产品生产异常处理的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种产品生产异常处理的方法,特别涉及一种应用于半导体制造领域的产品生产异常处理的方法。
【背景技术】
[0002]在半导体制造的生产过程中,由于机台或者工人操作的问题,时有异常情况发生。通常发生异常后由工程师检查受影响产品情况,判断后制定下一步的处理措施。对于产品异常,目前的处理方式是由一线制造工人口头通知工艺工程师,工艺工程师查询产品详细异常信息后,将异常产品信息记录在纸质表单上,再按照表单手动对产品处理。目前的处理流程无系统自动的记录,设备工程师的处理意见和工艺工程师的处理意见不能相互比对,容易造成处理失误,产品异常处理正确率偏低。
【发明内容】
[0003]鉴于此,有必要提供一种应用于半导体制造领域的产品异常处理正确率的产品生产异常处理的方法。
[0004]一种产品生产异常处理的方法,包括如下步骤:
[0005]生产系统检查产品是否发生异常;
[0006]当产品发生异常时,所述生产系统将产品留在所在工位,并提示异常信息;
[0007]所述生产系统接收一线制造工人输入的产品基本信息,然后发出显示产品基本信息的异常电子通知单;
[0008]所述生产系统接收设备工程师输入的异常产品状况和第一处理方案;
[0009]所述生产系统接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案;
[0010]所述生产系统检查第一处理方案和第二处理方案是否一致;
[0011]若所述第一处理方案和第二处理方案一致,所述生产系统接收第二工艺工程师输入的异常产品状况和第三处理方案;
[0012]所述生产系统检查第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案是否一致;
[0013]若所述第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案一致,所述生产系统接收一线制造工人输入的异常产品状况和第四处理方案;
[0014]所述生产系统检查第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案是否一致;
[0015]若第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案一致,所述生产系统按照所述一致的处理方案自动执行。
[0016]在其中一个实施例中,所述产品基本信息包括产品在设备端的位置。
[0017]在其中一个实施例中,若所述第一处理方案和第二处理方案不一致,则所述生产系统执行接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案的步骤。
[0018]在其中一个实施例中,若第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案不一致,则所述生产系统不会向一线制造工人发送所述设备工程师、所述第一工艺工程师和所述第二工艺工程师填写的异常产品状况和处理方案,所述生产系统执行接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案的步骤。
[0019]在其中一个实施例中,若第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案不一致,所述生产系统执行接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案的步骤。
[0020]在其中一个实施例中,所述异常产品状况包括由所述生产系统预定义的状况分类:未工艺、部分工艺、已工艺。
[0021]在其中一个实施例中,在所述生产系统中,所述异常产品状况分别对应由所述生产系统预定义的处理方案。
[0022]在其中一个实施例中,若所述第二处理方案为产品返工,则所述工艺工程师提交第二处理方案后所述生产系统对比返工工艺菜单和正常工艺菜单,并输出对比结果。
[0023]在其中一个实施例中,若所述第二处理方案为产品返工,则所述第二工艺工程师提交第三处理方案后所述生产系统显示所述返工工艺菜单和所述正常工艺菜单的对比信肩、O
[0024]在其中一个实施例中,所述输出对比结果包括弹出对比提示窗口。
[0025]上述的产品生产异常处理的方法,产品发生异常后,生产系统将产品留在所在工位,经过设备工程师、第一工艺工程师、第二工艺工程师和一线制造工人确认异常产品状况和处理方案一致后,按照处理方案自动执行,经多名技术人员确认异常产品状况和处理方案,大大提高了产品异常处理正确率。
[0026]异常产品信息记录可以保存在电子系统中,便于追溯查询。对于已完成工艺或未进行工艺的异常产品,相对于目前采用的人为手动进出工艺站点,本发明是由系统自动控制处理,处理风险大大降低。
【附图说明】
[0027]图1为本发明一个实施例的流程图。
【具体实施方式】
[0028]下面结合附图,对本发明的【具体实施方式】进行详细描述。
[0029]图1为本发明一个实施例的流程图,包括:
[0030]步骤SlOO:生产系统检查产品是否发生异常。生产系统通过生产设备检测产品是否发生异常。
