喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备的制造方法
喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制作工艺技术领域，尤其是一种喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备。
【背景技术】
[0002]在制造薄膜晶体管液晶显不器(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，TFT-1XD)的工艺过程中，湿刻工艺的应用十分广泛。随着液晶面板各种制程的不断更新换代，TFT阵列基板的金属线种类也更多，从铝制程到铜制程、银制程，湿刻工艺对产品的性能和良率有着重要的影响。湿刻设备的刻蚀方式主要有两种:浸泡模式和喷淋模式；浸泡模式刻蚀图形的过程容易控制，喷淋模式的刻蚀速率较快。喷淋模式中，刻蚀药液通过喷淋组件喷射到待处理物的表面上，喷射的压力越大，则刻蚀速率也越大。
[0003]图1是现有的一种应用于湿刻设备中的喷淋组件的结构示意图。如图1所示，该喷淋组件I包括一喷淋管Ia以及连接于喷淋管Ia底部的多个喷嘴lb，多个喷嘴Ib呈等间距排列，喷嘴Ib与喷淋管Ia是通过焊接的方式固定连接。刻蚀药液从喷淋管Ia中流入，然后从喷嘴Ib喷射到待处理物的表面上。图2是具有如上所述喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。如图2所示，该湿刻设备包括喷淋单元2，喷淋单元2中包含多个喷淋组件1，其中的多个喷淋管Ia呈相互平行且等间距排列，连接于喷淋管Ia的喷嘴Ib呈阵列分布。待处理物3 (例如沉积有金属薄膜层的玻璃基板)从垂直于或近似垂直于喷淋管Ia长度的方向(X方向)被传送到该喷淋单元2下方，由喷嘴Ib向待处理物3的表面喷射刻蚀药液进行刻蚀。
[0004]在如上结构的湿刻设备中，其中喷嘴Ib与喷淋管Ia是通过焊接的方式固定连接，其所组成的喷淋单元2也是单一和固定，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，只能更换该设备中的所有喷淋组件I (包括喷淋管Ia和喷嘴Ib)，导致生产成本增加。
【发明内容】
[0005]有鉴于此，本发明提供了一种喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，通过调整喷嘴的位置即可提高喷淋的均一性，提高了生产效率，降低了成本。
[0006]为了达到上述目的，本发明采用了如下技术方案:
[0007]一种喷淋组件，包括喷淋管，所述喷淋管的底部开设有多个第一通孔，每一第一通孔中装配有一喷嘴机构，其中，所述喷嘴机构包括一滑块，所述滑块的面积大于所述第一通孔的面积，所述滑块设置于所述喷淋管内并覆盖于所述第一通孔上；所述滑块上连接有一喷嘴，所述喷嘴从所述第一通孔中伸出，所述喷嘴与所述喷淋管流体连通；所述喷嘴机构还包括将所述滑块连接到所述喷淋管的锁紧件，当所述锁紧件锁紧时，所述滑块固定连接到所述喷淋管上；当所述锁紧件松开时，所述滑块可在水平面内移动，以调整所述喷嘴在所述第一通孔中的位置。
[0008]进一步地，所述滑块上朝向所述第一通孔的一侧设置有卡槽，所述第一通孔的边缘设置朝向所述滑块凸起的卡点，所述卡点装配于所述卡槽中。
[0009]进一步地，所述滑块上设置有第二通孔，所述喷嘴可拆卸地连接于所述第二通孔。
[0010]进一步地，所述第二通孔为螺纹孔，所述喷嘴具有与所述螺纹孔适配的第一螺纹部，通过将所述第一螺纹部装配于所述螺纹孔，以使所述喷嘴可拆卸地连接于所述第二通孔中。
[0011]进一步地，所述锁紧件为螺纹锁紧件，所述螺纹锁紧件包括螺栓以及设置于所述滑块上的螺纹通孔或螺纹盲孔，所述螺栓穿过所述第一通孔装配于所述螺纹通孔或螺纹盲孔中，所述螺栓的头部的宽度大于所述第一通孔的宽度。
[0012]进一步地，所述锁紧件为螺纹锁紧件，所述螺纹锁紧件包括一螺栓和一螺帽，所述滑块上设置有第三通孔，所述螺栓依次穿过第三通孔和第一通孔与所述螺帽配合，所述螺帽的宽度大于所述第一通孔的宽度。
[0013]进一步地，所述螺纹锁紧件的数量为至少两个，分别位于所述喷嘴的相对两侧。
[0014]进一步地，所述多个第一通孔等间距地排布于所述喷淋管的底部。
