用于校准制动轮的坐标的方法及用于处理衬底的设备的制造方法
用于校准制动轮的坐标的方法及用于处理衬底的设备的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及用于校准制动轮（headblock)的坐标的方法及用于处理衬底的设备， 且更确切地说，涉及用于校准制动轮的坐标的方法及能够在滴液设备（liquiddropping apparatus)的所述制动轮移动时校准坐标的用于处理衬底的设备。
【背景技术】
[0002] 通过使用密封分配器设备（sealdispenserequipment)来接合一对平面型衬底 制造平面显示面板。作为实例描述液晶显示面板的制造，首先制造其上形成有多个薄膜晶 体管及像素电极的下部衬底及其上形成有滤色器及共同电极的上部电极。接下来，液晶滴 落到下部衬底，且将密封剂涂覆于下部衬底的边缘区。接下来，其上形成有像素电极的下部 衬底的表面及其上形成有共同电极的上部衬底的表面经安置成彼此相对，且接着密封两个 衬底，使其彼此接合，从而制造液晶面板。本文中，例如密封分配器等滴液设备用以涂覆密 封剂。通过这样做，沿着衬底的边缘外周涂覆密封剂。
[0003] 同时，在涂覆密封剂的制动轮在密封分配器中移动时，制动轮可能并不准确地移 动到实际目标位置。原因在于制动轮归因于经编码的误差、相机测量的误差、仪器的变形等 而移动到实际目标位置之外。因此，密封分配器设备具有被称作位置偏移的功能。所述功 能给出了到设备的轴杆的多达设定量（必要时）的位置偏移以便校准误差。
[0004] 然而，相关技术允许操作密封分配器设备以将值直接输入到指定轴杆。然而，在操 作者直接输入偏移值时，难以实时反映实时设备条件，且因此不可能输入准确的偏移值。举 例来说，可能并未反映由比例尺在测量时归因于温度及湿度的变形而造成的误差。此外，无 论操作者如何直接输入偏移值，可仅在设备的设置及维护期间输入偏移值。结果，存在可能 在设备的操作期间并未实时反映偏移值的问题。
[0005] [相关技术文献]
[0006] [专利文献]
[0007] (专利文献1)韩国专利特许公开公布第10-2013-0051881号。
【发明内容】
[0008] 本发明提供一种用于将滴液设备的制动轮传送到准确坐标的衬底处理设备。本发 明还提供一种用于计算滴液设备的每一制动轮的单独偏移及用于在设备的操作期间实时 反映偏移的衬底处理设备。
[0009] 根据本发明的示范性实施例，一种用于校准制动轮的坐标以校准设置于台架 (gantry)中的多个制动轮的过程开始坐标的方法包含：在辨识衬底上的对准标记时理解 个别系统坐标，所述个别系统坐标为制动轮移动构件的坐标；通过从所述个别系统坐标减 去对准衬底坐标而计算个别偏移，所述对准衬底坐标为所述对准标记的所述衬底上的坐 标；以及对所述个别偏移及对于每一制动轮所请求的移动请求坐标求和以计算每一制动轮 的移动校准坐标。
[0010] 每一制动轮的所述个别系统坐标的计算可包含：在视觉相机（visioncamera)辨 识所述衬底的拐角时将所述制动轮移动构件的坐标值设定为参考坐标；在所述视觉相机辨 识所述衬底上的所述对准标记时将所述制动轮移动构件的所述坐标值设定为对准系统坐 标；将所述视觉相机与设定的参考相机之间的间隔距离计算为相机坐标；以及使用所述参 考坐标、所述对准系统坐标及所述相机坐标计算每一制动轮的所述个别系统坐标。
[0011] 在所述个别系统坐标的所述计算中，可通过从所述对准系统坐标减去所述参考坐 标及所述相机坐标来计算所述个别系统坐标。
[0012] 所述参考相机可为设置于首先定位于所述台架的轴上的所述制动轮处的视觉相 机。
[0013] 在所述移动校准坐标的所述计算中，可分别对所述个别偏移及设定的过程开始坐 标求和以计算每一制动轮的过程开始校准坐标，且使每一制动轮移动到所述过程开始校准 坐标。
[0014] 可使所述衬底对准以使所述衬底的边缘的表面与所述台架的纵轴彼此平行，且接 着可计算每一制动轮的所述个别系统坐标。
[0015] 对于所述衬底上的象限，可以交叉形式逐个地形成所述对准标记。
[0016] 根据本发明的另一个示范性实施例，一种用于处理衬底的设备包含：其上安放所 述衬底的平台（stage);安置在所述平台上的台架；固定地安装在所述台架上且经安置成 彼此间隔开的多个制动轮，所述多个制动轮是在一个方向上列出；多个排放单元，其安置 于所述多个制动轮之下且在一个方向上彼此间隔开以将液体排放到所述衬底；台架移动单 元，其安置于所述平台上以使所述台架在Y轴方向上水平地移动；以及制动轮移动单元，其 在辨识所述衬底上的所述对准标记时算出每一制动轮的为所述制动轮移动单元的坐标的 个别系统坐标，以从所述个别系统坐标减去为其上形成有所述对准标记的衬底坐标的对准 衬底坐标以便计算个别偏移，且接着分别对所述个别偏移与对于每一制动轮所请求的移动 坐标求和以计算每一制动轮的移动校准坐标，从而使所述多个制动轮在X轴方向上水平地 移动。
[0017] 根据本发明的示范性实施例，有可能通过个别地计算滴液设备的每一制动轮的偏 移以便个别地应用所述偏移来将每一制动轮传送到准确坐标。此外，根据本发明的示范性 实施例，有可能通过计算用于传送每一制动轮的偏移在移动制动轮时实时反映偏移。
【附图说明】
[0018]图1为说明根据本发明的示范性实施例的滴液设备的图。
[0019]图2为说明根据本发明的示范性实施例的制动轮的校准移动坐标的过程的流程 图。
[0020] 图3为说明其中对准标记形成于衬底上的外观的图。
[0021]图4为说明根据本发明的示范性实施例的对准标记及多个制动轮的图。
[0022]图5为说明根据本发明的示范性实施例的在安置衬底时制动轮移动构件的坐标 图的图。
[0023] 附图标记说明：
[0024]100 :平台；
[0025] 200:台架；
[0026] 300 :制动轮；
[0027] 300a:第一制动轮；
[0028] 300b:第二制动轮；
[0029] 300c:第三制动轮；
[0030] 300n:第 n制动轮；
[0031] 310 :视觉相机；
[0032] 310a:第一视觉相机；
[0033] 310b:第二视觉相机；
[0034] 310c:第三视觉相机；
[0035] 31On:第n视觉相机；
[0036] 400 :注射器；
[0037] 400a:第一注射器；
[0038]400b:第二注射器；
[0039]400c:第三注射器；
[0040] 410 :排放单元；
[0041] 410a:第一排放单元；
[0042] 410b:第二排放单元；
[0043] 410c:第三排放单元；
[0044]500 :制动轮移动单元/导轨；
[0045]600 :台架移动单元；
[0046]610:台架导轨；
[0047] 620 :台架驱动单元；
[0048] M :对准标记；
[0049]S:衬底。
【具体实施方式】
[0050] 下文中参考附图详细描述本发明的示范性实施例 。然而，本发明限于下文所揭示 的示范性实施例，但可以各种不同形式实施。将仅提供这些示范性实施例以便使本发明的 揭示内容完整，且允许所属领域的技术人员完全认识到本发明的范围。附图上的组件可经 放大以便描述本发明，且将由相同参考标号表示相同组件。
