一种蚀刻药水添加方法、装置及系统的制作方法

xiaoxiao2020-10-23  16

一种蚀刻药水添加方法、装置及系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明属于蚀刻技术领域,尤其涉及一种蚀刻药水添加方法、装置及系统。
【背景技术】
[0002]在印制电路板生产线上,通常采用蚀刻药水对印制电路板进行蚀刻。目前市面上蚀刻药水添加系统一般使用多个互相独立的药水分析仪对蚀刻药水进行分析及子液添加令药水保持活性,以满足电路板生产商自动化电路板生产的质量要求。
[0003]以比重为例,通常,在蚀刻药水添加系统中,根据目标值以及测量比重输出开关式添加讯号,并通过开关式添加讯号,控制定量泵添加子液进蚀刻药水。由于只有开关式添加讯号,因此只有开或关两种状态,例如:目标值为1.5,当前值低于1.5则输出添加讯号,继电器闭合;当前值高于1.5则无添加讯号、继电器开路。
[0004]因此,蚀刻药水添加系统中无法精确控制或者无法微调定量泵对药水的添加量,其存在以下二方面的缺点:
[0005]第一方面,添加子液进蚀刻药水,子液为添加进蚀刻药水的液体。例如添加清水,蚀刻药水会过快或者过慢改变当前值,药水的数值波动较大,蚀刻药水添加系统对当前值的控制精度较低、影响生产的电路板的质量。
[0006]第二方面,添加子液的消耗量较大,造成子液的浪费,例如添加氧化剂,造成氧化剂的浪费。

【发明内容】

[0007]本发明实施例的目的在于提供一种蚀刻药水添加方法,旨在解决蚀刻药水添加系统中无法精确控制或者无法微调定量泵对药水的添加量,药水的数值波动较大、控制精度较低、添加子液的消耗量较大导致影响生产的电路板的质量以及造成子液的浪费的问题。
[0008]本发明实施例是这样实现的,一种蚀刻药水添加方法,包括:
[0009]获取蚀刻药水中的比重当前值、盐酸当前值、氧化剂当前值;
[0010]将所述比重当前值与预设的比重目标值相比较,生成两者之间的第一差值,
[0011]将所述盐酸当前值与预设的盐酸目标值相比较,生成两者之间的第二差值,
[0012]将所述氧化剂当前值与预设的氧化剂目标值相比较,生成两者之间的第三差值;
[0013]在预先建立的对应表中,获取生成的第一差值、第二差值、第三差值分别对应的第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例;
[0014]将所述第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例与预设的添加周期分别相乘,生成第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间;
[0015]根据生成的第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间,分别添加清水、盐酸、氧化剂;
[0016]其中,比重当前值为比重监测器当前检测到的蚀刻药水的密度与清水的密度的比值,盐酸当前值为盐酸监测器当前检测到的导电率的电流值转换生成的数值,氧化剂当前值为氧化剂监测器当前检测到的氧化还原反应的电压值转换生成的数值;
[0017]其中,对应表中存储了差值与添加比例之间的对应关系;
[0018]其中,所述氧化剂包括但不限于氯酸钠,双氧水。
[0019]本发明实施例的另一目的在于提供一种蚀刻药水添加装置,包括:
[0020]第一获取单元,用于获取蚀刻药水中的比重当前值、盐酸当前值、氧化剂当前值;
[0021]比较单元,用于将所述比重当前值与预设的比重目标值相比较,生成两者之间的第一差值,将所述盐酸当前值与预设的盐酸目标值相比较,生成两者之间的第二差值,将所述氧化剂当前值与预设的氧化剂目标值相比较,生成两者之间的第三差值;
[0022]第二获取单元,在预先建立的对应表中,获取生成的第一差值、第二差值、第三差值分别对应的第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例;
[0023]生成单元,将所述第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例与预设的添加周期分别相乘,生成第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间;