[0015]本发明还提供了一种湿刻设备，包括喷淋单元，其中，所述喷淋单元包括多个如上所述的喷淋组件，多个喷淋组件中的多个喷淋管相互平行地或近于相互平行地排列。
[0016]进一步地，对于所述喷淋单元的多个喷淋组件中，按照喷淋组件的排列方向，第奇数个喷淋组件中的喷嘴位于更接近于第一通孔的第一端，第偶数个喷淋组件中的喷嘴位于更接近于第一通孔的与第一端相对的第二端。
[0017]有益效果:
[0018]本发明实施例提供的喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，通过调整喷嘴的连接位置即可提高喷淋的均一性，提高了生产效率，降低了成本。
【附图说明】
[0019]图1是现有的一种应用于湿刻设备中的喷淋组件的结构示意图。
[0020]图2是具有如图1所示的喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。
[0021]图3是本发明实施例提供的喷淋组件的结构示意图。
[0022]图4是本发明实施例中的喷嘴机构与喷淋管的连接结构示意图。
[0023]图5是如图4所示的连接结构的分解示意图。
[0024]图6是如图4所示的连接结构仰视图。
[0025]图7是另一实施例中的喷嘴机构与喷淋管的连接结构示意图。
[0026]图8是如图7所示的连接结构仰视图。
[0027]图9是具有如图3所示的喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。
[0028]图10是本发明实施例提供的喷淋组件的不同组装方式的示例性图示。
[0029]图11是具有如图10所示的喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。
【具体实施方式】
[0030]下面将结合附图以及具体实施例，对本发明实施例中的技术方案进行详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护范围。
[0031]本实施例首先提供了一种喷淋组件，参阅附图3，该喷淋组件I包括喷淋管10，所述喷淋管10的底部开设有多个第一通孔11，每一第一通孔11中装配有一喷嘴机构12。其中，所述喷嘴机构12包括一滑块121，所述滑块121的面积大于所述第一通孔11的面积，所述滑块121设置于所述喷淋管10内并覆盖于所述第一通孔11上。所述滑块121上连接有一喷嘴122，所述喷嘴122从所述第一通孔11中伸出，所述喷嘴122与所述喷淋管I流体连通。所述喷嘴机构12还包括将所述滑块121连接到所述喷淋管10的锁紧件123，当所述锁紧件123锁紧时，所述滑块121固定连接到所述喷淋管10上；当所述锁紧件123松开时，所述滑块121可在水平面内移动，以调整所述喷嘴122在所述第一通孔11中的位置。进一步地，所述多个第一通孔11等间距地排布于所述喷淋管10的底部。
[0032]具体地，参阅图4，为了防止滑块121在水平面内移动的范围过大(有可能未完全覆盖第一通孔11导致药液泄漏)，在所述滑块121上朝向所述第一通孔11的一侧设置有卡槽1211，所述第一通孔11的边缘设置朝向所述滑块121凸起的卡点111，所述卡点111装配于所述卡槽1211中。设置卡点111和卡槽1211后，滑块121在水平面内的移动受到卡点111阻挡，滑块121的边缘不可移入到第一通孔11中。为了使滑块121能够具有较大的移动范围，卡槽1211在横向和纵向上的宽度应数倍大于卡点111的宽度。
[0033]值得说明的是，滑块121的移动范围的大小，可以根据调整滑块121、第一通孔11、卡槽1211以及卡点111的尺寸来实现，在此不作具体限定。
[0034]具体地，参阅图4和图5，所述滑块121上设置有第二通孔1212，所述喷嘴122可拆卸地连接于所述第二通孔1212。本实施例中，所述第二通孔1212为螺纹孔，所述喷嘴122具有与所述螺纹孔适配的第一螺纹部1221，通过将所述第一螺纹部1221装配于所述螺纹孔，以使所述喷嘴122可拆卸地连接于所述第二通孔1212中，且所述喷嘴122与所述第二通孔1212的连接部位可以增加密封圈等密封结构，以防止喷淋管10内的液体渗出。
[0035]可以理解的是，所述喷嘴122还可以通过焊接或一体成型等其他方式与滑块121固定连接，以随着滑块121的滑动而移动，这种固定连接的方式更能有效防止喷淋管10内的液体渗出。
