压印用模具的制造方法、压印用模具、压印用模具制造组件的制作方法
压印用模具的制造方法、压印用模具、压印用模具制造组件的制作方法
【技术领域】
】
[0001]本发明涉及压印用模具的制造方法、压印用模具、以及压印用模具制造组件。【【背景技术】】
[0002]所谓压印技术，是将具有所需的微细的凹凸图案的反转图案的模具向基板上的液状树脂等转印材料按压、并借此将模具的反转图案向转印材料转印的微细加工技术。作为微细的凹凸图案的反转图案，存在有从1nm水平的纳米尺度的图案到10ym左右的图案，被用于半导体材料、光学材料、存储介质、微型机器、生物、环境等各种领域中。
[0003]作为反转图案向转印材料上的转印方法，有如下的方法，S卩，使用将薄膜模具卷绕在转印辊上而制作的辊筒状的压印用模具、或利用金属的切削制作的金属辊，利用卷对卷工艺向转印材料连续转印反转图案。
[0004]在从薄膜模具制成辊筒状的压印用模具时，需要将薄膜模具的两端接合。作为薄膜模具的接合方法，在专利文献I中，公开过如下的技术，S卩，将对接了的树脂薄膜的端部用一对加热器夹入，用该加热器进行加压熔接；或将所要接合的树脂薄膜的端部以叠加的状态配置，从该状态起对适合的部分进行加压熔接。
【现有技术文献】
【专利文献】
[0005]【专利文献1】冊2011/049097号
【
【发明内容】
】
【发明所要解决的问题】
[0006]但是，在将树脂薄膜的端部彼此对接后加压熔接的情况下，无法将接合部充分地接合，其后会有发生背离的问题、或在接合部堆积转印树脂的问题。
[0007]另一方面，在将应当接合的树脂薄膜的端部间设为部分叠加的状态后对适合的部分进行加压熔接的情况下，虽然两者的接合性提高，然而在接合部产生高低差，从而会有在该高低差处堆积转印树脂的问题。
[0008]本发明是鉴于此种实际情况而完成的，提供一种可以防止转印树脂向薄膜模具的接合部的堆积的压印用模具的制造方法。
【用于解决问题的手段】
[0009]根据本发明，提供一种压印用模具的制造方法，其具备:
卷绕工序，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式，卷绕在圆柱状的转印辊上；
树脂填充工序，向所述间隙中填充树脂组合物；
图案形成工序，在所述树脂组合物中，形成与所述反转图案实质上相同的图案。
[0010]如果是此种薄膜模具的接合方法，则可以将薄膜模具的端部的对接部牢固地接合。此外，由于在对接部的间隙中填充有树脂组合物，因此不会有转印材料的树脂进入间隙内的情况。另外，由于进行可靠的接合，因此可以防止接合部局部地剥离等不佳状况。
[0011]另外，在单纯地向间隙中填充树脂组合物的情况下，由于在该部分不形成反转图案，因此向转印材料转印的凹凸图案也会在与对接部的间隙对应的位置产生条纹状的无转印部。但是，本发明中，由于在该树脂组合物中也形成与反转图案实质上相同的图案，因此不产生无转印部，可以转印连续的凹凸图案。
[0012]以下，例示出本发明的各种实施方式。以下所示的实施方式可以互相组合。
优选所述树脂组合物是光固化性树脂，所述图案形成工序中，通过在将具有与所述凹凸图案实质上相同的图案的图案追加用模具推压在所述树脂组合物上的状态下，向所述树脂组合物照射光，而形成所述图案。
优选所述图案追加用模具相对于所述光具有透过性，穿过所述图案追加用模具向所述树脂组合物照射所述光。
优选所述卷绕工序是通过在所述薄膜模具上贴附双面粘贴胶带的一方的面，将所述双面粘贴胶带的另一方的面贴附在所述转印辊上而进行。
优选所述双面粘贴胶带与所述薄膜模具的所述卷绕方向的端部的位置是错开的。
优选所述树脂组合物是剥离性树脂。
[0013]另外，根据另外的观点，本发明还提供一种压印用模具，其具备圆柱状的转印辊、卷绕在所述转印辊上并且形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具，所述薄膜模具被以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式卷绕，在所述间隙中，填充有具有与所述反转图案实质上相同的图案的树脂组合物。
[0014]另外，根据另外的观点，本发明还提供一种压印用模具制造组件，其具备形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具；填充在将所述薄膜模具卷绕在圆柱状的转印辊上时的、两端的对接部的不存在所述反转图案的间隙中的树脂组合物；用于在所述树脂组合物中形成与所述反转图案实质上相同的图案的图案追加用模具。
【【附图说明】】
[0015]图1是本发明的第一实施方式的薄膜模具的剖面图。
图2是表示在图1的薄膜模具上贴附了双面粘贴胶带的状态的剖面图。
图3是表示将图2的带有双面粘贴胶带的薄膜模具卷绕在转印辊上的工序的剖面图。 图4是图3的续图，表示将薄膜模具卷绕在转印辊上后的状态的剖面图。
图5是图4中的区域A的放大图。
图6是图5的续图，表示向薄膜模具的两端的对接部的间隙中填充了树脂组合物的状
??τ O
图7是图6的续图，表示在树脂组合物中进行图案形成的工序。
图8是图7的续图，表示在树脂组合物中形成图案后的状态。
图9是表示本发明的第二实施方式的薄膜模具的剖面图。
图10是使用图9的薄膜模具的情况下的与图5对应的图。
图11是图10的续图，表示向薄膜模具的两端的对接部的间隙中填充了树脂组合物的状态。
图12是图11的续图，表示在树脂组合物中形成图案后的状态。【【具体实施方式】】
[0016]以下，在参照附图的同时，对本发明的优选的实施方式进行具体说明。
[0017]1.第一实施方式
