一种柔性显示设备的制造方法
一种柔性显示设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示器制造技术领域，特别涉及一种柔性显示设备的制造方法。
【背景技术】
[0002]当今社会已进入信息化时代，平板显示作为信息化社会中人机交流平台，扮演着极其关键的作用，显示技术从rop到LCD再到目前火热的0LED，在显示技术的高速发展中，柔性显示技术一跃成为备受瞩目的焦点。相比传统的显示设备(即硬屏)，柔性显示设备优势非常明显，其不但在体积上更加轻薄，而且功耗也低于传统显示设备，大大提升了设备的续航能力。同时，由于柔性显示设备可弯曲、柔韧性好的特性，耐用程度也大大好于以往显示设备，降低了设备意外损伤的概率。
[0003]虽然柔性显示设备的优势非常明显，但是其制备技术上存在一些缺陷，特别是将柔性基板从刚性基底剥离的过程。现有的柔性显示设备的制造方法大多是把柔性基板固定到刚性基板上，元器件制造完成后，再从刚性基板上剥离柔性基板，得到柔性显示设备。
[0004]目前将柔性基板从刚性基板上剥离的常用技术是用机械牵引力破坏柔性基板与刚性基板之间的黏胶，从而将两者分离。或者是用药液将柔性基板与刚基板的中间层腐蚀的方式实现两者间剥离。机械力牵引时需要精密的控制设备;药液腐蚀时则需要控制药液与中间层的反应过程。这两种方式均增加了生产的复杂度，不利于提高生产效率。
[0005]因此，在柔性显示设备的制造过程中，寻求一种既不需要复杂的过程、也不需要对剥离进行精密控制即可完成柔性基板与刚性基板的剥离进而降低柔性显示设备制造难度和控制制造成本的方法，成为了本领域技术人员需要解决的一个难题。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于提供一种柔性显示设备的制造方法，以解决现有技术中柔性基板从刚性基板上的剥离过程复杂的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本发明提供一种柔性显示设备的制造方法，所述柔性显示设备的制造方法包括:
[0008]提供刚性基板；
[0009]在所述刚性基板上放置气袋；
[0010]在所述气袋上形成牺牲层；
[0011 ]在所述牺牲层上形成柔性基板；
[0012]在所述柔性基板上形成元器件；
[0013]向所述气袋充气，使得所述气袋膨胀，从而将所述柔性基板从所述刚性基板上剥离。
[0014]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述刚性基板上具有凹槽，所述气袋置于所述凹槽内。
[0015]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述刚性基板上还具有与所述凹槽连通的开口，所述气袋的充气口置于所述开口内。
[0016]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述牺牲层也置于所述凹槽内，并填平所述凹槽。
[0017]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述凹槽、气袋、牺牲层及柔性基板的表面积相同。
[0018]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述凹槽、气袋及牺牲层的表面积相同，所述凹槽、气袋及牺牲层的表面积比所述柔性基板的表面积大。
[0019]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，在所述柔性基板上形成元器件之后，向所述气袋充气之前，还包括:
[0020]对所述牺牲层进行切割，使得所述牺牲层的表面积与所述柔性基板的表面积相同。
[0021]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述气袋的材料为聚四氟乙烯和有机硅橡胶。
[0022]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述牺牲层的材料和柔性基板的材料相同。
[0023]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述牺牲层的材料和柔性基板的材料均为高分子聚合物。
[0024]在本发明提供的柔性显示设备的制造方法中，在刚性基板上放置气袋，在气袋上形成牺牲层、柔性基板及元器件，通过向气袋充气，使气袋膨胀，从而产生向上的压力，通过该压力顶起牺牲层及其上的柔性基板和元器件，从而十分简便的将柔性基板从刚性基板上剥离，进而降低了柔性显示设备的制造难度及制造成本。
【附图说明】