[0024]添加单元,用于根据生成的第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间,分别添加清水、盐酸、氧化剂;
[0025]其中,比重当前值为比重监测器当前检测的蚀刻药水的密度与清水的密度的比值,盐酸当前值为盐酸监测器当前检测到的导电率的电流值转换生成的数值,氧化剂当前值为氧化剂监测器当前检测到的氧化还原反应的电压值转换生成的数值;
[0026]其中,对应表中存储了差值与添加比例之间的对应关系;
[0027]其中,所述氧化剂包括但不限于氯酸钠,双氧水。
[0028]本发明实施例的另一目的在于提供一种蚀刻药水添加系统,包括上述的蚀刻药水添加装置、一比重监测器、一盐酸监测器、一氧化剂监测器、一接入清水的定量泵或电磁阀、一装载盐酸的定量泵、以及一装载氧化剂的定量泵,其中,所述比重监测器通过所述蚀刻药水添加装置与接入清水的定量泵或电磁阀相连,所述盐酸监测器通过所述蚀刻药水添加装置与装载盐酸的定量泵相连,所述氧化剂监测器通过所述蚀刻药水添加装置与装载氧化剂的定量泵相连。
[0029]在本发明实施例中,通过根据生成的第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间,分别添加清水、盐酸、氧化剂,以使蚀刻药水添加系统可以控制定量泵对药水的添加量,解决了药水的数值波动较大、控制精度较低、添加子液的消耗量较大导致影响生产的电路板的质量以及造成子液的浪费的问题,有效控制了药水蚀刻能力,减少波动,令生产的电路板的质量保持高度稳定,同时减少了添加子液的使用量,降低了运行成本。
【附图说明】
[0030]图1是本发明实施例提供的蚀刻药水添加方法的实现流程图;
[0031]图2是本发明实施例提供的蚀刻药水添加装置的结构框图。
【具体实施方式】
[0032]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
[0033]图1是本发明实施例提供的一种蚀刻药水添加方法的实现流程图,详述如下:
[0034]在步骤SlOl中,获取蚀刻药水中的比重当前值、盐酸当前值、氧化剂当前值;
[0035]其中,蚀刻药水添加系统中控制板的主程序,通过药水槽中的比重监测器,检测蚀刻药水的密度与清水的密度的比值,获取蚀刻药水中的比重。
[0036]通过盐酸监测器,检测到的导电率的电流值转换生成的数值,获取盐酸当前值。
[0037]通过氧化剂监测器,检测到当前检测到的氧化还原反应的电压值转换生成的数值,获取氧化剂当前值。
[0038]其中,比重当前值为比重监测器当前检测到的蚀刻药水的密度与清水的密度的比值,盐酸当前值为盐酸监测器当前检测到的导电率的电流值转换生成的数值,氧化剂当前值为氧化剂监测器当前检测到的氧化还原反应的电压值转换生成的数值;
[0039]其中,药水槽装载蚀刻药水。
[0040]在步骤S102中,将所述比重当前值与预设的比重目标值相比较,生成两者之间的第一差值,将所述盐酸当前值与预设的盐酸目标值相比较,生成两者之间的第二差值,将所述氧化剂当前值与预设的氧化剂目标值相比较,生成两者之间的第三差值;
[0041]其中,比重目标值、盐酸目标值、氧化剂目标值为预设的阈值,可以为用户自设,也可以为系统默认。
[0042]在步骤S103中,在预先建立的对应表中,获取生成的第一差值、第二差值、第三差值分别对应的第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例;
[0043]其中,对应表中存储了差值与添加比例之间的对应关系。
[0044]在步骤S104中,将所述第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例与预设的添加周期分别相乘,生成第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间;
[0045]其中,添加周期可以理解为脉冲周期。
[0046]其中,第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例可以理解为脉冲的持续时间与脉冲周期的比值,也就是占空比。
[0047]其中,第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间可以理解为脉冲的持续时间。
