流量控制阀的制作方法

流量控制阀的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型有关一种阀件，特别是指一种整体组成架构大幅简化，以相对更为积极、可靠的手段降低污染风险的流量控制阀。
【背景技术】
[0002]一般的光罩、或晶圆片等半导体物料为避免遭受异物污染，多数会置入于盒体中保存，且为避免上述物料于储存时遭氧化或污染，会再进一步于储存空间内充填非氧化性气体、超洁净气体(Xtra Clean Dry Air, XCDA)等惰性气体，并且最好在一段时间内重复充填惰性气体，确保盒体内的环境质量。
[0003]已知可将用以储存光罩、或晶圆片等半导体物料的光罩储存设备以图1所示的机台型态呈现，类似的光罩储存设备基本上设有一供导入惰性气体的充气盘21作为承载光罩10的机械结构体，另设有一可与该充气盘21对应开阖的舱罩22将充气盘21上的光罩10覆盖，由舱罩22及充气盘21构成供存放光罩10的储存空间。
[0004]上述充气盘21且透过高压管路23与相对位于远程的气体源头24连接，使得以经由高压管路23将惰性气体输入充气盘21上方的储存空间内；受限于储存空间必须尽可能维持在超洁净的环境质量，传统的作法是在气体源头24的开关(阀门)开启后，即让惰性气体不断的输入储存空间内。纵使在光罩储存设备的舱罩22已被开启的状态下，惰性气体仍不断经由高压管路23释出，导致惰性气体不断流失，造成极大的浪费。
[0005]然而，目前坊间既有习用的流量控制阀多是利用外部动力、电力、磁铁或弹簧等组件操控或驱动，由于所要整合的组件相对复杂繁琐，不但所有组件的外观型体较不容易清洁且亦容易累积粉尘；另外，整体流量控制阀所包含的构件越多，越容易在动作过程中，产生微粒或粉尘等污染源。
[0006]因此，如何提供一种组成架构相对较为简单，且在同一机械结构主体当中整合有驱动构造的流量控制阀，而得以应用在类似需要维持超洁净环境质量的设备，长久以来一直是产业界及学术界所亟欲解决的课题。
【实用新型内容】
[0007]本实用新型的主要目的，即在提供一种整体组成架构大幅简化，以相对更为积极、可靠的手段降低污染风险的流量控制阀。
[0008]本实用新型的流量控制阀，基本上包括:一阀本体，为内部形成一容置室的块状结构体，该容置室与该阀本体一外侧面相通形成一组装口，该阀本体的外侧面另设有一与该容置室相通的进气接口、一与该容置室相通的出气接口；一轴座，固设于该阀本体的组装口处，该轴座设有一与该容置室相通的轴孔；一导流体，固设于该阀本体的容置室内部将该出气接口遮蔽的位置，该导流体设有一与该轴孔相对应的第一导气孔，以及一连接该第一导气孔与该出气接口之间的第二导气孔；一推杆，以可与该轴座相对轴向位移的型态穿设于该轴座的轴孔及该导流体的第一导气孔处，该推杆供于该导流体往复轴向的区段外径小于该第一导气孔的孔径，该推杆相对伸出该导流体的尾端且设有一可供将第一导气孔遮蔽的塞件。
[0009]本实用新型的流量控制阀，于使用时，以推杆伸出阀本体的一端伸入应用设备的操作部件行程的型态，将阀本体固定于应用设备端的结构主体上，另透过高压管路连接于阀本体的进气接口与气体源头之间，以及连接于阀本体的出气接口与应用设备之间；整个流量控制阀不需要另外加装其他控制组件，即可受应用设备端的操作部件推触而产生气体是否得以经出气接口流入应用设备的流量控制效果，不但整体流量控制阀的组成架构得以大幅简化，更能够以相对较为积极、可靠的手段降低污染风险。
[0010]进一步的，所述阀本体于其设有组装口的外侧面设有多个装配孔。
[0011]进一步的，所述推杆相对伸出该阀本体的尾端设有一螺牙区段，另于该螺牙区段处螺设有一帽盖。
[0012]进一步的，所述流量控制阀于该轴座与该推杆之间衬设有至少一气密垫圈。
[0013]进一步的，所述阀本体于该组装口的内圈设有内螺牙，该轴座的外围设有供与该组装口的内螺牙相螺合的外螺牙。
[0014]进一步的，所述阀本体于该进气接口处及该出气接口处，分别设有一相对凸出其外侧面的管接头。
[0015]进一步的，所述流量控制阀于该轴座与该推杆之间衬设有至少一气密垫圈；该推杆相对伸出该阀本体的尾端设有一螺牙区段，另于该螺牙区段处螺设有一帽盖；以及，该阀本体于其设有组装口的外侧面设有多个装配孔，于该进气接口处及该出气接口处，分别设有一相对凸出其外侧面的管接头。
[0016]本实用新型所揭露的流量控制阀，由于不需要另外加装其他控制组件，即可受应用设备端的操作部件推触而产生气体是否得以进入应用设备的流量控制效果，不但整体流量控制阀的组成架构得以大幅简化，尤适合应用于如光罩储存设备等需要维持在超洁净环境质量的装置或设备，以相对较为积极、可靠的手段防止所应用的装置或设备遭受污染。
【附图说明】
[0017]图1为一习用光罩储存设备的结构不意图；