[0025]图1是本发明实施例一的柔性显示设备的制造方法中柔性基板剥离前的器件结构示意图；
[0026]图2是本发明实施例二的柔性显示设备的制造方法中柔性基板剥离前的器件结构示意图。
【具体实施方式】
[0027]以下结合附图和具体实施例对本发明提出的柔性显示设备的制造方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
[0028]【实施例一】
[0029]请参考图1，其为本发明实施例一的柔性显示设备的制造方法中柔性基板剥离前的器件结构示意图。
[0030]如图1所示，在本实施例一中，所述柔性显示设备的制造方法包括如下步骤:
[0031]步骤S1:提供刚性基板1;
[0032]步骤Sll:在所述刚性基板10上放置气袋11;
[0033]步骤S12:在所述气袋11上形成牺牲层12;
[0034]步骤S13:在所述牺牲层12上形成柔性基板13;
[0035]步骤S14:在所述柔性基板13上形成元器件14;
[0036]步骤S15:向所述气袋11充气，使得所述气袋11膨胀，从而将所述柔性基板13从所述刚性基板10上剥离。
[0037]在本申请实施例中，通过向气袋11充气，使气袋11膨胀，从而产生向上的压力，通过该压力顶起牺牲层12及其上的柔性基板13和元器件14，从而十分简便地便实现了将柔性基板13从刚性基板10上剥离，进而降低了柔性显示设备的制造难度及制造成本。
[0038]优选的，所述气袋11的材料为聚四氟乙烯和有机硅橡胶。这些材质具有良好的耐热性、弹性、耐腐蚀性和不粘性，从而保证了工艺的可靠性。
[0039]其中，所述牺牲层12的材料和柔性基板13的材料相同。优选的，所述牺牲层12的材料和柔性基板13的材料均为高分子聚合物。例如，所述牺牲层12的材料和柔性基板13的材料为聚酰亚胺、聚苯乙烯、聚对笨二甲酸乙二醇酯、聚对二甲苯等材料或其合成复合材料。
[0040]在本申请实施例中，通过所述牺牲层12既可在所述柔性基板13形成的过程中，保证其形成在平坦的表面上，从而提高所述柔性基板13的质量;又可以在剥离所述柔性基板13的过程中保护所述柔性基板13，防止所述柔性基板13在此过程中受损，从而提高了剥离的可靠性。
[0041]在本申请实施例中，所述刚性基板10上具有凹槽，所述气袋11置于所述凹槽内。进一步的，所述刚性基板10 上还具有与所述凹槽连通的开口，所述气袋11的充气口置于所述开口内。由此，既能保证所述气袋11表面的平整性，又能够便于对所述气袋11内充气。更进一步的，所述牺牲层12也置于所述凹槽内，并填平所述凹槽。从而保证了所述柔性基板13形成在平坦的表面上，进而提高了所述柔性基板13的质量。
[0042]在本申请实施例中，所述凹槽、气袋11、牺牲层12及柔性基板13的表面积相同。由此，可直接向气袋11充气，使得牺牲层12及其上的柔性基板13和元器件14从刚性基板10上剥离，无需对所述牺牲层12做任何处理，最终所述牺牲层12可作为所述柔性基板13的一部分。
[0043]【实施例二】
[0044]本申请实施例二与实施例一的差别在于，在实施例一中，所述凹槽、气袋、牺牲层及柔性基板的表面积相同；而在本申请实施例二中，所述凹槽、气袋及牺牲层的表面积相同，述凹槽、气袋及牺牲层的表面积比所述柔性基板的表面积大。具体的，请参考图2，其为本发明实施例二的柔性显示设备的制造方法中柔性基板剥离前的器件结构示意图。
[0045]如图2所示，在本实施例二中，所述柔性显示设备的制造方法包括如下步骤:
[0046]步骤S20:提供刚性基板20;
[0047]步骤S21:在所述刚性基板20上放置气袋21;
[0048]步骤S22:在所述气袋21上形成牺牲层22 ；
[0049]步骤S23:在所述牺牲层22上形成柔性基板23;
[0050]步骤S24:在所述柔性基板23上形成元器件24;
[0051]步骤S25:对所述牺牲层22进行切割，使得所述牺牲层22的表面积与所述柔性基板23的表面积相同；
[0052]步骤S26:向所述气袋21充气，使得所述气袋21膨胀，从而将所述柔性基板23从所述刚性基板20上剥离。
[0053]在本申请实施例中，通过向气袋21充气，使气袋21膨胀，从而产生向上的压力，通过该压力顶起牺牲层22及其上的柔性基板23和元器件24，从而十分简便地便实现了将柔性基板23从刚性基板20上剥离，进而降低了柔性显示设备的制造难度及制造成本。
[0054]优选的，所述气袋21的材料为聚四氟乙烯和有机硅橡胶。这些材质具有良好的耐热性、弹性、耐腐蚀性和不粘性，从而保证了工艺的可靠性。
[0055]其中，所述牺牲层22的材料和柔性基板23的材料相同。优选的，所述牺牲层22的材料和柔性基板23的材料均为高分子聚合物。例如，所述牺牲层22的材料和柔性基板23的材料为聚酰亚胺、聚苯乙烯、聚对笨二甲酸乙二醇酯、聚对二甲苯等材料或其合成复合材料。
