感光性树脂层叠体卷的制作方法
感光性树脂层叠体卷的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及感光性树脂层叠体卷。
【背景技术】
[0002] 以往，作为感光性元件的包装公开了几种方式。例如公开了为了保护卷端面而设 置端面保护部件的包装（专利文献1)。
[0003] 现有技术文献
[0004] 专利文献
[0005] 专利文献1 :日本特开2005-41537号公报
【发明内容】
[0006] 发明要解决的问题
[0007] 本发明要解决的课题在于，提供在启封时可以简单地将异物从感光性树脂层叠体 卷端面去除的感光性树脂层叠体卷。
[0008] 用于解决问题的方案
[0009] 上述课题可以通过本发明的以下技术方案来解决。即本发明如下：
[0010] [1]
[0011] 一种感光性树脂层叠体卷，其中，将感光性树脂层叠体在卷芯上卷绕成卷状，卷端 面保护部件按照与卷绕起来的感光性树脂层叠体的端面接触的方式配置，
[0012] 所述卷端面保护部件在用于与卷端面接触的侧具有粘合剂组合物，
[0013] 所述感光性树脂层叠体至少包含支撑层、和层叠于该支撑层的感光性树脂层。
[0014] [2]
[0015] 根据第[1]项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，其由遮光片材覆盖。
[0016] [3]
[0017] 根据第[2]项述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述遮光片材为筒状。
[0018] [4]
[0019] 根据第[1]~[3]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其中，
[0020] 所述卷芯的长度比所述感光性树脂层叠体的宽度长，
[0021] 所述卷端面保护部件为配置于在卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的端面的环状 片材，该环状片材以贯穿所述卷芯的伸出部的方式配置。
[0022] [5]
[0023] 根据第[4]项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述环状片材的内径为 卷芯外径的1~1. 1倍。
[0024] [6]
[0025] 根据第[4]或[5]项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，
[0026] 所述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出的平板上，将所述环 状片材的存在于空中的部分中离平板最远的所述环状片材的前端、与平板的与所述环状片 材接触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、所述环状片材外径的一半设为R(mm)时，H/ R 为 0· 06 ~0· 59。
[0027] [7]
[0028] 根据第[1]~[6]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述端面 保护部件与低密度聚乙稀薄膜的粘接力为5gf/inch~250gf/inch。
[0029] [8]
[0030] 根据第[1]~[7]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述卷端 面保护部件的基材为无尘纸、低尘纸、合成纸、或者、纸与树脂基材贴合而成的物质。
[0031] [9]
[0032] 根据第[1]~[8]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述感光 性树脂层是包含感光性树脂组合物的层，所述感光性树脂组合物包含含有羧基的碱可溶性 高分子、加成聚合性单体、光聚合引发剂。
[0033] [10]
[0034] 根据第[9]项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述含有羧基的碱可溶 性高分子为苯乙烯或其衍生物共聚而成的物质。
[0035] [11]
[0036] 根据第[9]或[10]项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述加成聚合性 单体包含双酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物。
[0037] [12]
[0038] 根据第[9]~[11]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述光 聚合引发剂包含六芳基联咪唑或其衍生物。
[0039] [13]
[0040] 根据第[1]~[12]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述粘 合剂组合物包含丙烯酸（酯）系树脂。
[0041] [14]
[0042] 根据第[1]~[13]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述粘 合剂组合物含有粘合剂和颗粒，该颗粒的50质量％以上具有该粘合剂组合物的涂布厚度 的80~120%的直径，并且该颗粒的含量相对于100重量份粘合剂为5重量份至30重量 份。
[0043] [15]
[0044] 一种感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在于，
[0045] 在卷芯上卷绕成卷状的感光性树脂层叠体，以与卷绕起来的感光性树脂层叠体的 端面接触方式配置卷端面保护部件，其中，
[0046] 该卷芯的长度比该感光性树脂层叠体的宽度长，
[0047] 该感光性树脂层叠体至少包含支撑层、和层叠于该支撑层的感光性树脂层，
[0048] 该卷端面保护部件在与卷端面接触的侧具有粘合剂组合物，
[0049] 该卷端面保护部件是下述环状片材：以一体或分割成多个部分的状态在卷绕成卷 状的感光性树脂层叠体的端面配置，在配置于卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的端面上后 该环状片材的内径为卷芯外径的1~I. 1倍。
[0050] [16]
[0051] 根据第[15]项所述的感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在于，所述环状片 材的内径为所述卷芯的外径的1. 001~1. 1倍，以贯穿所述卷芯的伸出部的方式配置所述 环状片材。
[0052] [17]
[0053] 根据第[15]或[16]项所述的感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在于，
[0054] 所述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出的平板上，将所述环 状片材的存在于空中的部分中离平板最远的所述环状片材的前端、与平板的与所述环状片 材接触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、所述环状片材外径的一半设为R(mm)时，H/ R 为 0· 06 ~0· 59。
[0055] [18]
[0056] 根据第[15]~[17]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征 在于，所述环状片材与低密度聚乙稀薄膜的粘接力为5gf/inch~250gf/inch。
[0057] [19]
[0058] -种感光性树脂层叠体卷的包装方法，其特征在于，使用权利要求15~18中任一 项所述的方法制造感光性树脂层叠体卷，进一步由筒状的遮光片材覆盖所述感光性树脂层 叠体卷。
[0059] [20]
[0060] 一种环状片材，其为薄膜在卷芯上卷绕成卷状的薄膜卷用的环状片材，其中，
[0061] 所述卷芯的长度比所述薄膜的宽度长，
[0062] 所述环状片材的内径为卷芯外径的1~I. 1倍，并且
[0063] 所述环状片材与所述卷绕的薄膜的端面接触，在所述环状片材的与该端面接触的 侧具有粘合剂组合物，以贯穿所述卷芯的伸出部的方式配置在薄膜卷上。
[0064] [21]
[0065] 根据第[20]项所述的环状片材，其中，所述薄膜为感光性树脂层叠体。
[0066] [22]
[0067] 根据第[20]或[21]项所述的环状片材，其特征在于，
[0068] 所述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出的平板上，将所述环 状片材的存在于空中的部分中离平板最远的所述环状片材的前端、与平板的与所述环状片 材接触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、所述环状片材外径的一半设为R(mm)时，H/ R 为 0· 06 ~0· 59。
[0069] [23]
[0070] 根据第[20]~[22]项中任一项所述的环状片材，其特征在于，其与低密度聚乙烯 薄膜的粘接力为5gf/inch~250gf/inch。
[0071] [24]
[0072] 根据第[20]~[23]项中任一项所述的环状片材，其特征在于，其具有的基材为无 尘纸、低尘纸、合成纸、或者、纸与树脂基材贴合而成的物质。
[0073] [25]
[0074] 根据第[21]~[24]项中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述感光性树脂层 是包含感光性树脂组合物的层，所述感光性树脂组合物包含含有羧基的碱可溶性高分子、 加成聚合性单体、光聚合引发剂。
[0075] [26]
[0076] 根据第[25]项所述的环状片材，其特征在于，所述含有羧基的碱可溶性高分子为 苯乙烯或其衍生物共聚而成的物质。
[0077] [27]
[0078] 根据第[25]或[26]项所述的环状片材，其特征在于，所述加成聚合性单体包含双 酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物。
[0079] [28]
[0080] 根据第[25]~[27]项中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述光聚合引发剂 包含六芳基联咪唑或其衍生物。
[0081] [29]
[0082] 根据第[20]~[28]项中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述粘合剂组合物 包含丙烯酸（酯）系树脂。
[0083] [30]
[0084] 根据第[20]~[29]项中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述粘合剂组合物 含有粘合剂和颗粒，该颗粒的50质量％以上具有该粘合剂组合物的涂布厚度的80~120% 的直径，并且该颗粒的含量相对于100重量份粘合剂为5重量份至30重量份。
[0085] [31]
[0086] -种薄膜卷，其具备由遮光片材覆盖的、[20]~[30]中所述的环状片材。
[0087] 发明的效果
[0088] 若使用本发明的感光性树脂层叠体卷，则在启封时可以简单地将异物从感光性树 脂层叠体卷端面去除。
【附图说明】
[0089] 图1是将感光性树脂层叠体在卷芯上卷绕成卷状，并且卷端面保护部件按照与所 卷绕的感光性树脂层叠体的端面接触的方式配置的感光性树脂层叠体卷的一实施方式的 示意图。
[0090] 图2是表示弯曲距离H与环状片材的外径的一半R的图。
[0091] 图3是表示由筒状的遮光片材覆盖的感光性树脂层叠体卷的一实施方式的示意 图。
【具体实施方式】
[0092] 以下，详细说明用于实施本发明的最佳方式（以下简称为"实施方式"）。需要说 明的是，本发明不限于以下的实施方式，可以在其要旨的范围内进行各种变形来实施。
[0093] 感光性树脂层叠体卷是将长条状（带状）的感光性树脂层叠体沿其长度方向在卷 芯上卷绕，并且卷端面保护部件按照与所卷绕的感光性树脂层叠体的端面（所述带状的感 光性树脂层叠体的宽度方向端部侧）接触的方式配置的感光性树脂层叠体卷。
[0094] 图1表示这种感光性树脂层叠体卷10的一实施方式的示意图。在此，感光性树脂 层叠体1包含支撑层4、层叠于该支撑层的感光性树脂层5和任意的保护层6,将该层叠体 1卷绕于卷芯2。而且，与该卷绕的感光性树脂层叠体的两个端面接触地设置卷端面保护部 件3。在此，卷端面保护部件3作为环状片材而表示。
[0095] (感光性树脂层叠体）
[0096] 感光性树脂层叠体至少包含支撑层与层叠于该支撑层上的感光性树脂层，优选进 一步包含层叠于感光性树脂层上的保护层。感光性树脂层叠体中还包含被称为干膜抗蚀 剂、干膜光致抗蚀剂的感光性薄膜。
[0097] 支撑层只要是支撑感光性树脂层的结构即可。作为可以使用的支撑层，优选的 是透过从曝光光源发射的光的透明的层。作为这样的支撑层，可列举出聚对苯二甲酸乙 二醇酯薄膜、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏二氯乙烯薄膜、偏二 氯乙烯共聚薄膜、聚甲基丙烯酸甲酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共 聚物薄膜、聚酰胺薄膜、纤维素衍生物薄膜等。可以根据需要将这些薄膜拉伸后使用。从 分辨率的观点出发，优选雾度为5以下的薄膜。更优选雾度为3以下，进一步优选雾度为 2. 5以下，更进一步优选雾度为1以下。关于支撑层的厚度，较薄的层在图像形成性和经济 性方面是有利的，但是从需要维持涂布感光性树脂组合物层时的热收缩等出发，优选使用 10 μ m~30 μ m的厚度。例如可列举出帝人杜邦薄膜（株）制造的GR19、GR16'Mitsubishi Plastics, Inc.制造的 R310-16、R340G16、東 U 示 y 工只亍7 4 厶（株）制造的 卩840(16以111膜厚）、？860(16以111膜厚）等。
[0098] 就保护层而言，保护层与感光性树脂层的密合力充分地小于支撑层，因此能够容 易地剥离。例如，作为保护层，可以优选使用聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜和拉伸聚丙烯薄膜等。 另外，可以使用日本特开昭59-202457号公报中公开的剥离性优异的薄膜。保护层的厚度 优选为10~1〇〇μ m，更优选为10~50 μ m。例如，可列举出Tamapoly Co. ,Ltd.制造的 GF-18、GF-818、GF-858 等。
[0099] 对于感光性树脂层，可以将感光性树脂组合物涂布于支撑层并干燥从而进行层 叠。感光性树脂层的厚度优选为5~100μπι，更优选的上限为50μπι。由于感光性树脂层 的厚度越接近5 μ m，分辨率越提高，越接近100 μ m，膜强度越提高，因此可以根据用途适当 地选择。
[0100] 作为制造感光性树脂层叠体的方法，可以采用以往公知的方法。例如，预先准备将 用于感光性树脂层的感光性树脂组合物与溶剂混合作为感光性树脂组合物调合液，使用棒 涂机或者辊涂机涂布到支撑层并使其干燥，在支撑层上层叠包含该感光性树脂组合物的感 光性树脂层。感光性树脂组合物调合液优选添加溶剂调合到25°C下为500~4000mPA ·秒。 从感光性树脂组合物调合液粘度、干燥性、残留溶剂量、涂布性、发泡性的观点出发，溶剂中 可以适当选择地使用甲乙酮、丙酮、乙醇、甲醇、丙醇、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚醋酸酯、 甲苯等。接着，通过在该感光性树脂层上层叠保护层，可以制作感光性树脂层叠体。
[0101] 对于感光性树脂层叠体，以长条状在卷芯上卷绕而成为卷状并使用。卷绕长度没 有特别限定，从卷的重量和处理容易度的观点出发，优选为320m以下。若1根感光性树脂 层叠体卷能层压的基材越多则效率越高，因此从生产率的观点出发，卷绕长度优选为IOOm 以上。
[0102] (卷芯）
