高温石英加热槽及制作方法
高温石英加热槽及制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及LED生产制造领域，具体涉及一种高温石英加热槽及制作方法。
【背景技术】
[0002]在现代LED生产制造过程中，晶片需要进行酸洗，通常在石英加热槽中进行，酸洗溶液配置时温度高达200°C以上，高温会对槽体造成损伤，所以槽体由耐高温的石英制成。
[0003]而国内如中电45所、台湾鸿基、北京华联、常州硅密等设备制造厂家所用的石英槽是由槽体外壁上贴上加热膜片，石英槽和外侧固定板之间填充保温棉，外部采用盐白聚丙烯板固定石英槽。在CN201110110726.7中公开了一种石英加热槽，该石英加热槽槽体上端部没有防护，在芯片取放过程中会使芯片上的高温混合溶液低落到外部用于固定石英缸的聚丙烯槽体上，导致聚丙烯槽体出现皲裂、老化现象，使得槽体使用寿命大大降低，备件消耗费用增加。
[0004]由于聚丙烯板最高承受温度为100°C，在石英槽外边缘的聚丙烯材料再取放产品过程中，高温酸碱溶液滴落至聚丙烯板上，导致聚丙烯材料在高温环境使用一段时间后，石英缸外侧的固定聚丙烯材料就出现皲裂、老化现象，缩短设备使用寿命、增大操作时的危险性、增加设备维护成本、增加设备故障处理时间。
【发明内容】
[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本发明提供了一种高温石英加热槽及制作方法，解决了石英缸外侧固定支架被高温混合溶液烫坏的问题。
[0007]( 二)技术方案
[0008]为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现:
[0009]一种高温石英加热槽，包括石英缸(I)、石英缸固定支架(4)、加热贴膜(5)、保温棉(6)，其特征在于，还包括水槽(2);
[0010]所述水槽⑵上安装有水槽挡板⑶；
[0011]所述水槽挡板(3)上开设有进水口(31)和出水口(32)；
[0012]所述水槽(2)与石英缸固定支架(4)连接，所述石英缸固定支架(4)连接在石英缸(I)外侧，所述石英缸固定支架(4)和石英缸(I)的连接体放置于槽体(7)内；
[0013]所述石英缸⑴的外壁和槽体(7)内壁之间放置有保温棉(6)，所述石英缸⑴四壁贴有加热贴膜(5)。
[0014]优选的，所述进水口(31)有三个，出水口(32)有一个。
[0015]优选的，所述水槽(2)与石英缸固定支架(4)之间的连接的方式为焊接。
[0016]优选的，所述水槽(2)在槽体(7)外部。
[0017]一种高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，包括以下步骤:
[0018]S1、测量石英缸⑴外围最大空间尺寸，设计并绘制水槽(2)的结构图纸；
[0019]S2、依据设计好的水槽(2)的结构图纸选用相应材料制作水槽(2);
[0020]S3、将制作好的水槽(2)安装在石英缸固定支架(4)上；
[0021]S4、在水槽挡板四侧分别开设一个孔，选择水槽挡板任意一侧的孔为出水口(32)，其余三侧的孔为进水口(31)；
[0022]S5、将石英缸⑴和石英缸固定支架⑷组合后安装在槽体(7)内。
[0023]优选的，步骤S5中石英缸⑴和石英缸固定支架⑷组合安装成为石英槽体，所述石英槽体安装在槽体(7)内部，所述石英缸(I)四壁贴有加热贴膜(5)，所述石英缸(I)外壁和槽体(7)内壁之间填充保温棉(6)，所述槽体(7)的材料为聚丙烯。
[0024]优选的，步骤S3中所述水槽(2)和石英缸固定支架⑷的连接方式为焊接。
[0025]优选的，步骤S4中所述进水口(31)和出水口(32)分别安装有进水口接头和出水口接头。
[0026]优选的，步骤S4中所述进水管直径为1/8英寸，所述出水管直径为1/4英寸，所述出水管出水口(32)低于进水管进水口(31) 5mm。
