浸泡式玻璃基板蚀刻机的制作方法
浸泡式玻璃基板蚀刻机的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示器的制程领域，尤其涉及一种浸泡式玻璃基板蚀刻机。
【背景技术】
[0002]在显示技术领域，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)具有机身薄、省点、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用，如:移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本屏幕等。
[0003]薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)液晶显示器一般包括壳体、设于壳体内的液晶面板及设于壳体内的背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，通过玻璃基板通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。
[0004]上述TFT-1XD的制程一般包括:前段阵列(Array)制程、中段成盒(Cell)制程、及后段模组组装制程。前段阵列制程又包括:玻璃基板的清洗与干燥、镀膜、涂光刻胶、曝光、显影、蚀刻、去除光刻胶等制程。
[0005]受限于前段制程，玻璃基板厂商所能提供的玻璃基板厚度只能到0.5mm，而显示产品要求玻璃基板的厚度已经达到了 0.3mm甚至更薄。因此，需要对平板玻璃基板进行减薄工艺，即将已成盒后的双面玻璃基板通过物理或化学方法去除一层而实现减薄。其中，化学方法即化学蚀刻，通常采用浸泡方式将玻璃基板完全进入蚀刻药液进行蚀刻。
[0006]请参阅如图1，现有的玻璃基板的浸泡式蚀刻机100仅底部有鼓泡(bubble)机构110带动槽液循环，但此底部bubble机构110不能均匀将玻璃表面的反应生成物(Sludge)及时清除，且玻璃表面蚀刻液替换率低，一旦底部bubble机构110变形或者其中的部分孔位111堵塞，将导致蚀刻异常，如蚀刻后的玻璃基板上产生水波纹、或者蚀刻后的玻璃基板的厚度异常。再者，随玻璃世代增加，需要进行薄化工艺的玻璃尺寸不断增加，G5.1世代的玻璃尺寸相较于G4.5代已由730mm*920mm增加到了 1200mm*1300mm，对于现有的浸泡式蚀刻方式，仅通过底部bubble机构来带动整体槽液循环的难度增加，相应蚀刻异常的风险也在增加。
【发明内容】
[0007]本发明的目的在于提供一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，设备内设置有多层鼓泡板，强化设备内槽液循环，使得玻璃表面的生成物能及时去除，并能够使槽液内循环更加均匀。
[0008]为实现上述目的，本发明提供一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，包括一槽体、位于所述槽体底部的底部鼓泡板、置于所述槽体内并位于所述底部鼓泡板上的内框、及位于内框内的数层间隔设置的内框鼓泡板；
[0009]所述底部鼓泡板与内框鼓泡板分别包括数条鼓泡管道，所述鼓泡管道具有多个鼓泡孔。
[0010]所述内框的相对两侧壁上分别沿竖直方向间隔设置有数个横向固定条，所述相对两侧壁上的数个横向固定条分别相对设置。
[0011]所述横向固定条朝向内框内部的侧面上沿所述横向固定条的延伸方向设有数个间隔设置的第一凹槽，所述第一凹槽用于固定待蚀刻的玻璃基板。
[0012]所述横向固定条的上端面上沿所述横向固定条的延伸方向设有数个间隔设置的第二凹槽，所述第二凹槽用于固定所述内框鼓泡板。
[0013]所述内框鼓泡板的数条鼓泡管道分别卡设于所述横向固定条上的数个第二凹槽中，从而使所述内框鼓泡板固定在所述横向固定条上。
[0014]所述横向固定条与所述内框之间为固定连接，所述内框鼓泡板与所述横向固定条之间为固定连接。
[0015]所述第一凹槽与所述第二凹槽在所述横向固定条上交错设置。
[0016]所述鼓泡管道上的鼓泡孔的气孔开口向下。
[0017]所述多个鼓泡孔沿鼓泡管道均匀分布，且每一鼓泡孔均为圆形鼓泡孔。
[0018]所述内框鼓泡板还包括与所述内框鼓泡板的数条鼓泡管道相连接的外管路支架，所述内框侧壁外相对于所述横向固定条的位置设置有外延承载结构，所述外延承载结构用于承载所述外管路支架。
[0019]本发明的有益效果:本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机，通过在内框内设置多层鼓泡板，相较于现有蚀刻机中仅底部设有鼓泡板的结构，能够强化槽内槽液循环，使玻璃基板表面产生的生成物被及时去除，并能够使槽内槽液循环更加均匀，避免水波纹及厚度蚀刻异常的产生。
[0020]为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
【附图说明】
[0021]下面结合附图，通过对本发明的【具体实施方式】详细描述，将使本发明的技术方案及其他有益效果显而易见。
[0022]附图中，
[0023]图1为现有的浸泡式玻璃基板蚀刻机的立体结构示意图；
