磁力测量装置、气体池以及它们的制造方法
磁力测量装置、气体池以及它们的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及磁力测量装置的制造方法、气体池的制造方法、磁力测量装置以及气体池。
【背景技术】
[0002]向封有碱金属气体的气体池上照射直线偏光、并根据偏光面的旋转角测定磁场的光抽运式磁力测量装置是公知的。作为这种磁力测量装置的气体池的制造方法，在专利文献1中公开了如下的方法:通过将封有碱金属的安瓿收纳在玻璃构成的池内，并在该安瓿上照射激光，从而将安瓿破坏(在安瓿上形成贯通孔)，使池内充满气化的碱金属的蒸气。
[0003]【现有技术文献】
[0004]【专利文献】
[0005]【专利文献1】特开2012-183290号公报
【发明内容】
[0006]通过池(cell)进行对收纳于池内的安瓿的激光照射，但是此时，破坏安瓿的同时，必须避免池受到激光的损害。而且，一旦安瓿的玻璃材料溶解后产生不必要的气体，会导致气体池(gas cell)性能低下，所以必须避免安瓿的玻璃材料的溶解。但是，在专利文献1中记载的气体池的制造方法中，虽然公开了池的玻璃材料，但是并没有公开安瓿的玻璃材料，而且也未公开激光的照射条件等。因此，需要能够在不损坏池且不使安瓿的玻璃材料溶解的情况下加工安瓿而稳定地制造的、具有优异性能的气体池和磁力测量装置及它们的制造方法。
[0007]解决课题的方法
[0008]本发明可至少解决一部分的上述课题，并且能以下面的实施方式或应用例来实现。
[0009]【应用例1】本应用例涉及的磁力测量装置的制造方法是测量从活体产生的磁场的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤:在由第一玻璃构成的池部的空隙中配置由与所述第一玻璃材料不同的第二玻璃材料构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，并密封所述池部；以及使脉冲光通过所述池部照射在所述安瓿上，从而在所述安瓿上形成贯通孔；其中，所述脉冲光的能量为20 μ J/脉冲至200 μ J/脉冲。
[0010]根据本应用例的制造方法，在由第一玻璃材料构成的池部的空隙中配置由第二玻璃材料构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，脉冲光通过池部照射在该安瓿上，从而形成贯通孔。这样，由于填充于安瓿的中空部的材料物质气化流出，充满池部的空隙，所以能制造出磁力测量装置的气体池。这里，由于池部和安瓿是由彼此不同的玻璃材料构成，所以通过使用透过池部(第一玻璃材料)而被安瓿(第二玻璃材料)吸收的脉冲光，能在不损坏池部的情况下选择性地对安瓿进行加工。而且，通过将脉冲光的能量设为20 μ J/脉冲?200 μ J/脉冲，不仅避免安瓿的溶解，还能可靠地在安瓿上形成贯通孔。结果，能稳定地制造具有优异性能的气体池及磁力测量装置。
[0011]【应用例2】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述第一玻璃对上述脉冲光的吸收系数比上述第二玻璃对上述脉冲光的吸收系数小。
[0012]根据本应用例的制造方法，由于第一玻璃对所照射的脉冲光的吸收系数比第二玻璃的吸收系数小，脉冲光透过池部(第一玻璃材料)而被安瓿(第二玻璃材料)吸收。这样，就能在不损坏池部的情况下选择性地对安瓿进行加工。
[0013]【应用例3】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述脉冲光为激光。
[0014]根据本应用例的制造方法，由于激光具有优异的指向性和收敛性(収束性)，所以可通过将激光照射于安瓿，在安瓿上形成贯通孔。
[0015]【应用例4】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述脉冲光为紫外光。
[0016]根据本应用例的制造方法，由于照射作为脉冲光的紫外线，通过将第一玻璃材料设为对紫外线的吸收系数小的材料并将第二玻璃材料设为对紫外光的吸收系数大的材料，脉冲光将透过池部(第一玻璃材料)被安瓿(第二玻璃材料)吸收。
[0017]【应用例5】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述脉冲光的波长带(波段)为248nm?355nm。
[0018]根据本应用例的制造方法，由于脉冲光的波长带为248nm?355nm，可照射紫外光的脉冲光。
[0019]【应用例6】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述脉冲光的脉冲宽度是纳秒。
[0020]根据本应用例的制造方法，由于脉冲光的脉冲宽度是纳秒级，可在稳定状态下加工。
[0021]【应用例7】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，上述脉冲光的脉冲宽度为10纳秒?50纳秒为佳。
[0022]根据本应用例的制造方法，由于脉冲光的脉冲宽度为10纳秒?50纳秒，所以可抑制热导致的影响，在稳定状态下进行加工。
[0023]【应用例8】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述材料物质为碱金属。
[0024]根据本应用例的制造方法，由于安瓿的中空部填充碱金属，所以在安瓿上形成贯通孔后，可使碱金属的气体从中空部流出，填满池部的空隙。
[0025]【应用例9】本应用例涉及的气体池的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤:在由第一玻璃材料构成的池部的空隙中配置由与所述第一玻璃材料不同的第二玻璃材料构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，并密封所述池；以及使脉冲光通过所述池部照射在所述安瓿上，从而在所述安瓿上形成贯通孔；其中，所述脉冲光的能量为20 μ J/脉冲至200 μ J/脉冲。
