一种oled基板金属层检测及分配装置的制造方法
一种oled基板金属层检测及分配装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于有机发光二极管显示技术领域，具体涉及一种OLED基板金属层检测及分配装置。
【背景技术】
[0002]有机发光二极管(OLED)又称为有机电激光显示，是一种薄膜多层器件，由碳分子或聚合物组成，其具有视角宽、成本低、厚度薄、响应速度快、对比度高、可实现软屏显示等优点，在多元化的平板显示器市场中被视为极具发展前途的新型显示产品。目前应用于电视、监视器、笔记本电脑、移动电话、游戏机以及医用显示器等。
[0003]现今OLED制造技术日趋成熟，其生产制造的自动化和集成化的要求也越来越高。在其光刻段的制造工艺中，需要在OLED基板上溅射氧化铟锡(ITO)Jg (Ag)等金属层作为显示器件的电极，这些金属层镀膜完成后由于其自身特性，基本仍是透明或半透明状态。出于器件的良率和品质的考虑，在各金属层制造完成后需要进行相应的检测，以判断金属镀膜层是否出现缺陷和瑕疵，进而确定OLED基板是否可以进行下一工序。当检测到有缺陷或瑕疵的OLED基板时，一般采用人工将其拿离生产线，效率低，且OLED基板轻薄易碎，易对OLED基板造成二次损坏。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是解决上述问题，提供一种可快速检测OLED基板金属层缺陷、并根据检测结果控制OLED基板去向的OLED基板金属层检测及分配装置。
[0005]为解决上述技术问题，本发明的技术方案是:一种OLED基板金属层检测及分配装置，包括机架，安装在机架上的传输机构、检测机构以及分配机构，所述传输机构用于传输OLED基板，所述检测机构用于检测传输机构上的OLED基板，所述分配机构与传输机构连接，根据检测结果控制传输机构输出端的方向。
[0006]优选地，所述传输机构包括顺着OLED基板运动方向设置的第一传输段和第二传输段，第二传输段转动连接于第一传输段，所述检测机构检测第一传输段上的OLED基板，所述分配机构连接于第二传输段，以便调节第二传输段的转动，控制其输出端的方向。
[0007]优选地，所述检测机构还包括上位机，所述上位机连接于检测机构和分配机构，用于接收检测机构的检测结果，并根据检测结果控制分配机构。
[0008]优选地，所述检测机构包括光学检测仪和线性光源，所述光学检测仪和线性光源位于传输机构的上下两侧。
[0009]优选地，所述分配机构包括螺杆升降机、减速电机以及滑块，所述减速电机与螺杆升降机连接，用于驱动螺杆升降机的螺杆上下运动，所述螺杆一端与滑块活动连接，所述滑块与设置于传输机构的导轨滑动连接。
[0010]优选地，所述螺杆通过转动关节与滑块连接。
[0011]优选地，所述传输机构包括传动辊台和传动部件，所述传动部件设置于传动辊台上。
[0012]优选地，所述传动部件包括磁性齿轮和滚轮，所述磁性齿轮带动滚轮转动，用于传输OLED基板。
[0013]本发明的有益效果是:本发明提供的OLED基板金属层检测及分配装置，通过传输机构运输OLED基板，首先经过检测机构快速进行缺陷检查及分析，再根据检测结果自动判断是否驱动分配机构，分配机构根据检测机构的指令，对传输机构的输出端方向进行控制。当检测到OLED基板有缺陷或瑕疵时，检测机构驱动分配机构，再由分配机构改变传输机构的运行方向，从而将有缺陷或瑕疵的OLED基板运输到待处理区域，运输完毕后，传输机构再恢复至水平位置。如OLED基板没有问题，则传输机构位置不改变，OLED基板被运输至下一工序。本发明自动化程度高，可有效完成对OLED基板的检测和分配，减少对人工的依赖，从而有效提高产品生产效率并保证产品检测品质。
【附图说明】
[0014]图1是本发明OLED基板金属层检测及分配装置的结构示意图；
[0015]图2是螺杆升降机结构示意图；
[0016]图3是减速电机结构示意图。
