一种夹具及镀膜设备中使用的载具的制作方法
一种夹具及镀膜设备中使用的载具的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种夹具及镀膜设备中使用的载具。
【背景技术】
[0002]镀膜玻璃是指在玻璃基板表面涂镀一层或多层薄膜，以使玻璃基板具有热反射、低辐射和导电等性能。目前通常采用镀膜设备制作镀膜玻璃，具体地，首先将玻璃基板置于载具上，然后将载具安装在传输装置上，并通过传输装置将玻璃基板运送到镀膜设备的溅射室内，通过磁控溅射的方式使玻璃基板在溅射室内完成镀膜；镀膜结束后，通过传输装置将载具和玻璃基板从溅射室中移出，然后从载具上取下镀膜后的玻璃基板(镀膜玻璃)。
[0003]为了增加每批次镀膜玻璃的生产数量，承载玻璃基板的载具竖直设置在传输装置上，以使玻璃基板在溅射室内直立设置。因此，为了防止玻璃基板从载具上滑落，在载具的四周设有多个用于夹持玻璃基板的夹具，每个夹具包括通过扭转弹簧连接的固定夹片和活动夹片，固定夹片固定安装在载具上，活动夹片的夹持端固设有夹持垫板。使用时，通过按压活动夹片的按压端，使夹具张开，从而方便将玻璃基板放入；撤销对活动夹片的按压力，在扭转弹簧的回复力作用下，夹具闭合，夹持垫板夹持在玻璃基板边缘，从而将玻璃基板夹持安装在载具上。镀膜结束后，通过传输装置将载具和玻璃基板从溅射室中移出，然后按压活动夹片的按压端，便可将镀膜后的玻璃基板从载具上取下。
[0004]然而，本申请发明人实际应用时发现:在将玻璃基板安装在载具上和从载具上取下镀膜后的玻璃基板时，容易出现玻璃基板的边缘破片问题，造成玻璃基板的边缘破片的原因主要有以下两方面:一方面，将玻璃基板置于载具上后，夹具在闭合时，若扭转弹簧的回复弹力较大，夹具闭合速度过快，使得夹持垫板剧烈碰撞玻璃基板的边缘，造成玻璃基板的边缘破片；另一方面，在溅射室内对玻璃基板进行镀膜时，需要不断地向溅射室内充气，在充入溅射室内的气体冲击下，玻璃基板的震动较大，而上述各夹具一般夹持在玻璃基板的边缘Icm左右深度，导致玻璃基板的一部分边缘脱离出对应的夹具，使得玻璃基板的这一部分边缘从位于夹持垫板和固定夹片之间的位置移至夹持垫板外侧的位置，因此，当从载具上取下镀膜后的玻璃基板时，夹具张开会对玻璃基板的边缘形成外撑力，造成玻璃基板的边缘破片。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种夹具及镀膜设备中使用的载具，用于解决夹具在闭合和张开过程中易造成玻璃基板的边缘破片的问题。
[0006]为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案:
[0007]一方面，本发明提供了一种夹具，应用在镀膜设备中使用的载具上，所述夹具包括固定夹片和活动夹片，所述活动夹片通过扭转弹簧与所述固定夹片相连，所述活动夹片上设有导向槽，所述导向槽内滑动安装有夹持垫板；所述活动夹片上设有传动机构，且所述传动机构与所述夹持垫板连接；当对所述传动机构施力使活动夹片张开时，所述夹持垫板在所述传动机构的带动下缩回活动夹片内，当撤销对传动机构的施力、所述活动夹片在所述扭转弹簧作用下闭合时，所述夹持垫板在所述传动机构的带动下伸出活动夹片外。
[0008]另一发面，本发明还提供了一种镀膜设备中使用的载具，所述载具上设有上述技术方案所提的夹具。
[0009]在本发明提供的夹具及镀膜设备中使用的载具中，由于夹持垫板滑动安装在活动夹片上的导向槽中，且当对传动机构施力使活动夹片张开时，夹持垫板在传动机构的带动下缩回活动夹片内，当撤销对传动机构的施力、活动夹片在所扭转弹簧作用下闭合时，夹持垫板在传动机构的带动下伸出活动夹片外；因此，当将玻璃基板在载具上安放好后，活动夹片在扭转弹簧作用下闭合时，夹持垫板在传动机构的带动下逐渐伸出活动夹片外，使得夹持垫板与玻璃基板呈滑动接触，避免夹持垫板剧烈碰撞玻璃基板的边缘，从而防止玻璃基板的边缘出现破片。当将镀膜后的玻璃基板从载具上取下时，对传动机构施力使活动夹片张开的同时，夹持垫板在传动机构的带动下缩回活动夹片内，从而可防止活动夹片张开时外撑镀膜后的玻璃基板，进而可以防止玻璃基板的边缘出现破片。
[0010]综上，采用本发明提供的夹具及镀膜设备中使用的载具，在夹具闭合和张开过程中，能够避免出现玻璃基板的边缘破片问题。
【附图说明】
[0011]此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
[0012]图1为本发明实施例提供的夹具的结构示意图；
[0013]图2为图1中A向视图；
[0014]图3为图1中B向视图；
[0015]图4为本发明实施例中推动杆的结构示意图。
