剥离设备的制造方法
剥离设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种剥离设备。
【背景技术】
[0002]随着显示技术的发展，人们对显示器的要求越来越高，轻薄化是显示器的发展趋势，也是人们追求的发展方向之一。目前常用的实现超薄显示的方法是对采用厚玻璃制备的显示面板进行化学减薄，以达到超薄显示的目的。然而这种工艺会给显示面板带来一系列的问题，比如减薄之后的表面不够平整，会有一些划痕等缺陷，容易导致显示器的破损，以及化学试剂带来污染和成本增加等。
[0003]现有的一种解决方法是将超薄玻璃搭载在较厚的载体玻璃上，完成显示面板的制备过程后，再将载体玻璃剥离，从而得到超薄显示器。这种制备工艺具有无需增加后续化学减薄工艺的优点，超薄玻璃与载体玻璃之间通常采用粘结层进行粘结，粘结过程比较容易，但剥离较难。
[0004]现有的较为成熟的方法是采用机器将载体玻璃直接吸附剥离。如图1所示，载体玻璃11与显示面板12相粘结，载体玻璃11吸附在剥离设备的吸附平台13上，吸附平台13能够绕轴旋转，达到剥离载体玻璃11的目的。在剥离过程中载体玻璃11的形变较大，容易导致破损，并且显示面板12也有较大的破损的风险，从而造成产能降低，严重影响产品的良率及成本。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种剥离设备，以降低资材破损的概率，提高剥离效率和良率。
[0006]为解决上述技术问题，本发明提供了一种剥离设备，所述剥离设备用于将第一基板与第二基板分离，所述剥离设备包括用于与所述第一基板的外侧相接触的剥离机台，所述剥离机台包括能够独立控制的多个子机台，每个所述子机台上均设置有多个贯穿所述子机台的第一通孔，每个所述子机台对应至少一个开关阀，所述开关阀用于控制相应的所述子机台中的所述第一通孔与抽真空装置的通断。
[0007]优选地，每个所述子机台对应多个所述开关阀，所述开关阀的数量与所述第一通孔的数量相等，位于所述子机台中的每个所述第一通孔均对应一个独立的所述开关阀。
[0008]优选地，每个所述子机台对应一个所述开关阀，所述开关阀同时控制位于所述子机台中的所有第一通孔与抽真空装置的通断。
[0009]优选地，所述剥离设备还包括吸气机台，所述剥离机台放置在所述吸气机台上，所述吸气机台上设置有贯穿该吸气机台的第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔连通，所述开关阀设置在所述吸气机台上，并且所述开关阀通过控制所述第二通孔与所述抽真空装置的通断来控制所述第一通孔与所述抽真空装置的通断。
[0010]优选地，相邻的所述子机台之间铰接。
[0011]优选地，多个所述第一通孔均匀分布在所述子机台上。
[0012]优选地，多个所述第一通孔呈阵列排布，每个所述开关阀用于控制其中一列或其中一行所述第一通孔与抽真空装置的通断。
[0013]优选地，制作所述子机台的材料包括聚甲醛或改性聚丙烯。
[0014]优选地，所述子机台的长度在3mm-20mm之间。
[0015]优选地，所述第一通孔的直径在0.5mm-5mm之间。
[0016]本发明中的剥离机台随着开关阀的状态不同能够实现柔软变动，因此能够将载体玻璃的形变控制在较小的范围内，从而降低了产品发生破损的风险，避免了对资材的浪费，提高了生产效率和良率。
【附图说明】
[0017]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。
[0018]图1是现有技术中的剥离过程示意图；
[0019]图2是本发明实施例中的剥离设备在非工作状态的示意图；
[0020]图3是本发明实施例中的剥离设备在工作状态的示意图；
[0021]图4是剥离机台的俯视图；
[0022]图5是子机台的俯视图。
[0023]在附图中，11-载体玻璃；12_显示面板；13_吸附平台；21_第一基板；22_第二基板；23_剥离机台；231_子机台；24_第一通孔；25_开关阀；26_吸气机台。
【具体实施方式】