[0056]在本申请实施例中，通过所述牺牲层22既可在所述柔性基板23形成的过程中，保证其形成在平坦的表面上，从而提高所述柔性基板23的质量;又可以在剥离所述柔性基板23的过程中保护所述柔性基板23，防止所述柔性基板23在此过程中受损，从而提高了剥离的可靠性。
[0057]在本申请实施例中，所述刚性基板20上具有凹槽，所述气袋21置于所述凹槽内。进一步的，所述刚性基板20上还具有与所述凹槽连通的开口，所述气袋21的充气口置于所述开口内。由此，既能保证所述气袋21表面的平整性，又能够便于对所述气袋21内充气。更进一步的，所述牺牲层22也置于所述凹槽内，并填平所述凹槽。从而保证了所述柔性基板23形成在平坦的表面上，进而提高了所述柔性基板23的质量。
[0058]在本申请实施例中，由于所述凹槽、气袋21及牺牲层22的表面积相同，述凹槽、气袋21及牺牲层22的表面积比所述柔性基板23的表面积大。因此，在向气袋21充气，使得牺牲层22及其上的柔性基板23和元器件24从刚性基板20上剥离前，需要对所述牺牲层22做些处理，以使得所述牺牲层22的表面积与所述柔性基板23的表面积相同，由此后续便可作为所述柔性基板23的一部分。
[0059]上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
【主权项】
1.一种柔性显示设备的制造方法，其特征在于，包括: 提供刚性基板； 在所述刚性基板上放置气袋； 在所述气袋上形成牺牲层； 在所述牺牲层上形成柔性基板； 在所述柔性基板上形成元器件； 向所述气袋充气，使得所述气袋膨胀，从而将所述柔性基板从所述刚性基板上剥离。2.如权利要求1所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述刚性基板上具有凹槽，所述气袋置于所述凹槽内。3.如权利要求2所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述刚性基板上还具有与所述凹槽连通的开口，所述气袋的充气口置于所述开口内。4.如权利要求2所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述牺牲层也置于所述凹槽内，并填平所述凹槽。5.如权利要求2所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述凹槽、气袋、牺牲层及柔性基板的表面积相同。6.如权利要求2所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述凹槽、气袋及牺牲层的表面积相同，所述凹槽、气袋及牺牲层的表面积比所述柔性基板的表面积大。7.如权利要求6所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，在所述柔性基板上形成元器件之后，向所述气袋充气之前，还包括: 对所述牺牲层进行切割，使得所述牺牲层的表面积与所述柔性基板的表面积相同。8.如权利要求1?7中任一项所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述气袋的材料为聚四氟乙烯和有机硅橡胶。9.如权利要求1?7中任一项所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述牺牲层的材料和柔性基板的材料相同。10.如权利要求9所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述牺牲层的材料和柔性基板的材料均为高分子聚合物。
【专利摘要】本发明提供了一种柔性显示设备的制造方法，所述柔性显示设备的制造方法包括：提供刚性基板；在所述刚性基板上放置气袋；在所述气袋上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成柔性基板；在所述柔性基板上形成元器件；向所述气袋充气，使得所述气袋膨胀，从而将所述柔性基板从所述刚性基板上剥离。在本发明提供的柔性显示设备的制造方法中，在刚性基板上放置气袋，在气袋上形成牺牲层、柔性基板及元器件，通过向气袋充气，使气袋膨胀，从而产生向上的压力，通过该压力顶起牺牲层及其上的柔性基板和元器件，从而十分简便的将柔性基板从刚性基板上剥离，进而降低了柔性显示设备的制造难度及制造成本。
【IPC分类】H01L21/78
【公开号】CN105489554
【申请号】CN201510907247
【发明人】王敏, 费国东, 倪欢
