一种测试反应箱电极头导电性的装置的制造方法

一种测试反应箱电极头导电性的装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型具体涉及一种测试反应箱电极头导电性的装置。
【背景技术】
[0002]在硅基薄膜太阳能生产过程中，TCO玻璃装入反应箱进行等离子沉积。反应箱通过其自身的电极头与高压射频装置连接以满足生产需要，电极头在使用过程中表面会氧化生锈从而改变其导电性最终影响到产品质量。目前检测方法为拆掉电极头表面的锁座，目视检查完毕后再安装锁座，由于电极头的温度很高，需要等电极头降温后才能够将锁座拆下，拆装锁座的过程费时费力，还容易伤及设备，存在使用不便等缺陷。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种测试反应箱电极头导电性的装置，以解决反应箱电极头因锁座的遮挡无法直观检测，由于电极头温度高，其检测过程存在步骤繁琐消耗时间长且易损伤设备的问题。
[0004]本实用新型为解决上述技术问题采取的技术方案是:
[0005]一种测试反应箱电极头导电性的装置，它包括绝缘夹体、至少一个检测器和两个夹持壳体，所述绝缘夹体包括两个分夹体和固定轴，所述两个分夹体通过固定轴相铰接，每个分夹体上固定连接有一个夹持壳体，每个分夹体内加工有空心腔，每个夹持壳体为双层壳体，夹持壳体包括外壁和内壁，外壁和内壁之间形成安置室，每个分夹体的空心腔与其对应的夹持壳体的安置室相连通，当检测器的个数为一个时，检测器位于一个分夹体的空心腔和其对应的夹持壳体安置室之间，当检测器的个数为多个时，每个分夹体的空心腔和其对应的夹持壳体安置室之间至少设置有一个检测器；
[0006]检测器包括供电电池、发光二极管、固定探针、移动探针、拉杆和两条滑轨，供电电池、发光二极管、固定探针、移动探针、拉杆和两条滑轨之间电连接，夹持壳体的内壁上加工有探针放置通孔和导轨安置通孔，固定探针设置在探针放置通孔内，两条滑轨位于安置室内且安装在导轨安置通孔内，移动探针滑动连接在两条滑轨之间，拉杆的一端位于夹持壳体的安置室内且固定连接在移动探针上，拉杆的另一端位于夹持壳体外，所述供电电池和发光二极管位于空心腔内。
[0007]本实用新型与现有技术相比的有益效果:
[0008]1、本实用新型采用电极头表面导电性电阻为零原理而研发，其结构设计科学合理，通过本实用新型可使反应箱电极头的检测工作无需进行拆除锁座的工作即可检测电极头的导电性，操作安全且方便。
[0009]2、操作者通过使用绝缘夹体即可控制两个夹持壳体夹持住电极头，再利用检测器对电极头的表面进行检测，本实用新型可在检测电极头上选取不同位置进行检测，使用灵活，可全面检测电极头各个位置。
[0010]3、本实用新型的使用对电极头及其相关设备没有损伤，安全可靠，长期使用稳定性好，本实用新型不受电极头自身温度影响，任何温度下均能够对电极头进行检测。
[0011]4、本实用新型有效缩短了电极头的检测时间，将检测电极头的工作效率提升了60%。
[0012]5、本实用新型制造成本低廉，仅15元左右。
【附图说明】
[0013]图1是本实用新型的主视结构示意图(图中有两个检测器)，
[0014]图2是移动探针7、拉杆8、两条滑轨9在夹持壳体3的内壁3_2上的连接关系示意图，
[0015]图3是本实用新型检测电极头12的电路图，
[0016]图4是夹持壳体3的外壁3-1的立体结构示意图，
[0017]图5是电极头12和锁座13之间的连接关系示意图。
【具体实施方式】