[0017]附图标记说明:1、机架；21、第一传输段；22、第二传输段；23、转轴；24、磁性齿轮；31、光学检测仪；32、线性光源；41、螺杆升降机；411、螺杆；42、减速电机；43 ;转动关节；44、滑块；45、导轨；5、OLED基板。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的说明:
[0019]如图1所示，本发明OLED基板金属层检测及分配装置的结构示意图，包括机架1、传输机构、检测机构以及分配机构。传输机构、检测机构以及分配机构安装于机架I上。传输机构用于传输OLED基板5，检测机构用于检测传输机构上的OLED基板5，分配机构与传输机构连接，用于控制传输机构输出端的方向。
[0020]传输机构包括第一传输段21和第二传输段22，安装于机架I上，沿OLED基板5传输方向，第二传输段22通过转轴23转动连接于第一传输段21，第二传输段22可沿转轴23上下摆动。本实施例所述的传输机构具体实施部件包括传动辊台和传动部件，传动部件设置于传动辊台上。进一步的，传动部件包括磁性齿轮24和滚轮。磁性齿轮24和滚轮设置在传动辊台上，磁性齿轮24带动滚轮转动，用于传输OLED基板5。显然，也可选用其它齿轮进行传动，但OLED基板5轻薄易碎，而磁性齿轮24传动稳定性高，振动小，精度高，因此优选磁性齿轮24进行传动。显然传输机构也可只有一个传输段，但是一个传输段会降低生产效率，因此优选传输机构由第一传输段21和第二传输段22构成。
[0021]检测机构包括光学检测仪31和线性光源32，光学检测仪3和线性光源32固定安装于机架I上，分别位于第一传输段21的上下两侧，用以检测第一传输段21上的OLED基板5。光学检测仪31和线性光源32构成成熟的自动光学检测(AOI)系统，检测快速且检测结果可靠。进一步的，检测机构还包括上位机，上位机连接于检测结构和分配机构，用于接收光学检测仪的检测结果，并根据检测结果发出相应的指令控制分配 机构。上位机主要用于使本发明提供的检测及分配装置更加自动化，是一种优选的实施方式，若没有上位机，也可根据检测机构检测的结果，人工开启或停止电机，但是上位机可进一步使本发明提供的检测及分配装置提高生产效率，完全自动化。
[0022]分配机构包括螺杆升降机41、减速电机42以及滑块44，如图2_3所示，分别为螺杆升降机41和减速电机42结构示意图。第二传输段22传动辊台上安装有导轨45，滑块44与导轨45滑动连接，滑块44可在导轨45范围内自由滑动。螺杆升降机的螺杆411 一端部通过转动关节43与滑块44活动连接。螺杆升降机41和减速电机42固定安装在机架I上，位于第二传输段22的上方，减速电机42与螺杆升降机连接，通过电机的正反转控制螺杆411上下运动，进而推动第二传输段22沿着转轴23上下摆动。
[0023]以下对本发明装置的结构及工作过程作进一步的描述，本装置属于OLED光刻制程连线装置的一部分，入口端为金属溅射后的清洗段，出口端为下一层金属溅射段或待处理区域。当装置开启时，OLED基板5处于本工序连续运行中，磁性齿轮24带动的滚轮也一致处于匀速状态。当OLED基板5在第一传输段21上运行时，通过AOI系统检测金属层的溅射效果并将检测结果反馈至上位机，上位机根据工艺设定条件得出检测结果为合格或不合格。当OLED基板5整体进入第二传输段22时，上位机控制减速电机42停止或启动。如检测结果为合格时，电机不启动，第二传输段22保持不动，OLED基板5传输到下工序段；如检测结果为不合格时，上位机驱动减速电机42启动，控制螺杆411向下运动，推动第二传输段22沿转轴23向下摆动，使得第二传输段22的输出方向指向待处理区域。待OLED基板5整体离开第二传输段22进入待处理区域后，上位机发出指令，减速电机42反转，螺杆411带动第二传输段22沿转轴23向上运动恢复至水平位置。下张OLED基板以同样的方式进入第一传输段21和第二传输段22，装置一直保持连续作业状态，如此反复。