[0027](三)有益效果
[0028]本发明提供了一种高温石英加热槽的制作方法，通过在石英加热槽槽体外侧的固定支架上增添水槽，保证在生产过程中滴落至石英槽外侧聚丙烯板上的高温溶液能落入水槽并及时被流动的水进行降温和稀释，从而有效保证聚丙烯板不被高温溶液损坏，使得槽体使用寿命得到大幅延长，减少石英体外部固定支架更换频率，降低备件消耗费用，降低设备故障率、提高设备安全运行性能。
【附图说明】
[0029]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1为本发明实施例中高温石英加热槽立体图；
[0031]图2为本发明实施例中高温石英加热槽俯视图；
[0032]图3为本发明实施例中高温石英加热槽水槽挡板截面图；
[0033]图4为本发明实施例中高温石英加热槽剖面图。
[0034]图中，1-石英缸、2-水槽、3-水槽挡板、31-进水口、32-出水口、4_石英缸固定支架、5-加热贴膜、6-保温棉、7-槽体。
【具体实施方式】
[0035]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0036]下面结合附图对本发明实施例做进一步说明:
[0037]实施例1
[0038]本发明实施例提供了一种高温石英加热槽，包括石英缸1、石英缸固定支架4、加热贴膜5、保温棉6，其特征在于，还包括水槽2 ;所述水槽2上安装有水槽挡板3 ;所述水槽挡板3上开设有进水口 31和出水口 32 ;所述水槽2与所述石英缸固定支架4连接；所述石英缸固定支架4连接在石英缸I外侧，所述石英缸固定支架4和石英缸I的连接体放置于槽体7内；所述石英缸I的外壁和槽体7内壁之间放置有保温棉6，所述石英缸I四壁贴有加热贴 膜5。
[0039]由于在石英缸I外围增加设置了水槽2，在芯片取放过程中滴落的反应溶液会滴落到水槽2中，被水槽2中的流动水稀释并降温，达到了防腐的效果，为了保持反应温度，在石英缸I的外壁和槽体7内壁之间放置有保温棉6，石英缸I四壁贴有加热贴膜5。
[0040]所述进水口 31有三个，出水口 32有一个。
[0041]所述石英加热槽的水槽2与石英缸固定支架4之间的连接的方式为焊接。
[0042]实施例2
[0043]本发明实施例提供了一种高温石英加热槽的制作方法，包括以下步骤:
[0044]测量石英缸I外围最大空间尺寸，设计并绘制水槽2的结构图纸；依据设计好的水槽2的结构图纸选用耐酸碱腐蚀耐高温材料制作水槽2 ;将制作好的水槽2焊接在石英缸固定支架4上，水槽2低于石英缸I上端面且水槽2距石英缸I上端面距离不低于5mm，防止水槽2中的流动水流入石英缸I内；在水槽2四侧分别开设一个孔，选择水槽2任意一侧的孔为出水口，其余三侧的孔为进水口，选用耐酸碱腐蚀耐高温材料制作直径为1/8英寸的进水管和直径为1/4英寸的出水管，将制作好的出水管通过出水口接头7安装在出水口，进水管通过进水口接头3安装在进水口，出水管出水口要低于进水管进水口 5_，为了控制水流速度，在出水管末端增加手动调节阀；将石英缸I和石英缸固定支架4组合安装成为石英槽体，石英槽体安装在聚丙烯槽体内，石英缸I外壁和聚丙烯槽体内壁之间填充保温棉6，石英缸I四壁贴有加热贴膜5，石英槽体与聚丙烯槽体组合后安放于在槽体7内。
[0045]综上，本发明实施例1和本发明实施例2具有以下有益效果:
[0046]本发明实施例提供了一种高温石英加热槽的制作方法，通过在石英加热槽槽体外侧的固定支架上增添水槽，保证在生产过程中滴落至石英槽外侧聚丙烯板上的高温溶液能落入水槽并及时被流动的水进行降温和稀释，从而有效保证聚丙烯板不被高温溶液损坏，使得槽体使用寿命得到大幅延长，减少石英体外部固定支架更换频率，降低备件消耗费用，降低设备故障率、提高设备安全运行性能。