[0051]图1为说明根据本发明的示范性实施例的滴液设备的图。
[0052] 参考图1，根据本发明的示范性实施例的滴液设备包含：其上安放衬底S的平台 1〇〇;安置在平台1〇〇上的台架200;固定地安装在台架200上且经安置成彼此间隔开的多 个制动轮300,所述多个制动轮是在一个方向上列出；以及多个排放单元410,其安置于多 个制动轮300之下且在一个方向上彼此间隔开以将液体排放到衬底S。滴液设备包含制动 轮移动单元500,其使多个制动轮300在X轴方向上水平地移动。此外，滴液设备包含台架 移动单元600,所述台架移动单元安置于平台100上以使台架200在Y轴方向上水平地移 动。出于参考目的，X轴及Y轴彼此形成直角，台架200沿着Y轴水平地移动，且附接到台 架200的制动轮300沿着X轴水平地移动。此外，改变X轴及Y轴的交叉方向，且因此台架 200可沿着X轴水平地移动，且附接到台架200的制动轮300可沿着Y轴水平地移动。
[0053]根据本发明的示范性实施例，将密封剂用作滴落到衬底S的液体，且根据本发明 的示范性实施例的滴液设备可为密封分配器。当然，本发明并不限于此，且因此可使用各种 类型的液体。举例来说，液晶可滴落到衬底S。本文中，液体的实例可包含例如水等具有低 粘度的液体、例如液晶、溶胶、密封剂、各种混合液体、浆料及糊状物等具有高粘度的液体及 液体混合物。
[0054] 可将平台100制造成对应于表面S的形状以便使衬底S安放在其上。根据本发明 的示范性实施例，将四边形衬底S用作衬底S。对应地，将四边形平台100用作平台100。尽 管并未说明，但平台1〇〇可具备用于固定地安放衬底S的单独固定部分。在此状况下，可将 静电卡盘或真空固定设备用作固定部分。此处，在使用真空固定设备时，可将与真空泵连通 的多个孔设置于平台100中。通过这样做，可以固定安放在平台100上的衬底S。
[0055]台架移动单元600可经制造以使台架200在与其中多个排放单元410水平地移动 的方向交叉的方向上移动。台架移动单元600包含一对台架导轨610,其并行地安置，在平 台100上彼此间隔开；以及台架驱动单元620,其各自安置于所述对台架导轨610上以沿着 所述对台架导轨610滑动。此处，所述对台架导轨610沿着Y轴方向安置于平台100上，且 在正交于排放单元410的移动方向的方向上（也就是说，在正交于X方向的方向上）安置。 此外，台架驱动单元620的上部部分与台架200的下部部分耦合。因此，随着台架驱动单元 620沿着台架滑轨610滑动，与台架驱动单元620耦合的台架200水平地移动。在此状况 下，台架驱动单元620可为产生例如线性运动的线性电动机或滚珠螺杆与使滚珠螺杆旋转 的电动机的组合。同时，本发明并不限于此，且因此，可将可使台架驱动单元620在台架滑 轨610上滑动的任何方法应用于台架驱动单元620。
[0056]制动轮300具有存储其中提供的液体的容器（未说明），且包含安置于容器（未说 明）之下的经供应有来自容器的液体且存储预定量的液体的注射器以及固定容器及注射 器400的固定构件（未说明）。在此状况下，多个制动轮300可经安置成彼此间隔开，在正 交于台架200上的台架导轨610的方向（例如X轴方向）上列出。也就是说，多个制动轮 300经安置以在正交于台架导轨610的方向上列出。
[0057]制动轮300中的容器（未说明）用以存储经供应到注射器400的液体，且根据本发 明的示范性实施例，经制造成圆柱形形状。然而，本发明并不限于此，且因此容器可制造成 各种形状。容器（未说明）可具备消泡设备，其具有设置于其中的真空构件以将容器（未 说明）中的空气排放到大气中。注射器400用以供应有来自容器（未说明）的液体，且将 预定量的液体提供到排放单元410。此处，注射器400可与注射载气（例如氮气）的压力 设备（未说明）连接以在预定压力下将液体供应到排放单元410。此外，在容器（未说明） 与注射器400之间具备连通于容器（未说明）与注射器400之间的阀门（未说明）。通过 这样做，在阀门（未说明）打开时，容器（未说明）中的液体移动到注射器400。排放单元 410经实施为喷嘴及其类似者，用以使液体到安放在平台100上的衬底S上，且安置于设置 于每一制动轮300处的注射器400之下。
[0058]制动轮移动单元500用以使制动轮300水平地移动，所述制动轮包含将液体排放 到衬底S上的排放单元410。制动轮移动单元500包含经安置成在X轴方向上延伸的导轨 500及使每一制动轮300沿着导轨500在X轴方向上移动的制动轮驱动单元（未说明）。可 不同地驱动使制动轮300沿着滑轨移动的制动轮驱动单元（未说明）。举例来说，制动轮驱 动单元可由各种方法（例如通过磁力驱动器进行的驱动方法及通过电动机进行的驱动方 法）驱动。
[0059] 每一制动轮300具备视觉相机310。视觉相机310可经安置成朝向衬底，安置于形 成于制动轮300之下的喷嘴的一侧、制动轮300的侧壁表面、制动轮300的前表面及其类似 者上。本发明的示范性实施例描述其中制动轮300的前表面具备视觉相机310的实例。视 觉相机310为感测及测量输入可见光以检测图像的相机，且可在通过辨识形成于衬底上的 对准标记M及其类似者而对准衬底或移动制动轮300时使用。
[0060] 根据本发明的示范性实施例，在每一制动轮300移动到过程开始位置时通过使用 设置于每一制动轮300中的视觉相机310来自动执行偏移校准。
[0061]制动轮移动单元在辨识衬底上的对准标记时算出每一制动轮的个别系统坐标，所 述个别系统坐标为制动轮移动单元的坐标。制动轮移动单元从个别系统坐标减去对准衬底 坐标（所述对准衬底坐标为其上形成有对准标记的衬底坐标）以便计算个别偏移。且制动 轮移动单元分别对个别偏移及对于每一制动轮请求的移动请求坐标求和，以便计算每一制 动轮的移动校准坐标，从而使多个制动轮在X轴方向上水平地移动。
[0062] 在计算每一制动轮的个别系统坐标时，在视觉相机辨识衬底的拐角时将制动轮移 动单元的坐标值设定为参考坐标，在视觉相机辨识衬底上的对准标记时将制动轮移动单元 的坐标值设定为对准系统坐标，且将视觉相机与预设参考相机之间的间隔距离计算为相机 坐标，且结果，使用参考坐标、对准系统坐标及相机坐标计算每一制动轮的个别系统坐标。
[0063]图2为说明根据本发明的示范性实施例的制动轮的校准移动坐标的过程的流程 图，图3为说明其中对准标记形成于衬底上的外观的图，图4为说明根据本发明的示范性实 施例的对准标记及多个制动轮的图，且图5为说明根据本发明的示范性实施例的在安置衬 底时制动轮移动构件的坐标图的图。
[0064]具有例如交叉形式等唯一图案的对准标记M由视觉相机310认识，且因此在衬底 的对准及移动时使用。尽管图3说明一个对准标记M形成于衬底S上，但对准标记M可以交 叉形式逐个地形成于衬底S的象限上。在以下描述中，将作为实例描述显示于衬底上的第 二象限上的一个对准标记M，且假设对准标记M的中心坐标具有制动轮移动构件（未说明） 的坐标图上的X及Y坐标[10,10]。在此状况下，制 动轮移动构件为可移动制动轮的设备。 举例来说，制动轮移动构件可包含上文所描述的制动轮移动单元及台架移动单元中的至少 一者。此外，作为补充，各种类型的构件可使制动轮在X轴及Y轴方向上移动。