使用图1?图8，对本发明的第一实施方式的压印用模具的制造方法进行说明。本实施方式的压印用模具的制造方法具备:卷绕工序，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案3的树脂制的薄膜模具2以在两端的对接部中形成不存在反转图案3的间隙G的方式，卷绕在圆柱状的转印辊12上；树脂填充工序，向间隙G中填充树脂组合物22 ;图案形成工序，在树脂组合物22中，形成与反转图案3实质上相同的图案3a。
以下，对各工序进行详细说明。
[0018]I — 1.卷绕工序
该工序中，如图1?图5所示，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案3的树脂制的薄膜模具2以在两端的对接部中形成不存在反转图案3的间隙G的方式，卷绕在圆柱状的转印辊12上。
[0019]⑴薄膜模具2
[0020]薄膜模具2可以利用公知的压印技术形成，在一个例子中，如图1所示在柔性的树脂基材4上，具备具有所需的微细的凹凸图案3的树脂层6。
[0021]树脂基材4具体来说例如是由选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚酯、聚烯烃、聚酰亚胺、聚砜、聚醚砜、环状聚烯烃及聚萘二甲酸乙二醇酯中的I种构成的材料。
[0022]另一方面，作为形成树脂层6的树脂，可以举出热塑性树脂、热固化性树脂或光固化性树脂。作为树脂，可以举出丙烯酸系树脂、苯乙烯系树脂、烯烃系树脂、聚碳酸酯树脂、聚酯系树脂、环氧树脂、硅酮系树脂、以及这些树脂的混合物等。
[0023]上述的树脂层6的厚度通常为50nm?1mm，优选为500nm?500 μ m。如果设为此种厚度，则易于进行压印加工。
[0024]在形成树脂层6的树脂是热塑性树脂的情况下，通过在将树脂层6加热到玻璃化温度(Tg)以上的温度的状态下，将反转图案形成用的模具以0.5?50MPa的冲压压力保持10?600秒地冲压后，将树脂层6冷却到Tg以下的温度，将模具从树脂层6中拉开，就可以在树脂层6中形成反转图案3。另一方面，在形成树脂层6的树 脂是光固化性树脂的情况下，通过在向液状的树脂层6推压反转图案形成用的模具的状态下对树脂层6照射固化光(UV光、可见光、电子束等可以使树脂固化的能量射线的总称)而将树脂层6固化，其后，通过拉开模具，就可以在树脂层6中形成反转图案3。也可以从树脂基材4侧照射光，在模具相对于光来说是透明的情况下，还可以从模具侧照射。另外，在形成树脂层6的树脂是热固化性树脂的情况下，通过在向液状的树脂层6推压反转图案形成用的模具的状态下将树脂层6加热到固化温度而将树脂层6固化，其后，通过拉开模具，就可以在树脂层6中形成反转图案3。也可以从树脂基材4侧照射光，在模具相对于光来说具有透过性的情况下，还可以从模具侧照射。
[0025]对于树脂层6的表面形状(凹凸图案的反转图案3)没有特别限制，然而优选周期为1nm?2_、深度为1nm?500 μ m的形状，更优选周期为20nm?20 μ m、深度为50nm?Iym的形状。如果如此设定，则可以向转印体转印足够量的凹凸图案的反转图案3。作为表面形状，可以举出蛾眼、线、圆柱、独石柱、圆锥、多角锥、微透镜。
[0026]树脂层6的表面也可以实施用于防止与转印体的附着的剥离处理，剥离处理也可以是形成剥离层(未图示)的处理。形成剥离层(未图示)的脱模剂，优选由选自氟系硅烷偶联剂、具有氨基或羧基的全氟化合物及具有氨基或羧基的全氟醚化合物中的至少I种构成，更优选由选自氟系硅烷偶联剂、单末端胺化全氟(全氟醚)化合物以及单末端羧基化全氟(全氟醚)化合物的单体或单体及复合体的混合物中的至少I种构成。如果作为脱模剂使用上述的物质，则与树脂层6的密合良好，并且与进行压印的树脂的剥离性良好。剥离层(未图示)的厚度优选为0.5?20nm，更优选为0.5?10nm，最优选为0.5?5nm的范围内。而且，为了提高剥离层与树脂层6的密合性，也可以在树脂层6中添加像W02012/018045中公开的那样的具有能够与脱模剂结合的基团的添加剂。
另外，在作为形成树脂层6的树脂使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)等硅酮树脂、丙烯酸系单体与硅酮系单体的共聚物、丙烯酸系单体与氟系单体的共聚物、丙烯酸系聚合物与硅酮系单体的混合物、丙烯酸系聚合物与氟系单体的混合物等情况下，如果在树脂层6中含有剥离成分，则其后可以省略形成剥离层的工序，从这一点考虑优选。
[0027]薄膜模具2的长度优选比卷绕薄膜模具2的转印辊12的外周长度略短。该情况下，在将薄膜模具2卷绕在转印辊12上的状态下，在薄膜模具2的两端的对接部之间自然地形成间隙G，通过向该间隙G中填充树脂组合物22，在其中形成反转图案3的状态下使之固化，就可以将薄膜模具2的两端的对接部牢固地接合，并且遍及转印辊12的全周地形成连续的反转图案3。
[0028](2)双面粘贴胶带
薄膜模具2并非原样不变地贴附在转印辊12上，而是在与薄膜模具2的转印辊12相接触的面上涂布粘合剂后将薄膜模具2卷绕在转印辊12上，或者如图2所示，在薄膜模具2的卷绕面侧贴附双面粘贴胶带8，夹隔着该双面粘贴胶带8将薄膜模具2卷绕在转印辊12上。从操作性的观点考虑优选后者，因此以下对适合在本实施方式中利用的双面粘贴胶带8进行说明。而且，在双面粘贴胶带8的辊粘贴面侧，设有保护双面粘贴胶带8的粘合层的隔膜10。