[0016]附图标记:
[0017]10-固定夹片， 20-活动夹片，
[0018]21-条形口，30-扭转弹簧，
[0019]40-导向槽，50-夹持垫板，
[0020]51-限位凸起， 60-传动机构，
[0021]61-连接杆，62-压块，
[0022]63-伸缩弹簧， 70-推动杆，
[0023]71-滚轮。
【具体实施方式】
[0024]为了进一步说明本发明实施例提供的夹具及镀膜设备中使用的载具，下面结合说明书附图进行详细描述。
[0025]请参阅图1、图2和图3，本发明实施例提供的夹具包括固定夹片10和活动夹片20，活动夹片20通过扭转弹簧30与固定夹片10相连，活动夹片20上设有导向槽40，导向槽40内滑动安装有夹持垫板50 ;活动夹片20上设有传动机构60，且传动机构60与夹持垫板50连接；当对传动机构60施力使活动夹片20张开时，夹持垫板50在传动机构60的带动下缩回活动夹片20内，当撤销对传动机构60的施力，活动夹片20在扭转弹簧30作用下闭合时，夹持垫板50在传动机构60的带动下伸出活动夹片20外。
[0026]在上述实施例中，固定夹片10、活动夹片20和扭转弹簧30三者之间的连接方式与现有的夹具中固定夹片10、活动夹片20和扭转弹簧30三者之间的连接方式相同，故在本文中不作详细描述。在活动夹片20面向固定夹片10的面上设有导向槽40，夹持垫板50安装在导向槽40中，并可在传动机构60的带动下缩回活动夹片20内或伸出活动夹片20外。
[0027]当镀膜设备中使用的载具上采用上述实施例提供的夹具时，一般在该载具的四周均匀设置多个夹具。使用时，首先对各活动夹片20上的传动机构60施力，使对应的各活动夹片20张开并保持，即使各夹具张开，在各活动夹片20张开的同时，夹持垫板50在传动机构60的带动下缩回活动夹片20内；然后将待镀膜的玻璃基板安放在载具上；接下来撤销施加在传动机构60上的施力，各活动夹片20在各自对应的扭转弹簧30作用下闭合，即使各夹具闭合，在夹具闭合过程中，夹持垫板50在传动机构60带动下沿导向槽40逐渐伸出活动夹片20外，从而使得夹持垫板50与玻璃基板呈滑动接触，避免夹持垫板50剧烈碰撞玻璃基板的边缘，从而能够防止出现玻璃基板的边缘破片问题。
[0028]当将镀膜后的玻璃基板从载具上取下时，首先对传动机构60施力使对应的各活动夹片20张开并保持，在活动夹片20张开的同时，夹持垫板50在传动机构60的带动下缩回活动夹片20内，因此，即使当镀膜后的玻璃基板的一部分边缘从位于夹持垫板50和固定夹片10之间的位置移至夹持垫板50外侧的位置时，由于夹持垫板50会随着活动夹片20张开逐渐缩回活动夹片20内，因此当夹具张开时夹持垫板50不会外撑镀膜后的玻璃基板的边缘，从而能够防止出现玻璃基板的边缘破片问题。
[0029]综上，采用本发明实施例提供的夹具，在向载具上安放待镀膜的玻璃基板时，在夹具闭合过程中，夹持垫板50不会冲击玻璃基板的边缘，在将镀膜后的玻璃基板从载具上取下时，夹持垫板50也不会外撑位于夹持垫板50外侧的镀膜后的玻璃基板的边缘，因此，采用本发明实施例提供的夹具，夹具在闭合和张开过程中不会造成玻璃基板的边缘破片。
[0030]在上述夹具中，是利用夹持垫板50和固定夹片10夹持固定玻璃基板，为了避免夹持垫板50遮挡玻璃基板的有效镀膜区域，需要对夹持垫板50伸出活动夹片20外的长度进行限制，或需要限制夹持垫板50夹持玻璃基板的边缘的深度，即需要限制夹持垫板50夹持在玻璃基板的边缘上时的夹持深度。请参阅图3，在本实施例中，夹持垫板50与固定夹片10相对的侧面上设有限位凸起51，限位凸起51限定夹持垫板50夹持在玻璃基板的边缘上时的夹持深度。使用本发明实施例提供的夹具夹持玻璃基板时，将待镀膜的玻璃基板安放在载具上后，撤销施加在传动机构60上的施力，夹具在扭转弹簧30的作用下闭合，夹持垫板50在传动机构60带动下沿导向槽40逐渐向活动夹片20外伸出，当限位凸起51与玻璃基板的边缘接触并相抵时，夹持垫板50在限位凸起51与玻璃基板的边缘的相互作用下停止向活动夹片20外伸出，从而可以限制夹持垫板50夹持在玻璃基板的边缘上时的夹持深度，避免因夹持垫板50夹持在玻璃基板的边缘上时的夹持深度太大而导致夹持垫板50覆盖玻璃基板的有效镀膜区域，影响镀膜效果。
[0031]另外，通过在夹持垫板50与固定夹片10相对的侧面上设置限位凸起51，在溅射室内对玻璃基板进行镀膜的过程中，向溅射室内充气时，可以防止玻璃基板发生震动而使得玻璃基板的边缘的某些区域脱离活动夹片20和夹持垫板50，引起玻璃基板 的滑动，导致玻璃基板上的有效镀膜区域发生偏离。
