玻璃基板均匀蚀刻装置制造方法
玻璃基板均匀蚀刻装置制造方法
【专利摘要】本实用新型的玻璃基板均匀蚀刻装置包括蚀刻槽、第一卡闸枢接部、第二卡闸枢接部以及玻璃基板卡闸，第一卡闸枢接部及第二卡闸枢接部分别设置于蚀刻槽相对的两个内壁面；玻璃基板卡闸包括第一枢轴与第二枢轴，分别可分离地轴设于第一卡闸枢接部和第二卡闸枢接部，并通过驱动组带动第一枢轴使玻璃基板卡闸在蚀刻槽中旋转。借此，便于将玻璃基板安置于玻璃基板卡闸中，且使玻璃基板的各处皆均匀蚀刻，以达到增进玻璃基板的蚀刻制程良率的效果。
【专利说明】玻璃基板均匀蚀刻装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种玻璃基板蚀刻装置，尤其涉及一种玻璃基板均匀蚀刻装置，以使蚀刻液均匀蚀刻多个玻璃基板。
【背景技术】
[0002]随着经济的快速成长，具有显示屏幕的电子装置已成为每一个人生活上不可或缺的产品，例如智能型手机、液晶电视及笔记本电脑等。然而，在上述产品的显示屏幕中，玻璃基板是其中不可或缺的组成组件之一。为了使玻璃基板配合各种形式的显示屏幕，常通过蚀刻方式来使玻璃基板符合各式显示屏幕的所需规格。
[0003]然而，现有的蚀刻方式是将玻璃基板放置在具有蚀刻液的蚀刻槽中进行蚀刻作业，但当玻璃基板在蚀刻槽中静置一段时间后，蚀刻液中的化学成分往往会发生沉淀现象而使蚀刻液浓度不均，造成单一玻璃基板各处的蚀刻程度会有不一致的情形发生，进而使得玻璃基板的蚀刻制程良率下降。因此，如何创作出一种玻璃基板均匀蚀刻装置，以均匀地蚀刻玻璃基板，增进玻璃基板的蚀刻制程良率，将是本实用新型所想要积极揭露的地方。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的提供一种具有高蚀刻制程良率的玻璃基板均匀蚀刻装置。
[0005]为达上述目的和其他目的，本实用新型的玻璃基板均匀蚀刻装置包括蚀刻槽、第一卡闸枢接部、第二卡闸枢接部以及玻璃基板卡闸，其中，该第一卡闸枢接部设置于该蚀刻槽的内壁面；该第二卡闸枢接部设置于该蚀刻槽且相对于该第一卡闸枢接部另一侧的内壁面；以及该玻璃基板卡闸包括第一枢轴与第二枢轴，分别可分离地轴设于该第一卡闸枢接部和该第二卡闸枢接部；其中，该第一卡闸枢接部、该第一枢轴、该第二枢轴和该第二卡闸枢接部设于同一轴线，且通过驱动组带动该第一枢轴使该玻璃基板卡闸旋转。
[0006]在实施例中，该驱动组包括驱动马达以及驱动杆。其中，该驱动杆包括第一端部与第二端部，该第一端部与该驱动马达相连接，而该第二端部与该第一卡闸枢接部相连接，该驱动马达驱动该驱动杆来带动该第一枢轴，以使该玻璃基板卡闸旋转。
[0007]在实施例中，该驱动组还包括连动臂组，包括第一连动部与第二连动部，该第一连动部与该驱动马达相连接，该第二连动部与该第二卡闸枢接部相连接，该驱动马达同步驱动该驱动杆与该连动臂组，以使该第一枢轴与该第二枢轴同步带动该玻璃基板卡闸旋转。
[0008]在实施例中，该玻璃基板卡闸的第二枢轴还包括轴承。
[0009]在实施例中，该玻璃基板卡闸还包括吊挂部。
[0010]借此，本实用新型的玻璃基板均匀蚀刻装置通过该驱动组带动该玻璃基板卡闸以使该玻璃基板卡闸在该蚀刻槽内旋转，进而带动于该蚀刻槽内的蚀刻液流动，使该蚀刻槽内各处的蚀刻液浓度更佳均匀；并且通过该玻璃基板卡闸的转动，使该玻璃基板卡闸内的玻璃基板可与该蚀刻槽内不同深度的蚀刻液接触进而使玻璃基板均匀蚀刻，以达到增进玻璃基板的蚀刻制程良率的效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的立体图；
[0012]图2为本实用新型第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的俯视图；