[0103] 卷芯有时也被称为芯体。其形状没有特别限定，可以为圆筒状，也可以为圆柱状。 由于感光性树脂层叠体作为蚀刻或抗镀层以及永久图案而用于电子材料，因此优选实施了 无尘处理的卷芯，优选塑料树脂制的卷芯。塑料树脂的材质优选的是轻、强度优异、无尘的 材质。可以使用聚丙烯（PP)树脂、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯（ABS)树脂、尼龙树脂、聚氯乙 烯树脂等，优选ABS树脂。卷芯的直径没有特别限定，在将感光性树脂层叠体卷安装于层压 装置的情况下，为了能够安装于装置，卷芯优选为2~5inch、更优选为3inch的直径。卷 芯的长度（在使用圆筒状或圆柱状的卷芯时为其轴向长度）与感光性树脂层叠体的宽度 相比，可以相同或者较短，但在卷绕感光性树脂层叠体时，为了在两侧可以确保适当的伸出 部，优选为卷芯的长度大于感光性树脂层叠体的宽度的长度。可以按照贯穿该伸出部的方 式安装环状片材，因此优选。另外，也可以将被称为芯体支架的轴承嵌合于该伸出部并以使 感光性树脂层叠体卷不移动的方式在悬空状态下保管感光性树脂层叠体卷。
[0104] (卷端面保护部件）
[0105] 对于卷端面保护部件，按照与所卷绕的感光性树脂层叠体的端面接触的方式配 置。作为其形状没有特别限定，只要是以一定的面积与端面接触而将卷端面的至少一部分 覆盖保护的形状就没有影响，其中，优选的是按照与卷绕的感光性树脂层叠体的端面接触 的方式贯穿卷芯的伸出部地配置的环状片材。进一步优选的是具有能够实质上覆盖感光性 树脂层叠体卷端面的大致整体的尺寸的宽度的环状。卷端面保护部件可以仅用于所卷绕的 感光性树脂层叠体的一端，但优选用于两端。
[0106] 当卷端面保护部件为环状片材时，对于其环内径，为了可以贯穿卷芯使用，优选略 大于卷芯的外径。另外，通过使环状片材的中心与卷芯的中心稍稍偏离，由此环状片材的外 周从卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的外周略有露出。这样，从环状片材的拆卸变得容易 出发，环内径优选略大于卷芯的外径。具体而言，当环内径为卷芯外径的1. 001倍以上进行 安装时对卷芯没有阻滞（日文：張*9付? )，因而优选。更优选为1.005倍以上，进一步优 选为1. 01倍以上。从保护卷端面整体并去除异物的观点出发，优选环内径为卷芯的外径的 I. 1倍以下，更优选为1. 05倍以下，进一步优选为1. 03倍以下。
[0107] 对于环外径，为了可以覆盖感光性树脂层叠体卷的端面，优选的是卷绕成卷状的 感光性树脂层叠体的外径的〇. 99倍以上，更优选为1倍以上。另外，从抑制对覆盖感光性 树脂层叠体卷的遮光性的圆筒状管等包装材料的附着的观点出发，环外径优选为感光性树 脂层叠体卷的外径的I. 1倍以下，更优选为1. 05倍以下，进一步优选为1. 03倍以下。
[0108] 对于卷端面保护部件的基材，可列举出聚酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、 聚丙烯、尼龙、分别无拉伸、拉伸、双轴拉伸的材料、以及低密度聚乙烯、高密度聚乙烯、硬质 聚氯乙烯、软质聚氯乙烯、玻璃纸、醋酸酯、三醋酸纤维素、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚酰亚胺等 塑料树脂、以及已防尘处理的纸、已防尘处理的优质纸、洁净纸、以及、纸与前述塑料树脂贴 合而成的物质、合成纸等。由于感光性树脂层叠体作为抗蚀层或者抗镀层以及永久图案而 用于电子材料，因此优选实施了无尘处理的材料。从静电的发生少、对端面的追随性良好、 异物去除性优异且安装性也优异的观点出发，优选基材为已防尘处理的纸、已防尘处理的 优质纸、洁净纸、以及、纸与前述塑料树脂贴合而成的物质、合成纸作为材质。合成纸优选将 聚丙烯作为主原料。
[0109] 当基材是已防尘处理的纸、已防尘处理的优质纸、洁净纸、以及、纸与前述塑料树 脂贴合而成的物质时，基材的厚度优选为50~500 μ m。从安装性的观点出发，优选为50 μ m 以上，从对端面的追随性、异物去除性的观点出发，优选为500 μπι以下，更优选为60~ 200 μ m，进一步优选为60~150 μ m。
[0110] 对于卷端面保护部件，从脱模性、防污性的观点出发，也可以对表面进行压花加 工。对于卷端面保护部件，在与感光性树脂层叠体卷的端面接触的一侧具有粘合剂组合物。 卷端面保护部件优选为俯视圆形的环状片材。
[0111] 对于前述环状片材，前述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出 的平板上，将前述环状片材的存在于空中的部分中离平板最远的前述环状片材的顶端、与 平板的与前述环状片材接触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、前述环状片材外径的 一半设为R(mm)时，H/R优选为0. 06~0. 59。从环状片材的卷端面安装性的观点出发，H/ R优选为0.59以下。更优选为0.5以下，进一步优选为0.45以下。从对卷端面的追随性与 异物去除性的观点出发，优选为0. 06以上。更优选为0. 1以上，进一步优选为0. 15以上。
[0112] 弯曲距离H的测定方法如下所示。首先，如图2所示，在沿实质上水平方向（与垂 直方向正交的方向）伸出的实质上的平板7上设置环状片材3。此时，将具备粘合剂的面朝 上，按照不与平板7贴合的方式设置。按照环状片材3的一半存在于空中，即按照环状片材 3的中心位于平板的端部所存在的实质上为直线状的边缘的方式固定环状片材。固定时，如 图2所示，也可以使用固定部件8进行固定。此时，环状片材3不会受到重力以外的影响而 弯曲或者弯折。通过L字型标尺测定存在于环状片材的空中的部分（从端部露出的部分） 处的、距离平板的边缘最远的环状片材的顶端与平板的与环状片材接触的面所形成的假想 面之间的垂直方向距离。测定地点设为日本静冈县富士市。
[0113] (粘合剂组合物）
[0114] 对于粘合剂组合物，可以选择使用在剥离了卷端面保护部件时在感光性树脂薄膜 端面上没有残胶，在剥离了卷端面保护部件时在卷端面保护部件上没有感光性树脂的附着 的公知的粘合剂组合物。
[0115] 其中，从异物去除性与脱模性的观点出发，优选为包含丙烯酸（酯）系树脂的组合 物。感光性树脂组合物是包含含有羧基的碱可溶性高分子、加成聚合性单体、光聚合引发剂 的感光性树脂组合物，粘合剂组合物包含丙烯酸（酯）系树脂时，从可以进一步高度地兼具 异物去除性和脱模性的观点出发而优选。
[0116] 对于粘合剂组合物优选含有颗粒，该颗粒的50质量％以上优选为具有该粘合剂 组合物的涂布厚度的80~120%的直径，并且该颗粒的含量相对于100重量份粘合剂为5 重量份至30重量份。需要说明的是，颗粒的直径使用显微镜观察，针对任意的100个颗粒， 观察出其最大直径，并计算其平均值。
[0117] 从脱模性的观点出发，颗粒的直径优选为80%以上，从粘性的观点出发，优选为 120 %以下。更优选为90~110%，进一步优选为100%。
[0118] 对于颗粒，通常即使理论上可以为单一粒度的颗粒，但实际上较多情况下难以获 得。优选具有粒度分布尽可能狭窄的、即尖锐的粒度曲线的颗粒。
[0119] 优选粘合剂总量的50质量％以上为该粘合剂的涂布厚度的80~120%的直径。从 脱模性和粘性的平衡的观点出发，更优选为70质量％以上，进一步优选为80质量％以上。
[0120] 颗粒的含量优选为相对于100重量份粘合剂为5重量份至30重量份。在贴附的 情况下，从空气的脱气泡性的观点出发，优选为5重量份以上，从粘接性的观点出发，优选 为30以下。更优选为10重量份至25重量份。当颗粒的材质为玻璃时，15~30重量份是 适宜的，塑料制的情况下优选为5~25重量份。
[0121] 颗粒的材质优选为塑料、无机材料。作为塑料，可列举出聚甲基丙烯酸酯系、聚甲 基丙烯酸甲酯系、聚苯乙烯系、聚苯乙烯丙烯酸（酯）系、聚乙烯系、聚丙烯系、聚苯乙烯丁 二烯系、聚苯乙烯二乙烯基苯系、聚氨酯系、聚苯代三聚氰胺系、三聚氰胺系。作为无机材 料，可列举出玻璃、二氧化硅（硅酸盐矿物）、碳酸钙。
[0122] 粘合剂的粘接力可以通过降低组合物整体的软化温度、提高树脂成分的极性而提 尚。
[0123] 作为端面保护部件与低密度聚乙烯薄膜的粘接力，从异物去除性与安装性的观点 出发，优选为 5gf/inch ~250gf/inch，更优选为 50gf/inch ~240gf/inch。
[0124] 需要说明的是，该粘接力按照以下方式进行测定。即，用手压辊在端面保护部件的 形成有粘合剂组合物的层的面上贴附低密度聚乙烯薄膜（LDPE)片材。低密度聚乙烯薄膜 使用TAMPOLY Co.，Ltd制造的GF-858。切割为宽I inch、长度15cm的矩形条状，在相对湿度 50%、摄氏23度下调节湿度11小时。使用Orientec Co.，Ltd制造的Tensilon RTM-500， 以负荷传感器lkg、拉伸速度IOOmm/分钟进行拉伸试验。此时，用Tensilon的下部将样品 的端面保护部件卡住（固定），用拉伸部将低密度聚乙烯薄膜卡住（固定），进行拉伸试验。 拉伸试验中在拉伸IOmm至50_的区间取负载的积分平均，并取试验次数2次的平均，将其 作为粘接性的值。
[0125] (感光性树脂层叠体卷的制造方法）
[0126] 感光性树脂层叠体卷从抑制异物的附着与抑制运输时的感光的观点出发，优选使 用遮光片材覆盖。遮光片材也可以称为遮光性薄膜。遮光片材可以按照将其卷绕于感光性 树脂层叠体卷的方式覆盖感光性树脂层叠体卷。如图3所示，当遮光片材9为筒状时，由于 可以将感光性树脂卷1插入筒内来覆盖感光性树脂卷1， 因此优选。另外，筒的长度比感光 性树脂层叠体卷1的卷芯2长时，如图3所示，可以通过将比卷芯2长的部分折入卷芯内部， 进一步抑制异物的附着和感光，因此优选。
[0127] 遮光片材从可以保护感光性树脂层叠体卷与来自例如分量轻的坠落物的接触、包 装容器的轻微接触的观点出发，优选聚乙烯制的。膜厚从维持适宜的强度并且抑制针孔的 观点出发，优选为10 μ m以上，从处理性的观点出发，优选为300 μ m以下。更优选为20~ 200 μ m，进一步优选为30~130 μ m。为了提高遮光性而优选黑色。
[0128] 感光性树脂层叠体卷优选通过形成有与前述卷芯嵌合这样的凸部的被称为芯体 支架的一对部件而悬空固定。通过悬空固定，可以防止运输时感光性树脂层叠体与包装 容器的地面壁面的接触。作为芯体支架，例如可列举出日本特开2004-42952和日本特开 2003-89477中记载的芯体支架。
[0129] 利用遮光片材覆盖感光性树脂层叠体卷时，若将遮光片材的比卷芯长的部分折入 卷芯内并按照夹持该折入部分的方式进一步安装芯体支架，则可以抑制异物的附着与感 光，因此优选。
[0130] (感光性树脂组合物）
[0131] 感光性树脂组合物优选包含（a)含有羧基的碱可溶性高分子；(b)加成聚合性单 体；（c)光聚合引发剂。
[0132] 从将环状片材从卷端面剥离时卷端面的残胶少、感光性树脂组合物向环状片材的 附着也变少的观点出发，优选感光性树脂组合物包含上述（a)~（c)。
[0133] (a)含有羧基的碱可溶性高分子
[0134] (a)含有羧基的碱可溶性高分子优选将含有α，β -不饱和羧基的单体作为聚合 成分，碱可溶性高分子的酸当量为100~600,且重均分子量为5, 000~500, 000。为了使 感光性树脂组合物相对于含碱水溶液的显影液或剥离液具有显影性或剥离性，含有羧基的 碱可溶性高分子中的羧基是必须的。酸当量是指其中具有1当量的羧基的碱可溶性高分子 的质量。酸当量的更优选的下限为250,并且更优选的上限为450。从耐显影性提高、分辨 率和密合性提高的观点、以及从确保与溶剂或感光性树脂组合物中的其他成分、特别是与 下述（b)加成聚合性单体的相容性的观点出发，（a)含有羧基的碱可溶性高分子的酸当量 优选为100以上，从显影性和剥离性提高的观点出发，优选为600以下。酸当量的测定是使 用平沼产业（株）制造的平沼自动滴定装置（COM-555)并使用0. lmol/L的氢氧化钠根据 电位滴定法而进行的。
[0135] (a)含有羧基的碱可溶性高分子的重均分子量优选为5, 000~500, 000。从维持 感光性树脂层叠体的厚度均匀并且获得对显影液的耐性的观点、以及从抑制熔边的观点出 发，重均分子量优选为5, 000以上，另外，从维持显影性的观点出发，优选为500, 000以下。 熔边是指感光性树脂层叠体卷绕成卷状时从卷端面渗出感光性树脂组合物的现象。渗出的 感光性树脂组合物有时在卷状态下会隔着支撑层保护层与从相邻的另一层的感光性树脂 层渗出的感光性树脂组合物粘连。粘连后的感光性树脂组合物、即熔边后的感光性树脂组 合物有时离开卷状的感光性树脂层叠体，在层压时从端面剥离，成为抗蚀剂肩发生飞散。若 抗蚀剂肩附着于层压后的基板，则该抗蚀剂肩将附着于接下来曝光用的掩模，被曝光固化， 在负性抗蚀剂的情况下遮蔽曝光，成为图案的缺损。
[0136] 更优选的是，（a)含有羧基的碱可溶性高分子的重均分子量的下限为20, 000,（a) 含有羧基的碱可溶性高分子的重均分子量的上限为250, 000。本说明书中的重均分子量是 指通过凝胶渗透色谱（GPC)使用聚苯乙烯（Showa Denko K.K.制造的Shodex STANDARD SM-105)的标准曲线测定得到的重均分子量。
[0137] (a)含有羧基的碱可溶性高分子的重均分子量可以使用JASCO Corporation制造 的凝胶渗透色谱在以下条件下进行测定：
[0138] 示差折光检测器：RI-1530
[0139] 泵：PU-1580
[0140] 脱气装置：DG-980-50
[0141] 柱恒温箱：CO-1560
[0142] 柱：依次为 KF-8025、KF-806M X 2、KF-807
[0143] 洗脱液：THF。
[0144] (a)含有羧基的碱可溶性高分子优选为包含选自后述第一单体或第二单体中的1 种以上的单体作为成分的（共）聚合物。
[0145] 第一单体为分子中具有一个聚合性不饱和基团的羧酸或者酸酐。例如可列举出 (甲基）丙烯酸、富马酸、桂皮酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸酐和马来酸半酯。其中，特别优选 (甲基）丙烯酸。
[0146] 第二单体为非酸性、且分子中具有至少一个聚合性不饱和基团的单体。可列举出 例如（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸正丙酯、（甲基）丙烯酸异 丙酯、（甲基）丙烯酸正丁酯、（甲基）丙烯酸异丁酯、（甲基）丙烯酸叔丁酯、（甲基）丙 烯酸2-羟乙酯、（甲基）丙烯酸2-羟丙酯、（甲基）丙烯酸环己酯、（甲基）丙烯酸2-乙 基己酯、（甲基）丙烯酸苄酯、醋酸乙烯酯等乙烯醇的酯类；（甲基）丙烯腈、苯乙烯和能够 聚合的苯乙烯衍生物等。其中，优选（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸正丁酯、苯乙烯 和（甲基）丙烯酸苄醋，从分辨率的观点出发，特别优选使用苯乙烯。
[0147] (a)含有羧基的碱可溶性高分子优选通过在将上述单体混合并用溶剂例如丙酮、 甲乙酮或异丙醇稀释而成的溶液中，适量添加自由基聚合引发剂例如过氧化苯甲酰、偶氮 异丁腈进行加热搅拌，从而合成。有时边在反应液中滴加混合物的一部分边进行合成。也有 时在反应结束之后再添加溶剂，调整至所期望的浓度。作为合成方法，除了溶液聚合以外， 还可以使用本体聚合、悬浮聚合或乳液聚合。
[0148] 对于特别优选的（a)含有羧基的碱可溶性高分子，第一单体和第二单体的共聚比 例是第一单体为10~60质量％，且第二单体为40~90质量％，进一步更优选的是第一单 体为15~35质量％，且第二单体为65~85质量％。
[0149] 作为（a)含有羧基的碱可溶性高分子的更具体的例子，例如可列举出含有甲基丙 烯酸甲酯、甲基丙烯酸和苯乙烯作为共聚成分的聚合物，含有甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸 和丙烯酸正丁酯作为共聚成分的聚合物，以及含有甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸甲酯和丙 烯酸2-乙基己酯作为共聚成分的聚合物等。