[0029]双面粘贴胶带8只要是可以将薄膜模具2贴附在转印辊12上的材料，其构成就没有特别限定，然而通常来说以聚对苯二甲酸乙二醇酯制薄膜(未图示)作为芯材，优选贴附在薄膜模具2上的面(以下称作“模具粘贴面”)的粘合力大于贴附在转印辊12上的面(以下称作“辊粘贴面”)的粘合力，辊粘贴面优选为再剥离性的。在夹隔着双面粘贴胶带8将薄膜模具2贴附在转印辊12上而使用后，双面粘贴胶带8与薄膜模具2被一起剥离而废弃。所以，对于双面粘贴胶带8的模具粘贴面，为了防止双面粘贴胶带8与薄膜模具2的错移，粘合力越强越好，另一方面，对于双面粘贴胶带8的辊粘贴面，为了使得使用后从转印辊12中的剥离容易，优选在具有使用上没有问题的程度的粘合力的同时具有再剥离性。所述的成为芯材的薄膜的厚度优选12?100 μπι的范围。如果小于12 μ m，则向转印棍12上贴附时的操作性降低，如果超过100 μ m，则成为芯材的薄膜的反作用力增加，因此容易在其与转印辊12之间产生浮动，所以不够理想。从成本方面、处置性方面的观点考虑，粘合剂层优选由丙烯酸系粘合剂组合物构成。作为丙烯酸系粘合剂组合物，没有特别限定，然而例如可以举出在丙烯酸系聚合物中配合有交联剂等添加剂的组合物。粘合剂层的厚度通常在模具粘贴面及辊粘贴面都是5?50 μπι的范围。如果是该厚度的范围，则粘合剂就会起到作为缓冲材料的作用，从提高转印精度等方面考虑优选。
[0030]另外，双面粘贴胶带8与薄膜模具2的卷绕方向的端部的位置也可以是一致的，然而优选为错开的。该情况下，在夹隔着双面粘贴胶带8将薄膜模具2卷绕在转印辊12上时，由于双面粘贴胶带8的两端的对接部与薄膜模具2的两端的对接部的位置是错开的，因此填充于薄膜模具2的两端的对接部中的树脂组合物22就会填充于双面粘贴胶带8的对接部以外的部分，可以防止树脂组合物22附着于转印辊12上。
[0031]双面粘贴胶带8的长度优选与转印辊12的外周长度实质上相等。这是因为，该情况下，可以将双面粘贴胶带8遍及转印辊12的全周地没有间隙地贴附。所以，在使薄膜模具2的长度比转印辊12的外周长度略短的情况下，双面粘贴胶带8就会比薄膜模具2略长。
[0032]隔膜10只要是保护双面粘贴胶带8的辊粘贴面的粘合层、在向转印辊12上的卷绕时可以容易地剥离的材料，其构成就没有特别限定。
[0033](3)向转印辊12上的卷绕
下面，对将薄膜模具2向转印辊12上卷绕的方法进行详细说明。这里，以使用图3中所示的装置的情况为例举出进行说明，然而装置构成并不限定于此，对于卷绕方法并不限定于这里说明的方法。
[0034]图3是用于向转印材料压印凹凸图案的压印装置，薄膜模具2向转印辊12上的卷绕通常是在将转印辊12安装于压印装置上的状态下进行。该装置具备卷绕薄膜模具2的转印辊12、配置于转印辊12的上游侧并且在其与转印辊12之间夹入薄膜模具2的上游侧辊14、配置于转印辊的下流侧的下流侧辊16。在上游侧辊14的更上游处配置有送出搬送薄膜F的送出辊(未图示)，在下游侧辊16的更下游处配置有卷绕搬送薄膜F的卷绕辊(未图示)。另外，在送出辊与上游侧辊14之间设有用于向搬送薄膜上涂布光固化树脂等转印材料的涂布机(例如模涂机)18，在转印辊12的下方设有用于使转印材料固化的光照射器(例如UV灯)20。在薄膜模具2的卷绕时，不使用涂布机及光照射器。
[0035]首先，将贴附了带有隔膜10的双面粘贴胶带8的薄膜模具2如图3所示，配置于转印辊12的切线上，在沿箭头Y的方向拉剥隔膜10的同时，将带有双面粘贴胶带8的薄膜模具2插入搬送薄膜F与转印辊12之间。此时，各辊以各个辊中所示的箭头的方向旋转，带有双面粘贴胶带8的薄膜模具2由上游侧辊14向转印辊12推压，将双面粘贴胶带8的辊粘贴面贴附在转印辊12上。
[0036]当就这样旋转各辊时，就会将整个带有双面粘贴胶带8的薄膜模具2卷绕在转印辊12上，得到图4?图5中所示的构成。图5是图4中的区域A的放大图。
[0037]如图5所示，双面粘贴胶带8贴附在转印辊12的全周，成为在两端的对接部8a中实质上没有间隙的状态。但是，即使略微留出间隙也没有问题。在薄膜模具2的两端的对接部，优选存在有间隙G。间隙G的长度(将辊的圆周方向的长度称作“长度”，将辊的旋转轴方向的长度称作“宽度”。)没有特别限定，然而例如为0.1?10mm，优选为0.5?5mm。
[0038]1- 2.树脂填充工序
该工序中，如图6所示，向间隙G中填充树脂组合物22。填充树脂组合物22的方法没有特别限定，然而例如可以使用微量吸管进行。
[0039]树脂组合物22是热或光固 化性树脂。作为树脂，可以举出丙烯酸树脂、环氧树脂、硅酮树脂。如果是热或光固化性，就可以在图案形成后容易地固化，因此处置十分容易。
[0040]树脂组合物22优选含有剥离成分的树脂(以下简称为“剥离性树脂”)。这是因为，如果使用剥离性树脂，则即使在树脂组合物22中形成反转图案后没有形成剥离层，也可以在凹凸图案向转印材料的压印时防止转印材料的附着。作为剥离性树脂，可以举出所述的热或光固化性树脂与剥离剂的混合物、聚二甲基硅氧烷(PDMS)等硅酮树脂、丙烯酸系单体与硅酮系单体(包括大分子单体)的共聚物、丙烯酸系单体与氟系单体(包括大分子单体)的共聚物等，优选热或光固化性树脂与剥离剂的混合物及硅酮树脂。如果是这些树脂，则可以廉价且容易地获得，并且对于利用卷对卷工艺转印凹凸图案的反转图案的转印材料可以充分地发挥剥离性。另外，如果是光或热固化性，就可以在图案形成后容易地固化，因此处置十分容易。而且，作为剥离剂，可以举出硅酮化合物、氟化合物、醇酸树脂、长链烷基化合物、石蜡等。
[0041]所填充的树脂组合物22的上面优选与反转图案3的上面相同或比之更高。这是因为，如果树脂组合物22的填充量过少，则在后续工序中，很难在树脂组合物22中形成与反转图案3实质上相同的图案。
[0042]1- 3.图案形成工序
该工序中，在树脂组合物22中，形成与反转图案3实质上相同的图案3a。具体来说，在树脂组合物22是光固化性树脂的情况下，如图7所示，通过在将具有与凹凸图案实质上相同的图案的图案追加用模具24推压在树脂组合物22上的状态下，使用光照射器26对树脂组合物22照射光，就会如图8所示，在树脂组合物22中形成与反转图案3实质上相同的图案3a。图案追加用模具24优选相对于使树脂组合物22固化的光具有透过性，该情况下，可以穿过图案追加用模具24对树脂组合物22照射光。图案追加用模具24例如可以用树脂、石英来形成。