[0013]图3为本实用新型第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的使用状态图；
[0014]图4为本实用新型第二实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的立体图；
[0015]图5为本实用新型第二实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的俯视图；
[0016]图6为本实用新型第三实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的示意图。
[0017]【符号说明】
[0018]1,2,3玻璃基板均匀蚀刻装置
[0019]10蚀刻槽
[0020]20第一卡闸枢接部
[0021]30第二卡闸枢接部
[0022]40玻璃基板卡闸
[0023]41第一枢轴
[0024]42第二枢轴
[0025]43吊挂部
[0026]50驱动组
[0027]51驱动马达
[0028]52驱动杆
[0029]521 第一端部
[0030]522 第二端部
[0031]53连动臂组
[0032]531第一连动部
[0033]532第二连动部
[0034]60玻璃基板
【具体实施方式】
[0035]为充分了解本实用新型的目的、特征和效果，现通过下述具体的实施例，并配合附图，对本实用新型做进一步详细说明，说明如下:
[0036]首先，如图1和图2所示，其示为本实用新型中第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置I的立体图与俯视图。该玻璃基板均匀蚀刻装置I包括蚀刻槽10、第一卡闸枢接部20、第二卡闸枢接部30、玻璃基板卡闸40以及驱动组50。
[0037]该蚀刻槽10于蚀刻作业中会放置用于蚀刻玻璃基板的蚀刻液。该第一卡闸枢接部20与该第二卡闸枢接部30分别设置于该蚀刻槽10的相对的两个内侧壁上。该玻璃基板卡闸40包括第一枢轴41与第二枢轴42，该第一枢轴41与该第二枢轴42分别可分离地轴设于该第一卡闸枢接部20和该第二卡闸枢接部30。其中，该第一卡闸枢接部20、该第一枢轴41、该第二枢轴42和该第二卡闸枢接部30设于同一轴线，且通过该驱动组50所产生的驱动力，会带动该第一枢轴41而使该玻璃基板卡闸40旋转。在本实施例中，该驱动组50包括驱动马达51以及驱动杆52，该驱动杆52包括第一端部521与第二端部522，该第一端部521与该驱动马达51相连接，而该第二端部522与该第一^^闸枢接部20相连接。
[0038]通过上述设置方式，当使用者想利用该玻璃基板均匀蚀刻装置I进行复数玻璃基板60的蚀刻作业时，先将上述玻璃基板60安置并固定于该玻璃基板卡闸40后，通过该玻璃基板卡闸40的第一枢轴41与第二枢轴42分别轴设于该第一卡闸枢接部20和该第二卡闸枢接部30，以将该玻璃基板卡闸40设置于该蚀刻槽10中；接着，在该蚀刻槽10中注入蚀刻液；最后，通过该驱动组50的驱动马达51所产生的驱动力驱动该驱动杆52，通过该驱动杆52带动该第一卡闸枢接部20进而使该第一枢轴41旋转，让该玻璃基板卡闸40能于具有蚀刻液的蚀刻槽10内旋转，以进行蚀刻作业。应注意的是，为使该玻璃基板卡闸40的转动更为顺畅，该玻璃基板卡闸40的第二枢轴42还可包括轴承(图中未示)，以减少该第二枢轴42于该第二卡闸枢接部30旋转时所产生的摩擦力。
[0039]如图3所示，其示为本实用新型中第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置I的使用状态图。通过该第一卡闸枢接部20、该第二卡闸枢接部30、该第一枢轴41和该第二枢轴42的设置关系，使用者可先在该蚀刻槽10的外部将上述玻璃基板60安置并固定于该玻璃基板卡闸40内，再通过人力将该玻璃基板卡闸40放置入该蚀刻槽10中，以进行上述的蚀刻作业。
