互锁式高压生成电路及采用所述互锁式高压生成电路的静电消除系统的制作方法
互锁式高压生成电路及采用所述互锁式高压生成电路的静电消除系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种高压生成电路及采用该电路的静电消除系统，尤其是一种能够实现对称放电的互锁式高压生成电路及采用所述互锁式高压生成电路的静电消除系统。
【背景技术】
[0002]当前，无论是电子行业、液晶行业还是精密制造行业，均对静电防护提出了越来越高的要求，这就意味着，防静电设备，如各种静电消除器要持续提高自己的性能，拥有更宽的管控范围、更低的参与电压以及更快的静电消除时间。
[0003]现有技术中的直流式静电消除器所采用的升压电路往往是交替变换正、负电压，以使放电电极生成正电荷离子或负电荷离子，而无法实现对称放电，同时生成正、负电荷离子，因此静电消除效率相对较低，容易出现平衡电压波动。
[0004]同时，现有的单点式风机、风棒及风蛇等多种多样的静电消除器，如
申请号为201220321850.8的实用新型专利及申请号为201110453355.2的发明专利中所揭示的静电消除器，对于车间或安装点周围局部区域的静电管控是可以达标的，但由于其单点安装，仅能覆盖局部的特性，总会在防静电保护区内留下静电防护死角，从而造成一些静电损伤问题，存在隐患。
[0005]另一方面，当前应用的风机、风棒都有较强的风力吹出，如专利号为CN201220501244所述的交流离子风机，当应用在无尘室环境下，可能会造成无尘室的气流紊乱，影响无尘室的洁净度；而无风力吹出的静电消除器，其离子飞行距离较有风机的静电消除器飞行距离更短，也就更难以覆盖整个室内，因此无论是有风机静电消除或无风机静电消除器，它们都存在一定的缺陷。
[0006]因此急需研宄一种结构简单，且能够综合解决上述多种技术问题的高高压生成电路及相应的静电消除系统。
【发明内容】
[0007]本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供了一种能够实现对称放电的互锁式高压生成电路及采用所述互锁式高压生成电路的静电消除系统。
[0008]本发明的目的通过以下技术方案来实现:
一种互锁式高压生成电路，包括高压电源、静电放电单元以及连通所述高压电源和静电放电单元并使所述静电放电单元对称放电的高压生成电路，所述高压生成电路至少包括第一高压生成单元，用于同时生成一对正、负极性高压；所述第一高压生成单元包括第一开关电路，用于控制所述第一高压生成单元的接通/关闭；
第二高压生成单元，用于同时生成另一对正、负极性高压；所述第二高压生成单元包括第二开关电路，用于控制所述第二高压生成单元的接通/关闭；
主控单元，用于发出互锁式信号控制所述第一开关电路或第二开关电路的接通/关闭以及调整占空比；以及
静电状态监测器，与所述主控单元连接；
所述第一开关电路与所述高压电源及主控单元电性连接；
所述第二开关电路与所述高压电源及主控单元电性连接。
[0009]优选的，所述的互锁式高压生成电路，其中:
所述高压电源包括正高压供给电源和负高压供给电源，所述正高压供给电源和负高压供给电源之间连接电源调节单元，所述电源调节单元用于调整占空比，其电性连接到所述控制单元并在其控制下工作；
所述第一开关电路包括第一正高压回路驱动电路及第二负高压回路驱动电路，所述第一正高压回路驱动电路通过第一开关连接所述正高压供给电源，所述第二负高压回路驱动电路通过第二开关连接所述负高压供给电源，所述第一开关及第二开关分别连接所述主控单元并根据其控制闭合或打开；
所述第二开关电路包括第二正高压回路驱动电路及第一负高压回路驱动电路，所述第二正高压回路驱动电路通过第三开关连接所述正高压供给电源，所述第一负高压回路驱动电路通过第四开关连接所述负高压供给电源，所述第三开关及第四开关分别连接所述主控单元并根据其控制闭合或打开；
所述第一正高压回路驱动电路和第一负高压回路驱动电路均共同连接或分别连接至少一个静电放电单元；
所述第二正高压回路驱动电路和第二负高压回路驱动电路均共同连接或分别连接至少一个静电放电单元。
[0010]优选的，所述的互锁式高压生成电路，其中:所述正高压供给电源连接有第一高压包，所述负高压供给电源连接有第二高压包，所述第一高压包和第二高压包分别具有内置防烧电阻。
[0011]优选的，所述的互锁式高压生成电路，其中:还包括HV+幅值调整电路和HV-幅值调整电路，所述HV+幅值调整电路电性连接到所述主控单元和所述第一高压包，所述HV-幅值调整电路电性连接到所述主控单元和所述第二高压包。
[0012]一种室内静电消除系统，包括互锁式高压生成电路，所述互锁式高压生成电路包括高压电源、静电放电单元、高压生成回路、主控单元及与所述主控单元连接的静电状态监测器；
所述高压电源包括正高压供给电源和负高压供给电源，所述正高压供给电源和负高压供给电源之间连接电源调节单元，所述电源调节单元用于调整占空比，其电性连接到所述控制单元并在其控制下工作；
偶数个静电放电单元通过所述高压生成电路连接到所述高压电源；
所述高压生成电路包括用于同时生成一对正、负极性高压的第一高压生成单元，所述第一高压生成单元包括第一开关电路，所述第一开关电路包括第一正高压回路驱动电路及第二负高压回路驱动电路，所述第一正高压回路驱动电路通过第一开关连接所述正高压供给电源，所述第二负高压回路驱动电路通过第二开关连接所述负高压供给电源，所述第一开关及第二开关分别连接所述主控单元；
所述高压生成电路还包括用于同时生成另一对正、负极性高压的第二高压生成单元，所述第二高压生成单元包括第二开关电路，所述第二开关电路包括第二正高压回路驱动电路及第一负高压回路驱动电路，所述第二正高压回路驱动电路通过第三开关连接所述正高压供给电源，所述第一负高压回路驱动电路通过第四开关连接所述负高压供给电源，所述第三开关及第四开关分别连接所述主控单元；
所述主控单元，用于控制所述第一开关电路和第二开关电路的接通/关闭，且在一个时间段时只导通第一开关电路或第二开关电路，有选择的形成对称电极。