[0024]图2为本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机的立体结构示意图；
[0025]图3为本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机中的横向固定条的立体结构示意图；
[0026]图4为本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机中的横向固定条的正视图；
[0027]图5为本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机中的横向固定条的俯视图；
[0028]图6为图2的浸泡式玻璃基板蚀刻机中的单层内框鼓泡板的俯视图。
【具体实施方式】
[0029]为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的实施例及其附图进行详细描述。
[0030]请参阅图2-6，本发明提供一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，包括一槽体10、位于所述槽体10底部的底部鼓泡板20、置于所述槽体10内并位于所述底部鼓泡板20上的内框30、及位于内框30内的数层间隔设置的内框鼓泡板40 ;
[0031]所述底部鼓泡板20与内框鼓泡板40均包括数条鼓泡管道，所述鼓泡管道上具有均匀分布的圆形鼓泡孔；
[0032]具体地，所述鼓泡管道上的圆形鼓泡孔的气孔开口 向下。所述内框30的相对两侧壁上分别设有数个沿竖直方向间隔设置的横向固定条31，所述相对两侧壁上的数个横向固定条31分别对应设置。
[0033]所述横向固定条31朝向内框30内部的侧面上沿所述横向固定条31的延伸方向设有数个间隔设置的第一凹槽311，所述第一凹槽311用于固定待蚀刻的玻璃基板。
[0034]所述横向固定条31的上端面上沿所述固定条31的延伸方向设有数个间隔设置的第二凹槽312，所述第二凹槽312用于固定所述内框鼓泡板40 ;具体的，所述内框鼓泡板40的数条鼓泡管道分别卡设于所述横向固定条31上的数个第二凹槽312中，从而使所述内框鼓泡板40固定在横向固定条31上。
[0035]优选的，所述横向固定条31与所述内框30之间为固定连接，所述内框鼓泡板40与所述横向固定条31之间为固定连接，使得所述内框鼓泡板40直接安装及固定在内框30上，无需每批次拆装。
[0036]具体的，使用时，在内框30中放入玻璃基板后，玻璃基板的两侧边分别卡入内框30的相对两侧壁上的多个横向固定条31上开设的第一凹槽311内以实现固定。由于所述第一凹槽311与所述第二凹槽312在所述横向固定条31上交错设置，使得固定后的玻璃基板与每层内框鼓泡板40的鼓泡管道相交错。结合图6，即每一玻璃基板均位于每层内框鼓泡板40的两条相邻鼓泡管道之间，在本实施例中，玻璃基板所在的平面几乎垂直于内框鼓泡板40所在的平面。
[0037]在实际应用中，所述内框鼓泡板40的层数可依据实际槽体结构、及玻璃基板尺寸进行调整，图2所示的实施例以所述内框鼓泡板40为三层进行说明。
[0038]请参阅图6，所述内框鼓泡板40还包括与所述内框鼓泡板40的数条鼓泡管道相连通的外管路支架50，所述内框30侧壁外相对于所述横向固定条31的位置设置有外延承载结构32，所述外延承载结构32用于承载所述外管路支架50。所述内框鼓泡板40还包括分别与所述内框鼓泡板40的数条鼓泡管道两端的外管路支架50相连通的输入管路支架与输出管路支架。
[0039]外管路支架50在本发明中为中空管道结构，用于连通单层内框鼓泡板40中的所有鼓泡管道。具体的，每一鼓泡管道的两端均通过外管路支架50与输入管路支架或输出管路支架连通。同样，输入管路支架和输出管路支架为中空管道结构。
[0040]综上所述，本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机，通过在内框内设置多层鼓泡板，相较于现有蚀刻机中仅底部设有鼓泡板的结构，能够强化槽内槽液循环，使玻璃基板表面产生的生成物被及时去除，并能够使槽内槽液循环更加均匀，避免水波纹及厚度蚀刻异常的产生。
[0041]以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，包括一槽体(10)、位于所述槽体(10)底部的底部鼓泡板(20)、置于所述槽体(10)内并位于所述底部鼓泡板(20)上的内框(30)、及位于内框(30)内的数层间隔设置的内框鼓泡板(40); 所述底部鼓泡板(20)与内框鼓泡板(40)分别包括数条鼓泡管道，所述鼓泡管道具有多个鼓泡孔。2.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述内框(30)的相对两侧壁上分别沿竖直方向间隔设置有数个横向固定条(31)，所述相对两侧壁上的数个横向固定条(31)分别相对设置。3.如权利要求2所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述横向固定条(31)朝向内框(30)内部的侧面上沿所述横向固定条(31)的延伸方向设有数个间隔设置的第一凹槽(311)，所述第一凹槽(311)用于固定待蚀刻的玻璃基板。4.