重配置线路层的线路结构的制作方法
专利名称：重配置线路层的线路结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种线路结构(routing structure)，尤其涉及一种重配置线路 层(re-distribution layer, RDL)的线路结构。
背景技术：
在高度信息化社会的今日，多媒体应用的市场不断地急速扩张着。集 成电路封装技术亦需配合电子装置的数字化、网路化、区域连接化以及使 用人性化的趋势发展。为达成上述的要求，必须强化电子元件的高速处理 化、多功能化、集成化、小型轻量化及低价化等多方面的要求，于是集成 电路封装技术也跟着朝向微型化、高密度化发展。所谓集成电路封装密度所指的是单位面积所含有脚位(pin)数目多寡的 程度。对于高密度集成电路封装而言，缩短集成电路与封装基材间配线的 长度，将有助信号传递速度的提升，因此通过凸块(bump)作为信号传递的倒 装芯片封装技术已渐成为高密度封装的主流。以最常见的引线接合芯片(wire bonding chip)为例，其上的焊垫(bonding pad)通常为周围分布型态(peripheral type),经由引线电性连结至封装基板上 的引线接合垫；而倒装芯片(flip chip)上的焊垫则通常是以阵列方式(array type)排列，通过凸块电性连结至封装基板上的凸块接合垫。由于倒装芯片 封装技术已渐渐成为主流趋势，故越来越多的产品将改采用倒装芯片技术 的方式进行封装。然而，为了封装型态的改变而一并更改既有产品的芯片 设计，并不符合经济原则。因此，发展出焊垫重配置的技术，通过在原来引线接合芯片顶层金属 层设置一重配置线路层，将引线接合芯片焊垫的周围分布型态进行重配置，的凸块。然而，已知技术的重配置线路层的线路结构将焦点放在如何将电源提 供至芯片中的核心电路(core circuit),而没有考虑到如何减少在线路结构中所产生的噪声(noise)。 发明内容本发明提供一种重配置线路层的线路结构，能够有效地降低噪声。 本发明提出 一种重配置线路层的线路结构，配置于芯片的顶层金属层， 且线路结构包括电源走线、多条第一长条状导线、接地走线及多条第二长 条状导线。电源走线包括多个第一焊垫及多条第一连接线，其中各第一连 接线连接相邻两个第一焊垫。第一长条状导线连接于电源走线。接地走线 配置于电源走线的一侧，且接地走线包括多个第二焊垫及多条第二连接线， 其中各第二连接线连接相邻两个第二焊垫。第二长条状导线连接于接地走线，而第一长条状导线与第二长条状导线彼此交错配置且互不相交。依照本发明的 一 实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第 一长条状导线例如是连接于第 一焊垫。依照本发明的 一 实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第一长条状导线例如是连接于第一连接线。依照本发明的一实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第二长条状导线例如是连接于第二焊垫。依照本发明的一实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第二长条状导线例如是连接于第二连接线。依照本发明的一实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第 一长条状导线的延伸方向与电源走线的延伸方向的夹角例如是锐角。依照本发明的一实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第二长条状导线的延伸方向与接地走线的延伸方向的夹角例如是锐角。依照本发明的 一 实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中，依照本发明的一实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第二长条状导线的延伸方向与接地走线的延伸方向的夹角例如是直角。依照本发明的 一 实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 线路结构的材料例如是金属。基于上述，由于在本发明所提出的重配置线路层的线路结构中具有交 错配置且互不相交的第一长条状导线与第二长条状导线，所以可以大幅地提升去耦合电容(de-coupling capacitor),因此能够过滤掉线路结构中的噪声， 而有效地降低噪声。为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举 优选实施例，并配合附图，作详细il明如下。
