投影仪的制作方法
投影仪的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及投影仪(projector)，特别涉及具有振动反射镜元件的投影仪。
【背景技术】
[0002]以往，已知具有振动反射镜元件的投影仪。这种投影仪在日本特开2011-69860号公报中被公开。
[0003]在上述日本特开2011-69860号公报中，公开了一种投影仪，该投影仪具有:光源部；振动反射镜元件，其包含反射镜部以及支撑反射镜部的轴部，对光进行扫描；导电性构件，其支撑振动反射镜元件。投影仪在导电性构件上设有加热线圈以及线圈端子。另外，投影仪通过利用加热线圈使导电性构件的温度上升，来使振动反射镜元件(轴部)的温度上升。通过使振动反射镜元件(轴部)的温度上升，来使振动反射镜元件的共振频率保持恒定且使反射镜部的摆动稳定。另外，一般而言，当在高湿环境下高速驱动振动反射镜元件时，存在在轴部发生结露的情况。因此，如上述日本特开2011-69860号公报所示，通过使振动反射镜元件(轴部)的温度上升，从而轴部的结露的产生被抑制。
[0004]然而，在上述日本特开2011-69860号公报的投影仪中，为了使振动反射镜元件的温度上升，需要在导电性构件上另外单独设置加热线圈以及线圈端子，从而存在用于使振动反射镜元件温度上升的结构复杂的问题。
【发明内容】
[0005]本发明是为了解决上述问题而提出的，本发明的其中一个目的在于，提供一种用简单的结构就能够使振动反射镜元件的温度上升的投影仪。
[0006]本发明的一个技术方案的投影仪具有:光源部，其照射光，振动反射镜元件，其对光进行扫描，导电性构件，其支撑振动反射镜元件；该投影仪通过向导电性构件施加电力，来使导电性构件发热。
[0007]在本发明的一个技术方案的投影仪中，如上所述，设有支撑振动反射镜元件的导电性构件，并且向导电性构件施加电力来使导电性构件发热，由此，由于对导电性构件直接施加电力，所以不需要另外单独设置加热用的线圈等。其结果，不会使用于使振动反射镜元件的温度上升的结构复杂化，能够用简单的结构使振动反射镜元件的温度上升。
[0008]在上述一个技术方案的投影仪中，优选地，该投影仪还具有配线基板，该配线基板包含第一配线部和与第一配线部不同的第二配线部，该第一配线部与振动反射镜元件电连接，并向振动反射镜元件发送驱动信号，该投影仪经由所述配线基板的所述第二配线部向所述导电性构件施加电力。如果采用这样的结构，通过在包含原有的第一配线部的配线基板上设置第二配线部，能够利用一个配线基板向振动反射镜元件发送驱动信号，并且向导电性构件施加电力，由此，不会使装置结构复杂化，能够用简单的结构使振动反射镜元件的温度上升。
[0009]在上述一个技术方案的投影仪中，优选地，导电性构件由含有导电性物质的导电性树脂形成。如果采用这样的结构，具有导电性的导电性构件能够容易地通过树脂成形来形成。
[0010]在上述一个技术方案的投影仪中，优选地，振动反射镜元件包含:反射镜部，其反射光，轴部，其能够摆动地支撑反射镜部；在导电性构件的与轴部相对应的位置流经电流，来使导电性构件的与轴部相对应的位置发热。如果采用这样的结构，由于以与振动反射镜元件的轴部相对应的规定位置为中心使导电性构件发热，所以能够经由导电性构件使容易发生结露的振动反射镜元件的轴部的温度上升。其结果，能够有效地抑制轴部的结露。
[0011]此时，优选地，振动反射镜元件包含固定电极部，该固定电极部设置在轴部的附近且形成为梳齿状，轴部具有形成为梳齿状的可动电极部，通过在可动电极部与固定电极部之间产生的静电力来使轴部进行摆动。在此，在具有梳齿状电极的静电驱动方式的振动反射镜元件中，由于可动电极部以及固定电极部的梳齿彼此相互地接近配置，所以与其它驱动方式的振动反射镜元件相比，轴部容易产生结露。因此，通过上述的构成，在静电驱动方式的振动反射镜元件中，能够有效地抑制轴部的结露。
[0012]在上述振动反射镜元件包含反射镜部与轴部的结构中，优选地，在俯视下，在导电性构件的与振动反射镜元件的配置轴部的位置相对应的区域形成有平坦部，在俯视下，在导电性构件的与平坦部邻接的区域形成有凹部，导电性构件在凹部处的厚度比导电性构件在平坦部处的厚度小。如果采用这样的结构，由于与凹部相比，平坦部的与轴部垂直的截面积大(电阻小)，所以电流容易流经导电性构件的与振动反射镜元件的轴部相对应的平坦部，从而能够有效地使振动反射镜元件的轴部的温度上升。
[0013]在上述导电性构件上形成有平坦部以及凹部的结构中，优选地，平坦部以沿着轴部在轴线方向上延伸的方式形成，凹部以在轴线方向上延伸的方式形成，并且以与平坦部邻接且夹持平坦部的方式配置在平坦部的两侧。如果采用这样的结构，由于在平坦部的两侧配置凹部，所以与凹部配置在平坦部的一侧的情况相比，能够更有效地使振动反射镜元件的轴部的温度上升。
[0014]在上述一个技术方案的投影仪中，优选地，该投影仪还具有配线基板，该配线基板包含第一配线部和与第一配线部不同的第二配线部，该第一配线部与振动反射镜元件电连接，并向振动反射镜元件发送驱动信号；配线基板配置在导电性构件上，并且由导电性构件支撑，该投影仪经由配线基板的第二配线部向导电性构件施加电力。如果采用这样的结构，由于配线基板由导电性构件支撑，所以能够相对于振动反射镜元件稳定地配置配线基板，并且通过配线基板的第二配线部，能够容易地向与配线基板接近的导电性构件施加电力。
[0015]此时，优选地，配线基板包含:上侧覆盖部，其覆盖第二配线部的上侧，下侧覆盖部，其相对于第二配线部配置在导电性构件侧，并且覆盖第二配线部的下侧，露出部，其是未由上侧覆盖部以及下侧覆盖部中的至少一方覆盖的第二配线部露出而性成的；第二配线部经由露出部与导电性构件电连接。如果采用这样的结构，由于第二配线部从上侧覆盖部以及下侧覆盖部中的至少一侧的露出部露出，所以在露出部能够容易地将第二配线部与导电性构件电连接。
[0016]在上述第二配线部经由露出部与导电性构件电连接的结构中，优选地，振动反射镜元件包含:反射镜部，其反射光，轴部，其能够摆动地支撑反射镜部；露出部以夹持振动反射镜元件的轴部以及反射镜部的方式，在轴部的轴线的延长线上设置有一对。如果采用这样的结构，由于通过第二配线部在设置在轴部的轴线的延长线上的一对露出部之间施加电力，所以能够有效地使导电性构件的温度沿着轴线上升。其结果，能够有效地使振动反射镜兀件的轴部的温度上升。
[0017]在上述第二配线部经由露出部与导电性构件电连接的结构中，优选地，配线基板的第二配线部经由下侧覆盖部侧的露出部，并通过导电性的连接构件与导电性构件电连接。如果采用这样的结构，由于经由在导电性构件与第二配线部之间配置的下侧覆盖部的露出部，将导电性构件与第二配线部电连接，所以能够抑制导电性构件与第二配线部的连接部位以及连接构件向外部露出。其结果，能够抑制装置结构的复杂化。
[0018]在上述第二配线部经由下侧覆盖部侧的露出部并通过导电性的连接构件与导电性构件电连接的结构中，优选地，连接构件包含导电性粘接层，该导电性粘接层经由露出部将第二配线部以及导电性构件电连接，并且，将第二配线部与导电性构件相互固定。如果采用这样的结构，通过导电性粘接剂、银膏以及焊锡等的导电性粘接层，将配线基板与导电性构件相互地粘接，并且能够将第二配线部与导电性构件电连接。
[0019]在上述第二配线部经由露出部与导电性构件电连接的结构中，优选地，配线基板的第二配线部经由上侧覆盖部侧的露出部，并通过导电性的连接构件与导电性构件电连接。如果采用这样的结构，与露出部配置在下侧覆盖部侧的情况不同，由于在导电性构件上能够通过露出部使第二配线部从上表面侧(上侧覆盖部侧的露出部)向外部露出，所以能够容易地将第二配线部与导电性构件电连接。
[0020]在上述配线基板的第二配线部经由上侧覆盖部侧的露出部并通过导电性的连接构件与导电性构件电连接的结构中，优选地，连接构件为板簧，该板簧通过经由露出部夹持第二配线部的上表面与导电性构件的下表面，以将第二配线部与导电性构件电连接。如果采用这样的结构，仅用板簧夹持第二配线部的上表面与导电性构件的下表面，就能够将第二配线部与导电性构件电连接。因此，能够更容易地确保第二配线部与导电性构件电连接。
[0021]在上述配线基板的第二配线部经由上侧覆盖部侧的露出部并通过导电性的连接构件与导电性构件电连接的结构中，优选地，连接构件为螺钉，该螺钉在露出部贯穿第二配 线部，来紧固连接第二配线部与导电性构件，以将第二配线部与导电性构件电连接。如果采用这样的结构，由于通过螺钉紧固连接第二配线部与导电性构件，所以能够一边将第二配线部与导电性构件电连接，一边将第二配线部与导电性构件相互固定。
【附图说明】
[0022]图1是表示本发明的第一实施方式的HUD装置在汽车内的使用状态的示意图。
[0023]图2是表示本发明的第一实施方式的HUD装置的扫描激光的扫描框部的框图。
[0024]图3是表示本发明的第一实施方式的HUD装置的扫描激光的扫描框部的立体图。
[0025]图4是表示本发明的第一实施方式的HUD装置的在水平方向扫描激光侧的扫描框部的立体图。
[0026]图5是表示本发明的第一实施方式的HUD装置的MEMS反射镜的轴部的局部放大图。
[0027]图6是表示沿着图4的500-500线剖切的柔性配线基板以及导电性构件的剖视放大图。
[0028]图7是表示本发明的第二实施方式的柔性配线基板以及导电性构件的剖视放大图。
[0029]图8是表示本发明的第三实施方式的柔性配线基板以及导电性构件的剖视放大图。
[0030]图9是表示本发明的第四实施方式的HUD装置的导电性构件、MEMS反射镜以及柔性配线基板的立体图。
[0031]图10是表示本发明的第四实施方式的HUD装置的导电性构件以及柔性配线基板的立体图。
【具体实施方式】
[0032]下面，基于附图对本发明的实施方式进行说明。
[0033](第一实施方式)
[0034]参照图1?图6对本发明的第一实施方式的HUD (Head Up Display:平视显示器)装置100的结构进行说明。此外，HUD装置100是本发明的“投影仪”的一个例子。
[0035]如图1所示，本发明的第一实施方式的HUD装置100安装在汽车90等的交通运输设备上。另外，HUD装置100通过向前窗玻璃等的屏幕91上照射激光，在汽车90的外侧且在屏幕91的前方形成虚像(图像)。该HUD装置100具有将与导航有关的信息或与汽车90有关的信息等显示在屏幕91上的功能。此外，激光是本发明的“光”的一个例子。
