金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造掩模的方法
金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造掩模的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及通过形成2个以上贯通孔而用于制造掩模的金属板。本发明还涉及金属板的制造方法。此外，本发明还涉及使用金属板来制造形成有2个以上贯通孔的掩模的方法。
【背景技术】
[0002]近年来，对于智能手机和平板电脑等可携带器件中使用的显示装置，要求高精细、例如像素密度为300ppi以上。另外，可携带器件中，在对应全高清上的需要正在提高，这种情况下，显示装置的像素密度要求为例如450ppi以上。
[0003]由于响应性好、耗电低，有机EL显示装置受到瞩目。作为有机EL显示装置的像素形成方法，已知的方法是，使用包含以所期望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，以所期望的图案形成像素。具体地说，首先，使蒸镀掩模密合于有机EL显示装置用的基板，接着，将密合的蒸镀掩模和基板一同投入蒸镀装置，进行有机材料等的蒸镀。蒸镀掩模一般如下制造得到:通过利用了照相平版印刷技术的蚀刻而在金属板上形成贯通孔，从而制造上述蒸镀掩膜(例如专利文献I)。例如，首先，在金属板上形成抗蚀剂膜，接着在使曝光掩模密合于抗蚀剂膜的状态下将抗蚀剂膜曝光以形成抗蚀剂图案，其后，对金属板中的未被抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀刻，从而形成贯通孔。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献I:日本特开2004-39319号公报
【发明内容】
[0007]使用蒸镀掩模在基板上进行蒸镀材料的成膜的情况下，不仅基板，蒸镀掩模也附着有蒸镀材料。例如，蒸镀材料中也存在沿着相对于蒸镀掩模的法线方向大幅倾斜的方向而飞向基板的蒸镀材料，这样的蒸镀材料在到达基板前会到达蒸镀掩模的贯通孔的壁面从而附着。这种情况下，可以认为，蒸镀材料难以附着在基板中的位于蒸镀掩模的贯通孔的壁面附近的区域，其结果，附着的蒸镀材料的厚度比其他部分小、或者产生未附着蒸镀材料的部分。即，可以认为，蒸镀掩模的贯通孔的壁面附近的蒸镀不稳定。因此，在为了形成有机EL显示装置的像素而使用蒸镀掩模的情况下，像素的尺寸精度和位置精度降低，其结果，导致有机EL显示装置的发光效率降低。
[0008]为了解决这样的问题，考虑将用于制造蒸镀掩模的金属板的厚度减薄。这是因为，通过减小金属板的厚度，可使蒸镀掩模的贯通孔的壁面的高度变小，由此，可降低蒸镀材料中的附着于贯通孔壁面上的蒸镀材料的比例。但是，为了得到厚度小的金属板，在乳制母材来制造金属板时需要加大乳制率。在此，乳制率是指利用(母材的厚度-金属板)/(母材的厚度)算出的值。乳制后实施了退火等热处理的情况下，通常乳制率越大，基于乳制的变形的不均匀程度也越大。例如，根据宽度方向(与母材的传送方向正交的方向)的位置，金属板的延伸率不同，其结果，金属板出现起伏形状，这是众所周知的。具体地说，可以举出:在宽度方向的端部的起伏形状，其被称为波浪边;在宽度方向的中央部的起伏形状，其被称为中间波纹。若出现这样的起伏形状，在以卷对卷传送金属板时，施加到金属板的拉伸应力在宽度方向变得不均匀，其结果认为，容易发生传送不良。若发生传送不良，则由金属板制造蒸镀掩模的工序的效率降低，或者蒸镀掩模的成品率会降低。这种课题是在现有技术、例如上述专利文献I中未曾认识到的。
[0009]另外，作为表示板材中产生的上述起伏形状的程度的指标，已知有陡峭度。陡峭度是指板材的起伏形状的高度相对于起伏形状的周期的百分比。例如在日本特开平7-227620号公报中，为了抑制半蚀刻时的翘曲，提出了使乳制材的陡峭度为1%以下。另外在日本特开平11-57812号公报中，采用陡峭度作为表示板材的平坦度的指标，在陡峭度超过1.5%的情况下，提出了在延伸率为1.0%以内的条件下实施整平通板。另外在日本特开2003-286527号公报中提出了下述方案:基于陡峭度为0.5%这一指标，筛选具有足够平坦的形状的铜或铜合金作为引线框材料。但是，这些文献中并未公开在板材的宽度方向的各位置对陡峭度进行评价的思想。因此，可以认为，通过这些文献中提出的与陡峭度有关的方法，无法充分抑制板材的传送中所产生的传送不良。需要说明的是，这些文献没有涉及蒸镀掩模等掩模，并且没有涉及通常作为构成蒸镀掩模的材料所使用的因瓦合金材料。
[0010]本发明是考虑到这种课题而进行的，其目的在于提供用于制造蒸镀掩模等掩模的金属板，该金属板能够稳定地进行传送。并且，本发明的目的在于提供金属板的制造方法和掩模的制造方法。
[0011]本发明涉及一种金属板的制造方法，其为通过形成2个以上的贯通孔而用于制造掩模的金属板的制造方法，其中，
[0012]所述掩模的所述贯通孔是通过对所传送的长条状的所述金属板进行蚀刻而形成的，
[0013]所述金属板的制造方法具备下述工序:
[0014]乳制工序，在该工序中，对母材进行乳制而得到所述金属板;和
[0015]切断工序，在该工序中，以预定范围切掉所述金属板的宽度方向的一端和另一端，
[0016]所述切断工序后的所述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同，
[0017]将所述切断工序后的所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(I)?(3)，
[0018](I)所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下；
[0019](2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陆峭度的最大值以下;和
[0020](3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下；
[0021]所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述切断工序后的所述金属板的宽度的30 %、40 %和30 %的部分。
[0022]在本发明的金属板的制造方法中，由所述金属板制造的所述掩模可以是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模。
[0023]在本发明的金属板的制造方法中，在所述切断工序中切断的所述金属板的一端侧的范围和另一端侧的范围可以是基于在所述切断工序之前实施的所述金属板的所述起伏形状的观察工序的结果所决定的。
[0024]本发明的金属板的制造方法可以进一步具备退火工序，在该工序中，将通过所述乳制工序得到的所述金属板退火，以除去所述金属板的内部应力。该情况下，所述退火工序可以在沿长度方向拉伸所述乳制后的母材的同时实施。
[0025]在本发明的金属板的制造方法中，所述母材可以含有因瓦合金材料。
[0026]本发明涉及一种金属板，其为通过形成2个以上的贯通孔而用于制造掩模的金属板，其中，
[0027]所述掩模的所述贯通孔是通过对所传送的长条状的所述金属板进行蚀刻而形成的，
[0028]所述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同，
[0029]将所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(I)?(3)，
[0030](I)所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下；
[0031](2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下;和
[0032](3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下；
[0033]所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述金属板的宽度的30 %、40 %和30 %的部分。
[0034]由本发明的金属板制造的所述掩模可以是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模。
[0035]本发明的金属板可以含有因瓦合金材料。
[0036]本发明涉及一种掩模的制造方法，其为制造形成有2个以上贯通孔的掩模的方法，其中，该制造方法具备下述工序:
[0037]准备金属板的工序，该金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同；
[0038]抗蚀剂图案形成工序，该工序中，在所述金属板上形成抗蚀剂图案;和
[0039]蚀刻工序，该工序中，对所述金属板中的未被所述抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀亥IJ，在所述金属板形成用于划出所述贯通孔的凹部；
[0040]将所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(I)?(3)，
[0041](I)所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下；
[0042](2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下;和
[0043](3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下；
[0044]所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述金属板的宽度的30 %、40 %和30 %的部分。
[0045]本发明的掩模的制造方法中，所述掩模可以是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模。该情况下，所述蒸镀掩模具备形成有2个以上贯通孔的有效区域、和位于所述有效区域的周围的周围区域。另外，所述蚀刻工序可以对所述金属板中的未被所述抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀刻，在用于形成所述有效区域的所述金属板的区域内形成用于划出所述贯通孔的凹部。
[0046]本发明的掩模的制造方法中，所述抗蚀剂图案形成工序可以具有:在所述金属板上形成抗蚀剂膜的工序、使曝光掩模与所述抗蚀剂膜真空密合的工序、和隔着所述曝光掩模将所述抗蚀剂膜以预定的图案曝光的工序。
[0047]本发明的掩模的制造方法中，所述金属板可以含有因瓦合金材料。
[0048]根据本发明，可以筛选在掩模的制造工序中能够稳定地传送的金属板。
【附图说明】
[0049]图1为用于说明本发明的一个实施方式的图，为示出包含蒸镀掩模的蒸镀掩模装置的一例的示意性俯视图。
[0050]图2为用于说明使用图1所示的蒸镀掩模装置进行蒸镀的方法的图。
[0051]图3为示出图1所示的蒸镀掩模的部分俯视图。
[0052]图4为沿着图3的IV-1V线的截面图。
[0053]图5为沿着图3的V-V线的截面图。
[0054]图6为沿着图3的V1-VI线的截面图。
[0055]图7(a)为示出通过乳制母材而得到具有所期望的厚度的金属板的工序的图，图7(b)为示出对通过乳制而得到的金属板进行退火的工序的图。
[0056]图8为示出通过图7(a)、(b)所示的工序得到的金属板的立体图。
[0057]图9(a)、(b)、(c)、(d)分别为沿着图8的a_a线、b_b线、c_c线和d_d线的截面图。
[0058]图1O为示出金属板的宽度方向的各位置处的陡峭度的图。
[0059]图11为用于对图1所示的蒸镀掩模的制造方法的一例进行整体说明的示意图。
[0060]图12为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为示出在金属板上形成抗蚀剂膜的工序的截面图。
[0061]图13为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为示出在抗蚀剂膜上密合曝光掩模的工序的截面图。
[0062]图14为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。
[0063]图15为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。
[0064]图16为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。
[0065]图17为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。
[0066]图18为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。
[0067]图19为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的 截面中示出长金属板的图。
[0068]图20为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。
[0069]图21为示出载置于平台上的第I样品的俯视图。
[0070]图22为示出由第I卷绕体得到的第I方式的长金属板的俯视图。
[0071]图23为示出由第I卷绕体得到的第2方式的长金属板的俯视图。
[0072]图24为示出由第I?第20卷绕体切割出的第I?第20样品中的陡峭度的测定结果的图。
[0073]图25为示出由第I?第20卷绕体得到的第I方式的长金属板中的传送性能的评价结果的图。
[0074]图26为示出由第I?第20卷绕体得到的第2方式的长金属板中的传送性能的评价结果的图。
【具体实施方式】
[0075]以下参照附图对本发明的一个实施方式进行说明。需要说明的是，本说明书中所附的附图中，为了便于图示和易于理解，针对实物的比例尺和长宽的尺寸比等，适当地对比例尺和长宽的尺寸比等进行了变更和夸张。
[0076]图1?图20为用于说明基于本发明的一个实施方式的图。在以下的实施方式及其变形例中，以蒸镀掩模的制造方法为例进行说明，该蒸镀掩模用于在制造有机EL显示装置时将有机材料以所期望的图案在基板上图案化。但是，并不限于这样的应用，对于用于各种用途的蒸镀掩模的制造方法，均可适用本发明。
[0077]需要说明的是，本说明书中，“板”、“片”、“膜”的术语并不是仅基于称呼上的不同就能相互区分开的。例如，“板”为也包含可称为片或膜这样的部件的概念，因此，例如“金属板”与称为“金属片”或“金属膜”的部件仅在称呼的不同上是不能区分开的。
[0078]另外，“板面(片面、膜面)”是指在整体或大体观察作为对象的板状(片状、膜状)的部件的情况下，作为对象的板状部件(片状部件、膜状部件)的与平面方向相一致的面。另夕卜，针对板状(片状、膜状)的部件使用的法线方向是指相对于该部件的板面(片面、膜面)的法线方向。
[0079]此外，关于本说明书中使用的对形状或几何学的条件和物理特性以及它们的程度进行特定的例如“平行”、“正交”、“相同”、“同等”等术语、以及长度、角度以及物理特性的值等，并不限定于严格的含义，而是包含可期待同样功能的程度的范围来进行解释。
[0080](蒸镀掩模装置)
[0081]首先，关于包含作为制造方法对象的蒸镀掩模的蒸镀掩模装置的一例，主要参照图1?图6进行说明。此处，图1为示出包含蒸镀掩模的蒸镀掩模装置的一例的俯视图，图2为用于说明图1所示的蒸镀掩模装置的使用方法的图。图3为从第I面侧示出蒸镀掩模的俯视图，图4?图6为图3的各位置的截面图。
[0082]图1和图2所示的蒸镀掩模装置10具备由大致为矩形的金属板21构成的2个以上的蒸镀掩模20、和安装于2个以上的蒸镀掩模20的周边部的框架15。各蒸镀掩模20设有大量的贯通孔25，该大量的贯通孔25是对具有互为相向的第I面21a和第2面21b的金属板21至少从第I面21a进行蚀刻而形成的。如图2所示，该蒸镀掩模装置10按照蒸镀掩模20面对作为蒸镀对象物的基板例如玻璃基板92的下面的方式被支撑于蒸镀装置90内，用于对基板进行蒸镀材料的蒸镀。
[0083]蒸镀装置90内，利用来自未图示的磁石的磁力，蒸镀掩模20与玻璃基板92密合。蒸镀装置90内，在蒸镀掩模装置10的下方，配置有容纳蒸镀材料(作为一例为有机发光材料)98的坩祸94和加热坩祸94的加热器96。纟甘祸94内的蒸镀材料98在来自加热器96的加热下发生气化或升华而附着于玻璃基板92的表面。如上所述，蒸镀掩模20中形成有大量的贯通孔25，蒸镀材料98通过该贯通孔25而附着于玻璃基板92。其结果，按照与蒸镀掩模20的贯通孔25的位置相对应的所期望的图案，蒸镀材料98成膜于玻璃基板92的表面。
[0084]如上所述，本实施方式中，贯通孔25在各有效区域22中以预定的图案配置。需要说明的是，欲进行彩色显示的情况下，可以沿着贯通孔25的排列方向(上述的一个方向)使蒸镀掩模20(蒸镀掩模装置10)和玻璃基板92—点一点地相对移动，依次蒸镀红色用的有机发光材料、绿色用的有机发光材料和蓝色用的有机发光材料。
[0085]需要说明的是，蒸镀掩模装置10的框架15安装于矩形的蒸镀掩模20的周边部。框架15按照不使蒸镀掩模20挠曲的方式将蒸镀掩模保持在张紧的状态。蒸镀掩模20与框架15相互通过例如点焊进行固定。