图1所绘示为本发明一实施例的重配置线路层的线路结构的上视图。图2所绘示为本发明另 一 实施例的重配置线路层的线路结构的上视图。主要元件符号说明100、 200:芯片102、 202:线路结构104、 204:电源走线106、 110、 206、 210:长条状导线108、 208: 4妾地走线112、 120、 212、 220:焊垫114、 122、 214、 222:连接线116、 118、 124、 126、 216、 218、 224、 226:延伸方向e,、 e2、 e3、 e4:夹角具体实施方式
图1所绘示为本发明一实施例的重配置线路层的线路结构的上视图。请参照图1,重配置线路层的线路结构102,配置于芯片100的顶层金 属层，可用以将芯片100上的焊垫(未绘示)进行重配置并提供电源至芯片 100中的核心电路(未绘示)。线路结构102包括电源走线104、第一长条状导线106、接地走线108 及第二长条状导线110。线路结构102的材料可为任何金属，例如是铜。电源走线104包括焊垫112及连接线114,其中各连接线114连接相邻 两个焊垫112。电源走线104例如是沿着延伸方向116进行延伸。第一长条状导线106连接于电源走线104。各第一长条状导线106例如 是一端连接于焊垫112或连接线114，而另一端沿着延伸方向118进行延伸， 且第一长条状导线106彼此之间例如是互为平行排列。其中，第一长条状导线106的延伸方向118与电源走线104的延伸方向116的夹角0J列如是 锐角。在本实施例中，是以第一长条状导线106同时连接于焊垫112及连接 线114为例进行说明，但并不用以限制本发明。本领域技术人员参照本实 施例可知，只要第一长条状导线106连接于焊垫112及连接线114的至少一 者并与第二长条状导线110交错配置且互不相交，即可达成本发明的增加 去耦合电容的功效。接地走线108配置于电源走线104的一侧，且接地走线108包括多个 焊垫120及多条连接线122，其中各连接线122连接相邻两个焊垫120。接 地走线108例如是沿着延伸方向124进行延伸。接地走线108的延伸方向 124与电源走线104的延伸方向116例如是互相平ff。第二长条状导线110连接于接地走线108，而第一长条状导线106与第 二长条状导线110彼此交错配置且互不相交。各第二长条状导线110例如是 一端连接于焊垫120或连接线122，而另一端沿着延伸方向126进行延伸， 且第二长条状导线110彼此之间例如是互为平行排列。其中，第二长条状 导线110的延伸方向126与接地走线108的延伸方向124的夹角02例如是 锐角。在本实施例中，是以第二长条状导线110同时连接于悍垫120及连接 线122为例进行说明，但并不用以限制本发明。本领域技术人员参照本实 施例可知，只要第二长条状导线110连接于焊垫120及连接线122的至少 一者并与第一长条状导线106交错配置且互不相交，即可达成本发明的增 加去耦合电容的功效。由上述实施例可知，由于重配置线路层的线路结构102中具有交错配 置且互不相交的第一长条状导线106与第二长条状导线110,所以能够大幅 地增加去耦合电容，因此可过滤掉线路结构102中的噪声，以有效地降低 噪声。图2所绘示为本发明另 一 实施例的重配置线路层的线路结构的上视图。 请同时参照图1及图2,重配置线路层的线路结构202配置于芯片200 的顶层金属层，且线路结构202包括电源走线204、第一长条状导线206、 接地走线208及第二长条状导线210。其中，电源走线204包括焊垫212及 连接线214，而接地走线208包括多个焊垫220及多条连接线222。图2的实施例与图1的实施例最大的差异在于电源走线204的延伸 方向216与第一长条状导线206的延伸方向218的夹角93为直角，且接地 走线208的延伸方向224与第二长条状导线210的延伸方向226的夹角04 为直角(请参照图2);然而，电源走线104的延伸方向116与第一长条状导 线106的延伸方向118的夹角e,为锐角，且接地走线108的延伸方向124 与第二长条状导线110的延伸方向126的夹角02为锐角。此外，图2的实 施例中的其他构件的材料、配置方式及功效与图1的实施例中所揭露的构 件大致相同，故于此不再赘述。基于上述，由于长条状导线206与长条状导线210彼此交错配置且互 不相交，所以能够有效地增加去耦合电容，而可过滤掉线路结构202中的 噪声，而达到降低噪声的功效。综上所述，上述实施例至少具有下列优点1. 通过本发明所提出的重配置线路层的线路结构可大幅地增加去耦合 电容。2. 本发明所提出的重配置线路层的线路结构具有降低噪声的功效。 虽然本发明已以优选实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的前提下，可作些许的 更动与润饰，因此本发明的保护范围当视所附权利要求所界定者为准。
权利要求
1.一种重配置线路层的线路结构，配置于芯片的顶层金属层，且该线路结构包括电源走线，包括多个第一焊垫及多条第一连接线，其中各该第一连接线连接相邻两个第一焊垫；多条第一长条状导线，连接于该电源走线；接地走线，配置于该电源走线的一侧，且该接地走线包括多个第二焊垫及多条第二连接线，其中各该第二连接线连接相邻两个第二焊垫；以及多条第二长条状导线，连接于该接地走线，而该些第一长条状导线与该些第二长条状导线彼此交错配置且互不相交。
2. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第一长条状 导线包括连接于该些第 一焊垫。
3. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第一长条状 导线包括连接于该些第一连接线。
4. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第二长条状 导线包括连接于该些第二焊垫。
5. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第二长条状 导线包括连接于该些第二连接线。
6. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第一长条状
7. 如权利要求6所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第二长条状 导线的延伸方向与该接地走线的延伸方向的夹角为锐角。
8. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第一长条状
9. 如权利要求8所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第二长条状 导线的延伸方向与该接地走线的延伸方向的夹角为直角。
10. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该线路结构的 材料为金属。
全文摘要
一种重配置线路层的线路结构，配置于芯片的顶层金属层，且线路结构包括电源走线、多条第一长条状导线、接地走线及多条第二长条状导线。电源走线包括多个第一焊垫及多条第一连接线，其中各第一连接线连接相邻两个第一焊垫。第一长条状导线连接于电源走线。接地走线配置于电源走线的一侧，且接地走线包括多个第二焊垫及多条第二连接线，其中各第二连接线连接相邻两个第二焊垫。第二长条状导线连接于接地走线，而第一长条状导线与第二长条状导线彼此交错配置且互不相交。
文档编号H01L23/482GK101236940SQ20081007418
公开日2008年8月6日 申请日期2008年2月27日 优先权日2008年2月27日
发明者陈晓山 申请人:威盛电子股份有限公司
技术领域：
本发明涉及一种线路结构(routing structure)，尤其涉及一种重配置线路 层(re-distribution layer, RDL)的线路结构。
背景技术：
在高度信息化社会的今日，多媒体应用的市场不断地急速扩张着。集 成电路封装技术亦需配合电子装置的数字化、网路化、区域连接化以及使 用人性化的趋势发展。为达成上述的要求，必须强化电子元件的高速处理 化、多功能化、集成化、小型轻量化及低价化等多方面的要求，于是集成 电路封装技术也跟着朝向微型化、高密度化发展。所谓集成电路封装密度所指的是单位面积所含有脚位(pin)数目多寡的 程度。对于高密度集成电路封装而言，缩短集成电路与封装基材间配线的 长度，将有助信号传递速度的提升，因此通过凸块(bump)作为信号传递的倒 装芯片封装技术已渐成为高密度封装的主流。以最常见的引线接合芯片(wire bonding chip)为例，其上的焊垫(bonding pad)通常为周围分布型态(peripheral type),经由引线电性连结至封装基板上 的引线接合垫；而倒装芯片(flip chip)上的焊垫则通常是以阵列方式(array type)排列，通过凸块电性连结至封装基板上的凸块接合垫。由于倒装芯片 封装技术已渐渐成为主流趋势，故越来越多的产品将改采用倒装芯片技术 的方式进行封装。然而，为了封装型态的改变而一并更改既有产品的芯片 设计，并不符合经济原则。因此，发展出焊垫重配置的技术，通过在原来引线接合芯片顶层金属 层设置一重配置线路层，将引线接合芯片焊垫的周围分布型态进行重配置，的凸块。然而，已知技术的重配置线路层的线路结构将焦点放在如何将电源提 供至芯片中的核心电路(core circuit),而没有考虑到如何减少在线路结构中所产生的噪声(noise)。 发明内容本发明提供一种重配置线路层的线路结构，能够有效地降低噪声。 本发明提出 一种重配置线路层的线路结构，配置于芯片的顶层金属层， 且线路结构包括电源走线、多条第一长条状导线、接地走线及多条第二长 条状导线。电源走线包括多个第一焊垫及多条第一连接线，其中各第一连 接线连接相邻两个第一焊垫。第一长条状导线连接于电源走线。接地走线 配置于电源走线的一侧，且接地走线包括多个第二焊垫及多条第二连接线， 其中各第二连接线连接相邻两个第二焊垫。