[0031]步骤SllO:当产品发生异常时,生产系统将产品留在所在工位,并提示异常信息。生产设备检测到产品发生异常,生产系统控制生产设备将异常产品暂时留在生产线上的所在工位,并向相关工作人员提示异常信息,包括各种提示灯或蜂鸣器,以及在相关工作人员的电脑上提示并显示异常产品的相关信息,包括异常产品所在位置等信息。一出现异常生产系统就把异常产品留在所在工位,并记录位置信息,让工作人员知道异常产品所在位置,方便处置。
[0032]步骤S120:生产系统接收一线制造工人输入的产品基本信息,然后发出显示产品基本信息的异常电子通知单,产品基本信息包括异常产品在生产线设备端的位置信息。
[0033]步骤S130:生产系统接收设备工程师输入的异常产品状况和第一处理方案。设备工程师根据异常产品状况处理生产设备的对应操作,确认异常产品所在位置,并检查和判断异常产品的工艺状况。异常产品状况包括由生产系统预定义的状况分类:未工艺、部分工艺、已工艺这三种工艺,分别由生产系统提供选项由操作者选择,并且分别对应有各自统一的由生产系统预定义的处理方案。例如,如果判断为未工艺,则对应的由生产系统预定义的处理方案为:产品取消进站,重新按原菜单作业。如果判断为部分工艺或已工艺,则对应的由生产系统预定义的处理方案为:返工。由于每种工艺状况分别对应有各自统一的处理方案,工作人员只需判断了异常产品的工艺状况,生产系统即自动对应有统一的处理方案,既减轻了工作人员的工作量,也大大提高了产品处理的一致性和正确率。
[0034]步骤S140:生产系统接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案。第一工艺工程师填写异常产品的工艺信息,并判断异常产品的工艺状况和处理方案。和上述一样,异常产品状况包括由生产系统预定义的状况分类:未工艺、部分工艺、已工艺这三种工艺,分别由生产系统提供选项由操作者选择,并且分别对应有各自统一的由生产系统预定义的处理方案。如果第一工艺工程师的第二处理方案为产品返工,则第一工艺工程师提交第二处理方案后生产系统对比返工工艺菜单和正常工艺菜单,并在第一工艺工程师操作界面弹出对比提示窗口输出对比结果。工艺菜单的改变可能会对产品产生重大的影响,通过在第一工艺工程师操作界面弹出对比提示窗口来警示第一工艺工程师,进一步确保工艺菜单的改变的正确性。
[0035]步骤S150:生产系统检查第一处理方案和第二处理方案是否一致,若第一处理方案和第二处理方案一致,则执行步骤S160,否则执行步骤S140。生产系统对设备工程师的第一处理方案和第一工艺工程师的第二处理方案进行对比,判断是否一致。若生产系统检查第一处理方案和第二处理方案不一致,则生产系统不会向第二工艺工程师发送设备工程师和第一工艺工程师填写的异常产品状况和第二处理方案,生产系统执行步骤S140。
[0036]步骤S160:生
产系统接收第二工艺工程师输入的异常产品状况和第三处理方案。第二工艺工程师判断异常产品的工艺状况和处理方案,和上述一样,异常产品状况包括由生产系统预定义的状况分类:未工艺、部分工艺、已工艺这三种工艺,分别由生产系统提供选项由操作者选择,并且分别对应有各自统一的由生产系统预定义的处理方案。第二工艺工程师进一步确认工艺状况,进一步提高产品异常处理正确率。如果第二工艺工程师的处理方案为产品返工,则第二工艺工程师提交处理方案后生产系统显示返工工艺菜单和正常工艺菜单的对比信息。工艺菜单的改变可能会对产品产生重大的影响,通过在第二工艺工程师生产系统界面显示返工工艺菜单和正常工艺菜单的对比信息提示第二工艺工程师,进一步确保工艺菜单的改变的正确性。
[0037]步骤S170:生产系统检查第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案是否一致,若第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案一致,则执行步骤S180,否则执行步骤S140。生产系统对设备工程师、第一工艺工程师和第二工艺工程师的处理方案进行对比,判断是否一致。若生产系统检查设备工程师、第一工艺工程师和第二工艺工程师的处理方案不一致,则生产系统不会向一线制造工人发送设备工程师、第一工艺工程师和第二工艺工程师填写的异常产品状况和处理方案,生产系统执行步骤S140。
[0038]步骤S180:所述生产系统接收一线制造工人输入的异常产品状况和第四处理方案。一线制造工人是一线作业员工,实际作业产品时是由他们进行操作,他们对产品的工艺状态清楚,增加一线制造工人对异常产品的异常产品状况判断步骤,也是为了进一步确认工艺状况,进一步提高产品异常处理正确率。
[0039]步骤S190:生产系统检查第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案是否一致,若第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案一致,则执行步骤S200,否则执行步骤S140。生产系统对设备工程师、第一工艺工程师、第二工艺工程师和一线制造工人的异常产品状况判断和处理方案进行综合对比,判断是否一致。若生产系统检查设备工程师、第一工艺工程师、第二工艺工程师和一线制造工人的处理方案不一致,生产系统执行步骤S140。经过四名三种不同职位工作人员的分别判断异常产品的工艺状况和处理方案,将个人的干扰影响大幅度降低,大大减低产品异常处理的不一致性和失误,进一步提高产品异常处理正确率,提高生产效率,节约产品异常报废成本。