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年12月9日
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示器制造技术领域，特别涉及一种柔性显示设备的制造方法。
【背景技术】
[0002]当今社会已进入信息化时代，平板显示作为信息化社会中人机交流平台，扮演着极其关键的作用，显示技术从rop到LCD再到目前火热的0LED，在显示技术的高速发展中，柔性显示技术一跃成为备受瞩目的焦点。相比传统的显示设备(即硬屏)，柔性显示设备优势非常明显，其不但在体积上更加轻薄，而且功耗也低于传统显示设备，大大提升了设备的续航能力。同时，由于柔性显示设备可弯曲、柔韧性好的特性，耐用程度也大大好于以往显示设备，降低了设备意外损伤的概率。
[0003]虽然柔性显示设备的优势非常明显，但是其制备技术上存在一些缺陷，特别是将柔性基板从刚性基底剥离的过程。现有的柔性显示设备的制造方法大多是把柔性基板固定到刚性基板上，元器件制造完成后，再从刚性基板上剥离柔性基板，得到柔性显示设备。
[0004]目前将柔性基板从刚性基板上剥离的常用技术是用机械牵引力破坏柔性基板与刚性基板之间的黏胶，从而将两者分离。或者是用药液将柔性基板与刚基板的中间层腐蚀的方式实现两者间剥离。机械力牵引时需要精密的控制设备;药液腐蚀时则需要控制药液与中间层的反应过程。这两种方式均增加了生产的复杂度，不利于提高生产效率。
[0005]因此，在柔性显示设备的制造过程中，寻求一种既不需要复杂的过程、也不需要对剥离进行精密控制即可完成柔性基板与刚性基板的剥离进而降低柔性显示设备制造难度和控制制造成本的方法，成为了本领域技术人员需要解决的一个难题。
【发明内容】
[0006]本发明的目的在于提供一种柔性显示设备的制造方法，以解决现有技术中柔性基板从刚性基板上的剥离过程复杂的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本发明提供一种柔性显示设备的制造方法，所述柔性显示设备的制造方法包括:
[0008]提供刚性基板；
[0009]在所述刚性基板上放置气袋；
[0010]在所述气袋上形成牺牲层；
[0011 ]在所述牺牲层上形成柔性基板；
[0012]在所述柔性基板上形成元器件；
[0013]向所述气袋充气，使得所述气袋膨胀，从而将所述柔性基板从所述刚性基板上剥离。
[0014]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述刚性基板上具有凹槽，所述气袋置于所述凹槽内。
[0015]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述刚性基板上还具有与所述凹槽连通的开口，所述气袋的充气口置于所述开口内。
[0016]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述牺牲层也置于所述凹槽内，并填平所述凹槽。
[0017]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述凹槽、气袋、牺牲层及柔性基板的表面积相同。
[0018]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述凹槽、气袋及牺牲层的表面积相同，所述凹槽、气袋及牺牲层的表面积比所述柔性基板的表面积大。
[0019]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，在所述柔性基板上形成元器件之后，向所述气袋充气之前，还包括:
[0020]对所述牺牲层进行切割，使得所述牺牲层的表面积与所述柔性基板的表面积相同。
[0021]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述气袋的材料为聚四氟乙烯和有机硅橡胶。
[0022]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述牺牲层的材料和柔性基板的材料相同。
[0023]可选的，在所述的柔性显示设备的制造方法中，所述牺牲层的材料和柔性基板的材料均为高分子聚合物。
[0024]在本发明提供的柔性显示设备的制造方法中，在刚性基板上放置气袋，在气袋上形成牺牲层、柔性基板及元器件，通过向气袋充气，使气袋膨胀，从而产生向上的压力，通过该压力顶起牺牲层及其上的柔性基板和元器件，从而十分简便的将柔性基板从刚性基板上剥离，进而降低了柔性显示设备的制造难度及制造成本。
【附图说明】
[0025]图1是本发明实施例一的柔性显示设备的制造方法中柔性基板剥离前的器件结构示意图；