[0043]图案追加用模具24的图案面(转印辊12侧的面)优选具有与转印辊12实质上相等的曲率。该情况下，所形成的图案3a就会成为与转印辊12的外周更加吻合的形状。另夕卜，图案追加用模具24优选为具有像薄膜模具那样的柔软性的模具。该情况下，通过在使图案追加用模具24沿着转印辊12的外周的形状变形的状态下使树脂组合物22固化，就可以形成与转印辊12的外周更加吻合的形状的图案3a。
[0044]在将图案追加用模具24推靠在树脂组合物22上时，会有剩余树脂溢出而附着于反转图案3上的情况，然而通过对反转图案3的表面预先实施剥离处理、或对间隙G的外周实施防露光处理，就可以容易地将附着的剩余树脂除去。
[0045]对于图案3a，在树脂组合物22并非剥离性树脂的情况下，优选实施与上述的剥离处理相同的剥离处理。
[0046]利用以上的工序，得到遍及转印辊12的全周地具有没有中断的反转图案3的压印用模具。
[0047]如果使用该压印用模具，则可以在转印材料中连续地形成凹凸图案。具体来说，例如通过在使图3所示的压印装置的各辊旋转而搬送搬送薄膜F的同时，从涂布机18中喷出转印材料(例如光固化性树脂)，而在搬送薄膜F上涂布转印材料，通过向该转印材料推压卷绕在转印辊12上的无缝的压印用模具，在该状态下从光照射器20向转印材料照射使转印材料固化的光而使转印材料固化，就可以在转印材料中连续地形成凹凸图案。
[0048]2.第二实施方式
本发明的第二实施方式与第一实施方式类似，然而本实施方式中，如图9所示，在薄膜模具2的卷绕方向的一端，设有未设置反转图案3的无图案区域5，在这一点上不同。
[0049]此种构成的薄膜模具2中，也可以将薄膜模具2的长度(也就是树脂基材4的长度)设为与卷绕薄膜模具2的转印辊12的外周相同的程度。该情况下，在将薄膜模具2卷绕在转印辊12上后的状态下，如图10所示，变成在树脂基材4的两端的对接部4a中实质上没有间隙的状态，当在该状态下将树脂组合物22填充到间隙G中时，就会如图11所示，将树脂组合物22填充到树脂基材4上。
[0050]然后，当利用与第一实施方式相同的方法在树脂组合物22中形成与反转图案3实质上相同的图案3a时，即得到图12所示的构成。
[0051]利用以上的工序，得到遍及转印辊22的全周地具有没有中断的反转图案3的压印用模具。
[0052]从图6与图11的比较可以清楚地看到，本实施方式中，树脂组合物22被填充在树脂基材4上，因此如图6所示，与向双面粘贴胶带8上填充树脂组合物22的情况相比，可以减少树脂组合物22的量，从而可以实现制造的效率提尚。
【符号说明】
[0053]2:薄膜模具、3:反转图案、4:树脂基材、4a:树脂基材的两端的对接部、6:树脂层、8:双面粘贴胶带、8a:双面粘贴胶带的两端的对接部、10:隔膜、12:转印辊、14:上游侧辊、16:下流侧辊、18:涂布机、20:光照射器、22:树脂组合物、24:图案追加用模具、F:搬送薄膜、G:间隙。
【主权项】
1.一种压印用模具的制造方法，其具备: 卷绕工序，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式，卷绕在圆柱状的转印辊上； 树脂填充工序，向所述间隙中填充树脂组合物； 图案形成工序，在所述树脂组合物中，形成与所述反转图案实质上相同的图案。2.如权利要求1所述的制造方法，其中， 所述树脂组合物是光固化性树脂， 所述图案形成工序中，通过在将具有与所述凹凸图案实质上相同的图案的图案追加用模具推压在所述树脂组合物上的状态下，对所述树脂组合物照射光，而形成所述图案。3.如权利要求2所述的制造方法，其中， 所述图案追加用模具相对于所述光具有透过性，穿过所述图案追加用模具对所述树脂组合物照射所述光。4.如权利要求1?3中任一项所述的制造方法，其中， 所述卷绕工序是通过向所述薄膜模具上贴附双面粘贴胶带的一側的面，将所述双面粘贴胶带的另一側的面贴附在所述转印辊上而进行。5.如权利要求4所述的制造方法，其中， 所述双面粘贴胶带与所述薄膜模具的所述卷绕方向的端部的位置是错开的。6.如权利要求1?5中任一项所述的制造方法，其中， 所述树脂组合物是剥离性树脂。7.—种压印用模具，其具备: 圆柱状的转印辊，和 卷绕在所述转印辊上并且形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具， 所述薄膜模具被以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式卷绕， 在所述间隙中填充有具有与所述反转图案实质上相同的图案的树脂组合物。8.一种压印用模具制造组件，其具备: 形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具； 填充在将所述薄膜模具卷绕在圆柱状的转印辊上时的、两端的对接部的不存在所述反转图案的间隙中的树脂组合物； 用于在所述树脂组合物中形成与所述反转图案实质上相同的图案的图案追加用模具。
【专利摘要】本发明提供一种可以防止转印树脂向薄膜模具的接合部上的堆积的压印用模具的制造方法。根据本发明，可以提供一种压印用模具的制造方法，其具备：卷绕工序，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式，卷绕在圆柱状的转印辊上；树脂填充工序，向所述间隙中填充树脂组合物；图案形成工序，在所述树脂组合物中，形成与所述反转图案实质上相同的图案。
【IPC分类】B29C59/04, B29C33/38, H01L21/027
【公开号】CN104903072
【申请号】CN201380060898
【发明人】三泽毅秀, 坂田郁美
【申请人】综研化学株式会社
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2013年11月18日
