曝光机改良结构的制作方法

曝光机改良结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型是涉及一种曝光机，尤其涉及一种曝光机改良结构。
【背景技术】
[0002]曝光机在半导体的生产制程中应用领域相当广泛，例如:平面显示器、内存或芯片等，皆需利用曝光的方式将光罩上的布线转录至基材上，且近年来由于电子产品朝向轻薄化以及多功能化发展，产品内部的组件密集度大幅增加，因此各内部组件必须更进一步微型化，以符合产品的需求，而随着组件的微型化，曝光制程的质量更成为影响产品良率的关键因素之一。
[0003]一般进行曝光制程时，先在被加工物表面上涂上一层光阻，再借由光源的照射将原稿上的电路布线图案映像至被加工物表面的光阻层上，使其产生变化后从表面移除，以形成对应于原稿的线路布局，而一般此制程乃使待加工物停滞在曝光室内，且光源组必须具有大量灯泡，以形成足够的光源强度。
[0004]有时为了增加制程上的速度，需提高曝光机的光源强度，这样连带的也需提高功率装置的最大输出功率。然而，曝光机的功率装置的最大输出功率于出场时往往已被设定为一定值，使用者无法借由设定的方式加以改变。为了获取更大的输出功率，使用者只能购买新的曝光机，这无疑增加了使用者的成本。
[0005]因此，如何以较低成本的方式增加曝光机的最大输出功率，从而提高曝光机的光源强度，是值得本领域的技术人员去详加思量。

【发明内容】

[0006]为了解决上述的问题，本实用新型其中一目的在于提供一种曝光机改良结构。
[0007]基于上述目的与其他目的，本实用新型提供一种曝光机改良结构，其包括一控制主机、一微处理器、一演算装置、一功率装置、与一光源装置。其中，微处理器是与控制主机电性连接，而演算装置则是与控制主机及微处理器电性连接。另外，功率装置包括一第一功率装置与一第二功率装置，第一功率装置是直接电性连接到控制主机，而第二功率装置是电性连接到演算装置。光源装置是电性连接到第一功率装置与第二功率装置，该第一功率装置与该第二功率装置输出电源给光源装置。其中，控制主机会将一与光源装置输出功率讯息相关的信号输出到第一功率装置与演算装置，借由演算装置能使第二功率装置的输出功率与第一功率装置的输出功率相连动。
[0008]在上述的曝光机改良结构中，第二功率装置的输出功率与第一功率装置的输出功率是成一比例关系。此外，该比例关系例如为1: 9。
[0009]在上述的曝光机改良结构中，更包括一输入设备，该输入设备电性连接于控制主机与演算装置间，该输入设备是用于转换电压。此外，曝光机改良结构中更包括一启动装置，该启动装置电性连接于输入设备与微处理器间，当启动装置接收输入设备的一输出信号时启动该微处理器。
[0010]在上述的曝光机改良结构中，更包括一输出装置，该输出装置电性连接于演算装置及功率装置间，该输出装置是用于放大信号。
[0011]在上述的曝光机改良结构中，更包括一感测装置，该感测装置电性连接于第二功率装置与微处理器间，该感测装置感测到第二功率装置故障时，微处理器发出一第一信号至演算装置以停止该演算装置的运作，同时微处理器还会发出一第二信号至控制主机以停止该控制主机的运作。
[0012]在上述的曝光机改良结构中，更包括一信号放大装置，其中信号放大装置电性连接于控制主机与微处理器间，该信号放大装置是用于放大第二信号。
[0013]在上述的曝光机改良结构中，控制主机更包括一控制界面，该控制界面是供设定光源装置的功率。
[0014]在本实用新型的曝光机改良结构中，纵使第一功率装置的最大输出功率被曝光机原制造厂所限制，借由第二功率装置与演算装置，也能使光源装置的光照强度(亦即:输出功率)变大，从而增加半导体制程上的制造速度。
[0015]为让本实用新型的上述目的、特征和优点更能明显易懂，下文将以实施例并配合所附图式，作详细说明如下。需注意的是，所附图式中的各组件仅是示意，并未按照各组件的实际比例进行绘示。
【附图说明】