[0032]上述夹具中，夹持垫板50伸出活动夹片20的夹持端的部分可以有多种形式，例如，矩形垫板、梯形垫板、圆弧形垫板或三角形垫板。在本发明实施例提供的夹具中，请参阅图1或图2，夹持垫板50伸出活动夹片20的夹持端的部分为三角形垫板。
[0033]在本发明实施例提供的夹具中，活动夹片20为钛铝合金板，夹持垫板50为聚醚醚酮板。由于钛铝合金的熔点高、硬度大且化学稳定性好，因此，在溅射室内对玻璃基板进行镀膜时，钛铝合金材质的活动夹片20在溅射室内的高温环境中不易因受高温影响而发生变形，因而使得夹具对玻璃基板夹持具有较佳的可靠性；由于聚醚醚酮具有良好的耐高温性和化学稳定性，因此，在溅射室内对玻璃基板进行镀膜时，聚醚醚酮材质的夹持垫板50在溅射室内的高温环境中不易因受高温影响而发生变形；此外，聚醚醚酮还具有自润滑性，因此，当夹持垫板50伸出活动夹片20外以对玻璃基板进行夹持，或者，夹持垫板50缩回活动夹片20内以放开玻璃基板时，夹持垫板50与玻璃基板的边缘的表面相对滑动时，使得夹持垫板50与玻璃基板的边缘的表面之间的摩擦系数较低，从而可以防止夹持垫板50与玻璃基板的边缘的表面滑动接触时夹持垫板50对玻璃基板的磨损现象的发生。
[0034]夹持垫板50伸出活动夹片20外或者缩回活动夹片20内的过程中，为了防止夹持垫板50在传动机构60的带动下脱离出导向槽40，在上述夹具中，在导向槽40内还设置有防止夹持垫板50脱离出导向槽40的限位挡块(图中未示出)。请参阅图2，当夹持垫板50滑动到导向槽40的一端时，如图2中导向槽40的上端或下端，设置在导向槽40内的限位挡块可以防止夹持垫板50脱离出导向槽40，以提高夹具对玻璃基板进行夹持的可靠性。
[0035]在上述夹具中，传动机构60用于使夹持垫板50伸出活动夹片20外或缩回活动夹片20内，实现夹具对玻璃基板的夹持和放开。在本发明实施例中，请继续参阅图3，传动机构60包括连接杆61、压块62和伸缩弹簧63，其中，连接杆61的一端穿过开设在活动夹片20上的条形口 21与夹持垫板50连接，连接杆61的另一端与压块62连接，伸缩弹簧63的一端与活动夹片20的按压端连接、另一端与压块62相连。当需要夹持垫板50缩回活动夹片20内时，对压块62施力，使压块62朝向活动夹片20的按压端移动，连接杆61在压块62的带动下远尚活动夹片20的夹持端移动，从而带动夹持塾板50沿导向槽40朝向活动夹片20内滑动，夹持垫板50缩回活动夹片20内，同时，伸缩弹簧63在压块62的作用下被压缩；当需要夹持垫板50伸出活动夹片20外时，撤销施加在压块62上的施力，伸缩弹簧63复位，压块62在伸缩弹簧63的作用下远离活动夹片20的按压端移动，并带动连接杆61朝向活动夹片20的夹持端移动，从而带动夹持垫板50沿导向槽40朝向活动夹片20外滑动，使得夹持垫板50伸出活动夹片20外。
[0036]值得指出的是，在活动夹片20上开设条形口 21时，条形口 21的长度可以根据夹持垫板50在导向槽40内滑动的范围设置，以限制连接杆61朝向活动夹片20的夹持端移动或远离活动夹片20的夹持端移动的范围，从而可以通过限制连接杆61的移动范围来限制夹持垫板50伸出活动夹片20外的范围，进一步限制夹持垫板50在玻璃基板的边缘夹持时的夹持深度，防止因夹持垫板50在玻璃基板的边缘夹持时的夹持深度太大而影响溅射效果。
[0037]上述夹具中，连接杆61的形状可以有多种，例如，连接杆61可以为倒T型连接杆，倒T型连接杆包括纵向部和横向部，倒T型连接杆的纵向部位于活动夹片20与固定夹片10之间，且与夹持垫板50连接，倒T型连接杆的横向部的一端穿过活动夹片20上的条形口21，并与压块62连接。
[0038]在本发明实施例提供的夹具中，请继续参阅图3，连接杆61为L型连接杆，L型连接杆的纵向杆与夹持垫板50连接，L型连接杆61的横向杆与压块62连接。具体实施时，L型连接杆的纵向杆位于活动夹片20与固定夹片10之间，L型连接杆的纵向杆远离与横向杆连接的一端与夹持垫板50连接，L型连接杆的横向杆远离与纵向杆连接的一端穿过设在活动夹片20上的条形口 21，并与压块62连接。将连接杆61设置为L型连接杆，与倒T型连接杆相比，可以避免倒T型连接杆的横向部上位于活动夹片20与固定夹片10之间的一端与固定夹片10之间发生干扰。
[0039]一般来说，载具上会设置有多个上述夹具，在采用多个上述夹具将玻璃基板夹持在载具上，或者，将玻璃基板从载具上取下时，为了避免因对多个夹具进行逐个操作而影响生产效率，对各个夹具的操作通常为同步进行。举例来说，请参阅图4，在本发明实施例中，每个夹具还包括与传动机构60搭配使用的推动杆70。具体实施时，采用一个施力装置对每个夹具的推动杆70同时施力，通过推动杆70带动传动机构60的运转，使得载具上的多个夹具同时张开或闭合，因而可以使对各个夹具的操作同步进行，可以防止因对各个夹具的操作不同步而引起玻璃基板的边缘受力不均，导致玻璃基板的边缘出现变形或破片，并提高生产效率。
