滤光器、光学模块及电子设备的制造方法

滤光器、光学模块及电子设备的制造方法
【专利说明】滤光器、光学模块及电子设备
[0001]本申请根据于2014年2月28日提交的日本专利申请N0.2014-038179的内容，其全部内容结合于此作为参考。
技术领域
[0002]本发明涉及滤光器、光学模块及电子设备。
【背景技术】
[0003]目前使用一种从入射光中选择指定波长的光并使其通过的滤光器。并且，专利文献I中公开了使指定波长的光通过的滤光器。该滤光器中，对向配置一对基板，在上述基板的对向面上分别设置有反射膜。
[0004]该滤光器选择性地取出与对向的一对反射膜间的间隙对应的波长的光。通过设置于基板间的分隔膜的厚度设定反射膜间的间隙。
[0005]在基板上设置氧化钛的基膜，与该膜重叠而设置反射膜。将反射率良好的银膜用于反射膜。银膜当暴露于空气中时会受到硫化或湿度的影响而劣化。因此，覆盖反射膜而设置保护膜，防止反射膜的劣化。将3叫、1102、21^、0&&、51队丨1203等的无机物质或聚酰亚胺、各种光刻胶等的有机材料用于该保护膜。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本特开平1-300202号公报
[0009]用于反射膜的银或银合金的膜为金属组织的排列易于变位的膜。并且，当在反射膜的表面和里面产生内部应力之差时，出现被称为“小丘(hillock)”或“晶须(whisker)”的突起。由此，反射膜的反射率下降。在专利文献I中，虽然反射膜被基膜和保护膜夹着，但没有采取对于两面的应力差的对策。因此，希望一种能够长期地抑制反射膜的两面中的内部应力之差而导致的突起的出现、能够高精度地使规定的波长的光透过的构造的滤光器。

【发明内容】

[0010]本发明为了解决上述的问题而通过以下的方式或者适用例而实现。
[0011][适用例I]
[0012]本适用例涉及的滤光器的特征在于具备:固定基板；可动部，与所述固定基板对向配置；第一反射膜，设置于所述固定基板；第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同材质、相同膜厚。
[0013]根据本适用例，滤光器具备固定基板和可动部。第一反射膜设置于固定基板，第二反射膜设置于可动部。第一反射膜和第二反射膜对向配置。第一反射膜及第二反射膜反射入射光。在第一反射膜和第二反射膜之间产生光的多重反射，相位配合的光向入射光行进的方向透过并行进。间隔控制部控制第一反射膜和第二反射膜的间隔。由此，滤光器能够控制透过的光的波长。
[0014]夹着反射膜而设置导电膜。通过导电膜，能够防止反射膜的表面受到损伤。因此，能够高品质地制造滤光器。并且，由于导电膜具有导电性，因此，能够抑制在导电膜的表面产生静电。因此，能够高精度地控制第一反射膜和第二反射膜之间的距离。
[0015]第一导电膜和第二导电膜为相同材质、相同膜厚。当不在反射膜的第一面设置导电膜、不在第二面设置导电膜时，反射膜中的第一面和第二面的应力分布为不同的分布。此时，在反射膜中，当在第一面和第二面产生内部应力之差时，出现被称为“小丘”或“晶须”的突起。由此，反射膜的反射率下降。在本适用例中，夹着反射膜的第一导电膜及第二导电膜为相同材质、相同膜厚。因此，由于反射膜中的第一面和第二面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。其结果是，滤光器能够长期地高精度地使规定的波长的光透过。
[0016][适用例2]
[0017]在上述适用例涉及的滤光器中，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同形状。
[0018]根据本适用例，第一导电膜和第二导电膜为相同形状。因此，夹着反射膜的第一导电膜及第二导电膜为相同的应力分布。因此，由于反射膜中的第一面和第二面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。
[0019][适用例3]
[0020]在上述适用例涉及的滤光器中，其特征在于，所述第一导电膜及所述第二导电膜的材质包含IGO。
[0021]根据本适用例，第一导电膜及第二导电膜的材质包含IGO。IGO的光透过性良好，在可视区域具有大致80%以上的透过性。因此，能够高效率地使规定的波长的光通过。
[0022][适用例4]
[0023]在上述适用例涉及的滤光器中，所述第一反射膜和所述第二反射膜被电连接。
[0024]根据本适用例，第一反射膜和第二反射膜被电连接。因此，能够抑制在第一反射膜和第二反射膜之间产生静电。从而，能够高精度地控制第一反射膜和第二反射膜之间的距离。
[0025][适用例5]
[0026]在上述适用例涉及的滤光器中，还具备:第一外部端子，与所述第一反射膜连接；以及第二外部端子，与所述第二反射膜连接。
[0027]根据本适用例，设置有与第一反射膜连接的第一外部端子、和与第二反射膜连接的第二外部端子。因此，通过第一外部端子及第二外部端子，能够检测出第一反射膜和第二反射膜之间的电容。并且，电容与第一反射膜和第二反射膜的距离相关。因此，能够检测出第一反射膜和第二反射膜的距离。
[0028][适用例6]
[0029]本适用例涉及的光学模块的特征在于具备:上述任一方面所述的滤光器；以及收纳部，收纳所述滤光器。
[0030]根据本适用例，滤光器收纳于收纳部，被收纳部保护。因此，在把持光学模块时，能够防止滤光器受到损伤。并且，在滤光器中，抑制了在反射膜上出现突起。从而，光学模块能够使规定的波长的光高效率地通过。
[0031][适用例7]
[0032]本适用例涉及的电子设备的特征在于具备:滤光器、以及控制所述滤光器的控制部，所述滤光器具备:固定基板；可动部，与所述固定基板对向配置；第一反射膜，设置于所述固定基板；第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同材质、相同膜厚。
[0033]根据本适用例，电子设备具备滤光器和控制部，控制部控制滤光器。滤光器具备间隔控制部、第一反射膜及第二反射膜，间隔控制部控制第一反射膜和第二反射膜的间隔。夹着反射膜而设置导电膜。通过导电膜，能够防止反射膜的表面受到损伤。并且，由于导电膜具有导电性，因此，能够抑制在导电膜的表面产生静电。因此，能够高精度地控制第一反射膜和第二反射膜之间的距离。
[0034]夹着反射膜的第一导电膜及第二导电膜为相同材质、相同膜厚。因此，由于反射膜中的第一面和第二面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。从而，使电子设备为具备能够长期地高精度地使规定的波长的光透过的滤光器的电子设备。
[0035][适用例8]
[0036]本适用例涉及的滤光器的特征在于具备:固定基板；可动部，与所述固定基板对向配置；第一反射膜，设置于所述固定基板；第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同的应力分布。
[0037]根据本适用例，滤光器具备固定基板和可动部。第一反射膜设置于固定基板，第二反射膜设置于可动部。第一反射膜和第二反射膜对向配置。第一反射膜及第二反射膜使入射光的一部分反射一部分透过。在第一反射膜和第二反射膜之间产生光的多重反射，相位配合的光向入射光行进的方向透过并行进。间隔控制部控制第一反射膜和第二反射膜的间隔。由此，滤光器能够控制透过的光的波长。
[0038]夹着反射膜而设置导电膜。通过导电膜，能够防止反射膜的表面受到损伤。因此，能够高品质地制造滤光器。并且，由于导电膜具有导电性，因此，能够抑制在导电膜的表面产生静电。因此，能够高精度地控制第一反射膜和第二反射膜之间的距离。
[0039]第一导电膜和第二导电膜为相同的应力分布。因此，由于反射膜中的第一面和第二面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。其结果是，滤光器能够长期地高精度地使规定的波长的光透过。
【附图说明】
[0040]图1涉及第一实施方式，图1的(a)及图1的(b)为示出光学模块的构造的概略立体图。
[0041]图2的(a)为示出光学模块的构造的示意俯视图，图2的(b)及(C)为示出光学模块的构造的示意侧截面图。
[0042]图3的(a)为示出滤光器的构造的示意侧截面图，图3的(b)为示出反射膜的构造的主要部分示意截面图。
[0043]图4的(a)为示出可动基板的构造的示意俯视图，图4的(b)为示出固定基板的构造的示意俯视图。
[0044]图5为控制部的电气控制模块图。
[0045]图6的(a)?(e)为用于说明光学模块的制造方法的示意图。
[0046]图7的(a)?⑷为用于说明光学模块的制造方法的示意图。
[0047]图8的(a)?⑷为用于说明光学模块的制造方法的示意图。
[0048]图9为涉及第二实施方式，图9的(a)为示出可动基板的构造的示意俯视图，图9的(b)为示出固定基板的构造的示意俯视图。
[0049]图10为控制部的电气控制模块图。
[0050]图11涉及第三实施方式，其示出反射膜构造的主要部分示意截面图。
[0051]图12为示出第四实施方式涉及的测色装置的构成的模块图。