[0047]需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0048]以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
【主权项】
1.一种高温石英加热槽，包括石英缸(I)、石英缸固定支架(4)、加热贴膜(5)、保温棉(6)，其特征在于，还包括水槽(2); 所述水槽(2)上安装有水槽挡板(3); 所述水槽挡板(3)上开设有进水口(31)和出水口(32)； 所述水槽(2)与石英缸固定支架(4)连接，所述石英缸固定支架(4)连接在石英缸(I)外侧，所述石英缸固定支架(4)和石英缸(I)的连接体放置于槽体(7)内； 所述石英缸(I)的外壁和槽体(7)内壁之间放置有保温棉￠)，所述石英缸(I)四壁贴有加热贴膜(5)。2.根据权利要求1所述的高温石英加热槽，其特征在于，所述进水口(31)有三个，出水P (32)有一个。3.根据权利要求1所述的高温石英加热槽，其特征在于，所述水槽(2)与石英缸固定支架(4)之间的连接的方式为焊接。4.根据权利要求1所述的高温石英加热槽，其特征在于，所述水槽(2)在槽体(7)外部。5.一种高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，包括以下步骤: 51、测量石英缸⑴外围最大空间尺寸，设计并绘制水槽(2)的结构图纸； 52、依据设计好的水槽(2)的结构图纸选用相应材料制作水槽(2); 53、将制作好的水槽(2)安装在石英缸固定支架(4)上； 54、在水槽挡板四侧分别开设一个孔，选择水槽挡板任意一侧的孔为出水口(32)，其余三侧的孔为进水口(31)； 55、将石英缸(I)和石英缸固定支架(4)组合后安装在槽体(7)内。6.如权利要求5所述的高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，步骤S5中石英缸(1)和石英缸固定支架(4)组合安装成为石英槽体，所述石英槽体安装在槽体(7)内部，所述石英缸⑴四壁贴有加热贴膜(5)，所述石英缸⑴外壁和槽体(7)内壁之间填充保温棉(6)，所述槽体(7)的材料为聚丙烯。7.如权利要求5所述的高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，步骤S3中所述水槽(2)和石英缸固定支架(4)的连接方式为焊接。8.如权利要求5所述的高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，步骤S4中所述进水口(31)和出水口(32)分别安装有进水口接头和出水口接头。9.如权利要求5所述的高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，步骤S4中所述进水管直径为1/8英寸，所述出水管直径为1/4英寸，所述出水管出水口(32)低于进水管进水口(31)5臟。
【专利摘要】本发明提供了一种高温石英加热槽及制作方法，涉及LED制造领域。所述高温石英加热槽包括石英缸、水槽、进水口、石英缸固定支架、加热贴膜、保温棉和出水口，所述水槽的水槽挡板上开设有四个孔，三个为进水口，一个为出水口，所述石英加热槽的水槽与石英缸固定支架连接，所述石英缸固定支架和石英缸在槽体内部相连接，所述石英缸的外壁和槽体内壁之间放置有保温棉，所述石英缸四壁贴有加热贴膜。本发明解决了槽体被腐蚀导致使用寿命降低的问题，降低石英槽固定支架的更换频率，降低备件消耗费用和设备故障率，提高设备运行效率和安全性。
【IPC分类】H01L21/02, F24H1/18, H05B3/06, H01L21/673
【公开号】CN104902592
【申请号】CN201510229945
【发明人】丁维才
【申请人】合肥彩虹蓝光科技有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年5月7日