[0024]本发明提供的检测及分配装置，可完成对OLED基板5的传输、检测以及根据检测结果分配OLED基板5的去向。成熟的AOI系统可快速准确的完成对OLED基板5的检测。通过减速电机42来控制螺杆升降机41的上下运动，进而驱动传输机构的摆动，优选两段式传输机构，即第二传输段22转动连接于第一运输段21，可以高效率完成对OLED基板5去向的分配，减少对人工的依赖，且不会造成对OLED基板5的二次损坏。本发明自动化程度高，可有效提高生产效率并保证检测品质。
[0025]本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本发明的原理，应被理解为本发明的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本发明公开的这些技术启示做出各种不脱离本发明实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本发明的保护范围内。
【主权项】
1.一种OLED基板金属层检测及分配装置，其特征在于:包括机架(I)，安装在机架(I)上的传输机构、检测机构以及分配机构，所述传输机构用于传输OLED基板(5)，所述检测机构用于检测传输机构上的OLED基板(5)，所述分配机构与传输机构连接，以控制传输机构输出端的方向。2.根据权利要求1所述的检测及分配装置，其特征在于:所述传输机构包括顺着OLED基板(5)运动方向设置的第一传输段(21)和第二传输段(22)，第二传输段(22)转动连接于第一传输段(21)，所述检测机构检测第一传输段(21)上的OLED基板(5)，所述分配机构连接于第二传输段(22)，以便调节第二传输段(22)的转动，控制其输出端的方向。3.根据权利要求1所述的检测及分配装置，其特征在于:所述检测机构还包括上位机，所述上位机连接于检测机构和分配机构，用于接收检测机构的检测结果，并根据检测结果控制分配机构。4.根据权利要求1所述的检测及分配装置，其特征在于:所述检测机构包括光学检测仪(31)和线性光源(32)，所述光学检测仪(31)和线性光源(32)位于传输机构的上下两侧。5.根据权利要求1所述的检测及分配装置，其特征在于:所述分配机构包括螺杆升降机(41)、减速电机(42)以及滑块(44)，所述减速电机(42)与螺杆升降机(41)连接，用于驱动螺杆升降机(41)的螺杆(411)上下运动，所述螺杆(411) 一端与滑块(44)活动连接，所述滑块(44)与设置于传输机构的导轨(45)滑动连接。6.根据权利要求5所述的检测及分配装置，其特征在于:所述螺杆(411)通过转动关节(43)与滑块(44)连接。7.根据权利要求1至6任一所述的检测及分配装置，其特征在于:所述传输机构包括传动辊台和传动部件，所述传动部件设置于传动辊台上。8.根据权利要求7所述的检测及分配装置，其特征在于:所述传动部件包括磁性齿轮(24)和滚轮，所述磁性齿轮(24)带动滚轮转动，用于传输OLED基板(5)。
【专利摘要】本发明公开了一种OLED基板金属层检测及分配装置，包括机架，安装在机架上的传输机构、检测机构以及分配机构，所述传输机构用于传输OLED基板，所述检测机构用于检测传输机构上的OLED基板，传输机构包括顺着OLED基板运动方向设置的第一传输段和第二传输段，第二传输段转动连接于第一传输段，所述检测机构检测第一传输段上的OLED基板，所述分配机构连接于第二传输段，根据检测结果调节第二传输段的转动，控制其输出端的方向。本发明自动化程度高，可有效完成对OLED基板的检测和分配，减少对人工的依赖，从而有效提高产品生产效率并保证产品检测品质。
【IPC分类】H01L21/67, H01L51/56, H01L21/66
【公开号】CN104900554
【申请号】CN201510177798
【发明人】向欣, 敬启毓, 何江, 黄 俊, 唐元刚
【申请人】四川虹视显示技术有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年4月15日