[0036]具体地，参阅图4至图6，其中，图6是喷机结构与喷淋管的连接结构的仰视图，图4是如图6所示的连接结构中沿AA线的剖面图，图5是如图4所示的连接结构的分解示意图。本实施例中，所述锁紧件123为螺纹锁紧件12 3a，所述螺纹锁紧件123a包括一螺栓1231和一螺帽1233，所述滑块121上设置有第三通孔1213，所述螺栓1231依次穿过第三通孔1213和第一通孔11与所述螺帽1233配合，如图6所示，所述螺帽1233的宽度大于所述第一通孔11的宽度。松开所述螺栓1231和螺帽1233时，滑块121可移动；在将滑块121移动至所需要的位置之后，拧紧所述螺栓1231和螺帽1233，将滑块121紧固连接到喷淋管10的底部上。更具体地，本实施例中，所述螺纹锁紧件123a的数量为2个，分别位于所述喷嘴122的相对两侧。在另外的实施例中，也可以设置有更多个的螺纹锁紧件123a。
[0037]关于螺纹锁紧件123a，在另外的一些实施例中也可以是这样设置，参阅图7和图8，图8是该实施例中喷机结构与喷淋管的连接结构的仰视图，图7是如图8所示的连接结构中沿BB线的剖面图，所述螺纹锁紧件123a包括螺栓1231以及设置于所述滑块121上的螺纹通孔或螺纹盲孔1232(如图7中显示为通孔)，所述螺栓1231穿过所述第一通孔11装配于所述螺纹通孔或螺纹盲孔1232中，所述螺栓1231的头部1234的宽度大于所述第一通孔11的宽度。
[0038]将如上所提供的喷淋组件I应用于湿刻设备中，参阅附图9，该湿刻设备至少包括一喷淋单元400，所述喷淋单元400包括多个如前述提供喷淋组件1，多个喷淋组件I中的多个喷淋管10相互平行地或近于相互平行地排列。如图9所示的，所述喷淋单元400中，多个喷嘴122呈阵列分布。
[0039]如上提供的湿刻设备中，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时或者喷淋单元中的某部分喷嘴损坏时，只需要更换局部的喷嘴即可。
[0040]进一步地，在如图9所示的喷淋单元400，每一个喷淋组件I中的喷嘴122均位于第一通孔11中相同的位置，多个喷嘴122呈方形阵列分布，这样可能会使两列喷嘴之间的喷淋不够均匀。
[0041]为了提高喷淋的均一性，参阅附图10和图11，在另外一个优选的实施例中，将喷淋组件I分为第一类喷淋组件Ic和第二类喷淋组件Id。具体地，如图10所示的，第一类喷淋组件Ic中，喷嘴122位于第一通孔11中的位置更接近于第一通孔11的第一端11a。而第二类喷淋组件Id中，喷嘴122位于第一通孔11中的位置更接近于第一通孔11的第二端Ilbo在此，其中的更接近的含义是从第一类喷淋组件Ic和第二类喷淋组件Id相对比的角度来理解。第一类喷淋组件Ic和第二类喷淋组件Id差别仅在于其中喷嘴122排布的位置有所不同。将第一类喷淋组件Ic和第二类喷淋组件Id应用于湿刻设备中，如图11所示的，该湿刻设备中的喷淋单元400中，交错地排列第一类喷淋组件Ic和第二类喷淋组件ld，例如，本实施例中，奇数行上为第一类喷淋组件lc，偶数行上为第二类喷淋组件Id。最终得到的喷淋单元400中，多个喷嘴122呈阵列分布，以喷淋管10的长度方向为行，以垂直于喷淋管10的长度方向为列，相邻行的喷嘴122相互交错，以使相邻行(第一类喷淋组件Ic和第二类喷淋组件Id之间)的喷嘴122位于不同的列上，间隔一行(两个第一类喷淋组件Ic以及两个第二类喷淋组件Id之间)的喷嘴20位于相同的列上。
[0042]如上提供的喂'淋单兀中，相邻彳丁的喂'嘴相互交错，提尚了喂'淋的均一性，有利于提尚刻蚀工艺的品质。
[0043]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0044]显然，本发明的保护范围并不局限于上诉的【具体实施方式】，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种喷淋组件，包括喷淋管(10)，其特征在于，所述喷淋管(10)的底部开设有多个第一通孔(11)，每一第一通孔(11)中装配有一喷嘴机构(12)，其中， 所述喷嘴机构(12)包括一滑块(121)，所述滑块(121)的面积大于所述第一通孔(11)的面积，所述滑块(121)设置于所述喷淋管(10)内并覆盖于所述第一通孔(11)上；所述滑块(121)上连接有一喷嘴(122)，所述喷嘴(122)从所述第一通孔(11)中伸出，所述喷嘴(122)与所述喷淋管(10)流体连通； 所述喷嘴机构(12)还包括将所述滑块(121)连接到所述喷淋管(10)的锁紧件(123)，当所述锁紧件(123)锁紧时，所述滑块(121)固定连接到所述喷淋管(10)上；当所述锁紧件(123)松开时，所述滑块(121)可在水平面内移动，以调整所述喷嘴(122)在所述第一通孔(11)中的位置。