第二长条状导线连接于接地走线，而第一长条状导线与第二长条状导线彼此交错配置且互不相交。依照本发明的 一 实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第 一长条状导线例如是连接于第 一焊垫。依照本发明的 一 实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第一长条状导线例如是连接于第一连接线。依照本发明的一实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第二长条状导线例如是连接于第二焊垫。依照本发明的一实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第二长条状导线例如是连接于第二连接线。依照本发明的一实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第 一长条状导线的延伸方向与电源走线的延伸方向的夹角例如是锐角。依照本发明的一实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第二长条状导线的延伸方向与接地走线的延伸方向的夹角例如是锐角。依照本发明的 一 实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中，依照本发明的一实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 第二长条状导线的延伸方向与接地走线的延伸方向的夹角例如是直角。依照本发明的 一 实施例所述，在上述的重配置线路层的线路结构中， 线路结构的材料例如是金属。基于上述，由于在本发明所提出的重配置线路层的线路结构中具有交 错配置且互不相交的第一长条状导线与第二长条状导线，所以可以大幅地提升去耦合电容(de-coupling capacitor),因此能够过滤掉线路结构中的噪声， 而有效地降低噪声。为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举 优选实施例，并配合附图，作详细il明如下。
图1所绘示为本发明一实施例的重配置线路层的线路结构的上视图。图2所绘示为本发明另 一 实施例的重配置线路层的线路结构的上视图。主要元件符号说明100、 200:芯片102、 202:线路结构104、 204:电源走线106、 110、 206、 210:长条状导线108、 208: 4妾地走线112、 120、 212、 220:焊垫114、 122、 214、 222:连接线116、 118、 124、 126、 216、 218、 224、 226:延伸方向e,、 e2、 e3、 e4:夹角具体实施方式
图1所绘示为本发明一实施例的重配置线路层的线路结构的上视图。请参照图1,重配置线路层的线路结构102,配置于芯片100的顶层金 属层，可用以将芯片100上的焊垫(未绘示)进行重配置并提供电源至芯片 100中的核心电路(未绘示)。线路结构102包括电源走线104、第一长条状导线106、接地走线108 及第二长条状导线110。线路结构102的材料可为任何金属，例如是铜。电源走线104包括焊垫112及连接线114,其中各连接线114连接相邻 两个焊垫112。电源走线104例如是沿着延伸方向116进行延伸。第一长条状导线106连接于电源走线104。各第一长条状导线106例如 是一端连接于焊垫112或连接线114，而另一端沿着延伸方向118进行延伸， 且第一长条状导线106彼此之间例如是互为平行排列。其中，第一长条状导线106的延伸方向118与电源走线104的延伸方向116的夹角0J列如是 锐角。在本实施例中，是以第一长条状导线106同时连接于焊垫112及连接 线114为例进行说明，但并不用以限制本发明。本领域技术人员参照本实 施例可知，只要第一长条状导线106连接于焊垫112及连接线114的至少一 者并与第二长条状导线110交错配置且互不相交，即可达成本发明的增加 去耦合电容的功效。接地走线108配置于电源走线104的一侧，且接地走线108包括多个 焊垫120及多条连接线122，其中各连接线122连接相邻两个焊垫120。接 地走线108例如是沿着延伸方向124进行延伸。接地走线108的延伸方向 124与电源走线104的延伸方向116例如是互相平ff。第二长条状导线110连接于接地走线108，而第一长条状导线106与第 二长条状导线110彼此交错配置且互不相交。各第二长条状导线110例如是 一端连接于焊垫120或连接线122，而另一端沿着延伸方向126进行延伸， 且第二长条状导线110彼此之间例如是互为平行排列。其中，第二长条状 导线110的延伸方向126与接地走线108的延伸方向124的夹角02例如是 锐角。在本实施例中，是以第二长条状导线110同时连接于悍垫120及连接 线122为例进行说明，但并不用以限制本发明。