[0150] 感光性树脂组合物中的（a)含有羧基的碱可溶性高分子的含量以感光性树脂组 合物的固体成分总量作为基准为20~90质量％的范围，优选为40~60质量％。（a)含有 羧基的碱可溶性高分子的含量从维持感光性树脂组合物的碱显影性、通过曝光、显影而形 成的抗蚀图案作为抗蚀层的特性例如在压凹、蚀刻和各种电镀工序中具有充分的耐性的观 点出发，优选为20质量％以上，从固化前的感光性树脂组合物、固化后的抗蚀图案具有充 分的柔软性的观点出发，优选为90质量％以下。
[0151] (b)加成聚合性单体
[0152] (b)加成聚合性单体为在分子内具有至少一个能够聚合的烯属不饱和键的化合 物。烯属不饱和键优选为末端烯属不饱和基团。进而，从高分辨率、熔边性和压凹性的观点 出发，作为（b)加成聚合性单体，优选使用至少一种的双酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物。
[0153] 本说明书中，双酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物是指源自双酚A 的-C6H4-C (CH3)2-C6H4-基团以及具有（甲基）丙烯酰基或源自（甲基）丙烯酰基的碳-碳 不饱和双键与的化合物。作为具体例子，可列举出在双酚A的两端分别加成了平均2单元的 环氧乙烷的聚乙二醇的二（甲基丙烯酸）酯二（甲基丙烯酸）酯（新中村化学工业（株） 制造的NK酯BPE-200)或在双酚A的两端分别加成了平均5单元的环氧乙烷的聚乙二醇的 二甲基丙烯酸酯（新中村化学工业（株）制造的NK酯BPE-500)、在双酚A的两端分别加 成了平均6单元的环氧乙烷和平均2单元的环氧丙烷的聚亚烷基二醇的二（甲基丙烯酸） 酯、在双酚A的两端分别加成了平均15单元的环氧乙烷和平均2单元的环氧丙烷的聚亚烷 基二醇的二（甲基丙烯酸）酯。
[0154] 作为（b)加成聚合性单体，除了上述的化合物以外，可以使用具有至少一个烯属 不饱和基团的已知的化合物。可列举出例如4-壬基苯基七甘醇二丙二醇丙烯酸酯、丙烯酸 2-羟基-3-苯氧基丙基酯、苯氧基己甘醇丙烯酸酯、邻苯二甲酸酐与丙烯酸2-羟丙酯的半 酯化合物与环氧丙烷的反应物（日本触媒化学制造、商品名OE-A 200)、4_正辛基苯氧基五 亚丙基二醇丙烯酸酯、1，6-己二醇（甲基）丙烯酸酯、1，4-环己二醇二（甲基）丙烯酸酯、 聚丙二醇二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇二（甲基）丙烯酸酯等聚氧亚烷基二醇二（甲基） 丙烯酸酯、2-二（对羟基苯基）丙烷二（甲基）丙烯酸酯、甘油三（甲基）丙烯酸酯、季戊 四醇五（甲基）丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚三（甲基）丙烯酸酯、2, 2-双（4-甲 基丙烯酰氧基五乙氧基苯基）丙烷、六亚甲基二异氰酸酯与壬亚丙基二醇单甲基丙烯酸酯 的氨基甲酸酯化物等的含有氨基甲酸酯基的多官能（甲基）丙烯酸酯、异氰脲酸酯化合物 的多官能（甲基）丙烯酸酯等。它们可以单独使用，也可以将两种以上组合使用，也可以与 双酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物组合使用。
[0155] 感光性树脂组合物中的（b)加成聚合性单体的含量以感光性树脂组合物的固体 成分总量作为基准为5~75质量％的范围，更优选为15~70质量％。从分辨率、密合性 和铜线的形成性的观点出发，（b)加成聚合性单体的含量为5质量％以上，从固化膜的柔软 性的观点出发，为75质量％以下。
[0156] (C)光聚合引发剂
[0157] 作为（C)光聚合引发剂，可以适当地使用例如通常作为感光性树脂的光聚合引发 剂而使用的物质，特别优选使用六芳基联咪唑（以下也称为三芳基咪唑二聚体）。
[0158] 作为三芳基咪唑二聚体，例如可列举出：2_ (邻氯苯基）-4, 5-二苯基咪唑二聚体 (以下也称为"2, 2'-双（2-氯苯基）-4, 4'，5, 5'-四苯基-1，Γ-联咪唑")、2, 2'，5-三-(邻 氣苯基）-4-(3, 4_二甲氧基苯基）_4'，5' -二苯基味挫二聚体、2, 4_双-(邻氣苯 基）-5- (3, 4-二甲氧基苯基）-二苯基咪唑二聚体，
[0159] 2, 4, 5-二-(邻氣苯基）-__苯基味挫二聚体、2-(邻氣苯基） -双-4, 5- (3, 4- 二甲 氧基苯基）-咪唑二聚体、2, 2' -双-(2-氟苯基）-4, 4'，5, 5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪 唑二聚体、2, 2'-双-(2, 3-二氟甲基苯基）-4, 4'，5, 5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚 体、2, 2' -双-(2, 4-二氟苯基）_4,4'，5, 5' -四- (3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体，
[0160] 2, 2' -双-(2, 5-二氟苯基）-4, 4'，5, 5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚 体、2,2' -双-(2,6-二氟苯基）-4,4'，5,5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体、 2,2' -双-(2,3,4-三氟苯基）-4,4'，5,5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体、 2, 2' -双-(2, 3, 5-三氟苯基）_4,4'，5, 5' -四- (3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体，
[0161] 2, 2' -双-(2, 3, 6-三氟苯基）-4, 4'，5, 5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚 体、2, 2' -双-(2, 4, 5-三氟苯基）-4, 4'，5, 5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体、 2, 2' -双-(2, 4, 6-三氟苯基）_4,4'，5, 5' -四- (3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体，
[0162] 2, 2' -双-(2, 3, 4, 5-四氟苯基）-4, 4'，5, 5' -四-(3- 甲氧基苯基）-咪唑二聚 体、2, 2' -双-(2, 3, 4, 6-四氟苯基）_4,4'，5, 5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体和 2, 2' -双-(2, 3, 4, 5, 6-五氟苯基）_4,4'，5, 5' -四- (3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体等。
[0163] 特别可以优选使用2-(邻氯苯基）-4, 5-二苯基咪唑二聚体，其为对于分辨率或固 化抗蚀膜的强度具有高效果的光聚合引发剂。这些光聚合引发剂可以单独使用，或者可以 将两种以上组合使用。另外，也可以与下述吖啶化合物、吡唑啉化合物等组合使用。
[0164] 在优选的实施方式中，作为（C)光聚合引发剂，可以使用吖啶化合物或吡唑啉化 合物。作为吖啶化合物，可列举出吖啶、9-苯基吖啶、9-(4-甲苯基）_吖啶、9-(4-甲氧基苯 基）吖啶、9-(4-羟苯基）吖啶、9-乙基吖啶、9-氯乙基吖啶、9-甲氧基吖啶、9-乙氧基吖 啶，
[0165] 9-(4-甲基苯基）吖啶、9-(4-乙基苯基）吖啶、9-(4-正丙基苯基）吖啶、9-(4-正 丁基苯基）吖啶、9-(4-叔丁基苯基）吖啶、9-(4-乙氧基苯基）吖啶、9-(4-乙酰基苯基） 吖啶、9-(4-二甲基氨基苯基）吖啶、9-(4-氯苯基）吖啶，
[0166] 9-(4-溴苯基）吖啶、9-(3-甲基苯基）吖啶、9-(3-叔丁基苯基）吖啶、9-(3-乙 酰基苯基）吖啶、9-(3-二甲基氨基苯基）吖啶、9-(3-二乙基氨基苯基）吖啶、9-(3-氯苯 基）吖啶、9-(3-溴苯基）吖啶、9-(2-吡啶基）吖啶、9-(3-吡啶基）吖啶、9-(4-吡啶基） 吖啶。其中，优选9-苯基吖啶。
[0167] 作为吡唑啉化合物，优选1-苯基-3-(4-叔丁基-苯乙烯基）-5-(4-叔丁基-苯 基）-吡唑啉、1- (4-(苯并噁唑-2-基）苯基）-3- (4-叔丁基-苯乙烯基）-5- (4-叔丁基-苯 基）-吡唑啉、1-苯基-3- (4-联苯基）-5- (4-叔丁基-苯基）-吡唑啉、1-苯基-3- (4-联 苯基）-5- (4-叔辛基-苯基）-吡唑啉。
[0168] 作为除了上述以外的光聚合引发剂，例如可列举出2-乙基蒽醌、八乙基蒽醌、 1，2-苯并蒽醌、2, 3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2, 3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、1，4-萘醌、 9, 10-菲醌、2-甲基-1，4-萘醌、2, 3-二甲基蒽醌和3-氯-2-甲基蒽醌等醌类，
[0169] 二苯甲酮、米蚩酮[4, 4' -双（二甲基氨基）二苯甲酮]和4, 4' -双（二乙基氨 基）二苯甲酮等芳香族酮类，苯偶姻、苯偶姻乙醚、苯偶姻苯醚、甲基苯偶姻和乙基苯偶姻 等苯偶姻醚类，
[0170] 苯偶酰二甲基缩酮、苯偶酰二乙基缩酮、噻吨酮类和烷基氨基苯甲酸的组合、1-苯 基-1，2-丙二酮-2-0-苯偶姻肟、1-苯基-1，2-丙二酮-2-(0-乙氧基羰基）肟等肟酯类。
[0171] 需要说明的是，作为上述的噻吨酮类和烷基氨基苯甲酸的组合，例如可列举出乙 基噻吨酮和二甲基氨基苯甲酸乙酯的组合、2-氯噻吨酮和二甲基氨基苯甲酸乙酯的组合以 及异丙基噻吨酮和二甲基氨基苯甲酸乙酯的组合。另外，也可以使用N-芳基氨基酸。作为 N-芳基氨基酸的例子，可列举出N-苯基甘氨酸、N-甲基-N-苯基甘氨酸、N-乙基-N-苯基 甘氨酸等。其中，特别优选N-苯基甘氨酸。
[0172] 感光性树脂组合物中的（c)光聚合引发剂的含量以感光性树脂组合物的固体成 分总量作为基准为〇.〇1~30质量％的范围，更优选的下限是0.05%质量％，进一步优选的 下限是〇. 1质量％，更优选的上限为15质量％，进一步优选的上限为10质量％。从利用曝 光进行的光聚合时获得充分感光度的观点出发，（c)光聚合引发剂的含量为0. 01质量％以 上，从光聚合时使光充分地透射到感光性树脂组合物的底面（即远离光源的部分）、获得良 好分辨率和密合性的观点出发，为30质量％以下。
[0173] (e)其他添加剂
[0174] 感光性树脂组合物中除了上述（a)~（C)的成分以外，可以含有各种添加剂。具 体而言，例如染料、颜料等着色物质。作为这样的着色物质，例如可列举出酞菁绿、结晶紫、 甲基橙、尼罗蓝2B、维多利亚蓝、孔雀绿、碱性蓝20、金刚绿等。
[0175] 在含有上述着色物质的情况下，着色物质的添加量以感光性树脂组合物的固体成 分总量作为基准，优选为0.001~1质量％。着色物质的添加量为0.001质量％以上时，具 有提高处理性的效果；为1质量％以下时，具有维持保存稳定性的效果。
[0176] 另外，为了能够通过曝光赋予可视图像，也可以在感光性树脂组合物中含有显色 剂。作为这样的显色系染料，可列举出隐色染料、或者荧烷染料和卤素化合物的组合。
[0177] 例如，作为隐色染料，可列举出三（4-二甲基氨基-2-甲基苯基）甲烷[隐色结晶 紫]、三（4-二甲基氨基-2-甲基苯基）甲烷[隐色孔雀绿]以及荧烷染料。其中，在使用 隐色结晶紫的情况下，对比度良好，是优选的。
[0178] 作为前述卤素化合物，可列举出正戊基溴、异戊基溴、溴化异丁烯、溴化乙烯、二 苯基甲基溴、二溴甲苯（benzal bromide)、二溴甲烧、三溴甲基苯基砜、四溴化碳、磷酸三 (2, 3-二溴丙基）酯、三氯乙酰胺、正戊基碘、异丁基碘、1，1，1-三氯-2, 2-双（对氯苯基） 乙烷、六氯乙烷、氯代三嗪化合物等。
[0179] 在含有这些染料的情况下，感光性树脂组合物中的染料的含量以感光性树脂组合 物的固体成分总量作为基准，优选分别为〇. 1~10质量％。
[0180] 此外，为了提高感光性树脂组合物的热稳定性和保存稳定性，优选在感光性树脂 组合物中含有自由基阻聚剂、或者选自由苯并三唑类和羧基苯并三唑类组成的组中的至少 1种以上的化合物。
[0181] 作为这样的自由基阻聚剂，例如可列举出对甲氧基苯酚、氢醌、焦掊酚、萘胺、叔丁 基邻苯二酚、氯化亚铜、2, 6-二叔丁基-对甲酚、2, 2' -亚甲基双（4-甲基-6-叔丁基苯 酚）、2, 2' -亚甲基双（4-乙基-6-叔丁基苯酚）、亚硝基苯基羟胺铝盐、二苯基亚硝胺。
[0182] 作为苯并三唑类，例如可列举出1，2, 3-苯并三唑、1-氯_1，2, 3-苯并三唑、 双（N-2-乙基己基）氨基亚甲基-1，2, 3-苯并三唑、双（N-2-乙基己基）氨基亚甲 基-1，2, 3-甲苯三唑、双（N-2-羟乙基）氨基亚甲基-1，2, 3-苯并三唑。
[0183] 作为羧基苯并三唑类，例如可列举出4-羧基-1，2, 3-苯并三唑、5-羧 基-1，2, 3-苯并三唑、（N，N-二丁基氨基）羧基苯并三唑、N- (N，N-二-2-乙基己基）氨基亚 甲基羧基苯并三唑、N- (N，N-二-2-羟乙基）氨基亚甲基羧基苯并三唑、N- (N，N-二-2-乙 基己基）氨基亚乙基羧基苯并三唑。
[0184] 自由基阻聚剂、苯并三唑类和/或羧基苯并三唑类的总计添加量以感光性树脂组 合物的固体成分总量作为基准，优选为〇. 〇〇 1~3质量％，更优选的下限为0.05质量％，更 优选的上限为1质量％。从对感光性树脂组合物赋予保存稳定性的观点出发，该总计添加 量优选为0.001质量％以上，从维持感光度的观点出发，优选为3质量％以下。
[0185] 在感光性树脂组合物中，根据需要可以含有其他增塑剂。作为这样的增塑剂，例如 可列举出将双酚A进行聚氧亚烷基改性后的化合物。
[0186] 除此以外，例如可以使用聚氧乙烯失水山梨糖醇月桂酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖 醇油酸酯等失水山梨糖醇衍生物；聚乙二醇、聚丙二醇等聚亚烷基二醇类；邻苯二甲酸二 乙酯等邻苯二甲酸酯类；邻甲苯磺酰胺、对甲苯磺酰胺、柠檬酸三丁酯、柠檬酸三乙酯、乙酰 基柠檬酸三乙酯、乙酰基柠檬酸三正丙酯和乙酰基柠檬酸三正丁酯等的增塑剂。特别优选 使用失水山梨糖醇衍生物和聚亚烷基二醇类。
[0187] 感光性树脂组合物中的增塑剂的含量以感光性树脂组合物的固体成分总量作为 基准，优选为1质量％~50质量％，更优选的下限为3质量％，更优选的上限为30质量％。 从抑制显影时间的延迟、对固化膜赋予柔软性的观点出发，优选为1质量％以上，另外从抑 制固化不足或冷流的观点出发，优选为50质量％以下。
[0188] 实施例
[0189] 以下，在实施例中进一步进行具体说明，但不限定于此。
[0190] 首先，说明实施例和比较例的评价用样品的制作方法，其次，表示关于所得样品的 评价方法和评价结果。在此，使用了环状片材作为卷端面保护部件。
[0191] (实施例1~12、比较例1)
[0192] 1.评价用样品的制作
[0193] 实施例和比较例中的评价用样品如下制作。
[0194] <感光性树脂层叠体的制作>
[0195] 将下述表1所示的组合物1(其中，各成分的数字表示作为固体成分的配混量（质 量份）。表1中的简略符号与表2中一致。）和溶剂充分地搅拌、混合，制成感光性树脂组 合物调合液，准备16μηι厚的聚对苯二甲酸乙二醇醋薄膜（Mitsubishi Plastics, Inc.制 造的R310)作为支撑体，使用模涂机将感光性树脂组合物调合液均匀地涂布于该聚对苯 二甲酸乙二醇酯薄膜的表面并进行干燥，然后形成感光性树脂层。感光性树脂层的厚度为 15 μπι。接着，在感光性树脂层的、没有层叠聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜的表面上，贴合作为 保护层的33 ym厚的聚乙烯薄膜（TAMAPOLY CO.，LTD.制造的GF-858)，得到感光性树脂层 叠体1。
