全自动引线键合机x-y工作台的制作方法
专利名称：全自动引线键合机x-y工作台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种全自动引线键合机X-Y工作台，属于全自动引线键合机部 件技术领域。
背景技术：
全自动引线键合机是以金属引线连接芯片焊盘和封装管脚的半导体生产关 键设备。键合机工作过程的根本特征在于通过引导金属引线在三维空间中作复 杂高速的运动以形成各种满足不同封装形式需要的特殊线弧形状。高加速度高 定位精度工作台是引线键合机的核心部件，决定键合的工作速度和质量。直线 电机凭借其卓越性能代替旋转电机，广泛应用到引线键合机工作台上，代替了 旋转电机加滚珠丝杠驱动形式的工作台，但是，多数工作台的横向和纵向运动 需要解耦装置，结构复杂，且容易引入不利影响，而且工作台多采用一般的交 叉滚子导轨，导轨保持架没有定位装置，保持架在高的加减速运动情况下容易 偏离原始位置。
发明内容
木发明的目的是提供一种全自动引线键合机X-Y工作台，解决现有工作台 存在长期工作影响整机性能及可靠性的缺陷，提高工作台运动精度和速度，而 且结构简单紧凑工作稳定可靠，便于维护，使用寿命长。 本发明的目的是由如下方案实现的
本发明包括底座，所说底座上安装有横向驱动直线电机及纵向驱动直线电 机，横向驱动直线电机驱动的横向动子上装有横向滑块，横向滑块上固定有横 向光栅尺，与光栅尺相对的横向读数头与底座固定，与横向滑块配合的横向导 轨与底座固定，与纵向滑块配合的纵向导轨固定在横向滑块上，纵向滑块与纵 向驱动直线电机驱却的纵向动子连接，纵向滑块上固定有纵向光栅尺，与纵向 光栅尺相对的纵向读数头固定在横向滑块上。
本发明所说横向导轨和纵向导轨均为具有齿轮齿条形式保持架的交叉滚子 导轨。
本发明所说横向驱动直线电机的左前吹气板和左吹气板上开有用于冷却电 机的吹气孔。
本发明所说纵向驱动直线电机的上板和下板开有用于冷却电机的吹气孔。
本发明所提供的全自动引线键合机X-Y工作台的优点是，由于二维工作台 采用线性永磁龟机直接驱动滑块运动，消除了高速运动状态传动过程中产生的 误差，采用齿轮齿条形式保持架的交叉滚子导轨，消除了高加减速过程中保持 架的错位问题，提高了工作台的精度和速度，而且结构简单紧凑，工作稳定可 靠，便于维修，使用寿命长。
图1为本发明全自动引线键合机X-Y工作台一种实施例的轴测结构示意图。 图2为本发明全自动引线键合机X-Y工作台横向驱动电机轴侧示意图。 图3为本发明全自动引线键合机X-Y工作台纵向驱动电机轴侧示意图。 在附图中1纵向驱动直线电机、2底座、3横向导轨、4纵向读数头、5 纵向光栅尺、6纵向导轨、7纵向滑块、8横向读数头、9横向光栅尺、10横向 滑块、ll横向驱动直线电机、12横向动子、13纵向动子、14左前吹气板、15 左吹气板、16横向驱动直线电机风扇、17上板、18下板、19纵向驱动直线电 机风扇。
具体实施例方式
下面将结合实施例附图对本发明作进一步详述
本发明是利用安装在底座上的直线电机驱动导轨上的滑块做平面运动。 参照附图，本发明是在底座2上用紧固件安装工作台，工作台上安装有横向 驱动直线电机11及纵向驱动直线电机1，横向驱动直线电机11的横向动子12 上装有横向滑块IO，横向滑块10上固定有横向光栅尺9，用于不动横向读数头 8读取横向位置，横向驱动直线电机11驱动横向滑块10可沿固定于底座2的 横向导轨3运动，纵向滑块7及纵向导轨6固定在横向滑块10上，纵向滑块7 直接与纵向驱动直线电机1的纵向动子13连接，纵向滑块7上固定有纵向光栅 尺5，用于不动纵向读数头4读取横向位置，纵向驱动直线电机1驱动纵向滑 块7可作纵向运动，同时纵向滑块7可沿纵向导轨6与横向滑块3 —起做横纵 综合运动，纵向动子13在纵向驱动直线电机1内作横纵综合运动。