【技术领域】
[0001]本发明属于有机发光二极管显示技术领域，具体涉及一种OLED基板金属层检测及分配装置。
【背景技术】
[0002]有机发光二极管(OLED)又称为有机电激光显示，是一种薄膜多层器件，由碳分子或聚合物组成，其具有视角宽、成本低、厚度薄、响应速度快、对比度高、可实现软屏显示等优点，在多元化的平板显示器市场中被视为极具发展前途的新型显示产品。目前应用于电视、监视器、笔记本电脑、移动电话、游戏机以及医用显示器等。
[0003]现今OLED制造技术日趋成熟，其生产制造的自动化和集成化的要求也越来越高。在其光刻段的制造工艺中，需要在OLED基板上溅射氧化铟锡(ITO)Jg (Ag)等金属层作为显示器件的电极，这些金属层镀膜完成后由于其自身特性，基本仍是透明或半透明状态。出于器件的良率和品质的考虑，在各金属层制造完成后需要进行相应的检测，以判断金属镀膜层是否出现缺陷和瑕疵，进而确定OLED基板是否可以进行下一工序。当检测到有缺陷或瑕疵的OLED基板时，一般采用人工将其拿离生产线，效率低，且OLED基板轻薄易碎，易对OLED基板造成二次损坏。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是解决上述问题，提供一种可快速检测OLED基板金属层缺陷、并根据检测结果控制OLED基板去向的OLED基板金属层检测及分配装置。
[0005]为解决上述技术问题，本发明的技术方案是:一种OLED基板金属层检测及分配装置，包括机架，安装在机架上的传输机构、检测机构以及分配机构，所述传输机构用于传输OLED基板，所述检测机构用于检测传输机构上的OLED基板，所述分配机构与传输机构连接，根据检测结果控制传输机构输出端的方向。
[0006]优选地，所述传输机构包括顺着OLED基板运动方向设置的第一传输段和第二传输段，第二传输段转动连接于第一传输段，所述检测机构检测第一传输段上的OLED基板，所述分配机构连接于第二传输段，以便调节第二传输段的转动，控制其输出端的方向。
[0007]优选地，所述检测机构还包括上位机，所述上位机连接于检测机构和分配机构，用于接收检测机构的检测结果，并根据检测结果控制分配机构。
[0008]优选地，所述检测机构包括光学检测仪和线性光源，所述光学检测仪和线性光源位于传输机构的上下两侧。
[0009]优选地，所述分配机构包括螺杆升降机、减速电机以及滑块，所述减速电机与螺杆升降机连接，用于驱动螺杆升降机的螺杆上下运动，所述螺杆一端与滑块活动连接，所述滑块与设置于传输机构的导轨滑动连接。
[0010]优选地，所述螺杆通过转动关节与滑块连接。
[0011]优选地，所述传输机构包括传动辊台和传动部件，所述传动部件设置于传动辊台上。
[0012]优选地，所述传动部件包括磁性齿轮和滚轮，所述磁性齿轮带动滚轮转动，用于传输OLED基板。
[0013]本发明的有益效果是:本发明提供的OLED基板金属层检测及分配装置，通过传输机构运输OLED基板，首先经过检测机构快速进行缺陷检查及分析，再根据检测结果自动判断是否驱动分配机构，分配机构根据检测机构的指令，对传输机构的输出端方向进行控制。当检测到OLED基板有缺陷或瑕疵时，检测机构驱动分配机构，再由分配机构改变传输机构的运行方向，从而将有缺陷或瑕疵的OLED基板运输到待处理区域，运输完毕后，传输机构再恢复至水平位置。如OLED基板没有问题，则传输机构位置不改变，OLED基板被运输至下一工序。本发明自动化程度高，可有效完成对OLED基板的检测和分配，减少对人工的依赖，从而有效提高产品生产效率并保证产品检测品质。
【附图说明】
[0014]图1是本发明OLED基板金属层检测及分配装置的结构示意图；
[0015]图2是螺杆升降机结构示意图；
[0016]图3是减速电机结构示意图。