[0065] 此外，如图4中所说明，制动轮300经配置成沿着台架的轴安置、彼此间隔开的多 个制动轮300a、300b、300c及300n，其中每一制动轮300安置于过程开始之前的预设第一位 置处。举例来说，可沿着台架的轴顺序地设置第一制动轮300a、第二制动轮300b、第三制动 轮300c及第n制动轮300n。
[0066] 在衬底被装到用于处理衬底的设备中以涂覆密封剂时，执行使衬底对准的对准过 程。也就是说，使衬底对准以使得衬底的边缘的表面与台架的纵轴彼此平行。
[0067] 在衬底的对准完成时，为了开始密封剂的排放过程，其中包含排放部分的多个制 动轮300移动取决于输入值的每一过程开始位置。根据本发明的示范性实施例，对输入值 执行偏移校准以将制动轮300准确地移动到过程开始位置。
[0068] 首先，在执行衬底的对准且接着每一制动轮300辨识衬底上的对准标记M时，理解 每一制动轮的个别系统坐标，所述个别系统坐标为制动轮移动构件的坐标值（S210)。
[0069] 如果如图5中所说明，假设将向上与对准标记M间隔开第一制动轮300a设定为定 位于第一坐标[10,10]处作为在过程开始之前的第一位置，所述第一坐标为[X，Y]坐标， 定位经定位于[20,10]坐标处的第二制动轮300b、经定位于[30,10]坐标处的第三制动轮 300c及其类似者，那么在辨识衬底上的对准标记时，为制动轮移动构件的坐标值的个别系 统坐标需要是[10,10]。
[0070] 然而，第一制动轮300a、第二制动轮300b及第三制动轮300c的个别系统坐标为在 不存在滴液设备中的设备的故障的正常条件下以相等间隔经定位为[10,10]、[20,10]及 [30，10]的个别系统坐标。实际上，归因于设备的问题（例如台架的热弯曲及视觉相机310 的第一位置安装改变），不可能准确地理解个别系统坐标。
[0071] 根据本发明的示范性实施例，即使在发生设备的异常时，可准确地计算个别系统 坐标。为此目的，计算每一制动轮的个别系统坐标的过程在视觉相机310辨识衬底的拐角 时计算为制动轮移动构件的坐标值的参考坐标，在视觉相机310辨识对准标记M时使为制 动轮移动构件的坐标值的系统坐标对准，且使用视觉相机310与参考相机之间的间隔距离 计算相机坐标，且使用这些值计算每一制动轮（300)的每一个别系统坐标（S210)。
[0072] 下文中，上文描述了参考坐标、对准系统坐标、相机坐标及个别系统坐标。
[0073] 在设定参考坐标（S211)时，在视觉相机310辨识衬底的拐角时，将制动轮移动构 件的坐标值设定为参考坐标。制动轮移动构件的坐标值表示在制动轮移动构件的操作系统 个别地移动每一制动轮300时使用的映射坐标。制动轮移动构件的坐标值具有在其中制动 轮300可移动的范围内的唯一坐标图，且用可由制动轮移动构件的操作系统辨识的唯一坐 标来映射坐标图。举例来说，如图5中所说明，制动轮移动构件的操作系统的坐标图上的衬 底上的对准标记M的坐标具有X及Y坐标值[10,10]。此外，移动构件坐标图上的衬底的拐 角的坐标具有X及Y坐标值[5, 5]。
[0074] 因此，因为在每一视觉相机310辨识衬底的拐角时参考坐标表示制动轮移动构件 的坐标值，所以在如图5中所说明使衬底对准时，将为最邻近于对准标记M的衬底的拐角的 位置值的[5,5]设定为参考坐标。出于参考目的，衬底的拐角的位置表示最靠近使用的对 准标记M的角的位置。在图5中，使用定位于第二象限处的对准标记M，且因此可将衬底的 第二象限的拐角的位置设定为参考坐标。在使用定位于衬底的第一象限处的对准标记M获 得个别系统坐标时，可将第一象限的拐角的位置设定为参考坐标。
[0075] 同时，将描述对准系统坐标的设定（S212)。在视觉相机310辨识衬底上的对准标 记M时，对准系统坐标表示制动轮移动构件的坐标值。在图5的状况下，在第一视觉相机 310a移动以辨识对准标记M时，坐标图上的[10,10]经辨识为X及Y坐标，且因此可被设 定为对准系统坐标。类似地，在第二视觉相机310b移动以辨识对准标记M时，坐标图上的 [10,10]经辨识为X及Y坐标，且因此也可被设定为对准系统坐标。
[0076] 如上文所描述，在设定对准系统坐标及参考坐标之后，计算为每一视觉相机的位 置的相机坐标（S213)。相机坐标为安装于每一制动轮300中的每一视觉相机310与参考相 机之间的间隔距离。此处，参考相机为布置于台架中的多个视觉相机310中的任一者的视 觉相机310。优选地，参考相机可对应于设置于首先定位于台架的轴上的第一制动轮300a中的的第一视觉相机310a。
[0077] 举例来说，在每一视觉相机310以对于每一设备完全相等的间隔彼此间隔开的假 定下，在图4中被用作参考相机的第一视觉相机310a的状况下，因为第一视觉相机310a与 参考相机相同，所以第一视觉相机310a的相机坐标变为[0,0]。因为第二视觉相机310b与 为参考相机的第一视觉相机310a在X轴上间隔开10,所以第二视觉相机310b的X及Y坐 标变为[10,0]。类似地，因为第三视觉相机310c与为参考相机的第一视觉相机310a在X 轴上间隔开20,所以第三视觉相机301c的X及Y坐标变为[20,0]。
[0078] 同时，在每一视觉相机310以对于每一设备完全相等的间隔彼此间隔开时，视觉 相机的第一安装位置之间的间隔将相等。然而，出于热、湿度及其类似者的原因，在台架倾 斜或台架、制动轮及其类似者归因于设备的安装误差而未安装于准确位置处时，视觉相机 310的X轴上的间隔可不均匀。举例来说，第二视觉相机310b与为参考相机的第一视觉相 机310a在X轴上间隔开10,但在制动轮移动构件的坐标图处可归因于台架的倾斜在X轴上 间隔开9. 9,且视觉相机301c与第一视觉相机310a在X轴上间隔开20,但在制动轮移动构 件的坐标图处可在X轴上间隔开20. 2。
[0079] 出于参考目的，在每一视觉相机310的制动轮移动构件的坐标图处的X轴上的间 隔距离可使用平台中所提供的相同固定试样（未说明）来计算。举例来说，第二视觉相机 310的相机坐标通过在为第一视觉相机310a的参考相机辨识固定试样时首先测量制动轮 移动构件的坐标值（第一视觉相机的固定试样的坐标值）及接着在第二视觉相机310b辨 识固定试样时测量制动轮移动构件的坐标值（第二视觉相机的固定试样的坐标值）及从第 一视觉相机的固定试样的坐标值减去第二视觉相机的固定试样的坐标值来获得。
[0080] 如上文所描述，在计算参考坐标、对准系统坐标及相机坐标之后，使用参考坐标、 对准系统坐标及相机坐标计算每一制动轮300的个别系统坐标（S214)。在计算个别系统坐 标的过程中，可通过从对准系统坐标减去参考坐标及相机坐标来计算个别系统坐标。
[0081] 如图4中所说明，在以下[表1]中描述在所述位置处的每一视觉相机的个别系统 坐标及视觉相机310的对准标记M。
[0082][表1]
[0084]
[0085] 如上文[表1]中所示，由（对准系统坐标-参考坐标-相机坐标）的关系等式获 得个别系统 坐标，且因此可了解，在第一视觉相机310a的个别系统坐标的状况下，计算[5， 5]，在第二视觉相机310b的个别系统坐标的状况下，计算[5. 1，5]，且在第三视觉相机310c 的个别系统坐标的状况下，计算[4. 8, 5]。出于参考目的，如上文所描述，个别系统坐标归因 于台架的扭曲、设备安装的误差及其类似者而不均匀，且因此相机坐标并未被测量为相等 间隔。