[0196] 另外，上述感光性树脂层叠体1中，除了将组合物1设为组合物2~6以外，与感 光性树脂层叠体1同样地进行制作，得到感光性树脂层叠体2~6。上述感光性树脂层叠体 1中，除了将组合物1设为组合物7~10,将感光性树脂层的厚度设为10 μm以外，与感光 性树脂层叠体1同样地进行制作，得到感光性树脂层叠体7~10。
[0197] <感光性树脂层叠体卷的制作>
[0198] 环状片材使用表3~表5所示的片材。对于环状片材的含有丙烯酸（酯）树脂的 粘合剂组合物，在没有特别说明的情况下，将直接使用Elleair TackNS80/SBG85S/再剥离 (Elleair Texel株式会社制造）的粘合剂组合物。
[0199] 针对样品F和G，粘合剂组合物进行如下调整。即，将表2所示的B-I和M-8以固 体成分比为45:55和40:60的方式进行配混，涂布于基材并进行干燥、调整，以使干燥后的 膜厚为15 μ m。
[0200] 将感光性树脂层叠体1切口为宽495mm，在内径77mm、外径88mm、长度530mm的ABS 树脂制卷芯（芯体）上卷绕300m。卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的外径为180mm。
[0201] 使卷绕于芯体而成为卷状的感光性树脂层叠体保持在棒状的不锈钢制支架上，该 不锈钢制支架按照固定另一端而可以保持水平的方式设计棒状的不锈钢制支架上。
[0202] 使用外周500mm、长800mm、厚80 μm的圆筒形遮光性聚乙烯管覆盖成为卷状的感 光性树脂层叠体。
[0203] 将前述由遮光性聚乙烯管覆盖的卷状的感光性树脂层叠体从支架拆卸，在按照宽 330mm、高IOOmm且上部弯曲为凹状而可以固定卷的方式设计的缓冲部上设置卷。
[0204] 折回遮光性聚乙烯管的一端，使卷状感光性树脂层叠体的端面露出，安装环状片 材。另一端也同样地安装环状片材，制作了感光性树脂层叠体卷1。
[0205] 将遮光性聚乙烯管折入芯体内，安装按照中心部为凸状、与芯体嵌合的方式设计 的芯体支架，对感光性树脂卷1进行包装。
[0206] 2.评价基准
[0207] 按以下的评价项目和评价基准，对感光性树脂层叠体卷进行评价并标注等级。评 价结果在表3~5中不出。
[0208] (1)异物去除性
[0209] 从感光性树脂层叠体卷将 环状片材剥离，确认是否有异物附着于环状片材。如下 进行标注等级。
[0210] 〇：异物附着于环状片材。在卷端面上贴附其他粘合带并进行剥离，不能确认有异 物附着。
[0211] Λ :异物附着于环状片材，但在卷端面上贴附其他粘合带并进行剥离时，确认到粘 合带上也有异物的附着。
[0212] X :异物没有附着于环状片材。若在卷端面上贴附其他粘合带并进行剥离，则确认 到有异物的附着。
[0213] (2)环状片材安装性
[0214] 按上述 < 感光性树脂层叠体卷的制作 > 中记载的内容制作卷，将环状薄膜安装于 卷端面时的安装性，如下进行标注等级。
[0215] 〇：可以简单地安装环状片材。贴附于卷端面时，可以没有褶皱地贴附。
[0216] Λ :将环状片材贴附、安装于支架或者卷芯的方面需要时间。贴附于卷端面时，一 部分产生褶皱或进入空气。
[0217] X :将环状片材贴附、安装于支架或者卷芯上的方面需要时间。当剥离不希望部位 上所贴附的环状片材而再次贴附时，环状片材被拉伸变形或断裂，而使贴附于卷端面变得 困难。
[0218] (3)环状片材的包装材料贴附性
[0219] 按上述 < 感光性树脂层叠体卷的制作 >中记载的内容制作卷后，将其启封。启封 后，也与安装时同样地，对环状片材是否安装于端面进行观察，如下进行标注等级。
[0220] 〇：与安装时同样地安装着。
[0221] Λ :启封时环状片材贴附于遮光性圆筒形聚乙烯片材，具有从一部分端面剥离的 部位。
[0222] X :启封时环状片材贴附于遮光性圆筒形聚乙烯片材，与遮光性圆筒形聚乙烯片 材一同剥离。
[0223] (4)环状片材的去除性
[0224] 按上述 < 感光性树脂层叠体卷的制作 >中记载的内容制作卷后，将其启封，用戴 有树脂制手套的手剥离环状片材。对剥离时的操作性如下进行标注等级。
[0225] 〇：可以在5秒内容易地剥离环状片材。
[0226] Λ :环状片材的剥离需要5秒以上的时间。
[0227] (5)异物个数
[0228] 按上述<感光性树脂层叠体卷的制作> 中记载的内容制作14根卷状的感光性树 脂层叠体。从全部卷的端面去除异物，从该14根中随机地使卷端面的总计四个位置附着异 物。之后，对全部的卷安装并剥离环状片材，计算附着于卷端面的异物。
[0229] [表 1]
[0230]
[0231] [表 2]
[0232]
[0233] [表 3]
[0234]
[0235] [表 4]
[0236]
[0239] 除了将感光性树脂层叠体1制成感光性树脂层叠体2~6、在环状片材上使用样品 B以外，与感光性树脂层叠体卷1同样地制作感光性树脂层叠体卷，将其作为感光性树脂层 叠体卷2~6。使用感光性树脂卷2~6进行⑴~（5)的评价时，得到与使用感光性树脂 层叠体卷1时同样的结果。
[0240] 除了将感光性树脂层叠体1制成感光性树脂层叠体7~10、在环状片材上使用样 品B、将外径180mm设为外径176mm以外，与感光性树脂层叠体卷1同样地制作感光性树脂 层叠体卷，将其作为感光性树脂层叠体卷7~10。卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的外径 为176_。使用感光性树脂卷7~10进行（1)~（5)的评价时，得到与使用感光性树脂层 叠体卷1时同样的结果。
[0241] 产业h的可利用件
[0242] 对于上述感光性树脂层叠体卷，由于在启封时可以容易地将异物去除，因此在精 密设备、电子材料的加工中有用，作为装入精密设备、电子材料中的永久图案也有用。
[0243] 附图标记说明
[0244] 1感光性树脂层叠体
[0245] 2 卷芯
[0246] 3卷端面保护部件（环状片材）
[0247] 4支撑层
[0248] 5感光性树脂层
[0249] 6保护层
[0250] 7 平板
[0251] 8固定部件
[0252] 9遮光片材
[0253] 10感光性树脂层叠体卷
【主权项】
1. 一种感光性树脂层叠体卷，其中，将感光性树脂层叠体在卷芯上卷绕成卷状，卷端面 保护部件按照与卷绕起来的感光性树脂层叠体的端面接触的方式配置， 所述卷端面保护部件在用于与卷端面接触的侧具有粘合剂组合物， 所述感光性树脂层叠体至少包含支撑层、和层叠于该支撑层的感光性树脂层。2. 根据权利要求1所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，其由遮光片材覆盖。3. 根据权利要求2所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述遮光片材为筒状。4. 根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其中， 所述卷芯的长度比所述感光性树脂层叠体的宽度长， 所述卷端面保护部件为配置于在卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的端面的环状片材， 该环状片材以贯穿所述卷芯的伸出部的方式配置。5. 根据权利要求4所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述环状片材的内径为 卷芯外径的1~I. 1倍。6. 根据权利要求4或5所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于， 所述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出的平板上，将所述环状片 材的存在于空中的部分中离平板最远的所述环状片材的前端、与平板的与所述环状片材接 触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、所述环状片材外径的一半设为R(mm)时，H/R为 0. 06 ~0. 59。7. 根据权利要求1~6中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述端面保 护部件与低密度聚乙稀薄膜的粘接力为5gf/inch~250gf/inch。8. 根据权利要求1~7中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述卷端面 保护部件的基材为无尘纸、低尘纸、合成纸、或者、纸与树脂基材贴合而成的物质。9. 根据权利要求1~8中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述感光性 树脂层是包含感光性树脂组合物的层，所述感光性树脂组合物包含含有羧基的碱可溶性高 分子、加成聚合性单体、光聚合引发剂。10. 根据权利要求9所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述含有羧基的碱可溶 性高分子为苯乙烯或其衍生物共聚而成的物质。11. 根据权利要求9或10所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述加成聚合性单 体包含双酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物。12. 根据权利要求9~11中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述光聚 合引发剂包含六芳基联咪唑或其衍生物。13. 根据权利要求1~12中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述粘合 剂组合物包含丙烯酸（酯）系树脂。14. 根据权利要求1~13中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述粘合 剂组合物含有粘合剂和颗粒，该颗粒的50质量％以上具有该粘合剂组合物的涂布厚度的 80~120%的直径，并且该颗粒的含量相对于100重量份粘合剂为5重量份至30重量份。15. -种感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在于， 在卷芯上卷绕成卷状的感光性树脂层叠体，以与卷绕起来的感光性树脂层叠体的端面 接触方式配置卷端面保护部件，其中， 该卷芯的长度比该感光性树脂层叠体的宽度长， 该感光性树脂层叠体至少包含支撑层、和层叠于该支撑层的感光性树脂层， 该卷端面保护部件在与卷端面接触的侧具有粘合剂组合物， 该卷端面保护部件是下述环状片材：以一体或分割成多个部分的状态在卷绕成卷状的 感光性树脂层叠体的端面配置，在配置于卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的端面上后该环 状片材的内径为卷芯外径的1~1.1倍。16. 根据权利要求15所述的感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在于，所述环状 片材的内径为所述卷芯的外径的I.OOl~1. 1倍，以贯穿所述卷芯的伸出部的方式配置所 述环状片材。17. 根据权利要求15或16所述的感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在于， 所述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出的平板上，将所述环状片 材的存在于空中的部分中离平板最远的所述环状片材的前端、与平板的与所述环状片材接 触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、所述环状片材外径的一半设为R(mm)时，H/R为 0. 06 ~0. 59。18. 根据权利要求15~17中任一项所述的感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在 于，所述环状片材与低密度聚乙稀薄膜的粘接力为5gf/inch~250gf/inch。19. 一种感光性树脂层叠体卷的包装方法，其特征在于，使用权利要求15~18中任一 项所述的方法制造感光性树脂层叠体卷，进一步由筒状的遮光片材覆盖所述感光性树脂层 叠体卷。20. -种环状片材，其为薄膜在卷芯上卷绕成卷状的薄膜卷用的环状片材，其中， 所述卷芯的长度比所述薄膜的宽度长， 所述环状片材的内径为卷芯外径的1~I. 1倍，并且 所述环状片材与所述卷绕的薄膜的端面接触，在所述环状片材的与该端面接触的侧具 有粘合剂组合物，以贯穿所述卷芯的伸出部的方式配置在薄膜卷上。21. 根据权利要求20所述的环状片材，其中，所述薄膜为感光性树脂层叠体。22. 根据权利要求20或21所述的环状片材，其特征在于， 所述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出的平板上，将所述环状片 材的存在于空中的部分中离平板最远的所述环状片材的前端、与平板的与所述环状片材接 触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、所述环状片材外径的一半设为R(mm)时，H/R为 0. 06 ~0. 59。23. 根据权利要求20~22中任一项所述的环状片材，其特征在于，其与低密度聚乙烯 薄膜的粘接力为5gf/inch~250gf/inch。24. 根据权利要求20~23中任一项所述的环状片材，其特征在于，其具有的基材为无 尘纸、低尘纸、合成纸、或者、纸与树脂基材贴合而成的物质。25. 根据权利要求21~24中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述感光性树脂层 是包含感光性树脂组合物的层，所述感光性树脂组合物包含含有羧基的碱可溶性高分子、 加成聚合性单体、光聚合引发剂。26. 根据权利要求25所述的环状片材，其特征在于，所述含有羧基的碱可溶性高分子 为苯乙烯或其衍生物共聚而成的物质。27. 根据权利要求25或26所述的环状片材，其特征在于，所述加成聚合性单体包含双 酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物。28. 根据权利要求25~27中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述光聚合引发剂 包含六芳基联咪唑或其衍生物。29. 根据权利要求20~28中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述粘合剂组合物 包含丙烯酸（酯）系树脂。30. 根据权利要求20~29中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述粘合剂组合物 含有粘合剂和颗粒，该颗粒的50质量％以上具有该粘合剂组合物的涂布厚度的80~120% 的直径，并且该颗粒的含量相对于100重量份粘合剂为5重量份至30重量份。31. -种薄膜卷，其具备由遮光片材覆盖的、权利要求20~30中所述的环状片材。
【专利摘要】本发明提供在启封时可以从感光性树脂层叠体卷端面简单地将异物去除的感光性树脂层叠体卷。该感光性树脂层叠体卷的结构是，将感光性树脂层叠体在卷芯上卷绕成卷状，以使卷端面保护部件与所卷绕的感光性树脂层叠体的端面接触的方式配置，对于卷端面保护部件，在与卷端面接触侧具有粘合剂组合物，感光性树脂层叠体至少包含支撑层与层叠于该支撑层的感光性树脂层。
【IPC分类】G03F7/004, B65D81/30, B32B7/02, B32B1/08, B65D59/00, B65D85/672, B32B27/00, B65H75/28