【技术领域】
[0001]本发明涉及LED生产制造领域，具体涉及一种高温石英加热槽及制作方法。
【背景技术】
[0002]在现代LED生产制造过程中，晶片需要进行酸洗，通常在石英加热槽中进行，酸洗溶液配置时温度高达200°C以上，高温会对槽体造成损伤，所以槽体由耐高温的石英制成。
[0003]而国内如中电45所、台湾鸿基、北京华联、常州硅密等设备制造厂家所用的石英槽是由槽体外壁上贴上加热膜片，石英槽和外侧固定板之间填充保温棉，外部采用盐白聚丙烯板固定石英槽。在CN201110110726.7中公开了一种石英加热槽，该石英加热槽槽体上端部没有防护，在芯片取放过程中会使芯片上的高温混合溶液低落到外部用于固定石英缸的聚丙烯槽体上，导致聚丙烯槽体出现皲裂、老化现象，使得槽体使用寿命大大降低，备件消耗费用增加。
[0004]由于聚丙烯板最高承受温度为100°C，在石英槽外边缘的聚丙烯材料再取放产品过程中，高温酸碱溶液滴落至聚丙烯板上，导致聚丙烯材料在高温环境使用一段时间后，石英缸外侧的固定聚丙烯材料就出现皲裂、老化现象，缩短设备使用寿命、增大操作时的危险性、增加设备维护成本、增加设备故障处理时间。
【发明内容】
[0005](一)解决的技术问题
[0006]针对现有技术的不足，本发明提供了一种高温石英加热槽及制作方法，解决了石英缸外侧固定支架被高温混合溶液烫坏的问题。
[0007]( 二)技术方案
[0008]为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现:
[0009]一种高温石英加热槽，包括石英缸(I)、石英缸固定支架(4)、加热贴膜(5)、保温棉(6)，其特征在于，还包括水槽(2);
[0010]所述水槽⑵上安装有水槽挡板⑶；
[0011]所述水槽挡板(3)上开设有进水口(31)和出水口(32)；
[0012]所述水槽(2)与石英缸固定支架(4)连接，所述石英缸固定支架(4)连接在石英缸(I)外侧，所述石英缸固定支架(4)和石英缸(I)的连接体放置于槽体(7)内；
[0013]所述石英缸⑴的外壁和槽体(7)内壁之间放置有保温棉(6)，所述石英缸⑴四壁贴有加热贴膜(5)。
[0014]优选的，所述进水口(31)有三个，出水口(32)有一个。
[0015]优选的，所述水槽(2)与石英缸固定支架(4)之间的连接的方式为焊接。
[0016]优选的，所述水槽(2)在槽体(7)外部。
[0017]一种高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，包括以下步骤:
[0018]S1、测量石英缸⑴外围最大空间尺寸，设计并绘制水槽(2)的结构图纸；
[0019]S2、依据设计好的水槽(2)的结构图纸选用相应材料制作水槽(2);
[0020]S3、将制作好的水槽(2)安装在石英缸固定支架(4)上；
[0021]S4、在水槽挡板四侧分别开设一个孔，选择水槽挡板任意一侧的孔为出水口(32)，其余三侧的孔为进水口(31)；
[0022]S5、将石英缸⑴和石英缸固定支架⑷组合后安装在槽体(7)内。
[0023]优选的，步骤S5中石英缸⑴和石英缸固定支架⑷组合安装成为石英槽体，所述石英槽体安装在槽体(7)内部，所述石英缸(I)四壁贴有加热贴膜(5)，所述石英缸(I)外壁和槽体(7)内壁之间填充保温棉(6)，所述槽体(7)的材料为聚丙烯。
[0024]优选的，步骤S3中所述水槽(2)和石英缸固定支架⑷的连接方式为焊接。
[0025]优选的，步骤S4中所述进水口(31)和出水口(32)分别安装有进水口接头和出水口接头。
[0026]优选的，步骤S4中所述进水管直径为1/8英寸，所述出水管直径为1/4英寸，所述出水管出水口(32)低于进水管进水口(31) 5mm。
[0027](三)有益效果