[0086] 如上文所描述，用于校准坐标的方法包含计算每一制动轮300的个别系统坐标 (S214)及计算个别偏移（S220)的过程。可通过从个别系统坐标减去为对准标记M的衬底 上的坐标的对准衬底坐标而获得个别偏移。参看图5,在制动轮移动构件（未说明）的坐标 图中，衬底的拐角具有坐标[5, 5]，但在从基于衬底的衬底坐标观看时，衬底的拐角具有坐 标[0,0]。类似地，在制动轮移动构件（未说明）的坐标图的状况下，对准标记M具有操作 系统坐标[10,10]，但在从基于衬底的衬底坐标观看时，对准标记M具有衬底坐标[5,5]。
[0087] 因此，基于将衬底的拐角设定为坐标[0,0]的衬底上的坐标，表不对准标记M的衬 底上的位置的对准衬底坐标变为[5, 5]。因此，从个别系统坐标减去对准衬底坐标，且因此， 每一制动轮300的个别偏移可在如图5中所说明安置时如下文[表2]中所示进行计算。
[0088][表2]
[0091] 如上文所描述，计算设置于每一制动轮300中的视觉相机310的个别偏移，且接着 分别对其及对于每一制动轮300所请求的移动请求坐标求和（如在下文等式1中），从而计 算每一制动轮300的移动校准坐标（S230)。
[0092][等式1]
[0093] 每一制动轮的移动校准坐标=过程请求坐标+个别偏移
[0094] 分别对个别偏移及对于每一制动轮所请求的移动请求坐标求和以计算每一制动 轮的移动校准坐标。举例来说，在第一制动轮300a移动到制动轮移动构件的操作系统的坐 标图上的坐标[3,29]时，加上个别偏移[0,0]以将第一制动轮300a移动到所请求的坐标 [3, 29]。此外，在第二制动轮300b移动到坐标[13, 29]时，加上个别偏移[0? 1，0]以将第二 制动轮300b移动到坐标[13. 1，29]。类似地，在第三制动轮300c移动到坐标[23, 29]时， 加上个别偏移[0. 2,0]以将第三制动轮300c移动到坐标[23. 2, 29]。
[0095] 在过程开始时类似地应用通过将个别偏移应用于移动请求坐标而执行的校准。也 就是说，分别对个别偏移及设定的过程开始坐标求和以计算每一制动轮的过程开始校准坐 标，且将每一制动轮移动到过程开始校准坐标。
[0096] 同时，为解释的方便起见，在制动轮300及经设置以对应于每一制动轮300的视觉 相机310的位置坐标彼此相同的假设下作出前述描述。原因在于制动轮300移动多达视觉 相机310的移动量。
[0097] 本发明是参考附图及前述示范性实施例描述的，但其并不限于此，且由所附权利 要求书限制。在不脱离下文描述的权利要求书的技术精神，本发明可由所属领域的技术人 员不同地改变及修改。
【主权项】
1. 一种用于校准制动轮的坐标以校准设置于台架中的多个制动轮的过程开始坐标的 方法，所述方法包括： 在辨识衬底上的对准标记时理解个别系统坐标，所述个别系统坐标为制动轮移动构件 的坐标； 通过从所述个别系统坐标减去对准衬底坐标而计算个别偏移，所述对准衬底坐标为所 述对准标记的所述衬底上的坐标；以及 对所述个别偏移及对于每一制动轮所请求的移动请求坐标求和以计算每一制动轮的 移动校准坐标。2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于每一制动轮的所述个别系统坐标的计算包 含： 在视觉相机辨识所述衬底的拐角时将所述制动轮移动构件的坐标值设定为参考坐 标； 在所述视觉相机辨识所述衬底上的所述对准标记时将所述制动轮移动构件的所述坐 标值设定为对准系统坐标； 将所述视觉相机与设定的参考相机之间的间隔距离计算为相机坐标；以及 使用所述参考坐标、所述对准系统坐标及所述相机坐标计算每一制动轮的所述个别系 统坐标。3. 根据权利要求2所述的方法，其特征在于在所述个别系统坐标的所述计算中，通过 从所述对准系统坐标减去所述参考坐标及所述相机坐标来计算所述个别系统坐标。4. 根据权利要求2所述的方法，其特征在于所述参考相机为设置于首先定位于所述台 架的轴上的所述制动轮处的视觉相机。5. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于在所述移动校准坐标的所述计算中，分别 对所述个别偏移及设定的过程开始坐标求和以计算每一制动轮的过程开始校准坐标，且使 每一制动轮移动到所述过程开始校准坐标。6. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于使所述衬底对准以使所述衬底的边缘的表 面与所述台架的纵轴彼此平行，且接着计算每一制动轮的所述个别系统坐标。7. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于对于所述衬底上的象限，以交叉形式逐个 地形成所述对准标记。8. -种用于处理衬底的设备，所述设备包括： 其上安放所述衬底的平台； 安置在所述平台上的台架； 安装在所述台架上且经安置成彼此间隔开的多个制动轮，所述多个制动轮是在一个方 向上列出； 多个排放单元，其安置于所述多个制动轮之下且在一个方向上彼此间隔开以将液体排 放到所述衬底； 台架移动单元，其安置于所述平台上以使所述台架在Y轴方向上水平地移动；以及 制动轮移动单元，其在辨识所述衬底上的所述对准标记时算出每一制动轮的为所述制 动轮移动单元的坐标的个别系统坐标，以从所述个别系统坐标减去为其上形成有所述对准 标记的衬底坐标的对准衬底坐标以便计算个别偏移，且接着分别对所述个别偏移与对于每 一制动轮所请求的移动坐标求和以计算每一制动轮的移动校准坐标，从而使所述多个制动 轮在X轴方向上水平地移动。9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于在所述移动校准坐标的所述计算中，在视 觉相机辨识所述衬底的拐角时将所述制动轮移动单元的坐标值设定为参考坐标，在所述视 觉相机辨识所述衬底上的所述对准标记时将所述制动轮移动单元的所述坐标值设定为对 准系统坐标，且将所述视觉相机与设定的参考相机之间的间隔距离计算为相机坐标，且接 着使用所述参考坐标、所述对准系统坐标及所述相机坐标来计算每一制动轮的所述个别系 统坐标。
【专利摘要】本发明涉及用于校准制动轮的坐标的方法及用于处理衬底的设备，且更确切地说，涉及用于校准制动轮的坐标的方法及能够在滴液设备的所述制动轮移动时校准坐标的用于处理衬底的设备。根据本发明的示范性实施例，一种用于校准制动轮的坐标以校准设置于台架中的多个制动轮的过程开始坐标的方法包含：在辨识衬底上的对准标记时理解个别系统坐标，所述个别系统坐标为制动轮移动构件的坐标；通过从所述个别系统坐标减去对准衬底坐标而计算个别偏移，所述对准衬底坐标为所述对准标记的所述衬底上的坐标；以及对所述个别偏移及对于每一制动轮所请求的移动请求坐标求和以计算每一制动轮的移动校准坐标。
【IPC分类】G01B11/00, H01L21/67, H01L21/68
【公开号】CN104897055
【申请号】CN201510094991
【发明人】成元珉, 李周浩, 咸德柱, 金振亿
【申请人】Ap系统股份有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年3月3日
