光致抗蚀剂回收系统及其方法
光致抗蚀剂回收系统及其方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种半导体制作工艺的试剂回收系统及其方法，且特别是涉及一种光致抗蚀剂回收系统及其方法。
【背景技术】
[0002]在半导体制作工艺中，经常使用各种液体来进行不同的制作工艺，例如在光刻制作工艺中使用光致抗蚀剂液(photoresist，简称PR)。其中，在光刻制作工艺的光致抗蚀剂涂布步骤时，将光致抗蚀剂液利用例如是旋涂法、网版印刷法或者喷印法等方法，涂布于晶片(wafer)上。
[0003]在实际输送光致抗蚀剂至机台时，往往会存在一些问题，而影响整个产品的良率及成本。举例来说，当光致抗蚀剂瓶内的光致抗蚀剂液低于某一存量时，光致抗蚀剂液会无法通过加压光致抗蚀剂瓶的方式来送出，造成管路喷空而于光致抗蚀剂液内产生气泡，因此影响光致抗蚀剂液的品质与轮廓外观以及产品的良率。为了解决上述问题，有人提出在光致抗蚀剂输送装置上设置计数装置或计时装置，来管控光致抗蚀剂液使用量。然而，通过计数装置或计时装置来管控光致抗蚀剂液使用量的方式相当耗费人力成本。此外，亦会有人员计算失误的问题发生，造成管路喷空导致所送出之光致抗蚀剂液具有气泡。另外，因为不同产品所需使用的光致抗蚀剂液量不同，所以无法有效地精准控制光致抗蚀剂液的使用率，而造成光致抗蚀剂液残量过多与光致抗蚀剂液浪费等问题。
[0004]另一方面，生产成本降低对于半导体制造业来说越来越关键，面对商业上的竞争，必须改善生产成本，例如控制生产成本、缩小制作工艺线宽、或节省生产原物料等。然而，为了排除产生在光致抗蚀剂瓶与管线内的多余气泡，或者为了更换光致抗蚀剂瓶时所残留的光致抗蚀剂液，使得剩余的光致抗蚀剂液的残留量无法再用于生产，而导致了光致抗蚀剂液的浪费。日积月累下，造成了生产成本的增加，而使得竞争力下降。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种光致抗蚀剂回收系统，用以回收光致抗蚀剂液，避免因排除光致抗蚀剂瓶或管路内的多余气泡，或者更换光致抗蚀剂空瓶时所导致的光致抗蚀剂液的浪费，可有效降低生产成本。
[0006]本发明的目的在于提供一种光致抗蚀剂回收方法，用以简便地回收光致抗蚀剂液，有助于降低生产成本。
[0007]为达上述目的，本发明的光致抗蚀剂回收系统，包括:储存瓶，用以存放光致抗蚀剂液，储存瓶具有瓶盖，在瓶盖上设有第一接头、第二接头与第三接头；加压装置，与第一接头连接；排出管路，与瓶盖的第二接头连接；第一切换装置，设置于排出管路上；第二切换装置，设置于储存瓶与第一切换装置之间的排出管路上；回收管路，连接第三接头以及在第一切换装置与第二切换装置之间的排出管路；以及第三切换装置，设置于回收管路上。
[0008]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的第一接头为快速接头。
[0009]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的第二接头还具有第二接头抽取管路延伸至靠近储存瓶的瓶底处，用以抽取光致抗蚀剂液；第三接头设置有第三接头抽取管路，用以回收光致抗蚀剂液。
[0010]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的加压装置为氮气加压装置。
[0011]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统还包括:暂存桶，其是设置于储存瓶与第二切换装置之间的排出管路上，并且暂存桶通过输送管路连接至机台。
[0012]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统还包括:侦测器，其是设置于储存瓶与暂存桶之间的排出管路上。
[0013]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的排出管路是通过三通接头与回收管路连接。
[0014]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的三通接头的材质为铁氟龙。
[0015]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的第一切换装置、第二切换装置与第三切换装置为二向阀。
[0016]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的二向阀的材质为铁氟龙。
[0017]本发明的光致抗蚀剂回收方法，适用于光致抗蚀剂回收系统，光致抗蚀剂回收系统包括:储存瓶，用以存放光致抗蚀剂液，储存瓶具有瓶盖，在瓶盖上设有第一接头、第二接头与第三接头；加压装置，与第一接头连接；排出管路，与第二接头连接；第一切换装置，设置于排出管路上；第二切换装置，设置于储存瓶与第一切换装置之间的排出管路上；回收管路，连接第三接头以及在第一切换装置与第二切换装置之间的排出管路；以及第三切换装置，设置于回收管路上；本发明的光致抗蚀剂回收方法，包括:关闭第一切换装置、第二切换装置及第三切换装置；将加压装置连接至第一接头，并使得储存瓶处于饱压状态；打开第二切换装置，使得储存瓶受到压力的影响，而使光致抗蚀剂液经由排出管路流向回收管路；以及打开第三切换装置，并从第一接头移除加压装置的连接，利用压力差使得回收管路中的光致抗蚀剂液流向储存瓶。
