微腔激光器阵列及包括它的可见光光度计的制作方法

微腔激光器阵列及包括它的可见光光度计的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及光谱分析领域，具体设及一种微腔激光器阵列及包括它的可见光光度 计。
【背景技术】
[0002] 紫外/可见吸收光谱是基于分子内电子跃迁而产生的吸收光谱。当福射照射到物 质上，光子和分子发生相互碰撞，如果光子的能量等于分子内一个低能级和一个高能级能 量差，就会发生吸收作用。分子对光子进行选择性吸收的同时，就产生了吸收光谱。吸收光 谱的位置，即波长，是由产生谱带的跃迁能级间的能量差决定的，反映了分子内能级的分布 状况。通过物质的特性吸收谱，可W对物质进行定量检测。自紫外/可见光度法诞生一百多 年W来，由于方法本身发展、大量新物质的涌现和各种商业化光度计的普及，在很多领域都 得到了广泛的应用。现今，分光光度法可测样品十分广泛，设及医药、化工、地质、冶金、建 材、能源和食品等各个方面W及农业、环境、国防、科技等各个领域，已经成为工农业生产和 科学研究中非常重要的工具。
[0003] 市场所售为色散型分光光度计，主要由光源、单色器、检测器W及显示系统组成。 光源是需要覆盖整个光谱的连续光源，一般通过鹤灯提供波长范围在30化m-250化m输出， 通过気灯提供紫外160nm-375nm输出。单色器由入射狭缝、反射镜、色散元件、出射狭缝等组 成。其中入射狭缝限制进入仪器的光源及环境杂散光数量。色散元件可W选择棱镜或者光 栅，通过转动棱镜或光栅的波长盘，来改变单色器出射光束的波长。出射狭缝隙的宽度可W 调整出射光束的带宽和单色光的纯度。经过单色器的滤光作用后，特定波长的探测光在样 品池中单次透射，透过光强利用检测器进行测量，最后在显示系统上显示透射能量随着波 长的变化曲线。
[0004] 单色器是色散型分光光度计的屯、脏部分，它目的是从连续光源中分离出足够窄波 段的光束，其性能直接影响探测光谱的宽度，从而影响测试的灵敏度和工作曲线的线性范 围。市场上单色器的工作结构主要分为两种:一种是采用步进电机加丝杆或凸轮的结构进 行逐点调制，用逐点波长进行扫描探测。运种机械式扫描单色器的的优点是精度高、单色性 好、成本相对较低，但是由于机械式点扫描速度有限，且探测器一次只能采集一个波长的数 据，扫描速率仅能达到30nm/min。每次测试耗费时间长，通常需要几分钟才可W完成一个样 品的测试。此外电机或丝杆的往复运动会不可避免的带来的机械摩擦误差和空回误差，造 成波长准确度不高和波长重复性下降。中国专利CN 101788340A提供了一种波长扫描装置， 通过对光栅的运动情况进行高精度测量，一定程度上提高了运种单色器工作方式的运行效 率和波长准确度，但是仍需要几十秒的测量时间，没有达到实时测量的要求，且操作难度和 仪器成本也大为升高。第二种是采用阵列探测器的非扫描式分光光度计，中国专利CN 100451611C和CN 201885802 U分别公布了将一部分或整个透过色散元件后波长随空间有 一定分布的光斑投射到阵列探测器上，运样一次测量一部分甚至是整个光谱的数据，大为 提高了扫描速率和波长重复性，采集速率可达每秒1000幅光谱图。该工作方式受阵列探测 器尺寸限制，波长范围和分辨率是一对矛盾，最高分辨率仅在1.5nm左右。
[0005] 由于色散型光度计中采用的鹤灯或気灯连续光源，光强随波长变化变化幅度大， 并且对工作电流和工作时间有很强的依赖性，因此除了要增加复杂的单色器之外，还需要 一些稳定设施和拟合过程才能得到较好的测量结果，因此也有研究人员对尝试着对光源进 行改良。中国专利CN20211953抓提出用多个发光二极管为光源，覆盖380nm-780nm的可见波 段，利用发光二极管较好的单色性进行测量，但是由于无机二极管发光半宽在10皿W上，运 种光度计的分辨率很低，没有太大的市场潜力。中国专利CN2224418Y提出用激光器作为色 度计光源，由于激光存在方向性好、单色性佳的优点，因此测量准确度和分辨率可W很高。 但是市场上单个激光器的波长可调范围有限，需要若干台激光器才有可能覆盖一定波段， 因此带来成本极高、系统复杂的问题，不具备实际操作性。

