1Lbs扩充到50Lbs，系统的需求将有了 NH3BSGS的系统的扩充，如何达到安全稳定将是我们追求的目标。
[0003]现有的順3气供应系统如图1所示，该系统是将NH3钢瓶11，例如Y钢瓶(Y-Cylinder)，供应到主阀箱(VDB)，再从主阀箱的stick连接点传输到气体分配箱(VMB)或气体分配盘(VMP)，再通过气体管路(HOOK UP)配管到各个机台。如果Y钢瓶用完或者出现故障，可以改用气瓶柜(Gas Cabinet, G/C)中备用的NH3钢瓶来供应。
[0004]但是现有的順3气供应系统有如下问题:(I)日常更换钢瓶频繁，与钢瓶口连接的管道(Pigtail)易于被NH3气腐蚀而发生泄漏；(2) NH3气为液态气体，需要使用加热夹克将液态NH3转变为气态NH 3，如果加热夹克发生故障，将会导致NH3气从泄压阀处泄漏。为了能及时监测到NH3气是否发生泄漏，目前会在Pigtail处设置一侦测器，但是由于Pigtail处为敞开的空间，对于真实监测有一定的影响。
[0005]因此，提供一种新的NH3气供应系统的侦测装置实属必要。
【实用新型内容】
[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种NH3气供应系统的侦测装置，用于解决现有技术中无法真实准确地监测到册13气钢发生漏泄的问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种NH3气供应系统的侦测装置，所述侦测装置至少包括:
[0008]NH3气供应钢瓶，所述NH 3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道；
[0009]盒体，底部开口且罩设在所述NH3气供应钢瓶上；
[0010]支架，支撑所述盒体并引导所述盒体移动；
[0011]风管，与所述盒体相连；
[0012]侦测器，安装在所述风管中。
[0013]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述支架包括支撑柱、固定于所述支撑柱之间的第一横梁、与所述第一横梁垂直且能在所述第一横梁长度方向上移动的第二横梁。
[0014]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述盒体放置于所述第二横梁上，且盒体能在所述第二横梁长度方向上移动，所述第二横梁通过滑轨在第一横梁上滑动。
[0015]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述支架包括一对支架，每一个支架上各放置一个盒体。
[0016]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述风管至少包括:分别与每一个盒体相连的软管、连接在所述软管之间的支撑硬管以及与所述支撑硬管连通的垂直管道。
[0017]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述侦测器安装在软管内壁上。
[0018]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述垂直管道通过一弯管与一阀箱相连。
[0019]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述NH 3气供应钢瓶外表面包覆有加热夹克。
[0020]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述NH 3气供应钢瓶上还设置有泄压阀。
[0021]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述NH 3气供应钢瓶的瓶口依次通过主阀箱、气体分配箱或气体分配盘配管到各个生产机台。
[0022]如上所述，本实用新型的NH3气供应系统的侦测装置，所述侦测装置包括:順3气供应钢瓶，所述NH3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道；底部开口的盒体，所述盒体罩设在所述NH3气供应钢瓶上；支架，用于支撑所述盒体并引导所示盒体移动；风管，与所述盒体相连；侦测器，安装在所述风管中。本实用新型将NH3气供应钢瓶罩设在盒体中，当瓶口管道(pigtail)连接处或泄压阀发生泄漏时，风管中的侦测器将准确无误的侦测到事故，及时发出警报，并且操作人员可以通过盒体的移动便捷的更换备用钢瓶。本实用新型的装置结构简单，操作方便，适用于工业化生产。
【附图说明】
[0023]图1为现有技术中NH3供应系统的结构示意图。
[0024]图2为本实用新型的册13供应系统的侦测装置中盒体与支架的结构示意图。
[0025]图3为本实用新型的册13供应系统的侦测装置的盒体与风管的结构示意图。
[0026]元件标号说明
[0027]11順3供应钢瓶
[0028]12盒体
[0029]13支架
[0030]131支撑柱
[0031]132第一横梁
[0032]133第二横梁
[0033]14风管
[0034]141软管
[0035]142支撑硬管
[0036]143三通管
[0037]144垂直管道
[0038]145弯管