[0018]图2为本实用新型的流量控制阀使用配置参考图；
[0019]图3为本实用新型第一实施例的流量控制阀结构分解图；
[0020]图4为本实用新型第一实施例的流量控制阀于未作动状态下的结构剖视图；
[0021]图5为本实用新型第一实施例的流量控制阀于作动时应用设备的供气状态示意图；
[0022]图6为本实用新型第一实施例的流量控制阀于作动时的结构剖视图；
[0023]图7为本实用新型另一实施例的流量控制阀结构剖视图。
[0024]【符号说明】
[0025]10光罩21充气盘
[0026]22舱罩23高压管路
[0027]24气体源头30流量控制阀
[0028]31阀本体311容置室
[0029]312组装口313进气接口
[0030]314出气接口315内螺牙
[0031]316装配孔317管接头
[0032]318管接头32轴座
[0033]321轴孔322外螺牙
[0034]33导流体331第一导气孔
[0035]332第二导气孔34推杆
[0036]341塞件342螺牙区段
[0037]35气密垫圈36帽盖。
【具体实施方式】
[0038]为了进一步解释本实用新型的技术方案，下面通过具体实施例来对本实用新型进行详细阐述。
[0039]如图2所示，本实用新型主要提供一种尤适合应用于如光罩储存设备等需要维持在超洁净环境质量的装置或设备，以相对较为积极、可靠的手段防止所应用的装置或设备遭受污染的流量控制阀30，请同时配合参照图2至图4所示，本实用新型的流量控制阀30，基本上包括:一阀本体31、一轴座32、一导流体33，以及一推杆34 ;其中:
[0040]该阀本体31为内部形成一容置室311的块状结构体，该容置室311与该阀本体31一外侧面相通形成一组装口 312，该阀本体31的外侧面另设有一与该容置室311相通的进气接口 313、一与该容置室311相通的出气接口 314。
[0041]该轴座32固设于该阀本体31的组装口 312处，该轴座32设有一与该容置室311相通的轴孔321 ;于实施时，整体流量控制阀30可于该轴座32与该推杆34之间衬设有至少一气密垫圈35，以增加轴座32与阀本体31的密合效果； 在本实施例中，所述阀本体31于该组装口 312的内圈设有内螺牙315，该轴座32的外围设有供与该组装口 312的内螺牙315相螺合的外螺牙322，可透过螺合的方式将轴座32固设于阀本体31的组装口 312处。
[0042]该导流体33固设于该阀本体31的容置室311内部将该出气接口 314遮蔽的位置，该导流体33设有一与该轴孔321相对应的第一导气孔331，以及一连接该第一导气孔331与该出气接口 314之间的第二导气孔332 ;于实施时，所述导流体33可以由金属、塑料加工制成。
[0043]该推杆34以可与该轴座32相对轴向位移的型态穿设于该轴座32的轴孔321及该导流体33的第一导气孔331处，该推杆34供于该导流体33往复轴向的区段外径小于该第一导气孔331的孔径，该推杆34相对伸出该导流体33的尾端且设有一可供将第一导气孔331遮蔽的塞件341。
[0044]原则上，本实用新型的流量控制阀30，于使用时，以推杆34伸出阀本体31的一端伸入应用设备(如图所示的光罩储存设备)的操作部件(如图所示的舱罩22)行程的型态，将阀本体31固定于应用设备端的结构主体(如图的充气盘21下方处)上，另透过高压管路23连接于阀本体31的进气接口 313与气体源头24之间，以及连接于阀本体31的出气接口314与应用设备之间。
[0045]如图2及图4所示，整个流量控制阀30在其推杆34未受应用设备端的操作部件(舱罩22)推触的状态下，推杆34及导流体33在进气压力的作用下，保持在推杆34尾端的塞件341将第一导气孔遮蔽的位置，限制气体通过导流体33达到限制气体经出气接口 314释出，避免造成气体流失。
[0046]以及，当应用设备的操作部件(舱罩22)如图5所示到达预定行程至定位时，推杆34即受应用设备端的操作部件(舱罩22)推触或压触而朝向阀本体31内部方向位移，如图5及图6所示，进而改变推杆34尾端的塞件341位置，使气体得以经导流体33的第一导气孔331及第二导气孔332在自出气接口 314流入应用设备，达到可随应用设备微动的流量控制效果。
[0047]尤其，整体流量控制阀的组成架构可借此大幅简化，并且不需要另外加装其他控制组件，即可受应用设备端的操作部件推触而产生气体是否得以进入应用设备的流量控制效果，以相对更为积极、可靠的手段降低污染风险。
[0048]再者，本实用新型的流量控制阀于实施时，所述阀本体31可以由金属块或塑料块一体加工成型；在本实施例中，所述阀本体31如图3所示，于其设有组装口 312的外侧面设有多个装配孔316，以及可进一步于该进气接口 313处及该出气接口 314处，分别设有一相对凸出其外侧面的管接头317、318，使整个流量控制阀30的外观造型更为简谐，有助于防止灰尘附着堆积。
