一种低污染等离子体放电腔的制作方法
专利名称：一种低污染等离子体放电腔的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种低污染等离子体放电腔，属于机械测试领域。
背景技术：
等离子体放电腔的主要功能是产生高密度的高温等离子体，要求 放电腔不被氧化， 一般由不锈钢材料制成；由于高温等离子体的温度 很高(100(TC以上)，尽管在放电腔的外壁有冷却水槽冷却，但与等 离子体接触的一面还是会处在高温中，导致放电腔的内表面氧化；产 生的氧化物会进入到等离子体中，从而对等离子体的成分产生污染； 各部件之间的连接由焊接而成，常因焊缝不牢而发生漏水漏气的现 象。
目前主要采用如图l所示的放电腔体结构，由端法兰、进水管、 上水套、进气管、腔体法兰、导气环、出水管、下水套等组成；端法 兰与腔体法兰连接，进气管与导气环连接并置于腔体法兰上，进水管 与上水套连接，出水管与下水套连接，上水套与下水套置于端法兰与 腔体法兰之间，合拢后再焊接；上述部件均由不锈钢制作；部件与部 件之间用氩弧焊接方法连接。
目前放电腔的缺点和不足
① 腔体材料由不锈钢制作，放电腔内表面氧化严重；
② 内表面氧化产生疏松的氧化物容易脱落，并进入到等离子体 中，对等离子体造成污染，影响了等离子体的纯度；
③ 结构复杂，各部件之间的连接需要氩弧焊接，常因焊接不牢 出现漏水、漏气现象。
发明内容
本发明的目的是提供一种耐氧化、结构简单的等离子体放电腔，
其结构见图2。
本发明是由进水管、出水管、上水套、下水套、腔体和水槽组成。 组成放电腔的部件是由金属制成，各部件的连接由环氧树脂胶粘接固 化而成；放电腔内表面在高温等离子体环境中产生致密的、不易脱落 的三氧化二铝层，从而避免放电腔体继续被氧化，避免了氧化物对等 离子体成分的污染。其链接关系为进水管与上水套连接，出水管与 下水套连接，上水套与下水套置于腔体外侧合拢后再连接。
本发明的放电腔的结构为整体式结构，其材料可以由硬质铝合金 制成。
放电腔体外表周围还有冷却用的水槽，水槽中通入自来水，对放 电腔体进行冷却。
其工作原理为放电腔在工作过程中，内表面的温度达到1000 'C以上；铝合金腔体表面在此高温下生成一层致密的氧化铝(A1203) 保护膜，阻断高温等离子体对腔体的氧化作用；生成的氧化铝保护膜 与腔体结合紧密，不易脱落，从而减少了氧化物对等离子体成分的污 染；
本发明的发明点为
① 发明用铝合金材料替代不锈钢材料制作放电腔，从而减少了腔 体内表面的氧化物脱落对等离子体成分的污染；
② 放电腔的结构改为整体式结构，不需要焊接，不存在漏水、漏 气现象。
有益效果
本发明的放电腔通过用铝合金材料代替不锈钢材料，达到耐高温 氧化的目的；克服了由于长期使用不锈钢材料制作放电腔带来的污染 问题；由于铝合金放电腔采用了整体式结构，没有焯接缝，解决了焊 接不牢造成的漏水漏气现象；与目前使用的内导体相比较，具有结构 简单、性能可靠、自身污染小等优点。
图1—已有技术的内导体结构示意图； 图2—本发明内导体结构示意图中l一端法兰、2 —进水管、3 —上水套、4一进气管、5 —腔 体法兰、6 —导气环、7 —出水管、8 —下水套、9一腔体、IO —水槽。
具体实施例方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步描述。 实施例
如图2所示，本发明是由进水管2、出水管7、上水套3、下水 套8、腔体9和水槽10组成；放电腔的结构为整体式结构，组成放 电腔的材料由硬质铝合金LY12制成，其他牌号的硬质铝合金也可以 采用。各部件的连接是由环氧树脂胶粘接固化而成；放电腔内表面在 高温等离子体环境中产生致密的、不易脱落的三氧化二铝层，从而避 免放电腔体继续被氧化，避免了氧化物对等离子体成分的污染；其链 接关系为进水管2与上水套3连接，出水管7与下水套8连接，上 水套3与下水套8置于腔体9外侧，合拢后再连接。水套与腔体之间 形成的空间为水槽IO。水槽中通入自来水，对放电腔体进行冷却。