[0048]在步骤S105中,根据生成的第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间,分别添加清水、盐酸、氧化剂;
[0049]其中,根据生成的第一添加时间添加清水,根据生成的第二添加时间添加盐酸,根据生成的第三添加时间添加氧化剂。
[0050]其中,比重当前值为比重监测器当前检测到的蚀刻药水的密度与清水的密度的比值,盐酸当前值为盐酸监测器当前检测到的导电率的电流值转换生成的数值,氧化剂当前值为氧化剂监测器当前检测到的氧化还原反应的电压值转换生成的数值。
[0051 ] 其中,氧化剂包括但不限于氯酸钠、双氧水。
[0052]在本实施例中,根据生成的第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间,分别添加清水、盐酸、氧化剂,其优点如下:
[0053]1、能有效控制药水蚀刻能力,减少波动,令做板质量保持高度稳定。
[0054]2、减少添加子液的使用量,降低运行成本。
[0055]3、能防止由于机组异常和/或错误操作引致的错误添加。
[0056]4、支持电路板的高速生产。
[0057]作为本发明的一个优选实施例,在控制板中设置一个统一的接口,采用统一的数据格式分别与比重监测器,盐酸监测器,氧化剂监测器进行通信,从而避免了比重监测器,盐酸监测器,氧化剂监测器均需要一个控制器的情况,同时避免了由于类型及牌子不统一,外型、探头不一致,采样盒需特别设计才能整合的情况,使得一个控制板可以控制三个定量泵添加三种子液。
[0058]作为本发明的一个优选实施例,所述比重目标值包括不同的生产线对应的不同比重目标值和不同配方对应的不同比重目标值中的至少一种,所述盐酸目标值包括不同的生产线对应的不同盐酸目标值和不同配方对应的不同盐酸目标值中的至少一种,所述氧化剂目标值包括不同的生产线对应的不同氧化剂目标值和不同配方对应的不同氧化剂目标值中的至少一种。
[0059]在本实施例中,由于不同的生产线业务不同,不同业务需要的不同目标值。因此可先建立生产线与目标值的对应关系,使得目标值包括不同的生产线对应的不同比重目标值、不同的生产线对应的不同盐酸目标值、不同的生产线对应的不同氧化剂目标值,以便于在步骤S102中可以直接调用。
[0060]在本实施例中,由于不同电路板需要不同的清水目标值、盐酸目标值、氧化剂目标值,即不同的配方。例如,精密器件中的电路板和普通电路板所需要清水目标值、盐酸目标值、氧化剂目标值不同。因此可先建立不同电路板与不同目标值(配方)的对应关系,使得目标值包括电路板对应的清水目标值、盐酸目标值、氧化剂目标值(配方),以便于后续可根据不同的电路板选择不同的生产的配方,以便于在步骤S102中可以直接调用。
[0061]作为本发明的一个优选实施例,当所述比重目标值包括不同配方对应的不同比重目标值时,当所述盐酸目标值包括不同配方对应的不同盐酸目标值时,当所述氧化剂目标值包括不同配方对应的不同氧化剂目标值时,所述分别将所述比重当前值、盐酸当前值、氧化剂当前值与预设的比重目标值、盐酸目标值、氧化剂目标值相比较,生成两者之间的差值时,包括:
[0062]获取实时生产的配方;
[0063]将所述比重当前值与所述配方中的比重目标值相比较,生成所述比重当前值与所述配方对应的比重目标值之间的第一差值;
[0064]将所述盐酸当前值与所述配方中的盐酸目标值相比较,生成所述盐酸当前值与所述配方对应的盐酸目标值之间的第二差值;
[0065]将所述氧化剂当前值与所述配方中的氧化剂目标值相比较,生成所述氧化剂当前值与所述配方对应的氧化剂目标值之间的第三差值。
[0066]作为本发明的一个优选实施例,其特征在于,根据生成的第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间,分别添加清水、盐酸、氧化剂,具体为:
[0067]根据生成的第一添加时间,控制输出至第一定量泵的PWM脉冲,控制添加周期内接入清水的所述第一定量泵开启或控制添加周期内接入清水的电磁阀开启,以添加所述清水;
[0068]其中,第一添加时间为脉冲的持续时间。
[0069]根据第一添加时间,控制输出至第一定量泵的PWM脉冲,以使第一定量泵接收到PWM脉冲后开启,根据PWM脉冲持续的时间添加清水。
[0070]其中,控制添加周期内接入清水的电磁阀开启,直接接清水进水。