[0013]优选的，所述的室内静电消除系统，其中:还包括若干设置在室内屋顶的FFU出风口及静电状态监测器，每个所述FFU出风口的下方设置有所述偶数个静电放电单元，所述静电状态监测器设置在工位处并通过通讯电路电性连接到所述主控单元，所述主控单元根据所述静电状态监测器监测得到的数据进行策略控制。
[0014]优选的，所述的室内静电消除系统，其中:所述静电放电单元的数量为二个，且它们间隙设置，其中一个所述静电放电单元电性连接到所述第一正高压回路驱动电路及第一负高压回路驱动电路，另一个所述静电放电单元电性连接到所述第二正高压回路驱动电路及第二负高压回路驱动电路。
[0015]优选的，所述的室内静电消除系统，其中:每个所述FFU出风口的下方设置有四个所述静电放电单元，所述四个静电放电单元呈正方形或矩形分布，它们间隙设置且它们之间的间隙距离可调。
[0016]优选的，所述的室内静电消除系统，其中:每个所述静电放电单元连接到一条高压回路驱动电路上或任意相邻的两个静电放电单元均电性连接到所述第一正高压回路驱动电路及第一负高压回路驱动电路，另外两个所述静电放电单元均电性连接到所述第二正高压回路驱动电路及第二负高压回路驱动电路。
[0017]本发明技术方案的优点主要体现在:
本发明设计精巧，结构合理，本发明的互锁式高压生成电路，摒弃了现有交流升压变压器的技术，使频率可调，这样保证了不同作用距离内的适用性；并且，能够程控式地生成互锁的正负高压交替信号，有选择的生成对称电极，形成对称放电，同时生成正、负电荷离子，在保证了精度的基础上，相比交流升压变压器的技术，能够加速正、负电荷离子的传射速度，提高静电消除效率，同时不会造成平衡电压的大幅波动。
[0018]通过在配合的高压包内设置防烧电阻，可以有效提高其耐用性，并保证了操作人员的安全。
[0019]采用互锁式高压生成电路的静电消除系统，借助FFU的风力可以扩大离子的输送范围，在每个FFU出风口上设置静电放电单元有效的覆盖整个厂区或无尘室，为整个厂区建立起一个均匀的静电 管控环境；且由于该系统不需要额外的吹风机、风扇等吹风装置，因此也不会出现无尘室的气流紊乱，影响无尘室洁净度的问题，同时有利于提高整个厂区内的舒适度；进一步通过合理布局室内每个FFU风口下的静电放电单元的数量和布置形式，可以最大限度的提高正负电荷离子生成量，加速静电消除和厂区的覆盖，有利于提高静电去除效率。
[0020]通过空间模块式的静电放电单元，可以通过调整静电放电单元的布局和密度，最大程度的提高静电防护的效率。
[0021]通过设置静电监测单元，有利于提高静电放电单元的反应速度，并保证其精度。
【附图说明】
[0022]图1是本发明中互锁式高压生产电路主视图；
图2是本发明中电路结构示意图；
图3是本发明中实施例1中静电消除系统示意图。
【具体实施方式】
[0023]本发明的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本发明技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本发明要求保护的范围之内。
[0024]实施例1
本发明揭示了一种室内静电消除系统，如附图3所示，其包括若干设置在室内屋顶的FFU出风口 9及若干静电状态监测器10，还包括至少一个互锁式高压生成电路，所述互锁式高压生成电路主要用于有选择的生成一对对称电极，实现对称放电，即在某一时间内，使电路中的放电设备能够同时生成正电荷离子和负电荷离子。
[0025]如附图1、附图2所示，所述互锁式高压生成电路包括高压电源1、静电放电单元2、高压生成回路3及主控单元8;
所述高压电源I包括正高压供给电源11和负高压供给电源12，所述正高压供给电源11和负高压供给电源12之间连接电源调节单元13，所述电源调节单元13用于调整占空比，其电性连接到所述控制单元8并在其控制下工作；所述正高压供给电源11连接有第一高压包，所述负高压供给电源12连接有第二高压包，所述第一高压包和第二高压包分别具有内置防烧电阻。
[0026]所述高压生成电路3用于连通所述高压电源I和静电放电单元2，并在所述主控单元8的控制下使所述静电放电单元2对称放电；具体的，所述高压生成电路3包括用于同时生成一对正、负极性高压的第一高压生成单元4，所述第一高压生成单元4包括第一开关电路6，所述第一开关电路6用于控制所述第一高压生成单元4的接通/关闭，其包括第一正高压回路驱动电路61及第二负高压回路驱动电路62，所述第一正高压回路驱动电路61通过第一开关63连接所述正高压供给电源11，所述第二负高压回路驱动电路62通过第二开关64连接所述负高压供给电源12，所述第一开关63及第二开关64分别连接所述主控单元8。
[0027]所述高压生成电路3还包括用于同时生成另一对正、负极性高压的第二高压生成单元5，所述第二高压生成单元5包括第二开关电路7，所述第二开关电路7包括第二正高压回路驱动电路71及第一负高压回路驱动电路72，所述第二正高压回路驱动电路71通过第三开关73连接所述正高压供给电源11，所述第一负高压回路驱动电路72通过第四开关74连接所述负高压供给电源12，所述第三开关73及第四开关74分别连接所述主控单元8 ;
进一步，所述高压生成电路3还包括HV+幅值调整电路和HV-幅值调整电路，所述HV+幅值调整电路电性连接到所述主控单元8和所述第一高压包，所述HV-幅值调整电路电性连接到所述主控单元8和所述第二高压包。
[0028]所述主控单元8，用于控制所述第一开关电路6和第二开关电路7的接通/关闭，且在一个时间段时只导通一条开关电路，有选择的形成对称电极，实现对称放电。
[0029]该实施例中，每个所述FFU出风口 9下方平行设置两个所述静电放电单元2，其中一个所述静电放电单元2电性连接到所述第一正高压回路驱动电路61及第一负高压回路驱动电路72，另一个所述静电放电单元2电性连接到所述第二正高压回路驱动电路71及第二负高压回路驱动电路62 ;若干个所述静电状态监测器10分别设置在工位的不同区域，并通过通讯电路电性连接到所述静电消除器上的主控单元8，所述主控单元8还用于根据所述静电状态监测器10监测得到的数据，进行策略控制，所述策略控制至少包括:
(1)通过调整占空比，延长正高压驱动电路的工作时间并缩短负高压驱动电路的时间，从而增加正电荷离子的生成量，降低负电荷离子的生成量；
(2)通过调整占空比，缩短正高压驱动电路的工作时间并延长负高压驱动电路的时间，从而降低正电荷离子的生成量，增加负电荷离子的生成量。
[0030]本静电消除系统工作时，其具体的过程如下:
同时导通所述正高压供给电源11和负高压供给电源12后，在某一时间点，所述主控单元8控制所述第一开关63和第二开关64闭合，并将第三开关73和第四开关74断开，从而连通所述第一开关电路6，此时，第一正高压驱动电路61和第二负高压驱动电路62导通，因此连接到所述第一正高压回路驱动电路61及第一负高压回路驱动电路72上的静电放电单元2接受正电压，并电离空气产生正电荷离子；且连接到所述第二正高压回路驱动电路71及第二负高压回路驱动电路62的静电放电单元2接受负电压，并电离空气产生负电荷离子，实现对称放电。
[0031]第一开关电路6导通一定时间后，所述主控单元8控制所述第一开关63和第二开关64断开，并将第三开关73和第四开关74闭合，从而断开所述第一开关电路6，并导通所述第二开关电路7，此时，所述第二正高压回路驱动电路71及第一负高压回路驱动电路72导通，因此，连接到所述第一正高压回路驱动电路61及第一负高压回路驱动电路72上的静电放电单元2接受负电压，并电离空气产生负电荷离子；且连接到所述第二正高压回路驱动电路71及第二负高压回路驱动电路62的静电放电单元2接受正电压，并电离空气产生正电荷离子，通过交替控制所述第一开关电路6及第二开关电路7的开闭，从而不断产生一对相反极性的高压，有选择的生成对称电极，实现对称放电。
[0032]根据电荷同性相斥、异性相吸的原理，同时生成的正、负电荷离子相互吸引，从而加快了正、负电荷离子的传射速度，再借助所述FFU产生的风力，在风速作用下更加快速地扩散到整个无尘室内，并将室内物体、人体上携带的静电中和，大大提高了静电消除效率。且由于同时生成正、负电荷离子，即使当无尘室内的静电消除后，多余的正、负电荷离子能够中和，也不会因为某种离子出现多余从而出现平衡电压波动的情况，能够有效的将平衡电压控制在较低的范围，此处优选为不超过±35V，进一步优选为不超过±30V，更进一步优选为不超过±10V。
[0033]同时，所述静电状态监测器10实时对室内静电状况进行监测，了解室内平衡电压的变化情况，并将监测数据传输给所述主控单元8，当监测得出室内的正电荷水平变高时，则所述主控单元8将提高负电荷离子生成量的信号发送给所述电源调节单元13，所述电源调节单元13降低所述正高压供给电压11连接的第一高压包的占空比并提高所述负高压供给电源12连接的第二高压包的占空比，从而增加静电放电单元2生成负电荷离子的时间，提高负电荷离子的生成量；相反，当监测得出室内的负电荷水平变高时，则所述主控单元8将提高正电荷离子生成量的的信号发送给所述电源调节单元13，所述电源调节单元13提高所述正高压供给电压11连接的第一高压包的占空比并降低所述负高压供给电源12连接的第二高压包的占空比，从而增加静电放电单元2生成正电荷离子的时间，增加正电荷离子的生成量。
[0034]占空比的调整过程是随着实施监测的数据逐步调整的，而不是一步实现，因而有利于提高静电放电单元2的反应速度，同时保证调整的精确性。实施例2
本实施例与实施例1整体结构相近，其区别点在于:每个所述FFU出风口 9下方设置的所述静电放电单元2的数量为四个，所述四个静电放电单元2呈正方形或矩形分布，它们间隙设置且间隙距离是可调的，每条高压回路驱动电路上连接一个所述静电放电单元2，且两个平行的静电放电单元2连接到第一高压生成电路3中，另两个连接到第二高压生成电路4中；
此时，其工作过程与实施例1的大致相近，区别点在于:当第一高压生成电路3导通，第二高压生成电路4断开时，连接在所述第一高压生成电路3上的两个静电放电电极2对称放电，即一个生成正电荷离子，一个生成负电 荷离子；同时，连接在所述第二高压生成电路4的两个静电放电单元2不放电。
[0035]一段时间后，所述主控单元8断开第一高压生成电路3，并导通第二高压生成电路4，此时，连接在所述第一高压生成电路3上的两个静电放电电极2不放电；同时，连接在所述第二高压生成电路4的两个静电放电单元2对称放电，即一个生成正电荷离子，一个生成负电荷尚子。
[0036]在另一种情况下，所述四个静电放电单元2中任意相邻的两个静电放电单元2均电性连接到所述第一正高压回路驱动电路61及第二负高压回路驱动电路62，另外两个所述静电放电单元2均电性连接到所述第二正高压回路驱动电路71及第一负高压回路驱动电路72 ;其工作过程与实施例1的过程相近，在此不再赘述。
[0037]本发明尚有多种实施方式，凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种互锁式高压生成电路，其特征在于:包括高压电源(1)、偶数个静电放电单元(2 )以及连通所述高压电源(I)和静电放电单元(2 )并使所述静电放电单元(2 )对称放电的高压生成电路(3)，所述高压生成电路(3)至少包括 第一高压生成单元(4)，用于同时生成一对正、负极性高压；所述第一高压生成单元(4)包括第一开关电路(6)，用于控制所述第一高压生成单元(4)的接通/关闭； 第二高压生成单元(5)，用于同时生成另一对正、负极性高压；所述第二高压生成单元(5 )包括第二开关电路(7 )，用于控制所述第二高压生成单元(5 )的接通/关闭； 主控单元(8)，用于发出互锁式信号控制所述第一开关电路(6)或第二开关电路(7)的接通/关闭以及调整占空比；以及 静电状态监测器(10 )，与所述主控单元(8 )连接； 所述第一开关电路(6 )与所述高压电源(I)及主控单元(8 )电性连接； 所述第二开关电路(7 )与所述高压电源(I)及主控单元(8 )电性连接。2.