[0026]根据本应用例的制造方法，可制造具有优异性能的气体池。
[0027]【应用例10】本应用例涉及的磁力测量装置的特征在于，通过上述应用例的磁力测量装置的制造方法来制造。
[0028]根据本应用例的构成，可提供具有优异性能的磁力测量装置。
[0029]【应用例11】本应用例涉及的气体池的特征在于，通过上述应用例的气体池的制造方法来制造。
[0030]根据本应用例的构成，可提供具有优异性能的气体池。
【附图说明】
[0031]图1是示出本实施方式涉及的磁力测量装置的构成的框图。
[0032]图2(a)至图2(c)是本实施方式涉及的气体池以及安瓿的构成的概略截面图。
[0033]图3(a)至图3(c)是说明本实施方式涉及的气体池的制造方法的图。
[0034]图4是示出比较光的波长和玻璃材料的透过率之间关系的图。
【具体实施方式】
[0035]以下，参照【附图说明】本发明的【具体实施方式】。为了能辨识要说明的部分，将适当地放大、缩小或夸大所用的附图。此外，图中可能省略除了说明所必需的构成要素以外的构成要素。
[0036]<磁力测量装置的构成>
[0037]关于本实施方式涉及的磁力测量装置，参照图1进行说明。图1为本实施方式涉及的磁力测量装置的构成的框图。本实施方式涉及的磁力测量装置100是使用非线性光学旋转(Nonlinear Magneto-Optical Rotat1n:NM0R)的磁力测量装置。磁力测量装置100用于活体状态测定装置(心磁计或脑磁计等)，所述活体状态测定装置用于测定例如来自心脏的磁场(心磁)和来自脑的磁场(脑磁)等从活体产生的微小磁场。
[0038]如图1所示，磁力测量装置100具备光源1、光纤2、连接器3、偏光板4、气体池10、偏光分离器5、光检测器((Photo Detector:Η))、光检测器7、信号处理回路8和显示装置
9。气体池10内封有碱金属气体(气体状态的碱金属原子)。碱金属可用铯(Cs)、铷(Rb)、钾(K)、钠(Na)等。以下是以铯作为碱金属为例进行说明。
[0039]光源1是输出对应于铯的吸收线的波长(例如相当于D1线的894nm)的激光束的装置，例如，是可调谐激光器。从光源1输出的激光束是具有连续的恒定光量的光，也就是所谓的CW(Continuous Wave，连续波)光。
[004 0]偏光板4是使激光束在特定方向上偏振，变成直线偏光的素子。光纤2是使从光源1输出的激光束导入到气体池10侧的构件。光纤2中使用的是例如仅以基本模式传播的单模式光纤。连接器3是将光纤2连接至偏光板4的构件。连接器3以旋入方式将光纤2连接至偏光板4。
[0041]气体池是10是内部有空隙的箱(池)，在该空隙中封入了碱金属(在此例中是铯)的气体。下文描述有关气体池10的构成。
[0042]偏光分离器5是将入射的激光束分离成相互直交的2个偏振光成分的光束的素子。偏光分离器5是例如渥拉斯顿棱镜(々才歹只卜>7° y Χ'Λ )或偏振光束分离器。光检测器6和光检测器7是对激光束波长灵敏的检测器，它将与入射光光量对应的电流输出到信号处理回路8。由于光检测器6和光检测器7自身一旦产生磁场将可能影响检测，所以优选由非磁性材料构成。从气体池10来看，光检测器6和光检测器7与偏光分离器5配置在相同侧(下游侧)。
[0043]沿激光束的路径来说明磁力测量装置100各个部分的装置，光源1位于激光束路径的最上游，之后，从上游侧开始依次配置光纤2、连接器3、偏光板4、气体池10、偏振光分离器5以及光检测器6、7。
[0044]沿激光束的行进说明磁力测量装置100各部分的动作。从光源1输出的激光束经光纤2引导到达偏光板4。到达偏光板4的激光束变成偏光度更高的直线偏光。透过气体池10的激光束激发(光抽运)封入气体池10内的碱金属原子。此时，激光束受到与磁场强度对应的偏光面旋转作用，偏光面旋转。透过气体池10的激光束因偏光分离器5被分离成2个偏光成分的光束。在光检测器6和光检测器7检测2个偏光成分的光束的光量。
[0045]信号处理回路8接收表不分别由光检测器6和光检测器7测量的光束的光量的信号。信号处理回路8根据接收的各信号测量激光束的偏光面的旋转角。偏光面的旋转角由基于激光束的传播方向的磁场强度的函数表示(例如，参照D.Budker以及其他5人，《原子?共鳴非線形磁気光学回転効果》，U匕、1一.才7、'..7 4夕夕只誌(《原子的共鸣非线性磁力光学旋转效果》，现代物理杂志评论)，美国，美国物理学会，2002年10月，第7卷，第4号，第1153-1201页的数学公式(2)。该数学公式(2)涉及线性光学旋转，但是NM0R的情况下也可以使用基本同样的公式)。信号处理回路8根据偏光面的旋转角测定激光束的传播方向上的磁场强度。显示装置9显示信号处理回路8测定出的磁场强度。
[0046]接下来，参照图2(a)至图2(c)说明本实施方式涉及的气体池和用于气体池的安瓿。图2(a)至图2(c)为本实施方式涉及的气体池以及安瓿的构成的概略截面图。具体地，图2(a)是气体池的概略截面图，图2(b)为安瓿的概略截面图，图2(c)是沿图2(b)A — A’线的概略截面图。
[0047]〈气体池的构成〉
[0048]图2 (a)是本实施方式涉及的气体池的概略截面图。图2 (a)中，以气体池10的高度方向为Z轴，其上方侧设为+Z方向。以与Z轴交叉的方向的、气体池10的长度方向为X轴，图2(a)中的右侧设为+X方向。而且，以与Z轴和X轴交叉的方向的、气体池10的宽度方向为Y轴，从图2 (a)纸平面的前方朝向背侧设为+Y方向。
[0049]如图2(a)所示，本实施方式涉及的气体池10由池部12和密封部19构成。池部12是内部有空隙的箱(池)，由作为第一玻璃材料的石英玻璃形成。池部12的内壁可涂上例如石蜡等。池部12的厚度例如约1.5mm。池部12具有主室14和储存部16作为内部的空隙。主室14和储存部16由连通孔15连通。连通孔15的内径例如约为0.4mm?1mm。
[0050]池部12的内部空隙中封入了碱金属气体13。池部12的内部空隙中，除碱金属气体13外，还可存在稀有气体等惰性气体。储存部16中配置有安瓿20。池部12的储存部16侧的端部上设有开口部18。开口部18被密封部19密封，由此，池部12被密封。密封部19的材料可采用例如低熔点的玻璃熔块(力'歹只7 y、y卜)。