[0018]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的第一接头为快速接头。
[0019]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的第二接头还具有第二接头抽取管路延伸至靠近储存瓶的瓶底处，用以抽取光致抗蚀剂液；第三接头设置有第三接头抽取管路，用以回收光致抗蚀剂液。
[0020]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的加压装置为氮气加压装置。
[0021]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法还包括:暂存桶，其是设置于储存瓶与第二切换装置之间的排出管路上，并且暂存桶通过输送管路连接至机台。
[0022]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法还包括:侦测器，其是设置于储存瓶与暂存桶之间的排出管路上。
[0023]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的排出管路是通过三通接头与回收管路连接。
[0024]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的三通接头的材质为铁氟龙。
[0025]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的第一切换装置、第二切换装置与第三切换装置为二向阀。
[0026]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的二向阀的材质为铁氟龙。
[0027]基于上述，由于本发明所提出的光致抗蚀剂回收系统及其方法，可以回收因管路中的气泡所排出的废弃光致抗蚀剂液，以及回收更换光致抗蚀剂瓶时，残留于管线中的光致抗蚀剂液。而且，通过回收废弃或残留于管线中的光致抗蚀剂液，可以大幅降低光致抗蚀剂瓶更换次数，如此一来减少了光致抗蚀剂液的浪费，可有效降低生产成本。
[0028]为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附的附图作详细说明如下。
【附图说明】
[0029]图1为本发明的实施例所绘示的光致抗蚀剂回收系统的结构配置图；
[0030]图2为本发明的实施例所绘示的光致抗蚀剂回收系统的瓶盖的结构图；
[0031]图3为本发明的实施例所绘示的光致抗蚀剂回收方法的步骤流程图。
[0032]符号说明
[0033]100:光致抗蚀剂回收系统
[0034]110:储存瓶
[0035]115:瓶盖
[0036]120:第一接头
[0037]121:快速接头
[0038]124:第二接头
[0039]125:第二接头抽取管路
[0040]128:第三接头
[0041]129:第三接头抽取管路
[0042]130:加压装置
[0043]140:排出管路
[0044]145:三通接头
[0045]151:第一切换装置
[0046]152:第二切换装置
[0047]153:第三切换装置
[0048]160:回收管路
[0049]170:暂存桶
[0050]175:输送管路
[0051]179:机台
[0052]180:侦测器
[0053]S301、S302、S303、S304:步骤
【具体实施方式】
[0054]下文中参照所附的附图来更充分地描述本发明实施例。然而，本发明可以多种不同的形式来实践，并不限于文中所述的实施例。以下实施例中所提到的方向用语，例如「上」等，仅是参考附加附图的方向，因此使用的方向用语是用来详细说明，而非用来限制本发明。此外，在附图中为明确起见可能将各层的尺寸以及相对尺寸作夸张的描绘。
[0055]以下，说明本发明的实施例的一种光致抗蚀剂回收系统。本发明的实施例以应用在光致抗蚀剂涂布制作工艺设备为例做说明，而其并不限于此。
[0056]图1是本发明实施例的一种光致抗蚀剂回收系统的结构配置图。请参阅图1，本实施例的光致抗蚀剂回收系统100包括储存瓶110、加压装置130、排出管路140、第一切换装置151、第二切换装置152、第三切换装置153以及回收管路160。其中，储存瓶110用以存放光致抗蚀剂液。储存瓶110具有瓶盖115，并且在瓶盖115上例如设有第一接头120、第二接头124与第三接头128。
[0057]加压装置130与第一接头120连接，用以提供压力，使得储存瓶110处于饱压状态，而将光致抗蚀剂液利用压力差的方式从储存瓶110送出。排出管路140与瓶盖115的第二接头152连接，用以输送光致抗蚀剂液。第一切换装置151设置于排出管路140上。第二切换装置152设置于储存瓶110与第一切换装置151之间的排出管路140上。回收管路160连接第三接头128以及在第一切换装置151与第二切换装置152之间的排出管路140。以及，第三切换装置153设置于回收管路160上。
[0058]在本发明一实施例中，光致抗蚀剂回收系统100的加压装置130例如是氮气加压
目.ο
[0059]在本发明一实施例中，光致抗蚀剂回收系统100的第二接头124还具有第二接头抽取管路125延伸至靠近储存瓶110的瓶底处，用以抽取光致抗蚀剂液；第三接头128设置有第三接头抽取管路129，用以回收光致抗蚀剂液，可防止因管路空管而造成颗粒污染光致抗蚀剂液。