[0024]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0025]本发明提供了一种剥离设备，如图2和图3所示，其中图2是所述剥离设备在非工作状态的示意图，图3是所述剥离设备在工作状态的示意图。
[0026]所述剥离设备用于将第一基板21与第二基板22分离，所述剥离设备包括用于与第一基板21的外侧相接触的剥离机台23，剥离机台23包括能够独立控制的多个子机台231 (如图4所示)，每个子机台231上均设置有多个贯穿该子机台231的第一通孔24，并且，每个子机台231对应至少一个开关阀25，开关阀25用于控制相应的子机台231中的第一通孔24与抽真空装置的通断。
[0027]在剥离过程中，按照子机台231的排列方向(图3中箭头所示方向)依次打开与各个子机台231相对应的开关阀25，其中，“〇”表示开关阀25打开状态，气体流通，可以进行吸附作用，“ X ”表示开关阀25关闭状态，无法完成吸附作用。当开关阀25打开时，与该开关阀25相对应的第一通孔24与抽真空装置连通，使相应位置处的第一基板21被吸附，从而逐渐与第二基板22分离。通常，第一通孔24可以通过管道与抽真空装置的吸气口相连，开关阀25设置在所述管道上。
[0028]本发明中的剥离机台23由多个独立控制的子机台231组成，随着开关阀25依次逐渐打开，各个子机台231依次向下移动，使得剥离机台23能够实现柔软变动，因此能够将第一基板21的形变控制在较小的范围内。
[0029]在本发明中，第一基板21可以是载体玻璃，第二基板22可以是显示面板，利用本发明所提供的剥离设备对载体玻璃和显示面板进行分离时，由于载体玻璃的形变变小，因此能够有效降低广品发生破损的风险，避免对资材的浪费，提尚生广效率和良率。
[0030]在本发明中，可以采用多种方式对子机台231上的第一通孔24进行控制。例如，作为本发明的第一种实施方式，每个子机台231对应多个开关阀25，开关阀25的数量与第一通孔24的数量相等，位于子机台231中的每个第一通 孔24均对应一个独立的开关阀25。这种设置方式操作十分灵活，可以根据具体情况实时调整对第一基板21进行吸附的部位以及吸附作用力的大小。
[0031]作为本发明的第二种实施方式，每个子机台231对应一个开关阀25，开关阀25同时控制位于该子机台231中的所有第一通孔24与抽真空装置的通断。这种设置方式操作简单，只需按照子机台231的排列方向依次打开控制各个子机台231的开关阀25即可，剥离效率较高。
[0032]优选地，为了使真空吸附时第一基板21在吸附区域的受力更加均匀，位于每个子机台231上的多个第一通孔24均匀分布在子机台231上。
[0033]此外，为了便于对剥离机台23进行加工以及对第一通孔24进行控制，可以将多个第一通孔24设置为按阵列排布，如图5所示，每个开关阀25用于控制其中一列或其中一行第一通孔24与抽真空装置的通断。当需要进行剥离操作时，可以按照子机台231的排列方向，依次开启控制每列或多列第一通孔24的开关阀25，使第一基板21在均匀受力的情况下逐渐与第二基板22分离，降低了基板破损的风险。
[0034]本发明对于开关阀25的具体位置不作限定，只要能够实现控制通孔24中的气流通断即可。例如在图2和图3中，所述剥离设备还包括吸气机台26，剥离机台23放置在吸气机台26上，吸气机台26上设置有贯穿该吸气机台26的第二通孔，所述第二通孔与第一通孔24连通，开关阀25设置在吸气机台26上，并且开关阀25通过控制所述第二通孔与所述抽真空装置的通断来控制第一通孔24与所述抽真空装置的通断。为了维持吸气机台26表面的平整性，可以将开关阀25镶嵌在吸气机台26中。
[0035]在本发明中，吸气机台26的位置是固定的，例如，可以将吸气机台26安装在固定的安装基础上。在剥离过程中，初始状态剥离机台23与吸气机台26自然接触，由于剥离机台23的下表面和吸气机台26的上表面不是绝对光滑的，因此两者之间形成有间隙。打开开关阀25后，抽真空装置开始吸气，通过吸气作用把第一基板21吸附在剥离机台23上，并且使剥离机台23与吸气机台26紧贴，由于剥离机台23是能够柔软变动的，因此能够带动第一基板21与第二基板22分离。