【发明内容】

[0006] 为了解决上述技术问题，本发明提供了一种可W在保证高分辨率和高效率的同时 还能降低制造成本的微腔激光器阵列及包括它的可见光光度计。
[0007] 为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：
[0008] 微腔激光器阵列，其包括由下至上依次设置的衬底层、累浦层、增益层和封装层， 增益层内设置有多个阵列排布且并行出光的DBR微腔激光器，累浦层用于连通累浦源，该累 浦源将累浦光输入到累浦层内。
[0009] 本发明通过采用上述的技术方案，利用多个阵列排布且并行出光的DBR微腔激光 器，取代现有光度计中的连续光源和复杂的单色器工作系统，简化了器件工作结构，降低了 系统成本;利用激光本身方向性好、单色性佳的优点，本可见光光度计检测分辨率高，可W 达到O.lnm，使得波长可W覆盖整个可见波段，因此具备高分辨率和高效率的优势；同时各 个DBR微腔激光器可W做成全有机，通过纳米压印技术进行大规模生产，具有柔性、低成本 的优势，一旦达到工作寿命，可W通过简单替换恢复工作性能。
[0010] 因此，本发明与现有技术相比，有效地权衡了高分辨率、高效率和制造成本高之间 的矛盾，使得微腔激光器阵列既具有高分辨率、高效率的优点，又具有制造成本低的优势。
[0011] 同时，并行出光的多个DBR微腔激光器还可W结合阵列探测器实时测量的性质，快 速、实时地获取样品的吸收光谱。
[0012] 在上述技术方案的基础上，本发明还可W作如下改进：
[0013] 作为优选的方案，上述的累浦源具有将累浦光导入累浦层的光纤。
[0014] 采用上述优选的方案，便于将累浦光高效地导入到累浦层。
[0015] 作为优选的方案，上述的累浦层设置为在同一水平面内排布的多行，其汇聚到光 线的输出端，每行累浦层上沿其长度方向间隔布置有多个DBR微腔激光器。
[0016] 采用上述优选的方案，可W从一个累浦源对多行的DBR微腔激光器进行同时的激 发，在保证高分辨率和高效率的同时，也可W有效地降低制造成本。
[0017] 作为优选的方案，上述的DBR微腔激光器包括对称设置的一对布拉格光栅。
[0018] 采用上述优选的方案，即将微腔设置为2级布拉格腔，该腔有W下特点：反馈光通 过1级禪合过程和光栅进行作用，得到垂直发射的激光，该禪合过程和累浦光入射角度无 关;输出波长和光栅周期存在固定线性关系，因此通过调控光栅周期可W调制激光波长;选 频过程和累浦光入射角度无关，不需要对累浦光角度进行调控。
[0019] 作为优选的方案，上述的一对布拉格光栅的间距为2-200微米。
[0020] 采用上述优选的方案，可W增长增益长度，提高光增益效率。
[0021] 作为优选的方案，上述的布拉格光栅的厚度和增益层的厚度之比为1:4-1:2。
[0022] 采用上述优选的方案，可W保证优良的激光性能。
[0023] 作为优选的方案，上述的增益层的厚度为100-500纳米。
[0024] 采用上述优选的方案，可W进一步地提高光增益效率。
[0025] 作为优选的方案，上述的累浦层的厚度为10-30微米。
[0026] 采用上述优选的方案，可W对累浦光的传播长度进行有效的控制，一方面充分利 用累浦光，对单个DBR微腔激光器的微腔进行有效累浦，另一方面保证对整列微腔均匀累 浦，得到并行出射的激光。
[0027] 可见光光度计，其包括上述的微腔激光器阵列，该微腔激光器阵列上安装有液体 输入装置，微腔激光器阵列的上方设置有阵列探测器，接收微腔激光器阵列所发出的光斑。
[0028] 本发明的可见光光度计由于采用了上述的微腔激光器阵列，因此其也取得了同样 的有益效果，在此不再寶述。
[0029] 作为优选的方案，上 述的液体输入装置包括：