【技术领域】
[0001] 本发明涉及用于校准制动轮（headblock)的坐标的方法及用于处理衬底的设备， 且更确切地说，涉及用于校准制动轮的坐标的方法及能够在滴液设备（liquiddropping apparatus)的所述制动轮移动时校准坐标的用于处理衬底的设备。
【背景技术】
[0002] 通过使用密封分配器设备（sealdispenserequipment)来接合一对平面型衬底 制造平面显示面板。作为实例描述液晶显示面板的制造，首先制造其上形成有多个薄膜晶 体管及像素电极的下部衬底及其上形成有滤色器及共同电极的上部电极。接下来，液晶滴 落到下部衬底，且将密封剂涂覆于下部衬底的边缘区。接下来，其上形成有像素电极的下部 衬底的表面及其上形成有共同电极的上部衬底的表面经安置成彼此相对，且接着密封两个 衬底，使其彼此接合，从而制造液晶面板。本文中，例如密封分配器等滴液设备用以涂覆密 封剂。通过这样做，沿着衬底的边缘外周涂覆密封剂。
[0003] 同时，在涂覆密封剂的制动轮在密封分配器中移动时，制动轮可能并不准确地移 动到实际目标位置。原因在于制动轮归因于经编码的误差、相机测量的误差、仪器的变形等 而移动到实际目标位置之外。因此，密封分配器设备具有被称作位置偏移的功能。所述功 能给出了到设备的轴杆的多达设定量（必要时）的位置偏移以便校准误差。
[0004] 然而，相关技术允许操作密封分配器设备以将值直接输入到指定轴杆。然而，在操 作者直接输入偏移值时，难以实时反映实时设备条件，且因此不可能输入准确的偏移值。举 例来说，可能并未反映由比例尺在测量时归因于温度及湿度的变形而造成的误差。此外，无 论操作者如何直接输入偏移值，可仅在设备的设置及维护期间输入偏移值。结果，存在可能 在设备的操作期间并未实时反映偏移值的问题。
[0005] [相关技术文献]
[0006] [专利文献]
[0007] (专利文献1)韩国专利特许公开公布第10-2013-0051881号。
【发明内容】
[0008] 本发明提供一种用于将滴液设备的制动轮传送到准确坐标的衬底处理设备。本发 明还提供一种用于计算滴液设备的每一制动轮的单独偏移及用于在设备的操作期间实时 反映偏移的衬底处理设备。
[0009] 根据本发明的示范性实施例，一种用于校准制动轮的坐标以校准设置于台架 (gantry)中的多个制动轮的过程开始坐标的方法包含：在辨识衬底上的对准标记时理解 个别系统坐标，所述个别系统坐标为制动轮移动构件的坐标；通过从所述个别系统坐标减 去对准衬底坐标而计算个别偏移，所述对准衬底坐标为所述对准标记的所述衬底上的坐 标；以及对所述个别偏移及对于每一制动轮所请求的移动请求坐标求和以计算每一制动轮 的移动校准坐标。
[0010] 每一制动轮的所述个别系统坐标的计算可包含：在视觉相机（visioncamera)辨 识所述衬底的拐角时将所述制动轮移动构件的坐标值设定为参考坐标；在所述视觉相机辨 识所述衬底上的所述对准标记时将所述制动轮移动构件的所述坐标值设定为对准系统坐 标；将所述视觉相机与设定的参考相机之间的间隔距离计算为相机坐标；以及使用所述参 考坐标、所述对准系统坐标及所述相机坐标计算每一制动轮的所述个别系统坐标。
[0011] 在所述个别系统坐标的所述计算中，可通过从所述对准系统坐标减去所述参考坐 标及所述相机坐标来计算所述个别系统坐标。
[0012] 所述参考相机可为设置于首先定位于所述台架的轴上的所述制动轮处的视觉相 机。
[0013] 在所述移动校准坐标的所述计算中，可分别对所述个别偏移及设定的过程开始坐 标求和以计算每一制动轮的过程开始校准坐标，且使每一制动轮移动到所述过程开始校准 坐标。
[0014] 可使所述衬底对准以使所述衬底的边缘的表面与所述台架的纵轴彼此平行，且接 着可计算每一制动轮的所述个别系统坐标。
[0015] 对于所述衬底上的象限，可以交叉形式逐个地形成所述对准标记。
[0016] 根据本发明的另一个示范性实施例，一种用于处理衬底的设备包含：其上安放所 述衬底的平台（stage);安置在所述平台上的台架；固定地安装在所述台架上且经安置成 彼此间隔开的多个制动轮，所述多个制动轮是在一个方向上列出；多个排放单元，其安置 于所述多个制动轮之下且在一个方向上彼此间隔开以将液体排放到所述衬底；台架移动单 元，其安置于所述平台上以使所述台架在Y轴方向上水平地移动；以及制动轮移动单元，其 在辨识所述衬底上的所述对准标记时算出每一制动轮的为所述制动轮移动单元的坐标的 个别系统坐标，以从所述个别系统坐标减去为其上形成有所述对准标记的衬底坐标的对准 衬底坐标以便计算个别偏移，且接着分别对所述个别偏移与对于每一制动轮所请求的移动 坐标求和以计算每一制动轮的移动校准坐标，从而使所述多个制动轮在X轴方向上水平地 移动。
[0017] 根据本发明的示范性实施例，有可能通过个别地计算滴液设备的每一制动轮的偏 移以便个别地应用所述偏移来将每一制动轮传送到准确坐标。此外，根据本发明的示范性 实施例，有可能通过计算用于传送每一制动轮的偏移在移动制动轮时实时反映偏移。
【附图说明】
[0018]图1为说明根据本发明的示范性实施例的滴液设备的图。
[0019]图2为说明根据本发明的示范性实施例的制动轮的校准移动坐标的过程的流程 图。
[0020] 图3为说明其中对准标记形成于衬底上的外观的图。
[0021]图4为说明根据本发明的示范性实施例的对准标记及多个制动轮的图。
[0022]图5为说明根据本发明的示范性实施例的在安置衬底时制动轮移动构件的坐标 图的图。
[0023] 附图标记说明：
[0024]100 :平台；
[0025] 200:台架；
[0026] 300 :制动轮；
[0027] 300a:第一制动轮；
[0028] 300b:第二制动轮；
[0029] 300c:第三制动轮；
[0030] 300n:第 n制动轮；
[0031] 310 :视觉相机；
[0032] 310a:第一视觉相机；
[0033] 310b:第二视觉相机；
[0034] 310c:第三视觉相机；
[0035] 31On:第n视觉相机；
[0036] 400 :注射器；
[0037] 400a:第一注射器；
[0038]400b:第二注射器；
[0039]400c:第三注射器；
[0040] 410 :排放单元；
[0041] 410a:第一排放单元；
[0042] 410b:第二排放单元；
[0043] 410c:第三排放单元；
[0044]500 :制动轮移动单元/导轨；
[0045]600 :台架移动单元；
[0046]610:台架导轨；
[0047] 620 :台架驱动单元；
[0048] M :对准标记；
[0049]S:衬底。
【具体实施方式】
[0050] 下文中参考附图详细描述本发明的示范性实施例 。然而，本发明限于下文所揭示 的示范性实施例，但可以各种不同形式实施。将仅提供这些示范性实施例以便使本发明的 揭示内容完整，且允许所属领域的技术人员完全认识到本发明的范围。附图上的组件可经 放大以便描述本发明，且将由相同参考标号表示相同组件。
[0051]图1为说明根据本发明的示范性实施例的滴液设备的图。