2.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述滑块(121)上朝向所述第一通孔(11)的一侧设置有卡槽(1211)，所述第一通孔(11)的边缘设置朝向所述滑块(121)凸起的卡点(111)，所述卡点(111)装配于所述卡槽(1211)中。3.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述滑块(121)上设置有第二通孔(1212)，所述喷嘴(122)可拆卸地连接于所述第二通孔(1212)。4.根据权利要求3所述的喷淋组件，其特征在于，所述第二通孔(1212)为螺纹孔，所述喷嘴(122)具有与所述螺纹孔适配的第一螺纹部(1221)，通过将所述第一螺纹部(1221)装配于所述螺纹孔，以使所述喷嘴(122)可拆卸地连接于所述第二通孔(1221)中。5.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述锁紧件(123)为螺纹锁紧件(123a)，所述螺纹锁紧件(123a)包括螺栓(1231)以及设置于所述滑块(121)上的螺纹通孔或螺纹盲孔(1232)，所述螺栓(1231)穿过所述第一通孔(11)装配于所述螺纹通孔或螺纹盲孔(1232)中，所述螺栓(1231)的头部(1234)的宽度大于所述第一通孔(11)的宽度。6.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述锁紧件(123)为螺纹锁紧件(123a)，所述螺纹锁紧件(123a)包括一螺栓(1231)和一螺帽(1233)，所述滑块(121)上设置有第三通孔(1213)，所述螺栓(1231)依次穿过第三通孔(1213)和第一通孔(11)与所述螺帽(1233)配合，所述螺帽(1233)的宽度大于所述第一通孔(11)的宽度。7.根据权利要求5或6所述的喷淋组件，其特征在于，所述螺纹锁紧件(123a)的数量为至少两个，分别位于所述喷嘴(122)的相对两侧。8.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述多个第一通孔(11)等间距地排布于所述喷淋管(10)的底部。9.一种湿刻设备，包括喷淋单元，其特征在于，所述喷淋单元(400)包括多个如权利要求1-8任一所述的喷淋组件(I)，多个喷淋组件(I)中的多个喷淋管(10)相互平行地或近于相互平行地排列。10.根据权利要求9所述的湿刻设备，其特征在于，对于所述喷淋单元(400)的多个喷淋组件(I)中，按照喷淋组件(11)的排列方向，第奇数个喷淋组件(Ic)中的喷嘴(122)位于更接近于第一通孔(11)的第一端(11a)，第偶数个喷淋组件(Id)中的喷嘴(122)位于更接近于第一通孔(11)的与第一端(Ila)相对的第二端(11b)。
【专利摘要】本发明公开了一种喷淋组件，包括喷淋管，所述喷淋管的底部开设有多个第一通孔，每一第一通孔中装配有一喷嘴机构，其中，所述喷嘴机构包括一滑块，所述滑块的面积大于所述第一通孔的面积，所述滑块设置于所述喷淋管内并覆盖于所述第一通孔上；所述滑块上连接有一喷嘴，所述喷嘴从所述第一通孔中伸出；所述喷嘴机构还包括将所述滑块连接到所述喷淋管的锁紧件，当所述锁紧件松开时，所述滑块可在水平面内移动，以调整所述喷嘴在所述第一通孔中的位置。本发明还公开了一种湿刻设备，包括喷淋单元，所述喷淋单元包括多个如上所述的喷淋组件，多个喷淋组件中的多个喷淋管相互平行地或近于相互平行地排列。
【IPC分类】B05B15/06, B05B13/02, H01L21/67
【公开号】CN104888996
【申请号】CN201510368699
【发明人】李嘉