[0030] 流体腔，其设置于微腔激光器阵列的上方，阵列探测器设置于液体腔的上方；
[0031 ]液体输入管，其连接液体腔，液体输入管具有输入口和输出口。
[0032] 采用上述优选的方案，可W平稳地输入待测样品。
【附图说明】
[0033] 图1为本发明的微腔激光器阵列的结构示意图。
[0034] 图2为本发明的微腔激光器阵列中的DBR微腔激光器的阵列排布示意图。
[0035] 图3为本发明的微腔激光器阵列中的D服微腔激光器的结构示意图。
[0036] 图4为本发明的可见光光度计的结构示意图。
[0037] 图5为本发明的可见光光度计中的阵列探测器(应用于微腔激光器阵列）的结构示 意图。
[003引其中，1.微腔激光器阵列11.衬底层12.累浦层13.增益层308-310.增益薄 膜14.封装层15.DBR微腔激光器151.布拉格光栅152.激光面阵305-307.DBR激 光腔16.累浦源161.光纤2.液体输入装置21.流体腔22.液体输入管23.微流 累3.阵列探测器31.显示系统。
【具体实施方式】
[0039] 下面结合附图详细说明本发明的优选实施方式。
[0040] 为了达到本发明的目的，如图1-5所示，本实施例中的微腔激光器阵列1主要为一 个四层波导结构，底下为衬底层11，衬底层11需透光性质良好，折射率够低，W免造成纵向 累浦光的泄露，衬底层11上需用光刻或者纳米压印工艺制作数列累浦层12,累浦层12折射 率和厚度需要严格调控，从而激发光可W对足够长度内的微腔并行累浦，累浦层12W上是 包含有多个DBR微腔激光器15(即布拉格反射腔阵列）的增益层13,其中布拉格光栅阵列模 板由点阵全息或者电子束光刻技术制作，通过纳米压印技术复制而得，不同光栅周期对应 相应的激光波长，将数种增益材料W喷墨打印或者蒸锻的方式制作到布拉格反射腔上，最 上层是封装层14,用于隔绝空气中的氧气和水汽，提高微腔激光器阵列1的稳定性和工作寿 命。累浦激光器（即累浦源16)的输出光通过光纤161禪合方式注入到累浦层12内，对整个微 腔激光器阵列1进行纵向累浦。一对周期相同的布拉格反射镜（即布拉格光栅151)作为形成 一个激光微腔，给特定波长的光提供反馈，在其中间的均匀增益介质层提供光放大，当注入 能量高于微腔激光器阔值，就可W得到激光输出。调控布拉格镜周期和相应的宽带增益介 质来调控激光波长，得到覆盖整个可见波段的激光输出。
[0041] 参见图1，累浦源16选择为出射波长在350nm附近的紫外脉冲半导体激光器(Nd: YAG，Nd:YLF等)或者更为廉价的脉冲紫外L抓灯，出射光经过简单准直后，禪合进光学光纤 161，将其导入到累浦层12中。衬底层11选为刚性或柔性，该层折射率会决定泄露累浦光的 量，折射率需在1.3到1.5之间，用石英玻璃或者低折射率固化胶制作。累浦层12为高折射率 层，折射率在1.6到1.8之间，选择PVK，PS等光学性质良好的聚合物制作。308，309，310为增 益薄膜，分别对应305,306?及307的DBR激光腔。增益薄膜的折射率在1.巧Ijl .9之间，厚度 在lOOnm到500nm之间。累浦光在累浦层12中的传播长度需要仔细调控，一方面要充分利用 累浦光，对单个DBR微腔进行有效累浦，另一方面需要保证对整列微腔均匀累浦，得到并行 出射的激光。传播长度和衬底层11、累浦层12和增益层13的折射率，累浦层12和增益层13的 厚度，W及增益层13的光子吸收截面有关，制作时候需要根据波导方程进行参数优化:首先 保障光纤161的禪合效率，累浦层12的厚度在10微米到30微米之间，然后微调增益膜厚度、 吸收率W及和累浦层的折射率差，使得传播长度在5mm到10mm之间。制作完增益薄膜后，通 过旋涂或固化等技术，将封装层14制作在增益层13上，用来隔绝空气中的水汽和氧气，延长 器件工作寿命。最终不同波长激光312,313,314会垂直于表面发射。