[0036]优选地，相邻的子机台231之间铰接。子机台231可以采用类似链段的结构，通过钢针进行铰接，灵活机动，可实现柔软变动，避免由于吸附力度过大而对第一基板21或第二基板22造成损伤。
[0037]制作子机台231的材料可以是常见的聚合物材料，例如，可以是包括聚甲醛或改性聚丙烯的材料。
[0038]根据待分离基板的尺寸不同，子机台231的长度也需要进行调整，既要保证其灵活变动的特性，又要保证真空吸附的作用力适中均匀。优选地，经过多次试验，子机台231的长度控制在3mm-20mm之间比较合适。
[0039]在此基础上，位于子机台231上的第一通孔24的直径优选设置在0.5mm-5mm之间，以使得数十个第一通孔24能够均匀分布在子平台231上。
[0040]本发明能够将待分离基板的形变控制在较小的范围内，降低了产品发生破损的风险，对于提高产品的良率效果十分显著。
[0041]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种剥离设备，用于将第一基板与第二基板分离，其特征在于，所述剥离设备包括用于与所述第一基板的外侧相接触的剥离机台，所述剥离机台包括能够独立控制的多个子机台，每个所述子机台上均设置有多个贯穿所述子机台的第一通孔，每个所述子机台对应至少一个开关阀，所述开关阀用于控制相应的所述子机台中的所述第一通孔与抽真空装置的通断。2.根据权利要求1所述的剥离设备，其特征在于，每个所述子机台对应多个所述开关阀，所述开关阀的数量与所述第一通孔的数量相等，位于所述子机台中的每个所述第一通孔均对应一个独立的所述开关阀。3.根据权利要求1所述的剥离设备，其特征在于，每个所述子机台对应一个所述开关阀，所述开关阀同时控制位于所述子机台中的所有第一通孔与抽真空装置的通断。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的剥离设备，其特征在于，所述剥离设备还包括吸气机台，所述剥离机台放置在所述吸气机台上，所述吸气机台上设置有贯穿该吸气机台的第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔连通，所述开关阀设置在所述吸气机台上，并且所述开关阀通过控制所述第二通孔与所述抽真空装置的通断来控制所述第一通孔与所述抽真空装置的通断。5.根据权利要求1至3中任意一项所述的剥离设备，其特征在于，相邻的所述子机台之间铰接。6.根据权利要求1至3中任意一项所述的剥离设备，其特征在于，多个所述第一通孔均匀分布在所述子机台上。7.根据权利要求6所述的剥离设备，其特征在于，多个所述第一通孔呈阵列排布，每个所述开关阀用于控制其中一列或其中一行所述第一通孔与抽真空装置的通断。8.根据权利要求1至3中任意一项所述的剥离设备，其特征在于，制作所述子机台的材料包括聚甲醛或改性聚丙烯。9.根据权利要求1至3中任意一项所述的剥离设备，其特征在于，所述子机台的长度在3mm-20mm 之间。10.根据权利要求9所述的剥离设备，其特征在于，所述第一通孔的直径在0.5mm-5mm之间。
【专利摘要】本发明公开了一种剥离设备，所述剥离设备用于将第一基板与第二基板分离，所述剥离设备包括用于与所述第一基板的外侧相接触的剥离机台，所述剥离机台包括能够独立控制的多个子机台，每个所述子机台上均设置有多个贯穿所述子机台的第一通孔，每个所述子机台对应至少一个开关阀，所述开关阀用于控制相应的所述子机台中的所述第一通孔与抽真空装置的通断。本发明中的剥离机台随着开关阀的状态不同能够实现柔软变动，因此能够将载体玻璃的形变控制在较小的范围内，从而降低了产品发生破损的风险，避免了对资材的浪费，提高了生产效率和良率。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN104900564
【申请号】CN201510237757
【发明人】张雨, 铃木照晃, 贾倩, 鲁姣明
【申请人】京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年5月12日