【公告号】EP2923817A1, US20150290847, WO2014080857A1
【技术领域】
】
[0001]本发明涉及压印用模具的制造方法、压印用模具、以及压印用模具制造组件。【【背景技术】】
[0002]所谓压印技术，是将具有所需的微细的凹凸图案的反转图案的模具向基板上的液状树脂等转印材料按压、并借此将模具的反转图案向转印材料转印的微细加工技术。作为微细的凹凸图案的反转图案，存在有从1nm水平的纳米尺度的图案到10ym左右的图案，被用于半导体材料、光学材料、存储介质、微型机器、生物、环境等各种领域中。
[0003]作为反转图案向转印材料上的转印方法，有如下的方法，S卩，使用将薄膜模具卷绕在转印辊上而制作的辊筒状的压印用模具、或利用金属的切削制作的金属辊，利用卷对卷工艺向转印材料连续转印反转图案。
[0004]在从薄膜模具制成辊筒状的压印用模具时，需要将薄膜模具的两端接合。作为薄膜模具的接合方法，在专利文献I中，公开过如下的技术，S卩，将对接了的树脂薄膜的端部用一对加热器夹入，用该加热器进行加压熔接；或将所要接合的树脂薄膜的端部以叠加的状态配置，从该状态起对适合的部分进行加压熔接。
【现有技术文献】
【专利文献】
[0005]【专利文献1】冊2011/049097号
【
【发明内容】
】
【发明所要解决的问题】
[0006]但是，在将树脂薄膜的端部彼此对接后加压熔接的情况下，无法将接合部充分地接合，其后会有发生背离的问题、或在接合部堆积转印树脂的问题。
[0007]另一方面，在将应当接合的树脂薄膜的端部间设为部分叠加的状态后对适合的部分进行加压熔接的情况下，虽然两者的接合性提高，然而在接合部产生高低差，从而会有在该高低差处堆积转印树脂的问题。
[0008]本发明是鉴于此种实际情况而完成的，提供一种可以防止转印树脂向薄膜模具的接合部的堆积的压印用模具的制造方法。
【用于解决问题的手段】
[0009]根据本发明，提供一种压印用模具的制造方法，其具备:
卷绕工序，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式，卷绕在圆柱状的转印辊上；
树脂填充工序，向所述间隙中填充树脂组合物；
图案形成工序，在所述树脂组合物中，形成与所述反转图案实质上相同的图案。
[0010]如果是此种薄膜模具的接合方法，则可以将薄膜模具的端部的对接部牢固地接合。此外，由于在对接部的间隙中填充有树脂组合物，因此不会有转印材料的树脂进入间隙内的情况。另外，由于进行可靠的接合，因此可以防止接合部局部地剥离等不佳状况。
[0011]另外，在单纯地向间隙中填充树脂组合物的情况下，由于在该部分不形成反转图案，因此向转印材料转印的凹凸图案也会在与对接部的间隙对应的位置产生条纹状的无转印部。但是，本发明中，由于在该树脂组合物中也形成与反转图案实质上相同的图案，因此不产生无转印部，可以转印连续的凹凸图案。
[0012]以下，例示出本发明的各种实施方式。以下所示的实施方式可以互相组合。
优选所述树脂组合物是光固化性树脂，所述图案形成工序中，通过在将具有与所述凹凸图案实质上相同的图案的图案追加用模具推压在所述树脂组合物上的状态下，向所述树脂组合物照射光，而形成所述图案。
优选所述图案追加用模具相对于所述光具有透过性，穿过所述图案追加用模具向所述树脂组合物照射所述光。
优选所述卷绕工序是通过在所述薄膜模具上贴附双面粘贴胶带的一方的面，将所述双面粘贴胶带的另一方的面贴附在所述转印辊上而进行。
优选所述双面粘贴胶带与所述薄膜模具的所述卷绕方向的端部的位置是错开的。
优选所述树脂组合物是剥离性树脂。
[0013]另外，根据另外的观点，本发明还提供一种压印用模具，其具备圆柱状的转印辊、卷绕在所述转印辊上并且形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具，所述薄膜模具被以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式卷绕，在所述间隙中，填充有具有与所述反转图案实质上相同的图案的树脂组合物。
[0014]另外，根据另外的观点，本发明还提供一种压印用模具制造组件，其具备形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具；填充在将所述薄膜模具卷绕在圆柱状的转印辊上时的、两端的对接部的不存在所述反转图案的间隙中的树脂组合物；用于在所述树脂组合物中形成与所述反转图案实质上相同的图案的图案追加用模具。
【【附图说明】】
[0015]图1是本发明的第一实施方式的薄膜模具的剖面图。
图2是表示在图1的薄膜模具上贴附了双面粘贴胶带的状态的剖面图。
图3是表示将图2的带有双面粘贴胶带的薄膜模具卷绕在转印辊上的工序的剖面图。 图4是图3的续图，表示将薄膜模具卷绕在转印辊上后的状态的剖面图。
图5是图4中的区域A的放大图。
图6是图5的续图，表示向薄膜模具的两端的对接部的间隙中填充了树脂组合物的状
??τ O
图7是图6的续图，表示在树脂组合物中进行图案形成的工序。
图8是图7的续图，表示在树脂组合物中形成图案后的状态。
图9是表示本发明的第二实施方式的薄膜模具的剖面图。
图10是使用图9的薄膜模具的情况下的与图5对应的图。
图11是图10的续图，表示向薄膜模具的两端的对接部的间隙中填充了树脂组合物的状态。
图12是图11的续图，表示在树脂组合物中形成图案后的状态。【【具体实施方式】】
[0016]以下，在参照附图的同时，对本发明的优选的实施方式进行具体说明。
[0017]1.第一实施方式
使用图1?图8，对本发明的第一实施方式的压印用模具的制造方法进行说明。本实施方式的压印用模具的制造方法具备:卷绕工序，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案3的树脂制的薄膜模具2以在两端的对接部中形成不存在反转图案3的间隙G的方式，卷绕在圆柱状的转印辊12上；树脂填充工序，向间隙G中填充树脂组合物22 ;图案形成工序，在树脂组合物22中，形成与反转图案3实质上相同的图案3a。