[0086]蒸镀处理在高温气氛下的蒸镀装置90的内部实施。因此，蒸镀处理期间，保持在蒸镀装置90内部的蒸镀掩模20、框架15和基板92也被加热。此时，蒸镀掩模、框架15和基板92显示出基于各自热膨胀系数的尺寸变化的行为。这种情况下，若蒸镀掩模20、框架15与基板92的热膨胀系数差异较大，则因它们的尺寸变化的差异而发生错位，其结果，附着于基板92上的蒸镀材料的尺寸精度和位置精度会降低。为了解决这样的问题，优选蒸镀掩模20和框架15的热膨胀系数与基板92的热膨胀系数为同等的值。例如，作为基板92使用玻璃基板92时，作为蒸镀掩模20和框架15的材料，可以使用在铁中添加有特定量的镍、例如36质量％的镍的铁合金即因瓦合金材料。
[0087](蒸镀掩模)
[0088]下面详细说明蒸镀掩模20。如图1所示，本实施方式中，蒸镀掩模20由金属板21构成，俯视图中具有大致四边形形状，进一步准确地说在俯视图中具有大致矩形的轮廓。蒸镀掩模20的金属板21包含规则排列的形成有贯通孔25的有效区域22、和包围有效区域22的周围区域23。周围区域23为用于支撑有效区域22的区域，其并非是旨在蒸镀到基板上的蒸镀材料通过的区域。例如，在有机EL显示装置用的有机发光材料的蒸镀中使用的蒸镀掩模20中，有效区域22是与基板(玻璃基板92)上的用于通过有机发光材料的蒸镀而形成像素的区域面对的蒸镀掩模20内的区域，即是与基板上的用于形成所制作的有机EL显示装置用基板的显示面的区域面对的蒸镀掩模20内的区域。但是，基于各种目的，也可以在周围区域23形成贯通孔或凹部。图1所示的例子中，各有效区域22在俯视图中具有大致四边形形状，进一步准确地说在俯视图中具有大致矩形的轮廓。
[0089]在图示的例子中，蒸镀掩模20的2个以上的有效区域22沿着与蒸镀掩模20的长度方向平行的一个方向隔着预定的间隔而排成一列。图示的例子中，一个有效区域22对应于一个有机EL显示装置。即，根据图1所示的蒸镀掩模装置10(蒸镀掩模20)，能够进行逐段重复蒸镀(多面付蒸着)。
[0090]如图3所示，在图示的例子中，在各有效区域22形成的2个以上贯通孔25在该有效区域22中沿着相互正交的两个方向分别以预定的间隔排列。关于该金属板21上形成的贯通孔25的一例，主要参照图3?图6进一步进行详细说明。
[0091]如图4?图6所示，2个以上贯通孔25在第I面20a和第2面20b之间延伸而贯通蒸镀掩模20，所述第I面20a为蒸镀掩模20的沿着法线方向的一侧，所述第2面20b为蒸镀掩模20的沿着法线方向的另一侧。图示的例子中，如后面所详细说明的那样，从作为蒸镀掩模的法线方向的一侧的金属板21的第I面21a侧通过蚀刻在金属板21上形成第I凹部30，从作为金属板21的法线方向的另一侧的第2面21b侧在金属板21上形成第2凹部35，利用该第I凹部30和第2凹部35来形成贯通孔25。
[0092]如图3?图6所示，从蒸镀掩模20的第I面20a侧向第2面20b侧，在蒸镀掩模20的沿着法线方向的各位置处，各第I凹部30在沿着蒸镀掩模20的板面的截面中的截面积逐渐变小。如图3所示，第I凹部30的壁面31在其整个区域在与蒸镀掩模20的法线方向交叉的方向延伸，朝向沿着蒸镀掩模20的法线方向的一侧露出。同样地，在蒸镀掩模20的沿着法线方向的各位置处，各第2凹部35在沿着蒸镀掩模20的板面的截面中的截面积可以从蒸镀掩模20的第2面20b侧向第I面20a侧逐渐变小。第2凹部35的壁面36在其整个区域在与蒸镀掩模20的法线方向交叉的方向延伸，朝向沿着蒸镀掩模20的法线方向的另一侧露出。
[0093]需要说明的是，如图4?图6所示，第I凹部30的壁面31与第2凹部35的壁面36通过周状的连接部41而连接。连接部41是通过相对于蒸镀掩模的法线方向倾斜的第I凹部30的壁面31与相对于蒸镀掩模的法线方向倾斜的第2凹部35的壁面36汇合成的突出部的棱线而划出的。并且，连接部41在蒸镀掩模20的俯视图中划出贯通孔25的面积最小的贯通部42。
[0094]如图4?图6所示，蒸镀掩模的沿着法线方向的另一侧的面、即蒸镀掩模20的第2面20b上，相邻的两个贯通孔25沿着蒸镀掩模的板面相互隔开。即，如后述的制造方法，从与蒸镀掩模20的第2面20b对应的金属板21的第2面21b侧对该金属板21进行蚀刻而制作第2凹部35时，在相邻的两个第2凹部35之间残存有金属板21的第2面21b。
[0095]另一方面，如图4?图6所示，在蒸镀掩模的沿着法线方向的一侧、即蒸镀掩模20的第I面20a侧，相邻的两个第I凹部30连接。即，如后述的制造方法，从与蒸镀掩模20的第I面20a对应的金属板21的第I面21a侧对该金属板21进行蚀刻而形成第I凹部30时，在相邻的两个第I凹部30之间不会残存有金属板21的第I面21a。即，金属板21的第I面21a在有效区域22的整个区域被蚀刻。利用由这样的第I凹部30所形成的蒸镀掩模20的第I面20a，在按照如图2所示蒸镀掩模20的第I面20a面对蒸镀材料98的方式使用该蒸镀掩模20的情况下，可有效改善蒸镀材料98的利用效率。
[0096]如图2所示，在蒸镀掩模装置10容纳于蒸镀装置90中的情况下，如图4中双点划线所示，蒸镀掩模20的第I面20a位于保持有蒸镀材料98的坩祸94侧，蒸镀掩模20的第2面20b面对玻璃基板92。因此，蒸镀材料98通过截面积逐渐变小的第I凹部30而附着于玻璃基板92上。如图4中箭头所示，蒸镀材料98从坩祸94向玻璃基板92不仅沿着玻璃基板92的法线方向移动，而且也有时在相对于玻璃基板92的法线方向较大倾斜的方向移动。此时，蒸镀掩模20的厚度大时，倾斜移动的蒸镀材料98很多在通过贯通孔25到达玻璃基板92之前会到达第I凹部30的壁面31而附着。此时，在玻璃基板92上的与贯通孔25面对的区域内，会产生蒸镀材料98易于到达的区域和难以到达的部分。因此，为了提高蒸镀材料的利用效率(成膜效率:附着于玻璃基板92上的比例)而节约昂贵的蒸镀材料、且使利用了昂贵的蒸镀材料的成膜在所期望的区域内稳定而均匀地进行实施，重要的是按照尽可能使倾斜移动的蒸镀材料98到达玻璃基板92的方式来构成蒸镀掩模20。即，在蒸镀掩模20的与片材面正交的图4?图6的截面中，使直线LI相对于蒸镀掩模20的法线方向所形成的最小角度Θ1(参照图4)充分变大是有利的，所述直线LI通过贯通孔25的作为具有最小截面积的部分的连接部41、和第I凹部30的壁面31的其他任意位置。
[0097]作为用于加大角度Θ1的方法之一，可以考虑，使蒸镀掩模20的厚度减小，由此，使第I凹部30的壁面31、第2凹部35的壁面36的高度变小。即，可以说，作为用于构成蒸镀掩模20的金属板21，在可确保蒸镀掩模20的强度的范围内优选使用厚度尽可能薄的金属板21。
[0098]作为用于加大角度Θ1的其他方法，还可以考虑使第I凹部30的轮廓最佳化。例如根据本实施方式，通过相邻的两个第I凹部30的壁面31汇合，相比未与其他凹部汇合的具有以虚线所示的壁面(轮廓)的凹部，可大幅加大该角度Θ1(参照图4)。以下说明其理由。
[0099]如后面所详细说明的那样，第I凹部30是通过对金属板21的第I面21a进行蚀刻而形成的。通过蚀刻形成的凹部的壁面一般呈曲面状，该曲面状的凸起朝向侵蚀方向。因此，通过蚀刻形成的凹部的壁面31在蚀刻开始侧的区域中陡峭，在与蚀刻开始侧相反的一侧的区域、即凹部的最深的一侧，相对于金属板21的法线方向较大地倾斜。另一方面，图示的蒸镀掩模20中，相邻的两个第I凹部30的壁面31在蚀刻开始侧发生汇合，因此，两个第I凹部30的壁面31的前端边缘32汇合的部分43的外轮廓并非陡峭的形状，而是倒角的形状。因此，可以使形成贯通孔25的大部分的第I凹部30的壁面31有效地相对于蒸镀掩模的法线方向倾斜。即，可以加大角度ΘI。由此，可在有效改善蒸镀材料98的利用效率的同时，高精度地稳定实施所期望的图案下的蒸镀。
[0100](材料)
[0101] 下面，对用于构成上述蒸镀掩模20的材料(金属板)进行说明。如后所述，首先，对母材进行乳制而制作出长条状的金属板(下文中也称为长金属板)，由该长条状的金属板得到构成蒸镀掩模20的片状的金属板21。因此，为了得到厚度小的金属板21，需要加大通过乳制母材来制造长金属板时的乳制率。但是，乳制率越大，基于乳制的变形的不均匀的程度也越大。例如，长金属板的延伸率因宽度方向(与母材的传送方向正交的方向)的位置而有所不同，其结果，有时上述的起伏形状出现在长金属板上。
[0102]—般对以卷对卷传送的长金属板实施在长金属板形成贯通孔的蚀刻工序。因此，为了高效地实施蚀刻工序，优选长金属板的传送性优异。但是，随着长金属板的厚度减小，通常长金属板的传送变得困难。例如，随着长金属板的厚度减小，容易发生长金属板的传送方向从理想的传送方向偏移的“偏离(寄Ο”、及对长金属板施加拉伸应力时长金属板沿着其长度方向折叠的“压曲折叠(座屈折机)”等。压曲折叠特别容易以用于转换长金属板的传送方向的辊等为起点而发生。另外，若在长金属板中产生上述的起伏形状，则认为更容易发生偏离和压曲折叠。其原因在于，若产生起伏形状，则用于转换长金属板的传送方向的辊给长金属板所带来的压力在宽度方向变得不均匀。在不施加压力的部位，长金属板自身从辊浮起，进而不仅限于浮起，还容易发生折叠。另外，夹持挤压长金属板而进行传送的一对传送辊给长金属板所带来的压力在宽度方向容易变得不均匀，认为这也是容易发生偏离和压曲折叠的原因。因此，为了高效地实施蚀刻工序，选择使用难以产生偏离和压曲折叠的长金属板很重要。本实施方式中，如后所述，提出了将在宽度方向的各位置计算出的长金属板的陡峭度作为指标，从而选择长金属板。陡峭度的定义如后所述。
[0103]下面对具有这样的构成的本实施方式及其作用和效果进行说明。在此，首先对用于制造蒸镀掩模的金属板的制造方法进行说明。接着对使用所得到的金属板制造蒸镀掩模的方法进行说明。其后，对使用所得到的蒸镀掩模在基板上进行蒸镀材料的蒸镀的方法进行说明。
[0104](金属板的制造方法)
[0105]首先，参照图7(&)、(13)、图8、图9(&)、(13)、((3)、((1)和图10对金属板的制造方法进行说明。图7(a)为示出通过乳制母材而得到具有所期望的厚度的金属板的工序的图，图7(b)为示出对通过乳制所得到的金属板进行退火的工序的图。
[0106][乳制工序]
[0107]首先如图7(a)所示，准备含有因瓦合金材料的母材55，向包含一对乳制辊56a、56b的乳制装置56沿着箭头Dl所示的传送方向来传送该母材55。到达一对乳制辊56a、56b之间的母材5 5被一对乳制棍5 6a、5 6 b乳制，其结果，母材5 5的厚度降低，同时沿着传送方向被拉伸。由此，可得到厚度to的长金属板64。如图7(a)所示，可以通过将长金属板64卷取于芯材61上而形成卷绕体62。对厚度to的具体值没有特别限定，例如为0.020mm?0.1OOmm的范围内。
[0108]需要说明的是，图7(a)只不过示出乳制工序的概要，对用于实施乳制工序的具体构成和步骤没有特别限定。例如乳制工序可以包括:在构成母材55的因瓦合金材料的重结晶温度以上对母材进行加工的热乳工序;和在因瓦合金材料的重结晶温度以下对母材进行加工的冷乳工序。
[0109][切割工序]
[0110]之后，可以实施切割工序，在该工序中，将由乳制工序得到的长金属板64的宽度方向的两端分别以3_?5_的范围切掉。该切割工序是为了除去因乳制而在长金属板64的两端产生的裂纹而实施的。通过实施这样的切割工序，可以防止长金属板64断裂的现象、即以裂纹为起点而发生所谓的板裂。
[0111][退火工序]
[0112]之后，为了消除因乳制而蓄积于长金属板64内的残余应力，如图7(b)所示，使用退火装置57对长金属板64进行退火。如图7(b)所示，退火工序可以在将长金属板64于传送方向(长度方向)拉伸的同时实施。即，退火工序可以不以所谓的分批式的退火的方式实施，而以一边传送一边进行的连续退火的方式实施。在实施退火工序的期间，根据长金属板64的厚度和乳制率等适当地进行设定，例如在500°C以60秒来实施退火工序。需要说明的是，上述“60秒”是指长金属板64通过退火装置57中的被加热至500°C的空间所需要的时间为60秒。
[0113]通过实施退火工序，可得到残余应力以某种程度被除去的、厚度to的长金属板64。需要说明的是，厚度to通常等于蒸镀掩模20的周围区域23内的最大厚度Tb。
[0114]需要说明的是，通过将上述的乳制工序、切割工序和退火工序反复进行2次以上，可以制作厚度to的长金属板64。另外，图7(b)中，示出了退火工序在一边将长金属板64于长度方向拉伸一边进行实施的例子，但并不限定于此，也可以在长金属板64被卷取于芯材61的状态下实施退火工序。即，可以实施分批式的退火。需要说明的是，在长金属板64被卷取于芯材61的状态下实施退火工序的情况下，有时在长金属板64上会产生与卷绕体62的卷取径相对应的翘曲的问题。因此，根据卷绕体62的卷取径、构成母材55的材料，在将长金属板64于长度方向拉伸的同时实施退火工序是有利的。
[0115][切断工序]
[0116]之后，将长金属板64的宽度方向的两端分别以预定范围切掉，由此实施将长金属板64的宽度调整为所期望的宽度的切断工序。如此可以得到具有所期望的厚度和宽度的长金属板64。
[0117][检查工序]
[0118]其后，实施对所得到的长金属板64的陡峭度进行检查的检查工序。图8为示出通过图7(a)、(b)所示的工序所得到的长金属板64的立体图。如图8所示，长金属板64至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该长金属板64的长度方向Dl的长度根据其宽度方向D2的位置而有所不同。在此，长度方向Dl为与乳制母材55时的传送方向平行的方向，宽度方向D2为与长度方向Dl正交的方向。图8中，长金属板64的宽度方向D2的端部以符号64e表示。
[0119]对长金属板64中显现出的起伏形状进行说明。图9(a)、(b)、(c)、(d)分别为沿着图8的a-a线、b-b线、c-c线和d-d线的截面图。图8的a-a线为沿着长金属板64的宽度方向的中央部64c在长度方向延伸的线，因此，图9(a)示出了长金属板64的宽度方向的中央部64c的长金属板64的截面。另外，图8的d-d线为沿着长金属板64的宽度方向的端部64e在长度方向延伸的线，因此，图9(d)示出了长金属板64的宽度方向的端部64e的长金属板64的截面。基于本实施方式的长金属板64中出现中间波纹，因此，在宽度方向的中央部64c中出现于长金属板64的起伏形状的程度比在稍微偏离中央部64c的位置、例如图8的b-b线的位置中出现于长金属板64的起伏形状的程度大。另外，基于本实施方式的长金属板64中也出现波浪边，因此，在宽度方向的端部64e中出现于长金属板64的起伏形状的程度比在稍微偏离端部64e的位置、例如图8的c-c线的位置中出现于长金属板64中出现的起伏形状的程度大。
[0120]检查工序中，首先，计算出长金属板64的宽度方向的各位置处的陡峭度。此处，“陡峭度”是指长金属板64的起伏形状的高度H相对于起伏形状的长度方向的周期L的百分比(% )、即H/L X 100( % )。“周期”是指长金属板64的起伏形状中的谷底与谷底之间的距离，“高度”是指从起伏形状的顶部的顶点至连结谷底和谷底的直线的距离。
[0121]例如图9(a)中，关于沿着图8的a-a线存在的起伏形状的2个顶部，周期分别以符号Lal和La2表示，高度分别以符号Hal和Ha2表示。并且，虽然未进行图示，在计算陡峭度时的长金属板64的长度方向的对象范围内，沿着图8的a-a线进一步存在大量的起伏形状的顶部。例如，假定存在na个顶部，用Lana表示各顶部的周期，用11_表示各顶部的高度(na为正整数)。该情况下，na个顶部的陡峭度分别SH_/L_X 100( % )。另外，沿着图8的a_a线的位置处的陡峭度以na个顶部的陡峭度的平均值、即!1_/1_\100(%)(11&为正整数)的平均值算出。
[0122]与沿着图8的a-a线的位置时同样，沿着图8的b-b线、c-c线和d-d线的位置处的陡峭度分别以Hbnb/LbnbX 100( % ) (nb为正整数)的平均值、Hcnc/Lcnc X 100( % ) (nc为正整数)的平均值、和Hdnd/LdndX 100(%)(nd为正整数)的平均值算出。
[0123]对用于计算长金属板64的起伏形状的周期和高度的方法没有特别限定。例如，在计算沿着图8的a-a线的位置、即中央部64c的长金属板64的起伏形状的各顶部的周期L-和高度Hana时，首先，使能够测定与对象物之间的距离的测距装置在宽度方向D2的中央部64c沿着长金属板64的长度方向Dl在长金属板64上扫描，由此沿着长度方向Dl以预定的间隔对长金属板64的表面的高度位置进行测定。该间隔为例如Imm?5mm的范围内。由此，可以取得中央部64c的长金属板64的三维轮廓。另外，通过分析三维轮廓，可以计算出各顶部的周期L_和高度!1_。需要说明的是，可以将圆滑地连结各测定点之间的曲线用作三维轮廓。
[0124]另外，改变宽度方向D2的位置的同时反复进行这样的测定，从而可计算出宽度方向D2的各位置处的长金属板64的起伏形状的周期和高度。
[0125]图10为示出在长金属板64的宽度方向D2的各位置计算出的陡峭度的曲线图。图10中，横轴表示长金属板64的宽度方向D2的位置，纵轴表示陆峭度。需要说明的是，图10中，示出了将在长金属板64的宽度方向D2的各位置计算出的陡峭度的值圆滑地连结而成的曲线80。在图10的横轴的上段以mm的数量级记载了以宽度方向D2的中央部64c为原点的情况下的宽度方向D2的位置。另外，图10的横轴的下段以％示出宽度方向D2的位置的相对于长金属板64的全宽的比例。需要说明的是，图10中，对作为用于制造蒸镀掩模20的长金属板64使用具有500mm的全宽的长金属板的情况进行说明。因此，例如距离宽度方向D2的中央部64c为+10mm的位置的比例为+20%。另外，图10中，图8的a-a线、b-b线、c-c线和d-d线的位置的长金属板64的陆峭度分别以符号A、B、C和D表不。
[0126]在长金属板64的宽度方向D2的各位置计算出陡峭度后，基于陡峭度的值，实施长金属板64的筛选。在此，在后述的蒸镀掩模20的制造工序中仅使用满足以下全部条件(I)?