[0052] 参考图1，根据本发明的示范性实施例的滴液设备包含：其上安放衬底S的平台 1〇〇;安置在平台1〇〇上的台架200;固定地安装在台架200上且经安置成彼此间隔开的多 个制动轮300,所述多个制动轮是在一个方向上列出；以及多个排放单元410,其安置于多 个制动轮300之下且在一个方向上彼此间隔开以将液体排放到衬底S。滴液设备包含制动 轮移动单元500,其使多个制动轮300在X轴方向上水平地移动。此外，滴液设备包含台架 移动单元600,所述台架移动单元安置于平台100上以使台架200在Y轴方向上水平地移 动。出于参考目的，X轴及Y轴彼此形成直角，台架200沿着Y轴水平地移动，且附接到台 架200的制动轮300沿着X轴水平地移动。此外，改变X轴及Y轴的交叉方向，且因此台架 200可沿着X轴水平地移动，且附接到台架200的制动轮300可沿着Y轴水平地移动。
[0053]根据本发明的示范性实施例，将密封剂用作滴落到衬底S的液体，且根据本发明 的示范性实施例的滴液设备可为密封分配器。当然，本发明并不限于此，且因此可使用各种 类型的液体。举例来说，液晶可滴落到衬底S。本文中，液体的实例可包含例如水等具有低 粘度的液体、例如液晶、溶胶、密封剂、各种混合液体、浆料及糊状物等具有高粘度的液体及 液体混合物。
[0054] 可将平台100制造成对应于表面S的形状以便使衬底S安放在其上。根据本发明 的示范性实施例，将四边形衬底S用作衬底S。对应地，将四边形平台100用作平台100。尽 管并未说明，但平台1〇〇可具备用于固定地安放衬底S的单独固定部分。在此状况下，可将 静电卡盘或真空固定设备用作固定部分。此处，在使用真空固定设备时，可将与真空泵连通 的多个孔设置于平台100中。通过这样做，可以固定安放在平台100上的衬底S。
[0055]台架移动单元600可经制造以使台架200在与其中多个排放单元410水平地移动 的方向交叉的方向上移动。台架移动单元600包含一对台架导轨610,其并行地安置，在平 台100上彼此间隔开；以及台架驱动单元620,其各自安置于所述对台架导轨610上以沿着 所述对台架导轨610滑动。此处，所述对台架导轨610沿着Y轴方向安置于平台100上，且 在正交于排放单元410的移动方向的方向上（也就是说，在正交于X方向的方向上）安置。 此外，台架驱动单元620的上部部分与台架200的下部部分耦合。因此，随着台架驱动单元 620沿着台架滑轨610滑动，与台架驱动单元620耦合的台架200水平地移动。在此状况 下，台架驱动单元620可为产生例如线性运动的线性电动机或滚珠螺杆与使滚珠螺杆旋转 的电动机的组合。同时，本发明并不限于此，且因此，可将可使台架驱动单元620在台架滑 轨610上滑动的任何方法应用于台架驱动单元620。
[0056]制动轮300具有存储其中提供的液体的容器（未说明），且包含安置于容器（未说 明）之下的经供应有来自容器的液体且存储预定量的液体的注射器以及固定容器及注射 器400的固定构件（未说明）。在此状况下，多个制动轮300可经安置成彼此间隔开，在正 交于台架200上的台架导轨610的方向（例如X轴方向）上列出。也就是说，多个制动轮 300经安置以在正交于台架导轨610的方向上列出。
[0057]制动轮300中的容器（未说明）用以存储经供应到注射器400的液体，且根据本发 明的示范性实施例，经制造成圆柱形形状。然而，本发明并不限于此，且因此容器可制造成 各种形状。容器（未说明）可具备消泡设备，其具有设置于其中的真空构件以将容器（未 说明）中的空气排放到大气中。注射器400用以供应有来自容器（未说明）的液体，且将 预定量的液体提供到排放单元410。此处，注射器400可与注射载气（例如氮气）的压力 设备（未说明）连接以在预定压力下将液体供应到排放单元410。此外，在容器（未说明） 与注射器400之间具备连通于容器（未说明）与注射器400之间的阀门（未说明）。通过 这样做，在阀门（未说明）打开时，容器（未说明）中的液体移动到注射器400。排放单元 410经实施为喷嘴及其类似者，用以使液体到安放在平台100上的衬底S上，且安置于设置 于每一制动轮300处的注射器400之下。
[0058]制动轮移动单元500用以使制动轮300水平地移动，所述制动轮包含将液体排放 到衬底S上的排放单元410。制动轮移动单元500包含经安置成在X轴方向上延伸的导轨 500及使每一制动轮300沿着导轨500在X轴方向上移动的制动轮驱动单元（未说明）。可 不同地驱动使制动轮300沿着滑轨移动的制动轮驱动单元（未说明）。举例来说，制动轮驱 动单元可由各种方法（例如通过磁力驱动器进行的驱动方法及通过电动机进行的驱动方 法）驱动。
[0059] 每一制动轮300具备视觉相机310。视觉相机310可经安置成朝向衬底，安置于形 成于制动轮300之下的喷嘴的一侧、制动轮300的侧壁表面、制动轮300的前表面及其类似 者上。本发明的示范性实施例描述其中制动轮300的前表面具备视觉相机310的实例。视 觉相机310为感测及测量输入可见光以检测图像的相机，且可在通过辨识形成于衬底上的 对准标记M及其类似者而对准衬底或移动制动轮300时使用。
[0060] 根据本发明的示范性实施例，在每一制动轮300移动到过程开始位置时通过使用 设置于每一制动轮300中的视觉相机310来自动执行偏移校准。
[0061]制动轮移动单元在辨识衬底上的对准标记时算出每一制动轮的个别系统坐标，所 述个别系统坐标为制动轮移动单元的坐标。制动轮移动单元从个别系统坐标减去对准衬底 坐标（所述对准衬底坐标为其上形成有对准标记的衬底坐标）以便计算个别偏移。且制动 轮移动单元分别对个别偏移及对于每一制动轮请求的移动请求坐标求和，以便计算每一制 动轮的移动校准坐标，从而使多个制动轮在X轴方向上水平地移动。
[0062] 在计算每一制动轮的个别系统坐标时，在视觉相机辨识衬底的拐角时将制动轮移 动单元的坐标值设定为参考坐标，在视觉相机辨识衬底上的对准标记时将制动轮移动单元 的坐标值设定为对准系统坐标，且将视觉相机与预设参考相机之间的间隔距离计算为相机 坐标，且结果，使用参考坐标、对准系统坐标及相机坐标计算每一制动轮的个别系统坐标。
[0063]图2为说明根据本发明的示范性实施例的制动轮的校准移动坐标的过程的流程 图，图3为说明其中对准标记形成于衬底上的外观的图，图4为说明根据本发明的示范性实 施例的对准标记及多个制动轮的图，且图5为说明根据本发明的示范性实施例的在安置衬 底时制动轮移动构件的坐标图的图。
[0064]具有例如交叉形式等唯一图案的对准标记M由视觉相机310认识，且因此在衬底 的对准及移动时使用。尽管图3说明一个对准标记M形成于衬底S上，但对准标记M可以交 叉形式逐个地形成于衬底S的象限上。在以下描述中，将作为实例描述显示于衬底上的第 二象限上的一个对准标记M，且假设对准标记M的中心坐标具有制动轮移动构件（未说明） 的坐标图上的X及Y坐标[10,10]。在此状况下，制 动轮移动构件为可移动制动轮的设备。 举例来说，制动轮移动构件可包含上文所描述的制动轮移动单元及台架移动单元中的至少 一者。此外，作为补充，各种类型的构件可使制动轮在X轴及Y轴方向上移动。
[0065] 此外，如图4中所说明，制动轮300经配置成沿着台架的轴安置、彼此间隔开的多 个制动轮300a、300b、300c及300n，其中每一制动轮300安置于过程开始之前的预设第一位 置处。举例来说，可沿着台架的轴顺序地设置第一制动轮300a、第二制动轮300b、第三制动 轮300c及第n制动轮300n。