[0051]〈安瓿的构成〉
[0052]图2(b)示出了安瓿20的X — Z截面。如图2(b)所示，本实施方式涉及的安瓿20由中空状的玻璃管22构成。玻璃管22是由作为第二玻璃材料的硼硅酸玻璃形成。
[0053]玻璃管22沿一个方向(在图2(b)中是X轴)延伸，其两端部被熔接。由此，内部为中空状的玻璃管22被密封。此外，玻璃管22的两端部的形状不限于图2(b)所示的圆形，也可以是接近于平面的形状、一部分尖锐的形状等。玻璃管22的中空状内部填充有作为材料物质的碱金属固体22(颗粒状、粉末状的碱金属原子)。如上所述，除了铯外，碱金属固体24也可用铷、钾和钠。
[0054]图2 (b)示出了安瓿20 (玻璃管22)被密封的状态。安瓿20在制造阶段处于密封状态，但在图2(a)所示的气体池10的完成阶段，在玻璃管22上形成有贯通孔，密封被破坏。由此，安瓿20内的碱金属固体24蒸发，从气体池10内流出，碱金属气体13充满池部12的空隙。此外，为了使碱金属固体24容易从安瓿20内蒸发流出，安瓿20的上表面和池部12的内表面之间设有例如约1.5mm的间隙。
[0055]图2 (c)不出了安瓶20的Y — Z截面。如图2 (c)所不，玻璃管22的Y — Z截面形状为大致圆形，但是也可以是其他形状。玻璃管22的外径Φ为0.2mm € Φ ^ 1.2mm。玻璃管22的厚度t为0.1mm f t 5 0.5mm，优选大约为外径Φ的20%。若玻璃管22的厚度t不满0.1mm，则玻璃管22容易破损；若玻璃管22的厚度超过0.5mm，在玻璃管22上设置贯通孔21等加工(将在下文详细描述)将变得困难。
[0056]<气体池的制造方法>
[0057]参照图3(a)至图3(c)说明气体池10的制造方法。图3 (a)至图3(c)为说明本实施方式涉及的气体池的制造方法的图。
[0058]首先，准备图3(a)所示的池部12。尽管省略图示，但是，例如，切断石英玻璃构成的玻璃板，以准备与构成池部12的各壁面对应的玻璃板构件。然后，组装这些玻璃板构件，玻璃板构件之间通过粘着剂或熔接来接合，以得到图3(a)所示的池部12。在此阶段中，使池部12的开口部18开放。
[0059]然后，在池部12的储存部16内收纳安瓿20。从在池部12的储存部16 —侧设置的开口部18插入安瓿20，收纳在储存部16内。在此阶段，安瓿20处于中空状的玻璃管22内部填充有金属固体24并且被密封的状态。
[0060]此外，在接近真空的低压环境下(理想为真空中)，在管状的玻璃管22的中空部中填充碱金属固体24后，分别溶接、密封玻璃管22的两端部，从而形成安瓿20 (参照图2(b))。由于用作碱金属固体24的铯等碱金属的反应性强，不能在大气中处理，因此，以在低压环境下密封在安瓿20内的状态收纳于池部12中。
[0061]然后，充分进行池部12内的脱气，在内部空隙中杂质极少的状态下，如图3(b)所示，密封池部12。例如，在接近真空的低压环境下(理想状态为真空中)，用密封部19密封池部12的开口部18，从而密封池部12。
[0062]然后，如图3 (c)所示，将作为脉冲光的脉冲激光40用聚光透镜42聚光，经过池部12照射到安瓿20的玻璃管22 (参照图2 (b))。由此，在玻璃管22上形成贯通孔21，使安瓿20内的碱金属固体24(参照图2(b))蒸发，并流出到气体池10的空隙中。由于激光具有优异的指向性和收敛性，所以通过照射脉冲激光40，容易在玻璃管22上形成贯通孔21。
[0063]在形成此贯通孔21的步骤中，必须在不损伤池部12的情况下仅加工安瓿20的玻璃管22 (参照图2(b))。而且，一旦在形成贯通孔21时玻璃管22溶解，就会产生不必要的气体，与碱金属固体24反应，由此气体池20的性能显著下降。因此，有必要在不使安瓿20的玻璃管22溶解的 情况下形成贯通孔21。因此，在本实施方式中，脉冲激光40的照射条件如下。
[0064]首先，作为脉冲激光40，使用为紫外线区域的波长带的248nm?355nm的脉冲激光40。图4为示出比较光的波长和玻璃材料的透过率之间关系的图。如图4所示，在光的波长为250nm?400nm的范围内，石英玻璃的透过率为约95%，几乎没有变化。另一方面，图4中示出的硼硅酸玻璃的透过率在光的波长直至270nm时为约0% ;但是在270nm?350nm范围内增大，350nm以上时透过率变成约90%。此外，图4所示的透过率示出的是一个例子，例如，根据构成硼硅酸玻璃的成分的混合比的不同，硼硅酸玻璃的透过率可与图4所示的例子不同。
[0065]这样，对于紫外线区域的波长带的光(以下称为紫外光)，石英玻璃的透过率比硼硅酸玻璃的透过率高。换言之，对于紫外光，石英玻璃的吸收系数比硼硅酸玻璃的吸收系数小。所以，紫外光的脉冲激光40透过石英玻璃，而被硼硅酸玻璃吸收。由此，不会损伤池部12，可选择性地加工玻璃管22。
[0066]在本实施方式中，脉冲激光40用的是YAG激光的三次谐波(THG)激光，也可用四次谐波(FHG)激光。此外，可以考虑如下的方法:使安瓿20的玻璃管22的材料是与池部12相同的石英玻璃，并在这种材料中混入对紫外光的吸收系数高的材料(例如陶瓷、金属等)。但是，这种情况下，将脉冲激光40照射到玻璃管22上形成贯通孔21时，可能从混合的材料产生不必要的气体，与碱金属固体24反应，从而显著降低气体池10的性能。
[0067]其次，脉冲激光40的能量为20 μ J/脉冲?200 μ J/脉冲。如果脉冲激光40的能量低，加工深度变浅，难以贯通玻璃管22以打破密封。另一方面，如果脉冲激光40的能量高，加工变深，但是有可能照射到碱金属固体24而发热，从而玻璃管22溶解。将脉冲激光40的能量设为20 μ J/脉冲?200 μ J/脉冲，可以在避免玻璃管22的溶解的同时，可靠地形成贯通孔21并打破安瓿20的密封。