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种剥离设备。
【背景技术】
[0002]随着显示技术的发展，人们对显示器的要求越来越高，轻薄化是显示器的发展趋势，也是人们追求的发展方向之一。目前常用的实现超薄显示的方法是对采用厚玻璃制备的显示面板进行化学减薄，以达到超薄显示的目的。然而这种工艺会给显示面板带来一系列的问题，比如减薄之后的表面不够平整，会有一些划痕等缺陷，容易导致显示器的破损，以及化学试剂带来污染和成本增加等。
[0003]现有的一种解决方法是将超薄玻璃搭载在较厚的载体玻璃上，完成显示面板的制备过程后，再将载体玻璃剥离，从而得到超薄显示器。这种制备工艺具有无需增加后续化学减薄工艺的优点，超薄玻璃与载体玻璃之间通常采用粘结层进行粘结，粘结过程比较容易，但剥离较难。
[0004]现有的较为成熟的方法是采用机器将载体玻璃直接吸附剥离。如图1所示，载体玻璃11与显示面板12相粘结，载体玻璃11吸附在剥离设备的吸附平台13上，吸附平台13能够绕轴旋转，达到剥离载体玻璃11的目的。在剥离过程中载体玻璃11的形变较大，容易导致破损，并且显示面板12也有较大的破损的风险，从而造成产能降低，严重影响产品的良率及成本。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种剥离设备，以降低资材破损的概率，提高剥离效率和良率。
[0006]为解决上述技术问题，本发明提供了一种剥离设备，所述剥离设备用于将第一基板与第二基板分离，所述剥离设备包括用于与所述第一基板的外侧相接触的剥离机台，所述剥离机台包括能够独立控制的多个子机台，每个所述子机台上均设置有多个贯穿所述子机台的第一通孔，每个所述子机台对应至少一个开关阀，所述开关阀用于控制相应的所述子机台中的所述第一通孔与抽真空装置的通断。
[0007]优选地，每个所述子机台对应多个所述开关阀，所述开关阀的数量与所述第一通孔的数量相等，位于所述子机台中的每个所述第一通孔均对应一个独立的所述开关阀。
[0008]优选地，每个所述子机台对应一个所述开关阀，所述开关阀同时控制位于所述子机台中的所有第一通孔与抽真空装置的通断。
[0009]优选地，所述剥离设备还包括吸气机台，所述剥离机台放置在所述吸气机台上，所述吸气机台上设置有贯穿该吸气机台的第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔连通，所述开关阀设置在所述吸气机台上，并且所述开关阀通过控制所述第二通孔与所述抽真空装置的通断来控制所述第一通孔与所述抽真空装置的通断。
[0010]优选地，相邻的所述子机台之间铰接。
[0011]优选地，多个所述第一通孔均匀分布在所述子机台上。
[0012]优选地，多个所述第一通孔呈阵列排布，每个所述开关阀用于控制其中一列或其中一行所述第一通孔与抽真空装置的通断。
[0013]优选地，制作所述子机台的材料包括聚甲醛或改性聚丙烯。
[0014]优选地，所述子机台的长度在3mm-20mm之间。
[0015]优选地，所述第一通孔的直径在0.5mm-5mm之间。
[0016]本发明中的剥离机台随着开关阀的状态不同能够实现柔软变动，因此能够将载体玻璃的形变控制在较小的范围内，从而降低了产品发生破损的风险，避免了对资材的浪费，提高了生产效率和良率。
【附图说明】
[0017]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。
[0018]图1是现有技术中的剥离过程示意图；
[0019]图2是本发明实施例中的剥离设备在非工作状态的示意图；
[0020]图3是本发明实施例中的剥离设备在工作状态的示意图；
[0021]图4是剥离机台的俯视图；
[0022]图5是子机台的俯视图。
[0023]在附图中，11-载体玻璃；12_显示面板；13_吸附平台；21_第一基板；22_第二基板；23_剥离机台；231_子机台；24_第一通孔；25_开关阀；26_吸气机台。
【具体实施方式】