[0040]步骤S200:生产系统按照一致的处理方案自动执行。若设备工程师、第一工艺工程师、第二工艺工程师和一线制造工人的异常产品状况判断和处理方案都一致,生产系统按照一致的处理方案自动执行。
[0041]上述的产品生产异常处理的方法,产品发生异常后,生产系统将产品留在所在工位,经过设备工程师、第一工艺工程师、第二工艺工程师和一线制造工人确认异常产品状况和处理方案一致后,按照处理方案自动执行,经多名技术人员确认异常产品状况和处理方案,大大提高了产品异常处理正确率。
[0042]异常产品信息记录可以保存在电子系统中,便于追溯查询。对于已完成工艺或未进行工艺的异常产品,相对于目前采用的人为手动进出工艺站点,本发明是由系统自动控制处理,处理风险大大降低。
[0043]上述一线制造工人为在生产线上生产产品的制造工人,设备工程师为负责产品制造过程中设备运行及问题处理的技术人员,第一工艺工程师和第二工艺工程师为负责产品制造过程中产品问题处理的技术人员。上述设备工程师、第一工艺工程师、第二工艺工程师和一线制造工人只是对处理过程的人员的称谓,事实上,只要处理过程的人员担负着相同的工作职责,皆可引用以上称谓。当然,也可以是其他的称谓。
[0044]本实施例主要应用于半导体制造领域,在其他实施例中,还可以相应改变应用于其他生产领域。
[0045]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种产品生产异常处理的方法,其特征在于,包括如下步骤: 生产系统检查产品是否发生异常; 当产品发生异常时,所述生产系统将产品留在所在工位,并提示异常信息; 所述生产系统接收一线制造工人输入的产品基本信息,然后发出显示产品基本信息的异常电子通知单; 所述生产系统接收设备工程师输入的异常产品状况和第一处理方案; 所述生产系统接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案; 所述生产系统检查第一处理方案和第二处理方案是否一致; 若所述第一处理方案和第二处理方案一致,所述生产系统接收第二工艺工程师输入的异常产品状况和第三处理方案; 所述生产系统检查第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案是否一致; 若所述第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案一致,所述生产系统接收一线制造工人输入的异常产品状况和第四处理方案; 所述生产系统检查第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案是否一致;若第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案一致,所述生产系统按照所述一致的处理方案自动执行。2.根据权利要求1所述的产品生产异常处理的方法,其特征在于,所述产品基本信息包括产品在设备端的位置。3.根据权利要求1所述的产品生产异常处理的方法,其特征在于,若所述第一处理方案和第二处理方案不一致,则所述生产系统执行接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案的步骤。4.根据权利要求1所述的产品生产异常处理的方法,其特征在于,若第一处理方案、第二处理方案和第三处理方案不一致,则所述生产系统执行接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案的步骤。5.根据权利要求1所述的产品生产异常处理的方法,其特征在于,若第一处理方案、第二处理方案、第三处理方案和第四处理方案不一致,所述生产系统执行接收第一工艺工程师输入的异常产品状况和第二处理方案的步骤。6.根据权利要求1所述的产品生产异常处理的方法,其特征在于,所述异常产品状况包括由所述生产系统预定义的状况分类:未工艺、部分工艺、已工艺。7.根据权利要求6所述的产品生产异常处理的方法,其特征在于,在所述生产系统中,所述异常产品状况分别对应由所述生产系统预定义的处理方案。8.根据权利要求7所述的产品生产异常处理的方法,其特征在于,若所述第二处理方案为产品返工,则所述第一工艺工程师提交第二处理方案后所述生产系统对比返工工艺菜单和正常工艺菜单,并输出对比结果。9.根据权利要求8所述的产品生产异常处理的方法,其特征在于,若所述第二处理方案为产品返工,则所述第二工艺工程师提交第三处理方案后所述生产系统显示所述返工工艺菜单和所述正常工艺菜单的对比信息。10.根据权利要求8所述的产品生产异常处理的方法,其特征在于,所述输出对比结果包括弹出对比提示窗口。
【专利摘要】本发明公开应用于半导体产品制造领域的一种产品生产异常处理的方法,主要过程是:产品发生异常后,生产系统将产品留在所在工位,经过设备工程师、第一工艺工程师、第二工艺工程师和一线制造工人确认异常产品状况和处理方案一致后,按照一致处理方案自动执行。经多名技术人员确认异常产品状况和处理方案,大大提高了产品异常处理正确率。
【IPC分类】G06F17/30, G06Q50/04
【公开号】CN104899789
【申请号】CN201410075478
【发明人】李晶, 李法涛
【申请人】无锡华润上华科技有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2014年3月3日