(3)的长金属板64，由此来实施长金属板64的筛选。
[0127](I)长金属板64的宽度方向D2的中央部分Rl的陡峭度的最大值Klmax为0.4%以下；
[0128](2)长金属板64的宽度方向D2的中央部分Rl的陡峭度的最大值Klmax为长金属板64的宽度方向的一端侧部分R2的最大值K2max以下，并且为长金属板64的宽度方向的另一端侧部分R3的最大值K3max以下;和
[0129](3) —端侧部分R2的陡峭度的最大值K 2max与另一端侧部分R3的陡峭度的最大值K3max之差为0.4 %以下；
[0130]以下对上述条件(I)?(3)分别进行研究。需要说明的是，图10中，长金属板64的中央部分以符号Rl表示，与中央部分Rl相比位于长金属板64的宽度方向的一端侧的一端侧部分以符号R2表不，与中央部分Rl相比位于长金属板64的宽度方向的另一端侧的另一端侧部分以符号R3表示。一端侧部分R2、中央部分Rl和另一端侧部分R3分别被定义为占切断工序后的长金属板64的宽度的30 %、40 %和30 %的部分。
[0131]在产生了中间波纹和波浪边的长金属板64中，一般如图10所示，在长金属板64的宽度方向的中央部64c附近出现陡峭度的极大值(点A)。另外，在从长金属板64的宽度方向的中央部向一端侧或另一端侧稍微偏离的位置出现陡峭度的极小值(点B)。并且，陡峭度从点B向宽度方向的一端部或另一端部逐渐增加(点C)，并且，在宽度方向的一端或另一端，陡峭度的值达到最大(点D)。该情况下，在中央部分Rl描绘出表示陆峭度= 0.4%的基准线81时，陡峭度的曲线80位于基准线81的下方，表示满足了上述条件(I)。在图10所示的例子中，满足了上述的条件(I)。
[0132]关于条件(2)，判定是否中央部分Rl的陡峭度的最大值Klmax为一端侧部分R2的陡峭度的最大值K2max以下、并且为另 一端侧部分R3的陡峭度的最大值K3max以下。在图10所示的例子中，满足了上述的条件(2)。
[0133]关于条件(3)，判定一端侧部分R2的陆峭度的最大值K2max与另一端侧部分R3的陆峭度的最大值K3max之差是否为0.4%以下。在图10所示的例子中，满足了上述的条件(3)。
[0134]通过实施这样的筛选，即使是因为长金属板64的乳制率大而导致在长金属板64中出现起伏形状的情况下，也能够提前判断该起伏形状的程度是否会在之后的蒸镀掩模20的制造工序中成为问题。由此，能够提高由长金属板64制作的蒸镀掩模20的生产效率和成品率。
[0135]需要说明的是，对用于得到具有图10所示的陡峭度的曲线80的、全宽500mm的长金属板64的方法没有特别限定。
[0136]例如，通过乳制母材55，制作具有超过500mm的全宽、例如700mm的全宽的长金属板，其后，实施将该长金属板的宽度方向的两端切掉预定范围的上述切断工序，由此可制作宽500mm的长金属板64。此时，在切断工序前的具有700mm的全宽的长金属板中，图10中如以双点划线所示，认为会存在其陡峭度非常大的部分、例如超过1%的部分。另外，还认为具有比较小的陡峭度的部分存在于从700mm宽的长金属板的中央偏离的部分。该情况下，并不是以预定范围均等地切掉700mm宽的长金属板的两端，可以不均等地切掉700mm宽的长金属板的两端。
[0137]例如，在切断工序之前，实施对具有700mm的全宽的长金属板的起伏形状进行观察的观察工序。该观察工序可以通过操作者的目视来实施、或者也可以使用上述的测距装置来实施。
[0138]此时，例如，在长金属板的一端侧确认到陡峭度比较大的区域广泛地展开的情况下，与另一端侧相比，可以范围更大地切掉具有700mm的全宽的长金属板的一端侧由此来实施切断工序。例如，可以考虑在一端侧以150mm切掉，在另一端侧以50mm切掉。
[0139]另外，具有比较小的陡峭度的部分在从700mm宽的长金属板的中央向一端侧偏移的部分展开的情况下，可以按照这种具有小的陡峭度的部分成为切断工序后的700mm宽的长金属板64的中央部分Rl的方式来实施切断工序。例如，可以考虑在一端侧以50mm切掉，在另一端侧以150mm切掉。
[0140]这样，基于观察工序的结果来决定在切断工序中切掉的长金属板的部分，从而可以得到具有更理想的陡峭度轮廓的长金属板64。
[0141](蒸镀掩模的制造方法)
[0142]下面，主要参照图11?图20，对利用如上筛选出的长金属板64来制造蒸镀掩模20的方法进行说明。以下说明的蒸镀掩模20的制造方法中，如图11所示，供给长金属板64，在该长金属板64上形成贯通孔25，进一步裁断长金属板64，从而得到由片状的金属板21构成的蒸镀掩模20。
[0143]更具体地说，蒸镀掩模20的制造方法包括:供给延伸成带状的长金属板64的工序；将利用了照相平版印刷技术的蚀刻实施于长金属板64，在长金属板64上从第I面64a侧形成第I凹部30的工序；和，将利用了照相平版印刷技术的蚀刻实施于长金属板64，在长金属板64上从第2面64b侧形成第2凹部35的工序。并且，形成于长金属板64的第I凹部30和第2凹部35相互相通，从而在长金属板64上制作出贯通孔25。在图11所示的例子中，第2凹部35的形成工序在第I凹部30的形成工序之前实施，并且在第2凹部35的形成工序与第I凹部30的形成工序之间进一步设置有对所制作的第2凹部35进行密封的工序。以下详细说明各工序。
[0144]图11示出了用于制作蒸镀掩模20的制造装置60。如图11所示，首先，准备将长金属板64卷取于芯材61上而成的卷绕体62。并且，通过旋转该芯材61而将卷绕体62放卷，从而如图11所示那样供给延伸成带状的长金属板64。需要说明的是，长金属板64形成有贯通孔25后形成片状的金属板21、进而形成蒸镀掩模20。
[0145]被供给的长金属板64被传送辊72传送至蚀刻装置(蚀刻单元)70。利用蚀刻单元70，实施图12?图20所示的各处理。
[0146]首先，如图12所示，在长金属板64的第I面64a上(图12的纸面中的下侧的面上)和第2面64b上涂布负型的感光性抗蚀剂材料，在长金属板64上形成抗蚀剂膜65c、65d。接着，准备曝光掩模85a、85b，该曝光掩模85a、85b不使光透过至抗蚀剂膜65c、65d中的欲除去的区域，将曝光掩模85a、85b分别如图13所示配置于抗蚀剂膜65c、65d上。作为曝光掩模85a、85b，使用例如玻璃干板，该玻璃干板不使光透过至抗蚀剂膜65c、65d中的欲除去的区域。其后，通过真空密合使曝光掩模85a、85b与抗蚀剂膜65c、65d充分密合。
[0147]需要说明的时，作为感光性抗蚀剂材料，可以使用正型的感光性抗蚀剂材料。这种情况下，作为曝光掩模，使用使光透过至抗蚀剂膜中的欲除去的区域的曝光掩模。
[0148]其后，隔着曝光掩模85a、85b将抗蚀剂膜65c、65d曝光，进一步将抗蚀剂膜65c、65d显影。如此，如图14所示，可在长金属板64的第I面64a上形成抗蚀剂图案(也简称为抗蚀剂)65a、在长金属板64的第2面64b上形成抗蚀剂图案(也简称为抗蚀剂)65b。
[0149]接着，如图15所示，将长金属板64上形成的抗蚀剂图案65b作为掩模，使用蚀刻液(例如氯化铁(III)溶液)，从长金属板64的第2面64b侧蚀刻。例如，蚀刻液从喷嘴隔着抗蚀剂图案65b喷向着长金属板64的第2面64b，所述喷嘴配置在与传送的长金属板64的第2面64b面对的一侧。其结果，如图15所示，长金属板64中的未被抗蚀剂图案65b覆盖的区域中，蚀刻液所致的侵蚀推进。如此，从第2面64b侧在长金属板64上形成大量的第2凹部35。
[0150]其后，如图16所示，利用对蚀刻液具有耐性的树脂69，将所形成的第2凹部35被覆。即，利用对蚀刻液具有耐性的树脂69，将第2凹部35密封。在图16所示的例子中，树脂69的膜按照不仅覆盖所形成的第2凹部35、而且也覆盖第2面64b(抗蚀剂图案65b)的方式形成。
[0151]接着，如图17所示，对长金属板64进行第2次蚀刻。在第2次蚀刻中，长金属板64仅从第I面64a侧被蚀刻，从第I面64a侧，第I凹部30的形成推进。这是由于长金属板64的第2面64b侧被覆有对蚀刻液具有耐性的树脂69。因此，通过第I次蚀刻形成所期望的形状的第2凹部35的形状不会受损。
[0152]基于蚀刻的侵蚀在长金属板64中的与蚀刻液接触的部分进行。因此，侵蚀不仅仅在长金属板64的法线方向(厚度方向)推进，在沿着长金属板64的板面的方向也推进。其结果，如图18所示，蚀刻在长金属板64的法线方向推进而使第1凹部30与第2凹部35连接，不仅如此，在与抗蚀剂图案65a的相邻的二个孔66a面对的位置分别形成的两个第1凹部30在位于两个孔66a之间的桥部67a的内侧汇合。
[0153]如图19所示，从长金属板64的第1面64a侧的蚀刻进一步推进。如图19所示，相邻的两个第1凹部30汇合而成的汇合部分43脱离抗蚀剂图案65a，处于抗蚀剂图案65a之下的该汇合部分43中，蚀刻所致的侵蚀也在金属板64的法线方向(厚度方向)推进。由此，朝向沿着蒸镀掩模的法线方向的一侧尖锐的汇合部分43从沿着蒸镀掩模的法线方向的一侧被蚀刻，从而如图19所示那样被倒角。由此，可使第1凹部30的壁面31相对于蒸镀掩模的法线方向所形成的倾斜角Θ1增大。
[0154]如此，基于蚀刻的长金属板64的第1面64a的侵蚀在长金属板64的用于形成有效区域22的整个区域内推进。由此，用于形成有效区域22的区域内的长金属板64的沿着法线方向的最大厚度Ta相比蚀刻前的长金属板64的最大厚度Tb变薄。
[0155]如上所述，从长金属板64的第1面64a侧的蚀刻仅推进预先设定的量，对长金属板64的第2次蚀刻结束。此时，第1凹部30沿着长金属板64的厚度方向延伸至到达第2凹部35的位置处，从而利用相互相通的第1凹部30和第2凹部35在长金属板64上形成贯通孔25。
[0156]其后，如图20所示，从长金属板64上除去树脂69。通过使用例如碱系剥离液而能够除去树脂膜69。使用碱系剥离液的情况下，如图20所示，与树脂69同时也除去抗蚀剂图案65a、65b。需要说明的是，也可以在除去树脂69后，与树脂69分开另行除去抗蚀剂图案65a、65b0
[0157]利用以夹持该长金属板64的状态进行旋转的传送辊72、72向切断装置(切断单元)73传送如此形成有大量贯通孔25的长金属板64。需要说明的是，藉由利用该传送辊72、72的旋转而作用于长金属板64的张力(拉伸应力)，使上述的供给芯材61旋转，从而由卷绕体62供给长金属板64。
[0158]其后，利用切断装置(切断单元)73将形成有大量凹部30、35的长金属板64切断成预定的长度和宽度，从而得到形成有大量贯通孔25的片状金属板21。
[0159]如上操作，可得到由形成有大量贯通孔25的金属板21构成的蒸镀掩模20。在此，根据本实施方式，金属板21的第1面21a在有效区域22的整个区域被蚀刻。因此，使蒸镀掩模20的有效区域22的厚度减小，并且可以使在第1面21a侧形成的两个第1凹部30的壁面31的先端边缘32汇合的部分43的外轮廓为倒角的形状。因此，可以增大上述角度Θ1，由此，可提高蒸镀材料的利用效率和蒸镀的位置精度。
[0160]但是，如上所述，为了制作蒸镀掩模20而准备的长金属板64的厚度小，例如为
0.020mm?0.100mm左右。在传送这样非常薄的长金属板64的情况下，对长金属板64施加拉伸应力时长金属板64容易发生沿着其长度方向折叠的压曲折叠。另外，关于有效区域22，贯通孔25以外的部分也被蚀刻。其结果，在蒸镀掩模20的制造工序中以卷对卷方式所传送的长金属板64不仅原本就薄，而且蚀刻工序后局部变得更薄。因此，在蚀刻工序后更容易发生压曲折叠。本发明人反复研究的结果发现，该压曲折叠在长金属板64产生了大的中间波纹时容易发生。关于中间波纹与压曲折叠的关联性，考虑了各种关联性。例如，产生大的中间波纹意味着，未充分施加用于传送的拉伸应力的部位(下文中也称为松动(f己含)部位)容易存在于长金属板64的宽度方向的中央部分R1。若存在这样的松动部位，则施加到长金属板64的拉伸应力在松动部位的周边变得不均匀，因而认为容易产生沿着传送方向的变形。特别是，松动部位存在于中央部分R1的情况下，对拉伸应力的不均匀性的影响变大。其结果，特别是在用于转换长金属板的传送方向的辊等中，由于松动部位未施加压力，因而松动部位从辊浮起，进而不仅限于浮起，认为长金属板中还容易发生压曲折叠。产生了压曲折叠的长金属板64作为不合格品被废弃，因此容易产生压曲折叠意味着蒸镀掩模20的成品率降低。
[0161]此处，根据本实施方式，根据上述的条件(1)，使用了长金属板64的宽度方向D2的中央部分R1的陡峭度的最大值KlmaxS0.4 %以下的长金属板64。即，中央部分R1的松动程度减小。因此，能够抑制广生压曲折置等变形。因此，能够以尚成品率制造蒸链掩t旲20。
[0162]另外，施加至长金属板64的拉伸应力根据长金属板64的宽度方向的位置而大幅不同的情况下，容易发生长金属板64的传送方向会从理想的传送方向、即与传送辊72的轴向正交的方向偏移的所谓偏离。例如，施加至长金属板64的一端侧部分R2的拉伸应力与施加至长金属板64的中央部分R1或另一端侧部分R3的拉伸应力相比极大的情况下，长金属板64的传送方向会向长金属板64的一端侧偏移。若长金属板64的传送方向偏移，贝lj长金属板64向传送区域外移动，会导致无法传送。因此，容易发生偏离不仅意味着所得到的蒸镀掩模20的品质降低，还意味着蒸镀掩模20的生产效率及成品率降低。
[0163]在实施基于卷对卷的传送的装置内，通常具备控制单元，该控制单元对所传送的对象物的宽度方向的位置进行监视，根据监视结果来实施传送方向的修正，从而防止对象物的传送方向与理想大幅偏移。但是，对象物的传送方向的偏移比控制单元的应答速度还更快时，对象物会在传送方向的修正完成之前从传送辊脱落。因此，不仅仅依赖于控制单元，使施加至对象物的拉伸应力不局部增大很重要。
[0164]此处，根据本实施方式，基于上述的条件(2)，使用了长金属板64的宽度方向D2的中央部分R1的陆峭度的最大值Klmax为长金属板64的宽度方向的一端侧部分R2的最大值K2max以下 、并且为长金属板64的宽度方向的另一端侧部分R3的最大值K3max以下的长金属板64。因此，能够使施加至中央部分R1的拉伸应力大体上大于施加至一端侧部分R2的拉伸应力、以及施加至另一端侧部分R3的拉伸应力。即，能够充分确保沿着理想的传送方向所施加的拉伸力。
[0165]另外，根据本实施方式，基于上述的条件(3)，使用了一端侧部分R2的陡峭度的最大值K2max与另一端侧部分R3的陡峭度的最大值K3max之差为0.4%以下的长金属板64。因此，能够防止施加至一端侧部分R2的拉伸应力以及施加至另一端侧部分R3的拉伸应力中的任一者相对于另一者变得极大。
[0166]由此，根据本实施方式，在蒸镀掩模20的制造工序中，能够抑制发生长金属板64的偏离。因此，能够确保蒸镀掩模20的品质，并且能够提高蒸镀掩模20的生产效率及成品率。
[0167](蒸镀方法)
[0168]接着，对使用所得到的蒸镀掩模20将蒸镀材料蒸镀于基板92上的方法进行说明。首先，如图2所示，使蒸镀掩模20与基板92密合。此时，将蒸镀掩模20张紧设于框架15上，从而使蒸镀掩模20的面平行于基板92的面。在此，根据本实施方式，使用了基于宽度方向D2的陡峭度而预先筛选出的长金属板64。因此，与未实施这样的筛选的情况相比，各蒸镀掩模20的陡峭度的偏差均匀地降低，进而有效区域22的各贯通孔25的间距的偏差均匀地降低。因此，能够以高的位置精度将蒸镀材料蒸镀于基板92上。因此，通过蒸镀形成有机EL显示装置的像素时，可提高有机EL显示装置的像素的尺寸精度和位置精度。由此，可制作出高精细的有机EL显示装置。
[0169]另外，在本实施方式中，示出了金属板21的第1面21a在有效区域22的整个区域被蚀刻的例子。但是，并不限于此，也可以仅在有效区域22的一部分将金属板21的第1面21a蚀刻。
[0170]另外，在本实施方式中，示出了由长金属板64制造的形成有2个以上贯通孔25的掩模为用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模20的例子。但是，由长金属板64制造的掩模不限于蒸镀掩模20。例如也可以使用长金属板64制造荫罩等其他掩模。
[0171]实施例
[0172]下面，通过实施例更具体地说明本发明，本发明只要不超出其要点就不限于以下的实施例的记载。
[0173](第i卷绕体和第i样品)
[0174]首先，对由因瓦合金材料构成的母材实施上述的乳制工序、切割工序、退火工序和切断工序，从而制造长金属板卷取而成的卷绕体(第1卷绕体)。
[0175]具体地说，首先，实施依次进行第1热乳工序和第1冷乳工序的第1乳制工序，接着，实施将长金属板的宽度方向的两端分别切掉3mm?5mm的范围的第1切割工序，之后，实施于500°C用60秒将长金属板连续退火的第1退火工序。此外，对于经过第1退火工序的长金属板，实施包括第2冷乳工序的第2乳制工序，接着，实施将长金属板的宽度方向的两端分别切掉3_?5_的范围的第2切割工序，之后，实施于500°C用60秒将长金属板连续退火的第2退火工序。由此，得到具有所期望的厚度的宽约600mm的长金属板64。之后，实施下述切断工序:将长金属板64的宽度方向的两端分别切掉预定范围，由此，将长金属板64的宽度最终调整为所期望的宽度、具体地说最终调整为500mm宽。
[0176]需要说明的是，在上述冷乳工序中，使用支承辊进行了压力调整。具体地说，调整了乳制机的支承辊形状和压力，以使长金属板64的形状左右对称。另外，冷乳工序中，一边使用乳制油、例如灯油进行冷却一边进行。在冷乳工序后，进行了用烃系的清洗剂对长金属板进行清洗的清洗工序。在清洗工序后实施了上述的切割工序。
[0177]之后，使用剪床将第1卷绕体的前端部切去，得到由宽度为500mm、投影长度为700mm的金属板构成的第1样品100。需要说明的是，“投影长度”是指从正上方观察金属板的情况下、即无视金属板的起伏形状的情况下的金属板的长度(乳制方向的尺寸)。此外，第1样品100的宽度是指宽度方向的第1样品100的一对端部101、102之间的距离。第1样品100的一对端部101、102是经过切断工序而形成的部分，在该切断工序中，将通过乳制工序和退火工序得到的金属板的宽度方向的两端切掉预定范围，该一对端部101、102大致笔直地延伸。
[0178]接着，如图21所示，将第1样品100水平放置于平台110上。此时，按照在第1样品100中不产生局部凹陷的方式将第1样品100轻轻地放置在平台110上。接着，在第1样品100的一端101，测定投影长度500mm的区域的第1样品100的陆峭度。需要说明的是，投影长度500mm的区域是指从投影长度700mm的第1样品100中去除处于距样品1的长度方向的两端103、104为100mm以内的区域而得到的区域。将处于距两端103、104为100mm以内的区域从测定对象中去除是为了防止基于剪床的切断所致的第1样品100的歪斜的影响会波及陡峭度的测定结果。图21中，投影长度500mm的区域以点划线示出。