[0024]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0025]本发明提供了一种剥离设备，如图2和图3所示，其中图2是所述剥离设备在非工作状态的示意图，图3是所述剥离设备在工作状态的示意图。
[0026]所述剥离设备用于将第一基板21与第二基板22分离，所述剥离设备包括用于与第一基板21的外侧相接触的剥离机台23，剥离机台23包括能够独立控制的多个子机台231 (如图4所示)，每个子机台231上均设置有多个贯穿该子机台231的第一通孔24，并且，每个子机台231对应至少一个开关阀25，开关阀25用于控制相应的子机台231中的第一通孔24与抽真空装置的通断。
[0027]在剥离过程中，按照子机台231的排列方向(图3中箭头所示方向)依次打开与各个子机台231相对应的开关阀25，其中，“〇”表示开关阀25打开状态，气体流通，可以进行吸附作用，“ X ”表示开关阀25关闭状态，无法完成吸附作用。当开关阀25打开时，与该开关阀25相对应的第一通孔24与抽真空装置连通，使相应位置处的第一基板21被吸附，从而逐渐与第二基板22分离。通常，第一通孔24可以通过管道与抽真空装置的吸气口相连，开关阀25设置在所述管道上。
[0028]本发明中的剥离机台23由多个独立控制的子机台231组成，随着开关阀25依次逐渐打开，各个子机台231依次向下移动，使得剥离机台23能够实现柔软变动，因此能够将第一基板21的形变控制在较小的范围内。
[0029]在本发明中，第一基板21可以是载体玻璃，第二基板22可以是显示面板，利用本发明所提供的剥离设备对载体玻璃和显示面板进行分离时，由于载体玻璃的形变变小，因此能够有效降低广品发生破损的风险，避免对资材的浪费，提尚生广效率和良率。
[0030]在本发明中，可以采用多种方式对子机台231上的第一通孔24进行控制。例如，作为本发明的第一种实施方式，每个子机台231对应多个开关阀25，开关阀25的数量与第一通孔24的数量相等，位于子机台231中的每个第一通 孔24均对应一个独立的开关阀25。这种设置方式操作十分灵活，可以根据具体情况实时调整对第一基板21进行吸附的部位以及吸附作用力的大小。
[0031]作为本发明的第二种实施方式，每个子机台231对应一个开关阀25，开关阀25同时控制位于该子机台231中的所有第一通孔24与抽真空装置的通断。这种设置方式操作简单，只需按照子机台231的排列方向依次打开控制各个子机台231的开关阀25即可，剥离效率较高。
[0032]优选地，为了使真空吸附时第一基板21在吸附区域的受力更加均匀，位于每个子机台231上的多个第一通孔24均匀分布在子机台231上。
[0033]此外，为了便于对剥离机台23进行加工以及对第一通孔24进行控制，可以将多个第一通孔24设置为按阵列排布，如图5所示，每个开关阀25用于控制其中一列或其中一行第一通孔24与抽真空装置的通断。当需要进行剥离操作时，可以按照子机台231的排列方向，依次开启控制每列或多列第一通孔24的开关阀25，使第一基板21在均匀受力的情况下逐渐与第二基板22分离，降低了基板破损的风险。
[0034]本发明对于开关阀25的具体位置不作限定，只要能够实现控制通孔24中的气流通断即可。例如在图2和图3中，所述剥离设备还包括吸气机台26，剥离机台23放置在吸气机台26上，吸气机台26上设置有贯穿该吸气机台26的第二通孔，所述第二通孔与第一通孔24连通，开关阀25设置在吸气机台26上，并且开关阀25通过控制所述第二通孔与所述抽真空装置的通断来控制第一通孔24与所述抽真空装置的通断。为了维持吸气机台26表面的平整性，可以将开关阀25镶嵌在吸气机台26中。
[0035]在本发明中，吸气机台26的位置是固定的，例如，可以将吸气机台26安装在固定的安装基础上。在剥离过程中，初始状态剥离机台23与吸气机台26自然接触，由于剥离机台23的下表面和吸气机台26的上表面不是绝对光滑的，因此两者之间形成有间隙。打开开关阀25后，抽真空装置开始吸气，通过吸气作用把第一基板21吸附在剥离机台23上，并且使剥离机台23与吸气机台26紧贴，由于剥离机台23是能够柔软变动的，因此能够带动第一基板21与第二基板22分离。