[0060]在本发明一实施例中，光致抗蚀剂回收系统100还包括 暂存桶170，此暂存桶170是设置于储存瓶110与第二切换装置152之间的排出管路140上，并且暂存桶170是通过输送管路175连接至机台179。暂存桶170是用来暂存光致抗蚀剂剂，且暂存筒170具有去除气泡的功能，以防止光致抗蚀剂瓶110排空后于输送管路175中产生气泡。
[0061]在本发明一实施例中，光致抗蚀剂回收系统100还包括侦测器180，此侦测器180是设置于储存瓶110与暂存桶170之间的排出管路140上，用以侦测排出管路140是否有气泡产生以及储存瓶110的光致抗蚀剂液是否排空。若发生管路发生气泡的情况时，侦测器180可快速地侦测到排出管路140中之光致抗蚀剂内气泡，并可即时进行排除气泡的步骤。因此，可更加有效地避免因管路中的光致抗蚀剂内气泡，而影响光致抗蚀剂剂的品质与轮廓外观以及产品的良率。
[0062]在本发明一实施例中，光致抗蚀剂回收系统100的排出管路140是通过三通接头145与回收管路160连接。三通接头145的材质例如是铁氟龙。并且，三通接头145的另外一端通过排出管路140连接至第一切换装置151，并且以排出管路140连接至厂务系统端。
[0063]在本发明一实施例中，光致抗蚀剂回收系统100的第一切换装置151、第二切换装置152与第三切换装置153例如是二向阀，且此二向阀的材质例如是铁氟龙。
[0064]接着，说明本发明的光致抗蚀剂回收系统的瓶盖的结构。构件与上述实施例相同者，给予相同的标号，并省略其详细说明。
[0065]图2是本发明实施例的一种光致抗蚀剂回收系统的瓶盖的结构图。请参阅图2，本发明光致抗蚀剂回收系统100的瓶盖115设置于储存瓶110上方，瓶盖115上设有第一接头120、第二接头124与第三接头128，且第二接头124具有第二接头抽取管路125延伸至靠近储存瓶110的瓶底处，用以抽取光致抗蚀剂液；第三接头128设置有第三接头抽取管路129，用以回收光致抗蚀剂液。第一接头120与加压装置130连接，用以提供压力，第一接头120例如是快速接头121来连接。第二接头152与排出管路140连接，用以输送光致抗蚀剂液。第三接头128与回收管路160连接。
[0066]接着，说明本发明的光致抗蚀剂回收方法。构件与上述实施例相同者，给予相同的标号，并省略其详细说明。
[0067]图3是本发明实施例的一种光致抗蚀剂回收方法的步骤流程图。请参阅图3，本发明光致抗蚀剂回收方法适用于如图1所示的上述实施例中的光致抗蚀剂回收系统100。本发明光致抗蚀剂回收方法包括如下步骤:关闭第一切换装置151、第二切换装置152及第三切换装置153 (步骤S301);将加压装置130连接至第一接头120，并使得储存瓶110处于饱压状态(步骤S302);打开第二切换装置152，使得储存瓶110受到压力的影响，而使光致抗蚀剂液经由排出管路140流向回收管路160(步骤S303);以及打开第三切换装置153，并从第一接头120移除加压装置130的连接，利用压力差使得回收管路160中的光致抗蚀剂液流向储存瓶110 (步骤S304)。
[0068]以下，举例实施例说明本发明的光致抗蚀剂回收方法。在下面的实施例中，是以将本发明的光致抗蚀剂回收方法应用在当管路中出现气泡，以及光致抗蚀剂瓶排空时，需要回收含有气泡的光致抗蚀剂液或者残留于管线中的光致抗蚀剂液为例做说明。
[0069]请同时参阅图1至图3，在本实施例中，使用如图1所示的上述实施例中的光致抗蚀剂回收系统100。当排出管路140因为储存瓶110排空或者因管路的压力差过大而产生气泡，且此气泡流经位于储存瓶110与暂存桶170之间的排出管路140上的侦测器180时，则必须进行气泡的排除或者更换排空的储存瓶110，同时进行残余的光致抗蚀剂液的回收步骤。
[0070]首先，当侦测器180侦测到排出管路140有气泡产生，依照图3中的步骤S301，必须先将第一切换装置151、第二切换装置152及第三切换装置153关闭。接着，依照图3中的步骤S302，将作为加压装置130的氮气加压装置的一端利用快速接头121连接至瓶盖115上的第一接头120，打开氮气加压装置的开关，使得储存瓶110处于饱压状态。然后，依照图3中的步骤S303，打开第二切换装置152的开关，使得储存瓶110受到压力的影响，而使光致抗蚀剂液经由排出管路140流向回收管路160。最后，打开第三切换装置153，并从瓶盖115上的第一接头120移除连接作为加压装置130的氮气加压装置的快速接头121，利用压力差使得回收管路160中的光致抗蚀剂液流向储存瓶110，而由此回收排出管路140中的光致抗蚀剂液。
[0071]综上所述，本发明提供一种光致抗蚀剂回收系统及其方法，可避免因光致抗蚀剂瓶内光致抗蚀剂剂存量不足所产生的管路喷空及其衍生的问题，有效地避免因管路中的光致抗蚀剂内气泡，而影响光致抗蚀剂剂的品质与轮廓外观以及产品的良率。并且通过本发明的光致抗蚀剂回收系统及其方法可回收因管路中的气泡所排出的废弃光致抗蚀剂液，以及回收更换光致抗蚀剂瓶时，残留于管线中的光致抗蚀剂液。通过回收废弃或残留于管线中的光致抗蚀剂液，可以大幅降低光致抗蚀剂瓶更换次数，如此一来可有效光致抗蚀剂液的浪费，可有效降低生产成本。
[0072]虽然结合以上实施例公开了本发明，然而其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，可作些许的更动与润饰，故本发明的保护范围应当以附上的权利要求所界定的为准。
【主权项】