[0052]图13为示出第五实施方式涉及的气体检测装置的构成的示意正视图。
[0053]图14为示出气体检测装置的控制系统的构成的模块图。
[0054]图15为示出第六实施方式涉及的食物分析装置的构成的模块图。
[0055]图16为示出第七实施方式涉及的光谱照相机的构成的概略立体图。
【具体实施方式】
[0056]以下，根据附图对于实施方式进行说明。此外，由于使各附图中的各构件在各附图上为能够认知程度的大小，因此，对于各构件改变比例尺而进行图示。
[0057](第一实施方式)
[0058]在本实施方式中，参照附图，对具有特征性构造的光学模块、该光学模块的制造方法进行说明。参照图1?图8，对光学模块进行说明。图1的(a)及图1的(b)为示出光学模块的构造的概略立体图。图1的(a)为从光学模块的第一盖体侧观察到的图，图1的(b)为从光学模块的第二盖体侧观察到的图。如图1的(a)所示，光学模块I为大致长方体的形状。以光学模块I的图中下方向为Z方向，以与Z方向正交的两个方向为X方向及Y方向。X方向、Y方向、Z方向分别为沿光学模块I的边的方向，其为正交的方向。
[0059]光学模块I具备作为有底角筒状的收纳部的框体2，在框体2的-Z方向侧形成有圆形的第一孔2a。并且，以阻塞第一孔2a的方式设置有作为收纳部的第一盖体3。框体2和第一盖体3通过第一低熔点玻璃4而接合。在框体2，在-Z方向侧的面上，设置有第一端子5、第二端子6、第三端子7、第四端子8。在框体2的Z方向侧设置有作为收纳部的第二盖体9。框体2和第二盖体9通过第二低熔点玻璃10接合。
[0060]如图1的(b)所示，在框体2的Z方向形成有四边形的第二孔2b。第二孔2b为比第一孔2a大的孔。并且，以阻塞第二孔2b的方式设置有第二盖体9。被框体2、第一盖体3及第二盖体9包围的内部空间11为密闭的空间，滤光器12设置于内部空间11。换言之，框体2具有内部空间11，将滤光器12收纳于内部空间11。第二盖体9与框体2连接而密闭内部空间11。通过框体2、第一盖体3及第二盖体9等形成收纳部，滤光器12收纳于收纳部的内部。
[0061]光学模块I的尺寸没有特别的限定，在本实施方式中，例如，从第一盖体3至第二盖体9的厚度为约3mm。从Z方向观察框体2的大小为一边约15mm的四边形。第二盖体9的厚度约为1_。从Z方向观察滤光器12的大小为一边约Ilmm?12_的四边形。滤光器12的厚度为约0.7mm? 1.5_。
[0062]图2的(a)为示出光学模块的构造的示意俯视图，其为从Z方向侧观察光学模块I的图。图2的(a)为除去第二盖体9的图。图2的(b)为示出光学模块的构造的示意侧截面图，其为从沿图2的(a)的A-A线的截面观察的图。如图2的(a)及图2的(b)所示，滤光器12设置于框体2的底面2c，滤光器12为可动基板13和固定基板14重叠的构造。
[0063]可动基板13在+X方向侧一端设置有第一端子15、第二端子16、第三端子17、第四端子18。在+X方向侧的底面2c设置有第一端子21、第二端子22、第三端子23、第四端子24。第一端子15通过金线25而与第一端子21连接，第二端子16通过金线25与第二端子22连接。此外，第三端子17通过金线25与第三端子23连接，第四端子18通过金线25与第四端子24连接。
[0064]贯通电极26设置于框体2，第一端子21通过贯通电极26与第一端子5连接。同样地，第二端子22通过贯通电极26与第二端子6连接，第三端子23通过贯通电极26与第三端子7连接。并且，第四端子24通过贯通电极26与第四端子8连接。也就是说，第一端子I5与第一端子5连接，第二端子16与第二端子6连接。并且，第三端子17与第三端子7连接，第四端子18与第四端子8连接。
[0065]第一端子5?第四端子8与控制部27电连接。控制部27经由第一端子5?第四端子8、贯通电极26、第一端子21?第四端子24及金线25，控制第一端子15?第四端子18的电压。
[0066]第一盖体3及第二盖体9通过具有光透过性的硅酸盐玻璃形成。可动基板13及固定基板14的材料中也使用硅酸盐玻璃。硅酸盐玻璃中例如可以使用苏打玻璃、结晶性玻璃、石英玻璃、铅玻璃、钾玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等的各种玻璃、水晶等。因此，作为入射光的光28能够通过第一盖体3、滤光器12、第二盖体9。框体2的材质为与第一盖体3及第二盖体9的线性膨胀系数近似的材质即可，没有特别的限定，在本实施方式中，例如可以使用陶瓷作为框体2的材质。
[0067]图2的(C)示出光学模块的构造的示意侧截面图，其为从沿图2的(a)的B-B线的截面观察的图。如图2的(a)及图2的(c)所示，固定部29设置于固定基板14的-X方向且+Y方向侧的角的附近，通过固定部29，固定基板14通过其上表面固定于第二盖体9。固定部29中使用将添加剂加入硅酸盐玻璃的低熔点玻璃。在本实施方式中，例如，在第二盖体9、可动基板13及固定基板14中使用石英玻璃。
[0068]图3的(a)为示出滤光器的构造的示意侧截面图。图3的(b)为示出反射膜的构造的主要部分示意截面图。图4的(a)为示出可动基板的构造的示意俯视图，图4的(b)为示出固定基板的构造的示意俯视图。如图3所示，在滤光器12中，可动基板13和固定基板14通过接合膜30而接合。作为接合膜30，例如可以使用由以聚有机硅氧烷为主要成分的等离子体聚合膜等构成的膜。在固定基板14的Z方向侧的面上设置有光圈31。
[0069]光圈31例如为Cr等的非透光性构件的膜。光圈31为圆环状，光圈31的内周直径被设定为滤光器12进行光干涉的光28的有效直径。由此，光圈31能够对于入射至光学模块I的光28限定为规定的范围而聚焦。当滤光器12在没有光圈31的情况下也能够得到通过的光28的波长的精度时，也可以省略光圈31。
[0070]如图3及图4的(a)所示，在从Z方向俯视观察时，在可动基板13上设置有包围中央的圆环状的槽13a。将被槽13a包围的圆柱状的部分作为可动部13b。可动部13b与固定基板14对向配置。将位于可动部13b的周围的由于槽13a而变薄的部分作为保持部13c。保持部13c由于厚度变薄而容易变形。由此，可动部13b能够容易地向Z方向移动。可动基板13通过加工厚度形成为例如200 ym?800 μm的玻璃基材而形成。保持部13c的厚度没有特别的限定，在本实施方式中，例如约为30 μ m。
[0071]在可动部13b的+Z方向侧的面上设置有作为第一导电膜的导电膜32。导电膜32的材质为具有光透过性、具有导电性的膜即可，可以使用IGO(铟镓氧化物(Indium-gallium oxide)), ITO (Indium Tin Oxide，铟锡氧化物)，ICO (indium-dopedcerium oxide，掺铟氧化钟)等。在本实施方式中，例如使用IGO作为导电膜32的材质。IGO的光透过性良好，在可视区域具有大概80%以上的透过性。并且，IGO具有10_3ΩΟιι以下的导电性。此外，由于IGO为非晶结构(amorphous structure)，因此，使用草酸类蚀刻液而能够容易地形成规定的形状。如此，IGO成为适于导电膜32的材料。
[0072]在导电膜32的+X方向侧，导电膜配线32a向+X方向延伸。导电膜配线32a为与导电膜32相同的材质，通过与设置导电膜32的工序相同的工序而设置。在可动基板13的+Z方向侧的面上还设置有第一端子15?第四端子18，导电膜配线32a与第三端子17连接。第三端子17的一部分在导电膜配线32a上重叠地设置。
[0073]第一端子15?第四端子18为在金属基层33上层叠有金属上侧层34的构造。将在Cr膜、TiW膜、NiCr膜、Cr膜上层叠了 Ni膜的膜等用于金属基层33。金属基层33为TiW时，使用高氯酸类的蚀刻液，形成金属基层33。此外，在金属基层为Cr、NiCr时，使用硝酸铈类的蚀刻液，形成金属基层33。由此，能够不给导电膜32带来损伤而图案化。例如，在本实施方式中，将Cr膜用于金属基层33。并且，金属上侧层34优选电阻小的金属，例如，在本实施方式中，将Au膜用于金属上侧层34。
[0074]在导电膜32上与导电膜32重叠而设置作为第二反射膜的可动反射膜35。可动反射膜35为从Z方向观察的形状为圆形的膜，其表面为镜面。可动反射膜35使入射的光28的一部分反射一部分透过。可动反射膜35的材质优选反射光28的反射率高的材质，在本实施方式中，例如将银或者银合金用于可动反射膜35的材质。作为银合金例如可以使用AgSmCu (钐银铜合金)、AgC (炭化银)、AgPdCu (银钮铜合金)、AgBiNd (秘银铜合金)、AgGaCu (镓银铜合金)、AgAu (金化银)，AgInSn (银铟锡合金)，AgCu (铜化银)。由于AgSmCu、AgBiNd合金对于硫、卤化合物、钠的耐性高，因此，能够抑制制造工序中的反射率的劣化。在本实施方式中，例如将AgSmCu用于可动反射膜35。
[0075]在可动反射膜35和可动部13b之间设置有导电膜32。导电膜32由与可动反射膜35及可动基板13具有亲和性的材料构成。由于存在导电膜32，从而与将可动反射膜35直接设置于可动部13b上相比，能够贴紧性良好地将可动反射膜35设置于可动部13b上。