根据权利要求1所述的互锁式高压生成电路，其特征在于: 所述高压电源(I)包括正高压供给电源(11)和负高压供给电源(12)，所述正高压供给电源(11)和负高压供给电源(12)之间连接电源调节单元(13)，所述电源调节单元(13)用于调整占空比，其电性连接到所述控制单元(8)并在其控制下工作； 所述第一开关电路(6)包括第一正高压回路驱动电路(61)及第二负高压回路驱动电路(62)，所述第一正高压回路驱动电路(61)通过第一开关(63)连接所述正高压供给电源(11)，所述第二负高压回路驱动电路(62)通过第二开关(64)连接所述负高压供给电源(12)，所述第一开关(63 )及第二开关(64 )分别连接所述主控单元(8 )并根据其控制闭合或打开； 所述第二开关电路(7)包括第二正高压回路驱动电路(71)及第一负高压回路驱动电路(72)，所述第二正高压回路驱动电路(71)通过第三开关(73)连接所述正高压供给电源(11)，所述第一负高压回路驱动电路(72)通过第四开关(74)连接所述负高压供给电源(12)，所述第三开关(73 )及第四开关(74 )分别连接所述主控单元(8 )并根据其控制闭合或打开； 所述第一正高压回路驱动电路(61)和第一负高压回路驱动电路(72)共同连接或分别连接至少一个静电放电单元(2);所述第二正高压回路驱动电路(71)和第二负高压回路驱动电路(62)共同连接或分别连接至少一个静电放电单元(2)。3.根据权利要求2所述的互锁式高压生成电路，其特征在于:所述正高压供给电源(11)连接有第一高压包，所述负高压供给电源(12)连接有第二高压包，所述第一高压包和第二高压包分别具有内置防烧电阻。4.根据权利要求3所述的互锁式高压生成电路，其特征在于:还包括HV+幅值调整电路和HV-幅值调整电路，所述HV+幅值调整电路电性连接到所述主控单元(8)和所述第一高压包，所述HV-幅值调整电路电性连接到所述主控单元(8)和所述第二高压包。5.—种室内静电消除系统，包括互锁式高压生成电路，其特征在于:所述互锁式高压生成电路包括高压电源(I)、偶数个静电放电单元(2)、高压生成回路(3)、主控单元(8)及与所述主控单元(8)连接的静电状态监测器(10); 所述高压电源(I)包括正高压供给电源(11)和负高压供给电源(12)，所述正高压供给电源(11)和负高压供给电源(12)之间连接电源调节单元(13)，所述电源调节单元(13)用于调整占空比，其电性连接到所述控制单元(8)并在其控制下工作； 偶数个静电放电单元(2 )通过所述高压生成电路(3 )连接到所述高压电源(I); 所述高压生成电路(3)包括用于同时生成一对正、负极性高压的第一高压生成单元(4)，所述第一高压生成单元(4)包括第一开关电路(6)，所述第一开关电路(6)包括第一正高压回路驱动电路(61)及第二负高压回路驱动电路(62)，所述第一正高压回路驱动电路(61)通过第一开关(63)连接所述正高压供给电源(11)，所述第二负高压回路驱动电路(62)通过第二开关(64)连接所述负高压供给电源(12)，所述第一开关(63)及第二开关(64)分别连接所述主控单元(8); 所述高压生成电路(3)还包括用于同时生成另一对正、负极性高压的第二高压生成单元(5)，所述第二高压生成单元(5)包括第二开关电路(7)，所述第二开关电路(7)包括第二正高压回路驱动电路(71)及第一负高压回路驱动电路(72)，所述第二正高压回路驱动电路(71)通过第三开关(73)连接所述正高压供给电源(11)，所述第一负高压回路驱动电路(72 )通过第四开关(74 )连接所述负高压供给电源(12 )，所述第三开关(73 )及第四开关(74)分别连接所述主控单元(8); 所述主控单元(8 )，用于控制所述第一开关电路(6 )和第二开关电路(7 )的接通/关闭，且在一个时间段时只导通第一开关电路(6)或第二开关电路(7)，有选择的形成对称电极，产生对称放电。6.根据权利要求5所述的室内静电消除系统，其特征在于:还包括若干设置在室内屋顶的FFU出风口 9，每个所述FFU出风口(9)的下方设置有所述偶数个静电放电单元(2)，所述静电状态监测器(10)设置在工位处并通过通讯电路电性连接到所述主控单元(8)，所述主控单元(8)根据所述静电状态监测器(10)监测得到的数据进行策略控制。7.根据权利要求6所述的室内静电消除系统，其特征在于:所述静电放电单元(2)的数量为二个，且它们间隙设置，其中一个所述静电放电单元(2)电性连接到所述第一正高压回路驱动电路(61)及第一负高压回路驱动电路(72)，另一个所述静电放电单元(2)电性连接到所述第二正高压回路驱动电路(71)及第二负高压回路驱动电路(62)。8.根据权利要求6所述的互锁式高压生成电路，其特征在于:每个所述FFU出风口(9)的下方设置有四个所述静电放电单元(2)，所述四个静电放电单元(2)呈正方形或矩形分布，它们间隙设置且它们之间的间隙距离可调。9.根据权利要求8所述的室内静电消除系统，其特征在于:每个所述静电放电单元(2)连接到一条高压回路驱动电路上或任意相邻的两个静电放电单元(2)均电性连接到所述第一正高压回路驱动电路(61)及第一负高压回路驱动电路(72)，另外两个所述静电放电单元(2)均电性连接到所述第二正高压回路驱动电路(71)及第二负高压回路驱动电路(62)。
【专利摘要】本发明揭示了互锁式高压生成电路及采用该电路的静电消除系统，包括高压电源、静电放电单元以及使静电放电单元对称放电的高压生成电路，高压生成电路至少包括第一高压生成单元,第一高压生成单元包括第一开关电路，第一开关电路与所述高压电源及主控单元连接；第二高压生成单元，第二高压生成单元包括第二开关电路，第二开关电路与高压电源及主控单元连接。本发明设计精巧，结构合理，摒弃了现有交流升压变压器的技术，使频率可调，保证了不同作用距离的适用性，有选择的生成对称电极，实现对称放电，同时生成正、负电荷，与交流升压变压器技术相比，能够加速正、负电荷离子的传射速度，提高静电消除效率，同时不会造成平衡电压的大幅波动。
【IPC分类】H05F3/04
【公开号】CN104902663
【申请号】CN201510276221
【发明人】王荣刚, 黄成成, 赵雷
【申请人】苏州天华超净科技股份有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年5月27日