1.一种光致抗蚀剂回收系统，包括: 储存瓶，用以存放光致抗蚀剂液，所述储存瓶具有瓶盖，在所述瓶盖上设有第一接头、第二接头与第三接头； 加压装置，与所述第一接头连接； 排出管路，与所述瓶盖的所述第二接头连接； 第一切换装置，设置于所述排出管路上； 第二切换装置，设置于所述储存瓶与所述第一切换装置之间的所述排出管路上； 回收管路，连接所述第三接头以及在所述第一切换装置与所述第二切换装置之间的所述排出管路；以及 第三切换装置，设置于所述回收管路上。2.如权利要求1所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述第一接头为快速接头。3.如权利要求1所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述第二接头还具有第二接头抽取管路延伸至靠近所述储存瓶的瓶底处，用以抽取光致抗蚀剂液；第三接头设置有第三接头抽取管路，用以回收光致抗蚀剂液。4.如权利要求1所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述加压装置为氮气加压装置。5.如权利要求1所述的光致抗蚀剂回收系统，还包括: 暂存桶，设置于所述储存瓶与所述第二切换装置之间的所述排出管路上，并且所述暂存桶通过输送管路连接至机台。6.如权利要求5所述的光致抗蚀剂回收系统，还包括: 侦测器，设置于所述储存瓶与所述暂存桶之间的所述排出管路上。7.如权利要求1所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述排出管路是通过三通接头与所述回收管路连接。8.如权利要求7所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述三通接头的材质为铁氟龙。9.如权利要求1所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述第一切换装置、所述第二切换装置与所述第三切换装置为二向阀。10.如权利要求9所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述二向阀的材质为铁氟龙。11.一种光致抗蚀剂回收方法，适用于光致抗蚀剂回收系统，所述光致抗蚀剂回收系统包括:储存瓶，用以存放光致抗蚀剂液，所述储存瓶具有瓶盖，在所述瓶盖上设有第一接头、第二接头与第三接头；加压装置，与所述第一接头连接；排出管路，与所述第二接头连接；第一切换装置，设置于所述排出管路上；第二切换装置，设置于所述储存瓶与所述第一切换装置之间的所述排出管路上；回收管路，连接所述第三接头以及在所述第一切换装置与所述第二切换装置之间的所述排出管路；以及第三切换装置，设置于所述回收管路上，所述光致抗蚀剂回收方法，包括: 关闭所述第一切换装置、所述第二切换装置及所述第三切换装置； 将所述加压装置连接至所述第一接头，并使得所述储存瓶处于饱压状态； 打开所述第二切换装置，使得所述储存瓶受到压力的影响，而使所述光致抗蚀剂液经由所述排出管路流向所述回收管路；以及 打开所述第三切换装置，并从所述第一接头移除所述加压装置的连接，利用压力差使得所述回收管路中的所述光致抗蚀剂液流向所述储存瓶。12.如权利要求11所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述第一接头为快速接头。13.如权利要求11所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述第二接头还具有第二接头抽取管路延伸至靠近所述储存瓶的瓶底处，用以抽取光致抗蚀剂液；第三接头设置有第三接头抽取管路，用以回收光致抗蚀剂液。14.如权利要求11所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述加压装置为氮气加压装置。15.如权利要求11所述的光致抗蚀剂回收方法，其中，所述的光致抗蚀剂回收系统还包括: 暂存桶，设置于所述储存瓶与所述第二切换装置之间的所述排出管路上，并且所述暂存桶通过输送管路连接至机台。16.如权利要求15所述的光致抗蚀剂回收方法，其中，所述的光致抗蚀剂回收系统还包括: 侦测器，设置于所述储存瓶与所述暂存桶之间的所述排出管路上。17.如权利要求11所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述排出管路是通过三通接头与所述回收管路连接。18.如权利要求17所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述三通接头的材质为铁氟龙。19.如权利要求11所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述第一切换装置、所述第二切换装置与所述第三切换装置为二向阀。20.如权利要求19所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述二向阀的材质为铁氟龙。
【专利摘要】本发明公开一种光致抗蚀剂回收系统及其方法，该光致抗蚀剂回收系统包括：储存瓶，用以存放光致抗蚀剂液，且储存瓶具有瓶盖，在瓶盖上设有第一接头、第二接头与第三接头；加压装置，与第一接头连接；排出管路，与瓶盖的第二接头连接；第一切换装置，设置于排出管路上；第二切换装置，设置于储存瓶与第一切换装置之间的排出管路上；回收管路，连接第三接头以及在第一切换装置与第二切换装置之间的排出管路；以及第三切换装置，设置于回收管路上。
【IPC分类】G03F7/16
【公开号】CN105487338
【申请号】CN201410548284
【发明人】谢国信, 罗健宾
【申请人】力晶科技股份有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2014年10月16日