[0076]在可动反射膜35上与可动反射膜35重叠而设置作为第二导电膜的保护膜36。保护膜36保护可动反射膜35并维持可动反射膜35的反射率。保护膜36的材质为与导电膜32相同的材质，其为具有导电性的膜。在本实施方式中，例如将IGO用于导电膜32和保护膜36。IGO由于光28的透过率高，因此，能够高效率地使光28透过。此外，IGO为低电阻，能够使静电迅速地流动至第三端子17。
[0077]导电膜32和保护膜36为相同厚度，相同形状。导电膜32和保护膜36的厚度优选5nm?20nm左右。过厚则会使光28衰减，过薄则无法发挥保护的功能。并且，保护膜36及导电膜32夹着可动反射膜35而设置，导电膜32和保护膜36位于对向的位置。当滤光器12的温度变化时，保护膜36、导电膜32及可动反射膜35对应温度而伸缩。并且，在可动反射膜35中的导电膜32侧的面和保护膜36侧面存在内部应力差时，出现被称为“小丘”或“晶须”的突起。由此，可动反射膜35的反射率下降。在本实施方式中，夹着可动反射膜35的保护膜36及导电膜32为相同材质。此外，导电膜32和保护膜36是相同厚度、相同形状。因此，夹着可动反射膜35的保护膜36及导电膜32为相同热膨胀率。从而，在可动反射膜35中的导电膜32侧的面和保护膜36侧面难以存在内部应力差，因此，能够抑制突起的出现。
[0078]保护膜36经由可动反射膜35、导电膜32及导电膜配线32a与第三端子17电连接。在第三端子17中，将Au膜用于金属上侧层34。由此，能够减小流经第三端子17的电流的电阻。其结果是，当在保护膜36中产生静电时，能够迅速地消除静电。
[0079]在可动反射膜35的周围设置有可动电极37，可动电极37圆环状地包围可动反射膜35。可动电极37的圆环状的+X方向侧被断开，在断开处设置导电膜配线32a。可动电极37通过电极配线37a而与第二端子16连接。由于第二端子16与框体2的第二端子6连接，因此，可动电极37与第二端子16连接。
[0080]可动电极37及电极配线37a为ITO膜和Au膜的层叠膜。第二端子16的一部分在电极配线37a上重叠地设置。
[0081]如图3及图4的(b)所示，在从-Z方向俯视观察时，在固定基板14的中央设置以圆柱状向-Z方向突出的反射膜设置部14a。反射膜设置部14a的周围，设置有呈圆环状凹陷的电极设置槽14b。此外，电极设置槽14b向+X方向侧延伸、延伸至固定基板14的外周。从而，在固定基板14中，电极设置槽14b在+X方向侧开口。固定基板14通过加工厚度形成为例如500 μπι?1000 μm的玻璃基材而形成。
[0082]反射膜设置部14a的-Z方向侧的面设置有作为第一导电膜的导电膜38。导电膜38的材质使用与导电膜32的材质相同的材质。将IGO、ITO、ICO等用于导电膜38的材质。在本实施方式中，例如，将IGO用于导电膜38的材质。因此，导电膜38光透过性良好、电阻低，使用草酸类蚀刻液而能够容易地形成规定的形状。
[0083]在导电膜38的-X方向侧，导电膜配线38a向-X方向延伸。导电膜配线38a为与导电膜38相同的材质，通过与设置导电膜38的工序相同的工序而设置。在固定基板14的-Z方向侧的面上还设置有反射膜端子41，导电膜配线38a与反射膜端子41连接。反射膜端子41的一部分在导电膜配线38a上重叠地设置。
[0084]反射膜端子41与第一端子15?第四端子18同样地为在金属基层42上层叠金属上侧层43的构造。将与金属基层33同样的材质的膜用于金属基层42。并且，金属上侧层43优选电阻小的金属，使用与金属上侧层34同样的膜。反射膜端子41沿导电膜38的同轴圆通过导电膜38的-Y方向侧而延伸至+X方向侧，到达与第四端子18对向的位置。
[0085]在导电膜38的-Z方向侧的面上设置有作为第一反射膜的固定反射膜44。固定反射膜44为从-Z方向观察的形状为圆形的膜，其表面为镜面。固定反射膜44的材质使用与可动反射膜35同样的材质。固定反射膜44位于与可动反射膜35对向的位置，使入射的光28的一部分反射一部分透过。
[0086]在固定反射膜44和固定基板14之间设置有导电膜38。导电膜38由与固定反射膜44及固定基板14具有亲和性的材料构成。由于存在导电膜38，因此与将固定反射膜44直接设置于固定基板14上相比，能够贴紧性良好地将固定反射膜44设置于固定基板14上。
[0087]在固定反射膜44上与固定反射膜44重叠而设置作为第二导电膜的保护膜45。保护膜45保护固定反射膜44并维持固定反射膜44的反射率。保护膜45的材质为导电膜38相同的材质，其为具有导电性的膜。在本实施方式中，例如将IGO用于导电膜38和保护膜45。IGO电阻低，能够使静电迅速地流动至反射膜端子41。
[0088]并且，夹着固定反射膜44的导电膜38及保护膜45为相同的热膨胀率。导电膜38和保护膜45为相同厚度，相同形状。导电膜38和保护膜45的厚度优选5nm?20nm左右。过厚则会使光28衰减，过薄则无法发挥保护的功能。并且，保护膜45及导电膜38夹着固定反射膜44而设置，导电膜38和保护膜45位于对向的位置。因此，在固定反射膜44中的导电膜38侧的面和保护膜45侧面难以存在内部应力差，因此，能够抑制被称为“小丘”或“晶须”突起的出现。并且，IGO由于光28的透过率高，因此，能够高效率地使光28透过。
[0089]保护膜45经由固定反射膜44、导电膜38、导电膜配线38a而 与反射膜端子41电连接。在反射膜端子41中，将Au膜用于金属上侧层43。由此，能够使流过反射膜端子41的电流的电阻变小。其结果是，在保护膜45上产生静电时，也能够迅速地消除静电。
[0090]在固定反射膜44的周围，在电极设置槽14b内设置固定电极46。固定电极46位于固定反射膜44的周围，圆环状地包围固定反射膜44。固定电极46的圆环状的-X方向侧被断开，在断开处设置与导电膜38连接的导电膜配线38a。固定电极46通过固定电极配线46a而与固定电极端子47连接。固定电极端子47沿导电膜38的同轴圆通过固定电极46的+Y方向侧而延伸至+X方向侧，直至与第一端子15对向的位置。
[0091]在反射膜端子41和第四端子18之间设置有凹凸电极(bump electrode) 48，反射膜端子41通过凹凸电极48与第四端子18连接。第四端子18与框体2的第四端子8连接，因此，固定反射膜44与第四端子8连接。同样地，在固定电极端子47和第一端子15之间设置有凹凸电极48，固定电极端子47通过凹凸电极48与第一端子15连接。第一端子15与框体2的第一端子5链接，因此，固定电极46与第一端子5连接。
[0092]可动电极37和固定电极46的圆环状的部分对向配置。并且，控制部27在第二端子6和第一端子5之间施加规定的电压。由此，在可动电极37和固定电极46之间产生静电力。保持部13c由于静电力而挠曲，因此，能够使可动反射膜35和固定反射膜44的间隔、即反射膜间间隙49位移。由此，控制部27能够将反射膜间间隙49设定为期望的尺寸。通过可动电极37、固定电极46及保持部13c等而构成作为间隔控制部的静电致动器50。
[0093]可动反射膜35及固定反射膜44使入射至滤光器12的光28的一部分反射一部分透过。在可动反射膜35和固定反射膜44之间产生多重反射，相位配合的光28向光28行进的方向透过并行进。通过静电致动器50控制反射膜间间隙49，滤光器12能够使规定的波长的光28透过。
[0094]在从Z方向俯视观察的可动基板13时，保护膜36与导电膜32为相同形状。夹着可动反射膜35的导电膜32及保护膜36为形同的应力分布。因此，在可动反射膜35中，导电膜32侧的面和保护膜36侧的面难以产生内部应力之差，能够抑制在可动反射膜35的表面出现突起。
[0095]同样地，在从Z方向俯视观察的固定基板14时，保护膜45与导电膜38为相同形状。夹着固定反射膜44的导电膜38及保护膜45为形同的应力分布。因此，在固定反射膜44中，导电膜38侧的面和保护膜45侧的面难以产生内部应力之差，能够抑制在固定反射膜44的表面出现突起。
[0096]图5为控制部的电气控制模块图。如图5所示，第一开关51、第二开关52这两个开关和控制第一开关51、第二开关52的开关控制部53设置于控制部27。各开关成为双电路双接点开关的形态。第一开关51具备:第一可动切片51a、第二可动切片51b、第一接点51c、第二接点51d、第三接点51e、第四接点51f。
[0097]第一可动切片51a及第二可动切片51b均接地。第一接点51c为孤立地未连接的接点。第二接点51d经由第四端子8与导电膜38连接。第一可动切片51a与第一接点51c及第二接点51d的一方导通。同样地，第三接点51e为孤立地未连接的接点。第四接点51f经由第三端子7与导电膜32连接。第二可动切片51b与第三接点51e及第四接点51f的一方导通。
[0098]第一可动切片51a和第二可动切片51b联动地被开关控制部53控制。开关控制部53使第一可动切片51a与第一接点51c导通、使第二可动切片51b与第三接点51e导通时，在第一开关51中成为导电膜38与第一可动切片51a切断、导电膜32与第二可动切片52b切断的状态。另一方面，开关控制部53使第一可动切片51a与第二接点51d导通、使第二可动切片51b与第四接点51f导通时，在第一开关51中成为导电膜32及导电膜38接地的状态。从而，开关控制部53能够控制使导电膜32及导电膜38短路并接地或者开放。