【申请人】深圳市华星光电技术有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年6月29日
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制作工艺技术领域，尤其是一种喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备。
【背景技术】
[0002]在制造薄膜晶体管液晶显不器(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，TFT-1XD)的工艺过程中，湿刻工艺的应用十分广泛。随着液晶面板各种制程的不断更新换代，TFT阵列基板的金属线种类也更多，从铝制程到铜制程、银制程，湿刻工艺对产品的性能和良率有着重要的影响。湿刻设备的刻蚀方式主要有两种:浸泡模式和喷淋模式；浸泡模式刻蚀图形的过程容易控制，喷淋模式的刻蚀速率较快。喷淋模式中，刻蚀药液通过喷淋组件喷射到待处理物的表面上，喷射的压力越大，则刻蚀速率也越大。
[0003]图1是现有的一种应用于湿刻设备中的喷淋组件的结构示意图。如图1所示，该喷淋组件I包括一喷淋管Ia以及连接于喷淋管Ia底部的多个喷嘴lb，多个喷嘴Ib呈等间距排列，喷嘴Ib与喷淋管Ia是通过焊接的方式固定连接。刻蚀药液从喷淋管Ia中流入，然后从喷嘴Ib喷射到待处理物的表面上。图2是具有如上所述喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。如图2所示，该湿刻设备包括喷淋单元2，喷淋单元2中包含多个喷淋组件1，其中的多个喷淋管Ia呈相互平行且等间距排列，连接于喷淋管Ia的喷嘴Ib呈阵列分布。待处理物3 (例如沉积有金属薄膜层的玻璃基板)从垂直于或近似垂直于喷淋管Ia长度的方向(X方向)被传送到该喷淋单元2下方，由喷嘴Ib向待处理物3的表面喷射刻蚀药液进行刻蚀。
[0004]在如上结构的湿刻设备中，其中喷嘴Ib与喷淋管Ia是通过焊接的方式固定连接，其所组成的喷淋单元2也是单一和固定，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，只能更换该设备中的所有喷淋组件I (包括喷淋管Ia和喷嘴Ib)，导致生产成本增加。
【发明内容】
[0005]有鉴于此，本发明提供了一种喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，通过调整喷嘴的位置即可提高喷淋的均一性，提高了生产效率，降低了成本。
[0006]为了达到上述目的，本发明采用了如下技术方案:
[0007]一种喷淋组件，包括喷淋管，所述喷淋管的底部开设有多个第一通孔，每一第一通孔中装配有一喷嘴机构，其中，所述喷嘴机构包括一滑块，所述滑块的面积大于所述第一通孔的面积，所述滑块设置于所述喷淋管内并覆盖于所述第一通孔上；所述滑块上连接有一喷嘴，所述喷嘴从所述第一通孔中伸出，所述喷嘴与所述喷淋管流体连通；所述喷嘴机构还包括将所述滑块连接到所述喷淋管的锁紧件，当所述锁紧件锁紧时，所述滑块固定连接到所述喷淋管上；当所述锁紧件松开时，所述滑块可在水平面内移动，以调整所述喷嘴在所述第一通孔中的位置。
[0008]进一步地，所述滑块上朝向所述第一通孔的一侧设置有卡槽，所述第一通孔的边缘设置朝向所述滑块凸起的卡点，所述卡点装配于所述卡槽中。
[0009]进一步地，所述滑块上设置有第二通孔，所述喷嘴可拆卸地连接于所述第二通孔。
[0010]进一步地，所述第二通孔为螺纹孔，所述喷嘴具有与所述螺纹孔适配的第一螺纹部，通过将所述第一螺纹部装配于所述螺纹孔，以使所述喷嘴可拆卸地连接于所述第二通孔中。
[0011]进一步地，所述锁紧件为螺纹锁紧件，所述螺纹锁紧件包括螺栓以及设置于所述滑块上的螺纹通孔或螺纹盲孔，所述螺栓穿过所述第一通孔装配于所述螺纹通孔或螺纹盲孔中，所述螺栓的头部的宽度大于所述第一通孔的宽度。
[0012]进一步地，所述锁紧件为螺纹锁紧件，所述螺纹锁紧件包括一螺栓和一螺帽，所述滑块上设置有第三通孔，所述螺栓依次穿过第三通孔和第一通孔与所述螺帽配合，所述螺帽的宽度大于所述第一通孔的宽度。
[0013]进一步地，所述螺纹锁紧件的数量为至少两个，分别位于所述喷嘴的相对两侧。
[0014]进一步地，所述多个第一通孔等间距地排布于所述喷淋管的底部。