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种半导体制作工艺的试剂回收系统及其方法，且特别是涉及一种光致抗蚀剂回收系统及其方法。
【背景技术】
[0002]在半导体制作工艺中，经常使用各种液体来进行不同的制作工艺，例如在光刻制作工艺中使用光致抗蚀剂液(photoresist，简称PR)。其中，在光刻制作工艺的光致抗蚀剂涂布步骤时，将光致抗蚀剂液利用例如是旋涂法、网版印刷法或者喷印法等方法，涂布于晶片(wafer)上。
[0003]在实际输送光致抗蚀剂至机台时，往往会存在一些问题，而影响整个产品的良率及成本。举例来说，当光致抗蚀剂瓶内的光致抗蚀剂液低于某一存量时，光致抗蚀剂液会无法通过加压光致抗蚀剂瓶的方式来送出，造成管路喷空而于光致抗蚀剂液内产生气泡，因此影响光致抗蚀剂液的品质与轮廓外观以及产品的良率。为了解决上述问题，有人提出在光致抗蚀剂输送装置上设置计数装置或计时装置，来管控光致抗蚀剂液使用量。然而，通过计数装置或计时装置来管控光致抗蚀剂液使用量的方式相当耗费人力成本。此外，亦会有人员计算失误的问题发生，造成管路喷空导致所送出之光致抗蚀剂液具有气泡。另外，因为不同产品所需使用的光致抗蚀剂液量不同，所以无法有效地精准控制光致抗蚀剂液的使用率，而造成光致抗蚀剂液残量过多与光致抗蚀剂液浪费等问题。
[0004]另一方面，生产成本降低对于半导体制造业来说越来越关键，面对商业上的竞争，必须改善生产成本，例如控制生产成本、缩小制作工艺线宽、或节省生产原物料等。然而，为了排除产生在光致抗蚀剂瓶与管线内的多余气泡，或者为了更换光致抗蚀剂瓶时所残留的光致抗蚀剂液，使得剩余的光致抗蚀剂液的残留量无法再用于生产，而导致了光致抗蚀剂液的浪费。日积月累下，造成了生产成本的增加，而使得竞争力下降。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种光致抗蚀剂回收系统，用以回收光致抗蚀剂液，避免因排除光致抗蚀剂瓶或管路内的多余气泡，或者更换光致抗蚀剂空瓶时所导致的光致抗蚀剂液的浪费，可有效降低生产成本。
[0006]本发明的目的在于提供一种光致抗蚀剂回收方法，用以简便地回收光致抗蚀剂液，有助于降低生产成本。
[0007]为达上述目的，本发明的光致抗蚀剂回收系统，包括:储存瓶，用以存放光致抗蚀剂液，储存瓶具有瓶盖，在瓶盖上设有第一接头、第二接头与第三接头；加压装置，与第一接头连接；排出管路，与瓶盖的第二接头连接；第一切换装置，设置于排出管路上；第二切换装置，设置于储存瓶与第一切换装置之间的排出管路上；回收管路，连接第三接头以及在第一切换装置与第二切换装置之间的排出管路；以及第三切换装置，设置于回收管路上。
[0008]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的第一接头为快速接头。
[0009]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的第二接头还具有第二接头抽取管路延伸至靠近储存瓶的瓶底处，用以抽取光致抗蚀剂液；第三接头设置有第三接头抽取管路，用以回收光致抗蚀剂液。
[0010]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的加压装置为氮气加压装置。
[0011]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统还包括:暂存桶，其是设置于储存瓶与第二切换装置之间的排出管路上，并且暂存桶通过输送管路连接至机台。
[0012]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统还包括:侦测器，其是设置于储存瓶与暂存桶之间的排出管路上。
[0013]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的排出管路是通过三通接头与回收管路连接。
[0014]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的三通接头的材质为铁氟龙。
[0015]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的第一切换装置、第二切换装置与第三切换装置为二向阀。
[0016]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收系统的二向阀的材质为铁氟龙。
[0017]本发明的光致抗蚀剂回收方法，适用于光致抗蚀剂回收系统，光致抗蚀剂回收系统包括:储存瓶，用以存放光致抗蚀剂液，储存瓶具有瓶盖，在瓶盖上设有第一接头、第二接头与第三接头；加压装置，与第一接头连接；排出管路，与第二接头连接；第一切换装置，设置于排出管路上；第二切换装置，设置于储存瓶与第一切换装置之间的排出管路上；回收管路，连接第三接头以及在第一切换装置与第二切换装置之间的排出管路；以及第三切换装置，设置于回收管路上；本发明的光致抗蚀剂回收方法，包括:关闭第一切换装置、第二切换装置及第三切换装置；将加压装置连接至第一接头，并使得储存瓶处于饱压状态；打开第二切换装置，使得储存瓶受到压力的影响，而使光致抗蚀剂液经由排出管路流向回收管路；以及打开第三切换装置，并从第一接头移除加压装置的连接，利用压力差使得回收管路中的光致抗蚀剂液流向储存瓶。