[0042] 参见图2,为了充分利用阵列探测器，DBR激光器阵列由数列DBR微腔激光器15组 成，光纤161将累浦激光导入，多行的累浦层12做成了分叉型，便于一个激发源进行累浦。由 于分叉累浦层12的微观尺寸较大，高度在10微米到20微米之间，宽度在20微米到200微米之 间，长度在5mm到10mm之间，可W通过掩膜光刻或者纳米压印技术制作。分别对应累浦层12 的数列DBR微腔激光器15阵列根据对应阵列传感器尺寸，列数可W选择在10到20排之间。同 一排中，相邻布拉格光栅151周期间隔影响光度计的分辨率，根据使用要求，选择周期间隔 在0.1皿到1皿之间，对应光度计分辨率在0.15nm到1.5皿之间。上下排布拉格光栅151周期 相差较大，不会引起不同谐振腔之间的禪合作用，微腔之间相互独立。虽然光栅阵列可W通 过电子束光刻制作，但是制作效率低，最好采用点阵全息技术制备，主要考虑到W下几点： 1)本实施例中布拉格光栅151的周期在250nmW上，双光束干设可W实现;2)效率高，一个布 拉格光栅151在一个激光脉冲时间内刻完，本实施例中需要1000到4000对布拉格光栅151; 3)单个布拉格光栅151参数（周期，尺寸，取向等）很容易控制。布拉格光栅151制作过程如 下:在基底(石英，娃片等)上旋涂lOOnm到200nm厚度的光刻胶，利用具有变频功能的点阵全 息光刻机进行曝光，显影，用氧离子机去掉残留层;利用刻蚀工艺或者电铸工艺，制作光栅 阵列模板，然后通过紫外纳米压印或者溫度纳米压印复制，模板可W使用上千次，方便大规 模生产和降低器件成本。
[0043] 继续如图2所示，垂直面发射的激光光斑406,408,410中包含了覆盖整个可见光谱 的激光，考虑到单种增益介质的增益范围大约为40nm，因此需要多种增益材料，本发明提出 用化rster能量转移机制，使得运些不同发光材料可W用同一个紫外激发源累浦。在380nm 至Ij440nm范围，选择Spiro类型的有机小分子材料;在420nm到480nm范围，选择Tro小分子或 者PF0共辆聚合物；在480nm到520nm，选择TPD为主体材料，DPVBi为受体材料；在520nm到 560nm，选择PF0为主体材料，B邸HP-PPV为受体材料;在560nm到590nm，选择纯F8BT材料或者 PF0和F8BT的混合材料或者TTO小分子和染料PM580的混合物;在590皿到640皿，选择PF0或 者Alq3为主体材料，共辆聚合物MEH-PPV或者染料DCM为受体材料;在620nm到650nm，选择小 分子Tro或者CBP为主体材料，小分子DCJTB为受体材料;在63化m到720皿，选择小分子Alq3 为主体材料，染料DCM2为受体材料。材料可W通过全溶液过程处理，通过喷墨打印，纳米转 印，凸版印刷等柔性印刷技术制作在相应光栅对上。不光有机半导体材料或者染料材料，其 它宽带的增益材料，例如发光量子点也能选为某种增益材料。
[0044]继续参见图3,单个D服微腔激光器15包括一对布拉格光栅151(具体可W为亚波长 光栅），其设于增益层13内（具体可W为增益薄膜）。布拉格光栅151是一维光子晶体，特定波 长的光在其中无法传播，因此可W看作一对波长选择性的反射镜。波长λ满足条件Π?λ=化eff A，其中m为反馈级次，本实施例中选为2，neff是模式有效折射率，由波导方程得到，数值和 各膜层厚度及折射率有关，A为光栅周期。激光波长主要由一对布拉格光栅151周期条孔， 次要由增益层13厚度调控，一个DBR微腔对应一个波长的激光。同一对布拉格腔中一对布拉 格光栅151的周期相同，光栅槽方向相互平行，周期数和反射率相关，一对布拉格光栅151尺 寸选取20微米到200微米之间。一对布拉格光栅151的间距为增益长度，影响光增益效率，选 取在2微米到200微米之间，单个微腔的尺寸在40微米到600微米之间。考虑到激光波长范围 在380皿到72化m之间，光栅周期需要控制在25化m到500nm之间，控制光栅占 空比在四分之 一到二分之一之间，通过点阵全息或者电子束光刻技术制作。一对布拉格光栅151的深度和 增益层13厚度比在1:4到1:2之间，保证优良的激光性能。增益层13在激发光205作用下，大 部分发光分子会被抽运到寿命较长的亚稳态，当反馈条件的光204在203中行进时，被201和 202反射，在其中形成稳定驻波，发生谐振。光204在203中通过受激福射过程进行放大，一旦 其得到的光增益大于行进时的损耗(吸收，散射等），就会出射激光206。增益层13折射率较 高，为导忍层，光在传播时候不会从上下基板泄露。