[0015]本发明还提供了一种湿刻设备，包括喷淋单元，其中，所述喷淋单元包括多个如上所述的喷淋组件，多个喷淋组件中的多个喷淋管相互平行地或近于相互平行地排列。
[0016]进一步地，对于所述喷淋单元的多个喷淋组件中，按照喷淋组件的排列方向，第奇数个喷淋组件中的喷嘴位于更接近于第一通孔的第一端，第偶数个喷淋组件中的喷嘴位于更接近于第一通孔的与第一端相对的第二端。
[0017]有益效果:
[0018]本发明实施例提供的喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，通过调整喷嘴的连接位置即可提高喷淋的均一性，提高了生产效率，降低了成本。
【附图说明】
[0019]图1是现有的一种应用于湿刻设备中的喷淋组件的结构示意图。
[0020]图2是具有如图1所示的喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。
[0021]图3是本发明实施例提供的喷淋组件的结构示意图。
[0022]图4是本发明实施例中的喷嘴机构与喷淋管的连接结构示意图。
[0023]图5是如图4所示的连接结构的分解示意图。
[0024]图6是如图4所示的连接结构仰视图。
[0025]图7是另一实施例中的喷嘴机构与喷淋管的连接结构示意图。
[0026]图8是如图7所示的连接结构仰视图。
[0027]图9是具有如图3所示的喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。
[0028]图10是本发明实施例提供的喷淋组件的不同组装方式的示例性图示。
[0029]图11是具有如图10所示的喷淋组件的湿刻设备的示例性图示。
【具体实施方式】
[0030]下面将结合附图以及具体实施例，对本发明实施例中的技术方案进行详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护范围。
[0031]本实施例首先提供了一种喷淋组件，参阅附图3，该喷淋组件I包括喷淋管10，所述喷淋管10的底部开设有多个第一通孔11，每一第一通孔11中装配有一喷嘴机构12。其中，所述喷嘴机构12包括一滑块121，所述滑块121的面积大于所述第一通孔11的面积，所述滑块121设置于所述喷淋管10内并覆盖于所述第一通孔11上。所述滑块121上连接有一喷嘴122，所述喷嘴122从所述第一通孔11中伸出，所述喷嘴122与所述喷淋管I流体连通。所述喷嘴机构12还包括将所述滑块121连接到所述喷淋管10的锁紧件123，当所述锁紧件123锁紧时，所述滑块121固定连接到所述喷淋管10上；当所述锁紧件123松开时，所述滑块121可在水平面内移动，以调整所述喷嘴122在所述第一通孔11中的位置。进一步地，所述多个第一通孔11等间距地排布于所述喷淋管10的底部。
[0032]具体地，参阅图4，为了防止滑块121在水平面内移动的范围过大(有可能未完全覆盖第一通孔11导致药液泄漏)，在所述滑块121上朝向所述第一通孔11的一侧设置有卡槽1211，所述第一通孔11的边缘设置朝向所述滑块121凸起的卡点111，所述卡点111装配于所述卡槽1211中。设置卡点111和卡槽1211后，滑块121在水平面内的移动受到卡点111阻挡，滑块121的边缘不可移入到第一通孔11中。为了使滑块121能够具有较大的移动范围，卡槽1211在横向和纵向上的宽度应数倍大于卡点111的宽度。
[0033]值得说明的是，滑块121的移动范围的大小，可以根据调整滑块121、第一通孔11、卡槽1211以及卡点111的尺寸来实现，在此不作具体限定。
[0034]具体地，参阅图4和图5，所述滑块121上设置有第二通孔1212，所述喷嘴122可拆卸地连接于所述第二通孔1212。本实施例中，所述第二通孔1212为螺纹孔，所述喷嘴122具有与所述螺纹孔适配的第一螺纹部1221，通过将所述第一螺纹部1221装配于所述螺纹孔，以使所述喷嘴122可拆卸地连接于所述第二通孔1212中，且所述喷嘴122与所述第二通孔1212的连接部位可以增加密封圈等密封结构，以防止喷淋管10内的液体渗出。
[0035]可以理解的是，所述喷嘴122还可以通过焊接或一体成型等其他方式与滑块121固定连接，以随着滑块121的滑动而移动，这种固定连接的方式更能有效防止喷淋管10内的液体渗出。