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种高压生成电路及采用该电路的静电消除系统，尤其是一种能够实现对称放电的互锁式高压生成电路及采用所述互锁式高压生成电路的静电消除系统。
【背景技术】
[0002]当前，无论是电子行业、液晶行业还是精密制造行业，均对静电防护提出了越来越高的要求，这就意味着，防静电设备，如各种静电消除器要持续提高自己的性能，拥有更宽的管控范围、更低的参与电压以及更快的静电消除时间。
[0003]现有技术中的直流式静电消除器所采用的升压电路往往是交替变换正、负电压，以使放电电极生成正电荷离子或负电荷离子，而无法实现对称放电，同时生成正、负电荷离子，因此静电消除效率相对较低，容易出现平衡电压波动。
[0004]同时，现有的单点式风机、风棒及风蛇等多种多样的静电消除器，如
申请号为201220321850.8的实用新型专利及申请号为201110453355.2的发明专利中所揭示的静电消除器，对于车间或安装点周围局部区域的静电管控是可以达标的，但由于其单点安装，仅能覆盖局部的特性，总会在防静电保护区内留下静电防护死角，从而造成一些静电损伤问题，存在隐患。
[0005]另一方面，当前应用的风机、风棒都有较强的风力吹出，如专利号为CN201220501244所述的交流离子风机，当应用在无尘室环境下，可能会造成无尘室的气流紊乱，影响无尘室的洁净度；而无风力吹出的静电消除器，其离子飞行距离较有风机的静电消除器飞行距离更短，也就更难以覆盖整个室内，因此无论是有风机静电消除或无风机静电消除器，它们都存在一定的缺陷。
[0006]因此急需研宄一种结构简单，且能够综合解决上述多种技术问题的高高压生成电路及相应的静电消除系统。
【发明内容】
[0007]本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供了一种能够实现对称放电的互锁式高压生成电路及采用所述互锁式高压生成电路的静电消除系统。
[0008]本发明的目的通过以下技术方案来实现:
一种互锁式高压生成电路，包括高压电源、静电放电单元以及连通所述高压电源和静电放电单元并使所述静电放电单元对称放电的高压生成电路，所述高压生成电路至少包括第一高压生成单元，用于同时生成一对正、负极性高压；所述第一高压生成单元包括第一开关电路，用于控制所述第一高压生成单元的接通/关闭；
第二高压生成单元，用于同时生成另一对正、负极性高压；所述第二高压生成单元包括第二开关电路，用于控制所述第二高压生成单元的接通/关闭；
主控单元，用于发出互锁式信号控制所述第一开关电路或第二开关电路的接通/关闭以及调整占空比；以及
静电状态监测器，与所述主控单元连接；
所述第一开关电路与所述高压电源及主控单元电性连接；
所述第二开关电路与所述高压电源及主控单元电性连接。
[0009]优选的，所述的互锁式高压生成电路，其中:
所述高压电源包括正高压供给电源和负高压供给电源，所述正高压供给电源和负高压供给电源之间连接电源调节单元，所述电源调节单元用于调整占空比，其电性连接到所述控制单元并在其控制下工作；
所述第一开关电路包括第一正高压回路驱动电路及第二负高压回路驱动电路，所述第一正高压回路驱动电路通过第一开关连接所述正高压供给电源，所述第二负高压回路驱动电路通过第二开关连接所述负高压供给电源，所述第一开关及第二开关分别连接所述主控单元并根据其控制闭合或打开；
所述第二开关电路包括第二正高压回路驱动电路及第一负高压回路驱动电路，所述第二正高压回路驱动电路通过第三开关连接所述正高压供给电源，所述第一负高压回路驱动电路通过第四开关连接所述负高压供给电源，所述第三开关及第四开关分别连接所述主控单元并根据其控制闭合或打开；
所述第一正高压回路驱动电路和第一负高压回路驱动电路均共同连接或分别连接至少一个静电放电单元；
所述第二正高压回路驱动电路和第二负高压回路驱动电路均共同连接或分别连接至少一个静电放电单元。
[0010]优选的，所述的互锁式高压生成电路，其中:所述正高压供给电源连接有第一高压包，所述负高压供给电源连接有第二高压包，所述第一高压包和第二高压包分别具有内置防烧电阻。
[0011]优选的，所述的互锁式高压生成电路，其中:还包括HV+幅值调整电路和HV-幅值调整电路，所述HV+幅值调整电路电性连接到所述主控单元和所述第一高压包，所述HV-幅值调整电路电性连接到所述主控单元和所述第二高压包。
[0012]一种室内静电消除系统，包括互锁式高压生成电路，所述互锁式高压生成电路包括高压电源、静电放电单元、高压生成回路、主控单元及与所述主控单元连接的静电状态监测器；
所述高压电源包括正高压供给电源和负高压供给电源，所述正高压供给电源和负高压供给电源之间连接电源调节单元，所述电源调节单元用于调整占空比，其电性连接到所述控制单元并在其控制下工作；
偶数个静电放电单元通过所述高压生成电路连接到所述高压电源；
所述高压生成电路包括用于同时生成一对正、负极性高压的第一高压生成单元，所述第一高压生成单元包括第一开关电路，所述第一开关电路包括第一正高压回路驱动电路及第二负高压回路驱动电路，所述第一正高压回路驱动电路通过第一开关连接所述正高压供给电源，所述第二负高压回路驱动电路通过第二开关连接所述负高压供给电源，所述第一开关及第二开关分别连接所述主控单元；
所述高压生成电路还包括用于同时生成另一对正、负极性高压的第二高压生成单元，所述第二高压生成单元包括第二开关电路，所述第二开关电路包括第二正高压回路驱动电路及第一负高压回路驱动电路，所述第二正高压回路驱动电路通过第三开关连接所述正高压供给电源，所述第一负高压回路驱动电路通过第四开关连接所述负高压供给电源，所述第三开关及第四开关分别连接所述主控单元；
所述主控单元，用于控制所述第一开关电路和第二开关电路的接通/关闭，且在一个时间段时只导通第一开关电路或第二开关电路，有选择的形成对称电极。
[0013]优选的，所述的室内静电消除系统，其中:还包括若干设置在室内屋顶的FFU出风口及静电状态监测器，每个所述FFU出风口的下方设置有所述偶数个静电放电单元，所述静电状态监测器设置在工位处并通过通讯电路电性连接到所述主控单元，所述主控单元根据所述静电状态监测器监测得到的数据进行策略控制。
