单晶炉副炉室垂直度调节装置的制作方法

xiaoxiao2020-9-10  3

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专利名称:单晶炉副炉室垂直度调节装置的制作方法
技术领域
本发明涉及工业单晶炉,进一步是指该类单晶炉的副炉室垂直度调节装置。
背景技术
近几年来,随着半导体ic产业及太阳能光伏产业的快速发展,促进了用于 生产单晶硅棒的软轴提拉式单晶炉的生产与销售。目前国内最常用的80型单晶 炉,由主、副炉室系统、坩埚传动系统、籽晶传动系统、底座及立柱等辅助系 统、真空系统和电气控制系统组成。设备工作时,副炉室底部落在插板阀(或 翻板阔)上,该阀打开,副炉室与主室相通,在真空环境中提拉单晶,并将拉 出的单晶棒存放在副炉室内腔中。当需要取出拉好的单晶棒时,则关闭插板阀 (或翻板阀),副室内腔为大气环境,升起并旋转副炉室,将单晶棒取出。在设 备生产过程中,副炉室底部与插板阀或翻板阀的连接应结合紧密,避免漏气。 因此,副炉室升降的垂直度显得非常重要。目前,由于大部分的单晶炉的副室 都采用浮动式升降结构,副炉室安装后,出现副炉室的上端偏离副炉室升降臂 而其下端靠近副炉室升降臂的情况,即副炉室偏离垂直状态;因此,副炉室下 降过程中与插板阀(或翻板阀)法兰密封不好的现象比较常见。在现有结构下, 调节副炉室的过程非常麻烦,影响了设备安装生产,也不利于设备的售后。

发明内容
本发明要解决的技术问题是,针对现有技术存在的缺陷,提出一种单晶炉 副炉室垂直度调节装置,它应用于生产单晶硅棒的软轴提拉型单晶炉上,能使 副炉室下降至插板阀上后与插板阀或翻板阀法兰保持良好的密封。
本发明的技术方案是,所述单晶炉副炉室垂直度调节装置包括副炉室升降 臂,该副炉室升降臂的上前端和下前端分别同固定在副炉室一侧的上连接块和
3下连接块对应连接,其结构特点是,所述上前端上固定安装有上固定块,拉紧 螺钉穿过该上固定块中的水平通孔且其前端旋入所述上连接块的相应螺孔中; 下前端上固定安装有下固定块,顶出螺钉装在该下固定块的水平螺孔中且其前 端从该螺孔中旋出后顶在所述卜连接块上。 以下对本发明做出进一步说明。
参见图1,本发明所述单晶炉副炉室垂直度调节装置包括副炉室升降臂7,
该副炉室升降臂7的上前端和下前端分别同固定在副炉室1 一侧的上连接块2 和下连接块10对应连接,其结构特点是,所述上前端上固定安装有上固定块5, 拉紧螺钉6穿过该上固定块5中的水平通孔且其前端旋入所述上连接块2的相 应螺孔中;下前端上固定安装有下固定块9,顶出螺钉8装在该下固定块9的 水平螺孔中且其前端从该螺孔中旋出后顶在所述下连接块10上。
本发明的设计原理是(参见图1),所述拉紧螺钉6与上固定块5配合,上 固定块5屮间的所述通孔是光孔(非螺孔),拉紧螺钉6穿过光孔并旋入副炉室 的上连接块2的螺孔内,顺时针旋转拉紧螺钉6,则副炉室l的上端向副炉室 升降臂7方向偏转(靠近);所述顶出螺钉8与下固定块9配合,下固定块9 中间是螺孔,顶出螺钉8通过下固定块9的螺孔旋出,顶在副炉室的下连接块 10上,顺时针旋转顶出螺钉8,则副炉室的下端偏离(远离)副炉室升降臂7 方向。当顶出螺钉8与拉紧螺钉6调节到适当的位置时,则使副炉室l垂直置 于插板阀(或翻板阀)的法兰面,副炉室1下降后将会与插板阀(或翻板阀) 结合紧密,避免漏气。
由以上可知,本发明为一种单晶炉副炉室垂直度度调节装置,它结构简单、 零件少、便于加工装配,调节简便、省时省力、效果显著、性能稳定,可提高单晶炉生产调节速度、降低劳动强度、节约操作时间。