[004引参见图4-5所示，在微腔激光器阵列1上方用PDMS制作微流控沟槽（即流体腔21)， 待测样品从液体输入管22注入口进入流体腔21，从流出口流出流体腔21，整个过程由微流 累23控制。波导型累浦层12将累浦光502纵向导入，在其传播过程中，和微腔激光器阵列1相 互作用，进行累浦，DBR微腔激光器15出射覆盖整个可见光波段的激光面阵152。激光面阵 152波长需要事先定标。流体腔21(具体可W为微流体腔)通过光刻-PDMS复制的过程制作， 亦可通过树脂材料热压的方式获得。为了键连流体腔21和微腔激光器阵列1，通过锻膜机在 在DBR微腔激光器15外层保护层表面制作一层薄二氧化娃层，厚度为5nm-100nmDPDMS腔的 深度需要根据待测样品浓度和种类进行一定设计。根据比尔-朗伯定律:A = K · 1 · C，吸光 度与摩尔吸收系数、待测样品厚度和浓度成正比。一般地，为获得优良的检测灵敏度，需要 检测前后光强变化量（即吸光度)足够大。因此，待测样品浓度越高，所需PDMS腔深度越浅； 反之，待测样品浓度越低，所需PDMS腔深度越大。对于稀有或贵重样品，在检测灵敏度允许 的情况下，可适当减小PDMS腔的深度，进而减少检测消耗样品量。PDMS腔深度应在10皿-5cm 之间。待测样品在微腔中流动，激光面阵152传播过流体腔21后，被阵列传感器3测量，如 CCD、光电二极管阵列等，传感器3尺寸在5mm到10mm之间，根据激光面阵152的光斑尺寸进行 选择。阵列传感器3接收的152透过样品和不透过样品光强比即为透过率T，由此可求得吸光 度:A=-log國(％Τ)。
[0046] 通过采用上述的技术方案，本实施例具有W下有益效果：
[0047] 1)采用覆盖整个可见光的激光器阵列为光源，取代现有光度计中的连续光源和复 杂的单色器工作系统，简化了器件工作结构，降低了系统成本。利用激光本身方向性好、单 色性佳的优点，本可见光光度计检测分辨率高，可W达到0.1 nm;
[0048] 2)DBR微腔阵列并行出光，结合阵列探测器实时测量的性质，可W快速、实时获取 样品的吸收光谱；
[0049] 3)微腔为2级布拉格腔，该腔有W下特点：反馈光通过1级禪合过程和光栅进行作 用，得到垂直发射的激光，该禪合过程和累浦光入射角度无关。输出波长和光栅周期存在固 定线性关系，因此通过调控光栅周期可W调制激光波长。选频过程和累浦光入射角度无关， 不需要对累浦光角度进行调控，具有垂直发射、单色性好、选频性能优的特点；
[0050] 4)用波导纵向累浦来代替常规横向累浦，激发光通过光纤禪合进入累浦层，在传 播过程中被增益薄膜吸收一部分，然后激发DBR微腔出射激光。纵向累浦有如下优点：一、传 播长度易于调控，微调各波导层参数，便于对整个微腔阵列进行累浦;二、激发光在探测时 候是杂散光，纵向累浦可W有效抑制激发光的影响，从而提高光度计的信噪比；Ξ、累浦层 可W做成分叉或者其它形状，方便DBR微腔激光器阵列排布，提高阵列传感器的利用率； [0051 ] 5)利用柔性印刷技术制作微腔激光器阵列，金属儀板模具或者石英模板有数万次 的转印次数，适合大规模生产。用溶液制备法，例如喷墨打印或纳米转印或基于缕空掩膜版 的丝网印刷等柔性印刷技术，将增益材料涂覆到相应微腔上，成本低廉；
[0052] 6)利用化rster能量转移机制，将不同增益材料混合，达到一个紫外累浦源可W得 到整个可见光谱激光输出的目的。运大为简化了器件结构，降低了系统的整体成本；