[0018]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的第一接头为快速接头。
[0019]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的第二接头还具有第二接头抽取管路延伸至靠近储存瓶的瓶底处，用以抽取光致抗蚀剂液；第三接头设置有第三接头抽取管路，用以回收光致抗蚀剂液。
[0020]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的加压装置为氮气加压装置。
[0021]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法还包括:暂存桶，其是设置于储存瓶与第二切换装置之间的排出管路上，并且暂存桶通过输送管路连接至机台。
[0022]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法还包括:侦测器，其是设置于储存瓶与暂存桶之间的排出管路上。
[0023]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的排出管路是通过三通接头与回收管路连接。
[0024]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的三通接头的材质为铁氟龙。
[0025]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的第一切换装置、第二切换装置与第三切换装置为二向阀。
[0026]在本发明的一实施例中，上述的光致抗蚀剂回收方法的二向阀的材质为铁氟龙。
[0027]基于上述，由于本发明所提出的光致抗蚀剂回收系统及其方法，可以回收因管路中的气泡所排出的废弃光致抗蚀剂液，以及回收更换光致抗蚀剂瓶时，残留于管线中的光致抗蚀剂液。而且，通过回收废弃或残留于管线中的光致抗蚀剂液，可以大幅降低光致抗蚀剂瓶更换次数，如此一来减少了光致抗蚀剂液的浪费，可有效降低生产成本。
[0028]为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附的附图作详细说明如下。
【附图说明】
[0029]图1为本发明的实施例所绘示的光致抗蚀剂回收系统的结构配置图；
[0030]图2为本发明的实施例所绘示的光致抗蚀剂回收系统的瓶盖的结构图；
[0031]图3为本发明的实施例所绘示的光致抗蚀剂回收方法的步骤流程图。
[0032]符号说明
[0033]100:光致抗蚀剂回收系统
[0034]110:储存瓶
[0035]115:瓶盖
[0036]120:第一接头
[0037]121:快速接头
[0038]124:第二接头
[0039]125:第二接头抽取管路
[0040]128:第三接头
[0041]129:第三接头抽取管路
[0042]130:加压装置
[0043]140:排出管路
[0044]145:三通接头
[0045]151:第一切换装置
[0046]152:第二切换装置
[0047]153:第三切换装置
[0048]160:回收管路
[0049]170:暂存桶
[0050]175:输送管路
[0051]179:机台
[0052]180:侦测器
[0053]S301、S302、S303、S304:步骤
【具体实施方式】
[0054]下文中参照所附的附图来更充分地描述本发明实施例。然而，本发明可以多种不同的形式来实践，并不限于文中所述的实施例。以下实施例中所提到的方向用语，例如「上」等，仅是参考附加附图的方向，因此使用的方向用语是用来详细说明，而非用来限制本发明。此外，在附图中为明确起见可能将各层的尺寸以及相对尺寸作夸张的描绘。
[0055]以下，说明本发明的实施例的一种光致抗蚀剂回收系统。本发明的实施例以应用在光致抗蚀剂涂布制作工艺设备为例做说明，而其并不限于此。
[0056]图1是本发明实施例的一种光致抗蚀剂回收系统的结构配置图。请参阅图1，本实施例的光致抗蚀剂回收系统100包括储存瓶110、加压装置130、排出管路140、第一切换装置151、第二切换装置152、第三切换装置153以及回收管路160。其中，储存瓶110用以存放光致抗蚀剂液。储存瓶110具有瓶盖115，并且在瓶盖115上例如设有第一接头120、第二接头124与第三接头128。
[0057]加压装置130与第一接头120连接，用以提供压力，使得储存瓶110处于饱压状态，而将光致抗蚀剂液利用压力差的方式从储存瓶110送出。排出管路140与瓶盖115的第二接头152连接，用以输送光致抗蚀剂液。第一切换装置151设置于排出管路140上。第二切换装置152设置于储存瓶110与第一切换装置151之间的排出管路140上。回收管路160连接第三接头128以及在第一切换装置151与第二切换装置152之间的排出管路140。以及，第三切换装置153设置于回收管路160上。
[0058]在本发明一实施例中，光致抗蚀剂回收系统100的加压装置130例如是氮气加压
目.ο
[0059]在本发明一实施例中，光致抗蚀剂回收系统100的第二接头124还具有第二接头抽取管路125延伸至靠近储存瓶110的瓶底处，用以抽取光致抗蚀剂液；第三接头128设置有第三接头抽取管路129，用以回收光致抗蚀剂液，可防止因管路空管而造成颗粒污染光致抗蚀剂液。
[0060]在本发明一实施例中，光致抗蚀剂回收系统100还包括 暂存桶170，此暂存桶170是设置于储存瓶110与第二切换装置152之间的排出管路140上，并且暂存桶170是通过输送管路175连接至机台179。暂存桶170是用来暂存光致抗蚀剂剂，且暂存筒170具有去除气泡的功能，以防止光致抗蚀剂瓶110排空后于输送管路175中产生气泡。