[0036]另外，如图2所示，HUD装置100具有扫描框部101、光源框部102、控制框部103。
[0037]另夕卜，HUD装置100的扫描框部101包含水平方向扫描用的MEMS (Micro ElectroMechanical Systems:微机电系统)反射镜I与垂直方向扫描用的MEMS反射镜2。另外，扫描框部101包含用于分别驱动MEMS反射镜I以及MEMS反射镜2的柔性配线基板3以及柔性配线基板4。另外，扫描框部101包含:导电性构件5，其支撑MEMS反射镜I以及柔性配线基板3 ;导电性构件6，其支撑MEMS反射镜2以及柔性配线基板4。此外，HUD装置100通过MEMS反射镜I (2)、导电性构件5 (6)以及柔性配线基板3 (4)构成振动反射镜元件单元10a0另外，MEMS反射镜I以及2是本发明的“振动反射镜元件”的一个例子。
[0038]MEMS反射镜I对照射的激光在水平方向(画面的水平方向)上进行扫描并经由MEMS反射镜2投影到屏幕91上。另外，MEMS反射镜2对照射的来自MEMS反射镜I的激光在垂直方向(画面的垂直方向)上进行扫描并投影到屏幕91上。具体而言，扫描框部101的MEMS反射镜I以及2依次对从后述的激光源71a?71c照射的激光进行扫描并将图像投影到屏幕91上。另外，MEMS反射镜I通过共振驱动在水平方向上进行高速扫描。另外，MEMS反射镜2通过直流驱动在垂直方向上进行低速扫描。
[0039]在此，第一实施方式的HUD装置100分别经由柔性配线基板3以及4(参照图3)向导电性构件5以及6施加电力，来使导电性构件5以及6发热。并且，HUD装置100使由发热的导电性构件5以及6分别支撑的MEMS反射镜I以及2的温度上升。后面对扫描框部101进行详细地叙述。
[0040]另外，如图4所示，柔性配线基板3以及柔性配线基板4分别具有:驱动用配线部31，其向MEMS反射镜I以及2发送驱动信号以及反馈信号；发热用配线部32，其用于使导电性构件5以及6发热。此外，由于柔性配线基板4与柔性配线基板3具有相同的结构，所以省略图示。HUD装置100经由该发热用配线部32分别向导电性构件5以及6施加电力。此外，驱动用配线部31是本发明的“第一配线部”的一个例子。另外，发热用配线部32是本发明的“第二配线部”的一个例子。
[0041]另外，如图2所示，HUD装置100的光源框部102包含3个(蓝(B)、绿(G)、红(R))激光源71a?71c、三个偏光棱镜72a?72c、聚光透镜73。另外，光源框部102包含准直透镜171a?171c，该准直透镜171a?171c分别将从激光源71a?71c照射的激光补正为平行。另外，光源框部102包含光束整形棱镜173。并且，光源框部102通过偏光棱镜72a的出射面与光束整形棱镜173的出射面对激光的光斑形状进行整形。(例如，从椭圆形整形为大致圆形)。此外，激光源71a?71c是本发明的“光源部”的一个例子。
[0042]激光源71a使绿色的激光通过偏光棱镜72a并照射在MEMS反射镜I上。另外，激光源71b使红色的激光依次通过偏光棱镜72b以及72a并照射在MEMS反射镜I上。另外，激光源71c使蓝色的激光依次通过偏光棱镜72c、72b以及72a并照射在MEMS反射镜I上。
[0043]另外，扫描框部101以及光源框部102的各结构部件以在未图示的光学基座上被定位的状态，固定地保持在光学基座上。
[0044]另外，HUD装置100的控制框部103包含主CPU (Central Processing Unit:中央处理器)74、操作部75、显示控制部76。
[0045]主CPU74控制HUD装置100的各部。操作部75为了接受接通HUD装置100的电源的操作、改变信息的投影角度的操作以及改变信息的分辨率的操作等而设置。
[0046]显示控制部76包含影像处理部76a、光源控制部76b、LD (激光二极管)驱动器76c、反射镜控制部76d、反射镜驱动器76e、电力施加部76f。
[0047]HUD装置100基于向影像处理部76a输入的影像信号来输出图像信息。影像处理部76a基于从外部输入的影像信号来控制图像的投影。具体而言，影像处理部76a基于从外部输入的影像信号，经由反射镜控制部76d控制MEMS反射镜I以及2的驱动，并且经由光源控制部76b控制激光源71a?71c对激光的照射。
[0048]光源控制部76b基于影像处理部76a的控制，控制LD驱动器76c，由此控制激光源71a?71c对激光的照射。具体而言，光源控制部76b进行如下控制，即，根据MEMS反射镜I以及2分别扫描的时机，并基于图像信息，使与各像素对应的颜色的激光从激光源71a?71c进行照射。
[0049]反射镜控制部76d基于影像处理部76a的控制，向反射镜驱动器76e发送规定的控制信号，由此控制反射镜驱动器76e。另外，反射镜驱动器76e基于来自反射镜控制部76d的控制信号，向MEMS反射镜I以及2发送驱动信号，由此驱动MEMS反射镜I以及2。另外，在反射镜控制部76d的控制下，反射镜驱动器76e驱动MEMS反射镜I以及2时，电力施加部76f向导电性构件5以及6施加电力。
[0050]接着，参照图3?图6对扫描框部101(参照图2)的详细的结构进行说明。此外，由于MEMS反射镜I侧(包含柔性配线基板3以及导电性构件5)以及MEMS反射镜2侧(包含柔性配线基板4以及导电性构件6)具有相同的结构，所以下面对MEMS反射镜I侧进行说明，省略MEMS反射镜2侧的说明。
[0051]如图3以及如图4所示，MEMS反射镜I包含:反射镜部11，其反射激光；梳齿状(参照图5)的轴部12a以及12b，通过静电力驱动以能够摆动，并将反射镜部11支撑为能够摆动；支撑框体部13，其支撑轴部12a以及12b。此外，在图3以及图4中，简化梳齿状的轴部12a以及12b，并以棒状进行图示。
[0052]反射镜部11在Zl方向侧具有反射光的反射面11a。另外，反射镜部11通过轴部12a以及12b，向围绕轴线900 (参照图4)的A方向以及B方向倾斜(摆动)。此外，轴线900是本发明的“轴线 ”的一个例子。
[0053]轴部12a以及12b以在Y方向上延伸的方式形成。另外，轴部12a以及12b的内侧的端部分别与反射镜部11连接。另外，轴部12a以及12b分别通过变形，使反射镜部11围绕轴线900(参照图4)振动。另外，如图5所示，轴部12a(12b)具有形成为梳齿状的可动电极部12d。详细地说，轴部12a(12b)分别具有向Xl方向以及X2方向延伸的多个细的可动侧突出部12c。该多个可动侧突出部12c分别在轴线方向(Y方向)上以等间隔排列的方式配置。另外，轴部12a(12b)通过多个可动侧突出部12c形成为梳齿状。另外，轴部12a(12b)由硅基板构成，该硅基板被由蚀刻形成的金属膜的可动电极部12d覆盖。另外，可动电极部12d经由柔性配线基板3的驱动用配线部31与反射镜驱动器76e连接。
[0054]如图4所示，支撑框体部13形成为在X方向上延伸的箱状。另外，支撑框体部13固定地支撑轴部12a以及12b的外侧的端部(轴部12a的X2方向侧端部以及轴部12b的Xl方向侧端部)。另外，支撑框体部13 (MEMS反射镜I)包含固定电极部13a，该固定电极部13a设置在轴部12a以及12b的附近且形成为梳齿状。详细地说，支撑框体部13具有一对固定电极部13a，该固定电极部13a以夹持轴部12a(12b)的方式配置。即，MEMS反射镜I在反射镜部11的Yl方向侧以及Y2方向侧分别具有一对固定电极部13a。该固定电极部13a以与轴部12a(12b)的梳齿状相对应的方式形成为梳齿状。具体而言，如图5所示，固定电极部13a具有多个细的固定侧突出部13b，该多个固定侧突出部13b以分别侵入轴部12a(12b)的多个可动侧突出部12c之间的方式，向轴部12a(12b)侧延伸。该多个固定侧突出部13b在轴线方向(Y方向)分别以等间隔排列的方式配置。另外，固定电极部13a通过多个固定侧突出部13b形成为梳齿状。另外，固定电极部13a经由柔性配线基板3的驱动用配线部31与反射镜驱动器76e连接。
[0055]反射镜部11(轴部12a(12b))通过可动电极部12d与固定电极部13a之间产生的静电力进行摆动。详细地说，MEMS反射镜I基于从反射镜驱动器76e经由驱动用配线部31而得到的驱动信号，分别向可动电极部12d与固定电极部13a施加规定的电力。其结果，MEMS反射镜I在可动电极部12d与固定电极部13a之间，交替地产生相互吸引的静电引力(静电力)以及相互排斥的静电斥力(静电力)。由此，MEMS反射镜I构成为轴部12a以及12b向A方向以及B方向(参照图4)交替地摆动，从而使反射镜部11摆动。
[0056]柔性配线基板3以与导电性构件5的上表面5a(参照图6)抵接的状态配置在上表面5a，并且由导电性构件5来支撑。另外，如图4所示，柔性配线基板3具有矩形状的孔部3a，并在孔部3a的内侧配置MEMS反射镜I。另外，如图6所示，柔性配线基板3包含:上侧覆盖部33，其覆盖发热用配线部32的上侧(Zl方向侧)；下侧覆盖部34，其覆盖发热用配线部32的下侧(Z2方向侧)。S卩，上侧覆盖部33相对于发热用配线部32配置在导电性构件5的相反侧。另外，下侧覆盖部34相对于发热用配线部32配置在导电性构件5侧。另夕卜，上侧覆盖部33以及下侧覆盖部34通过粘接剂35分别粘接在发热用配线部32的上表面以及下表面。
[0057]另外，如图4所示，柔性配线基板3包含一对露出部36，该露出部36是未由下侧覆盖部34覆盖的发热用配线部32在发热用配线部32的下侧(Z2方向侧)露出而形成的。露出部36以夹持MEMS反射镜I的轴部12a、12b、以及反射镜部11的方式，在轴部12a以及12b的轴线的延长线上设置有一对。另外，发热用配线部32经由一对露出部36与导电性构件5电连接(导通)。具体而言，如图6所示，柔性配线基板3通过向被下侧覆盖部34与露出部36包围的区域填充粘接剂37，经由导电性粘接剂37将发热用配线部32与导电性构件5电连接(导通)。另外，柔性配线基板3与导电性构件5通过导电性粘接剂37粘接。此外，导电性粘接剂37是本发明的“导电性粘接层”以及“连接构件”的一个例子。