[0053] 7)采用微流体腔为光度计的样品槽，有着需求样品量小、样品易于操作及方便实 时测量的优点，并且可W重复使用，便于样品操作和实时检测吸收光谱；
[0054] 8)DBR微腔激光器阵列，可W做成全有机或柔性，不仅制作成本低廉，大规模生产 技术成熟，更有在可穿戴设备等柔性光电子领域应用的潜力；
[0055] 9)采用阵列传感器对波长随空间有一定分布的光斑进行强度测量，采集速率可W 达到1000幅/秒；
[0056] 10)利用光纤禪合和波导累浦层，对微腔激光器阵列进行整体累浦，累浦层可W根 据光度计分辨率及阵列传感器形状进行多样化设计；
[0057] 11)微腔激光器阵列可W用点阵干设光刻系统或者电子束光刻系统进行制作，然 后通过电铸或蚀刻转移到模板上；
[0058] 12)平对平或卷对平或卷对卷紫外纳米压印对谐振腔阵列进行复制。
[0059] W上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员 来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可W做出若干变形和改进，运些都属于本发明 的保护范围。
【主权项】
1. 微腔激光器阵列，其特征在于，包括由下至上依次设置的衬底层、栗浦层、增益层和 封装层，所述增益层内设置有多个阵列排布且并行出光的DBR微腔激光器，所述栗浦层用于 连通栗浦源，所述栗浦源将栗浦光输入到所述栗浦层内。2. 根据权利要求1所述的微腔激光器阵列，其特征在于，所述栗浦源具有将所述栗浦光 导入所述栗浦层的光纤。3. 根据权利要求2所述的微腔激光器阵列，其特征在于，所述栗浦层设置为在同一水平 面内排布的多行，其汇聚到所述光线的输出端，每行所述栗浦层上沿其长度方向间隔布置 有多个所述DBR微腔激光器。4. 根据权利要求1或3所述的微腔激光器阵列，其特征在于，所述DBR微腔激光器包括对 称设置的一对布拉格光栅。5. 根据权利要求4所述的微腔激光器阵列，其特征在于，所述一对布拉格光栅的间距为 2-200微米。6. 根据权利要求4所述的微腔激光器阵列，其特征在于，所述布拉格光栅的厚度和所述 增益层的厚度之比为1:4-1:2。7. 根据权利要求1或6所述的微腔激光器阵列，其特征在于，所述增益层的厚度为100-500纳米。8. 根据权利要求1-3任一所述的微腔激光器阵列，其特征在于，所述栗浦层的厚度为 10-30微米。9. 可见光光度计，其特征在于，包括如权利要求1-8任一所述的微腔激光器阵列，所述 微腔激光器阵列上安装有液体输入装置，所述微腔激光器阵列的上方设置有阵列探测器， 接收所述微腔激光器阵列所发出的光斑。10. 根据权利要求1所述的可见光光度计，其特征在于，液体输入装置包括： 流体腔，其设置于所述微腔激光器阵列的上方，所述阵列探测器设置于所述液体腔的 上方； 液体输入管，其连接所述液体腔，所述液体输入管具有输入口和输出口。
【专利摘要】本发明公开了一种微腔激光器阵列，其包括由下至上依次设置的衬底层、泵浦层、增益层和封装层，增益层内设置有多个阵列排布且并行出光的DBR微腔激光器，泵浦层用于连通泵浦源，该泵浦源将泵浦光输入到泵浦层内。本发明还公开了一种包括该微腔激光器阵列的可见光光度计。本发明与现有技术相比，有效地权衡了高分辨率、高效率和制造成本高之间的矛盾，使得微腔激光器阵列既具有高分辨率、高效率的优点，又具有制造成本低的优势。
【IPC分类】H01S5/04, G01J3/10, H01S5/40, G01J3/02
【公开号】CN105490166
【申请号】CN201610041567
【发明人】黄文彬, 陈林森, 乔文, 万文强, 朱鸣, 浦东林, 朱鹏飞
【申请人】苏州苏大维格光电科技股份有限公司, 苏州大学
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2016年1月21日