[0061]在本发明一实施例中，光致抗蚀剂回收系统100还包括侦测器180，此侦测器180是设置于储存瓶110与暂存桶170之间的排出管路140上，用以侦测排出管路140是否有气泡产生以及储存瓶110的光致抗蚀剂液是否排空。若发生管路发生气泡的情况时，侦测器180可快速地侦测到排出管路140中之光致抗蚀剂内气泡，并可即时进行排除气泡的步骤。因此，可更加有效地避免因管路中的光致抗蚀剂内气泡，而影响光致抗蚀剂剂的品质与轮廓外观以及产品的良率。
[0062]在本发明一实施例中，光致抗蚀剂回收系统100的排出管路140是通过三通接头145与回收管路160连接。三通接头145的材质例如是铁氟龙。并且，三通接头145的另外一端通过排出管路140连接至第一切换装置151，并且以排出管路140连接至厂务系统端。
[0063]在本发明一实施例中，光致抗蚀剂回收系统100的第一切换装置151、第二切换装置152与第三切换装置153例如是二向阀，且此二向阀的材质例如是铁氟龙。
[0064]接着，说明本发明的光致抗蚀剂回收系统的瓶盖的结构。构件与上述实施例相同者，给予相同的标号，并省略其详细说明。
[0065]图2是本发明实施例的一种光致抗蚀剂回收系统的瓶盖的结构图。请参阅图2，本发明光致抗蚀剂回收系统100的瓶盖115设置于储存瓶110上方，瓶盖115上设有第一接头120、第二接头124与第三接头128，且第二接头124具有第二接头抽取管路125延伸至靠近储存瓶110的瓶底处，用以抽取光致抗蚀剂液；第三接头128设置有第三接头抽取管路129，用以回收光致抗蚀剂液。第一接头120与加压装置130连接，用以提供压力，第一接头120例如是快速接头121来连接。第二接头152与排出管路140连接，用以输送光致抗蚀剂液。第三接头128与回收管路160连接。
[0066]接着，说明本发明的光致抗蚀剂回收方法。构件与上述实施例相同者，给予相同的标号，并省略其详细说明。
[0067]图3是本发明实施例的一种光致抗蚀剂回收方法的步骤流程图。请参阅图3，本发明光致抗蚀剂回收方法适用于如图1所示的上述实施例中的光致抗蚀剂回收系统100。本发明光致抗蚀剂回收方法包括如下步骤:关闭第一切换装置151、第二切换装置152及第三切换装置153 (步骤S301);将加压装置130连接至第一接头120，并使得储存瓶110处于饱压状态(步骤S302);打开第二切换装置152，使得储存瓶110受到压力的影响，而使光致抗蚀剂液经由排出管路140流向回收管路160(步骤S303);以及打开第三切换装置153，并从第一接头120移除加压装置130的连接，利用压力差使得回收管路160中的光致抗蚀剂液流向储存瓶110 (步骤S304)。
[0068]以下，举例实施例说明本发明的光致抗蚀剂回收方法。在下面的实施例中，是以将本发明的光致抗蚀剂回收方法应用在当管路中出现气泡，以及光致抗蚀剂瓶排空时，需要回收含有气泡的光致抗蚀剂液或者残留于管线中的光致抗蚀剂液为例做说明。
[0069]请同时参阅图1至图3，在本实施例中，使用如图1所示的上述实施例中的光致抗蚀剂回收系统100。当排出管路140因为储存瓶110排空或者因管路的压力差过大而产生气泡，且此气泡流经位于储存瓶110与暂存桶170之间的排出管路140上的侦测器180时，则必须进行气泡的排除或者更换排空的储存瓶110，同时进行残余的光致抗蚀剂液的回收步骤。
[0070]首先，当侦测器180侦测到排出管路140有气泡产生，依照图3中的步骤S301，必须先将第一切换装置151、第二切换装置152及第三切换装置153关闭。接着，依照图3中的步骤S302，将作为加压装置130的氮气加压装置的一端利用快速接头121连接至瓶盖115上的第一接头120，打开氮气加压装置的开关，使得储存瓶110处于饱压状态。然后，依照图3中的步骤S303，打开第二切换装置152的开关，使得储存瓶110受到压力的影响，而使光致抗蚀剂液经由排出管路140流向回收管路160。最后，打开第三切换装置153，并从瓶盖115上的第一接头120移除连接作为加压装置130的氮气加压装置的快速接头121，利用压力差使得回收管路160中的光致抗蚀剂液流向储存瓶110，而由此回收排出管路140中的光致抗蚀剂液。
[0071]综上所述，本发明提供一种光致抗蚀剂回收系统及其方法，可避免因光致抗蚀剂瓶内光致抗蚀剂剂存量不足所产生的管路喷空及其衍生的问题，有效地避免因管路中的光致抗蚀剂内气泡，而影响光致抗蚀剂剂的品质与轮廓外观以及产品的良率。并且通过本发明的光致抗蚀剂回收系统及其方法可回收因管路中的气泡所排出的废弃光致抗蚀剂液，以及回收更换光致抗蚀剂瓶时，残留于管线中的光致抗蚀剂液。通过回收废弃或残留于管线中的光致抗蚀剂液，可以大幅降低光致抗蚀剂瓶更换次数，如此一来可有效光致抗蚀剂液的浪费，可有效降低生产成本。
[0072]虽然结合以上实施例公开了本发明，然而其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，可作些许的更动与润饰，故本发明的保护范围应当以附上的权利要求所界定的为准。
【主权项】