[0099]第二开关52具备:第一可动切片52a、第二可动切片52b、第一接点52c、第二接点52d、第三接点52e、第四接点52f。第一可动切片52a及第二可动切片52b与距离检测部54连接。第一接点52c经由第四端子8与导电膜38连接。第二接点52d为孤立地未连接的接点。第一可动切片52a与第一接点52c及第二接点52d的一方导通。同样地，第三接点52e经由第三端子7与导电膜32连接。第四接点52f为孤立地未连接的接点。第二可动切片52b与第三接点52e及第四接点52f的一方导通。距离检测部54具有通过测定导电膜32和导电膜38之间的电容而检测导电膜32和导电膜38之间的距离的功能。
[0100]滤光器12具备第三端子7及第四端子8的外部端子。并且，使用第三端子7及第四端子8的外部端子，距离检测部54能够检测出导电膜32和导电膜38之间的距离。
[0101]第一可动切片52a和第二可动切片52b联动地被开关控制部53控制。开关控制部53使第一可动切片52a与第一接点52c导通、使第二可动切片52b与第三接点52e导通时，在第二开关52中，导电膜32及导电膜38与距离检测部54连接。另一方面，开关控制部53使第一可动切片52a与第二接点52d导通、使第二可动切片52b与第四接点52f导通时，在第二开关52中，导电膜32及导电膜38与距离检测部54切断。从而，开关控制部53能够进行使导电膜32及导电膜38与距离检测部54连接或者接地的控制。
[0102]控制部27在检测反射膜间间隙49时，首先，开关控制部53切换第一开关51及第二开关52。在第一开关51中，开关控制部53使第一可动切片51a与第一接点51c接触。此外，开关控制部53使第二可动切片51b与第三接点51e接触。此外，在第二开关52中，开关控制部53使第一可动切片52a与第一接点52c接触。此外，开关控制部53使第二可动切片52b与第三接点52e接触。由此，导电膜32及导电膜38分别与距离检测部54连接。并且，距离检测部54向导电膜32及导电膜38通电而测定导电膜32和导电膜38之间的电容。由此，距离检测部54检测反射膜间间隙49。
[0103]距离检测部54在不测定反射膜间间隙49时，在第一开关51中，开关控制部53使第一可动切片51a与第二接点51d接触。此外，开关控制部53使第二可动切片51b与第四接点51f接触。在第二开关52中，开关控制部53使第一可动切片52a与第二接点52d接触。此外，开关控制部53使第二可动切片52b与第四接点52f接触。由此，导电膜32及导电膜38分别接地，相互导通。
[0104]水分子、氧分子等的分子在导电膜32和导电膜38之间移动，分子之间相互碰撞。此时，各分子会产生静电。并且，具有静电的分子接触导电膜32及导电膜38时，导电膜32及导电膜38带电。当由于静电而在导电膜32及导电膜38之间产生电压差时，在导电膜32及导电膜38之间产生静电力。由此，反射膜间间隙49变动。由于反射膜间间隙49变动，通过滤光器12的光的波长变动。因此，开关控制部53以规定的时间间隔使导电膜32及导电膜38接地。因此，由于导电膜32及导电膜38的静电被除去，能够高精度地控制反射膜间间隙49。
[0105]此外，第一开关51及第二开关52可以使用由晶体管等的半导体构成的开关元件，也可以为电磁开关。在电流小时，使用由半导体构成的开关元件，制造更容易且更具有耐久性，因此优选。在本实施方式中，例如，第一开关51及第二开关52使用由半导体构成的开关元件。
[0106]电压控制部55设置于控制部27，可动电极37及固定电极46电连接于电压控制部55。电压控制部55通过控制施加于可动电极37及固定电极46的电压而能够控制反射膜间间隙49。电压控制部55将反射膜间间隙49变更为规定的间隔。并且，光28入射至滤光器12。光28在可动反射膜35和固定反射膜44之间多重反射，与反射膜间间隙49的尺寸对应的波长的光通过滤光器12。从而，电压控制部55通过控制反射膜间间隙49而能够控制通过滤光器12的光28的波长。
[0107]下面，对于光学模块I的制造方法进行说明。图6?图8为对于光学模块的制造方法进行说明的示意图。首先，如图6的(a)所示，准备形成有槽13a及保持部13c的可动基板13。槽13a及保持部13c能够通过使用公知的蚀刻法形成图案并蚀刻而形成。例如，能够将由铬层及金层构成的层形成图案而形成掩模，使用超高纯度的氟氢酸进行蚀刻而形成。例如，在本实施方式中，蚀刻厚度为0.5mm的石英基板而将保持部13c的厚度形成为约30 μ m0
[0108]下面，如图6的(b)所示，在可动基板13上设置导电膜32及可动电极37。在可动基板13上形成层叠作为可动电极37的材料的ITO和Au而形成的固态膜。固态膜示出在基板上整体以相同膜厚而设置的膜。然后，与ITO的固态膜重叠而形成Au膜的固态膜。固态膜的形成可以使用蒸镀法、溅射法等的成膜方法。然后，将固态膜形成图案而形成可动电极37及电极配线37a。形成可动电极37及电极配线37a，可以通过使用公知的蚀刻法将掩模形成图案并蚀刻固态膜而形成。
[0109]然后，在可动基板13上形成作为导电膜32的材料的IGO的固态膜。固态膜示出在基板上整体以相同膜厚而设置的膜。固态膜的形成可以使用蒸镀法、溅射法等的成膜方法。然后，将固态膜形成图案而形成导电膜32、导电膜配线32a。形成导电膜32及导电膜配线32a，可以通过使用公知的蚀刻法将掩模形成图案并蚀刻固态膜而形成。IGO膜的蚀刻液可以使用草酸类蚀刻液。此外，导电膜32及可动电极37的设置顺序可以交替。并且，也可以加入设置用于保护之前设置的膜的保护膜的膜之后再除去保护膜的工序。
[0110]接着，如图6的(C)所示，在可动基板13上形成第一端子15?第四端子18以及凹凸电极48。首先，在可动基板13上形成由金属基层33的材料的Cr构成的基底导体固态膜。基底导体固态膜示出由Cr的材料构成的固态膜。然后，与基底导体固态膜相重叠，形成由金属上侧层34的材料的Au构成的上侧导体固态膜。上侧导体固态膜示出由Au的材料构成的固态膜。基底导体固态膜及上侧导体固态膜的形成可以使用蒸镀法、溅射法等的成膜方法。
[0111]接下来，将上侧导体固态膜的表面形成图案而形成凹凸电极48。此外，将上侧导体固态膜的剩余的膜形成图案而形成第一端子15?第四端子18的金属上侧层34。此外，将基底导体固态膜形成图案而形成第一端子15?第四端子18的金属基层33。形成第一端子15?第四端子18及凹凸电极48，可以通过使用公知的蚀刻法将掩模形成图案并蚀刻导体固态膜而形成。Au的蚀刻液没有特别的限定，例如可以使用碘类蚀刻液。将Cr或者NiCr用于金属基层33的材料时的蚀刻液没有特别的限定，例如可以使用硝酸铈类的蚀刻液。也可以将TiW用于金属基层33的材料。此时的蚀刻液没有特别的限定，例如可以使用高氯酸类的蚀刻液。
[0112]第三端子17在导电膜配线32a上以一部分重叠的方式而被形成图案。同样地，第二端子16在电极配线37a上以一部分重叠的方式而被形成图案。
[0113]下面，如图6的(d)所示，在导电膜32上形成可动反射膜35及保护膜36。首先，在导电膜32上形成由可动反射膜35的材料构成的反射固态膜。反射固态膜，例如为由AgSmCu构成的固态膜。在反射固态膜上形成由保护膜36的材料构成的保护固态膜。保护固态膜为由IGO构成的固态膜。保护固态膜的厚度形成为与导电膜32相同的厚度。反射固态膜及保护固态膜的形成可以使用蒸镀法、溅射法等的成膜方法。然后，将保护固态膜形成图案而形成保护膜36。接着，将反射固态膜形成图案而形成可动反射膜35。此时，导电膜32、可动反射膜35及保护膜36形成为相同形状。形成保护膜36及可动反射膜35，可以通过使用公知的蚀刻法将掩模图案化并蚀刻保护固态膜及反射固态膜而形成。IGO膜的蚀刻液可以使用草酸类蚀刻液。反射固态膜的蚀刻液可以使用磷酸、硝酸、醋酸混合蚀刻液。
[0114]然后，如图6的(e)所示，准备形成有反射膜设置部14a及电极设置槽14b的固定基板14。反射膜设置部14a及电极设置槽14b，使用公知的蚀刻法形成图案并蚀刻而形成。例如，将由铬层及金层构成的层形成图案而形成掩模，使用超 高纯度的氟氢酸进行蚀刻而形成。例如，在本实施方式中，蚀刻厚度为Imm的石英基板而形成。固定基板14上设置有光圈31。为了形成光圈31，首先形成光圈31的材料的固态膜。固态膜的形成可以使用蒸镀法、溅射法等的成膜方法。然后，将固态膜形成图案而形成光圈31。形成光圈31，可以通过使用公知的蚀刻法将掩模图案化并蚀刻固态膜而形成。
[0115]然后，如图7的(a)所示，在固定基板14上设置导电膜38、导电膜配线38a、固定电极46及固定电极配线46a。首先，在固定基板14上形成固态膜，该固态膜通过层叠作为固定电极46的材料的ITO及Au而形成。固态膜的形成可以使用蒸镀法、溅射法等的成膜方法。然后，图案化固态膜而形成固定电极46及固定电极配线46a。形成固定电极46及固定电极配线46a，使用公知的蚀刻法将掩模形成图案并蚀刻固态膜而形成。