[0014]优选的，所述的室内静电消除系统，其中:所述静电放电单元的数量为二个，且它们间隙设置，其中一个所述静电放电单元电性连接到所述第一正高压回路驱动电路及第一负高压回路驱动电路，另一个所述静电放电单元电性连接到所述第二正高压回路驱动电路及第二负高压回路驱动电路。
[0015]优选的，所述的室内静电消除系统，其中:每个所述FFU出风口的下方设置有四个所述静电放电单元，所述四个静电放电单元呈正方形或矩形分布，它们间隙设置且它们之间的间隙距离可调。
[0016]优选的，所述的室内静电消除系统，其中:每个所述静电放电单元连接到一条高压回路驱动电路上或任意相邻的两个静电放电单元均电性连接到所述第一正高压回路驱动电路及第一负高压回路驱动电路，另外两个所述静电放电单元均电性连接到所述第二正高压回路驱动电路及第二负高压回路驱动电路。
[0017]本发明技术方案的优点主要体现在:
本发明设计精巧，结构合理，本发明的互锁式高压生成电路，摒弃了现有交流升压变压器的技术，使频率可调，这样保证了不同作用距离内的适用性；并且，能够程控式地生成互锁的正负高压交替信号，有选择的生成对称电极，形成对称放电，同时生成正、负电荷离子，在保证了精度的基础上，相比交流升压变压器的技术，能够加速正、负电荷离子的传射速度，提高静电消除效率，同时不会造成平衡电压的大幅波动。
[0018]通过在配合的高压包内设置防烧电阻，可以有效提高其耐用性，并保证了操作人员的安全。
[0019]采用互锁式高压生成电路的静电消除系统，借助FFU的风力可以扩大离子的输送范围，在每个FFU出风口上设置静电放电单元有效的覆盖整个厂区或无尘室，为整个厂区建立起一个均匀的静电 管控环境；且由于该系统不需要额外的吹风机、风扇等吹风装置，因此也不会出现无尘室的气流紊乱，影响无尘室洁净度的问题，同时有利于提高整个厂区内的舒适度；进一步通过合理布局室内每个FFU风口下的静电放电单元的数量和布置形式，可以最大限度的提高正负电荷离子生成量，加速静电消除和厂区的覆盖，有利于提高静电去除效率。
[0020]通过空间模块式的静电放电单元，可以通过调整静电放电单元的布局和密度，最大程度的提高静电防护的效率。
[0021]通过设置静电监测单元，有利于提高静电放电单元的反应速度，并保证其精度。
【附图说明】
[0022]图1是本发明中互锁式高压生产电路主视图；
图2是本发明中电路结构示意图；
图3是本发明中实施例1中静电消除系统示意图。
【具体实施方式】
[0023]本发明的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本发明技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本发明要求保护的范围之内。
[0024]实施例1
本发明揭示了一种室内静电消除系统，如附图3所示，其包括若干设置在室内屋顶的FFU出风口 9及若干静电状态监测器10，还包括至少一个互锁式高压生成电路，所述互锁式高压生成电路主要用于有选择的生成一对对称电极，实现对称放电，即在某一时间内，使电路中的放电设备能够同时生成正电荷离子和负电荷离子。
[0025]如附图1、附图2所示，所述互锁式高压生成电路包括高压电源1、静电放电单元2、高压生成回路3及主控单元8;
所述高压电源I包括正高压供给电源11和负高压供给电源12，所述正高压供给电源11和负高压供给电源12之间连接电源调节单元13，所述电源调节单元13用于调整占空比，其电性连接到所述控制单元8并在其控制下工作；所述正高压供给电源11连接有第一高压包，所述负高压供给电源12连接有第二高压包，所述第一高压包和第二高压包分别具有内置防烧电阻。
[0026]所述高压生成电路3用于连通所述高压电源I和静电放电单元2，并在所述主控单元8的控制下使所述静电放电单元2对称放电；具体的，所述高压生成电路3包括用于同时生成一对正、负极性高压的第一高压生成单元4，所述第一高压生成单元4包括第一开关电路6，所述第一开关电路6用于控制所述第一高压生成单元4的接通/关闭，其包括第一正高压回路驱动电路61及第二负高压回路驱动电路62，所述第一正高压回路驱动电路61通过第一开关63连接所述正高压供给电源11，所述第二负高压回路驱动电路62通过第二开关64连接所述负高压供给电源12，所述第一开关63及第二开关64分别连接所述主控单元8。
[0027]所述高压生成电路3还包括用于同时生成另一对正、负极性高压的第二高压生成单元5，所述第二高压生成单元5包括第二开关电路7，所述第二开关电路7包括第二正高压回路驱动电路71及第一负高压回路驱动电路72，所述第二正高压回路驱动电路71通过第三开关73连接所述正高压供给电源11，所述第一负高压回路驱动电路72通过第四开关74连接所述负高压供给电源12，所述第三开关73及第四开关74分别连接所述主控单元8 ;
进一步，所述高压生成电路3还包括HV+幅值调整电路和HV-幅值调整电路，所述HV+幅值调整电路电性连接到所述主控单元8和所述第一高压包，所述HV-幅值调整电路电性连接到所述主控单元8和所述第二高压包。
[0028]所述主控单元8，用于控制所述第一开关电路6和第二开关电路7的接通/关闭，且在一个时间段时只导通一条开关电路，有选择的形成对称电极，实现对称放电。
[0029]该实施例中，每个所述FFU出风口 9下方平行设置两个所述静电放电单元2，其中一个所述静电放电单元2电性连接到所述第一正高压回路驱动电路61及第一负高压回路驱动电路72，另一个所述静电放电单元2电性连接到所述第二正高压回路驱动电路71及第二负高压回路驱动电路62 ;若干个所述静电状态监测器10分别设置在工位的不同区域，并通过通讯电路电性连接到所述静电消除器上的主控单元8，所述主控单元8还用于根据所述静电状态监测器10监测得到的数据，进行策略控制，所述策略控制至少包括:
(1)通过调整占空比，延长正高压驱动电路的工作时间并缩短负高压驱动电路的时间，从而增加正电荷离子的生成量，降低负电荷离子的生成量；