1.一种光致抗蚀剂回收系统，包括: 储存瓶，用以存放光致抗蚀剂液，所述储存瓶具有瓶盖，在所述瓶盖上设有第一接头、第二接头与第三接头； 加压装置，与所述第一接头连接； 排出管路，与所述瓶盖的所述第二接头连接； 第一切换装置，设置于所述排出管路上； 第二切换装置，设置于所述储存瓶与所述第一切换装置之间的所述排出管路上； 回收管路，连接所述第三接头以及在所述第一切换装置与所述第二切换装置之间的所述排出管路；以及 第三切换装置，设置于所述回收管路上。2.如权利要求1所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述第一接头为快速接头。3.如权利要求1所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述第二接头还具有第二接头抽取管路延伸至靠近所述储存瓶的瓶底处，用以抽取光致抗蚀剂液；第三接头设置有第三接头抽取管路，用以回收光致抗蚀剂液。4.如权利要求1所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述加压装置为氮气加压装置。5.如权利要求1所述的光致抗蚀剂回收系统，还包括: 暂存桶，设置于所述储存瓶与所述第二切换装置之间的所述排出管路上，并且所述暂存桶通过输送管路连接至机台。6.如权利要求5所述的光致抗蚀剂回收系统，还包括: 侦测器，设置于所述储存瓶与所述暂存桶之间的所述排出管路上。7.如权利要求1所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述排出管路是通过三通接头与所述回收管路连接。8.如权利要求7所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述三通接头的材质为铁氟龙。9.如权利要求1所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述第一切换装置、所述第二切换装置与所述第三切换装置为二向阀。10.如权利要求9所述的光致抗蚀剂回收系统，其中所述二向阀的材质为铁氟龙。11.一种光致抗蚀剂回收方法，适用于光致抗蚀剂回收系统，所述光致抗蚀剂回收系统包括:储存瓶，用以存放光致抗蚀剂液，所述储存瓶具有瓶盖，在所述瓶盖上设有第一接头、第二接头与第三接头；加压装置，与所述第一接头连接；排出管路，与所述第二接头连接；第一切换装置，设置于所述排出管路上；第二切换装置，设置于所述储存瓶与所述第一切换装置之间的所述排出管路上；回收管路，连接所述第三接头以及在所述第一切换装置与所述第二切换装置之间的所述排出管路；以及第三切换装置，设置于所述回收管路上，所述光致抗蚀剂回收方法，包括: 关闭所述第一切换装置、所述第二切换装置及所述第三切换装置； 将所述加压装置连接至所述第一接头，并使得所述储存瓶处于饱压状态； 打开所述第二切换装置，使得所述储存瓶受到压力的影响，而使所述光致抗蚀剂液经由所述排出管路流向所述回收管路；以及 打开所述第三切换装置，并从所述第一接头移除所述加压装置的连接，利用压力差使得所述回收管路中的所述光致抗蚀剂液流向所述储存瓶。12.如权利要求11所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述第一接头为快速接头。13.如权利要求11所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述第二接头还具有第二接头抽取管路延伸至靠近所述储存瓶的瓶底处，用以抽取光致抗蚀剂液；第三接头设置有第三接头抽取管路，用以回收光致抗蚀剂液。14.如权利要求11所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述加压装置为氮气加压装置。15.如权利要求11所述的光致抗蚀剂回收方法，其中，所述的光致抗蚀剂回收系统还包括: 暂存桶，设置于所述储存瓶与所述第二切换装置之间的所述排出管路上，并且所述暂存桶通过输送管路连接至机台。16.如权利要求15所述的光致抗蚀剂回收方法，其中，所述的光致抗蚀剂回收系统还包括: 侦测器，设置于所述储存瓶与所述暂存桶之间的所述排出管路上。17.如权利要求11所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述排出管路是通过三通接头与所述回收管路连接。18.如权利要求17所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述三通接头的材质为铁氟龙。19.如权利要求11所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述第一切换装置、所述第二切换装置与所述第三切换装置为二向阀。20.如权利要求19所述的光致抗蚀剂回收方法，其中所述二向阀的材质为铁氟龙。
【专利摘要】本发明公开一种光致抗蚀剂回收系统及其方法，该光致抗蚀剂回收系统包括：储存瓶，用以存放光致抗蚀剂液，且储存瓶具有瓶盖，在瓶盖上设有第一接头、第二接头与第三接头；加压装置，与第一接头连接；排出管路，与瓶盖的第二接头连接；第一切换装置，设置于排出管路上；第二切换装置，设置于储存瓶与第一切换装置之间的排出管路上；回收管路，连接第三接头以及在第一切换装置与第二切换装置之间的排出管路；以及第三切换装置，设置于回收管路上。
【IPC分类】G03F7/16
【公开号】CN105487338
【申请号】CN201410548284
【发明人】谢国信, 罗健宾
【申请人】力晶科技股份有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2014年10月16日
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