[0116]然后，在固定基板14上形成作为导电膜38的材料的IGO的固态膜。固态膜的形成可以使用蒸镀法、溅射法等的成膜方法。然后，将固态膜形成图案而形成导电膜38及导电膜配线38a。形成导电膜38及导电膜配线38a，使用公知的蚀刻法将掩模形成图案并蚀刻固态膜而形成。IGO膜的蚀刻液可以使用草酸类蚀刻液。此外，导电膜38及固定电极46的设置顺序可以交替。并且，也可以加入设置用于保护之前设置的膜的保护膜的膜之后再除去保护膜的工序。
[0117]接着，如图7的(b)所示，在电极设置槽14b上形成反射膜端子41及固定电极端子47。首先，在电极设置槽14b上形成由金属基层42的材料的Cr构成的基底导体固态膜。基底导体固态膜示出由Cr的材料构成的固态膜。然后，与基底导体固态膜相重叠，形成由作为金属上侧层43的材料的Au构成的上侧导体固态膜。上侧导体固态膜示出由Au的材料构成的固态膜。基底导体固态膜及上侧导体固态膜的形成可以使用蒸镀法、溅射法等的成膜方法。
[0118]接下来，将上侧导体固态膜的表面形成图案而形成反射膜端子41及固定电极端子47的金属上侧层43。此外，将基底导体固态膜形成图案而形成反射膜端子41及固定电极端子47的金属基层42。形成反射膜端子41及固定电极端子47，可以通过使用公知的蚀刻法将掩模形成图案并蚀刻导体固态膜而形成。Au的蚀刻液没有特别的限定，例如可以使用碘类蚀刻液。将Cr或者NiCr用于金属基层42的材料时的蚀刻液没有特别的限定，例如可以使用硝酸铈类的蚀刻液。
[0119]反射膜端子41以一部分重叠在导电膜配线38a上的方式而被形成图案。同样地，固定电极端子47以一部分重叠在固定电极配线46a上的方式而被形成图案。
[0120]下面，如图7的(C)所示，在导电膜38上形成固定反射膜44及保护膜45。首先，在导电膜38上形成由固定反射膜44的材料构成的反射固态膜。反射固态膜例如为由AgSmCu构成的固态膜。在反射固态膜上形成由保护膜45的材料构成的保护固态膜。保护固态膜的厚度形成为与导电膜38相同的厚度。保护固态膜为由IGO构成的固态膜。反射固态膜及保护固态膜的形成可以使用蒸镀法、溅射法等的成膜方法。然后，将保护固态膜形成图案而形成保护膜45。接着，将反射固态膜形成图案而形成固定反射膜44。此时，导电膜38、固定反射膜44及保护膜45形成为相同形状。形成保护膜45及固定反射膜44，可以通过使用公知的蚀刻法将掩模图案化并蚀刻反射固态膜而形成。作为保护固态膜的IGO膜的蚀刻液可以使用草酸类蚀刻液。反射固态膜的蚀刻液可以使用磷酸、硝酸、醋酸混合蚀刻液。
[0121]可以将IGO用于导电膜32、导电膜38、保护膜36及保护膜45的材料。当将ITO用于导电膜32、导电膜38、保护膜36及保护膜45时，ITO为结晶性膜，形成图案时必须使用王水类蚀刻液。王水类蚀刻液有可能对配线、元件等造成损伤。在将IGO形成图案时所使用的蚀刻液中，可以使用例如草酸类蚀刻液。与王水类蚀刻液相比，IGO用的蚀刻液为难以对配线或元件等造成损伤的溶液。因此，能够高品质地制造滤光器12。
[0122]下面，如图7的(d)所示，接合可动基板13和固定基板14。在可动基板13及固定基板14上分别成膜以硅氧烷为主要成分的等离子体聚合膜。然后，贴合等离子体聚合膜而接合可动基板13和固定基板14。被贴合的等离子体聚合膜成为接合膜30。凹凸电极48连接反射膜端子41和第四端子8，连接固定电极端子47和第一端子15。通过以上的工序，滤光器12完成。
[0123]接着，通过框体2及第二盖体9密闭滤光器12。如图8的(a)所示，首先，准备框体2及滤光器12。框体2上设置有第一盖体3、第一端子5?第四端子8、贯通电极26、第一端子21?第四端子24等。此外，框体2的制造方法可以使用公知的方法制造，省略其说明。
[0124]然后，将滤光器12配置于框体2的内部空间11，使用未图示的固定夹具固定框体2和滤光器12的位置关系。
[0125]如图8的(b)所示，接着，通过金线25连接第一端子15和第一端子21，通过金线25连接第二端子16和第二端子22。此外，通过金线25第三端子17和第三端子23连接，通过金线25连接第四端子18和第四端子24。使用引线接合法来进行金线25的连接。设置金线25之后，除去固定夹具。
[0126]如图8的(C)所示，接着，在框体2的设置第二盖体9的预定的面，配置低熔点玻璃体浆料56。在固定基板14上，将低熔点玻璃体浆料57配置于设置固定部29的预定处。接着，加热低熔点玻璃体浆料56及低熔点玻璃体浆料57，使粘结剂成分蒸发而除去。
[0127]如图8的(d)所示，接着，将第二盖体9配置在框体2上，在通过真空室装置等而设定为真空氛围的环境下加热。低熔点玻璃体浆料56及低熔点玻璃体浆料57熔融后，逐渐冷却。从而，低熔点玻璃体浆料56成为第二低熔点玻璃10，低熔点玻璃体浆料57成为固定部29。于是，在内部空间11被减压的状态下，光学模块I被密封。通过以上的工序，光学丰旲块I完成。
[0128]如上所述，根据本实施方式，具有以下的效果。
[0129](I)根据本实施方式，在固定反射膜44和固定基板14之间设置导电膜38。由于存在导电膜38，与将固定反射膜44直接设置于固定基板14上相比，能够贴紧性良好地将固定反射膜44设置于固定基板14上。同样地，在可动反射膜35和可动部13b之间设置导电膜32。由于存在导电膜32，与将可动反射膜35直接设置于可动部13b上相比，能够贴紧性良好地将可动反射膜35设置于可动部13b上。
[0130](2)根据本实施方式，夹着可动反射膜35而设置导电膜32及保护膜36。通过保护膜36，能够防止可动反射膜35的表面受到损伤。同样地，夹着固定反射膜44而设置导电膜38及保护膜45。通过保护膜45，能够防止固定反射膜44的表面受到损伤。因此，能够高品质地制造滤光器12。并且，由于保护膜36及保护膜45具有导电性，因此，能够抑制在保护膜36和保护膜45的表面产生静电。因此，能够高精度地控制反射膜间间隙49。
[0131](3)根据本实施方式，可动基板13中的导电膜32和保护膜36为相同材质、相同膜厚。当不在可动反射膜35的单面设置保护膜36、不在另一单面设置导电膜32时，可动反射膜35的两面的应力分布为不同的分布。此时，在可动反射膜35中的两面产生应力之差时，出现被称为“小丘”或“晶须”的突起。由此，反射膜的反射率下降。在本实施方式中，夹着可动反射膜35的导电膜32及保护膜36为相同材质、相同膜厚。因此，由于在可动反射膜35中的两面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。其结果是，滤光器12能够长期地高精度地使规定的波长的光28透过。
[0132]在本实施方式中，夹着固定反射膜44的导电膜38及保护膜45为相同材质、相同膜厚。因此，由于在固定反射膜44中的两面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。其结果是，滤光器12能够长期地高精度地使规定的波长的光28透过。
[0133](4)根据本实施方式，在可动基板13中，导电膜32和保护膜36为相同形状。因此，在夹着可动反射膜35的导电膜32及保护膜36中，应力分布大致相同。由于在可动反射膜35中的两面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。同样地，在固定基板14中，导电膜38和保护膜45为相同形状。因此，在夹着固定反射膜44的导电膜38及保护膜45中，应力分布大致相同。由于在固定反射膜44中的两面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。
[0134](5)根据本实施方式，导电膜32、保护膜36、导电膜38及保护膜45的材质包含IGOo IGO的光透过性良好，在可视区域具有大致80%以上的透过性。因此，能够高效率地使规定的波长的光28通过。
[0135](6)根据本实施方式，设置有与可动反射膜35连接的第三端子17、和与固定反射膜44连接的第四端子18。因此，通过第三端子17及第四端子18，距离检测部54能够检测出可动反射膜35和固定反射膜44之间的电容。并且，电容与反射膜间间隙49存在相关。因此，距离检测部54能够检测出反射膜间间隙49。
[0136](7)根据本实施方式，滤光器12收纳于收纳部，被收纳部保护。因此，在把持光学模块I时，能够防止滤光器12受到损伤。并且，在滤光器12中，抑制了在可动反射膜35及固定反射膜44出现突起。从而，光学模块I能够使规定的波长的光28高效率地通过。
[0137](8)根据本实施方式，第三端子17及反射膜端子41的材质为金属。因此，能够使流过第三端子17及反射膜端子41的电流的电阻变小。其结果是，在可动反射膜35及固定反射膜44上产生静电时，也能够迅速地消除静电。
[0138](9)根据本实施方式，第一开关51能够使可动反射膜35和固定反射膜44相连接。由此，可动反射膜35及固定反射膜44的静电所导致的电压差被除去。从而，光学模块I能够高品质地控制反射膜间间隙49、能够高品质地使规定的波长的光通过。