[0068]其次，脉冲激光40的脉冲宽度为纳秒级。更为具体地说，脉冲激光40的脉冲宽度为10纳秒至50纳秒，优选约30纳秒。如果脉冲激光40的脉冲宽度大，虽然加工量变大，但易受到热的影响。如果脉冲激光40的脉冲宽度小，虽然受热的影响减小，但加工量也减小。而且，如果脉冲宽度小至飞秒，可能会降低批量生产的稳定性。通过将脉冲激光40的脉冲宽度设为10纳秒至50纳秒，可在抑制热影响，在稳定状态下在玻璃管22上形成贯通孔21。
[0069]以在安瓿20的上表面形成焦点的方式照射脉冲激光40。如果通过作为图3(c)所示的集光透镜的例如焦距为78mm的透镜使脉冲激光40聚集，聚集的光束的点直径为约10 μ mD此外，脉冲激光40的照射时间为，例如约300毫秒(msec)。
[0070]这样，通过在安瓿20 (玻璃管22)上形成贯通孔21，在池部12的储存部16内打破安瓿20的密封。由此，从安瓿20内蒸发碱金属固体24，变成碱金属气体13，流出至储存部16中。流出至储存部16内的碱金属气体13通过连通孔15流入池部12的主室14并扩散。结果，如图2(a)所示，池部12的空隙充满碱金属气体13。
[0071]此外，在形成贯通孔21的步骤中，由于只要可打破安瓿20的密封、从安瓿20蒸发并流出碱金属固体24即可，所以贯通孔21不形成美观的形状也可。而且，只要玻璃管22不溶解，可形成多个贯通孔21，也可以使玻璃管22上长生龟裂后切断，也可破坏玻璃管22。而且，不仅使碱金属固体24从安瓿20蒸发并流出，而且还使碱金属固体24释放到池部12的空隙。
[0072]如以上所述，根据本实施方式涉及的气体池的制造方法，能够在不损坏池部12且不溶解安瓿20的玻璃管22的情况下，以稳定状态加工安瓿20并制造出具有优异性能的气体池10。而且，由于使用外径Φ为约0.2mm?1.2mm的小型安瓿20，所以可制造小型的气体池10。
[0073]而且，本实施方式涉及的磁力测量装置的制造方法包括上述气体池的制造方法。所以，可提供具有优异性能的小型磁力测量装置100。此外，除了制造气体池10的步骤以夕卜，制造本实施方式涉及的磁力测量装置100的其他步骤可采用公知的方法，因此省略其说明。
[0074]上述的实施方式仅仅是本发明的一个例子，可以在本发明范围内进行任意的变形以及应用。例如，可以考虑以下的变形例。
[0075](变形例1)
[0076]适用上述实施方式涉及的气体池10的装置不限于磁力测量装置100。气体池10也可适用于例如原子钟等原子振荡器。用于原子振荡器的气体池需要小型化，由于根据上述实施方式的气体池的制造方法，可以制造小型的气体池10，所以可适用于小型的原子振荡器。
[0077]符号说明
[0078]10气体池、12池部、14主室(空隙)、16储存部(空隙)、20安瓿、21贯通孔、22玻璃管、24碱金属固体(碱金属)、40脉冲激光(脉冲光、激光)、100磁力测量装置。
【主权项】
1.一种磁力测量装置的制造方法，所述磁力测量装置测量从活体产生的磁场，所述制造方法的特征在于，包括以下步骤: 在由第一玻璃构成的池的空隙中配置由与所述第一玻璃不同的第二玻璃构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，密封所述池，以及 使脉冲光通过所述池照射在所述安瓿上，从而在所述安瓿上形成贯通孔， 其中，所述脉冲光的能量为20 μ J/脉冲至200 μ J/脉冲。2.根据权利要求1所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述第一玻璃对所述脉冲光的吸收系数比所述第二玻璃对所述脉冲光的吸收系数小。3.根据权利要求1或2所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述脉冲光为激光。4.根据权利要求1至3中任一项所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述脉冲光为紫外光。5.根据权利要求4所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述脉冲光的波长带为 248nm 至 355nm。6.根据权利要求1至5中任一项所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述脉冲光的脉冲宽度为纳秒。7.根据权利要求6所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述脉冲光的脉冲宽度为10纳秒至50纳秒。8.根据权利要求1至7中任一项所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述材料物质为碱金属。9.一种气体池的制造方法，所述制造方法的特征在于，包括以下步骤: 在由第一玻璃构成的池的空隙中配置由与所述第一玻璃不同的第二玻璃构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，密封所述池，以及 使脉冲光通过所述池照射在所述安瓿上，从而在所述安瓿上形成贯通孔， 其中，所述脉冲光的能量为20 μ J/脉冲至200 μ J/脉冲。10.一种磁力测量装置，其特征在于通过权利要求1至8中任一项所述的磁力测量装置的制造方法制造。11.一种气体池，其特征在于通过权利要求9所述的气体池的制造方法制造。
【专利摘要】提供能在不损坏池且不溶解安瓿的玻璃材料的情况下稳定加工安瓿的磁力测量装置、气体池以及它们的制造方法。测量从活体产生的磁场的磁力测量装置(100)的制造方法，包括以下步骤：在石英玻璃构成的池部(12)的空隙中配置硼硅酸玻璃构成的且在中空部填充有碱金属固体(24)的安瓿(20)，并密封池部(12)；使脉冲激光(40)通过池部12照射在安瓿(20)上，从而在安瓿(20)上形成贯通孔(21)，脉冲激光(40)的能量为20μJ/脉冲至200μJ/脉冲。石英玻璃对脉冲激光(40)的吸收系数比硼硅酸玻璃对脉冲激光(40)的吸收系数小。
【IPC分类】G01R33/02
【公开号】CN105487022
【申请号】CN201510641865
【发明人】藤井永一, 长坂公夫