[0039]15侦测器
[0040]16阀箱
【具体实施方式】
[0041]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0042]请参阅图2至图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0043]如图2?图3所示，本实用新型提供一种NH3供应系统的侦测装置，所述侦测装置至少包括:NH3气供应钢瓶11、盒体12、支架13、风管14、侦测器15。
[0044]所述NH3气供应钢瓶11可以是Y钢瓶(Y-Cyl inder)，所述NH 3气供应钢瓶11的瓶口通过供应管道依次与主阀箱、气体分配箱或气体分配盘配管相连，最后供应到各个生产机台。其中主阀箱、气体分配箱或气体分配盘配管在图2和图3中未予以图示。所述NH3气供应钢瓶11的钢瓶口连接有供应管道，但是由于供应管道的频繁更换，容易造成供应管道和瓶口连接处(Pigtail)的位置造成损伤，这将引起气体泄漏，影响气体的正常供应。另夕卜，所述NH3气供应钢瓶I外表面包覆有加热夹克(未予以图示)，钢瓶上设置有泄压阀(未予以图示)，加热夹克用来加热钢瓶时钢瓶中液态的氨转变为气态的氨，泄压阀用来保证钢瓶内部正常的压力，防止钢瓶发生意外。
[0045]所述盒体12底部开口，且盒体12罩设在所述NH3气供应钢瓶11上，尤其是要将瓶口的Pigtail置于盒体中，一旦发生pigtail的泄露，这个相对较为封闭的盒体12可以及时监测到。
[0046]所述支架13用于支撑所述盒体12，并引导所述盒体12移动。所述支架13可以包括一对支架，每一个支架13上各放置一个盒体12。每一个支架13包括支撑柱131、固定于所述支撑柱131之间的第一横梁132、与所述第一横梁132垂直且能在所述第一横梁132长度方向上移动的第二横梁133。所述盒体12放置于所述第二横梁133上，且盒体12能在所述第二横梁133长度方向上移动，所述第二横梁133通过滑轨在第一横梁132上滑动。所述盒体12也可以通过滑轨在第二横梁133上滑动，当然，第一横梁132与第二横梁133之间、盒体12与第二横梁133之间也可以是其他合适的方式，比如滚动，在此不作限制。通过第一横梁132、第二横梁133，所述盒体12可以在前后左右的方向上进行移动，通过盒体12移动，可以方便更换钢瓶。图2和图3中的箭头表示钢瓶需要被罩在盒体中。
[0047]所述风管14与盒体12相连。作为示例，所述风管14至少包括分别与每一个盒体12相连的软管141、连接在所述软管141之间的支撑硬管142以及与所述支撑硬管142连通的垂直管道144。进一步地，所述支撑硬管144与一侧的软管141间可以增加一个三通管143，通过三通管143与垂直管道144连通。更进一步地，在所述垂直管道144的末端还可以设置一个弯管145，该弯管145直接与阀箱16相连。
[0048]所述侦测器15安装在所述风管14中。优选地，所述侦测器15安装在与所述盒体12直接相连的软管141的管壁上，用于监测钢瓶连接处以及泄压阀是否发生气体的泄露，并发出警报。由于盒体12为封闭结构，一旦监测到气体发生泄露，侦测器15可以在第一时间准确无误的侦测到，此时技术人员应当立即移动盒体进行钢瓶的更换，防止意外发生。同时，泄漏的气体通过风管14可以排出至室外，保证室内人员的安全。
[0049]综上所述，本实用新型提供一种NH3气供应系统的侦测装置，所述装置包括:順3气供应钢瓶，所述NH3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道；底部开口的盒体，所述盒体罩设在所述NH3气供应钢瓶上；支架，用于支撑所述盒体并引导所示盒体移动；风管，与所述盒体相连；侦测器，安装在所述风管中。本实用新型将NH3气供应钢瓶罩设在盒体中，当瓶口管道(pigtail)连接处或泄压阀发生泄漏时，风管中的侦测器将准确无误的侦测到事故，及时发出警报，并且操作人员可以通过盒体的移动便捷的更换备用钢瓶。本实用新型的装置结构简单，操作方便，适用于工业化生产。
[0050]所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0051]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种NH 3气供应系统的侦测装置，其特征在于，所述侦测装置至少包括: NH3气供应钢瓶，所述NH 3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道； 盒体，底部开口且罩设在所述NH3气供应钢瓶上； 支架，支撑所述盒体并引导所述盒体移动； 风管，与所述盒体相连； 侦测器，安装在所述风管中。2.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述支架包括支撑柱、固定于所述支撑柱之间的第一横梁、与所述第一横梁垂直且能在所述第一横梁长度方向上移动的第二横梁。3.根据权利要求2所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述盒体放置于所述第二横梁上，且盒体能在所述第二横梁长度方向上移动，所述第二横梁通过滑轨在第一横梁上滑动。4.