[0036]具体地，参阅图4至图6，其中，图6是喷机结构与喷淋管的连接结构的仰视图，图4是如图6所示的连接结构中沿AA线的剖面图，图5是如图4所示的连接结构的分解示意图。本实施例中，所述锁紧件123为螺纹锁紧件12 3a，所述螺纹锁紧件123a包括一螺栓1231和一螺帽1233，所述滑块121上设置有第三通孔1213，所述螺栓1231依次穿过第三通孔1213和第一通孔11与所述螺帽1233配合，如图6所示，所述螺帽1233的宽度大于所述第一通孔11的宽度。松开所述螺栓1231和螺帽1233时，滑块121可移动；在将滑块121移动至所需要的位置之后，拧紧所述螺栓1231和螺帽1233，将滑块121紧固连接到喷淋管10的底部上。更具体地，本实施例中，所述螺纹锁紧件123a的数量为2个，分别位于所述喷嘴122的相对两侧。在另外的实施例中，也可以设置有更多个的螺纹锁紧件123a。
[0037]关于螺纹锁紧件123a，在另外的一些实施例中也可以是这样设置，参阅图7和图8，图8是该实施例中喷机结构与喷淋管的连接结构的仰视图，图7是如图8所示的连接结构中沿BB线的剖面图，所述螺纹锁紧件123a包括螺栓1231以及设置于所述滑块121上的螺纹通孔或螺纹盲孔1232(如图7中显示为通孔)，所述螺栓1231穿过所述第一通孔11装配于所述螺纹通孔或螺纹盲孔1232中，所述螺栓1231的头部1234的宽度大于所述第一通孔11的宽度。
[0038]将如上所提供的喷淋组件I应用于湿刻设备中，参阅附图9，该湿刻设备至少包括一喷淋单元400，所述喷淋单元400包括多个如前述提供喷淋组件1，多个喷淋组件I中的多个喷淋管10相互平行地或近于相互平行地排列。如图9所示的，所述喷淋单元400中，多个喷嘴122呈阵列分布。
[0039]如上提供的湿刻设备中，其中喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时或者喷淋单元中的某部分喷嘴损坏时，只需要更换局部的喷嘴即可。
[0040]进一步地，在如图9所示的喷淋单元400，每一个喷淋组件I中的喷嘴122均位于第一通孔11中相同的位置，多个喷嘴122呈方形阵列分布，这样可能会使两列喷嘴之间的喷淋不够均匀。
[0041]为了提高喷淋的均一性，参阅附图10和图11，在另外一个优选的实施例中，将喷淋组件I分为第一类喷淋组件Ic和第二类喷淋组件Id。具体地，如图10所示的，第一类喷淋组件Ic中，喷嘴122位于第一通孔11中的位置更接近于第一通孔11的第一端11a。而第二类喷淋组件Id中，喷嘴122位于第一通孔11中的位置更接近于第一通孔11的第二端Ilbo在此，其中的更接近的含义是从第一类喷淋组件Ic和第二类喷淋组件Id相对比的角度来理解。第一类喷淋组件Ic和第二类喷淋组件Id差别仅在于其中喷嘴122排布的位置有所不同。将第一类喷淋组件Ic和第二类喷淋组件Id应用于湿刻设备中，如图11所示的，该湿刻设备中的喷淋单元400中，交错地排列第一类喷淋组件Ic和第二类喷淋组件ld，例如，本实施例中，奇数行上为第一类喷淋组件lc，偶数行上为第二类喷淋组件Id。最终得到的喷淋单元400中，多个喷嘴122呈阵列分布，以喷淋管10的长度方向为行，以垂直于喷淋管10的长度方向为列，相邻行的喷嘴122相互交错，以使相邻行(第一类喷淋组件Ic和第二类喷淋组件Id之间)的喷嘴122位于不同的列上，间隔一行(两个第一类喷淋组件Ic以及两个第二类喷淋组件Id之间)的喷嘴20位于相同的列上。
[0042]如上提供的喂'淋单兀中，相邻彳丁的喂'嘴相互交错，提尚了喂'淋的均一性，有利于提尚刻蚀工艺的品质。
[0043]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0044]显然，本发明的保护范围并不局限于上诉的【具体实施方式】，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种喷淋组件，包括喷淋管(10)，其特征在于，所述喷淋管(10)的底部开设有多个第一通孔(11)，每一第一通孔(11)中装配有一喷嘴机构(12)，其中， 所述喷嘴机构(12)包括一滑块(121)，所述滑块(121)的面积大于所述第一通孔(11)的面积，所述滑块(121)设置于所述喷淋管(10)内并覆盖于所述第一通孔(11)上；所述滑块(121)上连接有一喷嘴(122)，所述喷嘴(122)从所述第一通孔(11)中伸出，所述喷嘴(122)与所述喷淋管(10)流体连通； 所述喷嘴机构(12)还包括将所述滑块(121)连接到所述喷淋管(10)的锁紧件(123)，当所述锁紧件(123)锁紧时，所述滑块(121)固定连接到所述喷淋管(10)上；当所述锁紧件(123)松开时，所述滑块(121)可在水平面内移动，以调整所述喷嘴(122)在所述第一通孔(11)中的位置。