【公开号】CN104903207
【申请号】CN201380068564
【发明人】小谷雄三
【申请人】旭化成电子材料株式会社
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2013年12月26日
【公告号】WO2014104217A1
【技术领域】
[0001] 本发明涉及感光性树脂层叠体卷。
【背景技术】
[0002] 以往，作为感光性元件的包装公开了几种方式。例如公开了为了保护卷端面而设 置端面保护部件的包装（专利文献1)。
[0003] 现有技术文献
[0004] 专利文献
[0005] 专利文献1 :日本特开2005-41537号公报
【发明内容】
[0006] 发明要解决的问题
[0007] 本发明要解决的课题在于，提供在启封时可以简单地将异物从感光性树脂层叠体 卷端面去除的感光性树脂层叠体卷。
[0008] 用于解决问题的方案
[0009] 上述课题可以通过本发明的以下技术方案来解决。即本发明如下：
[0010] [1]
[0011] 一种感光性树脂层叠体卷，其中，将感光性树脂层叠体在卷芯上卷绕成卷状，卷端 面保护部件按照与卷绕起来的感光性树脂层叠体的端面接触的方式配置，
[0012] 所述卷端面保护部件在用于与卷端面接触的侧具有粘合剂组合物，
[0013] 所述感光性树脂层叠体至少包含支撑层、和层叠于该支撑层的感光性树脂层。
[0014] [2]
[0015] 根据第[1]项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，其由遮光片材覆盖。
[0016] [3]
[0017] 根据第[2]项述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述遮光片材为筒状。
[0018] [4]
[0019] 根据第[1]~[3]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其中，
[0020] 所述卷芯的长度比所述感光性树脂层叠体的宽度长，
[0021] 所述卷端面保护部件为配置于在卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的端面的环状 片材，该环状片材以贯穿所述卷芯的伸出部的方式配置。
[0022] [5]
[0023] 根据第[4]项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述环状片材的内径为 卷芯外径的1~1. 1倍。
[0024] [6]
[0025] 根据第[4]或[5]项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，
[0026] 所述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出的平板上，将所述环 状片材的存在于空中的部分中离平板最远的所述环状片材的前端、与平板的与所述环状片 材接触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、所述环状片材外径的一半设为R(mm)时，H/ R 为 0· 06 ~0· 59。
[0027] [7]
[0028] 根据第[1]~[6]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述端面 保护部件与低密度聚乙稀薄膜的粘接力为5gf/inch~250gf/inch。
[0029] [8]
[0030] 根据第[1]~[7]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述卷端 面保护部件的基材为无尘纸、低尘纸、合成纸、或者、纸与树脂基材贴合而成的物质。
[0031] [9]
[0032] 根据第[1]~[8]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述感光 性树脂层是包含感光性树脂组合物的层，所述感光性树脂组合物包含含有羧基的碱可溶性 高分子、加成聚合性单体、光聚合引发剂。
[0033] [10]
[0034] 根据第[9]项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述含有羧基的碱可溶 性高分子为苯乙烯或其衍生物共聚而成的物质。
[0035] [11]
[0036] 根据第[9]或[10]项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述加成聚合性 单体包含双酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物。
[0037] [12]
[0038] 根据第[9]~[11]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述光 聚合引发剂包含六芳基联咪唑或其衍生物。
[0039] [13]
[0040] 根据第[1]~[12]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述粘 合剂组合物包含丙烯酸（酯）系树脂。
[0041] [14]
[0042] 根据第[1]~[13]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述粘 合剂组合物含有粘合剂和颗粒，该颗粒的50质量％以上具有该粘合剂组合物的涂布厚度 的80~120%的直径，并且该颗粒的含量相对于100重量份粘合剂为5重量份至30重量 份。
[0043] [15]
[0044] 一种感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在于，
[0045] 在卷芯上卷绕成卷状的感光性树脂层叠体，以与卷绕起来的感光性树脂层叠体的 端面接触方式配置卷端面保护部件，其中，
[0046] 该卷芯的长度比该感光性树脂层叠体的宽度长，
[0047] 该感光性树脂层叠体至少包含支撑层、和层叠于该支撑层的感光性树脂层，
[0048] 该卷端面保护部件在与卷端面接触的侧具有粘合剂组合物，
[0049] 该卷端面保护部件是下述环状片材：以一体或分割成多个部分的状态在卷绕成卷 状的感光性树脂层叠体的端面配置，在配置于卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的端面上后 该环状片材的内径为卷芯外径的1~I. 1倍。
[0050] [16]
[0051] 根据第[15]项所述的感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在于，所述环状片 材的内径为所述卷芯的外径的1. 001~1. 1倍，以贯穿所述卷芯的伸出部的方式配置所述 环状片材。
[0052] [17]
[0053] 根据第[15]或[16]项所述的感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在于，
[0054] 所述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出的平板上，将所述环 状片材的存在于空中的部分中离平板最远的所述环状片材的前端、与平板的与所述环状片 材接触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、所述环状片材外径的一半设为R(mm)时，H/ R 为 0· 06 ~0· 59。
[0055] [18]
[0056] 根据第[15]~[17]项中任一项所述的感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征 在于，所述环状片材与低密度聚乙稀薄膜的粘接力为5gf/inch~250gf/inch。
[0057] [19]
[0058] -种感光性树脂层叠体卷的包装方法，其特征在于，使用权利要求15~18中任一 项所述的方法制造感光性树脂层叠体卷，进一步由筒状的遮光片材覆盖所述感光性树脂层 叠体卷。
[0059] [20]
[0060] 一种环状片材，其为薄膜在卷芯上卷绕成卷状的薄膜卷用的环状片材，其中，
[0061] 所述卷芯的长度比所述薄膜的宽度长，
[0062] 所述环状片材的内径为卷芯外径的1~I. 1倍，并且
[0063] 所述环状片材与所述卷绕的薄膜的端面接触，在所述环状片材的与该端面接触的 侧具有粘合剂组合物，以贯穿所述卷芯的伸出部的方式配置在薄膜卷上。
[0064] [21]
[0065] 根据第[20]项所述的环状片材，其中，所述薄膜为感光性树脂层叠体。
[0066] [22]
[0067] 根据第[20]或[21]项所述的环状片材，其特征在于，
[0068] 所述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出的平板上，将所述环 状片材的存在于空中的部分中离平板最远的所述环状片材的前端、与平板的与所述环状片 材接触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、所述环状片材外径的一半设为R(mm)时，H/ R 为 0· 06 ~0· 59。
[0069] [23]
[0070] 根据第[20]~[22]项中任一项所述的环状片材，其特征在于，其与低密度聚乙烯 薄膜的粘接力为5gf/inch~250gf/inch。
[0071] [24]
[0072] 根据第[20]~[23]项中任一项所述的环状片材，其特征在于，其具有的基材为无 尘纸、低尘纸、合成纸、或者、纸与树脂基材贴合而成的物质。
[0073] [25]
[0074] 根据第[21]~[24]项中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述感光性树脂层 是包含感光性树脂组合物的层，所述感光性树脂组合物包含含有羧基的碱可溶性高分子、 加成聚合性单体、光聚合引发剂。
[0075] [26]
[0076] 根据第[25]项所述的环状片材，其特征在于，所述含有羧基的碱可溶性高分子为 苯乙烯或其衍生物共聚而成的物质。
[0077] [27]
[0078] 根据第[25]或[26]项所述的环状片材，其特征在于，所述加成聚合性单体包含双 酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物。
[0079] [28]
[0080] 根据第[25]~[27]项中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述光聚合引发剂 包含六芳基联咪唑或其衍生物。
[0081] [29]
[0082] 根据第[20]~[28]项中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述粘合剂组合物 包含丙烯酸（酯）系树脂。
[0083] [30]
[0084] 根据第[20]~[29]项中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述粘合剂组合物 含有粘合剂和颗粒，该颗粒的50质量％以上具有该粘合剂组合物的涂布厚度的80~120% 的直径，并且该颗粒的含量相对于100重量份粘合剂为5重量份至30重量份。
[0085] [31]
[0086] -种薄膜卷，其具备由遮光片材覆盖的、[20]~[30]中所述的环状片材。
[0087] 发明的效果
[0088] 若使用本发明的感光性树脂层叠体卷，则在启封时可以简单地将异物从感光性树 脂层叠体卷端面去除。
【附图说明】
[0089] 图1是将感光性树脂层叠体在卷芯上卷绕成卷状，并且卷端面保护部件按照与所 卷绕的感光性树脂层叠体的端面接触的方式配置的感光性树脂层叠体卷的一实施方式的 示意图。
[0090] 图2是表示弯曲距离H与环状片材的外径的一半R的图。
[0091] 图3是表示由筒状的遮光片材覆盖的感光性树脂层叠体卷的一实施方式的示意 图。
【具体实施方式】
[0092] 以下，详细说明用于实施本发明的最佳方式（以下简称为"实施方式"）。需要说 明的是，本发明不限于以下的实施方式，可以在其要旨的范围内进行各种变形来实施。
[0093] 感光性树脂层叠体卷是将长条状（带状）的感光性树脂层叠体沿其长度方向在卷 芯上卷绕，并且卷端面保护部件按照与所卷绕的感光性树脂层叠体的端面（所述带状的感 光性树脂层叠体的宽度方向端部侧）接触的方式配置的感光性树脂层叠体卷。
[0094] 图1表示这种感光性树脂层叠体卷10的一实施方式的示意图。在此，感光性树脂 层叠体1包含支撑层4、层叠于该支撑层的感光性树脂层5和任意的保护层6,将该层叠体 1卷绕于卷芯2。而且，与该卷绕的感光性树脂层叠体的两个端面接触地设置卷端面保护部 件3。在此，卷端面保护部件3作为环状片材而表示。
[0095] (感光性树脂层叠体）
[0096] 感光性树脂层叠体至少包含支撑层与层叠于该支撑层上的感光性树脂层，优选进 一步包含层叠于感光性树脂层上的保护层。感光性树脂层叠体中还包含被称为干膜抗蚀 剂、干膜光致抗蚀剂的感光性薄膜。
[0097] 支撑层只要是支撑感光性树脂层的结构即可。作为可以使用的支撑层，优选的 是透过从曝光光源发射的光的透明的层。作为这样的支撑层，可列举出聚对苯二甲酸乙 二醇酯薄膜、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏二氯乙烯薄膜、偏二 氯乙烯共聚薄膜、聚甲基丙烯酸甲酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共 聚物薄膜、聚酰胺薄膜、纤维素衍生物薄膜等。可以根据需要将这些薄膜拉伸后使用。从 分辨率的观点出发，优选雾度为5以下的薄膜。更优选雾度为3以下，进一步优选雾度为 2. 5以下，更进一步优选雾度为1以下。关于支撑层的厚度，较薄的层在图像形成性和经济 性方面是有利的，但是从需要维持涂布感光性树脂组合物层时的热收缩等出发，优选使用 10 μ m~30 μ m的厚度。例如可列举出帝人杜邦薄膜（株）制造的GR19、GR16'Mitsubishi Plastics, Inc.制造的 R310-16、R340G16、東 U 示 y 工只亍7 4 厶（株）制造的 卩840(16以111膜厚）、？860(16以111膜厚）等。
[0098] 就保护层而言，保护层与感光性树脂层的密合力充分地小于支撑层，因此能够容 易地剥离。例如，作为保护层，可以优选使用聚乙烯薄膜、聚丙烯薄膜和拉伸聚丙烯薄膜等。 另外，可以使用日本特开昭59-202457号公报中公开的剥离性优异的薄膜。保护层的厚度 优选为10~1〇〇μ m，更优选为10~50 μ m。例如，可列举出Tamapoly Co. ,Ltd.制造的 GF-18、GF-818、GF-858 等。
[0099] 对于感光性树脂层，可以将感光性树脂组合物涂布于支撑层并干燥从而进行层 叠。感光性树脂层的厚度优选为5~100μπι，更优选的上限为50μπι。由于感光性树脂层 的厚度越接近5 μ m，分辨率越提高，越接近100 μ m，膜强度越提高，因此可以根据用途适当 地选择。
[0100] 作为制造感光性树脂层叠体的方法，可以采用以往公知的方法。例如，预先准备将 用于感光性树脂层的感光性树脂组合物与溶剂混合作为感光性树脂组合物调合液，使用棒 涂机或者辊涂机涂布到支撑层并使其干燥，在支撑层上层叠包含该感光性树脂组合物的感 光性树脂层。感光性树脂组合物调合液优选添加溶剂调合到25°C下为500~4000mPA ·秒。 从感光性树脂组合物调合液粘度、干燥性、残留溶剂量、涂布性、发泡性的观点出发，溶剂中 可以适当选择地使用甲乙酮、丙酮、乙醇、甲醇、丙醇、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚醋酸酯、 甲苯等。接着，通过在该感光性树脂层上层叠保护层，可以制作感光性树脂层叠体。
[0101] 对于感光性树脂层叠体，以长条状在卷芯上卷绕而成为卷状并使用。卷绕长度没 有特别限定，从卷的重量和处理容易度的观点出发，优选为320m以下。若1根感光性树脂 层叠体卷能层压的基材越多则效率越高，因此从生产率的观点出发，卷绕长度优选为IOOm 以上。