低污染等离子体放电腔的主要功能是产生低污染、高密度等离子 体；等离子体的高温可达100(TC以上，使放电腔体内表面产生致密 的的氧化铝(A1203)保护层，从而避免了腔体的继续氧化。
权利要求
1. 一种低污染等离子体放电腔，由进水管(2)、出水管(7)、上水套(3)、下水套(8)、腔体(9)和水槽(10)组成；其特征在于放电腔的结构为整体式结构；组成放电腔的部件是由金属制成，各部件的连接由环氧树脂胶粘接固化而成；放电腔内表面在高温等离子体环境中产生致密的、不易脱落的三氧化二铝层，从而避免放电腔体继续被氧化，避免了氧化物对等离子体成分的污染；其链接关系为进水管(2)与上水套(3)用环氧树脂胶粘连，出水管(7)与下水套(8)用环氧树脂胶粘连，上水套(3)与下水套(8)置于腔体(9)外侧合拢后用环氧树脂胶粘连，在腔体与上下水套之间形成水槽(10)。
2. 根据权利要求l所述的低污染等离子体放电腔，其特征在于所述的放 电腔，其材料可以由硬质铝合金制成。
3. 根据权利要求1所述的低污染等离子体放电腔，其特征在于所述的放 电腔体外表周围还有冷却用的水槽，水槽中通入自来水，对放电腔体进行冷却。
全文摘要
本发明涉及一种低污染等离子体放电腔，属于机械测试领域。本发明的主要功能是产生高密度的高温等离子体。其结构由进水管、上水套、出水管、下水套、腔体、水槽等组成，各部件由铝合金材料制成，并用环氧树脂胶粘接固化连接；由于铝合金材料在高温下生成氧化物的结构致密且不易脱落，从而减少了对等离子体成分的污染；由于各部件之间的连接使用环氧树脂胶固化粘接，没有焊接缝，消除了放电腔焊接缝漏气漏水的问题，提高了放电腔的可靠性，因而，具有自身污染小和结构可靠的特点。
文档编号H05H1/24GK101472382SQ20071030461
公开日2009年7月1日 申请日期2007年12月28日 优先权日2007年12月28日
发明者李中华, 王敬宜, 郑阔海 申请人:中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所
技术领域：
本发明涉及一种低污染等离子体放电腔，属于机械测试领域。
背景技术：
等离子体放电腔的主要功能是产生高密度的高温等离子体，要求 放电腔不被氧化， 一般由不锈钢材料制成；由于高温等离子体的温度 很高(100(TC以上)，尽管在放电腔的外壁有冷却水槽冷却，但与等 离子体接触的一面还是会处在高温中，导致放电腔的内表面氧化；产 生的氧化物会进入到等离子体中，从而对等离子体的成分产生污染； 各部件之间的连接由焊接而成，常因焊缝不牢而发生漏水漏气的现 象。
目前主要采用如图l所示的放电腔体结构，由端法兰、进水管、 上水套、进气管、腔体法兰、导气环、出水管、下水套等组成；端法 兰与腔体法兰连接，进气管与导气环连接并置于腔体法兰上，进水管 与上水套连接，出水管与下水套连接，上水套与下水套置于端法兰与 腔体法兰之间，合拢后再焊接；上述部件均由不锈钢制作；部件与部 件之间用氩弧焊接方法连接。
目前放电腔的缺点和不足
① 腔体材料由不锈钢制作，放电腔内表面氧化严重；
② 内表面氧化产生疏松的氧化物容易脱落，并进入到等离子体 中，对等离子体造成污染，影响了等离子体的纯度；
③ 结构复杂，各部件之间的连接需要氩弧焊接，常因焊接不牢 出现漏水、漏气现象。
发明内容
本发明的目的是提供一种耐氧化、结构简单的等离子体放电腔，
其结构见图2。
本发明是由进水管、出水管、上水套、下水套、腔体和水槽组成。 组成放电腔的部件是由金属制成，各部件的连接由环氧树脂胶粘接固 化而成；放电腔内表面在高温等离子体环境中产生致密的、不易脱落 的三氧化二铝层，从而避免放电腔体继续被氧化，避免了氧化物对等 离子体成分的污染。其链接关系为进水管与上水套连接，出水管与 下水套连接，上水套与下水套置于腔体外侧合拢后再连接。
本发明的放电腔的结构为整体式结构，其材料可以由硬质铝合金 制成。
放电腔体外表周围还有冷却用的水槽，水槽中通入自来水，对放 电腔体进行冷却。