本领域技术人员参照本实 施例可知，只要第二长条状导线110连接于焊垫120及连接线122的至少 一者并与第一长条状导线106交错配置且互不相交，即可达成本发明的增 加去耦合电容的功效。由上述实施例可知，由于重配置线路层的线路结构102中具有交错配 置且互不相交的第一长条状导线106与第二长条状导线110,所以能够大幅 地增加去耦合电容，因此可过滤掉线路结构102中的噪声，以有效地降低 噪声。图2所绘示为本发明另 一 实施例的重配置线路层的线路结构的上视图。 请同时参照图1及图2,重配置线路层的线路结构202配置于芯片200 的顶层金属层，且线路结构202包括电源走线204、第一长条状导线206、 接地走线208及第二长条状导线210。其中，电源走线204包括焊垫212及 连接线214，而接地走线208包括多个焊垫220及多条连接线222。图2的实施例与图1的实施例最大的差异在于电源走线204的延伸 方向216与第一长条状导线206的延伸方向218的夹角93为直角，且接地 走线208的延伸方向224与第二长条状导线210的延伸方向226的夹角04 为直角(请参照图2);然而，电源走线104的延伸方向116与第一长条状导 线106的延伸方向118的夹角e,为锐角，且接地走线108的延伸方向124 与第二长条状导线110的延伸方向126的夹角02为锐角。此外，图2的实 施例中的其他构件的材料、配置方式及功效与图1的实施例中所揭露的构 件大致相同，故于此不再赘述。基于上述，由于长条状导线206与长条状导线210彼此交错配置且互 不相交，所以能够有效地增加去耦合电容，而可过滤掉线路结构202中的 噪声，而达到降低噪声的功效。综上所述，上述实施例至少具有下列优点1. 通过本发明所提出的重配置线路层的线路结构可大幅地增加去耦合 电容。2. 本发明所提出的重配置线路层的线路结构具有降低噪声的功效。 虽然本发明已以优选实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的前提下，可作些许的 更动与润饰，因此本发明的保护范围当视所附权利要求所界定者为准。
权利要求
1.一种重配置线路层的线路结构，配置于芯片的顶层金属层，且该线路结构包括电源走线，包括多个第一焊垫及多条第一连接线，其中各该第一连接线连接相邻两个第一焊垫；多条第一长条状导线，连接于该电源走线；接地走线，配置于该电源走线的一侧，且该接地走线包括多个第二焊垫及多条第二连接线，其中各该第二连接线连接相邻两个第二焊垫；以及多条第二长条状导线，连接于该接地走线，而该些第一长条状导线与该些第二长条状导线彼此交错配置且互不相交。
2. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第一长条状 导线包括连接于该些第 一焊垫。
3. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第一长条状 导线包括连接于该些第一连接线。
4. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第二长条状 导线包括连接于该些第二焊垫。
5. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第二长条状 导线包括连接于该些第二连接线。
6. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第一长条状
7. 如权利要求6所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第二长条状 导线的延伸方向与该接地走线的延伸方向的夹角为锐角。
8. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第一长条状
9. 如权利要求8所述的重配置线路层的线路结构，其中该些第二长条状 导线的延伸方向与该接地走线的延伸方向的夹角为直角。
10. 如权利要求1所述的重配置线路层的线路结构，其中该线路结构的 材料为金属。
全文摘要
一种重配置线路层的线路结构，配置于芯片的顶层金属层，且线路结构包括电源走线、多条第一长条状导线、接地走线及多条第二长条状导线。电源走线包括多个第一焊垫及多条第一连接线，其中各第一连接线连接相邻两个第一焊垫。第一长条状导线连接于电源走线。接地走线配置于电源走线的一侧，且接地走线包括多个第二焊垫及多条第二连接线，其中各第二连接线连接相邻两个第二焊垫。第二长条状导线连接于接地走线，而第一长条状导线与第二长条状导线彼此交错配置且互不相交。
文档编号H01L23/482GK101236940SQ20081007418
公开日2008年8月6日 申请日期2008年2月27日 优先权日2008年2月27日
发明者陈晓山 申请人:威盛电子股份有限公司
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