以下，对各工序进行详细说明。
[0018]I — 1.卷绕工序
该工序中，如图1?图5所示，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案3的树脂制的薄膜模具2以在两端的对接部中形成不存在反转图案3的间隙G的方式，卷绕在圆柱状的转印辊12上。
[0019]⑴薄膜模具2
[0020]薄膜模具2可以利用公知的压印技术形成，在一个例子中，如图1所示在柔性的树脂基材4上，具备具有所需的微细的凹凸图案3的树脂层6。
[0021]树脂基材4具体来说例如是由选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚酯、聚烯烃、聚酰亚胺、聚砜、聚醚砜、环状聚烯烃及聚萘二甲酸乙二醇酯中的I种构成的材料。
[0022]另一方面，作为形成树脂层6的树脂，可以举出热塑性树脂、热固化性树脂或光固化性树脂。作为树脂，可以举出丙烯酸系树脂、苯乙烯系树脂、烯烃系树脂、聚碳酸酯树脂、聚酯系树脂、环氧树脂、硅酮系树脂、以及这些树脂的混合物等。
[0023]上述的树脂层6的厚度通常为50nm?1mm，优选为500nm?500 μ m。如果设为此种厚度，则易于进行压印加工。
[0024]在形成树脂层6的树脂是热塑性树脂的情况下，通过在将树脂层6加热到玻璃化温度(Tg)以上的温度的状态下，将反转图案形成用的模具以0.5?50MPa的冲压压力保持10?600秒地冲压后，将树脂层6冷却到Tg以下的温度，将模具从树脂层6中拉开，就可以在树脂层6中形成反转图案3。另一方面，在形成树脂层6的树 脂是光固化性树脂的情况下，通过在向液状的树脂层6推压反转图案形成用的模具的状态下对树脂层6照射固化光(UV光、可见光、电子束等可以使树脂固化的能量射线的总称)而将树脂层6固化，其后，通过拉开模具，就可以在树脂层6中形成反转图案3。也可以从树脂基材4侧照射光，在模具相对于光来说是透明的情况下，还可以从模具侧照射。另外，在形成树脂层6的树脂是热固化性树脂的情况下，通过在向液状的树脂层6推压反转图案形成用的模具的状态下将树脂层6加热到固化温度而将树脂层6固化，其后，通过拉开模具，就可以在树脂层6中形成反转图案3。也可以从树脂基材4侧照射光，在模具相对于光来说具有透过性的情况下，还可以从模具侧照射。
[0025]对于树脂层6的表面形状(凹凸图案的反转图案3)没有特别限制，然而优选周期为1nm?2_、深度为1nm?500 μ m的形状，更优选周期为20nm?20 μ m、深度为50nm?Iym的形状。如果如此设定，则可以向转印体转印足够量的凹凸图案的反转图案3。作为表面形状，可以举出蛾眼、线、圆柱、独石柱、圆锥、多角锥、微透镜。
[0026]树脂层6的表面也可以实施用于防止与转印体的附着的剥离处理，剥离处理也可以是形成剥离层(未图示)的处理。形成剥离层(未图示)的脱模剂，优选由选自氟系硅烷偶联剂、具有氨基或羧基的全氟化合物及具有氨基或羧基的全氟醚化合物中的至少I种构成，更优选由选自氟系硅烷偶联剂、单末端胺化全氟(全氟醚)化合物以及单末端羧基化全氟(全氟醚)化合物的单体或单体及复合体的混合物中的至少I种构成。如果作为脱模剂使用上述的物质，则与树脂层6的密合良好，并且与进行压印的树脂的剥离性良好。剥离层(未图示)的厚度优选为0.5?20nm，更优选为0.5?10nm，最优选为0.5?5nm的范围内。而且，为了提高剥离层与树脂层6的密合性，也可以在树脂层6中添加像W02012/018045中公开的那样的具有能够与脱模剂结合的基团的添加剂。
另外，在作为形成树脂层6的树脂使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)等硅酮树脂、丙烯酸系单体与硅酮系单体的共聚物、丙烯酸系单体与氟系单体的共聚物、丙烯酸系聚合物与硅酮系单体的混合物、丙烯酸系聚合物与氟系单体的混合物等情况下，如果在树脂层6中含有剥离成分，则其后可以省略形成剥离层的工序，从这一点考虑优选。
[0027]薄膜模具2的长度优选比卷绕薄膜模具2的转印辊12的外周长度略短。该情况下，在将薄膜模具2卷绕在转印辊12上的状态下，在薄膜模具2的两端的对接部之间自然地形成间隙G，通过向该间隙G中填充树脂组合物22，在其中形成反转图案3的状态下使之固化，就可以将薄膜模具2的两端的对接部牢固地接合，并且遍及转印辊12的全周地形成连续的反转图案3。
[0028](2)双面粘贴胶带
薄膜模具2并非原样不变地贴附在转印辊12上，而是在与薄膜模具2的转印辊12相接触的面上涂布粘合剂后将薄膜模具2卷绕在转印辊12上，或者如图2所示，在薄膜模具2的卷绕面侧贴附双面粘贴胶带8，夹隔着该双面粘贴胶带8将薄膜模具2卷绕在转印辊12上。从操作性的观点考虑优选后者，因此以下对适合在本实施方式中利用的双面粘贴胶带8进行说明。而且，在双面粘贴胶带8的辊粘贴面侧，设有保护双面粘贴胶带8的粘合层的隔膜10。
[0029]双面粘贴胶带8只要是可以将薄膜模具2贴附在转印辊12上的材料，其构成就没有特别限定，然而通常来说以聚对苯二甲酸乙二醇酯制薄膜(未图示)作为芯材，优选贴附在薄膜模具2上的面(以下称作“模具粘贴面”)的粘合力大于贴附在转印辊12上的面(以下称作“辊粘贴面”)的粘合力，辊粘贴面优选为再剥离性的。在夹隔着双面粘贴胶带8将薄膜模具2贴附在转印辊12上而使用后，双面粘贴胶带8与薄膜模具2被一起剥离而废弃。所以，对于双面粘贴胶带8的模具粘贴面，为了防止双面粘贴胶带8与薄膜模具2的错移，粘合力越强越好，另一方面，对于双面粘贴胶带8的辊粘贴面，为了使得使用后从转印辊12中的剥离容易，优选在具有使用上没有问题的程度的粘合力的同时具有再剥离性。所述的成为芯材的薄膜的厚度优选12?100 μπι的范围。如果小于12 μ m，则向转印棍12上贴附时的操作性降低，如果超过100 μ m，则成为芯材的薄膜的反作用力增加，因此容易在其与转印辊12之间产生浮动，所以不够理想。从成本方面、处置性方面的观点考虑，粘合剂层优选由丙烯酸系粘合剂组合物构成。作为丙烯酸系粘合剂组合物，没有特别限定，然而例如可以举出在丙烯酸系聚合物中配合有交联剂等添加剂的组合物。粘合剂层的厚度通常在模具粘贴面及辊粘贴面都是5?50 μπι的范围。如果是该厚度的范围，则粘合剂就会起到作为缓冲材料的作用，从提高转印精度等方面考虑优选。