[0040]在本发明实施例提供的夹具中，请参阅图4，推动杆70的端部设置有滚轮71。施力装置推动推动杆70，滚轮71与压块62接触并对压块62施加外力，从而使得夹持垫板50伸出活动夹片20外或缩回活动夹片20内，同时使得夹具闭合或张开，以实现对玻璃基板的夹持或放开。滚轮71与压块62接触并对压块62施加外力的同时，滚轮71在压块62的如图1的上表面滚动，使得滚轮71与压块62的表面为滚动接触，从而可以有效防止压块62的表面产生磨损现象的发生，延长夹具的使用寿命。当然，为了进一步保护压块62的表面，还可在滚轮71的外圆周面包裹柔性介质，例如棉布。
[0041 ] 本发明实施例还提供一种镀膜设备中使用的载具，所述载具上设有上述技术方案所述的夹具。
[0042]所述载具的优势与上述夹具相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。
[0043]在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0044]以上所述，仅为本发明的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【主权项】
1.一种夹具，应用在镀膜设备中使用的载具上，包括固定夹片和活动夹片，所述活动夹片通过扭转弹簧与所述固定夹片相连，其特征在于，所述活动夹片上设有导向槽，所述导向槽内滑动安装有夹持垫板；所述活动夹片上设有传动机构，且所述传动机构与所述夹持垫板连接；当对所述传动机构施力使所述活动夹片张开时，所述夹持垫板在所述传动机构的带动下缩回所述活动夹片内，当撤销对所述传动机构的施力，所述活动夹片在所述扭转弹簧作用下闭合时，所述夹持垫板在所述传动机构的带动下伸出所述活动夹片外。2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹持垫板与所述固定夹片相对的侧面上设有限位凸起，所述限位凸起限定所述夹持垫板夹持在玻璃基板的边缘上时的夹持深度。3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述夹持垫板伸出所述活动夹片的夹持端的部分为三角形垫板。4.根据权利要求1-3任一所述的夹具，其特征在于，所述活动夹片为钛铝合金板，所述夹持垫板为聚醚醚酮板。5.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述导向槽内还设置有防止所述夹持垫板脱离出所述导向槽的限位挡块。6.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述传动机构包括连接杆、压块和伸缩弹簧，其中，所述连接杆的一端穿过开设在所述活动夹片上的条形口与所述夹持垫板连接，所述连接杆的另一端与所述压块连接，所述伸缩弹簧的一端与所述活动夹片的按压端连接、另一端与所述压块相连。7.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述连接杆为L型连接杆，所述L型连接杆的纵向杆与所述夹持垫板连接，所述L型连接杆的横向杆与所述压块连接。8.根据权利要求6或7所述的夹具，其特征在于，所述夹具还包括与所述传动机构搭配使用的推动杆。9.根据权利要求8所述的夹具，其特征在于，所述推动杆的端部设置有滚轮。10.一种镀膜设备中使用的载具，其特征在于，在所述载具上设有如权利要求1-9任一所述的夹具。
【专利摘要】本发明公开一种夹具及镀膜设备中使用的载具，涉及镀膜技术领域，为解决夹具在闭合和张开过程中易造成玻璃基板的边缘破片的问题。所述夹具应用在镀膜设备中使用的载具上，包括固定夹片和活动夹片，活动夹片通过扭转弹簧与固定夹片相连，活动夹片上设有导向槽，导向槽内滑动安装有夹持垫板；活动夹片上设有传动机构，且传动机构与夹持垫板连接；当对传动机构施力使活动夹片张开时，夹持垫板在传动机构的带动下缩回活动夹片内，当撤销对传动机构的施力，活动夹片在扭转弹簧作用下闭合时，夹持垫板在传动机构的带动下伸出活动夹片外。本发明提供的夹具用于将玻璃基板夹持固定在镀膜设备中使用的载具上。
【IPC分类】C23C14/50, C03C17/00
【公开号】CN104891818
【申请号】CN201510254289
【发明人】穆慧慧
【申请人】合肥京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年5月18日
【技术领域】
