一种能应用于l波段的射频声表面波延迟线的制作方法

xiaoxiao2020-9-10  2

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一种能应用于l波段的射频声表面波延迟线的制作方法【专利摘要】本实用新型公开了一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线,包括压电基片、在压电基片上沿声表面波传播方向设置的两个叉指换能器,所述压电基片由LST石英构成。叉指换能器采用梳状结构,其中后指电极沿朝前指方向呈扇形散开,前指电极沿朝后指方向逐渐靠拢。所述叉指换能器后指的一条电极和其邻近的前指的两条电极组合成三电极的叉指电极周期。本实用新型通过采用相位温度系数相对稳定的LST石英材料作为声表面波延迟器件的基片,其内部叉指换能器运用特殊三电极扇形结构,换能器电极采用极性加权设计方法,在L波段有很好的相位/温度特性稳定,能大大的节约成本,具有极好的市场价值和应用前景。【专利说明】一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线【
技术领域
】[0001]本实用新型涉及射频声表面波延迟线器件,尤其涉及一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线。【
背景技术
】[0002]声表面波是一种弹性波,它沿着晶体表面传播,能量集中于晶体表层。利用该特性制作的伪码发生器、相位编码器、SAW卷积器、延迟线、滤波器等声表面波器件在雷达通信领域获得了广泛运用。声表面波器件性能稳定优良,可以提高系统的工作性能。[0003]传统的射频声表面波延迟线通常仅能使用于频率较低的模拟电路中,群延迟时间稳定。而在频率较高的波段,如L波段,则相位/温度特性表现极差,随着频率变高,这种情况更甚。这就限制了射频声表面波延迟线器件在射频电路中,尤其是与相位相关的延迟电路中的使用。很多情况下人们不得不设计其他较为复杂的电路或设备替代射频声表面波延迟线的功能,造成电路功耗、体积及成本增加。[0004]如果能设计一种在L波段也能稳定工作的射频声表面波延迟线将彻底改变上述状况,具有非常好的市场价值和应用前景。【
发明内容】[0005]为解决上述问题,本实用新型提出了一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线,包括压电基片、在压电基片上沿声表面波传播方向设置的两个叉指换能器,所述压电基片由LST石英构成。[0006]叉指换能器采用梳状结构,其中后指电极沿朝前指方向呈扇形散开,前指电极沿朝后指方向逐渐靠拢;或所述叉指换能器形成后指窄前指宽的扇形。[0007]所述叉指换能器后指的一条电极和其邻近的前指的两条电极组合成三电极的叉指电极周期。[0008]通过极性加权设计,叉指换能器的叉指电极周期及宽度在横向上渐变。[0009]本实用新型通过采用相位温度系数相对稳定的LST石英材料作为声表面波延迟器件的基片,其内部叉指换能器运用特殊三电极扇形结构,换能器电极采用极性加权设计方法,在L波段有很好的相位/温度特性稳定,能大大的节约成本,具有极好的市场价值和应用前景。【专利附图】【附图说明】[0010]图1为本实用新型的射频声表面波延迟线芯片示意图。[0011]图2为扇形叉指换能器的结构示意图。[0012]图3为1030MHz-250ns的声表面波线延迟线的中心频率-温度特性曲线。[0013]图4为1030MHz-250ns的声表面波线延迟线的相位-温度特性曲线。【具体实施方式】[0014]本实用新型的射频声表面波延迟线主要组成部分如图1所示:LST压电基片1、设在LST(leakystabletemperature)压电基片I上表面且沿声表面波传播方向设置的两个扇形叉指换能器2、设在两个扇形叉指换能器2之间的屏蔽条3、涂覆在LST压电基片I沿声表面波传播方向一侧或者两侧的吸声介质层4。[0015]下面对本实用新型的设计原理进行详细说明。[0016]制作声表面波器件的常用材料是压电陶瓷、铌酸锂、石英等压电晶体材料。射频声表面波延迟线常用材料是铌酸锂基片,制作的延迟器件仅能在IOOMHz以下的模拟电路中使用,群延迟时间稳定,但在L波段上相位/温度特性表现极差,无法用于与射频相关的延迟电路中。[0017]下表为几种温度稳定基片材料:128-LiNb03、ST_石英、LST-石英,在L波段应用较多的1030MHz,温度变化30°C时的相位漂移估算比较表。【权利要求】1.一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线,包括压电基片(I),其在压电基片(I)上沿声表面波传播方向设置的两个叉指换能器,其特征在于,所述压电基片(I)由LST石英构成。2.如权利要求1所述的一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线,其特征在于,所述叉指换能器的电极采用为铝电极。3.如权利要求1或2所述的一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线,其特征在于,所述叉指换能器的电极是厚度为0.1um?0.5um的铝薄膜。4.如权利要求1所述的一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线,其特征在于,所述压电基片(I)上表面沿声表面波传播方向的一侧或者两侧的表面设有吸声介质层(4)。5.如权利要求1所述的一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线,其特征在于,两个叉指换能器之间屏蔽条(3),所述屏蔽条(3)设置有一接地点。6.如权利要求1或2或4或5所述的一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线,其特征在于,叉指换能器采用梳状结构,其中后指电极沿朝前指方向呈扇形散开,前指电极沿朝后指方向逐渐靠拢;或所述叉指换能器形成后指窄前指宽的扇形。7.如权利要求6所述的一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线,其特征在于,通过极性加权设计,叉指换能器的叉指电极周期及宽度在横向上渐变。8.如权利要求1或2或4或5或7所述一种能应用于L波段的射频声表面波延迟线,其特征在于,所述叉指换能器后指的一条电极和其邻近的前指的两条电极组合成三电极的叉指电极周期。【文档编号】H03H9/42GK203416229SQ201320459192【公开日】2014年1月29日申请日期:2013年7月30日优先权日:2013年7月30日【发明者】李君惠,孙建华,李宏,陈妹,陈伟申请人:四川九洲空管科技有限责任公司

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