[0102] (卷芯）
[0103] 卷芯有时也被称为芯体。其形状没有特别限定，可以为圆筒状，也可以为圆柱状。 由于感光性树脂层叠体作为蚀刻或抗镀层以及永久图案而用于电子材料，因此优选实施了 无尘处理的卷芯，优选塑料树脂制的卷芯。塑料树脂的材质优选的是轻、强度优异、无尘的 材质。可以使用聚丙烯（PP)树脂、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯（ABS)树脂、尼龙树脂、聚氯乙 烯树脂等，优选ABS树脂。卷芯的直径没有特别限定，在将感光性树脂层叠体卷安装于层压 装置的情况下，为了能够安装于装置，卷芯优选为2~5inch、更优选为3inch的直径。卷 芯的长度（在使用圆筒状或圆柱状的卷芯时为其轴向长度）与感光性树脂层叠体的宽度 相比，可以相同或者较短，但在卷绕感光性树脂层叠体时，为了在两侧可以确保适当的伸出 部，优选为卷芯的长度大于感光性树脂层叠体的宽度的长度。可以按照贯穿该伸出部的方 式安装环状片材，因此优选。另外，也可以将被称为芯体支架的轴承嵌合于该伸出部并以使 感光性树脂层叠体卷不移动的方式在悬空状态下保管感光性树脂层叠体卷。
[0104] (卷端面保护部件）
[0105] 对于卷端面保护部件，按照与所卷绕的感光性树脂层叠体的端面接触的方式配 置。作为其形状没有特别限定，只要是以一定的面积与端面接触而将卷端面的至少一部分 覆盖保护的形状就没有影响，其中，优选的是按照与卷绕的感光性树脂层叠体的端面接触 的方式贯穿卷芯的伸出部地配置的环状片材。进一步优选的是具有能够实质上覆盖感光性 树脂层叠体卷端面的大致整体的尺寸的宽度的环状。卷端面保护部件可以仅用于所卷绕的 感光性树脂层叠体的一端，但优选用于两端。
[0106] 当卷端面保护部件为环状片材时，对于其环内径，为了可以贯穿卷芯使用，优选略 大于卷芯的外径。另外，通过使环状片材的中心与卷芯的中心稍稍偏离，由此环状片材的外 周从卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的外周略有露出。这样，从环状片材的拆卸变得容易 出发，环内径优选略大于卷芯的外径。具体而言，当环内径为卷芯外径的1. 001倍以上进行 安装时对卷芯没有阻滞（日文：張*9付? )，因而优选。更优选为1.005倍以上，进一步优 选为1. 01倍以上。从保护卷端面整体并去除异物的观点出发，优选环内径为卷芯的外径的 I. 1倍以下，更优选为1. 05倍以下，进一步优选为1. 03倍以下。
[0107] 对于环外径，为了可以覆盖感光性树脂层叠体卷的端面，优选的是卷绕成卷状的 感光性树脂层叠体的外径的〇. 99倍以上，更优选为1倍以上。另外，从抑制对覆盖感光性 树脂层叠体卷的遮光性的圆筒状管等包装材料的附着的观点出发，环外径优选为感光性树 脂层叠体卷的外径的I. 1倍以下，更优选为1. 05倍以下，进一步优选为1. 03倍以下。
[0108] 对于卷端面保护部件的基材，可列举出聚酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯硫醚、 聚丙烯、尼龙、分别无拉伸、拉伸、双轴拉伸的材料、以及低密度聚乙烯、高密度聚乙烯、硬质 聚氯乙烯、软质聚氯乙烯、玻璃纸、醋酸酯、三醋酸纤维素、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚酰亚胺等 塑料树脂、以及已防尘处理的纸、已防尘处理的优质纸、洁净纸、以及、纸与前述塑料树脂贴 合而成的物质、合成纸等。由于感光性树脂层叠体作为抗蚀层或者抗镀层以及永久图案而 用于电子材料，因此优选实施了无尘处理的材料。从静电的发生少、对端面的追随性良好、 异物去除性优异且安装性也优异的观点出发，优选基材为已防尘处理的纸、已防尘处理的 优质纸、洁净纸、以及、纸与前述塑料树脂贴合而成的物质、合成纸作为材质。合成纸优选将 聚丙烯作为主原料。
[0109] 当基材是已防尘处理的纸、已防尘处理的优质纸、洁净纸、以及、纸与前述塑料树 脂贴合而成的物质时，基材的厚度优选为50~500 μ m。从安装性的观点出发，优选为50 μ m 以上，从对端面的追随性、异物去除性的观点出发，优选为500 μπι以下，更优选为60~ 200 μ m，进一步优选为60~150 μ m。
[0110] 对于卷端面保护部件，从脱模性、防污性的观点出发，也可以对表面进行压花加 工。对于卷端面保护部件，在与感光性树脂层叠体卷的端面接触的一侧具有粘合剂组合物。 卷端面保护部件优选为俯视圆形的环状片材。
[0111] 对于前述环状片材，前述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出 的平板上，将前述环状片材的存在于空中的部分中离平板最远的前述环状片材的顶端、与 平板的与前述环状片材接触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、前述环状片材外径的 一半设为R(mm)时，H/R优选为0. 06~0. 59。从环状片材的卷端面安装性的观点出发，H/ R优选为0.59以下。更优选为0.5以下，进一步优选为0.45以下。从对卷端面的追随性与 异物去除性的观点出发，优选为0. 06以上。更优选为0. 1以上，进一步优选为0. 15以上。
[0112] 弯曲距离H的测定方法如下所示。首先，如图2所示，在沿实质上水平方向（与垂 直方向正交的方向）伸出的实质上的平板7上设置环状片材3。此时，将具备粘合剂的面朝 上，按照不与平板7贴合的方式设置。按照环状片材3的一半存在于空中，即按照环状片材 3的中心位于平板的端部所存在的实质上为直线状的边缘的方式固定环状片材。固定时，如 图2所示，也可以使用固定部件8进行固定。此时，环状片材3不会受到重力以外的影响而 弯曲或者弯折。通过L字型标尺测定存在于环状片材的空中的部分（从端部露出的部分） 处的、距离平板的边缘最远的环状片材的顶端与平板的与环状片材接触的面所形成的假想 面之间的垂直方向距离。测定地点设为日本静冈县富士市。
[0113] (粘合剂组合物）
[0114] 对于粘合剂组合物，可以选择使用在剥离了卷端面保护部件时在感光性树脂薄膜 端面上没有残胶，在剥离了卷端面保护部件时在卷端面保护部件上没有感光性树脂的附着 的公知的粘合剂组合物。
[0115] 其中，从异物去除性与脱模性的观点出发，优选为包含丙烯酸（酯）系树脂的组合 物。感光性树脂组合物是包含含有羧基的碱可溶性高分子、加成聚合性单体、光聚合引发剂 的感光性树脂组合物，粘合剂组合物包含丙烯酸（酯）系树脂时，从可以进一步高度地兼具 异物去除性和脱模性的观点出发而优选。
[0116] 对于粘合剂组合物优选含有颗粒，该颗粒的50质量％以上优选为具有该粘合剂 组合物的涂布厚度的80~120%的直径，并且该颗粒的含量相对于100重量份粘合剂为5 重量份至30重量份。需要说明的是，颗粒的直径使用显微镜观察，针对任意的100个颗粒， 观察出其最大直径，并计算其平均值。
[0117] 从脱模性的观点出发，颗粒的直径优选为80%以上，从粘性的观点出发，优选为 120 %以下。更优选为90~110%，进一步优选为100%。
[0118] 对于颗粒，通常即使理论上可以为单一粒度的颗粒，但实际上较多情况下难以获 得。优选具有粒度分布尽可能狭窄的、即尖锐的粒度曲线的颗粒。
[0119] 优选粘合剂总量的50质量％以上为该粘合剂的涂布厚度的80~120%的直径。从 脱模性和粘性的平衡的观点出发，更优选为70质量％以上，进一步优选为80质量％以上。
[0120] 颗粒的含量优选为相对于100重量份粘合剂为5重量份至30重量份。在贴附的 情况下，从空气的脱气泡性的观点出发，优选为5重量份以上，从粘接性的观点出发，优选 为30以下。更优选为10重量份至25重量份。当颗粒的材质为玻璃时，15~30重量份是 适宜的，塑料制的情况下优选为5~25重量份。
[0121] 颗粒的材质优选为塑料、无机材料。作为塑料，可列举出聚甲基丙烯酸酯系、聚甲 基丙烯酸甲酯系、聚苯乙烯系、聚苯乙烯丙烯酸（酯）系、聚乙烯系、聚丙烯系、聚苯乙烯丁 二烯系、聚苯乙烯二乙烯基苯系、聚氨酯系、聚苯代三聚氰胺系、三聚氰胺系。作为无机材 料，可列举出玻璃、二氧化硅（硅酸盐矿物）、碳酸钙。
[0122] 粘合剂的粘接力可以通过降低组合物整体的软化温度、提高树脂成分的极性而提 尚。
[0123] 作为端面保护部件与低密度聚乙烯薄膜的粘接力，从异物去除性与安装性的观点 出发，优选为 5gf/inch ~250gf/inch，更优选为 50gf/inch ~240gf/inch。
[0124] 需要说明的是，该粘接力按照以下方式进行测定。即，用手压辊在端面保护部件的 形成有粘合剂组合物的层的面上贴附低密度聚乙烯薄膜（LDPE)片材。低密度聚乙烯薄膜 使用TAMPOLY Co.，Ltd制造的GF-858。切割为宽I inch、长度15cm的矩形条状，在相对湿度 50%、摄氏23度下调节湿度11小时。使用Orientec Co.，Ltd制造的Tensilon RTM-500， 以负荷传感器lkg、拉伸速度IOOmm/分钟进行拉伸试验。此时，用Tensilon的下部将样品 的端面保护部件卡住（固定），用拉伸部将低密度聚乙烯薄膜卡住（固定），进行拉伸试验。 拉伸试验中在拉伸IOmm至50_的区间取负载的积分平均，并取试验次数2次的平均，将其 作为粘接性的值。
[0125] (感光性树脂层叠体卷的制造方法）
[0126] 感光性树脂层叠体卷从抑制异物的附着与抑制运输时的感光的观点出发，优选使 用遮光片材覆盖。遮光片材也可以称为遮光性薄膜。遮光片材可以按照将其卷绕于感光性 树脂层叠体卷的方式覆盖感光性树脂层叠体卷。如图3所示，当遮光片材9为筒状时，由于 可以将感光性树脂卷1插入筒内来覆盖感光性树脂卷1， 因此优选。另外，筒的长度比感光 性树脂层叠体卷1的卷芯2长时，如图3所示，可以通过将比卷芯2长的部分折入卷芯内部， 进一步抑制异物的附着和感光，因此优选。
[0127] 遮光片材从可以保护感光性树脂层叠体卷与来自例如分量轻的坠落物的接触、包 装容器的轻微接触的观点出发，优选聚乙烯制的。膜厚从维持适宜的强度并且抑制针孔的 观点出发，优选为10 μ m以上，从处理性的观点出发，优选为300 μ m以下。更优选为20~ 200 μ m，进一步优选为30~130 μ m。为了提高遮光性而优选黑色。
[0128] 感光性树脂层叠体卷优选通过形成有与前述卷芯嵌合这样的凸部的被称为芯体 支架的一对部件而悬空固定。通过悬空固定，可以防止运输时感光性树脂层叠体与包装 容器的地面壁面的接触。作为芯体支架，例如可列举出日本特开2004-42952和日本特开 2003-89477中记载的芯体支架。
[0129] 利用遮光片材覆盖感光性树脂层叠体卷时，若将遮光片材的比卷芯长的部分折入 卷芯内并按照夹持该折入部分的方式进一步安装芯体支架，则可以抑制异物的附着与感 光，因此优选。
[0130] (感光性树脂组合物）
[0131] 感光性树脂组合物优选包含（a)含有羧基的碱可溶性高分子；(b)加成聚合性单 体；（c)光聚合引发剂。
[0132] 从将环状片材从卷端面剥离时卷端面的残胶少、感光性树脂组合物向环状片材的 附着也变少的观点出发，优选感光性树脂组合物包含上述（a)~（c)。
[0133] (a)含有羧基的碱可溶性高分子
[0134] (a)含有羧基的碱可溶性高分子优选将含有α，β -不饱和羧基的单体作为聚合 成分，碱可溶性高分子的酸当量为100~600,且重均分子量为5, 000~500, 000。为了使 感光性树脂组合物相对于含碱水溶液的显影液或剥离液具有显影性或剥离性，含有羧基的 碱可溶性高分子中的羧基是必须的。酸当量是指其中具有1当量的羧基的碱可溶性高分子 的质量。酸当量的更优选的下限为250,并且更优选的上限为450。从耐显影性提高、分辨 率和密合性提高的观点、以及从确保与溶剂或感光性树脂组合物中的其他成分、特别是与 下述（b)加成聚合性单体的相容性的观点出发，（a)含有羧基的碱可溶性高分子的酸当量 优选为100以上，从显影性和剥离性提高的观点出发，优选为600以下。酸当量的测定是使 用平沼产业（株）制造的平沼自动滴定装置（COM-555)并使用0. lmol/L的氢氧化钠根据 电位滴定法而进行的。
[0135] (a)含有羧基的碱可溶性高分子的重均分子量优选为5, 000~500, 000。从维持 感光性树脂层叠体的厚度均匀并且获得对显影液的耐性的观点、以及从抑制熔边的观点出 发，重均分子量优选为5, 000以上，另外，从维持显影性的观点出发，优选为500, 000以下。 熔边是指感光性树脂层叠体卷绕成卷状时从卷端面渗出感光性树脂组合物的现象。渗出的 感光性树脂组合物有时在卷状态下会隔着支撑层保护层与从相邻的另一层的感光性树脂 层渗出的感光性树脂组合物粘连。粘连后的感光性树脂组合物、即熔边后的感光性树脂组 合物有时离开卷状的感光性树脂层叠体，在层压时从端面剥离，成为抗蚀剂肩发生飞散。若 抗蚀剂肩附着于层压后的基板，则该抗蚀剂肩将附着于接下来曝光用的掩模，被曝光固化， 在负性抗蚀剂的情况下遮蔽曝光，成为图案的缺损。
[0136] 更优选的是，（a)含有羧基的碱可溶性高分子的重均分子量的下限为20, 000,（a) 含有羧基的碱可溶性高分子的重均分子量的上限为250, 000。本说明书中的重均分子量是 指通过凝胶渗透色谱（GPC)使用聚苯乙烯（Showa Denko K.K.制造的Shodex STANDARD SM-105)的标准曲线测定得到的重均分子量。
[0137] (a)含有羧基的碱可溶性高分子的重均分子量可以使用JASCO Corporation制造 的凝胶渗透色谱在以下条件下进行测定：
[0138] 示差折光检测器：RI-1530
[0139] 泵：PU-1580
[0140] 脱气装置：DG-980-50
[0141] 柱恒温箱：CO-1560
[0142] 柱：依次为 KF-8025、KF-806M X 2、KF-807
[0143] 洗脱液：THF。
[0144] (a)含有羧基的碱可溶性高分子优选为包含选自后述第一单体或第二单体中的1 种以上的单体作为成分的（共）聚合物。
[0145] 第一单体为分子中具有一个聚合性不饱和基团的羧酸或者酸酐。例如可列举出 (甲基）丙烯酸、富马酸、桂皮酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸酐和马来酸半酯。其中，特别优选 (甲基）丙烯酸。
[0146] 第二单体为非酸性、且分子中具有至少一个聚合性不饱和基团的单体。可列举出 例如（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸正丙酯、（甲基）丙烯酸异 丙酯、（甲基）丙烯酸正丁酯、（甲基）丙烯酸异丁酯、（甲基）丙烯酸叔丁酯、（甲基）丙 烯酸2-羟乙酯、（甲基）丙烯酸2-羟丙酯、（甲基）丙烯酸环己酯、（甲基）丙烯酸2-乙 基己酯、（甲基）丙烯酸苄酯、醋酸乙烯酯等乙烯醇的酯类；（甲基）丙烯腈、苯乙烯和能够 聚合的苯乙烯衍生物等。其中，优选（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸正丁酯、苯乙烯 和（甲基）丙烯酸苄醋，从分辨率的观点出发，特别优选使用苯乙烯。
[0147] (a)含有羧基的碱可溶性高分子优选通过在将上述单体混合并用溶剂例如丙酮、 甲乙酮或异丙醇稀释而成的溶液中，适量添加自由基聚合引发剂例如过氧化苯甲酰、偶氮 异丁腈进行加热搅拌，从而合成。有时边在反应液中滴加混合物的一部分边进行合成。也有 时在反应结束之后再添加溶剂，调整至所期望的浓度。作为合成方法，除了溶液聚合以外， 还可以使用本体聚合、悬浮聚合或乳液聚合。
[0148] 对于特别优选的（a)含有羧基的碱可溶性高分子，第一单体和第二单体的共聚比 例是第一单体为10~60质量％，且第二单体为40~90质量％，进一步更优选的是第一单 体为15~35质量％，且第二单体为65~85质量％。