[0001]本发明涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种夹具及镀膜设备中使用的载具。
【背景技术】
[0002]镀膜玻璃是指在玻璃基板表面涂镀一层或多层薄膜，以使玻璃基板具有热反射、低辐射和导电等性能。目前通常采用镀膜设备制作镀膜玻璃，具体地，首先将玻璃基板置于载具上，然后将载具安装在传输装置上，并通过传输装置将玻璃基板运送到镀膜设备的溅射室内，通过磁控溅射的方式使玻璃基板在溅射室内完成镀膜；镀膜结束后，通过传输装置将载具和玻璃基板从溅射室中移出，然后从载具上取下镀膜后的玻璃基板(镀膜玻璃)。
[0003]为了增加每批次镀膜玻璃的生产数量，承载玻璃基板的载具竖直设置在传输装置上，以使玻璃基板在溅射室内直立设置。因此，为了防止玻璃基板从载具上滑落，在载具的四周设有多个用于夹持玻璃基板的夹具，每个夹具包括通过扭转弹簧连接的固定夹片和活动夹片，固定夹片固定安装在载具上，活动夹片的夹持端固设有夹持垫板。使用时，通过按压活动夹片的按压端，使夹具张开，从而方便将玻璃基板放入；撤销对活动夹片的按压力，在扭转弹簧的回复力作用下，夹具闭合，夹持垫板夹持在玻璃基板边缘，从而将玻璃基板夹持安装在载具上。镀膜结束后，通过传输装置将载具和玻璃基板从溅射室中移出，然后按压活动夹片的按压端，便可将镀膜后的玻璃基板从载具上取下。
[0004]然而，本申请发明人实际应用时发现:在将玻璃基板安装在载具上和从载具上取下镀膜后的玻璃基板时，容易出现玻璃基板的边缘破片问题，造成玻璃基板的边缘破片的原因主要有以下两方面:一方面，将玻璃基板置于载具上后，夹具在闭合时，若扭转弹簧的回复弹力较大，夹具闭合速度过快，使得夹持垫板剧烈碰撞玻璃基板的边缘，造成玻璃基板的边缘破片；另一方面，在溅射室内对玻璃基板进行镀膜时，需要不断地向溅射室内充气，在充入溅射室内的气体冲击下，玻璃基板的震动较大，而上述各夹具一般夹持在玻璃基板的边缘Icm左右深度，导致玻璃基板的一部分边缘脱离出对应的夹具，使得玻璃基板的这一部分边缘从位于夹持垫板和固定夹片之间的位置移至夹持垫板外侧的位置，因此，当从载具上取下镀膜后的玻璃基板时，夹具张开会对玻璃基板的边缘形成外撑力，造成玻璃基板的边缘破片。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种夹具及镀膜设备中使用的载具，用于解决夹具在闭合和张开过程中易造成玻璃基板的边缘破片的问题。
[0006]为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案:
[0007]一方面，本发明提供了一种夹具，应用在镀膜设备中使用的载具上，所述夹具包括固定夹片和活动夹片，所述活动夹片通过扭转弹簧与所述固定夹片相连，所述活动夹片上设有导向槽，所述导向槽内滑动安装有夹持垫板；所述活动夹片上设有传动机构，且所述传动机构与所述夹持垫板连接；当对所述传动机构施力使活动夹片张开时，所述夹持垫板在所述传动机构的带动下缩回活动夹片内，当撤销对传动机构的施力、所述活动夹片在所述扭转弹簧作用下闭合时，所述夹持垫板在所述传动机构的带动下伸出活动夹片外。
[0008]另一发面，本发明还提供了一种镀膜设备中使用的载具，所述载具上设有上述技术方案所提的夹具。
[0009]在本发明提供的夹具及镀膜设备中使用的载具中，由于夹持垫板滑动安装在活动夹片上的导向槽中，且当对传动机构施力使活动夹片张开时，夹持垫板在传动机构的带动下缩回活动夹片内，当撤销对传动机构的施力、活动夹片在所扭转弹簧作用下闭合时，夹持垫板在传动机构的带动下伸出活动夹片外；因此，当将玻璃基板在载具上安放好后，活动夹片在扭转弹簧作用下闭合时，夹持垫板在传动机构的带动下逐渐伸出活动夹片外，使得夹持垫板与玻璃基板呈滑动接触，避免夹持垫板剧烈碰撞玻璃基板的边缘，从而防止玻璃基板的边缘出现破片。当将镀膜后的玻璃基板从载具上取下时，对传动机构施力使活动夹片张开的同时，夹持垫板在传动机构的带动下缩回活动夹片内，从而可防止活动夹片张开时外撑镀膜后的玻璃基板，进而可以防止玻璃基板的边缘出现破片。
[0010]综上，采用本发明提供的夹具及镀膜设备中使用的载具，在夹具闭合和张开过程中，能够避免出现玻璃基板的边缘破片问题。
【附图说明】
[0011]此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
[0012]图1为本发明实施例提供的夹具的结构示意图；
[0013]图2为图1中A向视图；
[0014]图3为图1中B向视图；
[0015]图4为本发明实施例中推动杆的结构示意图。
[0016]附图标记:
[0017]10-固定夹片， 20-活动夹片，