(2)通过调整占空比，缩短正高压驱动电路的工作时间并延长负高压驱动电路的时间，从而降低正电荷离子的生成量，增加负电荷离子的生成量。
[0030]本静电消除系统工作时，其具体的过程如下:
同时导通所述正高压供给电源11和负高压供给电源12后，在某一时间点，所述主控单元8控制所述第一开关63和第二开关64闭合，并将第三开关73和第四开关74断开，从而连通所述第一开关电路6，此时，第一正高压驱动电路61和第二负高压驱动电路62导通，因此连接到所述第一正高压回路驱动电路61及第一负高压回路驱动电路72上的静电放电单元2接受正电压，并电离空气产生正电荷离子；且连接到所述第二正高压回路驱动电路71及第二负高压回路驱动电路62的静电放电单元2接受负电压，并电离空气产生负电荷离子，实现对称放电。
[0031]第一开关电路6导通一定时间后，所述主控单元8控制所述第一开关63和第二开关64断开，并将第三开关73和第四开关74闭合，从而断开所述第一开关电路6，并导通所述第二开关电路7，此时，所述第二正高压回路驱动电路71及第一负高压回路驱动电路72导通，因此，连接到所述第一正高压回路驱动电路61及第一负高压回路驱动电路72上的静电放电单元2接受负电压，并电离空气产生负电荷离子；且连接到所述第二正高压回路驱动电路71及第二负高压回路驱动电路62的静电放电单元2接受正电压，并电离空气产生正电荷离子，通过交替控制所述第一开关电路6及第二开关电路7的开闭，从而不断产生一对相反极性的高压，有选择的生成对称电极，实现对称放电。
[0032]根据电荷同性相斥、异性相吸的原理，同时生成的正、负电荷离子相互吸引，从而加快了正、负电荷离子的传射速度，再借助所述FFU产生的风力，在风速作用下更加快速地扩散到整个无尘室内，并将室内物体、人体上携带的静电中和，大大提高了静电消除效率。且由于同时生成正、负电荷离子，即使当无尘室内的静电消除后，多余的正、负电荷离子能够中和，也不会因为某种离子出现多余从而出现平衡电压波动的情况，能够有效的将平衡电压控制在较低的范围，此处优选为不超过±35V，进一步优选为不超过±30V，更进一步优选为不超过±10V。
[0033]同时，所述静电状态监测器10实时对室内静电状况进行监测，了解室内平衡电压的变化情况，并将监测数据传输给所述主控单元8，当监测得出室内的正电荷水平变高时，则所述主控单元8将提高负电荷离子生成量的信号发送给所述电源调节单元13，所述电源调节单元13降低所述正高压供给电压11连接的第一高压包的占空比并提高所述负高压供给电源12连接的第二高压包的占空比，从而增加静电放电单元2生成负电荷离子的时间，提高负电荷离子的生成量；相反，当监测得出室内的负电荷水平变高时，则所述主控单元8将提高正电荷离子生成量的的信号发送给所述电源调节单元13，所述电源调节单元13提高所述正高压供给电压11连接的第一高压包的占空比并降低所述负高压供给电源12连接的第二高压包的占空比，从而增加静电放电单元2生成正电荷离子的时间，增加正电荷离子的生成量。
[0034]占空比的调整过程是随着实施监测的数据逐步调整的，而不是一步实现，因而有利于提高静电放电单元2的反应速度，同时保证调整的精确性。实施例2
本实施例与实施例1整体结构相近，其区别点在于:每个所述FFU出风口 9下方设置的所述静电放电单元2的数量为四个，所述四个静电放电单元2呈正方形或矩形分布，它们间隙设置且间隙距离是可调的，每条高压回路驱动电路上连接一个所述静电放电单元2，且两个平行的静电放电单元2连接到第一高压生成电路3中，另两个连接到第二高压生成电路4中；
此时，其工作过程与实施例1的大致相近，区别点在于:当第一高压生成电路3导通，第二高压生成电路4断开时，连接在所述第一高压生成电路3上的两个静电放电电极2对称放电，即一个生成正电荷离子，一个生成负电 荷离子；同时，连接在所述第二高压生成电路4的两个静电放电单元2不放电。
[0035]一段时间后，所述主控单元8断开第一高压生成电路3，并导通第二高压生成电路4，此时，连接在所述第一高压生成电路3上的两个静电放电电极2不放电；同时，连接在所述第二高压生成电路4的两个静电放电单元2对称放电，即一个生成正电荷离子，一个生成负电荷尚子。
[0036]在另一种情况下，所述四个静电放电单元2中任意相邻的两个静电放电单元2均电性连接到所述第一正高压回路驱动电路61及第二负高压回路驱动电路62，另外两个所述静电放电单元2均电性连接到所述第二正高压回路驱动电路71及第一负高压回路驱动电路72 ;其工作过程与实施例1的过程相近，在此不再赘述。
[0037]本发明尚有多种实施方式，凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种互锁式高压生成电路，其特征在于:包括高压电源(1)、偶数个静电放电单元(2 )以及连通所述高压电源(I)和静电放电单元(2 )并使所述静电放电单元(2 )对称放电的高压生成电路(3)，所述高压生成电路(3)至少包括 第一高压生成单元(4)，用于同时生成一对正、负极性高压；所述第一高压生成单元(4)包括第一开关电路(6)，用于控制所述第一高压生成单元(4)的接通/关闭； 第二高压生成单元(5)，用于同时生成另一对正、负极性高压；所述第二高压生成单元(5 )包括第二开关电路(7 )，用于控制所述第二高压生成单元(5 )的接通/关闭； 主控单元(8)，用于发出互锁式信号控制所述第一开关电路(6)或第二开关电路(7)的接通/关闭以及调整占空比；以及 静电状态监测器(10 )，与所述主控单元(8 )连接； 所述第一开关电路(6 )与所述高压电源(I)及主控单元(8 )电性连接； 所述第二开关电路(7 )与所述高压电源(I)及主控单元(8 )电性连接。2.