[0058]另外，如图4所示，柔性配线基板3的一对露出部36以夹持MEMS反射镜I的方式，分别形成在与轴线900相对应的位置的MEMS反射镜I的两侧(Y方向的两侧)。
[0059]如图3所示，导电性构件5形成为矩形状且平板形状。另外，导电性构件5由含有导电性物质(碳、石墨以及陶瓷等)的导电性树脂形成。另外，导电性构件5经由发热用配线部32与电力施加部76f(参照图2)连接。此外，导电性构件5以及6除了形状相互不同夕卜，具有相同的结构。
[0060]另外，如图4所示，导电性构件5构成为，通过在与梳齿状的轴部12a以及12b相对应的位置流经电流，从而使与轴部12a以及12b相对应的位置发热。即，导电性构件5构成为，由电力施加部76f经由柔性配线基板3的一对露出部36施加电力，从而在与轴部12a以及12b相对应的位置流经电流。其结果，导电性构件5通过电流使与轴部12a以及12b相对应的位置的温度上升。另外，导电性构件5向支撑的MEMS反射镜I传递由发热而得到的热量。由此，导电性构件5使MEMS反射镜I的温度上升。
[0061]在第一实施方式中，能够得到下面的效果。
[0062]在第一实施方式中，如上所述，设有支撑MEMS反射镜I (2)的导电性构件5，并且向导电性构件5施加电力来使导电性构件5发热，由此，由于对导电性构件5直接施加电力，所以不需要另行设置加热用的线圈等。其结果，不会使用于使MEMS反射镜I (2)的温度上升的结构复杂化，能够用简单的结构使MEMS反射镜1(2)的温度上升。
[0063]另外，在第一实施方式中，如上所述，HUD装置100构成为，在柔性配线基板3上设置有:发热用配线部32和驱动用配线部31，该驱动用配线部31与MEMS反射镜I (2)连接并向MEMS反射镜I (2)发送驱动信号；并且HUD装置100经由柔性配线基板3的发热用配线部32向导电性构件5施加电力。由此，通过在包含原有的驱动用配线部31的柔性配线基板3上设置发热用配线部32，从而利用一个柔性配线基板3，能够向MEMS反射镜I (2)发送驱动信号，并且能够向导电性构件5施加电力，由此，能够不使装置结构复杂化，能够用简单的结构使MEMS反射镜I (2)的温度上升。
[0064]另外，在第一实施方式中，如上所述，导电性构件5由含有导电性物质的导电性树脂形成。由此，具有导电性的导电性构件5能够容易地通过树脂成形而形成。
[0065]另外，在第一实施方式中，如上所述，在MEMS反射镜1(2)上设有:反射镜部11，其反射光；轴部12a以及12b，通过静电力驱动以能够摆动，并将反射镜部11支撑为能够摆动，导电性构件5构成为，通过在与轴部12a以及12b相对应的位置流经电流，来使与轴部12a以及12b相对应的位置发热。由此，由于以与MEMS反射镜I⑵的轴部12a以及12b相对应的规定位置为中心使导电性构件5发热，所以经由导电性构件5能够使容易发生结露的MEMS反射镜I (2)的轴部12a以及12b的温度上升。其结果，能够有效地抑制轴部12a以及12b的结露。
[0066]另外，在第一实施方式中，如上所述，在MEMS反射镜1(2)上设有固定电极部13a，该固定电极部13a配置在轴部12a以及12b的附近且形成为梳齿状，轴部12a以及12b具有形成为梳齿状的可动电极部12d，并且通过可动电极部12d与固定电极部13a之间产生的静电力，使轴部12a以及12b摆动。在此，在具有梳齿状电极的静电驱动方式的MEMS反射镜1(2)中，由于可动电极部12d以及固定电极部13a的梳齿彼此相互地接近配置，所以与其它的驱动方式的MEMS反射镜1(2)相比，轴部12a以及12b容易结露。因此，通过上述的构成，在静电驱动方式的MEMS反射镜I (2)中，能够有效地抑制轴部12a以及12b的结露。
[0067]另外，在第一实施方式中，如上所述，将柔性配线基板3配置在导电性构件5上，并且由导电性构件5支撑，且HUD装置100经由发热用配线部32向导电性构件5施加电力。由此，由于柔性配线基板3由导电性构件5支撑，所以能够相对于MEMS反射镜I (2)稳定地配置柔性配线基板3，并且通过柔性配线基板3的发热用配线部32，能够容易地向与柔性配线基板3接近的导电性构件5施加电力。
[0068]另外，在第一实施方式中， 如上所述，在柔性配线基板3上设有:上侧覆盖部33，其覆盖发热用配线部32的上侧(Zl方向侧)；下侧覆盖部34，其覆盖发热用配线部32的下侧；露出部36，其是未由下侧覆盖部34覆盖的发热用配线部32露出而形成的；发热用配线部32经由露出部36与导电性构件5电连接。由此，由于发热用配线部32从下侧覆盖部34的露出部36露出，所以在露出部36能够容易地将发热用配线部32与导电性构件5电连接。
[0069]另外，在第一实施方式中，如上所述，在MEMS反射镜1(2)上设有:反射镜部11，其反射光；轴部12a以及12b，可摆动地支撑反射镜部11，露出部36以夹持MEMS反射镜素子1(2)的轴部12a以及12b、反射镜部11的方式，在轴部12a以及12b的轴线的延长线上设置有一对。由此，由于通过发热用配线部32向在轴部12a以及12b的轴线的延长线上设置的一对露出部36之间施加电力，所以能够有效地使导电性构件5的温度沿着轴线上升。其结果，能够有效地使MEMS反射镜I⑵的轴部12a以及12b的温度上升。
[0070]另外，在第一实施方式中，如上所述，柔性配线基板3的发热用配线部32经由下侧覆盖部34侧的露出部36并通过导电性粘接剂37与导电性构件5电连接。由此，由于经由配置在导电性构件5与发热用配线部32之间的下侧覆盖部34的露出部36，能够将导电性构件5与发热用配线部32电连接，所以能够抑制导电性构件5与发热用配线部32的连接部位以及导电性粘接剂37向外部露出。其结果，能够抑制装置结构复杂化。
[0071]另外，在第一实施方式中，如上所述，设置有导电性粘接剂37，该导电性粘接剂37经由露出部36将发热用配线部32与导电性构件5电连接，并且将发热用配线部32与导电性构件5相互地固定。由此，通过导电性粘接剂37能够将柔性配线基板3与导电性构件5相互地粘接，并且能够将发热用配线部32与导电性构件5电连接。
[0072](第二实施方式)
[0073]接着，参照图1、图2以及图7对第二实施方式进行说明。与通过导电性粘接剂37将柔性配线基板3的发热用配线部32与导电性构件5电连接的上述第一实施方式不同，在该第二实施方式中，对通过板簧237将柔性配线基板203的发热用配线部32与导电性构件5电连接的例子进行说明。此外，对与上述第一实施方式相同的结构标注与第一实施方式相同的附图标记并图示，并且省略说明。此外，板簧237是本发明的“连接构件”的一个例子。
[0074]在第二实施方式的HUD装置200 (参照图1以及图2)中，如图7所示，柔性配线基板203与导电性构件5通过粘接剂35粘接。另外，柔性配线基板203包含一对露出部236，该露出部236是未由上侧覆盖部33覆盖的发热用配线部32在发热用配线部32的上侧(Zl方向侧)露出而形成的。另外，柔性配线基板203的发热用配线部32经由上侧覆盖部33侧的露出部236，并通过导电性的板簧237与导电性构件5电连接。具体而言，板簧237经由露出部236夹持发热用配线部32的上表面与导电性构件5的下表面5b (Z2方向侧的面)，由此将发热用配线部32与导电性构件5电连接。S卩，板簧237的一端与发热用配线部32的上侧(Zl方向侧)的露出部236抵接，另一端与导电性构件5的下表面5b (Z2方向侧的面)抵接。S卩，板簧237以夹持柔性配线基板203与导电性构件5的方式安装。由此，发热用配线部32与导电性构件5电连接。此外，HUD装置200是本发明的“投影仪”的一个例子。
[0075]第二实施方式的其它结构与上述第一实施方式相同。
[0076]在第二实施方式中，能够得到下面的效果。
[0077]在第二实施方式中，与上述第一实施方式相同，设有支撑MEMS反射镜I (2)的导电性构件5，并且通过向导电性构件5施加电力来使导电性构件5发热，由此，由于对导电性构件5直接施加电力，所以能够用简单的结构使MEMS反射镜1(2)的温度上升。
[0078]另外，在第二实施方式中，如上所述，柔性配线基板203的发热用配线部32经由上侧覆盖部33侧的露出部236，并通过导电性的板簧237与导电性构件5电连接。由此，与在下侧覆盖部侧配置露出部的情况不同，由于在导电性构件5上通过露出部236能够使发热用配线部32从上表面侧(上侧覆盖部33侧的露出部236)向外部露出，所以能够容易地将发热用配线部32与导电性构件5电连接。
[0079]另外，在第二实施方式中，如上所述，设有板簧237，该板簧237经由露出部236夹持发热用配线部32的上表面与导电性构件5的下表面5b，由此使发热用配线部32与导电性构件5电连接。由此，仅用板簧237夹在发热用配线部32的上表面与导电性构件5的下表面5b，就能够将发热用配线部32与导电性构件5电连接。因此，能够更容易地确保发热用配线部32与导电性构件5的电连接。
[0080]第二实施方式的其它效果与上述第一实施方式相同。
[0081](第三实施方式)
[0082]接着，参照图1、图2以及图8对第三实施方式进行说明。与通过板簧237将柔性配线基板203的发热用配线部32与导电性构件电连接的上述第二实施方式不同，在该第三实施方式中，对通过导电性的螺钉337将柔性配线基板303的发热用配线部32与导电性构件5电连接的例子进行说明。此外，对与上述第二实施方式相同的结构标注与第二实施方式相同的附图标记并图示，并且省略说明。另外，螺钉337是本发明的“连接构件”的一个例子。
[0083]在第三实施方式的HUD装置300 (参照图1以及图2)中，如图8所示，柔性配线基板303与导电性构件5通过粘接剂35粘接。另外，柔性配线基板303包含一对露出部336，该露出部336是未由上侧覆盖部33覆盖的发热用配线部32在发热用配线部32的上侧(Zl方向侧)露出而形成的。另外，在柔性配线基板303以及导电性构件5上分别形成从露出部336向Z2方向延伸的螺钉孔336a。并且，发热用配线部32与导电性构件5通过在螺钉孔336a内安装螺钉337而电连接。S卩，螺钉337在露出部336贯穿发热用配线部32，来紧固连接发热用配线部32与导电性构件5，由此将发热用配线部32与导电性构件5电连接。此外，螺钉337以头部与露出部336抵接的状态，安装在柔性配线基板303以及导电性构件5上。此外，HUD装置300是本发明的“投影仪”的一个例子。