如权利要求3所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述横向固定条(31)的上端面上沿所述横向固定条(31)的延伸方向设有数个间隔设置的第二凹槽(312)，所述第二凹槽(312)用于固定所述内框鼓泡板(40)。5.如权利要求4所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述内框鼓泡板(40)的数条鼓泡管道分别卡设于所述横向固定条(31)上的数个第二凹槽(312)中，从而使所述内框鼓泡板(40)固定在所述横向固定条(31)上。6.如权利要求2所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述横向固定条(31)与所述内框(30)之间为固定连接，所述内框鼓泡板(40)与所述横向固定条(31)之间为固定连接。7.如权利要求4所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述第一凹槽(311)与所述第二凹槽(312)在所述横向固定条(31)上交错设置。8.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述鼓泡管道上的鼓泡孔的气孔开口向下。9.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述多个鼓泡孔沿鼓泡管道均匀分布，且每一鼓泡孔均为圆形鼓泡孔。10.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述内框鼓泡板(40)还包括与所述内框鼓泡板(40)的数条鼓泡管道相连接的外管路支架(50)，所述内框(30)侧壁外相对于所述横向固定条(31)的位置设置有外延承载结构(32)，所述外延承载结构(32)用于承载所述外管路支架(50)。
【专利摘要】本发明提供一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，包括一槽体(10)、位于所述槽体(10)底部的底部鼓泡板(20)、置于所述槽体(10)内并位于所述底部鼓泡板(20)上的内框(30)、及位于内框(30)内的数层间隔设置的内框鼓泡板(40)；相较于现有蚀刻机中仅底部设有鼓泡板的结构，能够强化槽内槽液循环，使玻璃基板表面产生的生成物被及时去除，并能够使槽内槽液循环更加均匀，避免水波纹及厚度蚀刻异常的产生。
【IPC分类】C03C15/00
【公开号】CN104891817
【申请号】CN201510314348
【发明人】刘亮, 尹德胜
【申请人】武汉华星光电技术有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年6月9日
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示器的制程领域，尤其涉及一种浸泡式玻璃基板蚀刻机。
【背景技术】
[0002]在显示技术领域，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)具有机身薄、省点、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用，如:移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本屏幕等。
[0003]薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)液晶显示器一般包括壳体、设于壳体内的液晶面板及设于壳体内的背光模组(backlight module)。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，通过玻璃基板通电与否来控制液晶分子改变方向，将背光模组的光线折射出来产生画面。
[0004]上述TFT-1XD的制程一般包括:前段阵列(Array)制程、中段成盒(Cell)制程、及后段模组组装制程。前段阵列制程又包括:玻璃基板的清洗与干燥、镀膜、涂光刻胶、曝光、显影、蚀刻、去除光刻胶等制程。
[0005]受限于前段制程，玻璃基板厂商所能提供的玻璃基板厚度只能到0.5mm，而显示产品要求玻璃基板的厚度已经达到了 0.3mm甚至更薄。因此，需要对平板玻璃基板进行减薄工艺，即将已成盒后的双面玻璃基板通过物理或化学方法去除一层而实现减薄。其中，化学方法即化学蚀刻，通常采用浸泡方式将玻璃基板完全进入蚀刻药液进行蚀刻。
[0006]请参阅如图1，现有的玻璃基板的浸泡式蚀刻机100仅底部有鼓泡(bubble)机构110带动槽液循环，但此底部bubble机构110不能均匀将玻璃表面的反应生成物(Sludge)及时清除，且玻璃表面蚀刻液替换率低，一旦底部bubble机构110变形或者其中的部分孔位111堵塞，将导致蚀刻异常，如蚀刻后的玻璃基板上产生水波纹、或者蚀刻后的玻璃基板的厚度异常。再者，随玻璃世代增加，需要进行薄化工艺的玻璃尺寸不断增加，G5.1世代的玻璃尺寸相较于G4.5代已由730mm*920mm增加到了 1200mm*1300mm，对于现有的浸泡式蚀刻方式，仅通过底部bubble机构来带动整体槽液循环的难度增加，相应蚀刻异常的风险也在增加。
【发明内容】