[0030]另外，双面粘贴胶带8与薄膜模具2的卷绕方向的端部的位置也可以是一致的，然而优选为错开的。该情况下，在夹隔着双面粘贴胶带8将薄膜模具2卷绕在转印辊12上时，由于双面粘贴胶带8的两端的对接部与薄膜模具2的两端的对接部的位置是错开的，因此填充于薄膜模具2的两端的对接部中的树脂组合物22就会填充于双面粘贴胶带8的对接部以外的部分，可以防止树脂组合物22附着于转印辊12上。
[0031]双面粘贴胶带8的长度优选与转印辊12的外周长度实质上相等。这是因为，该情况下，可以将双面粘贴胶带8遍及转印辊12的全周地没有间隙地贴附。所以，在使薄膜模具2的长度比转印辊12的外周长度略短的情况下，双面粘贴胶带8就会比薄膜模具2略长。
[0032]隔膜10只要是保护双面粘贴胶带8的辊粘贴面的粘合层、在向转印辊12上的卷绕时可以容易地剥离的材料，其构成就没有特别限定。
[0033](3)向转印辊12上的卷绕
下面，对将薄膜模具2向转印辊12上卷绕的方法进行详细说明。这里，以使用图3中所示的装置的情况为例举出进行说明，然而装置构成并不限定于此，对于卷绕方法并不限定于这里说明的方法。
[0034]图3是用于向转印材料压印凹凸图案的压印装置，薄膜模具2向转印辊12上的卷绕通常是在将转印辊12安装于压印装置上的状态下进行。该装置具备卷绕薄膜模具2的转印辊12、配置于转印辊12的上游侧并且在其与转印辊12之间夹入薄膜模具2的上游侧辊14、配置于转印辊的下流侧的下流侧辊16。在上游侧辊14的更上游处配置有送出搬送薄膜F的送出辊(未图示)，在下游侧辊16的更下游处配置有卷绕搬送薄膜F的卷绕辊(未图示)。另外，在送出辊与上游侧辊14之间设有用于向搬送薄膜上涂布光固化树脂等转印材料的涂布机(例如模涂机)18，在转印辊12的下方设有用于使转印材料固化的光照射器(例如UV灯)20。在薄膜模具2的卷绕时，不使用涂布机及光照射器。
[0035]首先，将贴附了带有隔膜10的双面粘贴胶带8的薄膜模具2如图3所示，配置于转印辊12的切线上，在沿箭头Y的方向拉剥隔膜10的同时，将带有双面粘贴胶带8的薄膜模具2插入搬送薄膜F与转印辊12之间。此时，各辊以各个辊中所示的箭头的方向旋转，带有双面粘贴胶带8的薄膜模具2由上游侧辊14向转印辊12推压，将双面粘贴胶带8的辊粘贴面贴附在转印辊12上。
[0036]当就这样旋转各辊时，就会将整个带有双面粘贴胶带8的薄膜模具2卷绕在转印辊12上，得到图4?图5中所示的构成。图5是图4中的区域A的放大图。
[0037]如图5所示，双面粘贴胶带8贴附在转印辊12的全周，成为在两端的对接部8a中实质上没有间隙的状态。但是，即使略微留出间隙也没有问题。在薄膜模具2的两端的对接部，优选存在有间隙G。间隙G的长度(将辊的圆周方向的长度称作“长度”，将辊的旋转轴方向的长度称作“宽度”。)没有特别限定，然而例如为0.1?10mm，优选为0.5?5mm。
[0038]1- 2.树脂填充工序
该工序中，如图6所示，向间隙G中填充树脂组合物22。填充树脂组合物22的方法没有特别限定，然而例如可以使用微量吸管进行。
[0039]树脂组合物22是热或光固 化性树脂。作为树脂，可以举出丙烯酸树脂、环氧树脂、硅酮树脂。如果是热或光固化性，就可以在图案形成后容易地固化，因此处置十分容易。
[0040]树脂组合物22优选含有剥离成分的树脂(以下简称为“剥离性树脂”)。这是因为，如果使用剥离性树脂，则即使在树脂组合物22中形成反转图案后没有形成剥离层，也可以在凹凸图案向转印材料的压印时防止转印材料的附着。作为剥离性树脂，可以举出所述的热或光固化性树脂与剥离剂的混合物、聚二甲基硅氧烷(PDMS)等硅酮树脂、丙烯酸系单体与硅酮系单体(包括大分子单体)的共聚物、丙烯酸系单体与氟系单体(包括大分子单体)的共聚物等，优选热或光固化性树脂与剥离剂的混合物及硅酮树脂。如果是这些树脂，则可以廉价且容易地获得，并且对于利用卷对卷工艺转印凹凸图案的反转图案的转印材料可以充分地发挥剥离性。另外，如果是光或热固化性，就可以在图案形成后容易地固化，因此处置十分容易。而且，作为剥离剂，可以举出硅酮化合物、氟化合物、醇酸树脂、长链烷基化合物、石蜡等。
[0041]所填充的树脂组合物22的上面优选与反转图案3的上面相同或比之更高。这是因为，如果树脂组合物22的填充量过少，则在后续工序中，很难在树脂组合物22中形成与反转图案3实质上相同的图案。
[0042]1- 3.图案形成工序
该工序中，在树脂组合物22中，形成与反转图案3实质上相同的图案3a。具体来说，在树脂组合物22是光固化性树脂的情况下，如图7所示，通过在将具有与凹凸图案实质上相同的图案的图案追加用模具24推压在树脂组合物22上的状态下，使用光照射器26对树脂组合物22照射光，就会如图8所示，在树脂组合物22中形成与反转图案3实质上相同的图案3a。图案追加用模具24优选相对于使树脂组合物22固化的光具有透过性，该情况下，可以穿过图案追加用模具24对树脂组合物22照射光。图案追加用模具24例如可以用树脂、石英来形成。