[0084]第三实施方式的其它结构与上述第二实施方式相同。
[0085]在第三实施方式中，能够得到下面的效果。
[0086]在第三实施方式中，与上述第二实施方式相同，设有支撑MEMS反射镜I (2)的导电性构件5，并且通过向导电性构件5施加电力来使导电性构件5发热，由此，由于对导电性构件5直接施加电力，所以能够用简单的结构使MEMS反射镜1(2)的温度上升。
[0087]另外，在第三实施方式中，如上所述，设有螺钉337，该螺钉337在露出部336贯穿发热用配线部32，来紧固连接发热用配线部32与导电性构件5，由此将发热用配线部32与导电性构件5电连接。由此，由于通过螺钉337紧固连接发热用配线部32与导电性构件5，所以能够一边将发热用配线部32与导电性构件5电连接，一边将发热用配线部32与导电性构件5相互地固定。
[0088]第三实施方式的其它效果与上述第二实施方式相同。
[0089](第四实施方式)
[0090]接着，参照图1、图2、图9以及图10对第四实施方式进行说明。与在俯视下(从Z2方向侧观察)，与MEMS反射镜I相对应的位置的导电性构件5的下表面5b (Z2方向侧的面)平坦地形成的上述第一实施方式不同，在该第四实施方式中，对在俯视下(从Z2方向侦_察)，与MEMS反射镜I相对应的位置的导电性构件405的下表面5b (Z2方向侧的面)由平坦部451与凹部452形成的例子进行说明。此外，对与上述第一实施方式相同的结构标注与第一实施方式相同的附图标记并图示，并且省略说明。
[0091]在第四实施方式的HUD装置400 (参照图1以及图2)中，如图9以及图10所示，在俯视下(从Z2方向观察)，在导电性构件405的与配置MEMS反射镜I的位置相对应的区域，形成有平坦部451和比平坦部451的厚度小的凹部452。平坦部451配置在与轴部12a以及12b相重叠的位置，并且以沿着轴部12a以及12b在轴线方向(Y方向)上延伸的方式形成。凹部452以在轴线方向(Y方向)上延伸的方式形成，并且以与平坦部45 1邻接且夹持平坦部451的方式配置在平坦部451的两侧。导电性构件405在凹部452处的厚度比导电性构件405在平坦部451处的厚度小。例如，导电性构件405在平坦部451处的厚度被设定为大约1mm，导电性构件405在凹部452处的厚度被设定为大约0.5mm。此外，HUD装置400是本发明的“投影仪”的一个例子。
[0092]第四实施方式的其它结构与上述第一实施方式相同。
[0093]在第四实施方式中，能够得到下面的效果。
[0094]在第四实施方式中，与上述第一实施方式相同，设有支撑MEMS反射镜I (2)的导电性构件405，并且向导电性构件405施加电力来使导电性构件405发热，由此，由于对导电性构件405直接施加电力，所以能够用简单的结构使MEMS反射镜I (2)的温度上升。
[0095]另外，在第四实施方式中，如上所述，在俯视下，在导电性构件405的与配置MEMS反射镜1(2)的轴部12a以及12b的位置相对应的区域，形成有平坦部451，在俯视下，在导电性构件405的与平坦部451邻接的区域形成有凹部452，导电性构件405在凹部452处的厚度比导电性构件405在平坦部451处的厚度小。由此，由于与凹部452相比，平坦部451的与轴部12a以及12b垂直的截面积大(电阻小)，所以电流容易流经导电性构件405的与MEMS反射镜I (2)的轴部12a以及12b相对应的平坦部451，从而能够有效地使导电性构件405的轴部12a以及12b的温度上升。
[0096]另外，在第四实施方式中，如上所述，平坦部451以沿着轴部12a以及12b在轴线方向上延伸的方式形成，凹部452以在轴线方向上延伸的方式形成，并且以与平坦部451邻接且夹持平坦部451的方式配置在平坦部451的两侧。由此，由于在平坦部451的两侧配置凹部452，所以与在平坦部451的一侧配置凹部452的情况相比，能够更有效地使MEMS反射镜I⑵的轴部12a以及12b的温度上升。
[0097]第四实施方式的其它效果与上述第一实施方式相同。
[0098]此外，应该理解，这次公开的实施方式在全部方面都仅为例示，而非限定。本发明的范围不限于上述的实施方式的说明，而由权利要求的范围示出，而且包含与权利要求的范围具有同等意义以及在权利要求的范围内做出的所有变更。
[0099]例如，在上述第一?第四实施方式中，示出了本发明适用于HUD装置的例子，但本发明也可以适用于HUD装置以外的投影仪。
[0100]另外，在上述第一?第四实施方式中，分别示出了通过导电性粘接剂、板簧以及螺钉将导电性构件与柔性配线基板电连接的例子，但本发明不限定于此，在本发明中，也可以通过例如焊锡或银膏电连接。
[0101]另外，在上述第一?在第四实施方式中，分别示出了经由柔性配线基板向导电性构件施加电力的例子，但本发明不限定于此。例如，在本发明中也可以在导电性构件设置用于施加电力的电极来向导电性构件施加电力。
[0102]另外，在上述第一?第四实施方式中，分别示出了导电性构件由含有导电性物质的导电性树脂形成的例子，但本发明不限定于此。在本发明中，导电性构件也可以由金属形成。
[0103]另外，在上述第一?第四实施方式中，分别示出了发热用配线部经由从柔性配线基板的上侧覆盖部或下侧覆盖部露出的露出部与导电性构件电连接的例子，但本发明不限定于此。在本发明中，例如，也可以经由从柔性配线基板的端部露出的发热用配线部与导电性构件电连接。
[0104]另外，在上述第一?第四实施方式中，示出了分别设有水平扫描用与垂直扫描用的扫描部的例子，但本发明不限定于此。在本发明中，也可以将水平扫描用与垂直扫描用的扫描部作为I个扫描部。
【主权项】
1.一种投影仪，其特征在于， 具有: 光源部，其照射光， 振动反射镜元件，其对光进行扫描， 导电性构件，其支撑所述振动反射镜元件； 通过向所述导电性构件施加电力，来使所述导电性构件发热。2.如权利要求1所述的投影仪，其特征在于， 该投影仪还具有配线基板，该配线基板包含第一配线部和与所述第一配线部不同的第二配线部，该第一配线部与所述振动反射镜元件电连接，并向所述振动反射镜元件发送驱动信号， 该投影仪经由所述配线基板的所述第二配线部向所述导电性构件施加电力。3.如权利要求1所述的投影仪，其特征在于， 所述导电性构件由含有导电性物质的导电性树脂形成。4.如权利要求1所述的投影仪，其特征在于， 所述振动反射镜元件包含: 反射镜部，其反射光， 轴部，其能够摆动地支撑所述反射镜部； 在所述导电性构件的与所述轴部相对应的位置流经电流，来使所述导电性构件的与所述轴部相对应的位置发热。5.如权利要求4所述的投影仪，其特征在于， 所述振动反射镜元件包含固定电极部，该固定电极部配置在所述轴部的附近且形成为梳齿状， 所述轴部具有形成为梳齿状的可动电极部，并且通过在所述可动电极部与所述固定电极部之间产生的静电力来使所述轴部进行摆动。6.如权利要求4所述的投影仪，其特征在于， 在俯视下，在所述导电性构件的与所述振动反射镜元件的配置所述轴部的位置相对应的区域，形成有平坦部， 在俯视下，在所述导电性构件的与所述平坦部邻接的区域形成有凹部， 所述导电性构件在所述凹部处的厚度比所述导电性构件在所述平坦部处的厚度小。7.如权利要求6所述的投影仪，其特征在于， 所述平坦部以沿着所述轴部在轴线方向上延伸的方式形成， 所述凹部以在所述轴线方向上延伸的方式形成，并且以与所述平坦部邻接并夹持所述平坦部的方式配置在所述平坦部的两侧。8.如权利要求1?7中任一项所述的投影仪，其特征在于， 该投影仪还具有配线基板，该配线基板包含第一配线部和与所述第一配线部不同的第二配线部，该第一配线部与所述振动反射镜元件电连接，并向所述振动反射镜元件发送驱动信号， 所述配线基板配置在所述导电性构件上，并且由所述导电性构件支撑， 该投影仪经由所述配线基板的所述第二配线部向所述导电性构件施加电力。9.如权利要求8所述的投影仪，其特征在于， 所述配线基板包含: 上侧覆盖部，其覆盖所述第二配线部的上侧， 下侧覆盖部，其相对于所述第二配线部配置在所述导电性构件侧，并且覆盖所述第二配线部的下侧， 露出部，其是未由所述上侧覆盖部以及所述下侧覆盖部中的至少一方覆盖的所述第二配线部露出而成的露出部； 所述第二配线部经由所述露出部与所述导电性构件电连接。10.如权利要求9所述的投影仪，其特征在于， 所述振动反射镜元件包含: 反射镜部，其反射光， 轴部，其能够摆动地支撑所述反射镜部； 所述露出部以夹持所述振动反射镜元件的所述轴部以及所述反射镜部的方式，在所述轴部的轴线的延长线上设置有一对。11.如权利要求9所述的投影仪，其特征在于， 所述配线基板的所述第二配线部在所述下侧覆盖部侧的所述露出部，通过导电性的连接构件与所述导电性构件电连接。12.如权利要求11所述的投影仪，其特征在于， 所述连接构件为导电性粘接层，该导电性粘接层在所述露出部将所述第二配线部与所述导电性构件电连接，并且将所述第二配线部与所述导电性构件相互固定。13.如权利要求9所述的投影仪，其特征在于， 所述配线基板的所述第二配线部在所述上侧覆盖部侧的所述露出部，通过导电性的连接构件与所述导电性构件电连接。14.如权利要求13所述的投影仪，其特征在于， 所述连接构件为板簧，该板簧通过在所述露出部夹持所述第二配线部的上表面与所述导电性构件的下表面，以将所述第二配线部与所述导电性构件电连接。15.如权利要求13所述的投影仪，其特征在于， 所述连接构件包含螺钉，该螺钉在所述露出部贯穿所述第二配线部，来紧固连接所述第二配线部与所述导电性构件，以将所述第二配线部与所述导电性构件电连接。
【专利摘要】本发明提供用简单的结构能够使振动反射镜元件的温度上升的投影仪。该投影仪，具有：光源部，其照射光，振动反射镜元件，其扫描光，导电性构件，其支撑振动反射镜元件；该投影仪通过向导电性构件施加电力，来使导电性构件发热。
【IPC分类】B60R1/00, G02B26/10, G03B21/14
【公开号】CN104898355
【申请号】CN201510101361
【发明人】小林智弘
【申请人】船井电机株式会社
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年3月9日
【公告号】EP2916154A1, US20150253568