[0149] 作为（a)含有羧基的碱可溶性高分子的更具体的例子，例如可列举出含有甲基丙 烯酸甲酯、甲基丙烯酸和苯乙烯作为共聚成分的聚合物，含有甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸 和丙烯酸正丁酯作为共聚成分的聚合物，以及含有甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸甲酯和丙 烯酸2-乙基己酯作为共聚成分的聚合物等。
[0150] 感光性树脂组合物中的（a)含有羧基的碱可溶性高分子的含量以感光性树脂组 合物的固体成分总量作为基准为20~90质量％的范围，优选为40~60质量％。（a)含有 羧基的碱可溶性高分子的含量从维持感光性树脂组合物的碱显影性、通过曝光、显影而形 成的抗蚀图案作为抗蚀层的特性例如在压凹、蚀刻和各种电镀工序中具有充分的耐性的观 点出发，优选为20质量％以上，从固化前的感光性树脂组合物、固化后的抗蚀图案具有充 分的柔软性的观点出发，优选为90质量％以下。
[0151] (b)加成聚合性单体
[0152] (b)加成聚合性单体为在分子内具有至少一个能够聚合的烯属不饱和键的化合 物。烯属不饱和键优选为末端烯属不饱和基团。进而，从高分辨率、熔边性和压凹性的观点 出发，作为（b)加成聚合性单体，优选使用至少一种的双酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物。
[0153] 本说明书中，双酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物是指源自双酚A 的-C6H4-C (CH3)2-C6H4-基团以及具有（甲基）丙烯酰基或源自（甲基）丙烯酰基的碳-碳 不饱和双键与的化合物。作为具体例子，可列举出在双酚A的两端分别加成了平均2单元的 环氧乙烷的聚乙二醇的二（甲基丙烯酸）酯二（甲基丙烯酸）酯（新中村化学工业（株） 制造的NK酯BPE-200)或在双酚A的两端分别加成了平均5单元的环氧乙烷的聚乙二醇的 二甲基丙烯酸酯（新中村化学工业（株）制造的NK酯BPE-500)、在双酚A的两端分别加 成了平均6单元的环氧乙烷和平均2单元的环氧丙烷的聚亚烷基二醇的二（甲基丙烯酸） 酯、在双酚A的两端分别加成了平均15单元的环氧乙烷和平均2单元的环氧丙烷的聚亚烷 基二醇的二（甲基丙烯酸）酯。
[0154] 作为（b)加成聚合性单体，除了上述的化合物以外，可以使用具有至少一个烯属 不饱和基团的已知的化合物。可列举出例如4-壬基苯基七甘醇二丙二醇丙烯酸酯、丙烯酸 2-羟基-3-苯氧基丙基酯、苯氧基己甘醇丙烯酸酯、邻苯二甲酸酐与丙烯酸2-羟丙酯的半 酯化合物与环氧丙烷的反应物（日本触媒化学制造、商品名OE-A 200)、4_正辛基苯氧基五 亚丙基二醇丙烯酸酯、1，6-己二醇（甲基）丙烯酸酯、1，4-环己二醇二（甲基）丙烯酸酯、 聚丙二醇二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇二（甲基）丙烯酸酯等聚氧亚烷基二醇二（甲基） 丙烯酸酯、2-二（对羟基苯基）丙烷二（甲基）丙烯酸酯、甘油三（甲基）丙烯酸酯、季戊 四醇五（甲基）丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚三（甲基）丙烯酸酯、2, 2-双（4-甲 基丙烯酰氧基五乙氧基苯基）丙烷、六亚甲基二异氰酸酯与壬亚丙基二醇单甲基丙烯酸酯 的氨基甲酸酯化物等的含有氨基甲酸酯基的多官能（甲基）丙烯酸酯、异氰脲酸酯化合物 的多官能（甲基）丙烯酸酯等。它们可以单独使用，也可以将两种以上组合使用，也可以与 双酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物组合使用。
[0155] 感光性树脂组合物中的（b)加成聚合性单体的含量以感光性树脂组合物的固体 成分总量作为基准为5~75质量％的范围，更优选为15~70质量％。从分辨率、密合性 和铜线的形成性的观点出发，（b)加成聚合性单体的含量为5质量％以上，从固化膜的柔软 性的观点出发，为75质量％以下。
[0156] (C)光聚合引发剂
[0157] 作为（C)光聚合引发剂，可以适当地使用例如通常作为感光性树脂的光聚合引发 剂而使用的物质，特别优选使用六芳基联咪唑（以下也称为三芳基咪唑二聚体）。
[0158] 作为三芳基咪唑二聚体，例如可列举出：2_ (邻氯苯基）-4, 5-二苯基咪唑二聚体 (以下也称为"2, 2'-双（2-氯苯基）-4, 4'，5, 5'-四苯基-1，Γ-联咪唑")、2, 2'，5-三-(邻 氣苯基）-4-(3, 4_二甲氧基苯基）_4'，5' -二苯基味挫二聚体、2, 4_双-(邻氣苯 基）-5- (3, 4-二甲氧基苯基）-二苯基咪唑二聚体，
[0159] 2, 4, 5-二-(邻氣苯基）-__苯基味挫二聚体、2-(邻氣苯基） -双-4, 5- (3, 4- 二甲 氧基苯基）-咪唑二聚体、2, 2' -双-(2-氟苯基）-4, 4'，5, 5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪 唑二聚体、2, 2'-双-(2, 3-二氟甲基苯基）-4, 4'，5, 5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚 体、2, 2' -双-(2, 4-二氟苯基）_4,4'，5, 5' -四- (3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体，
[0160] 2, 2' -双-(2, 5-二氟苯基）-4, 4'，5, 5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚 体、2,2' -双-(2,6-二氟苯基）-4,4'，5,5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体、 2,2' -双-(2,3,4-三氟苯基）-4,4'，5,5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体、 2, 2' -双-(2, 3, 5-三氟苯基）_4,4'，5, 5' -四- (3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体，
[0161] 2, 2' -双-(2, 3, 6-三氟苯基）-4, 4'，5, 5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚 体、2, 2' -双-(2, 4, 5-三氟苯基）-4, 4'，5, 5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体、 2, 2' -双-(2, 4, 6-三氟苯基）_4,4'，5, 5' -四- (3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体，
[0162] 2, 2' -双-(2, 3, 4, 5-四氟苯基）-4, 4'，5, 5' -四-(3- 甲氧基苯基）-咪唑二聚 体、2, 2' -双-(2, 3, 4, 6-四氟苯基）_4,4'，5, 5' -四-(3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体和 2, 2' -双-(2, 3, 4, 5, 6-五氟苯基）_4,4'，5, 5' -四- (3-甲氧基苯基）-咪唑二聚体等。
[0163] 特别可以优选使用2-(邻氯苯基）-4, 5-二苯基咪唑二聚体，其为对于分辨率或固 化抗蚀膜的强度具有高效果的光聚合引发剂。这些光聚合引发剂可以单独使用，或者可以 将两种以上组合使用。另外，也可以与下述吖啶化合物、吡唑啉化合物等组合使用。
[0164] 在优选的实施方式中，作为（C)光聚合引发剂，可以使用吖啶化合物或吡唑啉化 合物。作为吖啶化合物，可列举出吖啶、9-苯基吖啶、9-(4-甲苯基）_吖啶、9-(4-甲氧基苯 基）吖啶、9-(4-羟苯基）吖啶、9-乙基吖啶、9-氯乙基吖啶、9-甲氧基吖啶、9-乙氧基吖 啶，
[0165] 9-(4-甲基苯基）吖啶、9-(4-乙基苯基）吖啶、9-(4-正丙基苯基）吖啶、9-(4-正 丁基苯基）吖啶、9-(4-叔丁基苯基）吖啶、9-(4-乙氧基苯基）吖啶、9-(4-乙酰基苯基） 吖啶、9-(4-二甲基氨基苯基）吖啶、9-(4-氯苯基）吖啶，
[0166] 9-(4-溴苯基）吖啶、9-(3-甲基苯基）吖啶、9-(3-叔丁基苯基）吖啶、9-(3-乙 酰基苯基）吖啶、9-(3-二甲基氨基苯基）吖啶、9-(3-二乙基氨基苯基）吖啶、9-(3-氯苯 基）吖啶、9-(3-溴苯基）吖啶、9-(2-吡啶基）吖啶、9-(3-吡啶基）吖啶、9-(4-吡啶基） 吖啶。其中，优选9-苯基吖啶。
[0167] 作为吡唑啉化合物，优选1-苯基-3-(4-叔丁基-苯乙烯基）-5-(4-叔丁基-苯 基）-吡唑啉、1- (4-(苯并噁唑-2-基）苯基）-3- (4-叔丁基-苯乙烯基）-5- (4-叔丁基-苯 基）-吡唑啉、1-苯基-3- (4-联苯基）-5- (4-叔丁基-苯基）-吡唑啉、1-苯基-3- (4-联 苯基）-5- (4-叔辛基-苯基）-吡唑啉。
[0168] 作为除了上述以外的光聚合引发剂，例如可列举出2-乙基蒽醌、八乙基蒽醌、 1，2-苯并蒽醌、2, 3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2, 3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、1，4-萘醌、 9, 10-菲醌、2-甲基-1，4-萘醌、2, 3-二甲基蒽醌和3-氯-2-甲基蒽醌等醌类，
[0169] 二苯甲酮、米蚩酮[4, 4' -双（二甲基氨基）二苯甲酮]和4, 4' -双（二乙基氨 基）二苯甲酮等芳香族酮类，苯偶姻、苯偶姻乙醚、苯偶姻苯醚、甲基苯偶姻和乙基苯偶姻 等苯偶姻醚类，
[0170] 苯偶酰二甲基缩酮、苯偶酰二乙基缩酮、噻吨酮类和烷基氨基苯甲酸的组合、1-苯 基-1，2-丙二酮-2-0-苯偶姻肟、1-苯基-1，2-丙二酮-2-(0-乙氧基羰基）肟等肟酯类。
[0171] 需要说明的是，作为上述的噻吨酮类和烷基氨基苯甲酸的组合，例如可列举出乙 基噻吨酮和二甲基氨基苯甲酸乙酯的组合、2-氯噻吨酮和二甲基氨基苯甲酸乙酯的组合以 及异丙基噻吨酮和二甲基氨基苯甲酸乙酯的组合。另外，也可以使用N-芳基氨基酸。作为 N-芳基氨基酸的例子，可列举出N-苯基甘氨酸、N-甲基-N-苯基甘氨酸、N-乙基-N-苯基 甘氨酸等。其中，特别优选N-苯基甘氨酸。
[0172] 感光性树脂组合物中的（c)光聚合引发剂的含量以感光性树脂组合物的固体成 分总量作为基准为〇.〇1~30质量％的范围，更优选的下限是0.05%质量％，进一步优选的 下限是〇. 1质量％，更优选的上限为15质量％，进一步优选的上限为10质量％。从利用曝 光进行的光聚合时获得充分感光度的观点出发，（c)光聚合引发剂的含量为0. 01质量％以 上，从光聚合时使光充分地透射到感光性树脂组合物的底面（即远离光源的部分）、获得良 好分辨率和密合性的观点出发，为30质量％以下。
[0173] (e)其他添加剂
[0174] 感光性树脂组合物中除了上述（a)~（C)的成分以外，可以含有各种添加剂。具 体而言，例如染料、颜料等着色物质。作为这样的着色物质，例如可列举出酞菁绿、结晶紫、 甲基橙、尼罗蓝2B、维多利亚蓝、孔雀绿、碱性蓝20、金刚绿等。
[0175] 在含有上述着色物质的情况下，着色物质的添加量以感光性树脂组合物的固体成 分总量作为基准，优选为0.001~1质量％。着色物质的添加量为0.001质量％以上时，具 有提高处理性的效果；为1质量％以下时，具有维持保存稳定性的效果。
[0176] 另外，为了能够通过曝光赋予可视图像，也可以在感光性树脂组合物中含有显色 剂。作为这样的显色系染料，可列举出隐色染料、或者荧烷染料和卤素化合物的组合。
[0177] 例如，作为隐色染料，可列举出三（4-二甲基氨基-2-甲基苯基）甲烷[隐色结晶 紫]、三（4-二甲基氨基-2-甲基苯基）甲烷[隐色孔雀绿]以及荧烷染料。其中，在使用 隐色结晶紫的情况下，对比度良好，是优选的。
[0178] 作为前述卤素化合物，可列举出正戊基溴、异戊基溴、溴化异丁烯、溴化乙烯、二 苯基甲基溴、二溴甲苯（benzal bromide)、二溴甲烧、三溴甲基苯基砜、四溴化碳、磷酸三 (2, 3-二溴丙基）酯、三氯乙酰胺、正戊基碘、异丁基碘、1，1，1-三氯-2, 2-双（对氯苯基） 乙烷、六氯乙烷、氯代三嗪化合物等。
[0179] 在含有这些染料的情况下，感光性树脂组合物中的染料的含量以感光性树脂组合 物的固体成分总量作为基准，优选分别为〇. 1~10质量％。
[0180] 此外，为了提高感光性树脂组合物的热稳定性和保存稳定性，优选在感光性树脂 组合物中含有自由基阻聚剂、或者选自由苯并三唑类和羧基苯并三唑类组成的组中的至少 1种以上的化合物。
[0181] 作为这样的自由基阻聚剂，例如可列举出对甲氧基苯酚、氢醌、焦掊酚、萘胺、叔丁 基邻苯二酚、氯化亚铜、2, 6-二叔丁基-对甲酚、2, 2' -亚甲基双（4-甲基-6-叔丁基苯 酚）、2, 2' -亚甲基双（4-乙基-6-叔丁基苯酚）、亚硝基苯基羟胺铝盐、二苯基亚硝胺。
[0182] 作为苯并三唑类，例如可列举出1，2, 3-苯并三唑、1-氯_1，2, 3-苯并三唑、 双（N-2-乙基己基）氨基亚甲基-1，2, 3-苯并三唑、双（N-2-乙基己基）氨基亚甲 基-1，2, 3-甲苯三唑、双（N-2-羟乙基）氨基亚甲基-1，2, 3-苯并三唑。
[0183] 作为羧基苯并三唑类，例如可列举出4-羧基-1，2, 3-苯并三唑、5-羧 基-1，2, 3-苯并三唑、（N，N-二丁基氨基）羧基苯并三唑、N- (N，N-二-2-乙基己基）氨基亚 甲基羧基苯并三唑、N- (N，N-二-2-羟乙基）氨基亚甲基羧基苯并三唑、N- (N，N-二-2-乙 基己基）氨基亚乙基羧基苯并三唑。
[0184] 自由基阻聚剂、苯并三唑类和/或羧基苯并三唑类的总计添加量以感光性树脂组 合物的固体成分总量作为基准，优选为〇. 〇〇 1~3质量％，更优选的下限为0.05质量％，更 优选的上限为1质量％。从对感光性树脂组合物赋予保存稳定性的观点出发，该总计添加 量优选为0.001质量％以上，从维持感光度的观点出发，优选为3质量％以下。
[0185] 在感光性树脂组合物中，根据需要可以含有其他增塑剂。作为这样的增塑剂，例如 可列举出将双酚A进行聚氧亚烷基改性后的化合物。
[0186] 除此以外，例如可以使用聚氧乙烯失水山梨糖醇月桂酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖 醇油酸酯等失水山梨糖醇衍生物；聚乙二醇、聚丙二醇等聚亚烷基二醇类；邻苯二甲酸二 乙酯等邻苯二甲酸酯类；邻甲苯磺酰胺、对甲苯磺酰胺、柠檬酸三丁酯、柠檬酸三乙酯、乙酰 基柠檬酸三乙酯、乙酰基柠檬酸三正丙酯和乙酰基柠檬酸三正丁酯等的增塑剂。特别优选 使用失水山梨糖醇衍生物和聚亚烷基二醇类。
[0187] 感光性树脂组合物中的增塑剂的含量以感光性树脂组合物的固体成分总量作为 基准，优选为1质量％~50质量％，更优选的下限为3质量％，更优选的上限为30质量％。 从抑制显影时间的延迟、对固化膜赋予柔软性的观点出发，优选为1质量％以上，另外从抑 制固化不足或冷流的观点出发，优选为50质量％以下。
[0188] 实施例
[0189] 以下，在实施例中进一步进行具体说明，但不限定于此。
[0190] 首先，说明实施例和比较例的评价用样品的制作方法，其次，表示关于所得样品的 评价方法和评价结果。在此，使用了环状片材作为卷端面保护部件。
[0191] (实施例1~12、比较例1)
[0192] 1.评价用样品的制作
[0193] 实施例和比较例中的评价用样品如下制作。
[0194] <感光性树脂层叠体的制作>