[0071]根据生成的第二添加时间,控制输出至第二定量泵的PWM脉冲,控制添加周期内装载盐酸的所述第二定量泵开启,以添加所述盐酸;
[0072]其中,第二添加时间为PWM脉冲的持续时间。
[0073]根据第二添加时间,控制输出至第二定量泵的PWM脉冲,以使第二定量泵接收到PWM脉冲后开启,根据PWM脉冲持续的时间添加盐酸。
[0074]根据生成的第三添加时间,控制输出至第三定量泵的PWM脉冲,控制添加周期内装载氧化剂的所述第三定量泵开启,以添加所述氧化剂。
[0075]其中,第三添加时间为PWM脉冲的持续时间。
[0076]根据第三添加时间,控制输出至第三定量泵的PWM脉冲,以使第三定量泵接收到PWM脉冲后开启,根据PWM脉冲持续的时间添加氧化剂。
[0077]其中,氧化剂包括但不限于氯酸钠、双氧水。
[0078]其中,脉冲可以为现有的任意一种脉冲,例如方波脉冲、矩形脉冲、尖脉冲等。
[0079]以PWM(英文:Pulse Width Modulat1n,中文:脉冲宽度调变)为例,增加其添加比例,也就是固定周期内添加有效的时间(脉冲的持续时间),使得定量泵的添加子液的时间的增多,相应的,子液的添加量也增加。
[0080]例如,60秒能输出0.6L的定量泵,调节添加比例为10%,添加时间为6秒,6秒为脉冲的持续时间,定量泵接收到脉冲后才会开启,因此定量泵60秒输出0.06L的子液,从而可以控制定量泵对子液的添加量。
[0081]作为本发明的一个优选实施例,还包括:
[0082]实时检测环境信息,所述环境信息包括停机信息、停泵信息、生产信息、入板信息、传感器信息、温度信息中的一种或其组合;
[0083]判断所述环境信息是否满足预设环境异常条件,所述环境异常条件包括停机异常、 停泵异常、停止生产异常、缺板异常、传感器异常、温度异常中的一种或其组合;
[0084]若是,停止添加子液,并输出报警讯号。
[0085]在本发明实施例中,蚀刻药水添加系统连接多个传感器,通过多个传感器实时检测环境信息,所述环境信息包括停机信息、停泵信息、生产信息、入板信息、传感器信息、温度信息中的一种或其组合。
[0086]对机组的运行状况进行分析。针对停机信息、停泵信息、生产信息、入板信息、传感器信息、温度信息等进行同步监控。
[0087]综合分析以上环境数据后,判断环境信息是否满足预设环境异常条件,环境异常条件包括停机异常、停泵异常、停止生产异常、缺板异常、传感器异常、温度异常中的一种或其组合,
[0088]若是,停止添加子液,并输出报警讯号,并在蚀刻药水添加系统的触摸屏界面上显示报警资料,以使用户能快速处理问题,从而有效避免了当药水或机组出现异常时(如温度未到达目标范围),造成误添加令系统失去控制,影响生产的电路板的质量,造成用户时间及金钱上的损失问题,从而确保了系统的有效性、保证了电路板的正常生产。
[0089]图2是本发明实施例提供的一种蚀刻药水添加装置的结构框图,为了便于说明,仅不出了与本实施例相关的部分。
[0090]参照图2,该蚀刻药水添加装置,包括:
[0091]第一获取单元,用于获取蚀刻药水中的比重当前值、盐酸当前值、氧化剂当前值;
[0092]比较单元,用于将所述比重当前值与预设的比重目标值相比较,生成两者之间的第一差值,将所述盐酸当前值与预设的盐酸目标值相比较,生成两者之间的第二差值,将所述氧化剂当前值与预设的氧化剂目标值相比较,生成两者之间的第三差值;
[0093]第二获取单元,用于在预先建立的对应表中,获取生成的第一差值、第二差值、第三差值分别对应的第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例;
[0094]生成单元,用于将所述第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例与预设的添加周期分别相乘,生成第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间;
[0095]添加单元,用于根据生成的第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间,分别添加清水、盐酸、氧化剂;
[0096]其中,比重当前值为比重监测器当前检测的蚀刻药水的密度与清水的密度的比值,盐酸当前值为盐酸监测器当前检测到的导电率的电流值转换生成的数值,氧化剂当前值为氧化剂监测器当前检测到的氧化还原反应的电压值转换生成的数值;