[0026]图2是本发明实施例二的柔性显示设备的制造方法中柔性基板剥离前的器件结构示意图。
【具体实施方式】
[0027]以下结合附图和具体实施例对本发明提出的柔性显示设备的制造方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
[0028]【实施例一】
[0029]请参考图1，其为本发明实施例一的柔性显示设备的制造方法中柔性基板剥离前的器件结构示意图。
[0030]如图1所示，在本实施例一中，所述柔性显示设备的制造方法包括如下步骤:
[0031]步骤S1:提供刚性基板1;
[0032]步骤Sll:在所述刚性基板10上放置气袋11;
[0033]步骤S12:在所述气袋11上形成牺牲层12;
[0034]步骤S13:在所述牺牲层12上形成柔性基板13;
[0035]步骤S14:在所述柔性基板13上形成元器件14;
[0036]步骤S15:向所述气袋11充气，使得所述气袋11膨胀，从而将所述柔性基板13从所述刚性基板10上剥离。
[0037]在本申请实施例中，通过向气袋11充气，使气袋11膨胀，从而产生向上的压力，通过该压力顶起牺牲层12及其上的柔性基板13和元器件14，从而十分简便地便实现了将柔性基板13从刚性基板10上剥离，进而降低了柔性显示设备的制造难度及制造成本。
[0038]优选的，所述气袋11的材料为聚四氟乙烯和有机硅橡胶。这些材质具有良好的耐热性、弹性、耐腐蚀性和不粘性，从而保证了工艺的可靠性。
[0039]其中，所述牺牲层12的材料和柔性基板13的材料相同。优选的，所述牺牲层12的材料和柔性基板13的材料均为高分子聚合物。例如，所述牺牲层12的材料和柔性基板13的材料为聚酰亚胺、聚苯乙烯、聚对笨二甲酸乙二醇酯、聚对二甲苯等材料或其合成复合材料。
[0040]在本申请实施例中，通过所述牺牲层12既可在所述柔性基板13形成的过程中，保证其形成在平坦的表面上，从而提高所述柔性基板13的质量;又可以在剥离所述柔性基板13的过程中保护所述柔性基板13，防止所述柔性基板13在此过程中受损，从而提高了剥离的可靠性。
[0041]在本申请实施例中，所述刚性基板10上具有凹槽，所述气袋11置于所述凹槽内。进一步的，所述刚性基板10 上还具有与所述凹槽连通的开口，所述气袋11的充气口置于所述开口内。由此，既能保证所述气袋11表面的平整性，又能够便于对所述气袋11内充气。更进一步的，所述牺牲层12也置于所述凹槽内，并填平所述凹槽。从而保证了所述柔性基板13形成在平坦的表面上，进而提高了所述柔性基板13的质量。
[0042]在本申请实施例中，所述凹槽、气袋11、牺牲层12及柔性基板13的表面积相同。由此，可直接向气袋11充气，使得牺牲层12及其上的柔性基板13和元器件14从刚性基板10上剥离，无需对所述牺牲层12做任何处理，最终所述牺牲层12可作为所述柔性基板13的一部分。
[0043]【实施例二】
[0044]本申请实施例二与实施例一的差别在于，在实施例一中，所述凹槽、气袋、牺牲层及柔性基板的表面积相同；而在本申请实施例二中，所述凹槽、气袋及牺牲层的表面积相同，述凹槽、气袋及牺牲层的表面积比所述柔性基板的表面积大。具体的，请参考图2，其为本发明实施例二的柔性显示设备的制造方法中柔性基板剥离前的器件结构示意图。
[0045]如图2所示，在本实施例二中，所述柔性显示设备的制造方法包括如下步骤:
[0046]步骤S20:提供刚性基板20;
[0047]步骤S21:在所述刚性基板20上放置气袋21;
[0048]步骤S22:在所述气袋21上形成牺牲层22 ；
[0049]步骤S23:在所述牺牲层22上形成柔性基板23;
[0050]步骤S24:在所述柔性基板23上形成元器件24;
[0051]步骤S25:对所述牺牲层22进行切割，使得所述牺牲层22的表面积与所述柔性基板23的表面积相同；
[0052]步骤S26:向所述气袋21充气，使得所述气袋21膨胀，从而将所述柔性基板23从所述刚性基板20上剥离。
[0053]在本申请实施例中，通过向气袋21充气，使气袋21膨胀，从而产生向上的压力，通过该压力顶起牺牲层22及其上的柔性基板23和元器件24，从而十分简便地便实现了将柔性基板23从刚性基板20上剥离，进而降低了柔性显示设备的制造难度及制造成本。
[0054]优选的，所述气袋21的材料为聚四氟乙烯和有机硅橡胶。这些材质具有良好的耐热性、弹性、耐腐蚀性和不粘性，从而保证了工艺的可靠性。
[0055]其中，所述牺牲层22的材料和柔性基板23的材料相同。优选的，所述牺牲层22的材料和柔性基板23的材料均为高分子聚合物。例如，所述牺牲层22的材料和柔性基板23的材料为聚酰亚胺、聚苯乙烯、聚对笨二甲酸乙二醇酯、聚对二甲苯等材料或其合成复合材料。