【技术领域】
[0001]本发明涉及投影仪(projector)，特别涉及具有振动反射镜元件的投影仪。
【背景技术】
[0002]以往，已知具有振动反射镜元件的投影仪。这种投影仪在日本特开2011-69860号公报中被公开。
[0003]在上述日本特开2011-69860号公报中，公开了一种投影仪，该投影仪具有:光源部；振动反射镜元件，其包含反射镜部以及支撑反射镜部的轴部，对光进行扫描；导电性构件，其支撑振动反射镜元件。投影仪在导电性构件上设有加热线圈以及线圈端子。另外，投影仪通过利用加热线圈使导电性构件的温度上升，来使振动反射镜元件(轴部)的温度上升。通过使振动反射镜元件(轴部)的温度上升，来使振动反射镜元件的共振频率保持恒定且使反射镜部的摆动稳定。另外，一般而言，当在高湿环境下高速驱动振动反射镜元件时，存在在轴部发生结露的情况。因此，如上述日本特开2011-69860号公报所示，通过使振动反射镜元件(轴部)的温度上升，从而轴部的结露的产生被抑制。
[0004]然而，在上述日本特开2011-69860号公报的投影仪中，为了使振动反射镜元件的温度上升，需要在导电性构件上另外单独设置加热线圈以及线圈端子，从而存在用于使振动反射镜元件温度上升的结构复杂的问题。
【发明内容】
[0005]本发明是为了解决上述问题而提出的，本发明的其中一个目的在于，提供一种用简单的结构就能够使振动反射镜元件的温度上升的投影仪。
[0006]本发明的一个技术方案的投影仪具有:光源部，其照射光，振动反射镜元件，其对光进行扫描，导电性构件，其支撑振动反射镜元件；该投影仪通过向导电性构件施加电力，来使导电性构件发热。
[0007]在本发明的一个技术方案的投影仪中，如上所述，设有支撑振动反射镜元件的导电性构件，并且向导电性构件施加电力来使导电性构件发热，由此，由于对导电性构件直接施加电力，所以不需要另外单独设置加热用的线圈等。其结果，不会使用于使振动反射镜元件的温度上升的结构复杂化，能够用简单的结构使振动反射镜元件的温度上升。
[0008]在上述一个技术方案的投影仪中，优选地，该投影仪还具有配线基板，该配线基板包含第一配线部和与第一配线部不同的第二配线部，该第一配线部与振动反射镜元件电连接，并向振动反射镜元件发送驱动信号，该投影仪经由所述配线基板的所述第二配线部向所述导电性构件施加电力。如果采用这样的结构，通过在包含原有的第一配线部的配线基板上设置第二配线部，能够利用一个配线基板向振动反射镜元件发送驱动信号，并且向导电性构件施加电力，由此，不会使装置结构复杂化，能够用简单的结构使振动反射镜元件的温度上升。
[0009]在上述一个技术方案的投影仪中，优选地，导电性构件由含有导电性物质的导电性树脂形成。如果采用这样的结构，具有导电性的导电性构件能够容易地通过树脂成形来形成。
[0010]在上述一个技术方案的投影仪中，优选地，振动反射镜元件包含:反射镜部，其反射光，轴部，其能够摆动地支撑反射镜部；在导电性构件的与轴部相对应的位置流经电流，来使导电性构件的与轴部相对应的位置发热。如果采用这样的结构，由于以与振动反射镜元件的轴部相对应的规定位置为中心使导电性构件发热，所以能够经由导电性构件使容易发生结露的振动反射镜元件的轴部的温度上升。其结果，能够有效地抑制轴部的结露。
[0011]此时，优选地，振动反射镜元件包含固定电极部，该固定电极部设置在轴部的附近且形成为梳齿状，轴部具有形成为梳齿状的可动电极部，通过在可动电极部与固定电极部之间产生的静电力来使轴部进行摆动。在此，在具有梳齿状电极的静电驱动方式的振动反射镜元件中，由于可动电极部以及固定电极部的梳齿彼此相互地接近配置，所以与其它驱动方式的振动反射镜元件相比，轴部容易产生结露。因此，通过上述的构成，在静电驱动方式的振动反射镜元件中，能够有效地抑制轴部的结露。
[0012]在上述振动反射镜元件包含反射镜部与轴部的结构中，优选地，在俯视下，在导电性构件的与振动反射镜元件的配置轴部的位置相对应的区域形成有平坦部，在俯视下，在导电性构件的与平坦部邻接的区域形成有凹部，导电性构件在凹部处的厚度比导电性构件在平坦部处的厚度小。如果采用这样的结构，由于与凹部相比，平坦部的与轴部垂直的截面积大(电阻小)，所以电流容易流经导电性构件的与振动反射镜元件的轴部相对应的平坦部，从而能够有效地使振动反射镜元件的轴部的温度上升。
[0013]在上述导电性构件上形成有平坦部以及凹部的结构中，优选地，平坦部以沿着轴部在轴线方向上延伸的方式形成，凹部以在轴线方向上延伸的方式形成，并且以与平坦部邻接且夹持平坦部的方式配置在平坦部的两侧。如果采用这样的结构，由于在平坦部的两侧配置凹部，所以与凹部配置在平坦部的一侧的情况相比，能够更有效地使振动反射镜元件的轴部的温度上升。
[0014]在上述一个技术方案的投影仪中，优选地，该投影仪还具有配线基板，该配线基板包含第一配线部和与第一配线部不同的第二配线部，该第一配线部与振动反射镜元件电连接，并向振动反射镜元件发送驱动信号；配线基板配置在导电性构件上，并且由导电性构件支撑，该投影仪经由配线基板的第二配线部向导电性构件施加电力。如果采用这样的结构，由于配线基板由导电性构件支撑，所以能够相对于振动反射镜元件稳定地配置配线基板，并且通过配线基板的第二配线部，能够容易地向与配线基板接近的导电性构件施加电力。
[0015]此时，优选地，配线基板包含:上侧覆盖部，其覆盖第二配线部的上侧，下侧覆盖部，其相对于第二配线部配置在导电性构件侧，并且覆盖第二配线部的下侧，露出部，其是未由上侧覆盖部以及下侧覆盖部中的至少一方覆盖的第二配线部露出而性成的；第二配线部经由露出部与导电性构件电连接。如果采用这样的结构，由于第二配线部从上侧覆盖部以及下侧覆盖部中的至少一侧的露出部露出，所以在露出部能够容易地将第二配线部与导电性构件电连接。
[0016]在上述第二配线部经由露出部与导电性构件电连接的结构中，优选地，振动反射镜元件包含:反射镜部，其反射光，轴部，其能够摆动地支撑反射镜部；露出部以夹持振动反射镜元件的轴部以及反射镜部的方式，在轴部的轴线的延长线上设置有一对。如果采用这样的结构，由于通过第二配线部在设置在轴部的轴线的延长线上的一对露出部之间施加电力，所以能够有效地使导电性构件的温度沿着轴线上升。其结果，能够有效地使振动反射镜兀件的轴部的温度上升。
[0017]在上述第二配线部经由露出部与导电性构件电连接的结构中，优选地，配线基板的第二配线部经由下侧覆盖部侧的露出部，并通过导电性的连接构件与导电性构件电连接。如果采用这样的结构，由于经由在导电性构件与第二配线部之间配置的下侧覆盖部的露出部，将导电性构件与第二配线部电连接，所以能够抑制导电性构件与第二配线部的连接部位以及连接构件向外部露出。其结果，能够抑制装置结构的复杂化。
[0018]在上述第二配线部经由下侧覆盖部侧的露出部并通过导电性的连接构件与导电性构件电连接的结构中，优选地，连接构件包含导电性粘接层，该导电性粘接层经由露出部将第二配线部以及导电性构件电连接，并且，将第二配线部与导电性构件相互固定。如果采用这样的结构，通过导电性粘接剂、银膏以及焊锡等的导电性粘接层，将配线基板与导电性构件相互地粘接，并且能够将第二配线部与导电性构件电连接。
[0019]在上述第二配线部经由露出部与导电性构件电连接的结构中，优选地，配线基板的第二配线部经由上侧覆盖部侧的露出部，并通过导电性的连接构件与导电性构件电连接。如果采用这样的结构，与露出部配置在下侧覆盖部侧的情况不同，由于在导电性构件上能够通过露出部使第二配线部从上表面侧(上侧覆盖部侧的露出部)向外部露出，所以能够容易地将第二配线部与导电性构件电连接。
[0020]在上述配线基板的第二配线部经由上侧覆盖部侧的露出部并通过导电性的连接构件与导电性构件电连接的结构中，优选地，连接构件为板簧，该板簧通过经由露出部夹持第二配线部的上表面与导电性构件的下表面，以将第二配线部与导电性构件电连接。如果采用这样的结构，仅用板簧夹持第二配线部的上表面与导电性构件的下表面，就能够将第二配线部与导电性构件电连接。因此，能够更容易地确保第二配线部与导电性构件电连接。
[0021]在上述配线基板的第二配线部经由上侧覆盖部侧的露出部并通过导电性的连接构件与导电性构件电连接的结构中，优选地，连接构件为螺钉，该螺钉在露出部贯穿第二配 线部，来紧固连接第二配线部与导电性构件，以将第二配线部与导电性构件电连接。如果采用这样的结构，由于通过螺钉紧固连接第二配线部与导电性构件，所以能够一边将第二配线部与导电性构件电连接，一边将第二配线部与导电性构件相互固定。
【附图说明】
[0022]图1是表示本发明的第一实施方式的HUD装置在汽车内的使用状态的示意图。
[0023]图2是表示本发明的第一实施方式的HUD装置的扫描激光的扫描框部的框图。
[0024]图3是表示本发明的第一实施方式的HUD装置的扫描激光的扫描框部的立体图。
[0025]图4是表示本发明的第一实施方式的HUD装置的在水平方向扫描激光侧的扫描框部的立体图。
[0026]图5是表示本发明的第一实施方式的HUD装置的MEMS反射镜的轴部的局部放大图。
[0027]图6是表示沿着图4的500-500线剖切的柔性配线基板以及导电性构件的剖视放大图。
[0028]图7是表示本发明的第二实施方式的柔性配线基板以及导电性构件的剖视放大图。
[0029]图8是表示本发明的第三实施方式的柔性配线基板以及导电性构件的剖视放大图。
[0030]图9是表示本发明的第四实施方式的HUD装置的导电性构件、MEMS反射镜以及柔性配线基板的立体图。
[0031]图10是表示本发明的第四实施方式的HUD装置的导电性构件以及柔性配线基板的立体图。
【具体实施方式】
[0032]下面，基于附图对本发明的实施方式进行说明。
[0033](第一实施方式)
[0034]参照图1?图6对本发明的第一实施方式的HUD (Head Up Display:平视显示器)装置100的结构进行说明。此外，HUD装置100是本发明的“投影仪”的一个例子。
[0035]如图1所示，本发明的第一实施方式的HUD装置100安装在汽车90等的交通运输设备上。另外，HUD装置100通过向前窗玻璃等的屏幕91上照射激光，在汽车90的外侧且在屏幕91的前方形成虚像(图像)。该HUD装置100具有将与导航有关的信息或与汽车90有关的信息等显示在屏幕91上的功能。此外，激光是本发明的“光”的一个例子。