[0066] 在衬底被装到用于处理衬底的设备中以涂覆密封剂时，执行使衬底对准的对准过 程。也就是说，使衬底对准以使得衬底的边缘的表面与台架的纵轴彼此平行。
[0067] 在衬底的对准完成时，为了开始密封剂的排放过程，其中包含排放部分的多个制 动轮300移动取决于输入值的每一过程开始位置。根据本发明的示范性实施例，对输入值 执行偏移校准以将制动轮300准确地移动到过程开始位置。
[0068] 首先，在执行衬底的对准且接着每一制动轮300辨识衬底上的对准标记M时，理解 每一制动轮的个别系统坐标，所述个别系统坐标为制动轮移动构件的坐标值（S210)。
[0069] 如果如图5中所说明，假设将向上与对准标记M间隔开第一制动轮300a设定为定 位于第一坐标[10,10]处作为在过程开始之前的第一位置，所述第一坐标为[X，Y]坐标， 定位经定位于[20,10]坐标处的第二制动轮300b、经定位于[30,10]坐标处的第三制动轮 300c及其类似者，那么在辨识衬底上的对准标记时，为制动轮移动构件的坐标值的个别系 统坐标需要是[10,10]。
[0070] 然而，第一制动轮300a、第二制动轮300b及第三制动轮300c的个别系统坐标为在 不存在滴液设备中的设备的故障的正常条件下以相等间隔经定位为[10,10]、[20,10]及 [30，10]的个别系统坐标。实际上，归因于设备的问题（例如台架的热弯曲及视觉相机310 的第一位置安装改变），不可能准确地理解个别系统坐标。
[0071] 根据本发明的示范性实施例，即使在发生设备的异常时，可准确地计算个别系统 坐标。为此目的，计算每一制动轮的个别系统坐标的过程在视觉相机310辨识衬底的拐角 时计算为制动轮移动构件的坐标值的参考坐标，在视觉相机310辨识对准标记M时使为制 动轮移动构件的坐标值的系统坐标对准，且使用视觉相机310与参考相机之间的间隔距离 计算相机坐标，且使用这些值计算每一制动轮（300)的每一个别系统坐标（S210)。
[0072] 下文中，上文描述了参考坐标、对准系统坐标、相机坐标及个别系统坐标。
[0073] 在设定参考坐标（S211)时，在视觉相机310辨识衬底的拐角时，将制动轮移动构 件的坐标值设定为参考坐标。制动轮移动构件的坐标值表示在制动轮移动构件的操作系统 个别地移动每一制动轮300时使用的映射坐标。制动轮移动构件的坐标值具有在其中制动 轮300可移动的范围内的唯一坐标图，且用可由制动轮移动构件的操作系统辨识的唯一坐 标来映射坐标图。举例来说，如图5中所说明，制动轮移动构件的操作系统的坐标图上的衬 底上的对准标记M的坐标具有X及Y坐标值[10,10]。此外，移动构件坐标图上的衬底的拐 角的坐标具有X及Y坐标值[5, 5]。
[0074] 因此，因为在每一视觉相机310辨识衬底的拐角时参考坐标表示制动轮移动构件 的坐标值，所以在如图5中所说明使衬底对准时，将为最邻近于对准标记M的衬底的拐角的 位置值的[5,5]设定为参考坐标。出于参考目的，衬底的拐角的位置表示最靠近使用的对 准标记M的角的位置。在图5中，使用定位于第二象限处的对准标记M，且因此可将衬底的 第二象限的拐角的位置设定为参考坐标。在使用定位于衬底的第一象限处的对准标记M获 得个别系统坐标时，可将第一象限的拐角的位置设定为参考坐标。
[0075] 同时，将描述对准系统坐标的设定（S212)。在视觉相机310辨识衬底上的对准标 记M时，对准系统坐标表示制动轮移动构件的坐标值。在图5的状况下，在第一视觉相机 310a移动以辨识对准标记M时，坐标图上的[10,10]经辨识为X及Y坐标，且因此可被设 定为对准系统坐标。类似地，在第二视觉相机310b移动以辨识对准标记M时，坐标图上的 [10,10]经辨识为X及Y坐标，且因此也可被设定为对准系统坐标。
[0076] 如上文所描述，在设定对准系统坐标及参考坐标之后，计算为每一视觉相机的位 置的相机坐标（S213)。相机坐标为安装于每一制动轮300中的每一视觉相机310与参考相 机之间的间隔距离。此处，参考相机为布置于台架中的多个视觉相机310中的任一者的视 觉相机310。优选地，参考相机可对应于设置于首先定位于台架的轴上的第一制动轮300a中的的第一视觉相机310a。
[0077] 举例来说，在每一视觉相机310以对于每一设备完全相等的间隔彼此间隔开的假 定下，在图4中被用作参考相机的第一视觉相机310a的状况下，因为第一视觉相机310a与 参考相机相同，所以第一视觉相机310a的相机坐标变为[0,0]。因为第二视觉相机310b与 为参考相机的第一视觉相机310a在X轴上间隔开10,所以第二视觉相机310b的X及Y坐 标变为[10,0]。类似地，因为第三视觉相机310c与为参考相机的第一视觉相机310a在X 轴上间隔开20,所以第三视觉相机301c的X及Y坐标变为[20,0]。
[0078] 同时，在每一视觉相机310以对于每一设备完全相等的间隔彼此间隔开时，视觉 相机的第一安装位置之间的间隔将相等。然而，出于热、湿度及其类似者的原因，在台架倾 斜或台架、制动轮及其类似者归因于设备的安装误差而未安装于准确位置处时，视觉相机 310的X轴上的间隔可不均匀。举例来说，第二视觉相机310b与为参考相机的第一视觉相 机310a在X轴上间隔开10,但在制动轮移动构件的坐标图处可归因于台架的倾斜在X轴上 间隔开9. 9,且视觉相机301c与第一视觉相机310a在X轴上间隔开20,但在制动轮移动构 件的坐标图处可在X轴上间隔开20. 2。
[0079] 出于参考目的，在每一视觉相机310的制动轮移动构件的坐标图处的X轴上的间 隔距离可使用平台中所提供的相同固定试样（未说明）来计算。举例来说，第二视觉相机 310的相机坐标通过在为第一视觉相机310a的参考相机辨识固定试样时首先测量制动轮 移动构件的坐标值（第一视觉相机的固定试样的坐标值）及接着在第二视觉相机310b辨 识固定试样时测量制动轮移动构件的坐标值（第二视觉相机的固定试样的坐标值）及从第 一视觉相机的固定试样的坐标值减去第二视觉相机的固定试样的坐标值来获得。
[0080] 如上文所描述，在计算参考坐标、对准系统坐标及相机坐标之后，使用参考坐标、 对准系统坐标及相机坐标计算每一制动轮300的个别系统坐标（S214)。在计算个别系统坐 标的过程中，可通过从对准系统坐标减去参考坐标及相机坐标来计算个别系统坐标。
[0081] 如图4中所说明，在以下[表1]中描述在所述位置处的每一视觉相机的个别系统 坐标及视觉相机310的对准标记M。
[0082][表1]
[0084]
[0085] 如上文[表1]中所示，由（对准系统坐标-参考坐标-相机坐标）的关系等式获 得个别系统 坐标，且因此可了解，在第一视觉相机310a的个别系统坐标的状况下，计算[5， 5]，在第二视觉相机310b的个别系统坐标的状况下，计算[5. 1，5]，且在第三视觉相机310c 的个别系统坐标的状况下，计算[4. 8, 5]。出于参考目的，如上文所描述，个别系统坐标归因 于台架的扭曲、设备安装的误差及其类似者而不均匀，且因此相机坐标并未被测量为相等 间隔。