[0097]其中,对应表中存储了差值与添加比例之间的对应关系;
[0098]其中,所述氧化剂包括但不限于氯酸钠,双氧水。
[0099]进一步地,在该装置中,所述比重目标值包括不同的生产线对应的不同比重目标值和不同配方对应的不同比重目标值中的至少一种,所述盐酸目标值包括不同的生产线对应的不同盐酸目标值和不同配方对应的不同盐酸目标值中的至少一种,所述氧化剂目标值包括不同的生产线对应的不同氧化剂目标值和不同配方对应的不同氧化剂目标值中的至少一种。
[0100]进一步地,在该装置中,所述比较单元,还包括:
[0101]第一获取子单元,用于获取实时生产的配方;
[0102]第一比较子单元,用于将所述比重当前值与所述配方中的比重目标值相比较,生成所述比重当前值与所述配方对应的比重目标值之间的第一差值;
[0103]第二比较子单元,用于将所述盐酸当前值与所述配方中的盐酸目标值相比较,生成所述盐酸当前值与所述配方对应的盐酸目标值之间的第二差值;
[0104]第三比较子单元,用于将所述氧化剂当前值与所述配方中的氧化剂目标值相比较,生成所述氧化剂当前值与所述配方对应的氧化剂目标值之间的第三差值。
[0105]进一步地,在该装置中,所述添加单元,包括:
[0106]第一添加单元,用于根据生成的第一添加时间,控制输出至第一定量泵的PWM脉冲,控制添加周期内接入清水的所述第一定量泵开启或控制添加周期内接入清水的电磁阀开启,以添加所述清水;
[0107]第二添加单元,用于根据生成的第二添加时间,控制输出至第二定量泵的PWM脉冲,控制添加周期内装载盐酸的所述第二定量泵开启,以添加所述盐酸;
[0108]第三添加单元,用于根据生成的第三添加时间,控制输出至第三定量泵的PWM脉冲,控制添加周期内装载氧化剂的所述第三定量泵开启,以添加所述氧化剂。
[0109]进一步地,在该装置中,还包括:
[0110]检测单元,用于实时检测环境信息,所述环境信息包括停机信息、停泵信息、生产信息、入板信息、传感器信息、温度信息中的一种或其组合;
[0111]判断单元,用于判断所述环境信息是否满足预设环境异常条件,所述环境异常条件包括停机异常、停泵异常、停止生产异常、缺板异常、传感器异常、温度异常中的一种或其组合;
[0112]停止单元,用于若是,停止添加子液;
[0113]输出单兀,用于若是,输出报警讯号。
[0114]本发明提供一种蚀刻药水添加系统,包括上述的蚀刻药水添加装置、一比重监测器、一盐酸监测器、一氧化剂监测器、一接入清水的定量泵或电磁阀、一装载盐酸的定量泵、以及一装载氧化剂的定量泵,其中,所述比重监测器通过所述蚀刻药水添加装置与接入清水的定量泵或电磁阀相连,所述盐酸监测器通过所述蚀刻药水添加装置与装载盐酸的定量泵相连,所述氧化剂监测器通过所述蚀刻药水添加装置与装载氧化剂的定量泵相连。
[0115]本发明实施例提供的装置可以应用在前述对应的方法实施例中,详情参见上述实施例的描述,在此不再赘述。
[0116]通过以上的实施方式的描述,所属领域的技术人员可以清楚地了解到本发明可借助软件加必需的通用硬件的方式来实现,当然也可以通过硬件,但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解,本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来,该计算机软件产品存储在可读取的存储介质中,如计算机的软盘,硬盘或光盘等,包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是PLC,个人计算机,服务器,或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述的方法。
[0117]以上所述,仅为本发明的【具体实施方式】,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
【主权项】