图1是本发明所述单晶炉副炉室垂直度调节装置的一种实施例结构示意 图。在图中
l一副炉室, 2—上连接块, 3—紧固螺钉,
4一安装螺钉, 5—上固定块, 6—拉紧螺钉,
7—副炉室升降臂, 8—顶出螺钉, 9一下固定块, IO—下连接块。
具体实施例方式
如图l所示,本发明所述单晶炉副炉室垂直度调节装置包括副炉室升降臂 7,该副炉室升降臂7的上前端和下前端分别同固定在副炉室1 一侧的上连接块 2和下连接块10对应连接,其结构特点是,所述上前端上固定安装有上固定块 5,拉紧螺钉6穿过该上固定块5中的水平通孔且其前端旋入所述上连接块2 的相应螺孔中;下前端上固定安装有下固定块9,顶出螺钉8装在该下固定块9 的水平螺孔中且其前端从该螺孔中旋出后顶在所述下连接块10上。
实际安装时,在将副炉室1与副炉室升降臂7连接之前,先将副炉室l完 全落在插板阀(或翻板阀)上,副炉室法兰与插板阀(或翻板阀)法兰贴紧、 竖直。然后用紧固螺钉3将副炉室1与副炉室升降臂7固定;再按图1所示, 将上固定块5、下固定块9相应安装到副炉室升降臂7上,用安装螺钉(内六 角螺钉)4固定好;再将拉紧螺钉6和顶出螺钉8分别套(装)在上固定块5、 下固定块9上,接电运行副炉室升降臂7,看副炉室1是否垂直于插板阀(或 翻板阀)法兰。合炉时,如果不能完全盖合,则调节单晶炉副炉室垂直度调节装置的顶出螺钉8和拉紧螺钉6。当副炉室1上端偏离副炉室升降臂7 (下端相 应偏向副室升降臂),则顺时针旋转顶出螺钉8和拉紧螺钉6;当副炉室1下端
偏离副炉室升降臂(上端相应偏向副炉室升降臂),则逆时针旋转顶出螺钉8
和拉紧螺钉6;反复调节,直到将副炉室l至调垂直为止。
权利要求
1、一种单晶炉副炉室垂直度调节装置,包括副炉室升降臂(7),该副炉室升降臂(7)的上前端和下前端分别同固定在副炉室(1)一侧的上连接块(2)和下连接块(10)对应连接,其特征是,所述上前端上固定安装有上固定块(5),拉紧螺钉(6)穿过该上固定块(5)中的水平通孔且其前端旋入所述上连接块(2)的相应螺孔中;所述下前端上固定安装有下固定块(9),顶出螺钉(8)装在该下固定块(9)的水平螺孔中且其前端从该螺孔中旋出后顶在所述下连接块(10)上。
全文摘要
一种单晶炉副炉室垂直度调节装置,包括副炉室升降臂(7),该副炉室升降臂(7)的上前端和下前端分别同固定在副炉室(1)一侧的上连接块(2)和下连接块(10)对应连接,其特征是,所述上前端上固定安装有上固定块(5),拉紧螺钉(6)穿过该上固定块(5)中的水平通孔且其前端旋入所述上连接块(2)的相应螺孔中;下前端上固定安装有下固定块(9),顶出螺钉(8)装在该下固定块(9)的水平螺孔中且其前端从该螺孔中旋出后顶在所述下连接块(10)上。它结构简单、零件少、便于加工装配,且调节简便、省时省力、效果显著、性能稳定,可提高单晶炉生产调节速度、降低劳动强度、节约操作时间。
文档编号C30B15/20GK101469445SQ20071030341
公开日2009年7月1日 申请日期2007年12月25日 优先权日2007年12月25日
发明者周健伊, 易臻希, 程远贵, 超 蒋 申请人:中国电子科技集团公司第四十八研究所

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