[0036]另外，如图2所示，HUD装置100具有扫描框部101、光源框部102、控制框部103。
[0037]另夕卜，HUD装置100的扫描框部101包含水平方向扫描用的MEMS (Micro ElectroMechanical Systems:微机电系统)反射镜I与垂直方向扫描用的MEMS反射镜2。另外，扫描框部101包含用于分别驱动MEMS反射镜I以及MEMS反射镜2的柔性配线基板3以及柔性配线基板4。另外，扫描框部101包含:导电性构件5，其支撑MEMS反射镜I以及柔性配线基板3 ;导电性构件6，其支撑MEMS反射镜2以及柔性配线基板4。此外，HUD装置100通过MEMS反射镜I (2)、导电性构件5 (6)以及柔性配线基板3 (4)构成振动反射镜元件单元10a0另外，MEMS反射镜I以及2是本发明的“振动反射镜元件”的一个例子。
[0038]MEMS反射镜I对照射的激光在水平方向(画面的水平方向)上进行扫描并经由MEMS反射镜2投影到屏幕91上。另外，MEMS反射镜2对照射的来自MEMS反射镜I的激光在垂直方向(画面的垂直方向)上进行扫描并投影到屏幕91上。具体而言，扫描框部101的MEMS反射镜I以及2依次对从后述的激光源71a?71c照射的激光进行扫描并将图像投影到屏幕91上。另外，MEMS反射镜I通过共振驱动在水平方向上进行高速扫描。另外，MEMS反射镜2通过直流驱动在垂直方向上进行低速扫描。
[0039]在此，第一实施方式的HUD装置100分别经由柔性配线基板3以及4(参照图3)向导电性构件5以及6施加电力，来使导电性构件5以及6发热。并且，HUD装置100使由发热的导电性构件5以及6分别支撑的MEMS反射镜I以及2的温度上升。后面对扫描框部101进行详细地叙述。
[0040]另外，如图4所示，柔性配线基板3以及柔性配线基板4分别具有:驱动用配线部31，其向MEMS反射镜I以及2发送驱动信号以及反馈信号；发热用配线部32，其用于使导电性构件5以及6发热。此外，由于柔性配线基板4与柔性配线基板3具有相同的结构，所以省略图示。HUD装置100经由该发热用配线部32分别向导电性构件5以及6施加电力。此外，驱动用配线部31是本发明的“第一配线部”的一个例子。另外，发热用配线部32是本发明的“第二配线部”的一个例子。
[0041]另外，如图2所示，HUD装置100的光源框部102包含3个(蓝(B)、绿(G)、红(R))激光源71a?71c、三个偏光棱镜72a?72c、聚光透镜73。另外，光源框部102包含准直透镜171a?171c，该准直透镜171a?171c分别将从激光源71a?71c照射的激光补正为平行。另外，光源框部102包含光束整形棱镜173。并且，光源框部102通过偏光棱镜72a的出射面与光束整形棱镜173的出射面对激光的光斑形状进行整形。(例如，从椭圆形整形为大致圆形)。此外，激光源71a?71c是本发明的“光源部”的一个例子。
[0042]激光源71a使绿色的激光通过偏光棱镜72a并照射在MEMS反射镜I上。另外，激光源71b使红色的激光依次通过偏光棱镜72b以及72a并照射在MEMS反射镜I上。另外，激光源71c使蓝色的激光依次通过偏光棱镜72c、72b以及72a并照射在MEMS反射镜I上。
[0043]另外，扫描框部101以及光源框部102的各结构部件以在未图示的光学基座上被定位的状态，固定地保持在光学基座上。
[0044]另外，HUD装置100的控制框部103包含主CPU (Central Processing Unit:中央处理器)74、操作部75、显示控制部76。
[0045]主CPU74控制HUD装置100的各部。操作部75为了接受接通HUD装置100的电源的操作、改变信息的投影角度的操作以及改变信息的分辨率的操作等而设置。
[0046]显示控制部76包含影像处理部76a、光源控制部76b、LD (激光二极管)驱动器76c、反射镜控制部76d、反射镜驱动器76e、电力施加部76f。
[0047]HUD装置100基于向影像处理部76a输入的影像信号来输出图像信息。影像处理部76a基于从外部输入的影像信号来控制图像的投影。具体而言，影像处理部76a基于从外部输入的影像信号，经由反射镜控制部76d控制MEMS反射镜I以及2的驱动，并且经由光源控制部76b控制激光源71a?71c对激光的照射。
[0048]光源控制部76b基于影像处理部76a的控制，控制LD驱动器76c，由此控制激光源71a?71c对激光的照射。具体而言，光源控制部76b进行如下控制，即，根据MEMS反射镜I以及2分别扫描的时机，并基于图像信息，使与各像素对应的颜色的激光从激光源71a?71c进行照射。
[0049]反射镜控制部76d基于影像处理部76a的控制，向反射镜驱动器76e发送规定的控制信号，由此控制反射镜驱动器76e。另外，反射镜驱动器76e基于来自反射镜控制部76d的控制信号，向MEMS反射镜I以及2发送驱动信号，由此驱动MEMS反射镜I以及2。另外，在反射镜控制部76d的控制下，反射镜驱动器76e驱动MEMS反射镜I以及2时，电力施加部76f向导电性构件5以及6施加电力。
[0050]接着，参照图3?图6对扫描框部101(参照图2)的详细的结构进行说明。此外，由于MEMS反射镜I侧(包含柔性配线基板3以及导电性构件5)以及MEMS反射镜2侧(包含柔性配线基板4以及导电性构件6)具有相同的结构，所以下面对MEMS反射镜I侧进行说明，省略MEMS反射镜2侧的说明。
[0051]如图3以及如图4所示，MEMS反射镜I包含:反射镜部11，其反射激光；梳齿状(参照图5)的轴部12a以及12b，通过静电力驱动以能够摆动，并将反射镜部11支撑为能够摆动；支撑框体部13，其支撑轴部12a以及12b。此外，在图3以及图4中，简化梳齿状的轴部12a以及12b，并以棒状进行图示。
[0052]反射镜部11在Zl方向侧具有反射光的反射面11a。另外，反射镜部11通过轴部12a以及12b，向围绕轴线900 (参照图4)的A方向以及B方向倾斜(摆动)。此外，轴线900是本发明的“轴线 ”的一个例子。
[0053]轴部12a以及12b以在Y方向上延伸的方式形成。另外，轴部12a以及12b的内侧的端部分别与反射镜部11连接。另外，轴部12a以及12b分别通过变形，使反射镜部11围绕轴线900(参照图4)振动。另外，如图5所示，轴部12a(12b)具有形成为梳齿状的可动电极部12d。详细地说，轴部12a(12b)分别具有向Xl方向以及X2方向延伸的多个细的可动侧突出部12c。该多个可动侧突出部12c分别在轴线方向(Y方向)上以等间隔排列的方式配置。另外，轴部12a(12b)通过多个可动侧突出部12c形成为梳齿状。另外，轴部12a(12b)由硅基板构成，该硅基板被由蚀刻形成的金属膜的可动电极部12d覆盖。另外，可动电极部12d经由柔性配线基板3的驱动用配线部31与反射镜驱动器76e连接。
[0054]如图4所示，支撑框体部13形成为在X方向上延伸的箱状。另外，支撑框体部13固定地支撑轴部12a以及12b的外侧的端部(轴部12a的X2方向侧端部以及轴部12b的Xl方向侧端部)。另外，支撑框体部13 (MEMS反射镜I)包含固定电极部13a，该固定电极部13a设置在轴部12a以及12b的附近且形成为梳齿状。详细地说，支撑框体部13具有一对固定电极部13a，该固定电极部13a以夹持轴部12a(12b)的方式配置。即，MEMS反射镜I在反射镜部11的Yl方向侧以及Y2方向侧分别具有一对固定电极部13a。该固定电极部13a以与轴部12a(12b)的梳齿状相对应的方式形成为梳齿状。具体而言，如图5所示，固定电极部13a具有多个细的固定侧突出部13b，该多个固定侧突出部13b以分别侵入轴部12a(12b)的多个可动侧突出部12c之间的方式，向轴部12a(12b)侧延伸。该多个固定侧突出部13b在轴线方向(Y方向)分别以等间隔排列的方式配置。另外，固定电极部13a通过多个固定侧突出部13b形成为梳齿状。另外，固定电极部13a经由柔性配线基板3的驱动用配线部31与反射镜驱动器76e连接。
[0055]反射镜部11(轴部12a(12b))通过可动电极部12d与固定电极部13a之间产生的静电力进行摆动。详细地说，MEMS反射镜I基于从反射镜驱动器76e经由驱动用配线部31而得到的驱动信号，分别向可动电极部12d与固定电极部13a施加规定的电力。其结果，MEMS反射镜I在可动电极部12d与固定电极部13a之间，交替地产生相互吸引的静电引力(静电力)以及相互排斥的静电斥力(静电力)。由此，MEMS反射镜I构成为轴部12a以及12b向A方向以及B方向(参照图4)交替地摆动，从而使反射镜部11摆动。
[0056]柔性配线基板3以与导电性构件5的上表面5a(参照图6)抵接的状态配置在上表面5a，并且由导电性构件5来支撑。另外，如图4所示，柔性配线基板3具有矩形状的孔部3a，并在孔部3a的内侧配置MEMS反射镜I。另外，如图6所示，柔性配线基板3包含:上侧覆盖部33，其覆盖发热用配线部32的上侧(Zl方向侧)；下侧覆盖部34，其覆盖发热用配线部32的下侧(Z2方向侧)。S卩，上侧覆盖部33相对于发热用配线部32配置在导电性构件5的相反侧。另外，下侧覆盖部34相对于发热用配线部32配置在导电性构件5侧。另夕卜，上侧覆盖部33以及下侧覆盖部34通过粘接剂35分别粘接在发热用配线部32的上表面以及下表面。
[0057]另外，如图4所示，柔性配线基板3包含一对露出部36，该露出部36是未由下侧覆盖部34覆盖的发热用配线部32在发热用配线部32的下侧(Z2方向侧)露出而形成的。露出部36以夹持MEMS反射镜I的轴部12a、12b、以及反射镜部11的方式，在轴部12a以及12b的轴线的延长线上设置有一对。另外，发热用配线部32经由一对露出部36与导电性构件5电连接(导通)。具体而言，如图6所示，柔性配线基板3通过向被下侧覆盖部34与露出部36包围的区域填充粘接剂37，经由导电性粘接剂37将发热用配线部32与导电性构件5电连接(导通)。另外，柔性配线基板3与导电性构件5通过导电性粘接剂37粘接。此外，导电性粘接剂37是本发明的“导电性粘接层”以及“连接构件”的一个例子。
[0058]另外，如图4所示，柔性配线基板3的一对露出部36以夹持MEMS反射镜I的方式，分别形成在与轴线900相对应的位置的MEMS反射镜I的两侧(Y方向的两侧)。