[0017]附图标记说明:1、机架；21、第一传输段；22、第二传输段；23、转轴；24、磁性齿轮；31、光学检测仪；32、线性光源；41、螺杆升降机；411、螺杆；42、减速电机；43 ;转动关节；44、滑块；45、导轨；5、OLED基板。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步的说明:
[0019]如图1所示，本发明OLED基板金属层检测及分配装置的结构示意图，包括机架1、传输机构、检测机构以及分配机构。传输机构、检测机构以及分配机构安装于机架I上。传输机构用于传输OLED基板5，检测机构用于检测传输机构上的OLED基板5，分配机构与传输机构连接，用于控制传输机构输出端的方向。
[0020]传输机构包括第一传输段21和第二传输段22，安装于机架I上，沿OLED基板5传输方向，第二传输段22通过转轴23转动连接于第一传输段21，第二传输段22可沿转轴23上下摆动。本实施例所述的传输机构具体实施部件包括传动辊台和传动部件，传动部件设置于传动辊台上。进一步的，传动部件包括磁性齿轮24和滚轮。磁性齿轮24和滚轮设置在传动辊台上，磁性齿轮24带动滚轮转动，用于传输OLED基板5。显然，也可选用其它齿轮进行传动，但OLED基板5轻薄易碎，而磁性齿轮24传动稳定性高，振动小，精度高，因此优选磁性齿轮24进行传动。显然传输机构也可只有一个传输段，但是一个传输段会降低生产效率，因此优选传输机构由第一传输段21和第二传输段22构成。
[0021]检测机构包括光学检测仪31和线性光源32，光学检测仪3和线性光源32固定安装于机架I上，分别位于第一传输段21的上下两侧，用以检测第一传输段21上的OLED基板5。光学检测仪31和线性光源32构成成熟的自动光学检测(AOI)系统，检测快速且检测结果可靠。进一步的，检测机构还包括上位机，上位机连接于检测结构和分配机构，用于接收光学检测仪的检测结果，并根据检测结果发出相应的指令控制分配 机构。上位机主要用于使本发明提供的检测及分配装置更加自动化，是一种优选的实施方式，若没有上位机，也可根据检测机构检测的结果，人工开启或停止电机，但是上位机可进一步使本发明提供的检测及分配装置提高生产效率，完全自动化。
[0022]分配机构包括螺杆升降机41、减速电机42以及滑块44，如图2_3所示，分别为螺杆升降机41和减速电机42结构示意图。第二传输段22传动辊台上安装有导轨45，滑块44与导轨45滑动连接，滑块44可在导轨45范围内自由滑动。螺杆升降机的螺杆411 一端部通过转动关节43与滑块44活动连接。螺杆升降机41和减速电机42固定安装在机架I上，位于第二传输段22的上方，减速电机42与螺杆升降机连接，通过电机的正反转控制螺杆411上下运动，进而推动第二传输段22沿着转轴23上下摆动。
[0023]以下对本发明装置的结构及工作过程作进一步的描述，本装置属于OLED光刻制程连线装置的一部分，入口端为金属溅射后的清洗段，出口端为下一层金属溅射段或待处理区域。当装置开启时，OLED基板5处于本工序连续运行中，磁性齿轮24带动的滚轮也一致处于匀速状态。当OLED基板5在第一传输段21上运行时，通过AOI系统检测金属层的溅射效果并将检测结果反馈至上位机，上位机根据工艺设定条件得出检测结果为合格或不合格。当OLED基板5整体进入第二传输段22时，上位机控制减速电机42停止或启动。如检测结果为合格时，电机不启动，第二传输段22保持不动，OLED基板5传输到下工序段；如检测结果为不合格时，上位机驱动减速电机42启动，控制螺杆411向下运动，推动第二传输段22沿转轴23向下摆动，使得第二传输段22的输出方向指向待处理区域。待OLED基板5整体离开第二传输段22进入待处理区域后，上位机发出指令，减速电机42反转，螺杆411带动第二传输段22沿转轴23向上运动恢复至水平位置。下张OLED基板以同样的方式进入第一传输段21和第二传输段22，装置一直保持连续作业状态，如此反复。