[0049]如图3及图4所示，本实用新型的流量控制阀于具体实施时，所述推杆34相对伸出该阀本体31的尾端可进一步设有一螺牙区段342，另于该螺牙区段342处螺设有一帽盖36，可透过转动帽盖36的方式，快速微调推杆34伸入阀本体31的程度。当然，亦可配合实际应用时的气体源头24压力，配合客制化的出气接口 314孔径设计及组装口 312的孔径设计(如图7所示)，达到可产生客户指定气体流量的控制功能。
[0050]当然，本实用新型的流量控制阀在上揭基本形态下，整体流量控制阀30以如图3及图4所示，于该轴座32与该推杆34之间衬设有至少一气密垫圈35 ;该推杆34相对伸出该阀本体31的尾端设有一螺牙区段342，另于该螺牙区段342处螺设有一帽盖36 ;以及，该阀本体31于其设有组装口 312的外侧面设有多个装配孔316，于该进气接口 313处及该出气接口 314处，分别设有一相对凸出其外侧面的管接头317、318的结构型态呈现为佳。
[0051]与传统习用结构相较，本实用新型所揭露的流量控制阀，不需要另外加装其他控制组件，即可受应用设备端的操作部件推触而产生气体是否得以进入应用设备的流量控制效果，不但整体流量控制阀的组成架构得以大幅简化，尤适合应用于如光罩储存设备等需要维持在超洁净环境质量的装置或设备，以相对较为积极、可靠的手段防止所应用的装置或设备遭受污染。
[0052]本实用新型的技术内容及技术特点已揭示如上，然而熟悉本项技术的人士仍可能基于本实用新型的揭示而作各种不背离本案实用新型精神的替换及修饰。因此，本实用新型的保护范围应不限于实施例所揭示者，而应包括各种不背离本实用新型的替换及修饰，并为以下的申请专利范围所涵盖。
【主权项】
1.一种流量控制阀，其特征在于，包括: 一阀本体，为内部形成一容置室的块状结构体，该容置室与该阀本体一外侧面相通形成一组装口，该阀本体的外侧面另设有一与该容置室相通的进气接口、一与该容置室相通的出气接口； 一轴座，固设于该阀本体的组装口处，该轴座设有一与该容置室相通的轴孔； 一导流体，固设于该阀本体的容置室内部将该出气接口遮蔽的位置，该导流体设有一与该轴孔相对应的第一导气孔，以及一连接该第一导气孔与该出气接口之间的第二导气孔； 一推杆，以可与该轴座相对轴向位移的型态穿设于该轴座的轴孔及该导流体的第一导气孔处，该推杆供于该导流体往复轴向的区段外径小于该第一导气孔的孔径，该推杆相对伸出该导流体的尾端且设有一可供将第一导气孔遮蔽的塞件。
2.如权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于:该阀本体于其设有组装口的外侧面设有多个装配孔。
3.如权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于:该推杆相对伸出该阀本体的尾端设有一螺牙区段，另于该螺牙区段处螺设有一帽盖。
4.如权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于:该流量控制阀于该轴座与该推杆之间衬设有至少一气密垫圈。
5.如权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于:该阀本体于该组装口的内圈设有内螺牙，该轴座的外围设有供与该组装口的内螺牙相螺合的外螺牙。
6.如权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于:该阀本体于该进气接口处及该出气接口处，分别设有一相对凸出其外侧面的管接头。
7.如权利要求1所述的流量控制阀，其特征在于:该流量控制阀于该轴座与该推杆之间衬设有至少一气密垫圈；该推杆相对伸出该阀本体的尾端设有一螺牙区段，另于该螺牙区段处螺设有一帽盖；以及，该阀本体于其设有组装口的外侧面设有多个装配孔，于该进气接口处及该出气接口处，分别设有一相对凸出其外侧面的管接头。
【专利摘要】本实用新型的流量控制阀，于一阀本体内部形成一容置室，于阀本体的外侧面另设有与容置室相通的一进气接口及一出气接口，另有一轴座固设于容置室的组装口处，于轴座处穿设有一推杆，且于容置室内设有一可配合推杆的轴向位移而控制气体通过出气接口与否的导流体。整体流量控制阀不需要另外加装其他控制组件，即可受应用设备端的操作部件推触而产生气体是否得以进入应用设备的流量控制效果，能够以相对更为积极、可靠的手段降低污染风险。
【IPC分类】F16K1-00, F16K1-36, F16K27-02, F16K1-32
【公开号】CN204610848
【申请号】CN201520134534
【发明人】王志中
【申请人】铼恩帕斯科技股份有限公司
【公开日】2015年9月2日
【申请日】2015年3月10日