[0007]本发明的目的在于提供一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，设备内设置有多层鼓泡板，强化设备内槽液循环，使得玻璃表面的生成物能及时去除，并能够使槽液内循环更加均匀。
[0008]为实现上述目的，本发明提供一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，包括一槽体、位于所述槽体底部的底部鼓泡板、置于所述槽体内并位于所述底部鼓泡板上的内框、及位于内框内的数层间隔设置的内框鼓泡板；
[0009]所述底部鼓泡板与内框鼓泡板分别包括数条鼓泡管道，所述鼓泡管道具有多个鼓泡孔。
[0010]所述内框的相对两侧壁上分别沿竖直方向间隔设置有数个横向固定条，所述相对两侧壁上的数个横向固定条分别相对设置。
[0011]所述横向固定条朝向内框内部的侧面上沿所述横向固定条的延伸方向设有数个间隔设置的第一凹槽，所述第一凹槽用于固定待蚀刻的玻璃基板。
[0012]所述横向固定条的上端面上沿所述横向固定条的延伸方向设有数个间隔设置的第二凹槽，所述第二凹槽用于固定所述内框鼓泡板。
[0013]所述内框鼓泡板的数条鼓泡管道分别卡设于所述横向固定条上的数个第二凹槽中，从而使所述内框鼓泡板固定在所述横向固定条上。
[0014]所述横向固定条与所述内框之间为固定连接，所述内框鼓泡板与所述横向固定条之间为固定连接。
[0015]所述第一凹槽与所述第二凹槽在所述横向固定条上交错设置。
[0016]所述鼓泡管道上的鼓泡孔的气孔开口向下。
[0017]所述多个鼓泡孔沿鼓泡管道均匀分布，且每一鼓泡孔均为圆形鼓泡孔。
[0018]所述内框鼓泡板还包括与所述内框鼓泡板的数条鼓泡管道相连接的外管路支架，所述内框侧壁外相对于所述横向固定条的位置设置有外延承载结构，所述外延承载结构用于承载所述外管路支架。
[0019]本发明的有益效果:本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机，通过在内框内设置多层鼓泡板，相较于现有蚀刻机中仅底部设有鼓泡板的结构，能够强化槽内槽液循环，使玻璃基板表面产生的生成物被及时去除，并能够使槽内槽液循环更加均匀，避免水波纹及厚度蚀刻异常的产生。
[0020]为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
【附图说明】
[0021]下面结合附图，通过对本发明的【具体实施方式】详细描述，将使本发明的技术方案及其他有益效果显而易见。
[0022]附图中，
[0023]图1为现有的浸泡式玻璃基板蚀刻机的立体结构示意图；
[0024]图2为本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机的立体结构示意图；
[0025]图3为本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机中的横向固定条的立体结构示意图；
[0026]图4为本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机中的横向固定条的正视图；
[0027]图5为本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机中的横向固定条的俯视图；
[0028]图6为图2的浸泡式玻璃基板蚀刻机中的单层内框鼓泡板的俯视图。
【具体实施方式】
[0029]为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的实施例及其附图进行详细描述。
[0030]请参阅图2-6，本发明提供一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，包括一槽体10、位于所述槽体10底部的底部鼓泡板20、置于所述槽体10内并位于所述底部鼓泡板20上的内框30、及位于内框30内的数层间隔设置的内框鼓泡板40 ;
[0031]所述底部鼓泡板20与内框鼓泡板40均包括数条鼓泡管道，所述鼓泡管道上具有均匀分布的圆形鼓泡孔；
[0032]具体地，所述鼓泡管道上的圆形鼓泡孔的气孔开口 向下。所述内框30的相对两侧壁上分别设有数个沿竖直方向间隔设置的横向固定条31，所述相对两侧壁上的数个横向固定条31分别对应设置。
[0033]所述横向固定条31朝向内框30内部的侧面上沿所述横向固定条31的延伸方向设有数个间隔设置的第一凹槽311，所述第一凹槽311用于固定待蚀刻的玻璃基板。
[0034]所述横向固定条31的上端面上沿所述固定条31的延伸方向设有数个间隔设置的第二凹槽312，所述第二凹槽312用于固定所述内框鼓泡板40 ;具体的，所述内框鼓泡板40的数条鼓泡管道分别卡设于所述横向固定条31上的数个第二凹槽312中，从而使所述内框鼓泡板40固定在横向固定条31上。
[0035]优选的，所述横向固定条31与所述内框30之间为固定连接，所述内框鼓泡板40与所述横向固定条31之间为固定连接，使得所述内框鼓泡板40直接安装及固定在内框30上，无需每批次拆装。