[0043]图案追加用模具24的图案面(转印辊12侧的面)优选具有与转印辊12实质上相等的曲率。该情况下，所形成的图案3a就会成为与转印辊12的外周更加吻合的形状。另夕卜，图案追加用模具24优选为具有像薄膜模具那样的柔软性的模具。该情况下，通过在使图案追加用模具24沿着转印辊12的外周的形状变形的状态下使树脂组合物22固化，就可以形成与转印辊12的外周更加吻合的形状的图案3a。
[0044]在将图案追加用模具24推靠在树脂组合物22上时，会有剩余树脂溢出而附着于反转图案3上的情况，然而通过对反转图案3的表面预先实施剥离处理、或对间隙G的外周实施防露光处理，就可以容易地将附着的剩余树脂除去。
[0045]对于图案3a，在树脂组合物22并非剥离性树脂的情况下，优选实施与上述的剥离处理相同的剥离处理。
[0046]利用以上的工序，得到遍及转印辊12的全周地具有没有中断的反转图案3的压印用模具。
[0047]如果使用该压印用模具，则可以在转印材料中连续地形成凹凸图案。具体来说，例如通过在使图3所示的压印装置的各辊旋转而搬送搬送薄膜F的同时，从涂布机18中喷出转印材料(例如光固化性树脂)，而在搬送薄膜F上涂布转印材料，通过向该转印材料推压卷绕在转印辊12上的无缝的压印用模具，在该状态下从光照射器20向转印材料照射使转印材料固化的光而使转印材料固化，就可以在转印材料中连续地形成凹凸图案。
[0048]2.第二实施方式
本发明的第二实施方式与第一实施方式类似，然而本实施方式中，如图9所示，在薄膜模具2的卷绕方向的一端，设有未设置反转图案3的无图案区域5，在这一点上不同。
[0049]此种构成的薄膜模具2中，也可以将薄膜模具2的长度(也就是树脂基材4的长度)设为与卷绕薄膜模具2的转印辊12的外周相同的程度。该情况下，在将薄膜模具2卷绕在转印辊12上后的状态下，如图10所示，变成在树脂基材4的两端的对接部4a中实质上没有间隙的状态，当在该状态下将树脂组合物22填充到间隙G中时，就会如图11所示，将树脂组合物22填充到树脂基材4上。
[0050]然后，当利用与第一实施方式相同的方法在树脂组合物22中形成与反转图案3实质上相同的图案3a时，即得到图12所示的构成。
[0051]利用以上的工序，得到遍及转印辊22的全周地具有没有中断的反转图案3的压印用模具。
[0052]从图6与图11的比较可以清楚地看到，本实施方式中，树脂组合物22被填充在树脂基材4上，因此如图6所示，与向双面粘贴胶带8上填充树脂组合物22的情况相比，可以减少树脂组合物22的量，从而可以实现制造的效率提尚。
【符号说明】
[0053]2:薄膜模具、3:反转图案、4:树脂基材、4a:树脂基材的两端的对接部、6:树脂层、8:双面粘贴胶带、8a:双面粘贴胶带的两端的对接部、10:隔膜、12:转印辊、14:上游侧辊、16:下流侧辊、18:涂布机、20:光照射器、22:树脂组合物、24:图案追加用模具、F:搬送薄膜、G:间隙。
【主权项】
1.一种压印用模具的制造方法，其具备: 卷绕工序，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式，卷绕在圆柱状的转印辊上； 树脂填充工序，向所述间隙中填充树脂组合物； 图案形成工序，在所述树脂组合物中，形成与所述反转图案实质上相同的图案。2.如权利要求1所述的制造方法，其中， 所述树脂组合物是光固化性树脂， 所述图案形成工序中，通过在将具有与所述凹凸图案实质上相同的图案的图案追加用模具推压在所述树脂组合物上的状态下，对所述树脂组合物照射光，而形成所述图案。3.如权利要求2所述的制造方法，其中， 所述图案追加用模具相对于所述光具有透过性，穿过所述图案追加用模具对所述树脂组合物照射所述光。4.如权利要求1?3中任一项所述的制造方法，其中， 所述卷绕工序是通过向所述薄膜模具上贴附双面粘贴胶带的一側的面，将所述双面粘贴胶带的另一側的面贴附在所述转印辊上而进行。5.如权利要求4所述的制造方法，其中， 所述双面粘贴胶带与所述薄膜模具的所述卷绕方向的端部的位置是错开的。6.如权利要求1?5中任一项所述的制造方法，其中， 所述树脂组合物是剥离性树脂。7.—种压印用模具，其具备: 圆柱状的转印辊，和 卷绕在所述转印辊上并且形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具， 所述薄膜模具被以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式卷绕， 在所述间隙中填充有具有与所述反转图案实质上相同的图案的树脂组合物。8.一种压印用模具制造组件，其具备: 形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具； 填充在将所述薄膜模具卷绕在圆柱状的转印辊上时的、两端的对接部的不存在所述反转图案的间隙中的树脂组合物； 用于在所述树脂组合物中形成与所述反转图案实质上相同的图案的图案追加用模具。
【专利摘要】本发明提供一种可以防止转印树脂向薄膜模具的接合部上的堆积的压印用模具的制造方法。根据本发明，可以提供一种压印用模具的制造方法，其具备：卷绕工序，将形成有所需的微细的凹凸图案的反转图案的树脂制的薄膜模具以在两端的对接部中形成不存在所述反转图案的间隙的方式，卷绕在圆柱状的转印辊上；树脂填充工序，向所述间隙中填充树脂组合物；图案形成工序，在所述树脂组合物中，形成与所述反转图案实质上相同的图案。
【IPC分类】B29C59/04, B29C33/38, H01L21/027
【公开号】CN104903072
【申请号】CN201380060898
【发明人】三泽毅秀, 坂田郁美
【申请人】综研化学株式会社
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2013年11月18日
【公告号】EP2923817A1, US20150290847, WO2014080857A1
最新回复(0)