[0179]测定中，首先，图21中如箭头s所示，将利用激光的测距装置沿着第1样品100的长度方向对第1样品100进行相对移动，连续地测定长度方向的第1样品100的一端101的表面的高度位置，用圆滑的曲线描绘出长金属板64的轮廓。之后，基于所得到的曲线，对于曲线中包含的多个顶部的各个顶部，计算出周期和高度。接着，计算出各顶部的陡峭度，并且计算出各顶部的陡峭度的平均值。如此，计算出一端101的第1样品100的陡峭度。作为用于测定第1样品100的表面的高度位置的测距装置，使用了作为激光显微镜的Lasertec株式会社制造的OPTELICS H1200。需要说明的是，测定时被移动的要素可以是测距装置或第1样品100的任一者，但是此处，将平台110作为工作台，并结合了用于使由OPTELICS H1200构成的头部在XY方向移动的桨，由此进行了自动测定。作为工作台，使用了500mmX500mm的自动工作台。在XY方向的自动工作台的控制中利用了激光干涉计。
[0180]接着，在从一端101向另一端102侧位移2mm的位置，同样地测定第1样品100的陡峭度。通过一边以预定的间距P改变第1样品100的宽度方向的位置一边反复实施上述测定，从而对宽度方向的各位置的第1样品的陡峭度进行测定。在此，设间距P为2mm。所得到的测定结果包括:包含一端101的上述的一端侧部分R2的陡峭度的测定结果、包含另一端102的上述的另一端侧部分R3的陡峭度的测定结果、和包含中央部的上述的中央部分R1的陡峭度的测定结果。需要说明的是，在以一端101为基准的情况下，中央部分R1为距离一端101为150mm?350mm的范围内的部分。另外，在以一端101为基准的情况下，一端侧部分R2为距离一端101为0?150mm的范围内的部分。在以一端101为基准的情况下，另一端侧部分R3为距离一端101为350mm?500mm的范围内的部分。
[0181 ]测定的结果，中央部分R1的陡峭度的最大值Klmax为0.2%, 一端侧部分R2的陡峭度的最大值K2max为0.1 %，另一端侧部分R3的陡峭度的最大值K3max为0.3%。将这些测定结果与上述的条件(1)?(3)进行对照，结果，在第1样品100中，满足条件(1)、(3)，但不满足条件
(2)。因此，判定第1样品100不能作为用于制造蒸镀掩模的材料进行使用。
[0182][1次效果的评价之一]
[0183]使用上述的蒸镀掩模的制造方法，由第1卷绕体的长金属板64制造出蒸镀掩模20。图22为示出分配有用于构成本评价的蒸镀掩模20的2个以上金属板21的长金属板64的图。
[0184]图22中，在长金属板64的长度方向区分各金属板21的一对第1断裂线用符号24a表不，在长金属板64的宽度方向区分各金属板21的一对第2断裂线用符号24b表不。该情况下，沿着第1断裂线24a和第2断裂线24b裁断长金属板64，由此可得到由片状的金属板21构成的蒸镀掩模20。需要说明的是，在图22所示的示例中，第1断裂线24a和第2断裂线24b均由孔状接线构成。孔状接线是在用于在有效区域22形成贯通孔25的蚀刻工序中与贯通孔25同时形成的。该情况下，操作者可通过手工操作使第1断裂线24a和第2断裂线24b断裂，从长金属板64取出金属板21。
[0185]并且，本评价中，长金属板64的第1面64a仅在形成贯通孔25的部分被蚀刻，其他部分未被蚀刻。
[0186]在后述的说明中，也将图22所示的上述方式的长金属板64称为“第1方式的长金属板 64”。
[0187]本评价中，在使用了长金属板64的蒸镀掩模20的制造工序中，评价了是否发生上述的“偏离”和“压曲折叠”。在蚀刻工序的前后分别实施了评价。需要说明的是，关于是否发生了“偏离”，通过宽度方向的长金属板64的位置是否自基准偏移50mm以上来判定。即，在检测出宽度方向的长金属板64的位置自基准偏移了50mm以上的情况下，判定“发生了偏离”。并且，本评价中，对蚀刻工序后的长金属板64是否产生龟裂、即是否发生了所谓的“板裂(板切机)”也进行了评价。图22中，可发生的板裂用符号F表示。如图22所示，板裂F容易以孔状接线、或实施了蚀刻的有效区域22为起点而发生。若发生板裂，则长金属板64和设置于长金属板64上的抗蚀剂膜等下落至蚀刻槽，其结果，有时需要进行蚀刻槽的清洗。因此，不仅从提高蒸镀掩模20的成品率的观点出发，从保全制造线的观点出发，也优选抑制板裂的发生。
[0188]评价的结果，由第1卷绕体得到的基于第1方式的长金属板64的蒸镀掩模的制造工序中，未发生“压曲折叠”和“板裂”，但发生了 “偏离”。
[0189][1次效果的评价之二]
[0190]使用上述的蒸镀掩模的制造方法，由第1卷绕体的长金属板64制造出蒸镀掩模20。图23为示出分配有用于构成本评价的蒸镀掩模20的2个以上金属板21的长金属板64的图。
[0191]如图23所示，本评价中，在长金属板64的长度方向区分各金属板21的一对第1断裂线24a由沿着长金属板64的长度方向延伸的贯通孔构成。在蒸镀掩模(蒸镀用金属掩模)中，在掩模框架上架设蒸镀掩模，由此进行相对于玻璃基板的蒸镀掩模的孔位置对准。因此，与以往的荫罩不同，沿着长度方向使断裂线断裂时产生的微小变形也是不允许的。因此，如图24所示，由贯通孔构成了在长度方向延伸的第1断裂线24a。并且本评价中，长金属板64的第1面64a在有效区域22的整个区域被蚀刻。除此以外，与上述的“1次效果的评价之一”的情况同样地，评价了是否发生上述的“偏离”、“压曲折叠”和“板裂”。
[0192]在后述的说明中，也将图23所示的上述方式的长金属板64称为“第2方式的长金属板 64”。
[0193]评价的结果，由第1卷绕体得到的基于第2方式的长金属板64的蒸镀掩模的制造工序中，未发生“压曲折叠”，但发生了 “偏离”和“板裂”。
[0194](第2?第20卷绕体和第2?第20样品)
[0195]与第1卷绕体的情况同样地，基于由因瓦合金材料构成的母材制造出第2卷绕体?第20卷绕体。此外，与第1卷绕体的情况同样地，关于第2卷绕体?第20卷绕体，实施了由各卷绕体取出的样品的陡峭度的测定、以及与由各卷绕体的长金属板制作的蒸镀掩模有关的上述“1次效果之一”和“1次效果之二”。
[0196](各样品的判定结果的总结)
[0197]将由第1卷绕体?第20卷绕体取出的各样品的陡峭度的测定结果示于图24。如图24所示，在第4、第5、第8、第9、第12、第13、第15和第16样品中，判定结果为“〇”。即，上述的条件(1)?(3)均满足。另一方面，在第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11、第14、第17、第18、第19和第20样品中，判定结果为“X”。即，上述的条件(1)?(3)中的至少1个不满足。
[0198]具体地说，在第17、第18、第19和第20样品中不满足上述的条件(1)。另外，在第1、第2、第3、第7、第11、第14和第17样品中不满足上述的条件(2)。另外，在第3、第6和第10样品中不满足上述的条件(3)。
[0199](与各卷绕体有关的“1次效果之一”的总结)
[0200]将与由第1卷绕体?第20卷绕体制作上述第1方式的长金属板有关的上述“1次效果之一”的结果示于图25。如图25所示，在由第4、第5、第8、第9、第12、第13、第14、第15和第16卷绕体得到的第1方式的 长金属板64中，判定结果为“〇”。即，“偏离”、“压曲折叠”或“板裂”均未发生。另一方面，在由第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11、第17、第18、第19和第20卷绕体得到的第1方式的长金属板64中，判定结果为“X”。即，发生了 “偏离”、“压曲折叠”和“板裂”中的至少1个。
[0201]在由第17、第18、第19和第20卷绕体得到的第1方式的长金属板64中发生了“压曲折叠”。此处，如上所述，在由第17、第18、第19和第20卷绕体取出的第17、第18、第19和第20样品中，不满足上述的条件(1)。因此，可以说上述的条件(1)与压曲折叠关系密切。需要说明的是，如图25所示，在蚀刻工序前产生了压曲折叠的情况下，无法实施蚀刻工序后的评价。
[0202]在由第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11和第17卷绕体得到的第1方式的长金属板64中发生了“偏离”。此处，如上所述，在由第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11和第17卷绕体取出的第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11和第17样品中，上述的条件(2)或(3)中的至少任一者不满足。因此，可以说上述的条件(2)、(3)与偏离关系密切。
[0203]如图25所示，无论在使用哪种卷绕体的情况下，关于第1方式的长金属板64，均未发生“板裂”。
[0204]由图24与图25的对比可知，在由基于上述的条件(1)?(3)的判定结果为?的卷绕体制作的长金属板64中，蒸镀掩模20的制造工序中的“偏离”、“压曲折叠”和“板裂”均未发生。即，通过利用上述的条件(1)?(3)，可以说能够筛选出可供给在蒸镀掩模20的制造工序中能稳定传送的长金属板64的卷绕体。因此，认为上述的条件(1)?(3)是有力的判断手法。
[0205](与各卷绕体有关的“1次效果之二”的总结)
[0206]将与由第1卷绕体?第20卷绕体制作上述第2方式的长金属板有关的上述“1次效果之二”的结果示于图26。如图26所示，在由第4、第5、第8、第9、第12、第13、第15和第16卷绕体得到的第2方式的长金属板64中，判定结果为“〇”。即，“偏离”、“压曲折叠”或“板裂”均未发生。另一方面，在由第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11、第14、第17、第18、第19和第20卷绕体得到的第2方式的长金属板64中，判定结果为“X”。即，发生了 “偏离”、“压曲折叠”和“板裂”中的至少1个。
[0207]在由第14、第17、第18、第19和第20卷绕体得到的第2方式的长金属板64中发生了“压曲折叠”。特别是，在第14卷绕体中，在蚀刻工序前未发生压曲折叠，但在蚀刻工序后发生了压曲折叠。此处，在由第14卷绕体切割出的第14样品的陡峭度的测定结果中，如图24所示，一端侧部分R2的陡峭度的最大值K2max和另一端侧部分R3的陡峭度的最大值K3max均小于中央部分R1的陡峭度的最大值Klmax。即，不满足上述的条件(2)。
[0208]然而，在第14卷绕体以外的卷绕体中，如图24和图25所示，不满足条件(2)与发生“偏离”密切相关。另外，如图25所示，在由第14卷绕体制作第1方式的长金属板64的情况下，未发生压曲折叠。以下，在由第14卷绕体制作第2方式的长金属板64的情况下，对发生压曲折叠的原因进行考察。
[0209]关于得到了不满足条件(2)的样品的卷绕体，除了第14卷绕体以外，如上所述为第
1、第2、第3、第7、第11和第17卷绕体。在由这些卷绕体得到的样品中，如图24所示，一端侧部分R2的陡峭度的最大值K2max或另一端侧部分R3的陡峭度的最大值K3max中仅任一者小于中央部分R1的陡峭度的最大值Klmax。由此认为，关于可由条件(2)引起的不良情况，“偏离”会因K2max和K3max中的任一者是否小于Klmax而发生。另外，即便在K2max和K3max均小于Klmax的情况下，制作第1方式的长金属板64时也未发生压曲折叠。由此可以说起因于条件(2)的压曲折叠在下述情况下有可能发生:K2max和K3max均小于Klmax、并且长金属板64的蚀刻是在广泛的区域实施的情况，例如第1断裂线24a以贯通孔的形式形成的情况、或有效区域22在整个区域被蚀刻的情况等。并且，根据上述的条件(2)，可以说能够在卷绕体的阶段预测根据蚀刻程度而可发生的压曲折叠。
[0210]在由第！、第2、第3、第6、第7、第10、第11和第17卷绕体得到的第2方式的长金属板64中发生了“偏离”。这样，发生了偏离的卷绕体在制作第1方式的长金属板64的情况、和制作第2方式的长金属板64的情况下是一致的。
[0211]在由第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11和第17卷绕体得到的第2方式的长金属板64中发生了“板裂”。这样，在制作第2方式的长金属板64的情况下，发生了板裂的卷绕体与发生了偏离的卷绕体相同。因此，在广泛的区域实施长金属板64的蚀刻的情况下，可以说上述的条件(2)、(3)不仅与偏离密切相关，还与板裂密切相关。
[0212]由图24与图26的对比可知，基于上述的条件(1)?(3)的判定结果与基于“压曲折叠”、“偏离”和“板裂”的判定结果完全一致。即，通过利用上述的条件(1)?(3)，可以说能够无浪费地排除在蒸镀掩模20的制造工序中可产生不良情况的卷绕体。因此，认为上述的条件(1)?(3)在于广泛的区域实施长金属板64的蚀刻时是特别有力的判断手法。
[0213]符号说明
[0214]20蒸镀掩模
[0215]21金属板
[0216]21a金属板的第1面
[0217]21b金属板的第2面
[0218]22有效区域
[0219]23周围区域
[0220]25贯通孔
[0221]30第1凹部
[0222]31 壁面
[0223]35第2凹部
[0224]36 壁面
[0225]55 母材
[0226]56乳制装置
[0227]57退火装置
[0228]61 芯材
[0229]62卷绕体
[0230]64长金属板
[0231]64a长金属板的第1面
[0232]64b长金属板的第2面
[0233]64c长金属板的宽度方向的中央部
[0234]64e长金属板的宽度方向的端部
[0235]65a,65b抗蚀剂图案
[0236]65c、65d 抗蚀剂膜
[0237]80陡峭度率的曲线
[0238]81基准线
[0239]85a,85b 曝光掩模
【主权项】
1.一种金属板的制造方法，其为通过形成2个以上的贯通孔而用于制造掩模的金属板的制造方法，其中， 所述掩模的所述贯通孔是通过对所传送的长条状的所述金属板进行蚀刻而形成的， 所述金属板的制造方法具备下述工序: 乳制工序，在该工序中，对母材进行乳制而得到所述金属板;和 切断工序，在该工序中，以预定范围切掉所述金属板的宽度方向的一端和另一端， 所述切断工序后的所述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同， 将所述切断工序后的所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(I)?(3)， (1)所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下； (2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下;和 (3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下； 所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述切断工序后的所述金属板的宽度的30 %、40 %和30 %的部分。2.如权利要求1所述的金属板的制造方法，其中，由所述金属板制造的所述掩模是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模。3.如权利要求1或2所述的金属板的制造方法，其中，在所述切断工序中切断的所述金属板的一端侧的范围和另一端侧的范围是基于在所述切断工序之前实施的所述金属板的所述起伏形状的观察工序的结果所决定的。4.如权利要求1或2所述的金属板的制造方法，其中，该制造方法进一步具备退火工序，在该工序中，将通过所述乳制工序得到的所述金属板退火，以除去所述金属板的内部应力， 所述退火工序在沿长度方向拉伸所述乳制后的母材的同时实施。5.如权利要求1或2所述的金属板的制造方法，其中，所述母材含有因瓦合金材料。6.—种金属板，其为通过形成2个以上的贯通孔而用于制造掩模的金属板，其中， 所述掩模的所述贯通孔是通过对所传送的长条状的所述金属板进行蚀刻而形成的， 所述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同， 将所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(I)?(3)， (1)所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下； (2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下;和 (3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下； 所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述金属板的宽度的30%、40%和30%的部分。7.如权利要求6所述的金属板，其中，由所述金属板制造的所述掩模是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模。8.如权利要求6或7所述的金属板，其中，所述金属板含有因瓦合金材料。9.一种掩模的制造方法，其为制造形成有2个以上贯通孔的掩模的方法，其中， 该制造方法具备下述工序: 准备金属板的工序，该金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同； 抗蚀剂图案形成工序，该工序中，在所述金属板上形成抗蚀剂图案;和蚀刻工序，该工序中，对所述金属板中的未被所述抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀刻，在所述金属板形成用于划出所述贯通孔的凹部； 将所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(I)?(3)， (1)所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下； (2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下;和 (3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下； 所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述金属板的宽度的30%、40%和30%的部分。10.如权利要求9所述的掩模的制造方法，其中，所述掩模是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模， 所述蒸镀掩模具备形成有2个以上贯通孔的有效区域、和位于所述有效区域的周围的周围区域， 所述蚀刻工序对所述金属板中的未被所述抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀刻，在用于形成所述有效区域的所述金属板的区域内形成用于划出所述贯通孔的凹部。11.如权利要求9或10所述的掩模的制造方法，其中， 所述抗蚀剂图案形成工序具有: 在所述金属板上形成抗蚀剂膜的工序、 使曝光掩模与所述抗蚀剂膜真空密合的工序、和 隔着所述曝光掩模将所述抗蚀剂膜以预定的图案曝光的工序。12.如权利要求9或1所述的掩模的制造方法，其中，所述金属板含有因瓦合金材料。