[0036]具体的，使用时，在内框30中放入玻璃基板后，玻璃基板的两侧边分别卡入内框30的相对两侧壁上的多个横向固定条31上开设的第一凹槽311内以实现固定。由于所述第一凹槽311与所述第二凹槽312在所述横向固定条31上交错设置，使得固定后的玻璃基板与每层内框鼓泡板40的鼓泡管道相交错。结合图6，即每一玻璃基板均位于每层内框鼓泡板40的两条相邻鼓泡管道之间，在本实施例中，玻璃基板所在的平面几乎垂直于内框鼓泡板40所在的平面。
[0037]在实际应用中，所述内框鼓泡板40的层数可依据实际槽体结构、及玻璃基板尺寸进行调整，图2所示的实施例以所述内框鼓泡板40为三层进行说明。
[0038]请参阅图6，所述内框鼓泡板40还包括与所述内框鼓泡板40的数条鼓泡管道相连通的外管路支架50，所述内框30侧壁外相对于所述横向固定条31的位置设置有外延承载结构32，所述外延承载结构32用于承载所述外管路支架50。所述内框鼓泡板40还包括分别与所述内框鼓泡板40的数条鼓泡管道两端的外管路支架50相连通的输入管路支架与输出管路支架。
[0039]外管路支架50在本发明中为中空管道结构，用于连通单层内框鼓泡板40中的所有鼓泡管道。具体的，每一鼓泡管道的两端均通过外管路支架50与输入管路支架或输出管路支架连通。同样，输入管路支架和输出管路支架为中空管道结构。
[0040]综上所述，本发明的浸泡式玻璃基板蚀刻机，通过在内框内设置多层鼓泡板，相较于现有蚀刻机中仅底部设有鼓泡板的结构，能够强化槽内槽液循环，使玻璃基板表面产生的生成物被及时去除，并能够使槽内槽液循环更加均匀，避免水波纹及厚度蚀刻异常的产生。
[0041]以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，包括一槽体(10)、位于所述槽体(10)底部的底部鼓泡板(20)、置于所述槽体(10)内并位于所述底部鼓泡板(20)上的内框(30)、及位于内框(30)内的数层间隔设置的内框鼓泡板(40); 所述底部鼓泡板(20)与内框鼓泡板(40)分别包括数条鼓泡管道，所述鼓泡管道具有多个鼓泡孔。2.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述内框(30)的相对两侧壁上分别沿竖直方向间隔设置有数个横向固定条(31)，所述相对两侧壁上的数个横向固定条(31)分别相对设置。3.如权利要求2所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述横向固定条(31)朝向内框(30)内部的侧面上沿所述横向固定条(31)的延伸方向设有数个间隔设置的第一凹槽(311)，所述第一凹槽(311)用于固定待蚀刻的玻璃基板。4.如权利要求3所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述横向固定条(31)的上端面上沿所述横向固定条(31)的延伸方向设有数个间隔设置的第二凹槽(312)，所述第二凹槽(312)用于固定所述内框鼓泡板(40)。5.如权利要求4所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述内框鼓泡板(40)的数条鼓泡管道分别卡设于所述横向固定条(31)上的数个第二凹槽(312)中，从而使所述内框鼓泡板(40)固定在所述横向固定条(31)上。6.如权利要求2所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述横向固定条(31)与所述内框(30)之间为固定连接，所述内框鼓泡板(40)与所述横向固定条(31)之间为固定连接。7.如权利要求4所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述第一凹槽(311)与所述第二凹槽(312)在所述横向固定条(31)上交错设置。8.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述鼓泡管道上的鼓泡孔的气孔开口向下。9.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述多个鼓泡孔沿鼓泡管道均匀分布，且每一鼓泡孔均为圆形鼓泡孔。10.如权利要求1所述的浸泡式玻璃基板蚀刻机，其特征在于，所述内框鼓泡板(40)还包括与所述内框鼓泡板(40)的数条鼓泡管道相连接的外管路支架(50)，所述内框(30)侧壁外相对于所述横向固定条(31)的位置设置有外延承载结构(32)，所述外延承载结构(32)用于承载所述外管路支架(50)。
【专利摘要】本发明提供一种浸泡式玻璃基板蚀刻机，包括一槽体(10)、位于所述槽体(10)底部的底部鼓泡板(20)、置于所述槽体(10)内并位于所述底部鼓泡板(20)上的内框(30)、及位于内框(30)内的数层间隔设置的内框鼓泡板(40)；相较于现有蚀刻机中仅底部设有鼓泡板的结构，能够强化槽内槽液循环，使玻璃基板表面产生的生成物被及时去除，并能够使槽内槽液循环更加均匀，避免水波纹及厚度蚀刻异常的产生。
【IPC分类】C03C15/00
【公开号】CN104891817
【申请号】CN201510314348
【发明人】刘亮, 尹德胜
【申请人】武汉华星光电技术有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年6月9日
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