1.一种蚀刻药水添加方法,其特征在于,包括: 获取蚀刻药水中的比重当前值、盐酸当前值、氧化剂当前值; 将所述比重当前值与预设的比重目标值相比较,生成两者之间的第一差值, 将所述盐酸当前值与预设的盐酸目标值相比较,生成两者之间的第二差值, 将所述氧化剂当前值与预设的氧化剂目标值相比较,生成两者之间的第三差值; 在预先建立的对应表中,获取生成的第一差值、第二差值、第三差值分别对应的第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例; 将所述第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例与预设的添加周期分别相乘,生成第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间 ; 根据生成的第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间,分别添加清水、盐酸、氧化剂; 其中,比重当前值为比重监测器当前检测到的蚀刻药水的密度与清水的密度的比值,盐酸当前值为盐酸监测器当前检测到的导电率的电流值转换生成的数值,氧化剂当前值为氧化剂监测器当前检测到的氧化还原反应的电压值转换生成的数值; 其中,对应表中存储了差值与添加比例之间的对应关系; 其中,所述氧化剂包括但不限于氯酸钠,双氧水。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述比重目标值包括不同的生产线对应的不同比重目标值和不同配方对应的不同比重目标值中的至少一种,所述盐酸目标值包括不同的生产线对应的不同盐酸目标值和不同配方对应的不同盐酸目标值中的至少一种,所述氧化剂目标值包括不同的生产线对应的不同氧化剂目标值和不同配方对应的不同氧化剂目标值中的至少一种。3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,当所述比重目标值包括不同配方对应的不同比重目标值时,当所述盐酸目标值包括不同配方对应的不同盐酸目标值时,当所述氧化剂目标值包括不同配方对应的不同氧化剂目标值时,所述分别将所述比重当前值、盐酸当前值、氧化剂当前值与预设的比重目标值、盐酸目标值、氧化剂目标值相比较,生成两者之间的差值时,包括: 获取实时生产的配方; 将所述比重当前值与所述配方中的比重目标值相比较,生成所述比重当前值与所述配方对应的比重目标值之间的第一差值; 将所述盐酸当前值与所述配方中的盐酸目标值相比较,生成所述盐酸当前值与所述配方对应的盐酸目标值之间的第二差值; 将所述氧化剂当前值与所述配方中的氧化剂目标值相比较,生成所述氧化剂当前值与所述配方对应的氧化剂目标值之间的第三差值。4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,根据生成的第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间,分别添加清水、盐酸、氧化剂,具体为: 根据生成的第一添加时间,控制输出至第一定量泵的PWM脉冲,控制添加周期内接入清水的所述第一定量泵开启或控制添加周期内接入清水的电磁阀开启,以添加所述清水;根据生成的第二添加时间,控制输出至第二定量泵的PWM脉冲,控制添加周期内装载盐酸的所述第二定量泵开启,以添加所述盐酸; 根据生成的第三添加时间,控制输出至第三定量泵的PWM脉冲,控制添加周期内装载氧化剂的所述第三定量泵开启,以添加所述氧化剂。5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括: 实时检测环境信息,所述环境信息包括停机信息、停泵信息、生产信息、入板信息、传感器信息、温度信息中的一种或其组合; 判断所述环境信息是否满足预设环境异常条件,所述环境异常条件包括停机异常、停泵异常、停止生产异常、缺板异常、传感器异常、温度异常中的一种或其组合; 若是,停止添加子液,并输出报警讯号。6.一种蚀刻药水添加装置,其特征在于,包括: 第一获取单元,用于获取蚀刻药水中的比重当前值、盐酸当前值、氧化剂当前值; 比较单元,用于将所述比重当前值与预设的比重目标值相比较,生成两者之间的第一差值,将所述盐酸当前值与预设的盐酸目标值相比较,生成两者之间的第二差值,将所述氧化剂当前值与预设的氧化剂目标值相比较,生成两者之间的第三差值; 第二获取单元,在预先建立的对应表中,获取生成的第一差值、第二差值、第三差值分别对应的第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例; 生成单元,将所述第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例与预设的添加周期分别相乘,生成第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间; 添加单元,用于根据生成的第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间,分别添加清水、盐酸、氧化剂; 其中,比重当前值为比重监测器当前检测的蚀刻药水的密度与清水的密度的比值,盐酸当前值为盐酸监测器当前检测到的导电率的电流值转换生成的数值,氧化剂当前值为氧化剂监测器当前检测到的氧化还原反应的电压值转换生成的数值; 其中,对应表中存储了差值与添加比例之间的对应关系; 其中,所述氧化剂包括但不限于氯酸钠,双氧水。