其工作原理为放电腔在工作过程中，内表面的温度达到1000 'C以上；铝合金腔体表面在此高温下生成一层致密的氧化铝(A1203) 保护膜，阻断高温等离子体对腔体的氧化作用；生成的氧化铝保护膜 与腔体结合紧密，不易脱落，从而减少了氧化物对等离子体成分的污 染；
本发明的发明点为
① 发明用铝合金材料替代不锈钢材料制作放电腔，从而减少了腔 体内表面的氧化物脱落对等离子体成分的污染；
② 放电腔的结构改为整体式结构，不需要焊接，不存在漏水、漏 气现象。
有益效果
本发明的放电腔通过用铝合金材料代替不锈钢材料，达到耐高温 氧化的目的；克服了由于长期使用不锈钢材料制作放电腔带来的污染 问题；由于铝合金放电腔采用了整体式结构，没有焯接缝，解决了焊 接不牢造成的漏水漏气现象；与目前使用的内导体相比较，具有结构 简单、性能可靠、自身污染小等优点。
图1—已有技术的内导体结构示意图； 图2—本发明内导体结构示意图中l一端法兰、2 —进水管、3 —上水套、4一进气管、5 —腔 体法兰、6 —导气环、7 —出水管、8 —下水套、9一腔体、IO —水槽。
具体实施例方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步描述。 实施例
如图2所示，本发明是由进水管2、出水管7、上水套3、下水 套8、腔体9和水槽10组成；放电腔的结构为整体式结构，组成放 电腔的材料由硬质铝合金LY12制成，其他牌号的硬质铝合金也可以 采用。各部件的连接是由环氧树脂胶粘接固化而成；放电腔内表面在 高温等离子体环境中产生致密的、不易脱落的三氧化二铝层，从而避 免放电腔体继续被氧化，避免了氧化物对等离子体成分的污染；其链 接关系为进水管2与上水套3连接，出水管7与下水套8连接，上 水套3与下水套8置于腔体9外侧，合拢后再连接。水套与腔体之间 形成的空间为水槽IO。水槽中通入自来水，对放电腔体进行冷却。
低污染等离子体放电腔的主要功能是产生低污染、高密度等离子 体；等离子体的高温可达100(TC以上，使放电腔体内表面产生致密 的的氧化铝(A1203)保护层，从而避免了腔体的继续氧化。
权利要求
1. 一种低污染等离子体放电腔，由进水管(2)、出水管(7)、上水套(3)、下水套(8)、腔体(9)和水槽(10)组成；其特征在于放电腔的结构为整体式结构；组成放电腔的部件是由金属制成，各部件的连接由环氧树脂胶粘接固化而成；放电腔内表面在高温等离子体环境中产生致密的、不易脱落的三氧化二铝层，从而避免放电腔体继续被氧化，避免了氧化物对等离子体成分的污染；其链接关系为进水管(2)与上水套(3)用环氧树脂胶粘连，出水管(7)与下水套(8)用环氧树脂胶粘连，上水套(3)与下水套(8)置于腔体(9)外侧合拢后用环氧树脂胶粘连，在腔体与上下水套之间形成水槽(10)。
2. 根据权利要求l所述的低污染等离子体放电腔，其特征在于所述的放 电腔，其材料可以由硬质铝合金制成。
3. 根据权利要求1所述的低污染等离子体放电腔，其特征在于所述的放 电腔体外表周围还有冷却用的水槽，水槽中通入自来水，对放电腔体进行冷却。
全文摘要
本发明涉及一种低污染等离子体放电腔，属于机械测试领域。本发明的主要功能是产生高密度的高温等离子体。其结构由进水管、上水套、出水管、下水套、腔体、水槽等组成，各部件由铝合金材料制成，并用环氧树脂胶粘接固化连接；由于铝合金材料在高温下生成氧化物的结构致密且不易脱落，从而减少了对等离子体成分的污染；由于各部件之间的连接使用环氧树脂胶固化粘接，没有焊接缝，消除了放电腔焊接缝漏气漏水的问题，提高了放电腔的可靠性，因而，具有自身污染小和结构可靠的特点。
文档编号H05H1/24GK101472382SQ20071030461
公开日2009年7月1日 申请日期2007年12月28日 优先权日2007年12月28日
发明者李中华, 王敬宜, 郑阔海 申请人:中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所
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