本发明引线键合机X-Y工作台机构，纵向滑块7直接与纵向驱动直线电机 1的纵向动子13连接，可沿纵向导轨6与横向滑块3—起做横纵综合运动，纵 向动子13在纵向驱动直线电机1内作横纵综合运动，这种方式省掉了解耦机构， 消除了解耦机构带来的不利影响，简化了结构。
本发明引线键合机X-Y工作台机构，横向滑块10上固定有横向光栅尺9， 用于不动横向读数头8读取横向位置，纵向滑块7上固定有纵向光栅尺5，用 于不动纵向读数头4读取横向位置，这样的结构便于调节读数头的位置，达到 读数要求，得到准确的位置数据。
本发明引线键合机X-Y工作台机构，横向导轨3和纵向导轨6均采用具有 齿轮齿条形式保持架的交叉滚子导轨，消除了高加减速过程中保持架的错位问 题，提高了工作台的精度。
为了有利于对电机的冷却，在横向驱动直线电机11的左前吹气板14和左 吹气板15上开有用于冷却电机的吹气孔，压缩空气可以通过吹气孔对电机进行 冷却，同时借助横向驱动直线电机风扇16进行抽风，形成通畅的冷却通道。同 理，纵向驱动直线电机1的上板17和下板18上也开有用于冷却电机的吹气孔， 压縮空气可以通过吹气孔对纵向驱动直线电机1进行冷却，并借助于纵向驱动 直线电机风扇19进行抽风，形成通畅的冷却通道。
权利要求
1、一种全自动引线键合机X-Y工作台，其特征在于它包括底座(2)，所说底座(2)上安装有横向驱动直线电机(11)及纵向驱动直线电机(1)，横向驱动直线电机(11)驱动的横向动子(12)上装有横向滑块(10)，横向滑块(10)上固定有横向光栅尺(9)，与光栅尺(9)相对的横向读数头(8)与底座(2)固定，与横向滑块(10)配合的横向导轨(3)与底座(2)固定，与纵向滑块(7)配合的纵向导轨(6)固定在横向滑块(10)上，纵向滑块(7)与纵向驱动直线电机(1)驱却的纵向动子(13)连接，纵向滑块(7)上固定有纵向光栅尺(5)，与纵向光栅尺(5)相对的纵向读数头(4)固定在横向滑块(10)上。
2、 根据权利要求1所述的全自动引线键合机X-Y工作台，其特征在于所 说横向导轨(3)和纵向导轨(6)均为具有齿轮齿条形式保持架的交叉滚子导 轨。
3、 根据权利要求1所述的全自动引线键合机X-Y工作台，其特征在于所 说横向驱动直线电机(11)的左前吹气板(14)和左吹气板(15)上开有用于 冷却电机的吹气孔。
4、 根据权利要求1所述的全自动引线键合机X-Y工作台，其特征在于所 说纵向驱动直线电机(1)的上板(17)和下板(18)开有用于冷却电机的吹气 孔。
全文摘要
本发明涉及一种全自动引线键合机X-Y工作台，属于全自动引线键合机部件技术领域，本发明包括底座，所说底座上安装有横向驱动直线电机及纵向驱动直线电机，横向驱动直线电机驱动的横向动子上装有横向滑块，横向滑块上固定有横向光栅尺，与光栅尺相对的横向读数头与底座固定，与横向滑块配合的横向导轨与底座固定，与纵向滑块配合的纵向导轨固定在横向滑块上，纵向滑块与纵向驱动直线电机驱却的纵向动子连接，纵向滑块上固定有纵向光栅尺，与纵向光栅尺相对的纵向读数头固定在横向滑块上。本发明结构简单紧凑，工作稳定可靠，便于维修，使用寿命长。
文档编号H01L21/02GK101345200SQ20081007923
公开日2009年1月14日 申请日期2008年8月21日 优先权日2008年8月21日
发明者张续业, 牛伟光, 威 陈 申请人:中国电子科技集团公司第四十五研究所