根据权利要求1所述的互锁式高压生成电路，其特征在于: 所述高压电源(I)包括正高压供给电源(11)和负高压供给电源(12)，所述正高压供给电源(11)和负高压供给电源(12)之间连接电源调节单元(13)，所述电源调节单元(13)用于调整占空比，其电性连接到所述控制单元(8)并在其控制下工作； 所述第一开关电路(6)包括第一正高压回路驱动电路(61)及第二负高压回路驱动电路(62)，所述第一正高压回路驱动电路(61)通过第一开关(63)连接所述正高压供给电源(11)，所述第二负高压回路驱动电路(62)通过第二开关(64)连接所述负高压供给电源(12)，所述第一开关(63 )及第二开关(64 )分别连接所述主控单元(8 )并根据其控制闭合或打开； 所述第二开关电路(7)包括第二正高压回路驱动电路(71)及第一负高压回路驱动电路(72)，所述第二正高压回路驱动电路(71)通过第三开关(73)连接所述正高压供给电源(11)，所述第一负高压回路驱动电路(72)通过第四开关(74)连接所述负高压供给电源(12)，所述第三开关(73 )及第四开关(74 )分别连接所述主控单元(8 )并根据其控制闭合或打开； 所述第一正高压回路驱动电路(61)和第一负高压回路驱动电路(72)共同连接或分别连接至少一个静电放电单元(2);所述第二正高压回路驱动电路(71)和第二负高压回路驱动电路(62)共同连接或分别连接至少一个静电放电单元(2)。3.根据权利要求2所述的互锁式高压生成电路，其特征在于:所述正高压供给电源(11)连接有第一高压包，所述负高压供给电源(12)连接有第二高压包，所述第一高压包和第二高压包分别具有内置防烧电阻。4.根据权利要求3所述的互锁式高压生成电路，其特征在于:还包括HV+幅值调整电路和HV-幅值调整电路，所述HV+幅值调整电路电性连接到所述主控单元(8)和所述第一高压包，所述HV-幅值调整电路电性连接到所述主控单元(8)和所述第二高压包。5.—种室内静电消除系统，包括互锁式高压生成电路，其特征在于:所述互锁式高压生成电路包括高压电源(I)、偶数个静电放电单元(2)、高压生成回路(3)、主控单元(8)及与所述主控单元(8)连接的静电状态监测器(10); 所述高压电源(I)包括正高压供给电源(11)和负高压供给电源(12)，所述正高压供给电源(11)和负高压供给电源(12)之间连接电源调节单元(13)，所述电源调节单元(13)用于调整占空比，其电性连接到所述控制单元(8)并在其控制下工作； 偶数个静电放电单元(2 )通过所述高压生成电路(3 )连接到所述高压电源(I); 所述高压生成电路(3)包括用于同时生成一对正、负极性高压的第一高压生成单元(4)，所述第一高压生成单元(4)包括第一开关电路(6)，所述第一开关电路(6)包括第一正高压回路驱动电路(61)及第二负高压回路驱动电路(62)，所述第一正高压回路驱动电路(61)通过第一开关(63)连接所述正高压供给电源(11)，所述第二负高压回路驱动电路(62)通过第二开关(64)连接所述负高压供给电源(12)，所述第一开关(63)及第二开关(64)分别连接所述主控单元(8); 所述高压生成电路(3)还包括用于同时生成另一对正、负极性高压的第二高压生成单元(5)，所述第二高压生成单元(5)包括第二开关电路(7)，所述第二开关电路(7)包括第二正高压回路驱动电路(71)及第一负高压回路驱动电路(72)，所述第二正高压回路驱动电路(71)通过第三开关(73)连接所述正高压供给电源(11)，所述第一负高压回路驱动电路(72 )通过第四开关(74 )连接所述负高压供给电源(12 )，所述第三开关(73 )及第四开关(74)分别连接所述主控单元(8); 所述主控单元(8 )，用于控制所述第一开关电路(6 )和第二开关电路(7 )的接通/关闭，且在一个时间段时只导通第一开关电路(6)或第二开关电路(7)，有选择的形成对称电极，产生对称放电。6.根据权利要求5所述的室内静电消除系统，其特征在于:还包括若干设置在室内屋顶的FFU出风口 9，每个所述FFU出风口(9)的下方设置有所述偶数个静电放电单元(2)，所述静电状态监测器(10)设置在工位处并通过通讯电路电性连接到所述主控单元(8)，所述主控单元(8)根据所述静电状态监测器(10)监测得到的数据进行策略控制。7.根据权利要求6所述的室内静电消除系统，其特征在于:所述静电放电单元(2)的数量为二个，且它们间隙设置，其中一个所述静电放电单元(2)电性连接到所述第一正高压回路驱动电路(61)及第一负高压回路驱动电路(72)，另一个所述静电放电单元(2)电性连接到所述第二正高压回路驱动电路(71)及第二负高压回路驱动电路(62)。8.根据权利要求6所述的互锁式高压生成电路，其特征在于:每个所述FFU出风口(9)的下方设置有四个所述静电放电单元(2)，所述四个静电放电单元(2)呈正方形或矩形分布，它们间隙设置且它们之间的间隙距离可调。9.根据权利要求8所述的室内静电消除系统，其特征在于:每个所述静电放电单元(2)连接到一条高压回路驱动电路上或任意相邻的两个静电放电单元(2)均电性连接到所述第一正高压回路驱动电路(61)及第一负高压回路驱动电路(72)，另外两个所述静电放电单元(2)均电性连接到所述第二正高压回路驱动电路(71)及第二负高压回路驱动电路(62)。
【专利摘要】本发明揭示了互锁式高压生成电路及采用该电路的静电消除系统，包括高压电源、静电放电单元以及使静电放电单元对称放电的高压生成电路，高压生成电路至少包括第一高压生成单元,第一高压生成单元包括第一开关电路，第一开关电路与所述高压电源及主控单元连接；第二高压生成单元，第二高压生成单元包括第二开关电路，第二开关电路与高压电源及主控单元连接。本发明设计精巧，结构合理，摒弃了现有交流升压变压器的技术，使频率可调，保证了不同作用距离的适用性，有选择的生成对称电极，实现对称放电，同时生成正、负电荷，与交流升压变压器技术相比，能够加速正、负电荷离子的传射速度，提高静电消除效率，同时不会造成平衡电压的大幅波动。
【IPC分类】H05F3/04
【公开号】CN104902663
【申请号】CN201510276221
【发明人】王荣刚, 黄成成, 赵雷
【申请人】苏州天华超净科技股份有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年5月27日
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