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年9月30日
【公告号】US20160097824
【技术领域】
[0001]本发明涉及磁力测量装置的制造方法、气体池的制造方法、磁力测量装置以及气体池。
【背景技术】
[0002]向封有碱金属气体的气体池上照射直线偏光、并根据偏光面的旋转角测定磁场的光抽运式磁力测量装置是公知的。作为这种磁力测量装置的气体池的制造方法，在专利文献1中公开了如下的方法:通过将封有碱金属的安瓿收纳在玻璃构成的池内，并在该安瓿上照射激光，从而将安瓿破坏(在安瓿上形成贯通孔)，使池内充满气化的碱金属的蒸气。
[0003]【现有技术文献】
[0004]【专利文献】
[0005]【专利文献1】特开2012-183290号公报
【发明内容】
[0006]通过池(cell)进行对收纳于池内的安瓿的激光照射，但是此时，破坏安瓿的同时，必须避免池受到激光的损害。而且，一旦安瓿的玻璃材料溶解后产生不必要的气体，会导致气体池(gas cell)性能低下，所以必须避免安瓿的玻璃材料的溶解。但是，在专利文献1中记载的气体池的制造方法中，虽然公开了池的玻璃材料，但是并没有公开安瓿的玻璃材料，而且也未公开激光的照射条件等。因此，需要能够在不损坏池且不使安瓿的玻璃材料溶解的情况下加工安瓿而稳定地制造的、具有优异性能的气体池和磁力测量装置及它们的制造方法。
[0007]解决课题的方法
[0008]本发明可至少解决一部分的上述课题，并且能以下面的实施方式或应用例来实现。
[0009]【应用例1】本应用例涉及的磁力测量装置的制造方法是测量从活体产生的磁场的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤:在由第一玻璃构成的池部的空隙中配置由与所述第一玻璃材料不同的第二玻璃材料构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，并密封所述池部；以及使脉冲光通过所述池部照射在所述安瓿上，从而在所述安瓿上形成贯通孔；其中，所述脉冲光的能量为20 μ J/脉冲至200 μ J/脉冲。
[0010]根据本应用例的制造方法，在由第一玻璃材料构成的池部的空隙中配置由第二玻璃材料构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，脉冲光通过池部照射在该安瓿上，从而形成贯通孔。这样，由于填充于安瓿的中空部的材料物质气化流出，充满池部的空隙，所以能制造出磁力测量装置的气体池。这里，由于池部和安瓿是由彼此不同的玻璃材料构成，所以通过使用透过池部(第一玻璃材料)而被安瓿(第二玻璃材料)吸收的脉冲光，能在不损坏池部的情况下选择性地对安瓿进行加工。而且，通过将脉冲光的能量设为20 μ J/脉冲?200 μ J/脉冲，不仅避免安瓿的溶解，还能可靠地在安瓿上形成贯通孔。结果，能稳定地制造具有优异性能的气体池及磁力测量装置。
[0011]【应用例2】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述第一玻璃对上述脉冲光的吸收系数比上述第二玻璃对上述脉冲光的吸收系数小。
[0012]根据本应用例的制造方法，由于第一玻璃对所照射的脉冲光的吸收系数比第二玻璃的吸收系数小，脉冲光透过池部(第一玻璃材料)而被安瓿(第二玻璃材料)吸收。这样，就能在不损坏池部的情况下选择性地对安瓿进行加工。
[0013]【应用例3】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述脉冲光为激光。
[0014]根据本应用例的制造方法，由于激光具有优异的指向性和收敛性(収束性)，所以可通过将激光照射于安瓿，在安瓿上形成贯通孔。
[0015]【应用例4】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述脉冲光为紫外光。
[0016]根据本应用例的制造方法，由于照射作为脉冲光的紫外线，通过将第一玻璃材料设为对紫外线的吸收系数小的材料并将第二玻璃材料设为对紫外光的吸收系数大的材料，脉冲光将透过池部(第一玻璃材料)被安瓿(第二玻璃材料)吸收。
[0017]【应用例5】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述脉冲光的波长带(波段)为248nm?355nm。
[0018]根据本应用例的制造方法，由于脉冲光的波长带为248nm?355nm，可照射紫外光的脉冲光。
[0019]【应用例6】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述脉冲光的脉冲宽度是纳秒。
[0020]根据本应用例的制造方法，由于脉冲光的脉冲宽度是纳秒级，可在稳定状态下加工。
[0021]【应用例7】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，上述脉冲光的脉冲宽度为10纳秒?50纳秒为佳。
[0022]根据本应用例的制造方法，由于脉冲光的脉冲宽度为10纳秒?50纳秒，所以可抑制热导致的影响，在稳定状态下进行加工。
[0023]【应用例8】在上述应用例涉及的磁力测量装置的制造方法中，优选上述材料物质为碱金属。
[0024]根据本应用例的制造方法，由于安瓿的中空部填充碱金属，所以在安瓿上形成贯通孔后，可使碱金属的气体从中空部流出，填满池部的空隙。
[0025]【应用例9】本应用例涉及的气体池的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤:在由第一玻璃材料构成的池部的空隙中配置由与所述第一玻璃材料不同的第二玻璃材料构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，并密封所述池；以及使脉冲光通过所述池部照射在所述安瓿上，从而在所述安瓿上形成贯通孔；其中，所述脉冲光的能量为20 μ J/脉冲至200 μ J/脉冲。
[0026]根据本应用例的制造方法，可制造具有优异性能的气体池。