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述支架包括一对支架，每一个支架上各放置一个盒体。5.根据权利要求4所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述风管至少包括:分别与每一个盒体相连的软管、连接在所述软管之间的支撑硬管以及与所述支撑硬管连通的垂直管道。6.根据权利要求5所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述侦测器安装在软管内壁上。7.根据权利要求5所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述垂直管道通过一弯管与一阀箱相连。8.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述NH 3气供应钢瓶外表面包覆有加热夹克。9.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述NH 3气供应钢瓶上还设置有泄压阀。10.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述NH 3气供应钢瓶的瓶口通过供应管道依次与主阀箱、气体分配箱或气体分配盘配管相连，最后供应到各个生产机台。
【专利摘要】本实用新型提供一种NH3气供应系统的侦测装置，所述装置至少包括：NH3气供应钢瓶，所述NH3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道；底部开口的盒体，所述盒体罩设在所述NH3气供应钢瓶上；支架，用于支撑所述盒体并引导所示盒体移动；风管，与所述盒体相连；侦测器，安装在所述风管中。本实用新型将NH3气供应钢瓶罩设在盒体中，当瓶口管道(pigtail)连接处或泄压阀发生泄漏时，风管中的侦测器将准确无误的侦测到事故，及时发出警报，并且操作人员可以通过盒体的移动便捷的更换备用钢瓶。本实用新型的装置结构简单，操作方便，适用于工业化生产。
【IPC分类】F17C13/02
【公开号】CN204693033
【申请号】CN201520334479
【发明人】丁双根, 太双, 刁春华, 周鹏
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年5月22日
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种NH3气供应系统的侦测装置。
【背景技术】
[0002]在半导体行业中，见13气体系统的应用是非常广泛的，它被用于整个工厂各个重要的制程区域，同时气体的工艺要求非常高，如果工艺的问题导致制成的中断，将是对全厂造成重大影响。中芯国际上海厂由于受到产能的需求，见13气体的需求从建厂初期的每天1Lbs扩充到50Lbs，系统的需求将有了 NH3BSGS的系统的扩充，如何达到安全稳定将是我们追求的目标。
[0003]现有的順3气供应系统如图1所示，该系统是将NH3钢瓶11，例如Y钢瓶(Y-Cylinder)，供应到主阀箱(VDB)，再从主阀箱的stick连接点传输到气体分配箱(VMB)或气体分配盘(VMP)，再通过气体管路(HOOK UP)配管到各个机台。如果Y钢瓶用完或者出现故障，可以改用气瓶柜(Gas Cabinet, G/C)中备用的NH3钢瓶来供应。
[0004]但是现有的順3气供应系统有如下问题:(I)日常更换钢瓶频繁，与钢瓶口连接的管道(Pigtail)易于被NH3气腐蚀而发生泄漏；(2) NH3气为液态气体，需要使用加热夹克将液态NH3转变为气态NH 3，如果加热夹克发生故障，将会导致NH3气从泄压阀处泄漏。为了能及时监测到NH3气是否发生泄漏，目前会在Pigtail处设置一侦测器，但是由于Pigtail处为敞开的空间，对于真实监测有一定的影响。
[0005]因此，提供一种新的NH3气供应系统的侦测装置实属必要。
【实用新型内容】
[0006]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种NH3气供应系统的侦测装置，用于解决现有技术中无法真实准确地监测到册13气钢发生漏泄的问题。
[0007]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种NH3气供应系统的侦测装置，所述侦测装置至少包括:
[0008]NH3气供应钢瓶，所述NH 3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道；
[0009]盒体，底部开口且罩设在所述NH3气供应钢瓶上；
[0010]支架，支撑所述盒体并引导所述盒体移动；
[0011]风管，与所述盒体相连；
[0012]侦测器，安装在所述风管中。
[0013]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述支架包括支撑柱、固定于所述支撑柱之间的第一横梁、与所述第一横梁垂直且能在所述第一横梁长度方向上移动的第二横梁。
[0014]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述盒体放置于所述第二横梁上，且盒体能在所述第二横梁长度方向上移动，所述第二横梁通过滑轨在第一横梁上滑动。