[0028]本发明提供了一种高温石英加热槽的制作方法，通过在石英加热槽槽体外侧的固定支架上增添水槽，保证在生产过程中滴落至石英槽外侧聚丙烯板上的高温溶液能落入水槽并及时被流动的水进行降温和稀释，从而有效保证聚丙烯板不被高温溶液损坏，使得槽体使用寿命得到大幅延长，减少石英体外部固定支架更换频率，降低备件消耗费用，降低设备故障率、提高设备安全运行性能。
【附图说明】
[0029]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1为本发明实施例中高温石英加热槽立体图；
[0031]图2为本发明实施例中高温石英加热槽俯视图；
[0032]图3为本发明实施例中高温石英加热槽水槽挡板截面图；
[0033]图4为本发明实施例中高温石英加热槽剖面图。
[0034]图中，1-石英缸、2-水槽、3-水槽挡板、31-进水口、32-出水口、4_石英缸固定支架、5-加热贴膜、6-保温棉、7-槽体。
【具体实施方式】
[0035]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0036]下面结合附图对本发明实施例做进一步说明:
[0037]实施例1
[0038]本发明实施例提供了一种高温石英加热槽，包括石英缸1、石英缸固定支架4、加热贴膜5、保温棉6，其特征在于，还包括水槽2 ;所述水槽2上安装有水槽挡板3 ;所述水槽挡板3上开设有进水口 31和出水口 32 ;所述水槽2与所述石英缸固定支架4连接；所述石英缸固定支架4连接在石英缸I外侧，所述石英缸固定支架4和石英缸I的连接体放置于槽体7内；所述石英缸I的外壁和槽体7内壁之间放置有保温棉6，所述石英缸I四壁贴有加热贴 膜5。
[0039]由于在石英缸I外围增加设置了水槽2，在芯片取放过程中滴落的反应溶液会滴落到水槽2中，被水槽2中的流动水稀释并降温，达到了防腐的效果，为了保持反应温度，在石英缸I的外壁和槽体7内壁之间放置有保温棉6，石英缸I四壁贴有加热贴膜5。
[0040]所述进水口 31有三个，出水口 32有一个。
[0041]所述石英加热槽的水槽2与石英缸固定支架4之间的连接的方式为焊接。
[0042]实施例2
[0043]本发明实施例提供了一种高温石英加热槽的制作方法，包括以下步骤:
[0044]测量石英缸I外围最大空间尺寸，设计并绘制水槽2的结构图纸；依据设计好的水槽2的结构图纸选用耐酸碱腐蚀耐高温材料制作水槽2 ;将制作好的水槽2焊接在石英缸固定支架4上，水槽2低于石英缸I上端面且水槽2距石英缸I上端面距离不低于5mm，防止水槽2中的流动水流入石英缸I内；在水槽2四侧分别开设一个孔，选择水槽2任意一侧的孔为出水口，其余三侧的孔为进水口，选用耐酸碱腐蚀耐高温材料制作直径为1/8英寸的进水管和直径为1/4英寸的出水管，将制作好的出水管通过出水口接头7安装在出水口，进水管通过进水口接头3安装在进水口，出水管出水口要低于进水管进水口 5_，为了控制水流速度，在出水管末端增加手动调节阀；将石英缸I和石英缸固定支架4组合安装成为石英槽体，石英槽体安装在聚丙烯槽体内，石英缸I外壁和聚丙烯槽体内壁之间填充保温棉6，石英缸I四壁贴有加热贴膜5，石英槽体与聚丙烯槽体组合后安放于在槽体7内。
[0045]综上，本发明实施例1和本发明实施例2具有以下有益效果:
[0046]本发明实施例提供了一种高温石英加热槽的制作方法，通过在石英加热槽槽体外侧的固定支架上增添水槽，保证在生产过程中滴落至石英槽外侧聚丙烯板上的高温溶液能落入水槽并及时被流动的水进行降温和稀释，从而有效保证聚丙烯板不被高温溶液损坏，使得槽体使用寿命得到大幅延长，减少石英体外部固定支架更换频率，降低备件消耗费用，降低设备故障率、提高设备安全运行性能。
[0047]需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0048]以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