【专利摘要】本发明的目的在于提供一种具有良好的传送性的金属板。金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4％以下。另外，中央部分的陡峭度的最大值为一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为另一端侧部分的陡峭度的最大值以下。此外，一端侧部分的陡峭度的最大值与另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4％以下。
【IPC分类】H01L51/50, C23C14/24, H05B33/10
【公开号】CN105492654
【申请号】CN201480048190
【发明人】池永知加雄, 宫谷勋
【申请人】大日本印刷株式会社
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2014年9月12日
【公告号】US20160208392, WO2015037709A1
【技术领域】
[0001]本发明涉及通过形成2个以上贯通孔而用于制造掩模的金属板。本发明还涉及金属板的制造方法。此外，本发明还涉及使用金属板来制造形成有2个以上贯通孔的掩模的方法。
【背景技术】
[0002]近年来，对于智能手机和平板电脑等可携带器件中使用的显示装置，要求高精细、例如像素密度为300ppi以上。另外，可携带器件中，在对应全高清上的需要正在提高，这种情况下，显示装置的像素密度要求为例如450ppi以上。
[0003]由于响应性好、耗电低，有机EL显示装置受到瞩目。作为有机EL显示装置的像素形成方法，已知的方法是，使用包含以所期望的图案排列的贯通孔的蒸镀掩模，以所期望的图案形成像素。具体地说，首先，使蒸镀掩模密合于有机EL显示装置用的基板，接着，将密合的蒸镀掩模和基板一同投入蒸镀装置，进行有机材料等的蒸镀。蒸镀掩模一般如下制造得到:通过利用了照相平版印刷技术的蚀刻而在金属板上形成贯通孔，从而制造上述蒸镀掩膜(例如专利文献I)。例如，首先，在金属板上形成抗蚀剂膜，接着在使曝光掩模密合于抗蚀剂膜的状态下将抗蚀剂膜曝光以形成抗蚀剂图案，其后，对金属板中的未被抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀刻，从而形成贯通孔。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献I:日本特开2004-39319号公报
【发明内容】
[0007]使用蒸镀掩模在基板上进行蒸镀材料的成膜的情况下，不仅基板，蒸镀掩模也附着有蒸镀材料。例如，蒸镀材料中也存在沿着相对于蒸镀掩模的法线方向大幅倾斜的方向而飞向基板的蒸镀材料，这样的蒸镀材料在到达基板前会到达蒸镀掩模的贯通孔的壁面从而附着。这种情况下，可以认为，蒸镀材料难以附着在基板中的位于蒸镀掩模的贯通孔的壁面附近的区域，其结果，附着的蒸镀材料的厚度比其他部分小、或者产生未附着蒸镀材料的部分。即，可以认为，蒸镀掩模的贯通孔的壁面附近的蒸镀不稳定。因此，在为了形成有机EL显示装置的像素而使用蒸镀掩模的情况下，像素的尺寸精度和位置精度降低，其结果，导致有机EL显示装置的发光效率降低。
[0008]为了解决这样的问题，考虑将用于制造蒸镀掩模的金属板的厚度减薄。这是因为，通过减小金属板的厚度，可使蒸镀掩模的贯通孔的壁面的高度变小，由此，可降低蒸镀材料中的附着于贯通孔壁面上的蒸镀材料的比例。但是，为了得到厚度小的金属板，在乳制母材来制造金属板时需要加大乳制率。在此，乳制率是指利用(母材的厚度-金属板)/(母材的厚度)算出的值。乳制后实施了退火等热处理的情况下，通常乳制率越大，基于乳制的变形的不均匀程度也越大。例如，根据宽度方向(与母材的传送方向正交的方向)的位置，金属板的延伸率不同，其结果，金属板出现起伏形状，这是众所周知的。具体地说，可以举出:在宽度方向的端部的起伏形状，其被称为波浪边;在宽度方向的中央部的起伏形状，其被称为中间波纹。若出现这样的起伏形状，在以卷对卷传送金属板时，施加到金属板的拉伸应力在宽度方向变得不均匀，其结果认为，容易发生传送不良。若发生传送不良，则由金属板制造蒸镀掩模的工序的效率降低，或者蒸镀掩模的成品率会降低。这种课题是在现有技术、例如上述专利文献I中未曾认识到的。
[0009]另外，作为表示板材中产生的上述起伏形状的程度的指标，已知有陡峭度。陡峭度是指板材的起伏形状的高度相对于起伏形状的周期的百分比。例如在日本特开平7-227620号公报中，为了抑制半蚀刻时的翘曲，提出了使乳制材的陡峭度为1%以下。另外在日本特开平11-57812号公报中，采用陡峭度作为表示板材的平坦度的指标，在陡峭度超过1.5%的情况下，提出了在延伸率为1.0%以内的条件下实施整平通板。另外在日本特开2003-286527号公报中提出了下述方案:基于陡峭度为0.5%这一指标，筛选具有足够平坦的形状的铜或铜合金作为引线框材料。但是，这些文献中并未公开在板材的宽度方向的各位置对陡峭度进行评价的思想。因此，可以认为，通过这些文献中提出的与陡峭度有关的方法，无法充分抑制板材的传送中所产生的传送不良。需要说明的是，这些文献没有涉及蒸镀掩模等掩模，并且没有涉及通常作为构成蒸镀掩模的材料所使用的因瓦合金材料。
[0010]本发明是考虑到这种课题而进行的，其目的在于提供用于制造蒸镀掩模等掩模的金属板，该金属板能够稳定地进行传送。并且，本发明的目的在于提供金属板的制造方法和掩模的制造方法。
[0011]本发明涉及一种金属板的制造方法，其为通过形成2个以上的贯通孔而用于制造掩模的金属板的制造方法，其中，
[0012]所述掩模的所述贯通孔是通过对所传送的长条状的所述金属板进行蚀刻而形成的，
[0013]所述金属板的制造方法具备下述工序:
[0014]乳制工序，在该工序中，对母材进行乳制而得到所述金属板;和
[0015]切断工序，在该工序中，以预定范围切掉所述金属板的宽度方向的一端和另一端，
[0016]所述切断工序后的所述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同，
[0017]将所述切断工序后的所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(I)?(3)，
[0018](I)所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下；
[0019](2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陆峭度的最大值以下;和
[0020](3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下；
[0021]所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述切断工序后的所述金属板的宽度的30 %、40 %和30 %的部分。
[0022]在本发明的金属板的制造方法中，由所述金属板制造的所述掩模可以是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模。
[0023]在本发明的金属板的制造方法中，在所述切断工序中切断的所述金属板的一端侧的范围和另一端侧的范围可以是基于在所述切断工序之前实施的所述金属板的所述起伏形状的观察工序的结果所决定的。
[0024]本发明的金属板的制造方法可以进一步具备退火工序，在该工序中，将通过所述乳制工序得到的所述金属板退火，以除去所述金属板的内部应力。该情况下，所述退火工序可以在沿长度方向拉伸所述乳制后的母材的同时实施。
[0025]在本发明的金属板的制造方法中，所述母材可以含有因瓦合金材料。
[0026]本发明涉及一种金属板，其为通过形成2个以上的贯通孔而用于制造掩模的金属板，其中，
[0027]所述掩模的所述贯通孔是通过对所传送的长条状的所述金属板进行蚀刻而形成的，
[0028]所述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同，
[0029]将所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(I)?(3)，
[0030](I)所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下；
[0031](2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下;和
[0032](3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下；
[0033]所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述金属板的宽度的30 %、40 %和30 %的部分。
[0034]由本发明的金属板制造的所述掩模可以是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模。
[0035]本发明的金属板可以含有因瓦合金材料。
[0036]本发明涉及一种掩模的制造方法，其为制造形成有2个以上贯通孔的掩模的方法，其中，该制造方法具备下述工序:
[0037]准备金属板的工序，该金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同；
[0038]抗蚀剂图案形成工序，该工序中，在所述金属板上形成抗蚀剂图案;和
[0039]蚀刻工序，该工序中，对所述金属板中的未被所述抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀亥IJ，在所述金属板形成用于划出所述贯通孔的凹部；
[0040]将所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(I)?(3)，
[0041](I)所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下；
[0042](2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下;和
[0043](3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下；
[0044]所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述金属板的宽度的30 %、40 %和30 %的部分。
[0045]本发明的掩模的制造方法中，所述掩模可以是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模。该情况下，所述蒸镀掩模具备形成有2个以上贯通孔的有效区域、和位于所述有效区域的周围的周围区域。另外，所述蚀刻工序可以对所述金属板中的未被所述抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀刻，在用于形成所述有效区域的所述金属板的区域内形成用于划出所述贯通孔的凹部。
[0046]本发明的掩模的制造方法中，所述抗蚀剂图案形成工序可以具有:在所述金属板上形成抗蚀剂膜的工序、使曝光掩模与所述抗蚀剂膜真空密合的工序、和隔着所述曝光掩模将所述抗蚀剂膜以预定的图案曝光的工序。
[0047]本发明的掩模的制造方法中，所述金属板可以含有因瓦合金材料。
[0048]根据本发明，可以筛选在掩模的制造工序中能够稳定地传送的金属板。
【附图说明】
[0049]图1为用于说明本发明的一个实施方式的图，为示出包含蒸镀掩模的蒸镀掩模装置的一例的示意性俯视图。
[0050]图2为用于说明使用图1所示的蒸镀掩模装置进行蒸镀的方法的图。
[0051]图3为示出图1所示的蒸镀掩模的部分俯视图。
[0052]图4为沿着图3的IV-1V线的截面图。
[0053]图5为沿着图3的V-V线的截面图。
[0054]图6为沿着图3的V1-VI线的截面图。
[0055]图7(a)为示出通过乳制母材而得到具有所期望的厚度的金属板的工序的图，图7(b)为示出对通过乳制而得到的金属板进行退火的工序的图。
[0056]图8为示出通过图7(a)、(b)所示的工序得到的金属板的立体图。
[0057]图9(a)、(b)、(c)、(d)分别为沿着图8的a_a线、b_b线、c_c线和d_d线的截面图。
[0058]图1O为示出金属板的宽度方向的各位置处的陡峭度的图。
[0059]图11为用于对图1所示的蒸镀掩模的制造方法的一例进行整体说明的示意图。
[0060]图12为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为示出在金属板上形成抗蚀剂膜的工序的截面图。
[0061]图13为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为示出在抗蚀剂膜上密合曝光掩模的工序的截面图。
[0062]图14为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。
[0063]图15为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。
[0064]图16为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。
[0065]图17为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。
[0066]图18为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。
[0067]图19为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的 截面中示出长金属板的图。
[0068]图20为用于说明蒸镀掩模的制造方法的一例的图，为在沿着法线方向的截面中示出长金属板的图。
[0069]图21为示出载置于平台上的第I样品的俯视图。
[0070]图22为示出由第I卷绕体得到的第I方式的长金属板的俯视图。
[0071]图23为示出由第I卷绕体得到的第2方式的长金属板的俯视图。
[0072]图24为示出由第I?第20卷绕体切割出的第I?第20样品中的陡峭度的测定结果的图。
[0073]图25为示出由第I?第20卷绕体得到的第I方式的长金属板中的传送性能的评价结果的图。
[0074]图26为示出由第I?第20卷绕体得到的第2方式的长金属板中的传送性能的评价结果的图。
【具体实施方式】
[0075]以下参照附图对本发明的一个实施方式进行说明。需要说明的是，本说明书中所附的附图中，为了便于图示和易于理解，针对实物的比例尺和长宽的尺寸比等，适当地对比例尺和长宽的尺寸比等进行了变更和夸张。
[0076]图1?图20为用于说明基于本发明的一个实施方式的图。在以下的实施方式及其变形例中，以蒸镀掩模的制造方法为例进行说明，该蒸镀掩模用于在制造有机EL显示装置时将有机材料以所期望的图案在基板上图案化。但是，并不限于这样的应用，对于用于各种用途的蒸镀掩模的制造方法，均可适用本发明。
[0077]需要说明的是，本说明书中，“板”、“片”、“膜”的术语并不是仅基于称呼上的不同就能相互区分开的。例如，“板”为也包含可称为片或膜这样的部件的概念，因此，例如“金属板”与称为“金属片”或“金属膜”的部件仅在称呼的不同上是不能区分开的。
[0078]另外，“板面(片面、膜面)”是指在整体或大体观察作为对象的板状(片状、膜状)的部件的情况下，作为对象的板状部件(片状部件、膜状部件)的与平面方向相一致的面。另夕卜，针对板状(片状、膜状)的部件使用的法线方向是指相对于该部件的板面(片面、膜面)的法线方向。
[0079]此外，关于本说明书中使用的对形状或几何学的条件和物理特性以及它们的程度进行特定的例如“平行”、“正交”、“相同”、“同等”等术语、以及长度、角度以及物理特性的值等，并不限定于严格的含义，而是包含可期待同样功能的程度的范围来进行解释。
[0080](蒸镀掩模装置)
[0081]首先，关于包含作为制造方法对象的蒸镀掩模的蒸镀掩模装置的一例，主要参照图1?图6进行说明。此处，图1为示出包含蒸镀掩模的蒸镀掩模装置的一例的俯视图，图2为用于说明图1所示的蒸镀掩模装置的使用方法的图。图3为从第I面侧示出蒸镀掩模的俯视图，图4?图6为图3的各位置的截面图。
[0082]图1和图2所示的蒸镀掩模装置10具备由大致为矩形的金属板21构成的2个以上的蒸镀掩模20、和安装于2个以上的蒸镀掩模20的周边部的框架15。各蒸镀掩模20设有大量的贯通孔25，该大量的贯通孔25是对具有互为相向的第I面21a和第2面21b的金属板21至少从第I面21a进行蚀刻而形成的。如图2所示，该蒸镀掩模装置10按照蒸镀掩模20面对作为蒸镀对象物的基板例如玻璃基板92的下面的方式被支撑于蒸镀装置90内，用于对基板进行蒸镀材料的蒸镀。
[0083]蒸镀装置90内，利用来自未图示的磁石的磁力，蒸镀掩模20与玻璃基板92密合。蒸镀装置90内，在蒸镀掩模装置10的下方，配置有容纳蒸镀材料(作为一例为有机发光材料)98的坩祸94和加热坩祸94的加热器96。纟甘祸94内的蒸镀材料98在来自加热器96的加热下发生气化或升华而附着于玻璃基板92的表面。如上所述，蒸镀掩模20中形成有大量的贯通孔25，蒸镀材料98通过该贯通孔25而附着于玻璃基板92。其结果，按照与蒸镀掩模20的贯通孔25的位置相对应的所期望的图案，蒸镀材料98成膜于玻璃基板92的表面。