[0040]综上所述，本实用新型第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置通过上述的设置，便于让使用者在蚀刻槽外将多个玻璃基板安置并固定于该玻璃基板卡闸中；此外，该玻璃基板卡闸于蚀刻槽内旋转时带动蚀刻液，来使蚀刻槽内各处的蚀刻液浓度更佳均匀，因此，该玻璃基板卡闸内的玻璃基板可与蚀刻槽内不同深度的蚀刻液接触进而均匀蚀刻，以达到增进玻璃基板的蚀刻制程良率的效果。
[0041]如图4和图5所示，其示为本实用新型中第二实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置2的立体图和俯视图。该玻璃基板均匀蚀刻装置2与该玻璃基板均匀蚀刻装置I不同的是，该玻璃基板均匀蚀刻装置2的驱动组50还包括连动臂组53。
[0042]在本实施例中，该连动臂组53由两个连动杆通过伞形齿轮彼此啮合连接而形成的“L”型连动臂组，该连动臂组53包括第一连动部531与第二连动部532，该第一连动部531与该驱动马达51相连接，而该第二连动部532与该第二卡闸枢接部30相连接。当该驱动马达51作动时，该连动臂组53可通过该驱动马达51的驱动，使该连动臂组53与该驱动杆52可以同步旋转，进而使该第一枢轴41与该第二枢轴42同步旋转，再通过该第一枢轴41与该第二枢轴42的旋转以带动该玻璃基板卡闸40旋转。
[0043]综上所述，第二实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置除了可以达到第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的效果外，还通过该连动臂组的设置，使该第一枢轴与该第二枢轴同步带动玻璃基板卡闸旋转，当使用者选用玻璃基板搭载容量更多的玻璃基板卡闸或是整体重量更重的玻璃基板卡闸时，通过第一枢轴与第二枢轴同步旋转的设计可增加转动扭力，让玻璃基板卡闸仍可顺畅的在蚀刻槽中旋转。
[0044]如图6所示，其示为本实用新型中第三实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置3的示意图。该玻璃基板均匀蚀刻装置3与该玻璃基板均匀蚀刻装置I以及该玻璃基板均匀蚀刻装置2不同的是，该玻璃基板均匀蚀刻装置3的玻璃基板卡闸40还包括吊挂部43。
[0045]该吊挂部43设置于该玻璃基板卡闸40的顶部，当使用者想将该玻璃基板卡闸40由该蚀刻槽10中取出，或是由外部将该玻璃基板卡闸40置入该蚀刻槽10中时，使用者可利用吊车、天车或是人力来夹持该吊挂部43，以方便移动该玻璃基板卡闸40。在本实施例中，该吊挂部43由两个杆件所组成，但不局限于此，该吊挂部43的构成组件和设置位置可依用户需求有所调整。
[0046]综上所述，第三实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置除了可以达到第一实施例与第二实施例的效果外，通过该吊挂部的设置，使用者可通过机具或是人力等方式夹持该吊挂部，以便于移动该玻璃基板卡闸。
[0047]应注意的是，本实用新型中所述的驱动马达、驱动杆、卡闸枢接部和枢轴之间的连接方式可通过齿轮彼此啮合连接，但不局限于此，凡是可使上述部件彼此配合连动的连接方式均适用于本实用新型。
[0048]借此，本实用新型的玻璃基板均匀蚀刻装置通过驱动组带动玻璃基板卡闸以使玻璃基板卡闸在蚀刻槽内旋转，进而带动蚀刻槽内的蚀刻液流动使蚀刻槽内各处的蚀刻液浓度更佳均匀；并且通过玻璃基板卡闸的转动，使玻璃基板卡闸内的玻璃基板可与蚀刻槽内不同深度的蚀刻液接触进而使玻璃基板均匀蚀刻，以达到增进玻璃基板的蚀刻制程良率的效果。