2.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述滑块(121)上朝向所述第一通孔(11)的一侧设置有卡槽(1211)，所述第一通孔(11)的边缘设置朝向所述滑块(121)凸起的卡点(111)，所述卡点(111)装配于所述卡槽(1211)中。3.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述滑块(121)上设置有第二通孔(1212)，所述喷嘴(122)可拆卸地连接于所述第二通孔(1212)。4.根据权利要求3所述的喷淋组件，其特征在于，所述第二通孔(1212)为螺纹孔，所述喷嘴(122)具有与所述螺纹孔适配的第一螺纹部(1221)，通过将所述第一螺纹部(1221)装配于所述螺纹孔，以使所述喷嘴(122)可拆卸地连接于所述第二通孔(1221)中。5.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述锁紧件(123)为螺纹锁紧件(123a)，所述螺纹锁紧件(123a)包括螺栓(1231)以及设置于所述滑块(121)上的螺纹通孔或螺纹盲孔(1232)，所述螺栓(1231)穿过所述第一通孔(11)装配于所述螺纹通孔或螺纹盲孔(1232)中，所述螺栓(1231)的头部(1234)的宽度大于所述第一通孔(11)的宽度。6.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述锁紧件(123)为螺纹锁紧件(123a)，所述螺纹锁紧件(123a)包括一螺栓(1231)和一螺帽(1233)，所述滑块(121)上设置有第三通孔(1213)，所述螺栓(1231)依次穿过第三通孔(1213)和第一通孔(11)与所述螺帽(1233)配合，所述螺帽(1233)的宽度大于所述第一通孔(11)的宽度。7.根据权利要求5或6所述的喷淋组件，其特征在于，所述螺纹锁紧件(123a)的数量为至少两个，分别位于所述喷嘴(122)的相对两侧。8.根据权利要求1所述的喷淋组件，其特征在于，所述多个第一通孔(11)等间距地排布于所述喷淋管(10)的底部。9.一种湿刻设备，包括喷淋单元，其特征在于，所述喷淋单元(400)包括多个如权利要求1-8任一所述的喷淋组件(I)，多个喷淋组件(I)中的多个喷淋管(10)相互平行地或近于相互平行地排列。10.根据权利要求9所述的湿刻设备，其特征在于，对于所述喷淋单元(400)的多个喷淋组件(I)中，按照喷淋组件(11)的排列方向，第奇数个喷淋组件(Ic)中的喷嘴(122)位于更接近于第一通孔(11)的第一端(11a)，第偶数个喷淋组件(Id)中的喷嘴(122)位于更接近于第一通孔(11)的与第一端(Ila)相对的第二端(11b)。
【专利摘要】本发明公开了一种喷淋组件，包括喷淋管，所述喷淋管的底部开设有多个第一通孔，每一第一通孔中装配有一喷嘴机构，其中，所述喷嘴机构包括一滑块，所述滑块的面积大于所述第一通孔的面积，所述滑块设置于所述喷淋管内并覆盖于所述第一通孔上；所述滑块上连接有一喷嘴，所述喷嘴从所述第一通孔中伸出；所述喷嘴机构还包括将所述滑块连接到所述喷淋管的锁紧件，当所述锁紧件松开时，所述滑块可在水平面内移动，以调整所述喷嘴在所述第一通孔中的位置。本发明还公开了一种湿刻设备，包括喷淋单元，所述喷淋单元包括多个如上所述的喷淋组件，多个喷淋组件中的多个喷淋管相互平行地或近于相互平行地排列。
【IPC分类】B05B15/06, B05B13/02, H01L21/67
【公开号】CN104888996
【申请号】CN201510368699
【发明人】李嘉
【申请人】深圳市华星光电技术有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年6月29日
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