7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述比较单元,还包括: 第一获取子单元,用于获取实时生产的配方; 第一比较子单元,用于将所述比重当前值与所述配方中的比重目标值相比较,生成所述比重当前值与所述配方对应的比重目标值之间的第一差值; 第二比较子单元,用于将所述盐酸当前值与所述配方中的盐酸目标值相比较,生成所述盐酸当前值与所述配方对应的盐酸目标值之间的第二差值; 第三比较子单元,用于将所述氧化剂当前值与所述配方中的氧化剂目标值相比较,生成所述氧化剂当前值与所述配方对应的氧化剂目标值之间的第三差值。8.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述添加单元,包括: 第一添加单元,用于根据生成的第一添加时间,控制输出至第一定量泵的PWM脉冲,控制添加周期内接入清水的所述第一定量泵开启或控制添加周期内接入清水的电磁阀开启,以添加所述清水; 第二添加单元,用于根据生成的第二添加时间,控制输出至第二定量泵的PWM脉冲,控制添加周期内装载盐酸的所述第二定量泵开启,以添加所述盐酸; 第三添加单元,用于根据生成的第三添加时间,控制输出至第三定量泵的PWM脉冲,控制添加周期内装载氧化剂的所述第三定量泵开启,以添加所述氧化剂。9.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,还包括: 检测单元,用于实时检测环境信息,所述环境信息包括停机信息、停泵信息、生产信息、入板信息、传感器信息、温度信息中的一种或其组合; 判断单元,用于判断所述环境信息是否满足预设环境异常条件,所述环境异常条件包括停机异常、停泵异常、停止生产异常、缺板异常、传感器异常、温度异常中的一种或其组合; 停止单元,用于若是,停止添加子液; 输出单兀,用于若是,输出报警讯号。10.一种蚀刻药水添加系统,其特征在于,包括权利要求6至9任意一项所述的蚀刻药水添加装置、一比重监测器、一盐酸监测器、一氧化剂监测器、一接入清水的定量泵或电磁阀、一装载盐酸的定量泵、以及一装载氧化剂的定量泵,其中,所述比重监测器通过所述蚀刻药水添加装置与接入清水的定量泵或电磁阀相连,所述盐酸监测器通过所述蚀刻药水添加装置与装载盐酸的定量泵相连,所述氧化剂监测器通过所述蚀刻药水添加装置与装载氧化剂的定量泵相连。
【专利摘要】本发明适用于蚀刻技术领域,提供了一种蚀刻药水添加方法、装置及系统,该方法包括:获取蚀刻药水中的比重当前值、盐酸当前值、氧化剂当前值;将比重当前值与预设的比重目标值相比较,生成两者之间的第一差值,将盐酸当前值与预设的盐酸目标值相比较,生成两者之间的第二差值,将氧化剂当前值与预设的氧化剂目标值相比较,生成两者之间的第三差值;获取第一差值、第二差值、第三差值分别对应的第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例;将第一添加比例、第二添加比例、第三添加比例与预设的添加周期分别相乘,生成第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间;根据第一添加时间、第二添加时间、第三添加时间,分别添加清水、盐酸、氧化剂。
【IPC分类】C23F1/08, H05K3/06
【公开号】CN104902688
【申请号】CN201410077485
【发明人】陈德和
【申请人】宇宙电路板设备(深圳)有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2014年3月4日

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