[0016]图1所绘示为本实用新型的曝光机改良结构的方块图。
[0017]图2所绘示为本实用新型的曝光机改良结构的运作流程图。
【具体实施方式】
[0018]请参照图1，图1所绘示为本实用新型的曝光机改良结构的方块图。在本实施例中，曝光机改良结构100包括一控制主机110、一微处理器120、一演算装置130、一功率装置140、与一光源装置150。其中，控制主机110是电性连接到微处理器120，而演算装置130则是与微处理器120及控制主机110电性连接。在本实施例中，控制主机110更包括一控制界面(未绘示)，该控制界面例如是触控面板或者是屏幕与键盘的组合，该控制界面是供操作者设定光源装置150的功率。
[0019]于演算装置130与控制主机110间，还设置有一输入设备160，此输入设备160是用于转换电压，主要是将从控制主机110所输入的较高压的信号转变为较低压的信号，以供演算装置130所用，输入到演算装置130的信号是与光源装置输出功率讯息相关的信号。另外，在本实施例中，曝光机改良结构100还包括一启动装置170，此启动装置170电性连接于输入设备160与微处理器120间，当启动装置170接收到输入设备160之一输出信号时启动微处理器120，接着微处理器120再传递一信号至演算装置130，使演算装置130启动。演算装置130主要是由多个逻辑IC所组成，接受从输入设备160所输出的信号后，演算装置130会进行演算并输出一演算后信号至一输出装置180。在本实施例中，输出装置180是将演算装置130所输出的演算后信号放大后输出至功率装置140。
[0020]在本实施例中，功率装置140包括一第一功率装置142与第二功率装置144，其中第一功率装置142是直接电性连接到控制主机110，此控制主机110会将一与光源装置输出功率讯息相关的信号输出到第一功率装置142，而使第一功率装置142启动并输出功率至光源装置150。另外，第二功率装置144是借由输出装置180电性连接到演算装置130，第二功率装置144再接收到演算装置1 30所输出的信号后会启动并输出功率至光源装置150。在本实施例中，第一功率装置142是由二个电源供应器所组成，而第二功率装置144则为一电源供应器。此外，第一功率装置142为曝光机原制造厂所提供的装置，而第二功率装置144则是为了增加光源装置150的光照强度而增设的。
[0021]在本实施例中，控制主机110会将一与光源装置输出功率讯息相关的信号输出到第一功率装置142与演算装置130，借由演算装置130能使第二功率装置144的输出功率与第一功率装置142的输出功率相连动，例如让第二功率装置144的输出功率与第一功率装置142的输出功率是成一比例关系，此比例关系例如为1: 9。详细的说，当第一功率装置142的输出功率3150瓦时，第二功率装置144的输出功率为350瓦，这样一来光源装置150所接受的功率则为3500瓦。
[0022]为了更清楚说明本实用新型的曝光机改良结构的运作方式，兹以图2所示的流程图说明如下。首先，如步骤S110，控制主机110将与光源装置输出功率讯息相关的信号输出到第一功率装置142与输入设备160。再来，请参照步骤S120，输入设备160将控制主机110所输入的较高压的信号转变为较低压的信号后，再将此信号输出至演算装置130。之后，请参照步骤S130，输入设备160将讯号输出至演算装置130的同时，输入设备160也将讯号输入到启动装置170，接着启动装置170启动微处理器120。然后，请参照步骤S140，微处理器120使演算装置130启动。接着，请参照步骤S150，演算装置130接受从输入设备160所输出的信号后，演算装置130会进行演算并输出一演算后信号至一输出装置180。再来，请参照步骤S160，输出装置180将演算后信号放大并将其输出到第二功率装置142。最后，请参照步骤S170，功率装置140会启动光源装置150，以使光源装置150产生光源。