[0056]在本申请实施例中，通过所述牺牲层22既可在所述柔性基板23形成的过程中，保证其形成在平坦的表面上，从而提高所述柔性基板23的质量;又可以在剥离所述柔性基板23的过程中保护所述柔性基板23，防止所述柔性基板23在此过程中受损，从而提高了剥离的可靠性。
[0057]在本申请实施例中，所述刚性基板20上具有凹槽，所述气袋21置于所述凹槽内。进一步的，所述刚性基板20上还具有与所述凹槽连通的开口，所述气袋21的充气口置于所述开口内。由此，既能保证所述气袋21表面的平整性，又能够便于对所述气袋21内充气。更进一步的，所述牺牲层22也置于所述凹槽内，并填平所述凹槽。从而保证了所述柔性基板23形成在平坦的表面上，进而提高了所述柔性基板23的质量。
[0058]在本申请实施例中，由于所述凹槽、气袋21及牺牲层22的表面积相同，述凹槽、气袋21及牺牲层22的表面积比所述柔性基板23的表面积大。因此，在向气袋21充气，使得牺牲层22及其上的柔性基板23和元器件24从刚性基板20上剥离前，需要对所述牺牲层22做些处理，以使得所述牺牲层22的表面积与所述柔性基板23的表面积相同，由此后续便可作为所述柔性基板23的一部分。
[0059]上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
【主权项】
1.一种柔性显示设备的制造方法，其特征在于，包括: 提供刚性基板； 在所述刚性基板上放置气袋； 在所述气袋上形成牺牲层； 在所述牺牲层上形成柔性基板； 在所述柔性基板上形成元器件； 向所述气袋充气，使得所述气袋膨胀，从而将所述柔性基板从所述刚性基板上剥离。2.如权利要求1所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述刚性基板上具有凹槽，所述气袋置于所述凹槽内。3.如权利要求2所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述刚性基板上还具有与所述凹槽连通的开口，所述气袋的充气口置于所述开口内。4.如权利要求2所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述牺牲层也置于所述凹槽内，并填平所述凹槽。5.如权利要求2所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述凹槽、气袋、牺牲层及柔性基板的表面积相同。6.如权利要求2所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述凹槽、气袋及牺牲层的表面积相同，所述凹槽、气袋及牺牲层的表面积比所述柔性基板的表面积大。7.如权利要求6所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，在所述柔性基板上形成元器件之后，向所述气袋充气之前，还包括: 对所述牺牲层进行切割，使得所述牺牲层的表面积与所述柔性基板的表面积相同。8.如权利要求1?7中任一项所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述气袋的材料为聚四氟乙烯和有机硅橡胶。9.如权利要求1?7中任一项所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述牺牲层的材料和柔性基板的材料相同。10.如权利要求9所述的柔性显示设备的制造方法，其特征在于，所述牺牲层的材料和柔性基板的材料均为高分子聚合物。
【专利摘要】本发明提供了一种柔性显示设备的制造方法，所述柔性显示设备的制造方法包括：提供刚性基板；在所述刚性基板上放置气袋；在所述气袋上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成柔性基板；在所述柔性基板上形成元器件；向所述气袋充气，使得所述气袋膨胀，从而将所述柔性基板从所述刚性基板上剥离。在本发明提供的柔性显示设备的制造方法中，在刚性基板上放置气袋，在气袋上形成牺牲层、柔性基板及元器件，通过向气袋充气，使气袋膨胀，从而产生向上的压力，通过该压力顶起牺牲层及其上的柔性基板和元器件，从而十分简便的将柔性基板从刚性基板上剥离，进而降低了柔性显示设备的制造难度及制造成本。
【IPC分类】H01L21/78
【公开号】CN105489554
【申请号】CN201510907247
【发明人】王敏, 费国东, 倪欢
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年12月9日
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