[0018]21-条形口，30-扭转弹簧，
[0019]40-导向槽，50-夹持垫板，
[0020]51-限位凸起， 60-传动机构，
[0021]61-连接杆，62-压块，
[0022]63-伸缩弹簧， 70-推动杆，
[0023]71-滚轮。
【具体实施方式】
[0024]为了进一步说明本发明实施例提供的夹具及镀膜设备中使用的载具，下面结合说明书附图进行详细描述。
[0025]请参阅图1、图2和图3，本发明实施例提供的夹具包括固定夹片10和活动夹片20，活动夹片20通过扭转弹簧30与固定夹片10相连，活动夹片20上设有导向槽40，导向槽40内滑动安装有夹持垫板50 ;活动夹片20上设有传动机构60，且传动机构60与夹持垫板50连接；当对传动机构60施力使活动夹片20张开时，夹持垫板50在传动机构60的带动下缩回活动夹片20内，当撤销对传动机构60的施力，活动夹片20在扭转弹簧30作用下闭合时，夹持垫板50在传动机构60的带动下伸出活动夹片20外。
[0026]在上述实施例中，固定夹片10、活动夹片20和扭转弹簧30三者之间的连接方式与现有的夹具中固定夹片10、活动夹片20和扭转弹簧30三者之间的连接方式相同，故在本文中不作详细描述。在活动夹片20面向固定夹片10的面上设有导向槽40，夹持垫板50安装在导向槽40中，并可在传动机构60的带动下缩回活动夹片20内或伸出活动夹片20外。
[0027]当镀膜设备中使用的载具上采用上述实施例提供的夹具时，一般在该载具的四周均匀设置多个夹具。使用时，首先对各活动夹片20上的传动机构60施力，使对应的各活动夹片20张开并保持，即使各夹具张开，在各活动夹片20张开的同时，夹持垫板50在传动机构60的带动下缩回活动夹片20内；然后将待镀膜的玻璃基板安放在载具上；接下来撤销施加在传动机构60上的施力，各活动夹片20在各自对应的扭转弹簧30作用下闭合，即使各夹具闭合，在夹具闭合过程中，夹持垫板50在传动机构60带动下沿导向槽40逐渐伸出活动夹片20外，从而使得夹持垫板50与玻璃基板呈滑动接触，避免夹持垫板50剧烈碰撞玻璃基板的边缘，从而能够防止出现玻璃基板的边缘破片问题。
[0028]当将镀膜后的玻璃基板从载具上取下时，首先对传动机构60施力使对应的各活动夹片20张开并保持，在活动夹片20张开的同时，夹持垫板50在传动机构60的带动下缩回活动夹片20内，因此，即使当镀膜后的玻璃基板的一部分边缘从位于夹持垫板50和固定夹片10之间的位置移至夹持垫板50外侧的位置时，由于夹持垫板50会随着活动夹片20张开逐渐缩回活动夹片20内，因此当夹具张开时夹持垫板50不会外撑镀膜后的玻璃基板的边缘，从而能够防止出现玻璃基板的边缘破片问题。
[0029]综上，采用本发明实施例提供的夹具，在向载具上安放待镀膜的玻璃基板时，在夹具闭合过程中，夹持垫板50不会冲击玻璃基板的边缘，在将镀膜后的玻璃基板从载具上取下时，夹持垫板50也不会外撑位于夹持垫板50外侧的镀膜后的玻璃基板的边缘，因此，采用本发明实施例提供的夹具，夹具在闭合和张开过程中不会造成玻璃基板的边缘破片。
[0030]在上述夹具中，是利用夹持垫板50和固定夹片10夹持固定玻璃基板，为了避免夹持垫板50遮挡玻璃基板的有效镀膜区域，需要对夹持垫板50伸出活动夹片20外的长度进行限制，或需要限制夹持垫板50夹持玻璃基板的边缘的深度，即需要限制夹持垫板50夹持在玻璃基板的边缘上时的夹持深度。请参阅图3，在本实施例中，夹持垫板50与固定夹片10相对的侧面上设有限位凸起51，限位凸起51限定夹持垫板50夹持在玻璃基板的边缘上时的夹持深度。使用本发明实施例提供的夹具夹持玻璃基板时，将待镀膜的玻璃基板安放在载具上后，撤销施加在传动机构60上的施力，夹具在扭转弹簧30的作用下闭合，夹持垫板50在传动机构60带动下沿导向槽40逐渐向活动夹片20外伸出，当限位凸起51与玻璃基板的边缘接触并相抵时，夹持垫板50在限位凸起51与玻璃基板的边缘的相互作用下停止向活动夹片20外伸出，从而可以限制夹持垫板50夹持在玻璃基板的边缘上时的夹持深度，避免因夹持垫板50夹持在玻璃基板的边缘上时的夹持深度太大而导致夹持垫板50覆盖玻璃基板的有效镀膜区域，影响镀膜效果。
[0031]另外，通过在夹持垫板50与固定夹片10相对的侧面上设置限位凸起51，在溅射室内对玻璃基板进行镀膜的过程中，向溅射室内充气时，可以防止玻璃基板发生震动而使得玻璃基板的边缘的某些区域脱离活动夹片20和夹持垫板50，引起玻璃基板 的滑动，导致玻璃基板上的有效镀膜区域发生偏离。
[0032]上述夹具中，夹持垫板50伸出活动夹片20的夹持端的部分可以有多种形式，例如，矩形垫板、梯形垫板、圆弧形垫板或三角形垫板。在本发明实施例提供的夹具中，请参阅图1或图2，夹持垫板50伸出活动夹片20的夹持端的部分为三角形垫板。