[0049]本实用新型在上文中已通过较佳实施例揭露，然而本领域技术人员应理解的是，该实施例仅用于描绘本实用新型，而不应解读为限制本实用新型的范围。应注意的是，凡是与该实施例等效的变化与置换，均应设为涵盖于本实用新型的范畴内。因此，本实用新型的保护范围应当以权利要求所界定的范围为准。
【权利要求】
1.一种玻璃基板均匀蚀刻装置，其特征在于，包括: 蚀刻槽； 第一卡闸枢接部，设置于该蚀刻槽的内壁面； 第二卡闸枢接部，设置于该蚀刻槽的另一内壁面；以及 玻璃基板卡闸，包括第一枢轴与第二枢轴，分别可分离地轴设于该第一卡闸枢接部和该第二卡闸枢接部； 其中，该第一卡闸枢接部、该第一枢轴、该第二枢轴和该第二卡闸枢接部设于同一轴线，且通过驱动组带动该第一枢轴使该玻璃基板卡闸旋转。
2.如权利要求1所述的玻璃基板均匀蚀刻装置，其特征在于，该驱动组包括: 驱动马达；以及 驱动杆，包括第一端部与第二端部，该第一端部与该驱动马达相连接，而该第二端部与该第一卡闸枢接部相连接，该驱动马达驱动该驱动杆来带动该第一枢轴，以使该玻璃基板卡闸旋转。
3.如权利要求2所述的玻璃基板均匀蚀刻装置，其特征在于，该驱动组还包括:连动臂组，包括第一连动部与第二连动部，该第一连动部与该驱动马达相连接，该第二连动部与该第二卡闸枢接部相连接，该驱动马达同步驱动该驱动杆与该连动臂组，以使该第一枢轴与该第二枢轴同步带动该玻璃基板卡闸旋转。
4.如权利要求3所述的玻璃基板均匀蚀刻装置，其特征在于，该玻璃基板卡闸还包括吊挂部。
5.如权利要求1或2中所述的玻璃基板均匀蚀刻装置，其特征在于，该玻璃基板卡闸的第二枢轴还包括轴承。
6.如权利要求5所述的玻璃基板均匀蚀刻装置，其特征在于，该玻璃基板卡闸还包括吊挂部。
【文档编号】H01L21/67GK204230213SQ201420687234
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月15日 优先权日:2014年11月15日
【发明者】胡崑源 申请人:欣弘元科技股份有限公司
【专利摘要】本实用新型的玻璃基板均匀蚀刻装置包括蚀刻槽、第一卡闸枢接部、第二卡闸枢接部以及玻璃基板卡闸，第一卡闸枢接部及第二卡闸枢接部分别设置于蚀刻槽相对的两个内壁面；玻璃基板卡闸包括第一枢轴与第二枢轴，分别可分离地轴设于第一卡闸枢接部和第二卡闸枢接部，并通过驱动组带动第一枢轴使玻璃基板卡闸在蚀刻槽中旋转。借此，便于将玻璃基板安置于玻璃基板卡闸中，且使玻璃基板的各处皆均匀蚀刻，以达到增进玻璃基板的蚀刻制程良率的效果。
【专利说明】玻璃基板均匀蚀刻装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种玻璃基板蚀刻装置，尤其涉及一种玻璃基板均匀蚀刻装置，以使蚀刻液均匀蚀刻多个玻璃基板。
【背景技术】
[0002]随着经济的快速成长，具有显示屏幕的电子装置已成为每一个人生活上不可或缺的产品，例如智能型手机、液晶电视及笔记本电脑等。然而，在上述产品的显示屏幕中，玻璃基板是其中不可或缺的组成组件之一。为了使玻璃基板配合各种形式的显示屏幕，常通过蚀刻方式来使玻璃基板符合各式显示屏幕的所需规格。
[0003]然而，现有的蚀刻方式是将玻璃基板放置在具有蚀刻液的蚀刻槽中进行蚀刻作业，但当玻璃基板在蚀刻槽中静置一段时间后，蚀刻液中的化学成分往往会发生沉淀现象而使蚀刻液浓度不均，造成单一玻璃基板各处的蚀刻程度会有不一致的情形发生，进而使得玻璃基板的蚀刻制程良率下降。因此，如何创作出一种玻璃基板均匀蚀刻装置，以均匀地蚀刻玻璃基板，增进玻璃基板的蚀刻制程良率，将是本实用新型所想要积极揭露的地方。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的提供一种具有高蚀刻制程良率的玻璃基板均匀蚀刻装置。