[0015]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述支架包括一对支架，每一个支架上各放置一个盒体。
[0016]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述风管至少包括:分别与每一个盒体相连的软管、连接在所述软管之间的支撑硬管以及与所述支撑硬管连通的垂直管道。
[0017]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述侦测器安装在软管内壁上。
[0018]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述垂直管道通过一弯管与一阀箱相连。
[0019]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述NH 3气供应钢瓶外表面包覆有加热夹克。
[0020]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述NH 3气供应钢瓶上还设置有泄压阀。
[0021]作为本实用新型NH3气供应系统的侦测装置的一种优化的结构，所述NH 3气供应钢瓶的瓶口依次通过主阀箱、气体分配箱或气体分配盘配管到各个生产机台。
[0022]如上所述，本实用新型的NH3气供应系统的侦测装置，所述侦测装置包括:順3气供应钢瓶，所述NH3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道；底部开口的盒体，所述盒体罩设在所述NH3气供应钢瓶上；支架，用于支撑所述盒体并引导所示盒体移动；风管，与所述盒体相连；侦测器，安装在所述风管中。本实用新型将NH3气供应钢瓶罩设在盒体中，当瓶口管道(pigtail)连接处或泄压阀发生泄漏时，风管中的侦测器将准确无误的侦测到事故，及时发出警报，并且操作人员可以通过盒体的移动便捷的更换备用钢瓶。本实用新型的装置结构简单，操作方便，适用于工业化生产。
【附图说明】
[0023]图1为现有技术中NH3供应系统的结构示意图。
[0024]图2为本实用新型的册13供应系统的侦测装置中盒体与支架的结构示意图。
[0025]图3为本实用新型的册13供应系统的侦测装置的盒体与风管的结构示意图。
[0026]元件标号说明
[0027]11順3供应钢瓶
[0028]12盒体
[0029]13支架
[0030]131支撑柱
[0031]132第一横梁
[0032]133第二横梁
[0033]14风管
[0034]141软管
[0035]142支撑硬管
[0036]143三通管
[0037]144垂直管道
[0038]145弯管
[0039]15侦测器
[0040]16阀箱
【具体实施方式】
[0041]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0042]请参阅图2至图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0043]如图2?图3所示，本实用新型提供一种NH3供应系统的侦测装置，所述侦测装置至少包括:NH3气供应钢瓶11、盒体12、支架13、风管14、侦测器15。
[0044]所述NH3气供应钢瓶11可以是Y钢瓶(Y-Cyl inder)，所述NH 3气供应钢瓶11的瓶口通过供应管道依次与主阀箱、气体分配箱或气体分配盘配管相连，最后供应到各个生产机台。其中主阀箱、气体分配箱或气体分配盘配管在图2和图3中未予以图示。所述NH3气供应钢瓶11的钢瓶口连接有供应管道，但是由于供应管道的频繁更换，容易造成供应管道和瓶口连接处(Pigtail)的位置造成损伤，这将引起气体泄漏，影响气体的正常供应。另夕卜，所述NH3气供应钢瓶I外表面包覆有加热夹克(未予以图示)，钢瓶上设置有泄压阀(未予以图示)，加热夹克用来加热钢瓶时钢瓶中液态的氨转变为气态的氨，泄压阀用来保证钢瓶内部正常的压力，防止钢瓶发生意外。
[0045]所述盒体12底部开口，且盒体12罩设在所述NH3气供应钢瓶11上，尤其是要将瓶口的Pigtail置于盒体中，一旦发生pigtail的泄露，这个相对较为封闭的盒体12可以及时监测到。
[0046]所述支架13用于支撑所述盒体12，并引导所述盒体12移动。所述支架13可以包括一对支架，每一个支架13上各放置一个盒体12。每一个支架13包括支撑柱131、固定于所述支撑柱131之间的第一横梁132、与所述第一横梁132垂直且能在所述第一横梁132长度方向上移动的第二横梁133。所述盒体12放置于所述第二横梁133上，且盒体12能在所述第二横梁133长度方向上移动，所述第二横梁133通过滑轨在第一横梁132上滑动。所述盒体12也可以通过滑轨在第二横梁133上滑动，当然，第一横梁132与第二横梁133之间、盒体12与第二横梁133之间也可以是其他合适的方式，比如滚动，在此不作限制。通过第一横梁132、第二横梁133，所述盒体12可以在前后左右的方向上进行移动，通过盒体12移动，可以方便更换钢瓶。图2和图3中的箭头表示钢瓶需要被罩在盒体中。