[0033]在本发明实施例提供的夹具中，活动夹片20为钛铝合金板，夹持垫板50为聚醚醚酮板。由于钛铝合金的熔点高、硬度大且化学稳定性好，因此，在溅射室内对玻璃基板进行镀膜时，钛铝合金材质的活动夹片20在溅射室内的高温环境中不易因受高温影响而发生变形，因而使得夹具对玻璃基板夹持具有较佳的可靠性；由于聚醚醚酮具有良好的耐高温性和化学稳定性，因此，在溅射室内对玻璃基板进行镀膜时，聚醚醚酮材质的夹持垫板50在溅射室内的高温环境中不易因受高温影响而发生变形；此外，聚醚醚酮还具有自润滑性，因此，当夹持垫板50伸出活动夹片20外以对玻璃基板进行夹持，或者，夹持垫板50缩回活动夹片20内以放开玻璃基板时，夹持垫板50与玻璃基板的边缘的表面相对滑动时，使得夹持垫板50与玻璃基板的边缘的表面之间的摩擦系数较低，从而可以防止夹持垫板50与玻璃基板的边缘的表面滑动接触时夹持垫板50对玻璃基板的磨损现象的发生。
[0034]夹持垫板50伸出活动夹片20外或者缩回活动夹片20内的过程中，为了防止夹持垫板50在传动机构60的带动下脱离出导向槽40，在上述夹具中，在导向槽40内还设置有防止夹持垫板50脱离出导向槽40的限位挡块(图中未示出)。请参阅图2，当夹持垫板50滑动到导向槽40的一端时，如图2中导向槽40的上端或下端，设置在导向槽40内的限位挡块可以防止夹持垫板50脱离出导向槽40，以提高夹具对玻璃基板进行夹持的可靠性。
[0035]在上述夹具中，传动机构60用于使夹持垫板50伸出活动夹片20外或缩回活动夹片20内，实现夹具对玻璃基板的夹持和放开。在本发明实施例中，请继续参阅图3，传动机构60包括连接杆61、压块62和伸缩弹簧63，其中，连接杆61的一端穿过开设在活动夹片20上的条形口 21与夹持垫板50连接，连接杆61的另一端与压块62连接，伸缩弹簧63的一端与活动夹片20的按压端连接、另一端与压块62相连。当需要夹持垫板50缩回活动夹片20内时，对压块62施力，使压块62朝向活动夹片20的按压端移动，连接杆61在压块62的带动下远尚活动夹片20的夹持端移动，从而带动夹持塾板50沿导向槽40朝向活动夹片20内滑动，夹持垫板50缩回活动夹片20内，同时，伸缩弹簧63在压块62的作用下被压缩；当需要夹持垫板50伸出活动夹片20外时，撤销施加在压块62上的施力，伸缩弹簧63复位，压块62在伸缩弹簧63的作用下远离活动夹片20的按压端移动，并带动连接杆61朝向活动夹片20的夹持端移动，从而带动夹持垫板50沿导向槽40朝向活动夹片20外滑动，使得夹持垫板50伸出活动夹片20外。
[0036]值得指出的是，在活动夹片20上开设条形口 21时，条形口 21的长度可以根据夹持垫板50在导向槽40内滑动的范围设置，以限制连接杆61朝向活动夹片20的夹持端移动或远离活动夹片20的夹持端移动的范围，从而可以通过限制连接杆61的移动范围来限制夹持垫板50伸出活动夹片20外的范围，进一步限制夹持垫板50在玻璃基板的边缘夹持时的夹持深度，防止因夹持垫板50在玻璃基板的边缘夹持时的夹持深度太大而影响溅射效果。
[0037]上述夹具中，连接杆61的形状可以有多种，例如，连接杆61可以为倒T型连接杆，倒T型连接杆包括纵向部和横向部，倒T型连接杆的纵向部位于活动夹片20与固定夹片10之间，且与夹持垫板50连接，倒T型连接杆的横向部的一端穿过活动夹片20上的条形口21，并与压块62连接。
[0038]在本发明实施例提供的夹具中，请继续参阅图3，连接杆61为L型连接杆，L型连接杆的纵向杆与夹持垫板50连接，L型连接杆61的横向杆与压块62连接。具体实施时，L型连接杆的纵向杆位于活动夹片20与固定夹片10之间，L型连接杆的纵向杆远离与横向杆连接的一端与夹持垫板50连接，L型连接杆的横向杆远离与纵向杆连接的一端穿过设在活动夹片20上的条形口 21，并与压块62连接。将连接杆61设置为L型连接杆，与倒T型连接杆相比，可以避免倒T型连接杆的横向部上位于活动夹片20与固定夹片10之间的一端与固定夹片10之间发生干扰。
[0039]一般来说，载具上会设置有多个上述夹具，在采用多个上述夹具将玻璃基板夹持在载具上，或者，将玻璃基板从载具上取下时，为了避免因对多个夹具进行逐个操作而影响生产效率，对各个夹具的操作通常为同步进行。举例来说，请参阅图4，在本发明实施例中，每个夹具还包括与传动机构60搭配使用的推动杆70。具体实施时，采用一个施力装置对每个夹具的推动杆70同时施力，通过推动杆70带动传动机构60的运转，使得载具上的多个夹具同时张开或闭合，因而可以使对各个夹具的操作同步进行，可以防止因对各个夹具的操作不同步而引起玻璃基板的边缘受力不均，导致玻璃基板的边缘出现变形或破片，并提高生产效率。