[0023]由上述的实施例可知，纵使第一功率装置142的最大输出功率被曝光机原制造厂所限制，借由第二功率装置144与演算装置130，也能使光源装置150的光照强度(亦即:输出功率)变大，从而增加半导体制程上的制造速度。
[0024]以下，请复参图1，此曝光机改良结构100还包括一感测装置190，该感测装置190电性连接于第二功率装置144与微处理器120间，此感测装置190侦测到第二功率装置144发生故障时会发出一信号至微处理器120，之后此微处理器120会发出一第一信号至演算装置130以停止演算装置130的运作，同时微处理器120发出一第二信号至控制主机110以停止控制主机110的运作。在本实施例中，感测装置190可为电压传感器，当感测到第二功率装置144不足时，微处理器120便会判断第二功率装置144故障。此外，感测装置190也可以是由多个传感器所构成。另外，此曝光机改良结构100还包括一信号放大装置195，此信号放大装置195是用于放大微处理器120所发出的第二信号。
[0025]上述实施例仅是为了方便说明而举例，虽遭所属技术领域的技术人员任意进行修改，均不会脱离如权利要求书中所欲保护的范围。
【主权项】
1.一种曝光机改良结构，其特征在于，包括: 一控制主机； 一微处理器，与该控制主机电性连接； 一演算装置，与该控制主机及该微处理器电性连接； 一功率装置，包括一第一功率装置与一第二功率装置，该第一功率装置是直接电性连接到该控制主机，该第二功率装置是电性连接到该演算装置； 一光源装置，电性连接到该第一功率装置与该第二功率装置，该第一功率装置与该第二功率装置输出电源给该光源装置； 其中，该控制主机会将一与光源装置输出功率讯息相关的信号输出到该第一功率装置与该演算装置，借由该演算装置能使该第二功率装置的输出功率与该第一功率装置的输出功率相连动。
2.如权利要求1所述的曝光机改良结构，其中该第二功率装置的输出功率与该第一功率装置的输出功率是成一比例关系。
3.如权利要求2所述的曝光机改良结构，其中该比例关系为1: 9。
4.如权利要求1至权利要求3任一项所述的曝光机改良结构，更包括一输入设备，该输入设备电性连接于该控制主机与该演算装置间，该输入设备是用于转换电压。
5.如权利要求4所述的曝光机改良结构，更包括一启动装置，该启动装置电性连接于该输入设备与该微处理器间，当该启动装置接收该输入设备的一输出信号时启动该微处理器。
6.如权利要求1至权利要求3任一项所述的曝光机改良结构，更包括一输出装置，该输出装置电性连接于该演算装置及该功率装置间，该输出装置是用于放大信号。
7.如权利要求1至权利要求3任一项所述的曝光机改良结构，更包括一感测装置，该感测装置电性连接于该第二功率装置与该微处理器间，该感测装置感测到该第二功率装置故障时，该微处理器发出一第一信号至该演算装置以停止该演算装置的运作，同时该微处理器发出一第二信号至该控制主机以停止该控制主机的运作。
8.如权利要求7所述的曝光机改良结构，更包括一信号放大装置，其中该信号放大装置电性连接于该控制主机与该微处理器间，该信号放大装置是用于放大该第二信号。
【专利摘要】一种曝光机改良结构，其包括一控制主机、一微处理器、一演算装置、一功率装置、与一光源装置。其中，微处理器是与控制主机电性连接，而演算装置则是与控制主机及微处理器电性连接。另外，功率装置包括一第一功率装置与一第二功率装置，第一功率装置是直接电性连接到控制主机，而第二功率装置是电性连接到演算装置。光源装置是电性连接到第一功率装置与第二功率装置，该第一功率装置与该第二功率装置输出电源给光源装置。其中，控制主机会将一与光源装置输出功率讯息相关的信号输出到第一功率装置与演算装置，借由演算装置能使第二功率装置之输出功率与第一功率装置的输出功率相连动。
【IPC分类】G03F7-20
【公开号】CN204613593
【申请号】CN201520271952
【发明人】陈铭辉
【申请人】陈铭辉
【公开日】2015年9月2日
【申请日】2015年4月30日