[0018]【具体实施方式】一:结合图1、图2、图3、图4和图5说明本实施方式，本实施方式包括绝缘夹体1、至少一个检测器和两个夹持壳体3，所述绝缘夹体I包括两个分夹体1-1和固定轴1-2，所述两个分夹体1-1通过固定轴1-2相铰接，每个分夹体1-1上固定连接有一个夹持壳体3，每个分夹体1-1内加工有空心腔，每个夹持壳体3为双层壳体，夹持壳体3包括外壁3-1和内壁3-2，外壁3-1和内壁3-2之间形成安置室，每个分夹体1-1的空心腔与其对应的夹持壳体3的安置室相连通，当检测器的个数为一个时，检测器位于一个分夹体1-1的空心腔和其对应的夹持壳体3安置室之间，当检测器的个数为多个时，每个分夹体1-1的空心腔和其对应的夹持壳体3安置室之间至少设置有一个检测器；
[0019]检测器包括供电电池4、发光二极管5、固定探针6、移动探针7、拉杆8和两条滑轨9，供电电池4、发光二极管5、固定探针6、移动探针7、拉杆8和两条滑轨9之间电连接，夹持壳体3的内壁3-2上加工有探针放置通孔和导轨安置通孔，固定探针6设置在探针放置通孔内，两条滑轨9位于安置室内且安装在导轨安置通孔内，移动探针7滑动连接在两条滑轨9之间，拉杆8的一端位于夹持壳体3的安置室内且固定连接在移动探针7上，拉杆8的另一端位于夹持壳体3外，所述供电电池4和发光二极管5位于空心腔内。
[0020]本实施方式中两个夹持壳体3的设置是为了夹持电极头，电极头12为圆柱体形状，锁座13罩在电极头12上，本实用新型就是穿过电极头12和锁座13的缝隙夹持住电极头12进行电极头12导电性的检测工作。本实施方式中固定探针6、移动探针7和两条滑轨9均为导电金属制成，拉杆8的外表面不导电。本实施方式中夹持壳体3的内壁3-2上加工有探针放置通孔和导轨安置通孔是为了放置固定探针6和两条滑轨9，如此设置是为了固定探针6和移动探针7能够贴紧电极头12的表面，本实用新型中固定探针6和移动探针7必须与电极头12紧密接触才能够实现检测工作，拉动拉杆8使可移动探针7划过电极头12外表面。通过发光二极管5反应出移动探针7划过电极头12外表面部分的导电性能，转动绝缘夹体I可测试电极头12表面更多的点。至少一个检测器的数量根据具体工作环境和条件来具体设定。
[0021]【具体实施方式】二:结合图1、图2和图4说明本实施方式，本实施方式中夹持壳体3为半圆形壳体。半圆形壳体可使夹持壳体3更加有效地贴紧在电极头12上，有效实现电极头12的检测工作。其它组成及连接关系与【具体实施方式】一相同。
[0022]【具体实施方式】三:结合图1说明本实施方式，本实施方式中所述探针放置通孔为圆形通孔。如此设置的探针放置通孔更加有利于固定探针的放置。其它组成及连接关系与【具体实施方式】一或二相同。
[0023]【具体实施方式】四:结合图1说明本实施方式，本实施方式中所述导轨安置通孔为矩形通孔。如此设置的导轨安置通孔更加有利于移动探针的放置。其它组成及连接关系与【具体实施方式】三相同。
[0024]【具体实施方式】五:结合图1和图2说明本实施方式，本实施方式中它还包括拉杆用绝缘套10，所述拉杆8的另一端套装有拉杆用绝缘套10。拉杆用绝缘套10的设置是为了使拉杆8绝缘不导电，提高本实用新型使用时的安全性。其它组成及连接关系与【具体实施方式】四相同。
[0025]【具体实施方式】六:结合图1和图2说明本实施方式，本实施方式中它还包括导线，所述供电电池4和发光二极管5之间均通过导线连接。固定探针6和移动探针7也分别通过导线与供电电池4和发光二极管5串联。其它组成及连接关系与【具体实施方式】五相同。
[0026]本实用新型的工作过程:
[0027]使用时手握住绝缘夹体I使两个夹持壳体3分开并深入锁座13内夹住电极头12，此时固定探针6和移动探针7均贴紧电极头12表面，拉动拉杆8使移动探针7在电极头12表面上下移动，同时观察发光二极管5。当发光二极管5没有亮时，表明移动探针7滑过电极头12上的位置生锈或氧化，当发光二极管5正常发亮时，表明移动探针7滑过电极头12上的位置导电性正常。然后旋转绝缘夹体I测量电极头12其他位置的导电性能，最终判定电极头12的总体导电性能即可。
【主权项】
1.一种测试反应箱电极头导电性的装置，其特征在于:它包括绝缘夹体(I)、至少一个检测器和两个夹持壳体(3)，所述绝缘夹体(I)包括两个分夹体(1-1)和固定轴(1-2)，所述两个分夹体(1-1)通过固定轴(1-2)相铰接，每个分夹体(1-1)上固定连接有一个夹持壳体(3)，每个分夹体(1-1)内加工有空心腔，每个夹持壳体(3)为双层壳体，夹持壳体(3)包括外壁(3-1)和内壁(3-2)，外壁(3-1)和内壁(3-2)之间形成安置室，每个分夹体(1_1)的空心腔与其对应的夹持壳体(3)的安置室相连通，当检测器的个数为一个时，检测器位于一个分夹体(1-1)的空心腔和其对应的夹持壳体(3)安置室之间，当检测器的个数为多个时，每个分夹体(1-1)的空心腔和其对应的夹持壳体(3)安置室之间至少设置有一个检测器； 检测器包括供电电池(4)、发光二极管(5)、固定探针￠)、移动探针(7)、拉杆(8)和两条滑轨(9)，供电电池(4)、发光二极管(5)、固定探针(6)、移动探针(7)、拉杆(8)和两条滑轨(9)之间电连接，夹持壳体(3)的内壁(3-2)上加工有探针放置通孔和导轨安置通孔，固定探针(6)设置在探针放置通孔内，两条滑轨(9)位于安置室内且安装在导轨安置通孔内，移动探针(7)滑动连接在两条滑轨(9)之间，拉杆(8)的一端位于夹持壳体(3)的安置室内且固定连接在移动探针(7)上，拉杆(8)的另一端位于夹持壳体(3)外，所述供电电池(4)和发光二极管(5)位于空心腔内。
2.根据权利要求1所述的一种测试反应箱电极头导电性的装置，其特征在于:夹持壳体⑶为半圆形壳体。
3.根据权利要求1或2所述的一种测试反应箱电极头导电性的装置，其特征在于:所述探针放置通孔为圆形通孔。
4.根据权利要求3所述的一种测试反应箱电极头导电性的装置，其特征在于:所述导轨安置通孔为矩形通孔。
5.根据权利要求4所述的一种测试反应箱电极头导电性的装置，其特征在于:它还包括拉杆用绝缘套(10)，所述拉杆(8)的另一端套装有拉杆用绝缘套(10)。
6.根据权利要求5所述的一种测试反应箱电极头导电性的装置，其特征在于:它还包括导线，所述供电电池(4)和发光二极管(5)之间均通过导线连接。
【专利摘要】一种测试反应箱电极头导电性的装置，它涉及一种导电性的装置。在硅基薄膜太阳能生产过程中，反应箱内的电极头在使用过程中表面会氧化生锈从而改变其导电性影响到产品质量。但反应箱电极头因锁座的遮挡无法直观检测，由于电极头温度高，其检测过程存在步骤繁琐消耗时间长且易损伤设备的问题。本实用新型中每个分夹体上有一个夹持壳体，每个分夹体内有空心腔，每个分夹体的空心腔与其对应的夹持壳体的安置室相连通，当检测器个数为一个时，检测器位于一个分夹体的空心腔和其对应的夹持壳体安置室间，当检测器个数为多个时，每个分夹体的空心腔和其对应的夹持壳体安置室间至少有一个检测器。本实用新型用于检测反应箱电极头。
【IPC分类】G01R31-00
【公开号】CN204613336
【申请号】CN201520368012
【发明人】张志海, 付东东, 曹瑞丰, 李志刚
【申请人】黑龙江汉能薄膜太阳能有限公司
【公开日】2015年9月2日
【申请日】2015年6月1日