[0084]如上所述，本实施方式中，贯通孔25在各有效区域22中以预定的图案配置。需要说明的是，欲进行彩色显示的情况下，可以沿着贯通孔25的排列方向(上述的一个方向)使蒸镀掩模20(蒸镀掩模装置10)和玻璃基板92—点一点地相对移动，依次蒸镀红色用的有机发光材料、绿色用的有机发光材料和蓝色用的有机发光材料。
[0085]需要说明的是，蒸镀掩模装置10的框架15安装于矩形的蒸镀掩模20的周边部。框架15按照不使蒸镀掩模20挠曲的方式将蒸镀掩模保持在张紧的状态。蒸镀掩模20与框架15相互通过例如点焊进行固定。
[0086]蒸镀处理在高温气氛下的蒸镀装置90的内部实施。因此，蒸镀处理期间，保持在蒸镀装置90内部的蒸镀掩模20、框架15和基板92也被加热。此时，蒸镀掩模、框架15和基板92显示出基于各自热膨胀系数的尺寸变化的行为。这种情况下，若蒸镀掩模20、框架15与基板92的热膨胀系数差异较大，则因它们的尺寸变化的差异而发生错位，其结果，附着于基板92上的蒸镀材料的尺寸精度和位置精度会降低。为了解决这样的问题，优选蒸镀掩模20和框架15的热膨胀系数与基板92的热膨胀系数为同等的值。例如，作为基板92使用玻璃基板92时，作为蒸镀掩模20和框架15的材料，可以使用在铁中添加有特定量的镍、例如36质量％的镍的铁合金即因瓦合金材料。
[0087](蒸镀掩模)
[0088]下面详细说明蒸镀掩模20。如图1所示，本实施方式中，蒸镀掩模20由金属板21构成，俯视图中具有大致四边形形状，进一步准确地说在俯视图中具有大致矩形的轮廓。蒸镀掩模20的金属板21包含规则排列的形成有贯通孔25的有效区域22、和包围有效区域22的周围区域23。周围区域23为用于支撑有效区域22的区域，其并非是旨在蒸镀到基板上的蒸镀材料通过的区域。例如，在有机EL显示装置用的有机发光材料的蒸镀中使用的蒸镀掩模20中，有效区域22是与基板(玻璃基板92)上的用于通过有机发光材料的蒸镀而形成像素的区域面对的蒸镀掩模20内的区域，即是与基板上的用于形成所制作的有机EL显示装置用基板的显示面的区域面对的蒸镀掩模20内的区域。但是，基于各种目的，也可以在周围区域23形成贯通孔或凹部。图1所示的例子中，各有效区域22在俯视图中具有大致四边形形状，进一步准确地说在俯视图中具有大致矩形的轮廓。
[0089]在图示的例子中，蒸镀掩模20的2个以上的有效区域22沿着与蒸镀掩模20的长度方向平行的一个方向隔着预定的间隔而排成一列。图示的例子中，一个有效区域22对应于一个有机EL显示装置。即，根据图1所示的蒸镀掩模装置10(蒸镀掩模20)，能够进行逐段重复蒸镀(多面付蒸着)。
[0090]如图3所示，在图示的例子中，在各有效区域22形成的2个以上贯通孔25在该有效区域22中沿着相互正交的两个方向分别以预定的间隔排列。关于该金属板21上形成的贯通孔25的一例，主要参照图3?图6进一步进行详细说明。
[0091]如图4?图6所示，2个以上贯通孔25在第I面20a和第2面20b之间延伸而贯通蒸镀掩模20，所述第I面20a为蒸镀掩模20的沿着法线方向的一侧，所述第2面20b为蒸镀掩模20的沿着法线方向的另一侧。图示的例子中，如后面所详细说明的那样，从作为蒸镀掩模的法线方向的一侧的金属板21的第I面21a侧通过蚀刻在金属板21上形成第I凹部30，从作为金属板21的法线方向的另一侧的第2面21b侧在金属板21上形成第2凹部35，利用该第I凹部30和第2凹部35来形成贯通孔25。
[0092]如图3?图6所示，从蒸镀掩模20的第I面20a侧向第2面20b侧，在蒸镀掩模20的沿着法线方向的各位置处，各第I凹部30在沿着蒸镀掩模20的板面的截面中的截面积逐渐变小。如图3所示，第I凹部30的壁面31在其整个区域在与蒸镀掩模20的法线方向交叉的方向延伸，朝向沿着蒸镀掩模20的法线方向的一侧露出。同样地，在蒸镀掩模20的沿着法线方向的各位置处，各第2凹部35在沿着蒸镀掩模20的板面的截面中的截面积可以从蒸镀掩模20的第2面20b侧向第I面20a侧逐渐变小。第2凹部35的壁面36在其整个区域在与蒸镀掩模20的法线方向交叉的方向延伸，朝向沿着蒸镀掩模20的法线方向的另一侧露出。
[0093]需要说明的是，如图4?图6所示，第I凹部30的壁面31与第2凹部35的壁面36通过周状的连接部41而连接。连接部41是通过相对于蒸镀掩模的法线方向倾斜的第I凹部30的壁面31与相对于蒸镀掩模的法线方向倾斜的第2凹部35的壁面36汇合成的突出部的棱线而划出的。并且，连接部41在蒸镀掩模20的俯视图中划出贯通孔25的面积最小的贯通部42。
[0094]如图4?图6所示，蒸镀掩模的沿着法线方向的另一侧的面、即蒸镀掩模20的第2面20b上，相邻的两个贯通孔25沿着蒸镀掩模的板面相互隔开。即，如后述的制造方法，从与蒸镀掩模20的第2面20b对应的金属板21的第2面21b侧对该金属板21进行蚀刻而制作第2凹部35时，在相邻的两个第2凹部35之间残存有金属板21的第2面21b。
[0095]另一方面，如图4?图6所示，在蒸镀掩模的沿着法线方向的一侧、即蒸镀掩模20的第I面20a侧，相邻的两个第I凹部30连接。即，如后述的制造方法，从与蒸镀掩模20的第I面20a对应的金属板21的第I面21a侧对该金属板21进行蚀刻而形成第I凹部30时，在相邻的两个第I凹部30之间不会残存有金属板21的第I面21a。即，金属板21的第I面21a在有效区域22的整个区域被蚀刻。利用由这样的第I凹部30所形成的蒸镀掩模20的第I面20a，在按照如图2所示蒸镀掩模20的第I面20a面对蒸镀材料98的方式使用该蒸镀掩模20的情况下，可有效改善蒸镀材料98的利用效率。
[0096]如图2所示，在蒸镀掩模装置10容纳于蒸镀装置90中的情况下，如图4中双点划线所示，蒸镀掩模20的第I面20a位于保持有蒸镀材料98的坩祸94侧，蒸镀掩模20的第2面20b面对玻璃基板92。因此，蒸镀材料98通过截面积逐渐变小的第I凹部30而附着于玻璃基板92上。如图4中箭头所示，蒸镀材料98从坩祸94向玻璃基板92不仅沿着玻璃基板92的法线方向移动，而且也有时在相对于玻璃基板92的法线方向较大倾斜的方向移动。此时，蒸镀掩模20的厚度大时，倾斜移动的蒸镀材料98很多在通过贯通孔25到达玻璃基板92之前会到达第I凹部30的壁面31而附着。此时，在玻璃基板92上的与贯通孔25面对的区域内，会产生蒸镀材料98易于到达的区域和难以到达的部分。因此，为了提高蒸镀材料的利用效率(成膜效率:附着于玻璃基板92上的比例)而节约昂贵的蒸镀材料、且使利用了昂贵的蒸镀材料的成膜在所期望的区域内稳定而均匀地进行实施，重要的是按照尽可能使倾斜移动的蒸镀材料98到达玻璃基板92的方式来构成蒸镀掩模20。即，在蒸镀掩模20的与片材面正交的图4?图6的截面中，使直线LI相对于蒸镀掩模20的法线方向所形成的最小角度Θ1(参照图4)充分变大是有利的，所述直线LI通过贯通孔25的作为具有最小截面积的部分的连接部41、和第I凹部30的壁面31的其他任意位置。
[0097]作为用于加大角度Θ1的方法之一，可以考虑，使蒸镀掩模20的厚度减小，由此，使第I凹部30的壁面31、第2凹部35的壁面36的高度变小。即，可以说，作为用于构成蒸镀掩模20的金属板21，在可确保蒸镀掩模20的强度的范围内优选使用厚度尽可能薄的金属板21。
[0098]作为用于加大角度Θ1的其他方法，还可以考虑使第I凹部30的轮廓最佳化。例如根据本实施方式，通过相邻的两个第I凹部30的壁面31汇合，相比未与其他凹部汇合的具有以虚线所示的壁面(轮廓)的凹部，可大幅加大该角度Θ1(参照图4)。以下说明其理由。
[0099]如后面所详细说明的那样，第I凹部30是通过对金属板21的第I面21a进行蚀刻而形成的。通过蚀刻形成的凹部的壁面一般呈曲面状，该曲面状的凸起朝向侵蚀方向。因此，通过蚀刻形成的凹部的壁面31在蚀刻开始侧的区域中陡峭，在与蚀刻开始侧相反的一侧的区域、即凹部的最深的一侧，相对于金属板21的法线方向较大地倾斜。另一方面，图示的蒸镀掩模20中，相邻的两个第I凹部30的壁面31在蚀刻开始侧发生汇合，因此，两个第I凹部30的壁面31的前端边缘32汇合的部分43的外轮廓并非陡峭的形状，而是倒角的形状。因此，可以使形成贯通孔25的大部分的第I凹部30的壁面31有效地相对于蒸镀掩模的法线方向倾斜。即，可以加大角度ΘI。由此，可在有效改善蒸镀材料98的利用效率的同时，高精度地稳定实施所期望的图案下的蒸镀。
[0100](材料)
[0101] 下面，对用于构成上述蒸镀掩模20的材料(金属板)进行说明。如后所述，首先，对母材进行乳制而制作出长条状的金属板(下文中也称为长金属板)，由该长条状的金属板得到构成蒸镀掩模20的片状的金属板21。因此，为了得到厚度小的金属板21，需要加大通过乳制母材来制造长金属板时的乳制率。但是，乳制率越大，基于乳制的变形的不均匀的程度也越大。例如，长金属板的延伸率因宽度方向(与母材的传送方向正交的方向)的位置而有所不同，其结果，有时上述的起伏形状出现在长金属板上。
[0102]—般对以卷对卷传送的长金属板实施在长金属板形成贯通孔的蚀刻工序。因此，为了高效地实施蚀刻工序，优选长金属板的传送性优异。但是，随着长金属板的厚度减小，通常长金属板的传送变得困难。例如，随着长金属板的厚度减小，容易发生长金属板的传送方向从理想的传送方向偏移的“偏离(寄Ο”、及对长金属板施加拉伸应力时长金属板沿着其长度方向折叠的“压曲折叠(座屈折机)”等。压曲折叠特别容易以用于转换长金属板的传送方向的辊等为起点而发生。另外，若在长金属板中产生上述的起伏形状，则认为更容易发生偏离和压曲折叠。其原因在于，若产生起伏形状，则用于转换长金属板的传送方向的辊给长金属板所带来的压力在宽度方向变得不均匀。在不施加压力的部位，长金属板自身从辊浮起，进而不仅限于浮起，还容易发生折叠。另外，夹持挤压长金属板而进行传送的一对传送辊给长金属板所带来的压力在宽度方向容易变得不均匀，认为这也是容易发生偏离和压曲折叠的原因。因此，为了高效地实施蚀刻工序，选择使用难以产生偏离和压曲折叠的长金属板很重要。本实施方式中，如后所述，提出了将在宽度方向的各位置计算出的长金属板的陡峭度作为指标，从而选择长金属板。陡峭度的定义如后所述。
[0103]下面对具有这样的构成的本实施方式及其作用和效果进行说明。在此，首先对用于制造蒸镀掩模的金属板的制造方法进行说明。接着对使用所得到的金属板制造蒸镀掩模的方法进行说明。其后，对使用所得到的蒸镀掩模在基板上进行蒸镀材料的蒸镀的方法进行说明。
[0104](金属板的制造方法)
[0105]首先，参照图7(&)、(13)、图8、图9(&)、(13)、((3)、((1)和图10对金属板的制造方法进行说明。图7(a)为示出通过乳制母材而得到具有所期望的厚度的金属板的工序的图，图7(b)为示出对通过乳制所得到的金属板进行退火的工序的图。
[0106][乳制工序]
[0107]首先如图7(a)所示，准备含有因瓦合金材料的母材55，向包含一对乳制辊56a、56b的乳制装置56沿着箭头Dl所示的传送方向来传送该母材55。到达一对乳制辊56a、56b之间的母材5 5被一对乳制棍5 6a、5 6 b乳制，其结果，母材5 5的厚度降低，同时沿着传送方向被拉伸。由此，可得到厚度to的长金属板64。如图7(a)所示，可以通过将长金属板64卷取于芯材61上而形成卷绕体62。对厚度to的具体值没有特别限定，例如为0.020mm?0.1OOmm的范围内。
[0108]需要说明的是，图7(a)只不过示出乳制工序的概要，对用于实施乳制工序的具体构成和步骤没有特别限定。例如乳制工序可以包括:在构成母材55的因瓦合金材料的重结晶温度以上对母材进行加工的热乳工序;和在因瓦合金材料的重结晶温度以下对母材进行加工的冷乳工序。
[0109][切割工序]
[0110]之后，可以实施切割工序，在该工序中，将由乳制工序得到的长金属板64的宽度方向的两端分别以3_?5_的范围切掉。该切割工序是为了除去因乳制而在长金属板64的两端产生的裂纹而实施的。通过实施这样的切割工序，可以防止长金属板64断裂的现象、即以裂纹为起点而发生所谓的板裂。
[0111][退火工序]
[0112]之后，为了消除因乳制而蓄积于长金属板64内的残余应力，如图7(b)所示，使用退火装置57对长金属板64进行退火。如图7(b)所示，退火工序可以在将长金属板64于传送方向(长度方向)拉伸的同时实施。即，退火工序可以不以所谓的分批式的退火的方式实施，而以一边传送一边进行的连续退火的方式实施。在实施退火工序的期间，根据长金属板64的厚度和乳制率等适当地进行设定，例如在500°C以60秒来实施退火工序。需要说明的是，上述“60秒”是指长金属板64通过退火装置57中的被加热至500°C的空间所需要的时间为60秒。
[0113]通过实施退火工序，可得到残余应力以某种程度被除去的、厚度to的长金属板64。需要说明的是，厚度to通常等于蒸镀掩模20的周围区域23内的最大厚度Tb。
[0114]需要说明的是，通过将上述的乳制工序、切割工序和退火工序反复进行2次以上，可以制作厚度to的长金属板64。另外，图7(b)中，示出了退火工序在一边将长金属板64于长度方向拉伸一边进行实施的例子，但并不限定于此，也可以在长金属板64被卷取于芯材61的状态下实施退火工序。即，可以实施分批式的退火。需要说明的是，在长金属板64被卷取于芯材61的状态下实施退火工序的情况下，有时在长金属板64上会产生与卷绕体62的卷取径相对应的翘曲的问题。因此，根据卷绕体62的卷取径、构成母材55的材料，在将长金属板64于长度方向拉伸的同时实施退火工序是有利的。
[0115][切断工序]
[0116]之后，将长金属板64的宽度方向的两端分别以预定范围切掉，由此实施将长金属板64的宽度调整为所期望的宽度的切断工序。如此可以得到具有所期望的厚度和宽度的长金属板64。
[0117][检查工序]
[0118]其后，实施对所得到的长金属板64的陡峭度进行检查的检查工序。图8为示出通过图7(a)、(b)所示的工序所得到的长金属板64的立体图。如图8所示，长金属板64至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该长金属板64的长度方向Dl的长度根据其宽度方向D2的位置而有所不同。在此，长度方向Dl为与乳制母材55时的传送方向平行的方向，宽度方向D2为与长度方向Dl正交的方向。图8中，长金属板64的宽度方向D2的端部以符号64e表示。
[0119]对长金属板64中显现出的起伏形状进行说明。图9(a)、(b)、(c)、(d)分别为沿着图8的a-a线、b-b线、c-c线和d-d线的截面图。图8的a-a线为沿着长金属板64的宽度方向的中央部64c在长度方向延伸的线，因此，图9(a)示出了长金属板64的宽度方向的中央部64c的长金属板64的截面。另外，图8的d-d线为沿着长金属板64的宽度方向的端部64e在长度方向延伸的线，因此，图9(d)示出了长金属板64的宽度方向的端部64e的长金属板64的截面。基于本实施方式的长金属板64中出现中间波纹，因此，在宽度方向的中央部64c中出现于长金属板64的起伏形状的程度比在稍微偏离中央部64c的位置、例如图8的b-b线的位置中出现于长金属板64的起伏形状的程度大。另外，基于本实施方式的长金属板64中也出现波浪边，因此，在宽度方向的端部64e中出现于长金属板64的起伏形状的程度比在稍微偏离端部64e的位置、例如图8的c-c线的位置中出现于长金属板64中出现的起伏形状的程度大。
[0120]检查工序中，首先，计算出长金属板64的宽度方向的各位置处的陡峭度。此处，“陡峭度”是指长金属板64的起伏形状的高度H相对于起伏形状的长度方向的周期L的百分比(% )、即H/L X 100( % )。“周期”是指长金属板64的起伏形状中的谷底与谷底之间的距离，“高度”是指从起伏形状的顶部的顶点至连结谷底和谷底的直线的距离。
[0121]例如图9(a)中，关于沿着图8的a-a线存在的起伏形状的2个顶部，周期分别以符号Lal和La2表示，高度分别以符号Hal和Ha2表示。并且，虽然未进行图示，在计算陡峭度时的长金属板64的长度方向的对象范围内，沿着图8的a-a线进一步存在大量的起伏形状的顶部。例如，假定存在na个顶部，用Lana表示各顶部的周期，用11_表示各顶部的高度(na为正整数)。该情况下，na个顶部的陡峭度分别SH_/L_X 100( % )。另外，沿着图8的a_a线的位置处的陡峭度以na个顶部的陡峭度的平均值、即!1_/1_\100(%)(11&为正整数)的平均值算出。
[0122]与沿着图8的a-a线的位置时同样，沿着图8的b-b线、c-c线和d-d线的位置处的陡峭度分别以Hbnb/LbnbX 100( % ) (nb为正整数)的平均值、Hcnc/Lcnc X 100( % ) (nc为正整数)的平均值、和Hdnd/LdndX 100(%)(nd为正整数)的平均值算出。
[0123]对用于计算长金属板64的起伏形状的周期和高度的方法没有特别限定。例如，在计算沿着图8的a-a线的位置、即中央部64c的长金属板64的起伏形状的各顶部的周期L-和高度Hana时，首先，使能够测定与对象物之间的距离的测距装置在宽度方向D2的中央部64c沿着长金属板64的长度方向Dl在长金属板64上扫描，由此沿着长度方向Dl以预定的间隔对长金属板64的表面的高度位置进行测定。该间隔为例如Imm?5mm的范围内。由此，可以取得中央部64c的长金属板64的三维轮廓。另外，通过分析三维轮廓，可以计算出各顶部的周期L_和高度!1_。需要说明的是，可以将圆滑地连结各测定点之间的曲线用作三维轮廓。
[0124]另外，改变宽度方向D2的位置的同时反复进行这样的测定，从而可计算出宽度方向D2的各位置处的长金属板64的起伏形状的周期和高度。
[0125]图10为示出在长金属板64的宽度方向D2的各位置计算出的陡峭度的曲线图。图10中，横轴表示长金属板64的宽度方向D2的位置，纵轴表示陆峭度。需要说明的是，图10中，示出了将在长金属板64的宽度方向D2的各位置计算出的陡峭度的值圆滑地连结而成的曲线80。在图10的横轴的上段以mm的数量级记载了以宽度方向D2的中央部64c为原点的情况下的宽度方向D2的位置。另外，图10的横轴的下段以％示出宽度方向D2的位置的相对于长金属板64的全宽的比例。需要说明的是，图10中，对作为用于制造蒸镀掩模20的长金属板64使用具有500mm的全宽的长金属板的情况进行说明。因此，例如距离宽度方向D2的中央部64c为+10mm的位置的比例为+20%。另外，图10中，图8的a-a线、b-b线、c-c线和d-d线的位置的长金属板64的陆峭度分别以符号A、B、C和D表不。
[0126]在长金属板64的宽度方向D2的各位置计算出陡峭度后，基于陡峭度的值，实施长金属板64的筛选。在此，在后述的蒸镀掩模20的制造工序中仅使用满足以下全部条件(I)?
