一种用于高性能钐钴永磁材料烧结的真空炉的制作方法

一种用于高性能钐钴永磁材料烧结的真空炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空炉技术领域，特别是涉及一种保护气氛下也能保证较高均温性要求的电阻加热式真空炉。
【背景技术】
[0002]目前，随着国内高性能钐钴永磁材料烧结工艺的要求越来越严格，在抽真空后充入特定保护气氛下对于炉内的温度均匀性要求越来越高。而国内现有的石墨电阻加热式真空炉多采用的石墨管式加热器，加热控制分区简单(单区控温，或前、中、后分区加热等)，无法满足在保护气氛下保证较高的温度均匀性要求。

【发明内容】

[0003]本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术存在的缺陷，提供一种能够实现一种保护气氛下也能保证较高均温性要求的电阻加热式真空炉设备。
[0004]本实用新型采用的技术方案是一种用于高性能钐钴永磁材料烧结的真空炉，包括炉壳、加热室、风冷换热系统、真空系统、水冷系统、充放气系统、电气控制系统及加热电源。所述的加热室在炉壳内，包括中上区加热器，引入电极组件，中下区加热器，前区加热器，后区加热器，前屏，后屏，保温层。
[0005]所述的加热室采用前、中上、中下、后分区控温方式，更有利于在保护气氛下的温度控制。
[0006]所述的中上区加热器、中下区加热器、前区加热器、后区加热器均为板式石墨加热器，增大了发热体的有效热辐射面积，从而容易达到较高的温度均匀性。
[0007]所述的前屏可整体移动、后屏设有移动风门，加热时关闭前屏和后屏移动风门，增加了加热室的气密性，减少了加热室内部气体与加热室外部气体的对流所引起的热量流失，保证了在保护气氛下的温度均匀性。
[0008]本实用新型与现有技术相比有益效果是:加热室采用前、中上、中下、后分区控温方式，加热器为板式石墨加热器，保证了较高的温度均匀性；加热室前屏可整体移动、后屏设有移动风门，加热时关闭前屏和后屏移动风门，保证在保护气氛下也能达到较高的温度均匀性。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意俯视图；
[0010]图2为本实用新型中炉壳及加热室的主视图；
[0011]图3为本实用新型中炉壳及加热室的左视图。
[0012]图中:1、炉壳，2、加热室，3、风冷换热系统，4、真空系统，5、水冷系统，6、充放气系统，8、电气控制系统，9、加热电源，10、中上区加热器，11、引入电极组件，12、中下区加热器，13、前区加热器，14、后区加热器，15、前屏，16、移动风门，17、保温层，7、后屏。
【具体实施方式】
[0013]下面进一步结合附图对本实用新型作进一步说明；
[0014]本实用新型是一种单室电阻加热真空炉，包括炉壳1，加热室2，风冷换热系统3，真空系统4，水冷系统5，充放气系统6，电气控制系统8，加热电源9。
[0015]所述加热室2和风冷换热系统3装在炉壳I内部；真空系统4连接在炉壳I 一侧，为真空室抽真空用；水冷系统5摆放在炉壳I后面，为真空炉各部分提供冷却用冷却水；充放气系统6连接在炉壳I侧部；真空系统4通过管路与炉壳I相连；电气控制系统8和加热电源9摆放在炉壳I一侧。
[0016]加热室2包括中上区加热器10、引入电极组件11，中下区加热器12，前区加热器13，后区加热器14，前屏15，后屏7，加热室保温层17，对工件进行升温加热处理。
[0017]所述的中上区加热器10、中下区加热器12、前区加热器13、后区加热器14均为板式石墨加热器。
[0018]所述的前屏15可整体移动、后屏7设有移动风门16，加热时关闭前屏15和移动风门16。
[0019]本实用新型的工作过程:水冷系统5为真空炉各部分提供冷却用水；前屏15和移动风门16保持关闭状态；真空系统4对真空炉进行抽真空，达到可加热压力后，加热开始；加热室2内中上区加热器10、中下区加热器12、前区加热器13和后区加热器14同时对工件加热。由于温区分为了 4区，分别是前区、中上区、中下区、后区，更易于保证较高的温度均匀性要求，空炉1000°C保温，温度均匀性可达到±1°C。也可在加热过程中，对加热室2内充入保护性气体(队或Ar气)，分别在炉内压力达到30000Pa、50000 Pa,80000 Pa时，空炉10000°C保温，使用9点热电偶测量，炉内温度均匀性依然能够达到±1°C。
[0020]在完成工件热处理工艺后，关闭加热；炉内通过充放气系统6充入冷却用气体(N2或Ar气)，打开前屏15和移动风门16，打开风冷换热系统3，进行强制风冷，加快工件冷却速度，提高生产效率。在炉内温度达到出炉温度后，关闭风冷换热系统3，通过充放气系统6向炉内排放大气，使炉内、外压力平衡后进行出料操作。
【主权项】
1.一种用于高性能钐钴永磁材料烧结的真空炉，包括炉壳，加热室，风冷换热系统，真空系统，水冷系统，充放气系统，电气控制系统，加热电源，其特征在于，所述的加热室在炉壳内，包括中上区加热器，引入电极组件，中下区加热器，前区加热器，后区加热器，前屏，后屏，保温层。
2.根据权利要求1所述的一种用于高性能钐钴永磁材料烧结的真空炉，其特征在于:所述的加热室采用前、中上、中下、后分区控温方式。
3.根据权利要求1所述的一种用于高性能钐钴永磁材料烧结的真空炉，其特征在于:所述的中上区加热器、中下区加热器、前区加热器、后区加热器均为板式石墨加热器。
4.根据权利要求1所述的一种用于高性能钐钴永磁材料烧结的真空炉，其特征在于:所述的前屏可整体移动，所述后屏设有移动风门，加热时关闭前屏及后屏的移动风门。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于高性能钐钴永磁材料烧结的真空炉，涉及真空炉技术领域。本实用新型包括炉壳、加热室、风冷换热系统、真空系统、水冷系统、充放气系统、电气控制系统及加热电源。该真空炉的加热室采用前、中上、中下、后分区控温方式，加热器为板式石墨加热器，保证了较高的温度均匀性。加热室前屏可整体移动、后屏设有移动风门，加热时关闭前屏和移动风门，保证在保护气氛下也能达到较高的温度均匀性。
【IPC分类】F27B5-14, F27B5-05
【公开号】CN204612451
【申请号】CN201520204992
【发明人】刘扬, 段永利
【申请人】爱发科中北真空（沈阳）有限公司
【公开日】2015年9月2日
【申请日】2015年4月8日