[0027]【应用例10】本应用例涉及的磁力测量装置的特征在于，通过上述应用例的磁力测量装置的制造方法来制造。
[0028]根据本应用例的构成，可提供具有优异性能的磁力测量装置。
[0029]【应用例11】本应用例涉及的气体池的特征在于，通过上述应用例的气体池的制造方法来制造。
[0030]根据本应用例的构成，可提供具有优异性能的气体池。
【附图说明】
[0031]图1是示出本实施方式涉及的磁力测量装置的构成的框图。
[0032]图2(a)至图2(c)是本实施方式涉及的气体池以及安瓿的构成的概略截面图。
[0033]图3(a)至图3(c)是说明本实施方式涉及的气体池的制造方法的图。
[0034]图4是示出比较光的波长和玻璃材料的透过率之间关系的图。
【具体实施方式】
[0035]以下，参照【附图说明】本发明的【具体实施方式】。为了能辨识要说明的部分，将适当地放大、缩小或夸大所用的附图。此外，图中可能省略除了说明所必需的构成要素以外的构成要素。
[0036]<磁力测量装置的构成>
[0037]关于本实施方式涉及的磁力测量装置，参照图1进行说明。图1为本实施方式涉及的磁力测量装置的构成的框图。本实施方式涉及的磁力测量装置100是使用非线性光学旋转(Nonlinear Magneto-Optical Rotat1n:NM0R)的磁力测量装置。磁力测量装置100用于活体状态测定装置(心磁计或脑磁计等)，所述活体状态测定装置用于测定例如来自心脏的磁场(心磁)和来自脑的磁场(脑磁)等从活体产生的微小磁场。
[0038]如图1所示，磁力测量装置100具备光源1、光纤2、连接器3、偏光板4、气体池10、偏光分离器5、光检测器((Photo Detector:Η))、光检测器7、信号处理回路8和显示装置
9。气体池10内封有碱金属气体(气体状态的碱金属原子)。碱金属可用铯(Cs)、铷(Rb)、钾(K)、钠(Na)等。以下是以铯作为碱金属为例进行说明。
[0039]光源1是输出对应于铯的吸收线的波长(例如相当于D1线的894nm)的激光束的装置，例如，是可调谐激光器。从光源1输出的激光束是具有连续的恒定光量的光，也就是所谓的CW(Continuous Wave，连续波)光。
[004 0]偏光板4是使激光束在特定方向上偏振，变成直线偏光的素子。光纤2是使从光源1输出的激光束导入到气体池10侧的构件。光纤2中使用的是例如仅以基本模式传播的单模式光纤。连接器3是将光纤2连接至偏光板4的构件。连接器3以旋入方式将光纤2连接至偏光板4。
[0041]气体池是10是内部有空隙的箱(池)，在该空隙中封入了碱金属(在此例中是铯)的气体。下文描述有关气体池10的构成。
[0042]偏光分离器5是将入射的激光束分离成相互直交的2个偏振光成分的光束的素子。偏光分离器5是例如渥拉斯顿棱镜(々才歹只卜>7° y Χ'Λ )或偏振光束分离器。光检测器6和光检测器7是对激光束波长灵敏的检测器，它将与入射光光量对应的电流输出到信号处理回路8。由于光检测器6和光检测器7自身一旦产生磁场将可能影响检测，所以优选由非磁性材料构成。从气体池10来看，光检测器6和光检测器7与偏光分离器5配置在相同侧(下游侧)。
[0043]沿激光束的路径来说明磁力测量装置100各个部分的装置，光源1位于激光束路径的最上游，之后，从上游侧开始依次配置光纤2、连接器3、偏光板4、气体池10、偏振光分离器5以及光检测器6、7。
[0044]沿激光束的行进说明磁力测量装置100各部分的动作。从光源1输出的激光束经光纤2引导到达偏光板4。到达偏光板4的激光束变成偏光度更高的直线偏光。透过气体池10的激光束激发(光抽运)封入气体池10内的碱金属原子。此时，激光束受到与磁场强度对应的偏光面旋转作用，偏光面旋转。透过气体池10的激光束因偏光分离器5被分离成2个偏光成分的光束。在光检测器6和光检测器7检测2个偏光成分的光束的光量。
[0045]信号处理回路8接收表不分别由光检测器6和光检测器7测量的光束的光量的信号。信号处理回路8根据接收的各信号测量激光束的偏光面的旋转角。偏光面的旋转角由基于激光束的传播方向的磁场强度的函数表示(例如，参照D.Budker以及其他5人，《原子?共鳴非線形磁気光学回転効果》，U匕、1一.才7、'..7 4夕夕只誌(《原子的共鸣非线性磁力光学旋转效果》，现代物理杂志评论)，美国，美国物理学会，2002年10月，第7卷，第4号，第1153-1201页的数学公式(2)。该数学公式(2)涉及线性光学旋转，但是NM0R的情况下也可以使用基本同样的公式)。信号处理回路8根据偏光面的旋转角测定激光束的传播方向上的磁场强度。显示装置9显示信号处理回路8测定出的磁场强度。
[0046]接下来，参照图2(a)至图2(c)说明本实施方式涉及的气体池和用于气体池的安瓿。图2(a)至图2(c)为本实施方式涉及的气体池以及安瓿的构成的概略截面图。具体地，图2(a)是气体池的概略截面图，图2(b)为安瓿的概略截面图，图2(c)是沿图2(b)A — A’线的概略截面图。
[0047]〈气体池的构成〉
[0048]图2 (a)是本实施方式涉及的气体池的概略截面图。图2 (a)中，以气体池10的高度方向为Z轴，其上方侧设为+Z方向。以与Z轴交叉的方向的、气体池10的长度方向为X轴，图2(a)中的右侧设为+X方向。而且，以与Z轴和X轴交叉的方向的、气体池10的宽度方向为Y轴，从图2 (a)纸平面的前方朝向背侧设为+Y方向。
[0049]如图2(a)所示，本实施方式涉及的气体池10由池部12和密封部19构成。池部12是内部有空隙的箱(池)，由作为第一玻璃材料的石英玻璃形成。池部12的内壁可涂上例如石蜡等。池部12的厚度例如约1.5mm。池部12具有主室14和储存部16作为内部的空隙。主室14和储存部16由连通孔15连通。连通孔15的内径例如约为0.4mm?1mm。
[0050]池部12的内部空隙中封入了碱金属气体13。池部12的内部空隙中，除碱金属气体13外，还可存在稀有气体等惰性气体。储存部16中配置有安瓿20。池部12的储存部16侧的端部上设有开口部18。开口部18被密封部19密封，由此，池部12被密封。密封部19的材料可采用例如低熔点的玻璃熔块(力'歹只7 y、y卜)。