[0024]本发明提供的检测及分配装置，可完成对OLED基板5的传输、检测以及根据检测结果分配OLED基板5的去向。成熟的AOI系统可快速准确的完成对OLED基板5的检测。通过减速电机42来控制螺杆升降机41的上下运动，进而驱动传输机构的摆动，优选两段式传输机构，即第二传输段22转动连接于第一运输段21，可以高效率完成对OLED基板5去向的分配，减少对人工的依赖，且不会造成对OLED基板5的二次损坏。本发明自动化程度高，可有效提高生产效率并保证检测品质。
[0025]本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本发明的原理，应被理解为本发明的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本发明公开的这些技术启示做出各种不脱离本发明实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本发明的保护范围内。
【主权项】
1.一种OLED基板金属层检测及分配装置，其特征在于:包括机架(I)，安装在机架(I)上的传输机构、检测机构以及分配机构，所述传输机构用于传输OLED基板(5)，所述检测机构用于检测传输机构上的OLED基板(5)，所述分配机构与传输机构连接，以控制传输机构输出端的方向。2.根据权利要求1所述的检测及分配装置，其特征在于:所述传输机构包括顺着OLED基板(5)运动方向设置的第一传输段(21)和第二传输段(22)，第二传输段(22)转动连接于第一传输段(21)，所述检测机构检测第一传输段(21)上的OLED基板(5)，所述分配机构连接于第二传输段(22)，以便调节第二传输段(22)的转动，控制其输出端的方向。3.根据权利要求1所述的检测及分配装置，其特征在于:所述检测机构还包括上位机，所述上位机连接于检测机构和分配机构，用于接收检测机构的检测结果，并根据检测结果控制分配机构。4.根据权利要求1所述的检测及分配装置，其特征在于:所述检测机构包括光学检测仪(31)和线性光源(32)，所述光学检测仪(31)和线性光源(32)位于传输机构的上下两侧。5.根据权利要求1所述的检测及分配装置，其特征在于:所述分配机构包括螺杆升降机(41)、减速电机(42)以及滑块(44)，所述减速电机(42)与螺杆升降机(41)连接，用于驱动螺杆升降机(41)的螺杆(411)上下运动，所述螺杆(411) 一端与滑块(44)活动连接，所述滑块(44)与设置于传输机构的导轨(45)滑动连接。6.根据权利要求5所述的检测及分配装置，其特征在于:所述螺杆(411)通过转动关节(43)与滑块(44)连接。7.根据权利要求1至6任一所述的检测及分配装置，其特征在于:所述传输机构包括传动辊台和传动部件，所述传动部件设置于传动辊台上。8.根据权利要求7所述的检测及分配装置，其特征在于:所述传动部件包括磁性齿轮(24)和滚轮，所述磁性齿轮(24)带动滚轮转动，用于传输OLED基板(5)。
【专利摘要】本发明公开了一种OLED基板金属层检测及分配装置，包括机架，安装在机架上的传输机构、检测机构以及分配机构，所述传输机构用于传输OLED基板，所述检测机构用于检测传输机构上的OLED基板，传输机构包括顺着OLED基板运动方向设置的第一传输段和第二传输段，第二传输段转动连接于第一传输段，所述检测机构检测第一传输段上的OLED基板，所述分配机构连接于第二传输段，根据检测结果调节第二传输段的转动，控制其输出端的方向。本发明自动化程度高，可有效完成对OLED基板的检测和分配，减少对人工的依赖，从而有效提高产品生产效率并保证产品检测品质。
【IPC分类】H01L21/67, H01L51/56, H01L21/66
【公开号】CN104900554
【申请号】CN201510177798
【发明人】向欣, 敬启毓, 何江, 黄 俊, 唐元刚
【申请人】四川虹视显示技术有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年4月15日
最新回复(0)