[0036]优选地，相邻的子机台231之间铰接。子机台231可以采用类似链段的结构，通过钢针进行铰接，灵活机动，可实现柔软变动，避免由于吸附力度过大而对第一基板21或第二基板22造成损伤。
[0037]制作子机台231的材料可以是常见的聚合物材料，例如，可以是包括聚甲醛或改性聚丙烯的材料。
[0038]根据待分离基板的尺寸不同，子机台231的长度也需要进行调整，既要保证其灵活变动的特性，又要保证真空吸附的作用力适中均匀。优选地，经过多次试验，子机台231的长度控制在3mm-20mm之间比较合适。
[0039]在此基础上，位于子机台231上的第一通孔24的直径优选设置在0.5mm-5mm之间，以使得数十个第一通孔24能够均匀分布在子平台231上。
[0040]本发明能够将待分离基板的形变控制在较小的范围内，降低了产品发生破损的风险，对于提高产品的良率效果十分显著。
[0041]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种剥离设备，用于将第一基板与第二基板分离，其特征在于，所述剥离设备包括用于与所述第一基板的外侧相接触的剥离机台，所述剥离机台包括能够独立控制的多个子机台，每个所述子机台上均设置有多个贯穿所述子机台的第一通孔，每个所述子机台对应至少一个开关阀，所述开关阀用于控制相应的所述子机台中的所述第一通孔与抽真空装置的通断。2.根据权利要求1所述的剥离设备，其特征在于，每个所述子机台对应多个所述开关阀，所述开关阀的数量与所述第一通孔的数量相等，位于所述子机台中的每个所述第一通孔均对应一个独立的所述开关阀。3.根据权利要求1所述的剥离设备，其特征在于，每个所述子机台对应一个所述开关阀，所述开关阀同时控制位于所述子机台中的所有第一通孔与抽真空装置的通断。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的剥离设备，其特征在于，所述剥离设备还包括吸气机台，所述剥离机台放置在所述吸气机台上，所述吸气机台上设置有贯穿该吸气机台的第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔连通，所述开关阀设置在所述吸气机台上，并且所述开关阀通过控制所述第二通孔与所述抽真空装置的通断来控制所述第一通孔与所述抽真空装置的通断。5.根据权利要求1至3中任意一项所述的剥离设备，其特征在于，相邻的所述子机台之间铰接。6.根据权利要求1至3中任意一项所述的剥离设备，其特征在于，多个所述第一通孔均匀分布在所述子机台上。7.根据权利要求6所述的剥离设备，其特征在于，多个所述第一通孔呈阵列排布，每个所述开关阀用于控制其中一列或其中一行所述第一通孔与抽真空装置的通断。8.根据权利要求1至3中任意一项所述的剥离设备，其特征在于，制作所述子机台的材料包括聚甲醛或改性聚丙烯。9.根据权利要求1至3中任意一项所述的剥离设备，其特征在于，所述子机台的长度在3mm-20mm 之间。10.根据权利要求9所述的剥离设备，其特征在于，所述第一通孔的直径在0.5mm-5mm之间。
【专利摘要】本发明公开了一种剥离设备，所述剥离设备用于将第一基板与第二基板分离，所述剥离设备包括用于与所述第一基板的外侧相接触的剥离机台，所述剥离机台包括能够独立控制的多个子机台，每个所述子机台上均设置有多个贯穿所述子机台的第一通孔，每个所述子机台对应至少一个开关阀，所述开关阀用于控制相应的所述子机台中的所述第一通孔与抽真空装置的通断。本发明中的剥离机台随着开关阀的状态不同能够实现柔软变动，因此能够将载体玻璃的形变控制在较小的范围内，从而降低了产品发生破损的风险，避免了对资材的浪费，提高了生产效率和良率。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN104900564
【申请号】CN201510237757
【发明人】张雨, 铃木照晃, 贾倩, 鲁姣明
【申请人】京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年5月12日
最新回复(0)