[0051]〈安瓿的构成〉
[0052]图2(b)示出了安瓿20的X — Z截面。如图2(b)所示，本实施方式涉及的安瓿20由中空状的玻璃管22构成。玻璃管22是由作为第二玻璃材料的硼硅酸玻璃形成。
[0053]玻璃管22沿一个方向(在图2(b)中是X轴)延伸，其两端部被熔接。由此，内部为中空状的玻璃管22被密封。此外，玻璃管22的两端部的形状不限于图2(b)所示的圆形，也可以是接近于平面的形状、一部分尖锐的形状等。玻璃管22的中空状内部填充有作为材料物质的碱金属固体22(颗粒状、粉末状的碱金属原子)。如上所述，除了铯外，碱金属固体24也可用铷、钾和钠。
[0054]图2 (b)示出了安瓿20 (玻璃管22)被密封的状态。安瓿20在制造阶段处于密封状态，但在图2(a)所示的气体池10的完成阶段，在玻璃管22上形成有贯通孔，密封被破坏。由此，安瓿20内的碱金属固体24蒸发，从气体池10内流出，碱金属气体13充满池部12的空隙。此外，为了使碱金属固体24容易从安瓿20内蒸发流出，安瓿20的上表面和池部12的内表面之间设有例如约1.5mm的间隙。
[0055]图2 (c)不出了安瓶20的Y — Z截面。如图2 (c)所不，玻璃管22的Y — Z截面形状为大致圆形，但是也可以是其他形状。玻璃管22的外径Φ为0.2mm € Φ ^ 1.2mm。玻璃管22的厚度t为0.1mm f t 5 0.5mm，优选大约为外径Φ的20%。若玻璃管22的厚度t不满0.1mm，则玻璃管22容易破损；若玻璃管22的厚度超过0.5mm，在玻璃管22上设置贯通孔21等加工(将在下文详细描述)将变得困难。
[0056]<气体池的制造方法>
[0057]参照图3(a)至图3(c)说明气体池10的制造方法。图3 (a)至图3(c)为说明本实施方式涉及的气体池的制造方法的图。
[0058]首先，准备图3(a)所示的池部12。尽管省略图示，但是，例如，切断石英玻璃构成的玻璃板，以准备与构成池部12的各壁面对应的玻璃板构件。然后，组装这些玻璃板构件，玻璃板构件之间通过粘着剂或熔接来接合，以得到图3(a)所示的池部12。在此阶段中，使池部12的开口部18开放。
[0059]然后，在池部12的储存部16内收纳安瓿20。从在池部12的储存部16 —侧设置的开口部18插入安瓿20，收纳在储存部16内。在此阶段，安瓿20处于中空状的玻璃管22内部填充有金属固体24并且被密封的状态。
[0060]此外，在接近真空的低压环境下(理想为真空中)，在管状的玻璃管22的中空部中填充碱金属固体24后，分别溶接、密封玻璃管22的两端部，从而形成安瓿20 (参照图2(b))。由于用作碱金属固体24的铯等碱金属的反应性强，不能在大气中处理，因此，以在低压环境下密封在安瓿20内的状态收纳于池部12中。
[0061]然后，充分进行池部12内的脱气，在内部空隙中杂质极少的状态下，如图3(b)所示，密封池部12。例如，在接近真空的低压环境下(理想状态为真空中)，用密封部19密封池部12的开口部18，从而密封池部12。
[0062]然后，如图3 (c)所示，将作为脉冲光的脉冲激光40用聚光透镜42聚光，经过池部12照射到安瓿20的玻璃管22 (参照图2 (b))。由此，在玻璃管22上形成贯通孔21，使安瓿20内的碱金属固体24(参照图2(b))蒸发，并流出到气体池10的空隙中。由于激光具有优异的指向性和收敛性，所以通过照射脉冲激光40，容易在玻璃管22上形成贯通孔21。
[0063]在形成此贯通孔21的步骤中，必须在不损伤池部12的情况下仅加工安瓿20的玻璃管22 (参照图2(b))。而且，一旦在形成贯通孔21时玻璃管22溶解，就会产生不必要的气体，与碱金属固体24反应，由此气体池20的性能显著下降。因此，有必要在不使安瓿20的玻璃管22溶解的 情况下形成贯通孔21。因此，在本实施方式中，脉冲激光40的照射条件如下。
[0064]首先，作为脉冲激光40，使用为紫外线区域的波长带的248nm?355nm的脉冲激光40。图4为示出比较光的波长和玻璃材料的透过率之间关系的图。如图4所示，在光的波长为250nm?400nm的范围内，石英玻璃的透过率为约95%，几乎没有变化。另一方面，图4中示出的硼硅酸玻璃的透过率在光的波长直至270nm时为约0% ;但是在270nm?350nm范围内增大，350nm以上时透过率变成约90%。此外，图4所示的透过率示出的是一个例子，例如，根据构成硼硅酸玻璃的成分的混合比的不同，硼硅酸玻璃的透过率可与图4所示的例子不同。
[0065]这样，对于紫外线区域的波长带的光(以下称为紫外光)，石英玻璃的透过率比硼硅酸玻璃的透过率高。换言之，对于紫外光，石英玻璃的吸收系数比硼硅酸玻璃的吸收系数小。所以，紫外光的脉冲激光40透过石英玻璃，而被硼硅酸玻璃吸收。由此，不会损伤池部12，可选择性地加工玻璃管22。
[0066]在本实施方式中，脉冲激光40用的是YAG激光的三次谐波(THG)激光，也可用四次谐波(FHG)激光。此外，可以考虑如下的方法:使安瓿20的玻璃管22的材料是与池部12相同的石英玻璃，并在这种材料中混入对紫外光的吸收系数高的材料(例如陶瓷、金属等)。但是，这种情况下，将脉冲激光40照射到玻璃管22上形成贯通孔21时，可能从混合的材料产生不必要的气体，与碱金属固体24反应，从而显著降低气体池10的性能。
[0067]其次，脉冲激光40的能量为20 μ J/脉冲?200 μ J/脉冲。如果脉冲激光40的能量低，加工深度变浅，难以贯通玻璃管22以打破密封。另一方面，如果脉冲激光40的能量高，加工变深，但是有可能照射到碱金属固体24而发热，从而玻璃管22溶解。将脉冲激光40的能量设为20 μ J/脉冲?200 μ J/脉冲，可以在避免玻璃管22的溶解的同时，可靠地形成贯通孔21并打破安瓿20的密封。
[0068]其次，脉冲激光40的脉冲宽度为纳秒级。更为具体地说，脉冲激光40的脉冲宽度为10纳秒至50纳秒，优选约30纳秒。如果脉冲激光40的脉冲宽度大，虽然加工量变大，但易受到热的影响。如果脉冲激光40的脉冲宽度小，虽然受热的影响减小，但加工量也减小。而且，如果脉冲宽度小至飞秒，可能会降低批量生产的稳定性。通过将脉冲激光40的脉冲宽度设为10纳秒至50纳秒，可在抑制热影响，在稳定状态下在玻璃管22上形成贯通孔21。