[0047]所述风管14与盒体12相连。作为示例，所述风管14至少包括分别与每一个盒体12相连的软管141、连接在所述软管141之间的支撑硬管142以及与所述支撑硬管142连通的垂直管道144。进一步地，所述支撑硬管144与一侧的软管141间可以增加一个三通管143，通过三通管143与垂直管道144连通。更进一步地，在所述垂直管道144的末端还可以设置一个弯管145，该弯管145直接与阀箱16相连。
[0048]所述侦测器15安装在所述风管14中。优选地，所述侦测器15安装在与所述盒体12直接相连的软管141的管壁上，用于监测钢瓶连接处以及泄压阀是否发生气体的泄露，并发出警报。由于盒体12为封闭结构，一旦监测到气体发生泄露，侦测器15可以在第一时间准确无误的侦测到，此时技术人员应当立即移动盒体进行钢瓶的更换，防止意外发生。同时，泄漏的气体通过风管14可以排出至室外，保证室内人员的安全。
[0049]综上所述，本实用新型提供一种NH3气供应系统的侦测装置，所述装置包括:順3气供应钢瓶，所述NH3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道；底部开口的盒体，所述盒体罩设在所述NH3气供应钢瓶上；支架，用于支撑所述盒体并引导所示盒体移动；风管，与所述盒体相连；侦测器，安装在所述风管中。本实用新型将NH3气供应钢瓶罩设在盒体中，当瓶口管道(pigtail)连接处或泄压阀发生泄漏时，风管中的侦测器将准确无误的侦测到事故，及时发出警报，并且操作人员可以通过盒体的移动便捷的更换备用钢瓶。本实用新型的装置结构简单，操作方便，适用于工业化生产。
[0050]所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0051]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【主权项】
1.一种NH 3气供应系统的侦测装置，其特征在于，所述侦测装置至少包括: NH3气供应钢瓶，所述NH 3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道； 盒体，底部开口且罩设在所述NH3气供应钢瓶上； 支架，支撑所述盒体并引导所述盒体移动； 风管，与所述盒体相连； 侦测器，安装在所述风管中。2.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述支架包括支撑柱、固定于所述支撑柱之间的第一横梁、与所述第一横梁垂直且能在所述第一横梁长度方向上移动的第二横梁。3.根据权利要求2所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述盒体放置于所述第二横梁上，且盒体能在所述第二横梁长度方向上移动，所述第二横梁通过滑轨在第一横梁上滑动。4.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述支架包括一对支架，每一个支架上各放置一个盒体。5.根据权利要求4所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述风管至少包括:分别与每一个盒体相连的软管、连接在所述软管之间的支撑硬管以及与所述支撑硬管连通的垂直管道。6.根据权利要求5所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述侦测器安装在软管内壁上。7.根据权利要求5所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述垂直管道通过一弯管与一阀箱相连。8.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述NH 3气供应钢瓶外表面包覆有加热夹克。9.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述NH 3气供应钢瓶上还设置有泄压阀。10.根据权利要求1所述的NH3气供应系统的侦测装置，其特征在于:所述NH 3气供应钢瓶的瓶口通过供应管道依次与主阀箱、气体分配箱或气体分配盘配管相连，最后供应到各个生产机台。
【专利摘要】本实用新型提供一种NH3气供应系统的侦测装置，所述装置至少包括：NH3气供应钢瓶，所述NH3气供应钢瓶的钢瓶口连接有供应管道；底部开口的盒体，所述盒体罩设在所述NH3气供应钢瓶上；支架，用于支撑所述盒体并引导所示盒体移动；风管，与所述盒体相连；侦测器，安装在所述风管中。本实用新型将NH3气供应钢瓶罩设在盒体中，当瓶口管道(pigtail)连接处或泄压阀发生泄漏时，风管中的侦测器将准确无误的侦测到事故，及时发出警报，并且操作人员可以通过盒体的移动便捷的更换备用钢瓶。本实用新型的装置结构简单，操作方便，适用于工业化生产。
【IPC分类】F17C13/02
【公开号】CN204693033
【申请号】CN201520334479
【发明人】丁双根, 太双, 刁春华, 周鹏
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年5月22日
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