【主权项】
1.一种高温石英加热槽，包括石英缸(I)、石英缸固定支架(4)、加热贴膜(5)、保温棉(6)，其特征在于，还包括水槽(2); 所述水槽(2)上安装有水槽挡板(3); 所述水槽挡板(3)上开设有进水口(31)和出水口(32)； 所述水槽(2)与石英缸固定支架(4)连接，所述石英缸固定支架(4)连接在石英缸(I)外侧，所述石英缸固定支架(4)和石英缸(I)的连接体放置于槽体(7)内； 所述石英缸(I)的外壁和槽体(7)内壁之间放置有保温棉￠)，所述石英缸(I)四壁贴有加热贴膜(5)。2.根据权利要求1所述的高温石英加热槽，其特征在于，所述进水口(31)有三个，出水P (32)有一个。3.根据权利要求1所述的高温石英加热槽，其特征在于，所述水槽(2)与石英缸固定支架(4)之间的连接的方式为焊接。4.根据权利要求1所述的高温石英加热槽，其特征在于，所述水槽(2)在槽体(7)外部。5.一种高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，包括以下步骤: 51、测量石英缸⑴外围最大空间尺寸，设计并绘制水槽(2)的结构图纸； 52、依据设计好的水槽(2)的结构图纸选用相应材料制作水槽(2); 53、将制作好的水槽(2)安装在石英缸固定支架(4)上； 54、在水槽挡板四侧分别开设一个孔，选择水槽挡板任意一侧的孔为出水口(32)，其余三侧的孔为进水口(31)； 55、将石英缸(I)和石英缸固定支架(4)组合后安装在槽体(7)内。6.如权利要求5所述的高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，步骤S5中石英缸(1)和石英缸固定支架(4)组合安装成为石英槽体，所述石英槽体安装在槽体(7)内部，所述石英缸⑴四壁贴有加热贴膜(5)，所述石英缸⑴外壁和槽体(7)内壁之间填充保温棉(6)，所述槽体(7)的材料为聚丙烯。7.如权利要求5所述的高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，步骤S3中所述水槽(2)和石英缸固定支架(4)的连接方式为焊接。8.如权利要求5所述的高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，步骤S4中所述进水口(31)和出水口(32)分别安装有进水口接头和出水口接头。9.如权利要求5所述的高温石英加热槽的制作方法，其特征在于，步骤S4中所述进水管直径为1/8英寸，所述出水管直径为1/4英寸，所述出水管出水口(32)低于进水管进水口(31)5臟。
【专利摘要】本发明提供了一种高温石英加热槽及制作方法，涉及LED制造领域。所述高温石英加热槽包括石英缸、水槽、进水口、石英缸固定支架、加热贴膜、保温棉和出水口，所述水槽的水槽挡板上开设有四个孔，三个为进水口，一个为出水口，所述石英加热槽的水槽与石英缸固定支架连接，所述石英缸固定支架和石英缸在槽体内部相连接，所述石英缸的外壁和槽体内壁之间放置有保温棉，所述石英缸四壁贴有加热贴膜。本发明解决了槽体被腐蚀导致使用寿命降低的问题，降低石英槽固定支架的更换频率，降低备件消耗费用和设备故障率，提高设备运行效率和安全性。
【IPC分类】H01L21/02, F24H1/18, H05B3/06, H01L21/673
【公开号】CN104902592
【申请号】CN201510229945
【发明人】丁维才
【申请人】合肥彩虹蓝光科技有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年5月7日
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