[0059]如图3所示，导电性构件5形成为矩形状且平板形状。另外，导电性构件5由含有导电性物质(碳、石墨以及陶瓷等)的导电性树脂形成。另外，导电性构件5经由发热用配线部32与电力施加部76f(参照图2)连接。此外，导电性构件5以及6除了形状相互不同夕卜，具有相同的结构。
[0060]另外，如图4所示，导电性构件5构成为，通过在与梳齿状的轴部12a以及12b相对应的位置流经电流，从而使与轴部12a以及12b相对应的位置发热。即，导电性构件5构成为，由电力施加部76f经由柔性配线基板3的一对露出部36施加电力，从而在与轴部12a以及12b相对应的位置流经电流。其结果，导电性构件5通过电流使与轴部12a以及12b相对应的位置的温度上升。另外，导电性构件5向支撑的MEMS反射镜I传递由发热而得到的热量。由此，导电性构件5使MEMS反射镜I的温度上升。
[0061]在第一实施方式中，能够得到下面的效果。
[0062]在第一实施方式中，如上所述，设有支撑MEMS反射镜I (2)的导电性构件5，并且向导电性构件5施加电力来使导电性构件5发热，由此，由于对导电性构件5直接施加电力，所以不需要另行设置加热用的线圈等。其结果，不会使用于使MEMS反射镜I (2)的温度上升的结构复杂化，能够用简单的结构使MEMS反射镜1(2)的温度上升。
[0063]另外，在第一实施方式中，如上所述，HUD装置100构成为，在柔性配线基板3上设置有:发热用配线部32和驱动用配线部31，该驱动用配线部31与MEMS反射镜I (2)连接并向MEMS反射镜I (2)发送驱动信号；并且HUD装置100经由柔性配线基板3的发热用配线部32向导电性构件5施加电力。由此，通过在包含原有的驱动用配线部31的柔性配线基板3上设置发热用配线部32，从而利用一个柔性配线基板3，能够向MEMS反射镜I (2)发送驱动信号，并且能够向导电性构件5施加电力，由此，能够不使装置结构复杂化，能够用简单的结构使MEMS反射镜I (2)的温度上升。
[0064]另外，在第一实施方式中，如上所述，导电性构件5由含有导电性物质的导电性树脂形成。由此，具有导电性的导电性构件5能够容易地通过树脂成形而形成。
[0065]另外，在第一实施方式中，如上所述，在MEMS反射镜1(2)上设有:反射镜部11，其反射光；轴部12a以及12b，通过静电力驱动以能够摆动，并将反射镜部11支撑为能够摆动，导电性构件5构成为，通过在与轴部12a以及12b相对应的位置流经电流，来使与轴部12a以及12b相对应的位置发热。由此，由于以与MEMS反射镜I⑵的轴部12a以及12b相对应的规定位置为中心使导电性构件5发热，所以经由导电性构件5能够使容易发生结露的MEMS反射镜I (2)的轴部12a以及12b的温度上升。其结果，能够有效地抑制轴部12a以及12b的结露。
[0066]另外，在第一实施方式中，如上所述，在MEMS反射镜1(2)上设有固定电极部13a，该固定电极部13a配置在轴部12a以及12b的附近且形成为梳齿状，轴部12a以及12b具有形成为梳齿状的可动电极部12d，并且通过可动电极部12d与固定电极部13a之间产生的静电力，使轴部12a以及12b摆动。在此，在具有梳齿状电极的静电驱动方式的MEMS反射镜1(2)中，由于可动电极部12d以及固定电极部13a的梳齿彼此相互地接近配置，所以与其它的驱动方式的MEMS反射镜1(2)相比，轴部12a以及12b容易结露。因此，通过上述的构成，在静电驱动方式的MEMS反射镜I (2)中，能够有效地抑制轴部12a以及12b的结露。
[0067]另外，在第一实施方式中，如上所述，将柔性配线基板3配置在导电性构件5上，并且由导电性构件5支撑，且HUD装置100经由发热用配线部32向导电性构件5施加电力。由此，由于柔性配线基板3由导电性构件5支撑，所以能够相对于MEMS反射镜I (2)稳定地配置柔性配线基板3，并且通过柔性配线基板3的发热用配线部32，能够容易地向与柔性配线基板3接近的导电性构件5施加电力。
[0068]另外，在第一实施方式中， 如上所述，在柔性配线基板3上设有:上侧覆盖部33，其覆盖发热用配线部32的上侧(Zl方向侧)；下侧覆盖部34，其覆盖发热用配线部32的下侧；露出部36，其是未由下侧覆盖部34覆盖的发热用配线部32露出而形成的；发热用配线部32经由露出部36与导电性构件5电连接。由此，由于发热用配线部32从下侧覆盖部34的露出部36露出，所以在露出部36能够容易地将发热用配线部32与导电性构件5电连接。
[0069]另外，在第一实施方式中，如上所述，在MEMS反射镜1(2)上设有:反射镜部11，其反射光；轴部12a以及12b，可摆动地支撑反射镜部11，露出部36以夹持MEMS反射镜素子1(2)的轴部12a以及12b、反射镜部11的方式，在轴部12a以及12b的轴线的延长线上设置有一对。由此，由于通过发热用配线部32向在轴部12a以及12b的轴线的延长线上设置的一对露出部36之间施加电力，所以能够有效地使导电性构件5的温度沿着轴线上升。其结果，能够有效地使MEMS反射镜I⑵的轴部12a以及12b的温度上升。
[0070]另外，在第一实施方式中，如上所述，柔性配线基板3的发热用配线部32经由下侧覆盖部34侧的露出部36并通过导电性粘接剂37与导电性构件5电连接。由此，由于经由配置在导电性构件5与发热用配线部32之间的下侧覆盖部34的露出部36，能够将导电性构件5与发热用配线部32电连接，所以能够抑制导电性构件5与发热用配线部32的连接部位以及导电性粘接剂37向外部露出。其结果，能够抑制装置结构复杂化。
[0071]另外，在第一实施方式中，如上所述，设置有导电性粘接剂37，该导电性粘接剂37经由露出部36将发热用配线部32与导电性构件5电连接，并且将发热用配线部32与导电性构件5相互地固定。由此，通过导电性粘接剂37能够将柔性配线基板3与导电性构件5相互地粘接，并且能够将发热用配线部32与导电性构件5电连接。
[0072](第二实施方式)
[0073]接着，参照图1、图2以及图7对第二实施方式进行说明。与通过导电性粘接剂37将柔性配线基板3的发热用配线部32与导电性构件5电连接的上述第一实施方式不同，在该第二实施方式中，对通过板簧237将柔性配线基板203的发热用配线部32与导电性构件5电连接的例子进行说明。此外，对与上述第一实施方式相同的结构标注与第一实施方式相同的附图标记并图示，并且省略说明。此外，板簧237是本发明的“连接构件”的一个例子。
[0074]在第二实施方式的HUD装置200 (参照图1以及图2)中，如图7所示，柔性配线基板203与导电性构件5通过粘接剂35粘接。另外，柔性配线基板203包含一对露出部236，该露出部236是未由上侧覆盖部33覆盖的发热用配线部32在发热用配线部32的上侧(Zl方向侧)露出而形成的。另外，柔性配线基板203的发热用配线部32经由上侧覆盖部33侧的露出部236，并通过导电性的板簧237与导电性构件5电连接。具体而言，板簧237经由露出部236夹持发热用配线部32的上表面与导电性构件5的下表面5b (Z2方向侧的面)，由此将发热用配线部32与导电性构件5电连接。S卩，板簧237的一端与发热用配线部32的上侧(Zl方向侧)的露出部236抵接，另一端与导电性构件5的下表面5b (Z2方向侧的面)抵接。S卩，板簧237以夹持柔性配线基板203与导电性构件5的方式安装。由此，发热用配线部32与导电性构件5电连接。此外，HUD装置200是本发明的“投影仪”的一个例子。
[0075]第二实施方式的其它结构与上述第一实施方式相同。
[0076]在第二实施方式中，能够得到下面的效果。
[0077]在第二实施方式中，与上述第一实施方式相同，设有支撑MEMS反射镜I (2)的导电性构件5，并且通过向导电性构件5施加电力来使导电性构件5发热，由此，由于对导电性构件5直接施加电力，所以能够用简单的结构使MEMS反射镜1(2)的温度上升。
[0078]另外，在第二实施方式中，如上所述，柔性配线基板203的发热用配线部32经由上侧覆盖部33侧的露出部236，并通过导电性的板簧237与导电性构件5电连接。由此，与在下侧覆盖部侧配置露出部的情况不同，由于在导电性构件5上通过露出部236能够使发热用配线部32从上表面侧(上侧覆盖部33侧的露出部236)向外部露出，所以能够容易地将发热用配线部32与导电性构件5电连接。
[0079]另外，在第二实施方式中，如上所述，设有板簧237，该板簧237经由露出部236夹持发热用配线部32的上表面与导电性构件5的下表面5b，由此使发热用配线部32与导电性构件5电连接。由此，仅用板簧237夹在发热用配线部32的上表面与导电性构件5的下表面5b，就能够将发热用配线部32与导电性构件5电连接。因此，能够更容易地确保发热用配线部32与导电性构件5的电连接。
[0080]第二实施方式的其它效果与上述第一实施方式相同。
[0081](第三实施方式)
[0082]接着，参照图1、图2以及图8对第三实施方式进行说明。与通过板簧237将柔性配线基板203的发热用配线部32与导电性构件电连接的上述第二实施方式不同，在该第三实施方式中，对通过导电性的螺钉337将柔性配线基板303的发热用配线部32与导电性构件5电连接的例子进行说明。此外，对与上述第二实施方式相同的结构标注与第二实施方式相同的附图标记并图示，并且省略说明。另外，螺钉337是本发明的“连接构件”的一个例子。
[0083]在第三实施方式的HUD装置300 (参照图1以及图2)中，如图8所示，柔性配线基板303与导电性构件5通过粘接剂35粘接。另外，柔性配线基板303包含一对露出部336，该露出部336是未由上侧覆盖部33覆盖的发热用配线部32在发热用配线部32的上侧(Zl方向侧)露出而形成的。另外，在柔性配线基板303以及导电性构件5上分别形成从露出部336向Z2方向延伸的螺钉孔336a。并且，发热用配线部32与导电性构件5通过在螺钉孔336a内安装螺钉337而电连接。S卩，螺钉337在露出部336贯穿发热用配线部32，来紧固连接发热用配线部32与导电性构件5，由此将发热用配线部32与导电性构件5电连接。此外，螺钉337以头部与露出部336抵接的状态，安装在柔性配线基板303以及导电性构件5上。此外，HUD装置300是本发明的“投影仪”的一个例子。
[0084]第三实施方式的其它结构与上述第二实施方式相同。