[0139](10)根据本实施方式，导电膜配线38a的材质为IG0，通常当蚀刻金属基层42时，有可能对导电膜配线38a带来损伤。另一方面，在本实施方式中，将TiW、Cr、NiCr中的任一种用于金属基层42的材质。当金属基层42为TiW时，可以使用高氯酸类的蚀刻液。并且，当金属基层42为Cr、NiCr时，可以使用硝酸铈类的蚀刻液作为蚀刻液。并且，IGO难以被高氯酸类的蚀刻液及硝酸铈类的蚀刻液损伤，因此，不会给导电膜配线38a带来损伤而能够图案化金属基层42。
[0140]同样地，导电膜配线32a的材质为IG0，金属基层33的材质使用TiW、Cr、NiCr中的任一种。当金属基层33为TiW时，可以使用高氯酸类的蚀刻液。当蚀刻金属基层33时，有可能对导电膜配线32a带来损伤。并且，当金属基层33为Cr、NiCr时，可以使用硝酸铈类的蚀刻液作为蚀刻液。并且，IGO难以被高氯酸类的蚀刻液及硝酸铈类的蚀刻液损伤，因此，不会给导电膜配线32a带来损伤而能够图案化金属基层33。
[0141](11)根据本实施方式，在可动基板13上设置第一端子15?第四端子18之后，设置可动反射膜35。可以为设置可动反射膜35之后再设置第一端子15?第四端子18的工序顺序。此时，在设置第一端子15?第四端子18的工序中，存在给可动反射膜35带来损伤的危险性。另一方面，按照本实施方式的工序顺序的话，在设置第一端子15?第四端子18的工序中，不存在给可动反射膜35带来损伤的危险性。
[0142]同样地，在固定基板14上设置反射膜端子41及固定电极端子47之后设置固定反射膜44及保护膜45。因此，在设置反射膜端子41及固定电极端子47的工序中，不存在给固定反射膜44带来损伤的危险性。因此，能够高品质地设置可动反射膜35及固定反射膜44 ο
[0143](第二实施方式)
[0144]下面，使用图9及图10对光学模块一实施方式进行说明。图9的(a)为示出可动基板的构造的不意俯视图，图9的(b)为不出固定基板的构造的不意俯视图。图10为控制部的电气控制模块图。本实施方式与第一实施方式的不同之处在于，可动反射膜35与固定反射膜44在滤光器内电连接这一点。此外，对于与第一实施方式相同的点省略说明。
[0145]也就是说，在本实施方式中，如图9所不，光学模块60具备滤光器61，滤光器61中，可动基板13和固定基板14通过接 合膜30接合。在可动基板13上设置导电膜32，在导电膜32上重叠地设置可动反射膜35及保护膜36。在导电膜32的+X方向侧设置第三端子62ο并且，导电膜32和第三端子62通过导电膜配线32a连接。
[0146]在固定基板14上设置导电膜38，在导电膜38上重叠地设置固定反射膜44及保护膜45。在固定基板14上设置反射膜端子41，反射膜端子41和导电膜38通过导电膜配线38a连接。并且，反射膜端子41和第三端子62通过凹凸电极48连接。从而，可动反射膜35和固定反射膜44电连接。
[0147]由此，可动反射膜35及固定反射膜44的电压经常为相同电位，即使在可动反射膜35及固定反射膜44上产生静电，电压差也得以瞬时地被除去。并且，静电力不再作用于可动反射膜35和固定反射膜44之间。因此，在光学模块60中，反射膜间间隙49被高品质地控制，能够使规定的波长的光高品质地通过。
[0148]如图10所示，导电膜32及导电膜38电连接于驱动光学模块60的控制部63。并且，在控制部63中，导电膜32及导电膜38接地。从而，即使在导电膜32及导电膜38上累积静电时，也能够除去静电。
[0149]如上所述，根据本实施方式，具有如下的效果。
[0150](I)根据本实施方式，可动反射膜35和固定反射膜44电连接。因此，能够抑制静电力作用于可动反射膜35和固定反射膜44之间。从而，能够高精度地控制反射膜间间隙49。
[0151](2)根据本实施方式，可动反射膜35和固定反射膜44在滤光器61内电连接。从而，控制部63中不需要切换是否接地的开关。从而，能够易于制造控制部63。
[0152](第三实施方式)
[0153]下面，使用图11对光学模块的第一实施方式进行说明。图11为示出反射膜构造的主要部分示意截面图。本实施方式与第一实施方式的不同之处在于，导电膜和保护膜的材质不同这一点。此外，对于与第一实施方式相同的点省略说明。
[0154]也就是说，在本实施方式中，如图11所不，光学模块66具备滤光器67，滤光器67中，可动基板13和固定基板14通过接合膜30接合。在可动基板13上设置导电膜68，在导电膜68上重叠地设置可动反射膜35及保护膜69。在固定基板14上设置导电膜70，在导电膜70上重叠地设置固定反射膜44及保护膜71。
[0155]除了将IGO、ITO、ICO用于导电膜68、导电膜69、导电膜70及保护膜71的材质之夕卜，也可以使用作为锡氧化物的氧化锡(SnO2)、作为锌氧化物的掺铝氧化锌(AZO)、掺镓氧化锌(GZO)、氧化锌(ZnO)、铟氧化物和锌氧化物构成的铟锌氧化物(ΙΖ0:注册商标)等的透明导电膜。
[0156]导电膜68和保护膜69为材质相互不同的膜。并且，导电膜68及保护膜69由于热的变动而伸缩。以此时导电膜68的应力分布和保护膜69的应力分布为相同的应力分布的方式，设定导电膜68的膜厚及保护膜69的膜厚。由此，在可动反射膜35中，导电膜68侧的面的应力及保护膜69侧的面的应力为同等程度的应力。从而，能够抑制在可动反射膜35上出现被称为“小丘”或“晶须”的突起。
[0157]同样地，导电膜70和保护膜71为材质相互不同的膜。并且，导电膜70及保护膜71由于热的变动而伸缩。以此时导电膜70的应力分布和保护膜71的应力分布为相同的应力分布的方式，设定导电膜70的膜厚及保护膜71的膜厚。由此，在固定反射膜44中，导电膜70侧的面的应力及保护膜71侧的面的应力为同等程度的应力。从而，能够抑制在固定反射膜44上出现被称为“小丘”或“晶须”的突起。其结果是，滤光器67能够长期地使规定的波长的光高精度地透过。
[0158](第四实施方式)
[0159]下面，使用图12对具备上述的光学模块I的测色装置的一实施方式进行说明。此夕卜，对于与上述的实施方式相同的点省略说明。
[0160](测色装置)
[0161]图12为表示测色装置的构成的框图。如图12所示，作为电子设备的测色装置80具备:向测定对象物81射出光的光源装置82、测色传感器83、控制测色装置80的整体动作的控制装置84。并且，该测色装置80通过测定对象物81使从光源装置82射出的光发生发射。通过测色传感器83接收被反射的检查对象光。基于从测色传感器83输出的检测信号，测色装置80对检查对象光的色度、即测定对象物81的颜色进行分析、测定。
[0162]光源装置82具备:光源85、多个透镜86 (图中仅记载一个)，光源装置82向测定对象物81射出例如白色光等的基准光。并且，多个透镜86中可以包含准直透镜。在这种情况下，准直透镜将从光源85射出的基准光变为平行光，光源装置82从未图示的投射透镜朝向测定对象物81射出光。另外，在本实施方式中，例示了具备光源装置82的测色装置80例如测定对象物81为液晶板等的发光构件的情况下，也可以为不设置光源装置82的构成。
[0163]测色传感器83具备:滤光器87、接收透过滤光器87的光的检测器88、控制透过滤光器87的光的波长的作为控制部的波长控制部89。在滤光器87中使用上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66的任一种。波长控制部89具备第一实施方式中的控制部27或者第二实施方式中的控制部63的功能。
[0164]并且，测色传感器83在与滤光器87对向的位置，具备未图示的入射光学透镜。入射光学透镜将由测定对象物81反射的反射光(检查对象光)导光至测色传感器83的内部。并且，在测色传感器83中，滤光器87从自入射光学透镜入射的检查对象光中，对规定波长的光进行分光，由检测器88接收分光的光。
[0165]控制装置84控制测色装置80的整体动作。作为该控制装置84，能够使用例如通用个人计算机、携带信息终端、此外能够使用测色专用计算机等。而且，控制装置84构成为具备光源控制部90、测色传感器控制部91及测色处理部92等。光源控制部90连接于光源装置82，光源控制部90基于例如使用者的设定输入，向光源装置82输出规定的控制信号，使规定的亮度的白色光射出。测色传感器控制部91连接于测色传感器83的波长控制部89。测色传感器控制部91基于例如操作者的设定输入，设定通过测色传感器83接收的光的波长。测色传感器控制部91将以检测该设定的波长的光的受光量为内容的控制信号输出至波长控制部89。由此，基于控制信号，波长控制部89使滤光器87驱动。测色处理部92从由检测器88检测到的受光量，分析测定对象物81的色度。
[0166]上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66的任一种用于滤光器87。光学模块1、光学模块60及光学模块66为抑制在可动反射膜35及固定反射膜44上出现被称为“小丘”或“晶须”的突起的构造。从而，能够使测色装置80为具备能够长期地使规定的波长的光高精度地透过的滤光器87的电子设备。
[0167](第五实施方式)
[0168]下面，使用图13及图14，对具备上述的光学模块I的气体检测装置的一实施方式进行说明。该气体检测装置例如用于高灵敏度地检测指定气体的车载用气体泄漏检测器、呼气检查用的光音响稀有气体检测器等。此外，对于与上述的实施方式相同的点省略说明。