技术领域：
本发明涉及一种全自动引线键合机X-Y工作台，属于全自动引线键合机部 件技术领域。
背景技术：
全自动引线键合机是以金属引线连接芯片焊盘和封装管脚的半导体生产关 键设备。键合机工作过程的根本特征在于通过引导金属引线在三维空间中作复 杂高速的运动以形成各种满足不同封装形式需要的特殊线弧形状。高加速度高 定位精度工作台是引线键合机的核心部件，决定键合的工作速度和质量。直线 电机凭借其卓越性能代替旋转电机，广泛应用到引线键合机工作台上，代替了 旋转电机加滚珠丝杠驱动形式的工作台，但是，多数工作台的横向和纵向运动 需要解耦装置，结构复杂，且容易引入不利影响，而且工作台多采用一般的交 叉滚子导轨，导轨保持架没有定位装置，保持架在高的加减速运动情况下容易 偏离原始位置。
发明内容
木发明的目的是提供一种全自动引线键合机X-Y工作台，解决现有工作台 存在长期工作影响整机性能及可靠性的缺陷，提高工作台运动精度和速度，而 且结构简单紧凑工作稳定可靠，便于维护，使用寿命长。 本发明的目的是由如下方案实现的
本发明包括底座，所说底座上安装有横向驱动直线电机及纵向驱动直线电 机，横向驱动直线电机驱动的横向动子上装有横向滑块，横向滑块上固定有横 向光栅尺，与光栅尺相对的横向读数头与底座固定，与横向滑块配合的横向导 轨与底座固定，与纵向滑块配合的纵向导轨固定在横向滑块上，纵向滑块与纵 向驱动直线电机驱却的纵向动子连接，纵向滑块上固定有纵向光栅尺，与纵向 光栅尺相对的纵向读数头固定在横向滑块上。
本发明所说横向导轨和纵向导轨均为具有齿轮齿条形式保持架的交叉滚子 导轨。
本发明所说横向驱动直线电机的左前吹气板和左吹气板上开有用于冷却电 机的吹气孔。
本发明所说纵向驱动直线电机的上板和下板开有用于冷却电机的吹气孔。
本发明所提供的全自动引线键合机X-Y工作台的优点是，由于二维工作台 采用线性永磁龟机直接驱动滑块运动，消除了高速运动状态传动过程中产生的 误差，采用齿轮齿条形式保持架的交叉滚子导轨，消除了高加减速过程中保持 架的错位问题，提高了工作台的精度和速度，而且结构简单紧凑，工作稳定可 靠，便于维修，使用寿命长。
图1为本发明全自动引线键合机X-Y工作台一种实施例的轴测结构示意图。 图2为本发明全自动引线键合机X-Y工作台横向驱动电机轴侧示意图。 图3为本发明全自动引线键合机X-Y工作台纵向驱动电机轴侧示意图。 在附图中1纵向驱动直线电机、2底座、3横向导轨、4纵向读数头、5 纵向光栅尺、6纵向导轨、7纵向滑块、8横向读数头、9横向光栅尺、10横向 滑块、ll横向驱动直线电机、12横向动子、13纵向动子、14左前吹气板、15 左吹气板、16横向驱动直线电机风扇、17上板、18下板、19纵向驱动直线电 机风扇。
具体实施例方式
下面将结合实施例附图对本发明作进一步详述
本发明是利用安装在底座上的直线电机驱动导轨上的滑块做平面运动。 参照附图，本发明是在底座2上用紧固件安装工作台，工作台上安装有横向 驱动直线电机11及纵向驱动直线电机1，横向驱动直线电机11的横向动子12 上装有横向滑块IO，横向滑块10上固定有横向光栅尺9，用于不动横向读数头 8读取横向位置，横向驱动直线电机11驱动横向滑块10可沿固定于底座2的 横向导轨3运动，纵向滑块7及纵向导轨6固定在横向滑块10上，纵向滑块7 直接与纵向驱动直线电机1的纵向动子13连接，纵向滑块7上固定有纵向光栅 尺5，用于不动纵向读数头4读取横向位置，纵向驱动直线电机1驱动纵向滑 块7可作纵向运动，同时纵向滑块7可沿纵向导轨6与横向滑块3 —起做横纵 综合运动，纵向动子13在纵向驱动直线电机1内作横纵综合运动。