[0085]在第三实施方式中，能够得到下面的效果。
[0086]在第三实施方式中，与上述第二实施方式相同，设有支撑MEMS反射镜I (2)的导电性构件5，并且通过向导电性构件5施加电力来使导电性构件5发热，由此，由于对导电性构件5直接施加电力，所以能够用简单的结构使MEMS反射镜1(2)的温度上升。
[0087]另外，在第三实施方式中，如上所述，设有螺钉337，该螺钉337在露出部336贯穿发热用配线部32，来紧固连接发热用配线部32与导电性构件5，由此将发热用配线部32与导电性构件5电连接。由此，由于通过螺钉337紧固连接发热用配线部32与导电性构件5，所以能够一边将发热用配线部32与导电性构件5电连接，一边将发热用配线部32与导电性构件5相互地固定。
[0088]第三实施方式的其它效果与上述第二实施方式相同。
[0089](第四实施方式)
[0090]接着，参照图1、图2、图9以及图10对第四实施方式进行说明。与在俯视下(从Z2方向侧观察)，与MEMS反射镜I相对应的位置的导电性构件5的下表面5b (Z2方向侧的面)平坦地形成的上述第一实施方式不同，在该第四实施方式中，对在俯视下(从Z2方向侦_察)，与MEMS反射镜I相对应的位置的导电性构件405的下表面5b (Z2方向侧的面)由平坦部451与凹部452形成的例子进行说明。此外，对与上述第一实施方式相同的结构标注与第一实施方式相同的附图标记并图示，并且省略说明。
[0091]在第四实施方式的HUD装置400 (参照图1以及图2)中，如图9以及图10所示，在俯视下(从Z2方向观察)，在导电性构件405的与配置MEMS反射镜I的位置相对应的区域，形成有平坦部451和比平坦部451的厚度小的凹部452。平坦部451配置在与轴部12a以及12b相重叠的位置，并且以沿着轴部12a以及12b在轴线方向(Y方向)上延伸的方式形成。凹部452以在轴线方向(Y方向)上延伸的方式形成，并且以与平坦部45 1邻接且夹持平坦部451的方式配置在平坦部451的两侧。导电性构件405在凹部452处的厚度比导电性构件405在平坦部451处的厚度小。例如，导电性构件405在平坦部451处的厚度被设定为大约1mm，导电性构件405在凹部452处的厚度被设定为大约0.5mm。此外，HUD装置400是本发明的“投影仪”的一个例子。
[0092]第四实施方式的其它结构与上述第一实施方式相同。
[0093]在第四实施方式中，能够得到下面的效果。
[0094]在第四实施方式中，与上述第一实施方式相同，设有支撑MEMS反射镜I (2)的导电性构件405，并且向导电性构件405施加电力来使导电性构件405发热，由此，由于对导电性构件405直接施加电力，所以能够用简单的结构使MEMS反射镜I (2)的温度上升。
[0095]另外，在第四实施方式中，如上所述，在俯视下，在导电性构件405的与配置MEMS反射镜1(2)的轴部12a以及12b的位置相对应的区域，形成有平坦部451，在俯视下，在导电性构件405的与平坦部451邻接的区域形成有凹部452，导电性构件405在凹部452处的厚度比导电性构件405在平坦部451处的厚度小。由此，由于与凹部452相比，平坦部451的与轴部12a以及12b垂直的截面积大(电阻小)，所以电流容易流经导电性构件405的与MEMS反射镜I (2)的轴部12a以及12b相对应的平坦部451，从而能够有效地使导电性构件405的轴部12a以及12b的温度上升。
[0096]另外，在第四实施方式中，如上所述，平坦部451以沿着轴部12a以及12b在轴线方向上延伸的方式形成，凹部452以在轴线方向上延伸的方式形成，并且以与平坦部451邻接且夹持平坦部451的方式配置在平坦部451的两侧。由此，由于在平坦部451的两侧配置凹部452，所以与在平坦部451的一侧配置凹部452的情况相比，能够更有效地使MEMS反射镜I⑵的轴部12a以及12b的温度上升。
[0097]第四实施方式的其它效果与上述第一实施方式相同。
[0098]此外，应该理解，这次公开的实施方式在全部方面都仅为例示，而非限定。本发明的范围不限于上述的实施方式的说明，而由权利要求的范围示出，而且包含与权利要求的范围具有同等意义以及在权利要求的范围内做出的所有变更。
[0099]例如，在上述第一?第四实施方式中，示出了本发明适用于HUD装置的例子，但本发明也可以适用于HUD装置以外的投影仪。
[0100]另外，在上述第一?第四实施方式中，分别示出了通过导电性粘接剂、板簧以及螺钉将导电性构件与柔性配线基板电连接的例子，但本发明不限定于此，在本发明中，也可以通过例如焊锡或银膏电连接。
[0101]另外，在上述第一?在第四实施方式中，分别示出了经由柔性配线基板向导电性构件施加电力的例子，但本发明不限定于此。例如，在本发明中也可以在导电性构件设置用于施加电力的电极来向导电性构件施加电力。
[0102]另外，在上述第一?第四实施方式中，分别示出了导电性构件由含有导电性物质的导电性树脂形成的例子，但本发明不限定于此。在本发明中，导电性构件也可以由金属形成。
[0103]另外，在上述第一?第四实施方式中，分别示出了发热用配线部经由从柔性配线基板的上侧覆盖部或下侧覆盖部露出的露出部与导电性构件电连接的例子，但本发明不限定于此。在本发明中，例如，也可以经由从柔性配线基板的端部露出的发热用配线部与导电性构件电连接。
[0104]另外，在上述第一?第四实施方式中，示出了分别设有水平扫描用与垂直扫描用的扫描部的例子，但本发明不限定于此。在本发明中，也可以将水平扫描用与垂直扫描用的扫描部作为I个扫描部。
【主权项】
1.一种投影仪，其特征在于， 具有: 光源部，其照射光， 振动反射镜元件，其对光进行扫描， 导电性构件，其支撑所述振动反射镜元件； 通过向所述导电性构件施加电力，来使所述导电性构件发热。2.如权利要求1所述的投影仪，其特征在于， 该投影仪还具有配线基板，该配线基板包含第一配线部和与所述第一配线部不同的第二配线部，该第一配线部与所述振动反射镜元件电连接，并向所述振动反射镜元件发送驱动信号， 该投影仪经由所述配线基板的所述第二配线部向所述导电性构件施加电力。3.如权利要求1所述的投影仪，其特征在于， 所述导电性构件由含有导电性物质的导电性树脂形成。4.如权利要求1所述的投影仪，其特征在于， 所述振动反射镜元件包含: 反射镜部，其反射光， 轴部，其能够摆动地支撑所述反射镜部； 在所述导电性构件的与所述轴部相对应的位置流经电流，来使所述导电性构件的与所述轴部相对应的位置发热。5.如权利要求4所述的投影仪，其特征在于， 所述振动反射镜元件包含固定电极部，该固定电极部配置在所述轴部的附近且形成为梳齿状， 所述轴部具有形成为梳齿状的可动电极部，并且通过在所述可动电极部与所述固定电极部之间产生的静电力来使所述轴部进行摆动。6.如权利要求4所述的投影仪，其特征在于， 在俯视下，在所述导电性构件的与所述振动反射镜元件的配置所述轴部的位置相对应的区域，形成有平坦部， 在俯视下，在所述导电性构件的与所述平坦部邻接的区域形成有凹部， 所述导电性构件在所述凹部处的厚度比所述导电性构件在所述平坦部处的厚度小。7.如权利要求6所述的投影仪，其特征在于， 所述平坦部以沿着所述轴部在轴线方向上延伸的方式形成， 所述凹部以在所述轴线方向上延伸的方式形成，并且以与所述平坦部邻接并夹持所述平坦部的方式配置在所述平坦部的两侧。8.如权利要求1?7中任一项所述的投影仪，其特征在于， 该投影仪还具有配线基板，该配线基板包含第一配线部和与所述第一配线部不同的第二配线部，该第一配线部与所述振动反射镜元件电连接，并向所述振动反射镜元件发送驱动信号， 所述配线基板配置在所述导电性构件上，并且由所述导电性构件支撑， 该投影仪经由所述配线基板的所述第二配线部向所述导电性构件施加电力。9.如权利要求8所述的投影仪，其特征在于， 所述配线基板包含: 上侧覆盖部，其覆盖所述第二配线部的上侧， 下侧覆盖部，其相对于所述第二配线部配置在所述导电性构件侧，并且覆盖所述第二配线部的下侧， 露出部，其是未由所述上侧覆盖部以及所述下侧覆盖部中的至少一方覆盖的所述第二配线部露出而成的露出部； 所述第二配线部经由所述露出部与所述导电性构件电连接。10.如权利要求9所述的投影仪，其特征在于， 所述振动反射镜元件包含: 反射镜部，其反射光， 轴部，其能够摆动地支撑所述反射镜部； 所述露出部以夹持所述振动反射镜元件的所述轴部以及所述反射镜部的方式，在所述轴部的轴线的延长线上设置有一对。11.如权利要求9所述的投影仪，其特征在于， 所述配线基板的所述第二配线部在所述下侧覆盖部侧的所述露出部，通过导电性的连接构件与所述导电性构件电连接。12.如权利要求11所述的投影仪，其特征在于， 所述连接构件为导电性粘接层，该导电性粘接层在所述露出部将所述第二配线部与所述导电性构件电连接，并且将所述第二配线部与所述导电性构件相互固定。13.如权利要求9所述的投影仪，其特征在于， 所述配线基板的所述第二配线部在所述上侧覆盖部侧的所述露出部，通过导电性的连接构件与所述导电性构件电连接。14.如权利要求13所述的投影仪，其特征在于， 所述连接构件为板簧，该板簧通过在所述露出部夹持所述第二配线部的上表面与所述导电性构件的下表面，以将所述第二配线部与所述导电性构件电连接。15.如权利要求13所述的投影仪，其特征在于， 所述连接构件包含螺钉，该螺钉在所述露出部贯穿所述第二配线部，来紧固连接所述第二配线部与所述导电性构件，以将所述第二配线部与所述导电性构件电连接。
【专利摘要】本发明提供用简单的结构能够使振动反射镜元件的温度上升的投影仪。该投影仪，具有：光源部，其照射光，振动反射镜元件，其扫描光，导电性构件，其支撑振动反射镜元件；该投影仪通过向导电性构件施加电力，来使导电性构件发热。
【IPC分类】B60R1/00, G02B26/10, G03B21/14
【公开号】CN104898355
【申请号】CN201510101361
【发明人】小林智弘
【申请人】船井电机株式会社
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年3月9日
【公告号】EP2916154A1, US20150253568
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