[0005]为达上述目的和其他目的，本实用新型的玻璃基板均匀蚀刻装置包括蚀刻槽、第一卡闸枢接部、第二卡闸枢接部以及玻璃基板卡闸，其中，该第一卡闸枢接部设置于该蚀刻槽的内壁面；该第二卡闸枢接部设置于该蚀刻槽且相对于该第一卡闸枢接部另一侧的内壁面；以及该玻璃基板卡闸包括第一枢轴与第二枢轴，分别可分离地轴设于该第一卡闸枢接部和该第二卡闸枢接部；其中，该第一卡闸枢接部、该第一枢轴、该第二枢轴和该第二卡闸枢接部设于同一轴线，且通过驱动组带动该第一枢轴使该玻璃基板卡闸旋转。
[0006]在实施例中，该驱动组包括驱动马达以及驱动杆。其中，该驱动杆包括第一端部与第二端部，该第一端部与该驱动马达相连接，而该第二端部与该第一卡闸枢接部相连接，该驱动马达驱动该驱动杆来带动该第一枢轴，以使该玻璃基板卡闸旋转。
[0007]在实施例中，该驱动组还包括连动臂组，包括第一连动部与第二连动部，该第一连动部与该驱动马达相连接，该第二连动部与该第二卡闸枢接部相连接，该驱动马达同步驱动该驱动杆与该连动臂组，以使该第一枢轴与该第二枢轴同步带动该玻璃基板卡闸旋转。
[0008]在实施例中，该玻璃基板卡闸的第二枢轴还包括轴承。
[0009]在实施例中，该玻璃基板卡闸还包括吊挂部。
[0010]借此，本实用新型的玻璃基板均匀蚀刻装置通过该驱动组带动该玻璃基板卡闸以使该玻璃基板卡闸在该蚀刻槽内旋转，进而带动于该蚀刻槽内的蚀刻液流动，使该蚀刻槽内各处的蚀刻液浓度更佳均匀；并且通过该玻璃基板卡闸的转动，使该玻璃基板卡闸内的玻璃基板可与该蚀刻槽内不同深度的蚀刻液接触进而使玻璃基板均匀蚀刻，以达到增进玻璃基板的蚀刻制程良率的效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的立体图；
[0012]图2为本实用新型第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的俯视图；
[0013]图3为本实用新型第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的使用状态图；
[0014]图4为本实用新型第二实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的立体图；
[0015]图5为本实用新型第二实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的俯视图；
[0016]图6为本实用新型第三实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的示意图。
[0017]【符号说明】
[0018]1,2,3玻璃基板均匀蚀刻装置
[0019]10蚀刻槽
[0020]20第一卡闸枢接部
[0021]30第二卡闸枢接部
[0022]40玻璃基板卡闸
[0023]41第一枢轴
[0024]42第二枢轴
[0025]43吊挂部
[0026]50驱动组
[0027]51驱动马达
[0028]52驱动杆
[0029]521 第一端部
[0030]522 第二端部
[0031]53连动臂组
[0032]531第一连动部
[0033]532第二连动部
[0034]60玻璃基板
【具体实施方式】
[0035]为充分了解本实用新型的目的、特征和效果，现通过下述具体的实施例，并配合附图，对本实用新型做进一步详细说明，说明如下:
[0036]首先，如图1和图2所示，其示为本实用新型中第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置I的立体图与俯视图。该玻璃基板均匀蚀刻装置I包括蚀刻槽10、第一卡闸枢接部20、第二卡闸枢接部30、玻璃基板卡闸40以及驱动组50。