(3)的长金属板64，由此来实施长金属板64的筛选。
[0127](I)长金属板64的宽度方向D2的中央部分Rl的陡峭度的最大值Klmax为0.4%以下；
[0128](2)长金属板64的宽度方向D2的中央部分Rl的陡峭度的最大值Klmax为长金属板64的宽度方向的一端侧部分R2的最大值K2max以下，并且为长金属板64的宽度方向的另一端侧部分R3的最大值K3max以下;和
[0129](3) —端侧部分R2的陡峭度的最大值K 2max与另一端侧部分R3的陡峭度的最大值K3max之差为0.4 %以下；
[0130]以下对上述条件(I)?(3)分别进行研究。需要说明的是，图10中，长金属板64的中央部分以符号Rl表示，与中央部分Rl相比位于长金属板64的宽度方向的一端侧的一端侧部分以符号R2表不，与中央部分Rl相比位于长金属板64的宽度方向的另一端侧的另一端侧部分以符号R3表示。一端侧部分R2、中央部分Rl和另一端侧部分R3分别被定义为占切断工序后的长金属板64的宽度的30 %、40 %和30 %的部分。
[0131]在产生了中间波纹和波浪边的长金属板64中，一般如图10所示，在长金属板64的宽度方向的中央部64c附近出现陡峭度的极大值(点A)。另外，在从长金属板64的宽度方向的中央部向一端侧或另一端侧稍微偏离的位置出现陡峭度的极小值(点B)。并且，陡峭度从点B向宽度方向的一端部或另一端部逐渐增加(点C)，并且，在宽度方向的一端或另一端，陡峭度的值达到最大(点D)。该情况下，在中央部分Rl描绘出表示陆峭度= 0.4%的基准线81时，陡峭度的曲线80位于基准线81的下方，表示满足了上述条件(I)。在图10所示的例子中，满足了上述的条件(I)。
[0132]关于条件(2)，判定是否中央部分Rl的陡峭度的最大值Klmax为一端侧部分R2的陡峭度的最大值K2max以下、并且为另 一端侧部分R3的陡峭度的最大值K3max以下。在图10所示的例子中，满足了上述的条件(2)。
[0133]关于条件(3)，判定一端侧部分R2的陆峭度的最大值K2max与另一端侧部分R3的陆峭度的最大值K3max之差是否为0.4%以下。在图10所示的例子中，满足了上述的条件(3)。
[0134]通过实施这样的筛选，即使是因为长金属板64的乳制率大而导致在长金属板64中出现起伏形状的情况下，也能够提前判断该起伏形状的程度是否会在之后的蒸镀掩模20的制造工序中成为问题。由此，能够提高由长金属板64制作的蒸镀掩模20的生产效率和成品率。
[0135]需要说明的是，对用于得到具有图10所示的陡峭度的曲线80的、全宽500mm的长金属板64的方法没有特别限定。
[0136]例如，通过乳制母材55，制作具有超过500mm的全宽、例如700mm的全宽的长金属板，其后，实施将该长金属板的宽度方向的两端切掉预定范围的上述切断工序，由此可制作宽500mm的长金属板64。此时，在切断工序前的具有700mm的全宽的长金属板中，图10中如以双点划线所示，认为会存在其陡峭度非常大的部分、例如超过1%的部分。另外，还认为具有比较小的陡峭度的部分存在于从700mm宽的长金属板的中央偏离的部分。该情况下，并不是以预定范围均等地切掉700mm宽的长金属板的两端，可以不均等地切掉700mm宽的长金属板的两端。
[0137]例如，在切断工序之前，实施对具有700mm的全宽的长金属板的起伏形状进行观察的观察工序。该观察工序可以通过操作者的目视来实施、或者也可以使用上述的测距装置来实施。
[0138]此时，例如，在长金属板的一端侧确认到陡峭度比较大的区域广泛地展开的情况下，与另一端侧相比，可以范围更大地切掉具有700mm的全宽的长金属板的一端侧由此来实施切断工序。例如，可以考虑在一端侧以150mm切掉，在另一端侧以50mm切掉。
[0139]另外，具有比较小的陡峭度的部分在从700mm宽的长金属板的中央向一端侧偏移的部分展开的情况下，可以按照这种具有小的陡峭度的部分成为切断工序后的700mm宽的长金属板64的中央部分Rl的方式来实施切断工序。例如，可以考虑在一端侧以50mm切掉，在另一端侧以150mm切掉。
[0140]这样，基于观察工序的结果来决定在切断工序中切掉的长金属板的部分，从而可以得到具有更理想的陡峭度轮廓的长金属板64。
[0141](蒸镀掩模的制造方法)
[0142]下面，主要参照图11?图20，对利用如上筛选出的长金属板64来制造蒸镀掩模20的方法进行说明。以下说明的蒸镀掩模20的制造方法中，如图11所示，供给长金属板64，在该长金属板64上形成贯通孔25，进一步裁断长金属板64，从而得到由片状的金属板21构成的蒸镀掩模20。
[0143]更具体地说，蒸镀掩模20的制造方法包括:供给延伸成带状的长金属板64的工序；将利用了照相平版印刷技术的蚀刻实施于长金属板64，在长金属板64上从第I面64a侧形成第I凹部30的工序；和，将利用了照相平版印刷技术的蚀刻实施于长金属板64，在长金属板64上从第2面64b侧形成第2凹部35的工序。并且，形成于长金属板64的第I凹部30和第2凹部35相互相通，从而在长金属板64上制作出贯通孔25。在图11所示的例子中，第2凹部35的形成工序在第I凹部30的形成工序之前实施，并且在第2凹部35的形成工序与第I凹部30的形成工序之间进一步设置有对所制作的第2凹部35进行密封的工序。以下详细说明各工序。
[0144]图11示出了用于制作蒸镀掩模20的制造装置60。如图11所示，首先，准备将长金属板64卷取于芯材61上而成的卷绕体62。并且，通过旋转该芯材61而将卷绕体62放卷，从而如图11所示那样供给延伸成带状的长金属板64。需要说明的是，长金属板64形成有贯通孔25后形成片状的金属板21、进而形成蒸镀掩模20。
[0145]被供给的长金属板64被传送辊72传送至蚀刻装置(蚀刻单元)70。利用蚀刻单元70，实施图12?图20所示的各处理。
[0146]首先，如图12所示，在长金属板64的第I面64a上(图12的纸面中的下侧的面上)和第2面64b上涂布负型的感光性抗蚀剂材料，在长金属板64上形成抗蚀剂膜65c、65d。接着，准备曝光掩模85a、85b，该曝光掩模85a、85b不使光透过至抗蚀剂膜65c、65d中的欲除去的区域，将曝光掩模85a、85b分别如图13所示配置于抗蚀剂膜65c、65d上。作为曝光掩模85a、85b，使用例如玻璃干板，该玻璃干板不使光透过至抗蚀剂膜65c、65d中的欲除去的区域。其后，通过真空密合使曝光掩模85a、85b与抗蚀剂膜65c、65d充分密合。
[0147]需要说明的时，作为感光性抗蚀剂材料，可以使用正型的感光性抗蚀剂材料。这种情况下，作为曝光掩模，使用使光透过至抗蚀剂膜中的欲除去的区域的曝光掩模。
[0148]其后，隔着曝光掩模85a、85b将抗蚀剂膜65c、65d曝光，进一步将抗蚀剂膜65c、65d显影。如此，如图14所示，可在长金属板64的第I面64a上形成抗蚀剂图案(也简称为抗蚀剂)65a、在长金属板64的第2面64b上形成抗蚀剂图案(也简称为抗蚀剂)65b。
[0149]接着，如图15所示，将长金属板64上形成的抗蚀剂图案65b作为掩模，使用蚀刻液(例如氯化铁(III)溶液)，从长金属板64的第2面64b侧蚀刻。例如，蚀刻液从喷嘴隔着抗蚀剂图案65b喷向着长金属板64的第2面64b，所述喷嘴配置在与传送的长金属板64的第2面64b面对的一侧。其结果，如图15所示，长金属板64中的未被抗蚀剂图案65b覆盖的区域中，蚀刻液所致的侵蚀推进。如此，从第2面64b侧在长金属板64上形成大量的第2凹部35。
[0150]其后，如图16所示，利用对蚀刻液具有耐性的树脂69，将所形成的第2凹部35被覆。即，利用对蚀刻液具有耐性的树脂69，将第2凹部35密封。在图16所示的例子中，树脂69的膜按照不仅覆盖所形成的第2凹部35、而且也覆盖第2面64b(抗蚀剂图案65b)的方式形成。
[0151]接着，如图17所示，对长金属板64进行第2次蚀刻。在第2次蚀刻中，长金属板64仅从第I面64a侧被蚀刻，从第I面64a侧，第I凹部30的形成推进。这是由于长金属板64的第2面64b侧被覆有对蚀刻液具有耐性的树脂69。因此，通过第I次蚀刻形成所期望的形状的第2凹部35的形状不会受损。
[0152]基于蚀刻的侵蚀在长金属板64中的与蚀刻液接触的部分进行。因此，侵蚀不仅仅在长金属板64的法线方向(厚度方向)推进，在沿着长金属板64的板面的方向也推进。其结果，如图18所示，蚀刻在长金属板64的法线方向推进而使第1凹部30与第2凹部35连接，不仅如此，在与抗蚀剂图案65a的相邻的二个孔66a面对的位置分别形成的两个第1凹部30在位于两个孔66a之间的桥部67a的内侧汇合。
[0153]如图19所示，从长金属板64的第1面64a侧的蚀刻进一步推进。如图19所示，相邻的两个第1凹部30汇合而成的汇合部分43脱离抗蚀剂图案65a，处于抗蚀剂图案65a之下的该汇合部分43中，蚀刻所致的侵蚀也在金属板64的法线方向(厚度方向)推进。由此，朝向沿着蒸镀掩模的法线方向的一侧尖锐的汇合部分43从沿着蒸镀掩模的法线方向的一侧被蚀刻，从而如图19所示那样被倒角。由此，可使第1凹部30的壁面31相对于蒸镀掩模的法线方向所形成的倾斜角Θ1增大。
[0154]如此，基于蚀刻的长金属板64的第1面64a的侵蚀在长金属板64的用于形成有效区域22的整个区域内推进。由此，用于形成有效区域22的区域内的长金属板64的沿着法线方向的最大厚度Ta相比蚀刻前的长金属板64的最大厚度Tb变薄。
[0155]如上所述，从长金属板64的第1面64a侧的蚀刻仅推进预先设定的量，对长金属板64的第2次蚀刻结束。此时，第1凹部30沿着长金属板64的厚度方向延伸至到达第2凹部35的位置处，从而利用相互相通的第1凹部30和第2凹部35在长金属板64上形成贯通孔25。
[0156]其后，如图20所示，从长金属板64上除去树脂69。通过使用例如碱系剥离液而能够除去树脂膜69。使用碱系剥离液的情况下，如图20所示，与树脂69同时也除去抗蚀剂图案65a、65b。需要说明的是，也可以在除去树脂69后，与树脂69分开另行除去抗蚀剂图案65a、65b0
[0157]利用以夹持该长金属板64的状态进行旋转的传送辊72、72向切断装置(切断单元)73传送如此形成有大量贯通孔25的长金属板64。需要说明的是，藉由利用该传送辊72、72的旋转而作用于长金属板64的张力(拉伸应力)，使上述的供给芯材61旋转，从而由卷绕体62供给长金属板64。
[0158]其后，利用切断装置(切断单元)73将形成有大量凹部30、35的长金属板64切断成预定的长度和宽度，从而得到形成有大量贯通孔25的片状金属板21。
[0159]如上操作，可得到由形成有大量贯通孔25的金属板21构成的蒸镀掩模20。在此，根据本实施方式，金属板21的第1面21a在有效区域22的整个区域被蚀刻。因此，使蒸镀掩模20的有效区域22的厚度减小，并且可以使在第1面21a侧形成的两个第1凹部30的壁面31的先端边缘32汇合的部分43的外轮廓为倒角的形状。因此，可以增大上述角度Θ1，由此，可提高蒸镀材料的利用效率和蒸镀的位置精度。
[0160]但是，如上所述，为了制作蒸镀掩模20而准备的长金属板64的厚度小，例如为
0.020mm?0.100mm左右。在传送这样非常薄的长金属板64的情况下，对长金属板64施加拉伸应力时长金属板64容易发生沿着其长度方向折叠的压曲折叠。另外，关于有效区域22，贯通孔25以外的部分也被蚀刻。其结果，在蒸镀掩模20的制造工序中以卷对卷方式所传送的长金属板64不仅原本就薄，而且蚀刻工序后局部变得更薄。因此，在蚀刻工序后更容易发生压曲折叠。本发明人反复研究的结果发现，该压曲折叠在长金属板64产生了大的中间波纹时容易发生。关于中间波纹与压曲折叠的关联性，考虑了各种关联性。例如，产生大的中间波纹意味着，未充分施加用于传送的拉伸应力的部位(下文中也称为松动(f己含)部位)容易存在于长金属板64的宽度方向的中央部分R1。若存在这样的松动部位，则施加到长金属板64的拉伸应力在松动部位的周边变得不均匀，因而认为容易产生沿着传送方向的变形。特别是，松动部位存在于中央部分R1的情况下，对拉伸应力的不均匀性的影响变大。其结果，特别是在用于转换长金属板的传送方向的辊等中，由于松动部位未施加压力，因而松动部位从辊浮起，进而不仅限于浮起，认为长金属板中还容易发生压曲折叠。产生了压曲折叠的长金属板64作为不合格品被废弃，因此容易产生压曲折叠意味着蒸镀掩模20的成品率降低。
[0161]此处，根据本实施方式，根据上述的条件(1)，使用了长金属板64的宽度方向D2的中央部分R1的陡峭度的最大值KlmaxS0.4 %以下的长金属板64。即，中央部分R1的松动程度减小。因此，能够抑制广生压曲折置等变形。因此，能够以尚成品率制造蒸链掩t旲20。
[0162]另外，施加至长金属板64的拉伸应力根据长金属板64的宽度方向的位置而大幅不同的情况下，容易发生长金属板64的传送方向会从理想的传送方向、即与传送辊72的轴向正交的方向偏移的所谓偏离。例如，施加至长金属板64的一端侧部分R2的拉伸应力与施加至长金属板64的中央部分R1或另一端侧部分R3的拉伸应力相比极大的情况下，长金属板64的传送方向会向长金属板64的一端侧偏移。若长金属板64的传送方向偏移，贝lj长金属板64向传送区域外移动，会导致无法传送。因此，容易发生偏离不仅意味着所得到的蒸镀掩模20的品质降低，还意味着蒸镀掩模20的生产效率及成品率降低。
[0163]在实施基于卷对卷的传送的装置内，通常具备控制单元，该控制单元对所传送的对象物的宽度方向的位置进行监视，根据监视结果来实施传送方向的修正，从而防止对象物的传送方向与理想大幅偏移。但是，对象物的传送方向的偏移比控制单元的应答速度还更快时，对象物会在传送方向的修正完成之前从传送辊脱落。因此，不仅仅依赖于控制单元，使施加至对象物的拉伸应力不局部增大很重要。
[0164]此处，根据本实施方式，基于上述的条件(2)，使用了长金属板64的宽度方向D2的中央部分R1的陆峭度的最大值Klmax为长金属板64的宽度方向的一端侧部分R2的最大值K2max以下 、并且为长金属板64的宽度方向的另一端侧部分R3的最大值K3max以下的长金属板64。因此，能够使施加至中央部分R1的拉伸应力大体上大于施加至一端侧部分R2的拉伸应力、以及施加至另一端侧部分R3的拉伸应力。即，能够充分确保沿着理想的传送方向所施加的拉伸力。
[0165]另外，根据本实施方式，基于上述的条件(3)，使用了一端侧部分R2的陡峭度的最大值K2max与另一端侧部分R3的陡峭度的最大值K3max之差为0.4%以下的长金属板64。因此，能够防止施加至一端侧部分R2的拉伸应力以及施加至另一端侧部分R3的拉伸应力中的任一者相对于另一者变得极大。
[0166]由此，根据本实施方式，在蒸镀掩模20的制造工序中，能够抑制发生长金属板64的偏离。因此，能够确保蒸镀掩模20的品质，并且能够提高蒸镀掩模20的生产效率及成品率。
[0167](蒸镀方法)
[0168]接着，对使用所得到的蒸镀掩模20将蒸镀材料蒸镀于基板92上的方法进行说明。首先，如图2所示，使蒸镀掩模20与基板92密合。此时，将蒸镀掩模20张紧设于框架15上，从而使蒸镀掩模20的面平行于基板92的面。在此，根据本实施方式，使用了基于宽度方向D2的陡峭度而预先筛选出的长金属板64。因此，与未实施这样的筛选的情况相比，各蒸镀掩模20的陡峭度的偏差均匀地降低，进而有效区域22的各贯通孔25的间距的偏差均匀地降低。因此，能够以高的位置精度将蒸镀材料蒸镀于基板92上。因此，通过蒸镀形成有机EL显示装置的像素时，可提高有机EL显示装置的像素的尺寸精度和位置精度。由此，可制作出高精细的有机EL显示装置。
[0169]另外，在本实施方式中，示出了金属板21的第1面21a在有效区域22的整个区域被蚀刻的例子。但是，并不限于此，也可以仅在有效区域22的一部分将金属板21的第1面21a蚀刻。
[0170]另外，在本实施方式中，示出了由长金属板64制造的形成有2个以上贯通孔25的掩模为用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模20的例子。但是，由长金属板64制造的掩模不限于蒸镀掩模20。例如也可以使用长金属板64制造荫罩等其他掩模。
[0171]实施例
[0172]下面，通过实施例更具体地说明本发明，本发明只要不超出其要点就不限于以下的实施例的记载。
[0173](第i卷绕体和第i样品)
[0174]首先，对由因瓦合金材料构成的母材实施上述的乳制工序、切割工序、退火工序和切断工序，从而制造长金属板卷取而成的卷绕体(第1卷绕体)。
[0175]具体地说，首先，实施依次进行第1热乳工序和第1冷乳工序的第1乳制工序，接着，实施将长金属板的宽度方向的两端分别切掉3mm?5mm的范围的第1切割工序，之后，实施于500°C用60秒将长金属板连续退火的第1退火工序。此外，对于经过第1退火工序的长金属板，实施包括第2冷乳工序的第2乳制工序，接着，实施将长金属板的宽度方向的两端分别切掉3_?5_的范围的第2切割工序，之后，实施于500°C用60秒将长金属板连续退火的第2退火工序。由此，得到具有所期望的厚度的宽约600mm的长金属板64。之后，实施下述切断工序:将长金属板64的宽度方向的两端分别切掉预定范围，由此，将长金属板64的宽度最终调整为所期望的宽度、具体地说最终调整为500mm宽。
[0176]需要说明的是，在上述冷乳工序中，使用支承辊进行了压力调整。具体地说，调整了乳制机的支承辊形状和压力，以使长金属板64的形状左右对称。另外，冷乳工序中，一边使用乳制油、例如灯油进行冷却一边进行。在冷乳工序后，进行了用烃系的清洗剂对长金属板进行清洗的清洗工序。在清洗工序后实施了上述的切割工序。
[0177]之后，使用剪床将第1卷绕体的前端部切去，得到由宽度为500mm、投影长度为700mm的金属板构成的第1样品100。需要说明的是，“投影长度”是指从正上方观察金属板的情况下、即无视金属板的起伏形状的情况下的金属板的长度(乳制方向的尺寸)。此外，第1样品100的宽度是指宽度方向的第1样品100的一对端部101、102之间的距离。第1样品100的一对端部101、102是经过切断工序而形成的部分，在该切断工序中，将通过乳制工序和退火工序得到的金属板的宽度方向的两端切掉预定范围，该一对端部101、102大致笔直地延伸。
[0178]接着，如图21所示，将第1样品100水平放置于平台110上。此时，按照在第1样品100中不产生局部凹陷的方式将第1样品100轻轻地放置在平台110上。接着，在第1样品100的一端101，测定投影长度500mm的区域的第1样品100的陆峭度。需要说明的是，投影长度500mm的区域是指从投影长度700mm的第1样品100中去除处于距样品1的长度方向的两端103、104为100mm以内的区域而得到的区域。将处于距两端103、104为100mm以内的区域从测定对象中去除是为了防止基于剪床的切断所致的第1样品100的歪斜的影响会波及陡峭度的测定结果。图21中，投影长度500mm的区域以点划线示出。
[0179]测定中，首先，图21中如箭头s所示，将利用激光的测距装置沿着第1样品100的长度方向对第1样品100进行相对移动，连续地测定长度方向的第1样品100的一端101的表面的高度位置，用圆滑的曲线描绘出长金属板64的轮廓。之后，基于所得到的曲线，对于曲线中包含的多个顶部的各个顶部，计算出周期和高度。接着，计算出各顶部的陡峭度，并且计算出各顶部的陡峭度的平均值。如此，计算出一端101的第1样品100的陡峭度。作为用于测定第1样品100的表面的高度位置的测距装置，使用了作为激光显微镜的Lasertec株式会社制造的OPTELICS H1200。需要说明的是，测定时被移动的要素可以是测距装置或第1样品100的任一者，但是此处，将平台110作为工作台，并结合了用于使由OPTELICS H1200构成的头部在XY方向移动的桨，由此进行了自动测定。作为工作台，使用了500mmX500mm的自动工作台。在XY方向的自动工作台的控制中利用了激光干涉计。