[0195] 将下述表1所示的组合物1(其中，各成分的数字表示作为固体成分的配混量（质 量份）。表1中的简略符号与表2中一致。）和溶剂充分地搅拌、混合，制成感光性树脂组 合物调合液，准备16μηι厚的聚对苯二甲酸乙二醇醋薄膜（Mitsubishi Plastics, Inc.制 造的R310)作为支撑体，使用模涂机将感光性树脂组合物调合液均匀地涂布于该聚对苯 二甲酸乙二醇酯薄膜的表面并进行干燥，然后形成感光性树脂层。感光性树脂层的厚度为 15 μπι。接着，在感光性树脂层的、没有层叠聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜的表面上，贴合作为 保护层的33 ym厚的聚乙烯薄膜（TAMAPOLY CO.，LTD.制造的GF-858)，得到感光性树脂层 叠体1。
[0196] 另外，上述感光性树脂层叠体1中，除了将组合物1设为组合物2~6以外，与感 光性树脂层叠体1同样地进行制作，得到感光性树脂层叠体2~6。上述感光性树脂层叠体 1中，除了将组合物1设为组合物7~10,将感光性树脂层的厚度设为10 μm以外，与感光 性树脂层叠体1同样地进行制作，得到感光性树脂层叠体7~10。
[0197] <感光性树脂层叠体卷的制作>
[0198] 环状片材使用表3~表5所示的片材。对于环状片材的含有丙烯酸（酯）树脂的 粘合剂组合物，在没有特别说明的情况下，将直接使用Elleair TackNS80/SBG85S/再剥离 (Elleair Texel株式会社制造）的粘合剂组合物。
[0199] 针对样品F和G，粘合剂组合物进行如下调整。即，将表2所示的B-I和M-8以固 体成分比为45:55和40:60的方式进行配混，涂布于基材并进行干燥、调整，以使干燥后的 膜厚为15 μ m。
[0200] 将感光性树脂层叠体1切口为宽495mm，在内径77mm、外径88mm、长度530mm的ABS 树脂制卷芯（芯体）上卷绕300m。卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的外径为180mm。
[0201] 使卷绕于芯体而成为卷状的感光性树脂层叠体保持在棒状的不锈钢制支架上，该 不锈钢制支架按照固定另一端而可以保持水平的方式设计棒状的不锈钢制支架上。
[0202] 使用外周500mm、长800mm、厚80 μm的圆筒形遮光性聚乙烯管覆盖成为卷状的感 光性树脂层叠体。
[0203] 将前述由遮光性聚乙烯管覆盖的卷状的感光性树脂层叠体从支架拆卸，在按照宽 330mm、高IOOmm且上部弯曲为凹状而可以固定卷的方式设计的缓冲部上设置卷。
[0204] 折回遮光性聚乙烯管的一端，使卷状感光性树脂层叠体的端面露出，安装环状片 材。另一端也同样地安装环状片材，制作了感光性树脂层叠体卷1。
[0205] 将遮光性聚乙烯管折入芯体内，安装按照中心部为凸状、与芯体嵌合的方式设计 的芯体支架，对感光性树脂卷1进行包装。
[0206] 2.评价基准
[0207] 按以下的评价项目和评价基准，对感光性树脂层叠体卷进行评价并标注等级。评 价结果在表3~5中不出。
[0208] (1)异物去除性
[0209] 从感光性树脂层叠体卷将 环状片材剥离，确认是否有异物附着于环状片材。如下 进行标注等级。
[0210] 〇：异物附着于环状片材。在卷端面上贴附其他粘合带并进行剥离，不能确认有异 物附着。
[0211] Λ :异物附着于环状片材，但在卷端面上贴附其他粘合带并进行剥离时，确认到粘 合带上也有异物的附着。
[0212] X :异物没有附着于环状片材。若在卷端面上贴附其他粘合带并进行剥离，则确认 到有异物的附着。
[0213] (2)环状片材安装性
[0214] 按上述 < 感光性树脂层叠体卷的制作 > 中记载的内容制作卷，将环状薄膜安装于 卷端面时的安装性，如下进行标注等级。
[0215] 〇：可以简单地安装环状片材。贴附于卷端面时，可以没有褶皱地贴附。
[0216] Λ :将环状片材贴附、安装于支架或者卷芯的方面需要时间。贴附于卷端面时，一 部分产生褶皱或进入空气。
[0217] X :将环状片材贴附、安装于支架或者卷芯上的方面需要时间。当剥离不希望部位 上所贴附的环状片材而再次贴附时，环状片材被拉伸变形或断裂，而使贴附于卷端面变得 困难。
[0218] (3)环状片材的包装材料贴附性
[0219] 按上述 < 感光性树脂层叠体卷的制作 >中记载的内容制作卷后，将其启封。启封 后，也与安装时同样地，对环状片材是否安装于端面进行观察，如下进行标注等级。
[0220] 〇：与安装时同样地安装着。
[0221] Λ :启封时环状片材贴附于遮光性圆筒形聚乙烯片材，具有从一部分端面剥离的 部位。
[0222] X :启封时环状片材贴附于遮光性圆筒形聚乙烯片材，与遮光性圆筒形聚乙烯片 材一同剥离。
[0223] (4)环状片材的去除性
[0224] 按上述 < 感光性树脂层叠体卷的制作 >中记载的内容制作卷后，将其启封，用戴 有树脂制手套的手剥离环状片材。对剥离时的操作性如下进行标注等级。
[0225] 〇：可以在5秒内容易地剥离环状片材。
[0226] Λ :环状片材的剥离需要5秒以上的时间。
[0227] (5)异物个数
[0228] 按上述<感光性树脂层叠体卷的制作> 中记载的内容制作14根卷状的感光性树 脂层叠体。从全部卷的端面去除异物，从该14根中随机地使卷端面的总计四个位置附着异 物。之后，对全部的卷安装并剥离环状片材，计算附着于卷端面的异物。
[0229] [表 1]
[0230]
[0231] [表 2]
[0232]
[0233] [表 3]
[0234]
[0235] [表 4]
[0236]
[0239] 除了将感光性树脂层叠体1制成感光性树脂层叠体2~6、在环状片材上使用样品 B以外，与感光性树脂层叠体卷1同样地制作感光性树脂层叠体卷，将其作为感光性树脂层 叠体卷2~6。使用感光性树脂卷2~6进行⑴~（5)的评价时，得到与使用感光性树脂 层叠体卷1时同样的结果。
[0240] 除了将感光性树脂层叠体1制成感光性树脂层叠体7~10、在环状片材上使用样 品B、将外径180mm设为外径176mm以外，与感光性树脂层叠体卷1同样地制作感光性树脂 层叠体卷，将其作为感光性树脂层叠体卷7~10。卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的外径 为176_。使用感光性树脂卷7~10进行（1)~（5)的评价时，得到与使用感光性树脂层 叠体卷1时同样的结果。
[0241] 产业h的可利用件
[0242] 对于上述感光性树脂层叠体卷，由于在启封时可以容易地将异物去除，因此在精 密设备、电子材料的加工中有用，作为装入精密设备、电子材料中的永久图案也有用。
[0243] 附图标记说明
[0244] 1感光性树脂层叠体
[0245] 2 卷芯
[0246] 3卷端面保护部件（环状片材）
[0247] 4支撑层
[0248] 5感光性树脂层
[0249] 6保护层
[0250] 7 平板
[0251] 8固定部件
[0252] 9遮光片材
[0253] 10感光性树脂层叠体卷
【主权项】
1. 一种感光性树脂层叠体卷，其中，将感光性树脂层叠体在卷芯上卷绕成卷状，卷端面 保护部件按照与卷绕起来的感光性树脂层叠体的端面接触的方式配置， 所述卷端面保护部件在用于与卷端面接触的侧具有粘合剂组合物， 所述感光性树脂层叠体至少包含支撑层、和层叠于该支撑层的感光性树脂层。2. 根据权利要求1所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，其由遮光片材覆盖。3. 根据权利要求2所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述遮光片材为筒状。4. 根据权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其中， 所述卷芯的长度比所述感光性树脂层叠体的宽度长， 所述卷端面保护部件为配置于在卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的端面的环状片材， 该环状片材以贯穿所述卷芯的伸出部的方式配置。5. 根据权利要求4所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述环状片材的内径为 卷芯外径的1~I. 1倍。6. 根据权利要求4或5所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于， 所述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出的平板上，将所述环状片 材的存在于空中的部分中离平板最远的所述环状片材的前端、与平板的与所述环状片材接 触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、所述环状片材外径的一半设为R(mm)时，H/R为 0. 06 ~0. 59。7. 根据权利要求1~6中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述端面保 护部件与低密度聚乙稀薄膜的粘接力为5gf/inch~250gf/inch。8. 根据权利要求1~7中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述卷端面 保护部件的基材为无尘纸、低尘纸、合成纸、或者、纸与树脂基材贴合而成的物质。9. 根据权利要求1~8中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述感光性 树脂层是包含感光性树脂组合物的层，所述感光性树脂组合物包含含有羧基的碱可溶性高 分子、加成聚合性单体、光聚合引发剂。10. 根据权利要求9所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述含有羧基的碱可溶 性高分子为苯乙烯或其衍生物共聚而成的物质。11. 根据权利要求9或10所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述加成聚合性单 体包含双酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物。12. 根据权利要求9~11中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述光聚 合引发剂包含六芳基联咪唑或其衍生物。13. 根据权利要求1~12中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述粘合 剂组合物包含丙烯酸（酯）系树脂。14. 根据权利要求1~13中任一项所述的感光性树脂层叠体卷，其特征在于，所述粘合 剂组合物含有粘合剂和颗粒，该颗粒的50质量％以上具有该粘合剂组合物的涂布厚度的 80~120%的直径，并且该颗粒的含量相对于100重量份粘合剂为5重量份至30重量份。15. -种感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在于， 在卷芯上卷绕成卷状的感光性树脂层叠体，以与卷绕起来的感光性树脂层叠体的端面 接触方式配置卷端面保护部件，其中， 该卷芯的长度比该感光性树脂层叠体的宽度长， 该感光性树脂层叠体至少包含支撑层、和层叠于该支撑层的感光性树脂层， 该卷端面保护部件在与卷端面接触的侧具有粘合剂组合物， 该卷端面保护部件是下述环状片材：以一体或分割成多个部分的状态在卷绕成卷状的 感光性树脂层叠体的端面配置，在配置于卷绕成卷状的感光性树脂层叠体的端面上后该环 状片材的内径为卷芯外径的1~1.1倍。16. 根据权利要求15所述的感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在于，所述环状 片材的内径为所述卷芯的外径的I.OOl~1. 1倍，以贯穿所述卷芯的伸出部的方式配置所 述环状片材。17. 根据权利要求15或16所述的感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在于， 所述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出的平板上，将所述环状片 材的存在于空中的部分中离平板最远的所述环状片材的前端、与平板的与所述环状片材接 触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、所述环状片材外径的一半设为R(mm)时，H/R为 0. 06 ~0. 59。18. 根据权利要求15~17中任一项所述的感光性树脂层叠体卷的制造方法，其特征在 于，所述环状片材与低密度聚乙稀薄膜的粘接力为5gf/inch~250gf/inch。19. 一种感光性树脂层叠体卷的包装方法，其特征在于，使用权利要求15~18中任一 项所述的方法制造感光性树脂层叠体卷，进一步由筒状的遮光片材覆盖所述感光性树脂层 叠体卷。20. -种环状片材，其为薄膜在卷芯上卷绕成卷状的薄膜卷用的环状片材，其中， 所述卷芯的长度比所述薄膜的宽度长， 所述环状片材的内径为卷芯外径的1~I. 1倍，并且 所述环状片材与所述卷绕的薄膜的端面接触，在所述环状片材的与该端面接触的侧具 有粘合剂组合物，以贯穿所述卷芯的伸出部的方式配置在薄膜卷上。21. 根据权利要求20所述的环状片材，其中，所述薄膜为感光性树脂层叠体。22. 根据权利要求20或21所述的环状片材，其特征在于， 所述环状片材按照其一半存在于空中的方式设置在水平伸出的平板上，将所述环状片 材的存在于空中的部分中离平板最远的所述环状片材的前端、与平板的与所述环状片材接 触侧的面之间的距离设为弯曲距离H(mm)、所述环状片材外径的一半设为R(mm)时，H/R为 0. 06 ~0. 59。23. 根据权利要求20~22中任一项所述的环状片材，其特征在于，其与低密度聚乙烯 薄膜的粘接力为5gf/inch~250gf/inch。24. 根据权利要求20~23中任一项所述的环状片材，其特征在于，其具有的基材为无 尘纸、低尘纸、合成纸、或者、纸与树脂基材贴合而成的物质。25. 根据权利要求21~24中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述感光性树脂层 是包含感光性树脂组合物的层，所述感光性树脂组合物包含含有羧基的碱可溶性高分子、 加成聚合性单体、光聚合引发剂。26. 根据权利要求25所述的环状片材，其特征在于，所述含有羧基的碱可溶性高分子 为苯乙烯或其衍生物共聚而成的物质。27. 根据权利要求25或26所述的环状片材，其特征在于，所述加成聚合性单体包含双 酚A系（甲基）丙烯酸酯化合物。28. 根据权利要求25~27中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述光聚合引发剂 包含六芳基联咪唑或其衍生物。29. 根据权利要求20~28中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述粘合剂组合物 包含丙烯酸（酯）系树脂。30. 根据权利要求20~29中任一项所述的环状片材，其特征在于，所述粘合剂组合物 含有粘合剂和颗粒，该颗粒的50质量％以上具有该粘合剂组合物的涂布厚度的80~120% 的直径，并且该颗粒的含量相对于100重量份粘合剂为5重量份至30重量份。31. -种薄膜卷，其具备由遮光片材覆盖的、权利要求20~30中所述的环状片材。
【专利摘要】本发明提供在启封时可以从感光性树脂层叠体卷端面简单地将异物去除的感光性树脂层叠体卷。该感光性树脂层叠体卷的结构是，将感光性树脂层叠体在卷芯上卷绕成卷状，以使卷端面保护部件与所卷绕的感光性树脂层叠体的端面接触的方式配置，对于卷端面保护部件，在与卷端面接触侧具有粘合剂组合物，感光性树脂层叠体至少包含支撑层与层叠于该支撑层的感光性树脂层。
【IPC分类】G03F7/004, B65D81/30, B32B7/02, B32B1/08, B65D59/00, B65D85/672, B32B27/00, B65H75/28
【公开号】CN104903207
【申请号】CN201380068564
【发明人】小谷雄三
【申请人】旭化成电子材料株式会社
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2013年12月26日
【公告号】WO2014104217A1
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