本发明引线键合机X-Y工作台机构，纵向滑块7直接与纵向驱动直线电机 1的纵向动子13连接，可沿纵向导轨6与横向滑块3—起做横纵综合运动，纵 向动子13在纵向驱动直线电机1内作横纵综合运动，这种方式省掉了解耦机构， 消除了解耦机构带来的不利影响，简化了结构。
本发明引线键合机X-Y工作台机构，横向滑块10上固定有横向光栅尺9， 用于不动横向读数头8读取横向位置，纵向滑块7上固定有纵向光栅尺5，用 于不动纵向读数头4读取横向位置，这样的结构便于调节读数头的位置，达到 读数要求，得到准确的位置数据。
本发明引线键合机X-Y工作台机构，横向导轨3和纵向导轨6均采用具有 齿轮齿条形式保持架的交叉滚子导轨，消除了高加减速过程中保持架的错位问 题，提高了工作台的精度。
为了有利于对电机的冷却，在横向驱动直线电机11的左前吹气板14和左 吹气板15上开有用于冷却电机的吹气孔，压缩空气可以通过吹气孔对电机进行 冷却，同时借助横向驱动直线电机风扇16进行抽风，形成通畅的冷却通道。同 理，纵向驱动直线电机1的上板17和下板18上也开有用于冷却电机的吹气孔， 压縮空气可以通过吹气孔对纵向驱动直线电机1进行冷却，并借助于纵向驱动 直线电机风扇19进行抽风，形成通畅的冷却通道。
权利要求
1、一种全自动引线键合机X-Y工作台，其特征在于它包括底座(2)，所说底座(2)上安装有横向驱动直线电机(11)及纵向驱动直线电机(1)，横向驱动直线电机(11)驱动的横向动子(12)上装有横向滑块(10)，横向滑块(10)上固定有横向光栅尺(9)，与光栅尺(9)相对的横向读数头(8)与底座(2)固定，与横向滑块(10)配合的横向导轨(3)与底座(2)固定，与纵向滑块(7)配合的纵向导轨(6)固定在横向滑块(10)上，纵向滑块(7)与纵向驱动直线电机(1)驱却的纵向动子(13)连接，纵向滑块(7)上固定有纵向光栅尺(5)，与纵向光栅尺(5)相对的纵向读数头(4)固定在横向滑块(10)上。
2、 根据权利要求1所述的全自动引线键合机X-Y工作台，其特征在于所 说横向导轨(3)和纵向导轨(6)均为具有齿轮齿条形式保持架的交叉滚子导 轨。
3、 根据权利要求1所述的全自动引线键合机X-Y工作台，其特征在于所 说横向驱动直线电机(11)的左前吹气板(14)和左吹气板(15)上开有用于 冷却电机的吹气孔。
4、 根据权利要求1所述的全自动引线键合机X-Y工作台，其特征在于所 说纵向驱动直线电机(1)的上板(17)和下板(18)开有用于冷却电机的吹气 孔。
全文摘要
本发明涉及一种全自动引线键合机X-Y工作台，属于全自动引线键合机部件技术领域，本发明包括底座，所说底座上安装有横向驱动直线电机及纵向驱动直线电机，横向驱动直线电机驱动的横向动子上装有横向滑块，横向滑块上固定有横向光栅尺，与光栅尺相对的横向读数头与底座固定，与横向滑块配合的横向导轨与底座固定，与纵向滑块配合的纵向导轨固定在横向滑块上，纵向滑块与纵向驱动直线电机驱却的纵向动子连接，纵向滑块上固定有纵向光栅尺，与纵向光栅尺相对的纵向读数头固定在横向滑块上。本发明结构简单紧凑，工作稳定可靠，便于维修，使用寿命长。
文档编号H01L21/02GK101345200SQ20081007923
公开日2009年1月14日 申请日期2008年8月21日 优先权日2008年8月21日
发明者张续业, 牛伟光, 威 陈 申请人:中国电子科技集团公司第四十五研究所
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