[0069]以在安瓿20的上表面形成焦点的方式照射脉冲激光40。如果通过作为图3(c)所示的集光透镜的例如焦距为78mm的透镜使脉冲激光40聚集，聚集的光束的点直径为约10 μ mD此外，脉冲激光40的照射时间为，例如约300毫秒(msec)。
[0070]这样，通过在安瓿20 (玻璃管22)上形成贯通孔21，在池部12的储存部16内打破安瓿20的密封。由此，从安瓿20内蒸发碱金属固体24，变成碱金属气体13，流出至储存部16中。流出至储存部16内的碱金属气体13通过连通孔15流入池部12的主室14并扩散。结果，如图2(a)所示，池部12的空隙充满碱金属气体13。
[0071]此外，在形成贯通孔21的步骤中，由于只要可打破安瓿20的密封、从安瓿20蒸发并流出碱金属固体24即可，所以贯通孔21不形成美观的形状也可。而且，只要玻璃管22不溶解，可形成多个贯通孔21，也可以使玻璃管22上长生龟裂后切断，也可破坏玻璃管22。而且，不仅使碱金属固体24从安瓿20蒸发并流出，而且还使碱金属固体24释放到池部12的空隙。
[0072]如以上所述，根据本实施方式涉及的气体池的制造方法，能够在不损坏池部12且不溶解安瓿20的玻璃管22的情况下，以稳定状态加工安瓿20并制造出具有优异性能的气体池10。而且，由于使用外径Φ为约0.2mm?1.2mm的小型安瓿20，所以可制造小型的气体池10。
[0073]而且，本实施方式涉及的磁力测量装置的制造方法包括上述气体池的制造方法。所以，可提供具有优异性能的小型磁力测量装置100。此外，除了制造气体池10的步骤以夕卜，制造本实施方式涉及的磁力测量装置100的其他步骤可采用公知的方法，因此省略其说明。
[0074]上述的实施方式仅仅是本发明的一个例子，可以在本发明范围内进行任意的变形以及应用。例如，可以考虑以下的变形例。
[0075](变形例1)
[0076]适用上述实施方式涉及的气体池10的装置不限于磁力测量装置100。气体池10也可适用于例如原子钟等原子振荡器。用于原子振荡器的气体池需要小型化，由于根据上述实施方式的气体池的制造方法，可以制造小型的气体池10，所以可适用于小型的原子振荡器。
[0077]符号说明
[0078]10气体池、12池部、14主室(空隙)、16储存部(空隙)、20安瓿、21贯通孔、22玻璃管、24碱金属固体(碱金属)、40脉冲激光(脉冲光、激光)、100磁力测量装置。
【主权项】
1.一种磁力测量装置的制造方法，所述磁力测量装置测量从活体产生的磁场，所述制造方法的特征在于，包括以下步骤: 在由第一玻璃构成的池的空隙中配置由与所述第一玻璃不同的第二玻璃构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，密封所述池，以及 使脉冲光通过所述池照射在所述安瓿上，从而在所述安瓿上形成贯通孔， 其中，所述脉冲光的能量为20 μ J/脉冲至200 μ J/脉冲。2.根据权利要求1所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述第一玻璃对所述脉冲光的吸收系数比所述第二玻璃对所述脉冲光的吸收系数小。3.根据权利要求1或2所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述脉冲光为激光。4.根据权利要求1至3中任一项所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述脉冲光为紫外光。5.根据权利要求4所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述脉冲光的波长带为 248nm 至 355nm。6.根据权利要求1至5中任一项所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述脉冲光的脉冲宽度为纳秒。7.根据权利要求6所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述脉冲光的脉冲宽度为10纳秒至50纳秒。8.根据权利要求1至7中任一项所述的磁力测量装置的制造方法，其特征在于，所述材料物质为碱金属。9.一种气体池的制造方法，所述制造方法的特征在于，包括以下步骤: 在由第一玻璃构成的池的空隙中配置由与所述第一玻璃不同的第二玻璃构成的且在中空部中填充有材料物质的安瓿，密封所述池，以及 使脉冲光通过所述池照射在所述安瓿上，从而在所述安瓿上形成贯通孔， 其中，所述脉冲光的能量为20 μ J/脉冲至200 μ J/脉冲。10.一种磁力测量装置，其特征在于通过权利要求1至8中任一项所述的磁力测量装置的制造方法制造。11.一种气体池，其特征在于通过权利要求9所述的气体池的制造方法制造。
【专利摘要】提供能在不损坏池且不溶解安瓿的玻璃材料的情况下稳定加工安瓿的磁力测量装置、气体池以及它们的制造方法。测量从活体产生的磁场的磁力测量装置(100)的制造方法，包括以下步骤：在石英玻璃构成的池部(12)的空隙中配置硼硅酸玻璃构成的且在中空部填充有碱金属固体(24)的安瓿(20)，并密封池部(12)；使脉冲激光(40)通过池部12照射在安瓿(20)上，从而在安瓿(20)上形成贯通孔(21)，脉冲激光(40)的能量为20μJ/脉冲至200μJ/脉冲。石英玻璃对脉冲激光(40)的吸收系数比硼硅酸玻璃对脉冲激光(40)的吸收系数小。
【IPC分类】G01R33/02
【公开号】CN105487022
【申请号】CN201510641865
【发明人】藤井永一, 长坂公夫
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年9月30日
【公告号】US20160097824
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