[0040]在本发明实施例提供的夹具中，请参阅图4，推动杆70的端部设置有滚轮71。施力装置推动推动杆70，滚轮71与压块62接触并对压块62施加外力，从而使得夹持垫板50伸出活动夹片20外或缩回活动夹片20内，同时使得夹具闭合或张开，以实现对玻璃基板的夹持或放开。滚轮71与压块62接触并对压块62施加外力的同时，滚轮71在压块62的如图1的上表面滚动，使得滚轮71与压块62的表面为滚动接触，从而可以有效防止压块62的表面产生磨损现象的发生，延长夹具的使用寿命。当然，为了进一步保护压块62的表面，还可在滚轮71的外圆周面包裹柔性介质，例如棉布。
[0041 ] 本发明实施例还提供一种镀膜设备中使用的载具，所述载具上设有上述技术方案所述的夹具。
[0042]所述载具的优势与上述夹具相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述。
[0043]在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0044]以上所述，仅为本发明的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【主权项】
1.一种夹具，应用在镀膜设备中使用的载具上，包括固定夹片和活动夹片，所述活动夹片通过扭转弹簧与所述固定夹片相连，其特征在于，所述活动夹片上设有导向槽，所述导向槽内滑动安装有夹持垫板；所述活动夹片上设有传动机构，且所述传动机构与所述夹持垫板连接；当对所述传动机构施力使所述活动夹片张开时，所述夹持垫板在所述传动机构的带动下缩回所述活动夹片内，当撤销对所述传动机构的施力，所述活动夹片在所述扭转弹簧作用下闭合时，所述夹持垫板在所述传动机构的带动下伸出所述活动夹片外。2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹持垫板与所述固定夹片相对的侧面上设有限位凸起，所述限位凸起限定所述夹持垫板夹持在玻璃基板的边缘上时的夹持深度。3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述夹持垫板伸出所述活动夹片的夹持端的部分为三角形垫板。4.根据权利要求1-3任一所述的夹具，其特征在于，所述活动夹片为钛铝合金板，所述夹持垫板为聚醚醚酮板。5.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述导向槽内还设置有防止所述夹持垫板脱离出所述导向槽的限位挡块。6.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述传动机构包括连接杆、压块和伸缩弹簧，其中，所述连接杆的一端穿过开设在所述活动夹片上的条形口与所述夹持垫板连接，所述连接杆的另一端与所述压块连接，所述伸缩弹簧的一端与所述活动夹片的按压端连接、另一端与所述压块相连。7.根据权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述连接杆为L型连接杆，所述L型连接杆的纵向杆与所述夹持垫板连接，所述L型连接杆的横向杆与所述压块连接。8.根据权利要求6或7所述的夹具，其特征在于，所述夹具还包括与所述传动机构搭配使用的推动杆。9.根据权利要求8所述的夹具，其特征在于，所述推动杆的端部设置有滚轮。10.一种镀膜设备中使用的载具，其特征在于，在所述载具上设有如权利要求1-9任一所述的夹具。
【专利摘要】本发明公开一种夹具及镀膜设备中使用的载具，涉及镀膜技术领域，为解决夹具在闭合和张开过程中易造成玻璃基板的边缘破片的问题。所述夹具应用在镀膜设备中使用的载具上，包括固定夹片和活动夹片，活动夹片通过扭转弹簧与固定夹片相连，活动夹片上设有导向槽，导向槽内滑动安装有夹持垫板；活动夹片上设有传动机构，且传动机构与夹持垫板连接；当对传动机构施力使活动夹片张开时，夹持垫板在传动机构的带动下缩回活动夹片内，当撤销对传动机构的施力，活动夹片在扭转弹簧作用下闭合时，夹持垫板在传动机构的带动下伸出活动夹片外。本发明提供的夹具用于将玻璃基板夹持固定在镀膜设备中使用的载具上。
【IPC分类】C23C14/50, C03C17/00
【公开号】CN104891818
【申请号】CN201510254289
【发明人】穆慧慧
【申请人】合肥京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年5月18日
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