[0169]图13为示出气体检测装置的构成的示意正视图，图14为示出气体检测装置的控制系统的构成的框图。如图13所示，作为电子设备的气体检测装置95构成为具备:传感器芯片96、流路97和主体部98，该流路97具备吸引口 97a、吸引流路97b、排出流路97c以及排出口 97do
[0170]主体部98具备:传感器部盖99、排出单元100及框体101。通过开闭传感器部盖99，可拆装流路97。此外，主体部98具备检测装置，该检测装置包括光学部102、滤波器103、滤光器104及受光元件105 (检测部)等。在滤光器104中使用上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66的任一种。
[0171]此外，主体部98，具备:处理检测的信号、控制检测部的控制部106(处理部)；供给电力的电力供给部107等。光学部102，由如下构成:射出光的光源108、分光器109、透镜110、透镜111以及透镜112。分光器109，将从光源108入射的光反射至传感器芯片96侧，使从传感器芯片侧入射的光透过至受光元件105侦U。
[0172]如图14所示，操作板115、显示部116、用于与外部的接口的连接部117、电力供给部107设置于气体检测装置95。电力供给部107为二次电池的情况下，也可以具备用于充电的连接部118。此外，气体检测装置95的控制部106，具备:由CPU等构成的信号处理部119以及用于控制光源108的光源驱动电路120。此外，控制部106具备:作为用于控制滤光器104的控制部的波长控制部121、用于接收来自受光元件105的信号的受光电路122。波长控制部121具备第一实施方式中的控制部27或者第二实施方式中的控制部63的功能。此外，控制部106具备，接收来自读取传感器芯片96的编码并检测传感器芯片96的有无的传感器芯片检测器123的信号的传感器芯片检测电路124。此外，控制部106具备，控制排出单元100的排出驱动电路125等。
[0173]下面，对于气体检测装置95的动作进行说明。在主体部98的上部的传感器部盖99的内部，设置有传感器芯片检测器123。通过传感器芯片检测器123检测传感器芯片96的有无。信号处理部119，当检测到来自传感器芯片检测器123的检测信号时，判断为安装有传感器芯片96的状态。并且，信号处理部119，向显示部116发出显示信号，使其显示能够实施检测动作的内容。
[0174]然后，当通过例如操作者操作操作板115，从操作板115向信号处理部119输出开始检测处理的指示信号。首先，信号处理部119，向光源驱动电路120输出光源驱动的指示信号，使光源108动作。当光源108被驱动时，从光源108射出单一波长的、直线偏振光稳定的激光。光源108中内置有温度传感器或光量传感器，传感器的信息向信号处理部119输出。于是，信号处理部119，基于从光源108输入的温度、光量，判断光源108稳定动作时，信号处理部119控制排出驱动电路125，使排出单元100动作。由此，包含应检测的标的物质(气体分子)的气体试料，被从吸引口 97a向吸引流路97b、传感器芯片96内、排出流路97c、排出口 97d引导。另外，在吸引口 97a设置有除尘过滤器97e，比较大的粉尘和一部分水蒸气等被除去。
[0175]传感器芯片96为组装有多个金属纳米构造体的元件，其为利用局部表面等离子体共振的传感器。在这种传感器芯片96中，通过激光在金属纳米构造体间形成增强电场。当气体分子进入该增强电场内时，产生包含分子振动的信息的拉曼散射光及瑞利散射光。这些拉曼散射光和瑞利散射光，通过光学部102而入射至滤光器103。瑞利散射光通过滤光器103而被分离，拉曼散射光入射至滤光器104。
[0176]然后，信号处理部119向波长控制部121输出控制信号。由此，波长控制部121，驱动滤光器104的致动器，通过滤光器104使对应于作为检测对象的气体分子的拉曼散射光分光。由受光元件105接受分光的光，对应于受光量的受光信号经由受光电路122输出至信号处理部119。
[0177]信号处理部119比较如上得到的对应于作为检查对象的气体分子的拉曼散射光的光谱数据和存储于ROM的数据。然后，判定作为检查对象的气体分子是否为目的气体分子，进行物质的指定。并且，信号处理部119，使显示部116显示该结果信息，从连接部117向外部输出。
[0178]以上例不了通过滤光器104将拉曼散射光分光、从被分光的拉曼散射光进行气体检测的气体检测装置95。气体检测装置95也可以用作通过检测气体固有的吸光度而指定气体种别的气体检测装置。这种情况下，使气体流入传感器内部，将滤光器104用作检测入射光中被气体吸收的光的气体传感器。并且，气体检测装置为通过气体传感器分析、判别流入传感器内的气体的电子设备。气体检测装置95，通过如此的构成，也能够使用滤光器104检测气体的成分。
[0179]上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66的任一种用于滤光器104。光学模块1、光学模块60及光学模块66为抑制在可动反射膜35及固定反射膜44上出现被称为“小丘”或“晶须”的突起的构造。从而，能够使气体检测装置95为具备 能够长期地使规定的波长的光高精度地透过的滤光器104的电子设备。
[0180](第六实施方式)
[0181]下面，使用图15对于具备上述的光学模块I的食物分析装置的一实施方式进行说明。上述的光学模块1、光学模块60及光学模块66能够用于通过近红外线分光的糖类的非侵袭性检测装置或食物、生物体、矿物等的信息的非侵袭性检测装置等的物质成分分析装置。食物分析装置为物质成分分析装置的一种。此外，对于与上述的实施方式相同的点，省略说明。
[0182]图15为表示食物分析装置的构成的框图。如图15所示，作为电子设备的食物分析装置128具备:检测器129、控制部130以及显示部131。检测器129具备:射出光的光源132、导入来自检测对象物133的光的拍摄透镜134、将从拍摄透镜134导入的光分光的滤光器135。在滤光器135中使用上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66的任一种。此外，检测器129具备检测被分光的光的拍摄部136 (检测部)。
[0183]此外，控制部130具备:实施光源132的点亮/熄灭控制、点亮时的亮度控制的光源控制部137以及作为控制滤光器135的控制部的波长控制部138。波长控制部138具备第一实施方式中的控制部27或者第二实施方式中的控制部63的功能。此外，控制部130具备:控制拍摄部136并取得由拍摄部136拍摄到的光谱图像的检测控制部139、信号处理部140及存储部141。
[0184]当驱动食物分析装置128时，由光源控制部137控制光源132，从光源132向测定对象物133照射光。接着，由测定对象物133反射的光，通过拍摄透镜134入射至滤光器135。滤光器135，通过波长控制部138的控制而被驱动。由此，能够从滤光器135高精度地取出目的波长的光。然后，被取出的光，被例如由CCD照相机等构成的拍摄部136拍摄。并且，拍摄的光作为光谱图像，存储于存储部141。此外，信号处理部140，控制波长控制部138，使施加于滤光器135的电压值发生变化，取得对于各波长的光谱图像。
[0185]接着，信号处理部140对存储于存储部141的各图像中的各像素的数据进行演算处理，求取各像素中的光谱。此外，存储部141中存储例如有关对应于光谱的食物的成分的信息。信号处理部140，以存储部141所存储的有关食物的信息为基础分析求得的光谱的数据。并且，信号处理部140，求取测定对象物133中包含的食物成分及各食物成分含有量。并且，信号处理部140，从得到的食物成分及含有量，能够算出食物卡路里或鲜度等。此外，通过分析图像内的光谱分布，信号处理部140也能够在检查对象的食物中实施鲜度下降部分的抽出等。此外，信号处理部140也能够实施食物内包含的异物等的检测。然后，信号处理部140，进行如下处理:使通过上述得到的检查对象的食物的成分或含有量、卡路里或鲜度等的信息显示于显示部131。
[0186]上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66的任一种用于滤光器135。光学模块1、光学模块60及光学模块66为抑制在可动反射膜35及固定反射膜44上出现被称为“小丘”或“晶须”的突起的构造。从而，能够使食物分析装置128为具备能够长期地使规定的波长的光高精度地透过的滤光器135的电子设备。
[0187]此外，除了食物分析装置128之外，通过大致相同的构成，也能够作为上述的其他信息的非侵袭性检测装置使用。例如，能够作为血液等的体液成分的检测、分析等，分析生物体成分的生物体分析装置使用。作为这种生物体分析装置，例如能够将食物分析装置128用作检测血液等的体液成分的装置。此外，如果作为检测乙基乙醇的装置的话，能够将食物分析装置128用作检测驾驶员的饮酒状态的防止酒驾装置。此外，也可以作为具备这种生物体分析装置的电子内视镜系统使用。此外，也能够作为实施矿物的成分分析的矿物分析装置使用。