[0086] 如上文所描述，用于校准坐标的方法包含计算每一制动轮300的个别系统坐标 (S214)及计算个别偏移（S220)的过程。可通过从个别系统坐标减去为对准标记M的衬底 上的坐标的对准衬底坐标而获得个别偏移。参看图5,在制动轮移动构件（未说明）的坐标 图中，衬底的拐角具有坐标[5, 5]，但在从基于衬底的衬底坐标观看时，衬底的拐角具有坐 标[0,0]。类似地，在制动轮移动构件（未说明）的坐标图的状况下，对准标记M具有操作 系统坐标[10,10]，但在从基于衬底的衬底坐标观看时，对准标记M具有衬底坐标[5,5]。
[0087] 因此，基于将衬底的拐角设定为坐标[0,0]的衬底上的坐标，表不对准标记M的衬 底上的位置的对准衬底坐标变为[5, 5]。因此，从个别系统坐标减去对准衬底坐标，且因此， 每一制动轮300的个别偏移可在如图5中所说明安置时如下文[表2]中所示进行计算。
[0088][表2]
[0091] 如上文所描述，计算设置于每一制动轮300中的视觉相机310的个别偏移，且接着 分别对其及对于每一制动轮300所请求的移动请求坐标求和（如在下文等式1中），从而计 算每一制动轮300的移动校准坐标（S230)。
[0092][等式1]
[0093] 每一制动轮的移动校准坐标=过程请求坐标+个别偏移
[0094] 分别对个别偏移及对于每一制动轮所请求的移动请求坐标求和以计算每一制动 轮的移动校准坐标。举例来说，在第一制动轮300a移动到制动轮移动构件的操作系统的坐 标图上的坐标[3,29]时，加上个别偏移[0,0]以将第一制动轮300a移动到所请求的坐标 [3, 29]。此外，在第二制动轮300b移动到坐标[13, 29]时，加上个别偏移[0? 1，0]以将第二 制动轮300b移动到坐标[13. 1，29]。类似地，在第三制动轮300c移动到坐标[23, 29]时， 加上个别偏移[0. 2,0]以将第三制动轮300c移动到坐标[23. 2, 29]。
[0095] 在过程开始时类似地应用通过将个别偏移应用于移动请求坐标而执行的校准。也 就是说，分别对个别偏移及设定的过程开始坐标求和以计算每一制动轮的过程开始校准坐 标，且将每一制动轮移动到过程开始校准坐标。
[0096] 同时，为解释的方便起见，在制动轮300及经设置以对应于每一制动轮300的视觉 相机310的位置坐标彼此相同的假设下作出前述描述。原因在于制动轮300移动多达视觉 相机310的移动量。
[0097] 本发明是参考附图及前述示范性实施例描述的，但其并不限于此，且由所附权利 要求书限制。在不脱离下文描述的权利要求书的技术精神，本发明可由所属领域的技术人 员不同地改变及修改。
【主权项】
1. 一种用于校准制动轮的坐标以校准设置于台架中的多个制动轮的过程开始坐标的 方法，所述方法包括： 在辨识衬底上的对准标记时理解个别系统坐标，所述个别系统坐标为制动轮移动构件 的坐标； 通过从所述个别系统坐标减去对准衬底坐标而计算个别偏移，所述对准衬底坐标为所 述对准标记的所述衬底上的坐标；以及 对所述个别偏移及对于每一制动轮所请求的移动请求坐标求和以计算每一制动轮的 移动校准坐标。2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于每一制动轮的所述个别系统坐标的计算包 含： 在视觉相机辨识所述衬底的拐角时将所述制动轮移动构件的坐标值设定为参考坐 标； 在所述视觉相机辨识所述衬底上的所述对准标记时将所述制动轮移动构件的所述坐 标值设定为对准系统坐标； 将所述视觉相机与设定的参考相机之间的间隔距离计算为相机坐标；以及 使用所述参考坐标、所述对准系统坐标及所述相机坐标计算每一制动轮的所述个别系 统坐标。3. 根据权利要求2所述的方法，其特征在于在所述个别系统坐标的所述计算中，通过 从所述对准系统坐标减去所述参考坐标及所述相机坐标来计算所述个别系统坐标。4. 根据权利要求2所述的方法，其特征在于所述参考相机为设置于首先定位于所述台 架的轴上的所述制动轮处的视觉相机。5. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于在所述移动校准坐标的所述计算中，分别 对所述个别偏移及设定的过程开始坐标求和以计算每一制动轮的过程开始校准坐标，且使 每一制动轮移动到所述过程开始校准坐标。6. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于使所述衬底对准以使所述衬底的边缘的表 面与所述台架的纵轴彼此平行，且接着计算每一制动轮的所述个别系统坐标。7. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于对于所述衬底上的象限，以交叉形式逐个 地形成所述对准标记。8. -种用于处理衬底的设备，所述设备包括： 其上安放所述衬底的平台； 安置在所述平台上的台架； 安装在所述台架上且经安置成彼此间隔开的多个制动轮，所述多个制动轮是在一个方 向上列出； 多个排放单元，其安置于所述多个制动轮之下且在一个方向上彼此间隔开以将液体排 放到所述衬底； 台架移动单元，其安置于所述平台上以使所述台架在Y轴方向上水平地移动；以及 制动轮移动单元，其在辨识所述衬底上的所述对准标记时算出每一制动轮的为所述制 动轮移动单元的坐标的个别系统坐标，以从所述个别系统坐标减去为其上形成有所述对准 标记的衬底坐标的对准衬底坐标以便计算个别偏移，且接着分别对所述个别偏移与对于每 一制动轮所请求的移动坐标求和以计算每一制动轮的移动校准坐标，从而使所述多个制动 轮在X轴方向上水平地移动。9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于在所述移动校准坐标的所述计算中，在视 觉相机辨识所述衬底的拐角时将所述制动轮移动单元的坐标值设定为参考坐标，在所述视 觉相机辨识所述衬底上的所述对准标记时将所述制动轮移动单元的所述坐标值设定为对 准系统坐标，且将所述视觉相机与设定的参考相机之间的间隔距离计算为相机坐标，且接 着使用所述参考坐标、所述对准系统坐标及所述相机坐标来计算每一制动轮的所述个别系 统坐标。
【专利摘要】本发明涉及用于校准制动轮的坐标的方法及用于处理衬底的设备，且更确切地说，涉及用于校准制动轮的坐标的方法及能够在滴液设备的所述制动轮移动时校准坐标的用于处理衬底的设备。根据本发明的示范性实施例，一种用于校准制动轮的坐标以校准设置于台架中的多个制动轮的过程开始坐标的方法包含：在辨识衬底上的对准标记时理解个别系统坐标，所述个别系统坐标为制动轮移动构件的坐标；通过从所述个别系统坐标减去对准衬底坐标而计算个别偏移，所述对准衬底坐标为所述对准标记的所述衬底上的坐标；以及对所述个别偏移及对于每一制动轮所请求的移动请求坐标求和以计算每一制动轮的移动校准坐标。
【IPC分类】G01B11/00, H01L21/67, H01L21/68
【公开号】CN104897055
【申请号】CN201510094991
【发明人】成元珉, 李周浩, 咸德柱, 金振亿
【申请人】Ap系统股份有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年3月3日
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