[0180]接着，在从一端101向另一端102侧位移2mm的位置，同样地测定第1样品100的陡峭度。通过一边以预定的间距P改变第1样品100的宽度方向的位置一边反复实施上述测定，从而对宽度方向的各位置的第1样品的陡峭度进行测定。在此，设间距P为2mm。所得到的测定结果包括:包含一端101的上述的一端侧部分R2的陡峭度的测定结果、包含另一端102的上述的另一端侧部分R3的陡峭度的测定结果、和包含中央部的上述的中央部分R1的陡峭度的测定结果。需要说明的是，在以一端101为基准的情况下，中央部分R1为距离一端101为150mm?350mm的范围内的部分。另外，在以一端101为基准的情况下，一端侧部分R2为距离一端101为0?150mm的范围内的部分。在以一端101为基准的情况下，另一端侧部分R3为距离一端101为350mm?500mm的范围内的部分。
[0181 ]测定的结果，中央部分R1的陡峭度的最大值Klmax为0.2%, 一端侧部分R2的陡峭度的最大值K2max为0.1 %，另一端侧部分R3的陡峭度的最大值K3max为0.3%。将这些测定结果与上述的条件(1)?(3)进行对照，结果，在第1样品100中，满足条件(1)、(3)，但不满足条件
(2)。因此，判定第1样品100不能作为用于制造蒸镀掩模的材料进行使用。
[0182][1次效果的评价之一]
[0183]使用上述的蒸镀掩模的制造方法，由第1卷绕体的长金属板64制造出蒸镀掩模20。图22为示出分配有用于构成本评价的蒸镀掩模20的2个以上金属板21的长金属板64的图。
[0184]图22中，在长金属板64的长度方向区分各金属板21的一对第1断裂线用符号24a表不，在长金属板64的宽度方向区分各金属板21的一对第2断裂线用符号24b表不。该情况下，沿着第1断裂线24a和第2断裂线24b裁断长金属板64，由此可得到由片状的金属板21构成的蒸镀掩模20。需要说明的是，在图22所示的示例中，第1断裂线24a和第2断裂线24b均由孔状接线构成。孔状接线是在用于在有效区域22形成贯通孔25的蚀刻工序中与贯通孔25同时形成的。该情况下，操作者可通过手工操作使第1断裂线24a和第2断裂线24b断裂，从长金属板64取出金属板21。
[0185]并且，本评价中，长金属板64的第1面64a仅在形成贯通孔25的部分被蚀刻，其他部分未被蚀刻。
[0186]在后述的说明中，也将图22所示的上述方式的长金属板64称为“第1方式的长金属板 64”。
[0187]本评价中，在使用了长金属板64的蒸镀掩模20的制造工序中，评价了是否发生上述的“偏离”和“压曲折叠”。在蚀刻工序的前后分别实施了评价。需要说明的是，关于是否发生了“偏离”，通过宽度方向的长金属板64的位置是否自基准偏移50mm以上来判定。即，在检测出宽度方向的长金属板64的位置自基准偏移了50mm以上的情况下，判定“发生了偏离”。并且，本评价中，对蚀刻工序后的长金属板64是否产生龟裂、即是否发生了所谓的“板裂(板切机)”也进行了评价。图22中，可发生的板裂用符号F表示。如图22所示，板裂F容易以孔状接线、或实施了蚀刻的有效区域22为起点而发生。若发生板裂，则长金属板64和设置于长金属板64上的抗蚀剂膜等下落至蚀刻槽，其结果，有时需要进行蚀刻槽的清洗。因此，不仅从提高蒸镀掩模20的成品率的观点出发，从保全制造线的观点出发，也优选抑制板裂的发生。
[0188]评价的结果，由第1卷绕体得到的基于第1方式的长金属板64的蒸镀掩模的制造工序中，未发生“压曲折叠”和“板裂”，但发生了 “偏离”。
[0189][1次效果的评价之二]
[0190]使用上述的蒸镀掩模的制造方法，由第1卷绕体的长金属板64制造出蒸镀掩模20。图23为示出分配有用于构成本评价的蒸镀掩模20的2个以上金属板21的长金属板64的图。
[0191]如图23所示，本评价中，在长金属板64的长度方向区分各金属板21的一对第1断裂线24a由沿着长金属板64的长度方向延伸的贯通孔构成。在蒸镀掩模(蒸镀用金属掩模)中，在掩模框架上架设蒸镀掩模，由此进行相对于玻璃基板的蒸镀掩模的孔位置对准。因此，与以往的荫罩不同，沿着长度方向使断裂线断裂时产生的微小变形也是不允许的。因此，如图24所示，由贯通孔构成了在长度方向延伸的第1断裂线24a。并且本评价中，长金属板64的第1面64a在有效区域22的整个区域被蚀刻。除此以外，与上述的“1次效果的评价之一”的情况同样地，评价了是否发生上述的“偏离”、“压曲折叠”和“板裂”。
[0192]在后述的说明中，也将图23所示的上述方式的长金属板64称为“第2方式的长金属板 64”。
[0193]评价的结果，由第1卷绕体得到的基于第2方式的长金属板64的蒸镀掩模的制造工序中，未发生“压曲折叠”，但发生了 “偏离”和“板裂”。
[0194](第2?第20卷绕体和第2?第20样品)
[0195]与第1卷绕体的情况同样地，基于由因瓦合金材料构成的母材制造出第2卷绕体?第20卷绕体。此外，与第1卷绕体的情况同样地，关于第2卷绕体?第20卷绕体，实施了由各卷绕体取出的样品的陡峭度的测定、以及与由各卷绕体的长金属板制作的蒸镀掩模有关的上述“1次效果之一”和“1次效果之二”。
[0196](各样品的判定结果的总结)
[0197]将由第1卷绕体?第20卷绕体取出的各样品的陡峭度的测定结果示于图24。如图24所示，在第4、第5、第8、第9、第12、第13、第15和第16样品中，判定结果为“〇”。即，上述的条件(1)?(3)均满足。另一方面，在第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11、第14、第17、第18、第19和第20样品中，判定结果为“X”。即，上述的条件(1)?(3)中的至少1个不满足。
[0198]具体地说，在第17、第18、第19和第20样品中不满足上述的条件(1)。另外，在第1、第2、第3、第7、第11、第14和第17样品中不满足上述的条件(2)。另外，在第3、第6和第10样品中不满足上述的条件(3)。
[0199](与各卷绕体有关的“1次效果之一”的总结)
[0200]将与由第1卷绕体?第20卷绕体制作上述第1方式的长金属板有关的上述“1次效果之一”的结果示于图25。如图25所示，在由第4、第5、第8、第9、第12、第13、第14、第15和第16卷绕体得到的第1方式的 长金属板64中，判定结果为“〇”。即，“偏离”、“压曲折叠”或“板裂”均未发生。另一方面，在由第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11、第17、第18、第19和第20卷绕体得到的第1方式的长金属板64中，判定结果为“X”。即，发生了 “偏离”、“压曲折叠”和“板裂”中的至少1个。
[0201]在由第17、第18、第19和第20卷绕体得到的第1方式的长金属板64中发生了“压曲折叠”。此处，如上所述，在由第17、第18、第19和第20卷绕体取出的第17、第18、第19和第20样品中，不满足上述的条件(1)。因此，可以说上述的条件(1)与压曲折叠关系密切。需要说明的是，如图25所示，在蚀刻工序前产生了压曲折叠的情况下，无法实施蚀刻工序后的评价。
[0202]在由第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11和第17卷绕体得到的第1方式的长金属板64中发生了“偏离”。此处，如上所述，在由第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11和第17卷绕体取出的第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11和第17样品中，上述的条件(2)或(3)中的至少任一者不满足。因此，可以说上述的条件(2)、(3)与偏离关系密切。
[0203]如图25所示，无论在使用哪种卷绕体的情况下，关于第1方式的长金属板64，均未发生“板裂”。
[0204]由图24与图25的对比可知，在由基于上述的条件(1)?(3)的判定结果为?的卷绕体制作的长金属板64中，蒸镀掩模20的制造工序中的“偏离”、“压曲折叠”和“板裂”均未发生。即，通过利用上述的条件(1)?(3)，可以说能够筛选出可供给在蒸镀掩模20的制造工序中能稳定传送的长金属板64的卷绕体。因此，认为上述的条件(1)?(3)是有力的判断手法。
[0205](与各卷绕体有关的“1次效果之二”的总结)
[0206]将与由第1卷绕体?第20卷绕体制作上述第2方式的长金属板有关的上述“1次效果之二”的结果示于图26。如图26所示，在由第4、第5、第8、第9、第12、第13、第15和第16卷绕体得到的第2方式的长金属板64中，判定结果为“〇”。即，“偏离”、“压曲折叠”或“板裂”均未发生。另一方面，在由第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11、第14、第17、第18、第19和第20卷绕体得到的第2方式的长金属板64中，判定结果为“X”。即，发生了 “偏离”、“压曲折叠”和“板裂”中的至少1个。
[0207]在由第14、第17、第18、第19和第20卷绕体得到的第2方式的长金属板64中发生了“压曲折叠”。特别是，在第14卷绕体中，在蚀刻工序前未发生压曲折叠，但在蚀刻工序后发生了压曲折叠。此处，在由第14卷绕体切割出的第14样品的陡峭度的测定结果中，如图24所示，一端侧部分R2的陡峭度的最大值K2max和另一端侧部分R3的陡峭度的最大值K3max均小于中央部分R1的陡峭度的最大值Klmax。即，不满足上述的条件(2)。
[0208]然而，在第14卷绕体以外的卷绕体中，如图24和图25所示，不满足条件(2)与发生“偏离”密切相关。另外，如图25所示，在由第14卷绕体制作第1方式的长金属板64的情况下，未发生压曲折叠。以下，在由第14卷绕体制作第2方式的长金属板64的情况下，对发生压曲折叠的原因进行考察。
[0209]关于得到了不满足条件(2)的样品的卷绕体，除了第14卷绕体以外，如上所述为第
1、第2、第3、第7、第11和第17卷绕体。在由这些卷绕体得到的样品中，如图24所示，一端侧部分R2的陡峭度的最大值K2max或另一端侧部分R3的陡峭度的最大值K3max中仅任一者小于中央部分R1的陡峭度的最大值Klmax。由此认为，关于可由条件(2)引起的不良情况，“偏离”会因K2max和K3max中的任一者是否小于Klmax而发生。另外，即便在K2max和K3max均小于Klmax的情况下，制作第1方式的长金属板64时也未发生压曲折叠。由此可以说起因于条件(2)的压曲折叠在下述情况下有可能发生:K2max和K3max均小于Klmax、并且长金属板64的蚀刻是在广泛的区域实施的情况，例如第1断裂线24a以贯通孔的形式形成的情况、或有效区域22在整个区域被蚀刻的情况等。并且，根据上述的条件(2)，可以说能够在卷绕体的阶段预测根据蚀刻程度而可发生的压曲折叠。
[0210]在由第！、第2、第3、第6、第7、第10、第11和第17卷绕体得到的第2方式的长金属板64中发生了“偏离”。这样，发生了偏离的卷绕体在制作第1方式的长金属板64的情况、和制作第2方式的长金属板64的情况下是一致的。
[0211]在由第1、第2、第3、第6、第7、第10、第11和第17卷绕体得到的第2方式的长金属板64中发生了“板裂”。这样，在制作第2方式的长金属板64的情况下，发生了板裂的卷绕体与发生了偏离的卷绕体相同。因此，在广泛的区域实施长金属板64的蚀刻的情况下，可以说上述的条件(2)、(3)不仅与偏离密切相关，还与板裂密切相关。
[0212]由图24与图26的对比可知，基于上述的条件(1)?(3)的判定结果与基于“压曲折叠”、“偏离”和“板裂”的判定结果完全一致。即，通过利用上述的条件(1)?(3)，可以说能够无浪费地排除在蒸镀掩模20的制造工序中可产生不良情况的卷绕体。因此，认为上述的条件(1)?(3)在于广泛的区域实施长金属板64的蚀刻时是特别有力的判断手法。
[0213]符号说明
[0214]20蒸镀掩模
[0215]21金属板
[0216]21a金属板的第1面
[0217]21b金属板的第2面
[0218]22有效区域
[0219]23周围区域
[0220]25贯通孔
[0221]30第1凹部
[0222]31 壁面
[0223]35第2凹部
[0224]36 壁面
[0225]55 母材
[0226]56乳制装置
[0227]57退火装置
[0228]61 芯材
[0229]62卷绕体
[0230]64长金属板
[0231]64a长金属板的第1面
[0232]64b长金属板的第2面
[0233]64c长金属板的宽度方向的中央部
[0234]64e长金属板的宽度方向的端部
[0235]65a,65b抗蚀剂图案
[0236]65c、65d 抗蚀剂膜
[0237]80陡峭度率的曲线
[0238]81基准线
[0239]85a,85b 曝光掩模
【主权项】
1.一种金属板的制造方法，其为通过形成2个以上的贯通孔而用于制造掩模的金属板的制造方法，其中， 所述掩模的所述贯通孔是通过对所传送的长条状的所述金属板进行蚀刻而形成的， 所述金属板的制造方法具备下述工序: 乳制工序，在该工序中，对母材进行乳制而得到所述金属板;和 切断工序，在该工序中，以预定范围切掉所述金属板的宽度方向的一端和另一端， 所述切断工序后的所述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同， 将所述切断工序后的所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(I)?(3)， (1)所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下； (2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下;和 (3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下； 所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述切断工序后的所述金属板的宽度的30 %、40 %和30 %的部分。2.如权利要求1所述的金属板的制造方法，其中，由所述金属板制造的所述掩模是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模。3.如权利要求1或2所述的金属板的制造方法，其中，在所述切断工序中切断的所述金属板的一端侧的范围和另一端侧的范围是基于在所述切断工序之前实施的所述金属板的所述起伏形状的观察工序的结果所决定的。4.如权利要求1或2所述的金属板的制造方法，其中，该制造方法进一步具备退火工序，在该工序中，将通过所述乳制工序得到的所述金属板退火，以除去所述金属板的内部应力， 所述退火工序在沿长度方向拉伸所述乳制后的母材的同时实施。5.如权利要求1或2所述的金属板的制造方法，其中，所述母材含有因瓦合金材料。6.—种金属板，其为通过形成2个以上的贯通孔而用于制造掩模的金属板，其中， 所述掩模的所述贯通孔是通过对所传送的长条状的所述金属板进行蚀刻而形成的， 所述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同， 将所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(I)?(3)， (1)所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下； (2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下;和 (3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下； 所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述金属板的宽度的30%、40%和30%的部分。7.如权利要求6所述的金属板，其中，由所述金属板制造的所述掩模是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模。8.如权利要求6或7所述的金属板，其中，所述金属板含有因瓦合金材料。9.一种掩模的制造方法，其为制造形成有2个以上贯通孔的掩模的方法，其中， 该制造方法具备下述工序: 准备金属板的工序，该金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同； 抗蚀剂图案形成工序，该工序中，在所述金属板上形成抗蚀剂图案;和蚀刻工序，该工序中，对所述金属板中的未被所述抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀刻，在所述金属板形成用于划出所述贯通孔的凹部； 将所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(I)?(3)， (1)所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下； (2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下;和 (3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下； 所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述金属板的宽度的30%、40%和30%的部分。10.如权利要求9所述的掩模的制造方法，其中，所述掩模是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模， 所述蒸镀掩模具备形成有2个以上贯通孔的有效区域、和位于所述有效区域的周围的周围区域， 所述蚀刻工序对所述金属板中的未被所述抗蚀剂图案覆盖的区域进行蚀刻，在用于形成所述有效区域的所述金属板的区域内形成用于划出所述贯通孔的凹部。11.如权利要求9或10所述的掩模的制造方法，其中， 所述抗蚀剂图案形成工序具有: 在所述金属板上形成抗蚀剂膜的工序、 使曝光掩模与所述抗蚀剂膜真空密合的工序、和 隔着所述曝光掩模将所述抗蚀剂膜以预定的图案曝光的工序。12.如权利要求9或1所述的掩模的制造方法，其中，所述金属板含有因瓦合金材料。
【专利摘要】本发明的目的在于提供一种具有良好的传送性的金属板。金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4％以下。另外，中央部分的陡峭度的最大值为一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为另一端侧部分的陡峭度的最大值以下。此外，一端侧部分的陡峭度的最大值与另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4％以下。
【IPC分类】H01L51/50, C23C14/24, H05B33/10
【公开号】CN105492654
【申请号】CN201480048190
【发明人】池永知加雄, 宫谷勋
【申请人】大日本印刷株式会社
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2014年9月12日
【公告号】US20160208392, WO2015037709A1
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