[0188]此外，作为使用上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66的电子设备，能够适用于以下的装置。例如，通过使各波长的光的强度发生经时性的变化，能够以各波长的光传输数据。这种情况下，通过上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66，对指定波长的光进行分光，并且，由受光部接受，从而能够抽出由指定波长的光传输的数据，通过这种由上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66抽出数据的电子设备，处理各波长的光的数据，能够实施多个波长的光通信。
[0189](第七实施方式)
[0190]下面，使用图16，对具备上述的光学模块I的光谱照相机的一实施方式进行说明。能够将上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66使用于对光进行分光并拍摄光谱图像的光谱照相机、光谱分析机等。作为这种光谱照相机的一例，能够例举内置有光学模块1、光学模块60或者光学模块66的红外线照相机。此外，对于与上述实施方式相同的点省略说明。
[0191]图16为表示光谱照相机的构成的概略立体图。如图16所示，作为电子设备的光谱照相机144具备:照相机主体145、拍摄透镜单元146及拍摄部147。照相机主体145为由使用者把持、操作的部分。
[0192]拍摄透镜单元146连接于照相机主体145，将入射的图像光导光至拍摄部147。并且，该拍摄透镜单元146构成为具备物镜148、成像透镜149及设置于这些透镜之间的作为光学模块的滤光器150。在滤光器150中使用上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66。此外，在照相机主体145中设置有作为用于控制滤光器150分光的光的波长的控制部的波长控制部151。波长控制部151具备第一实施方式中的控制部27或者第二实施方式中的控制部63的功能。
[0193]拍摄部147由受光元件构成，对由拍摄透镜单元146导光的图像光进行拍摄。在光谱照相机144中，通过滤光器150使成为拍摄对象的波长的光透过，从而拍摄部147能够拍摄期望波长的光的光谱图像。
[0194]上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66的任一种用于滤光器150。光学模块1、光学模块60及光学模块66为抑制在可动反射膜35及固定反射膜44上出现被称为“小丘”或“晶须”的突起的构造。从而，能够使光谱照相机144为具备能够长期地使规定的波长的光高精度地透过的滤光器150的电子设备。
[0195]此外，也可以将组装有滤光器150的光学模块作为带通滤波器使用。例如，能够作为光学式激光装置使用，上述光学式激光装置，通过滤光器150，从发光元件射出的规定波长域的光中，仅对以规定的波长为中心的窄带域的光进行分光而使其透过。此外，也可以将光学模块作为生物体认证装置使用，例如，能够适用于使用近红外区域或可视区域的光的血管、指纹、网膜、虹膜等的认证装置。此外，能够将光学模块作为浓度检测装置使用。这种情况下，通过光学模块1、光学模块60或者光学模块66，对从物质射出的红外能源(红外光)进行分光并分析，检测样品中的被检测体浓度。
[0196]如上所述，上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66，能够适用于从入射光对规定的光进行分光的任何装置。并且，上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66，如上所述，能够高效率地使多个波长分光。因此，能够高效率地实施对于多个波长的光谱的测定、对于多个成分的检测。从而，与通过使单一波长分光的多个光学模块取出希望波长的现有装置相比，能够促进电子设备的小型化，例如能够适于作为携带用或车载用的光学设备使用。此时，由于上述的光学模块1、光学模块60或者光学模块66长期可靠性高，能够使规定的波长的光通过，因此，使用上述光学模块的电子设备能够长期地高品质地用于取出多个波长的光。
[0197]此外，本实施方式不限于上述的实施方式，在本发明的技术思想内，本领域的具有通常知识的人员能够进入各种变更或改良。变形例如下所述。
[0198](变形例I)
[0199]在上述第一实施方式中，可动反射膜35被导电膜32和保护膜36夹着，固定反射膜44被导电膜38和保护膜45夹着。在可动反射膜35和固定反射膜44中的一方的表面状态劣化少时，也可以省略夹着劣化少的一方的反射膜的导电膜及保护膜。可以简化制造工序而提尚生广效率。
[0200](变形例2)
[0201]在上述第一实施方式中，可动反射膜35、导电膜32及保护膜36的平面形状相同。也可以使导电膜32及保护膜36为相同形状，并且为小于可动反射膜35的形状。在光28不通过之处，也可以省略导电膜32及保护膜36。能够减少构成导电膜32及保护膜36的材料的消耗量。同样地，也可以使导电膜38及保护膜45为相同形状，并且为小于固定反射膜44的形状。此时，也能够减少构成导电膜38及保护膜45的材料的消耗量。
[0202](变形例3)
[0203]在上述第一实施方式中，使固定电极46为与固定电极端子47不同的膜。固定电极46也可以与固定电极端子47为一体。由于能够通电即可，因此，可以选择易于制造的方式。同样地，在上述第一实施方式中，使可动电极37为与第二端子16不同的膜。可动电极37也可以与第二端子16为一体。由于能够通电即可，因此，可以选择易于制造的方式。
【主权项】
1.一种滤光器，其特征在于，具备: 固定基板； 可动部，与所述固定基板对向配置； 第一反射膜，设置于所述固定基板； 第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及 间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔， 所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同材质、相同膜厚。2.根据权利要求1所述的滤光器，其特征在于，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同形状。3.根据权利要求1或2所述的滤光器，其特征在于，所述第一导电膜及所述第二导电膜的材质包含镓铟氧化物。4.根据权利要求1至3中任一项所述的滤光器，其特征在于，所述第一反射膜和所述第二反射膜被电连接。5.根据权利要求1至3中任一项所述的滤光器，其特征在于，具备: 第一外部端子，与所述第一反射膜连接；以及 第二外部端子，与所述第二反射膜连接。6.一种光学模块，其特征在于，具备: 权利要求1至5中任一项所述的滤光器；以及 收纳部，收纳所述滤光器。7.一种电子设备，其特征在于， 所述电子设备具备滤光器、以及控制所述滤光器的控制部， 所述滤光器具备: 固定基板； 可动部，与所述固定基板对向配置； 第一反射膜，设置于所述固定基板； 第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及 间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔， 所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同材质、相同膜厚。8.一种滤光器，其特征在于，具备: 固定基板； 可动部，与所述固定基板对向配置； 第一反射膜，设置于所述固定基板； 第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及 间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔， 所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同的应力分布。
【专利摘要】本发明提供了滤光器、光学模块及电子设备，该滤光器具备：固定基板(14)；可动部(13b)，与固定基板(14)对向配置；固定反射膜(44)，设置于固定基板(14)，使光(28)的一部分反射一部分透过；可动反射膜(35)，设置于可动部(13b)，与固定反射膜(44)对向，使光(28)的一部分反射一部分透过；静电致动器(50)，控制固定反射膜(44)和可动反射膜(35)的间隔，固定反射膜(44)被导电膜(38)和保护膜(45)夹着，导电膜(38)和保护膜(45)为相同材质、相同膜厚。并且，可动反射膜(35)被导电膜(32)和保护膜(36)夹着，导电膜(32)和保护膜(36)为相同材质、相同膜厚。
【IPC分类】G02B26/00
【公开号】CN104880817
【申请号】CN201510090065
【发明人】新东晋, 北原浩司, 坂下友树
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2015年9月2日
【申请日】2015年2月27日
【公告号】EP2913700A1, US20150248005