[0037]该蚀刻槽10于蚀刻作业中会放置用于蚀刻玻璃基板的蚀刻液。该第一卡闸枢接部20与该第二卡闸枢接部30分别设置于该蚀刻槽10的相对的两个内侧壁上。该玻璃基板卡闸40包括第一枢轴41与第二枢轴42，该第一枢轴41与该第二枢轴42分别可分离地轴设于该第一卡闸枢接部20和该第二卡闸枢接部30。其中，该第一卡闸枢接部20、该第一枢轴41、该第二枢轴42和该第二卡闸枢接部30设于同一轴线，且通过该驱动组50所产生的驱动力，会带动该第一枢轴41而使该玻璃基板卡闸40旋转。在本实施例中，该驱动组50包括驱动马达51以及驱动杆52，该驱动杆52包括第一端部521与第二端部522，该第一端部521与该驱动马达51相连接，而该第二端部522与该第一^^闸枢接部20相连接。
[0038]通过上述设置方式，当使用者想利用该玻璃基板均匀蚀刻装置I进行复数玻璃基板60的蚀刻作业时，先将上述玻璃基板60安置并固定于该玻璃基板卡闸40后，通过该玻璃基板卡闸40的第一枢轴41与第二枢轴42分别轴设于该第一卡闸枢接部20和该第二卡闸枢接部30，以将该玻璃基板卡闸40设置于该蚀刻槽10中；接着，在该蚀刻槽10中注入蚀刻液；最后，通过该驱动组50的驱动马达51所产生的驱动力驱动该驱动杆52，通过该驱动杆52带动该第一卡闸枢接部20进而使该第一枢轴41旋转，让该玻璃基板卡闸40能于具有蚀刻液的蚀刻槽10内旋转，以进行蚀刻作业。应注意的是，为使该玻璃基板卡闸40的转动更为顺畅，该玻璃基板卡闸40的第二枢轴42还可包括轴承(图中未示)，以减少该第二枢轴42于该第二卡闸枢接部30旋转时所产生的摩擦力。
[0039]如图3所示，其示为本实用新型中第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置I的使用状态图。通过该第一卡闸枢接部20、该第二卡闸枢接部30、该第一枢轴41和该第二枢轴42的设置关系，使用者可先在该蚀刻槽10的外部将上述玻璃基板60安置并固定于该玻璃基板卡闸40内，再通过人力将该玻璃基板卡闸40放置入该蚀刻槽10中，以进行上述的蚀刻作业。
[0040]综上所述，本实用新型第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置通过上述的设置，便于让使用者在蚀刻槽外将多个玻璃基板安置并固定于该玻璃基板卡闸中；此外，该玻璃基板卡闸于蚀刻槽内旋转时带动蚀刻液，来使蚀刻槽内各处的蚀刻液浓度更佳均匀，因此，该玻璃基板卡闸内的玻璃基板可与蚀刻槽内不同深度的蚀刻液接触进而均匀蚀刻，以达到增进玻璃基板的蚀刻制程良率的效果。
[0041]如图4和图5所示，其示为本实用新型中第二实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置2的立体图和俯视图。该玻璃基板均匀蚀刻装置2与该玻璃基板均匀蚀刻装置I不同的是，该玻璃基板均匀蚀刻装置2的驱动组50还包括连动臂组53。
[0042]在本实施例中，该连动臂组53由两个连动杆通过伞形齿轮彼此啮合连接而形成的“L”型连动臂组，该连动臂组53包括第一连动部531与第二连动部532，该第一连动部531与该驱动马达51相连接，而该第二连动部532与该第二卡闸枢接部30相连接。当该驱动马达51作动时，该连动臂组53可通过该驱动马达51的驱动，使该连动臂组53与该驱动杆52可以同步旋转，进而使该第一枢轴41与该第二枢轴42同步旋转，再通过该第一枢轴41与该第二枢轴42的旋转以带动该玻璃基板卡闸40旋转。
[0043]综上所述，第二实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置除了可以达到第一实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置的效果外，还通过该连动臂组的设置，使该第一枢轴与该第二枢轴同步带动玻璃基板卡闸旋转，当使用者选用玻璃基板搭载容量更多的玻璃基板卡闸或是整体重量更重的玻璃基板卡闸时，通过第一枢轴与第二枢轴同步旋转的设计可增加转动扭力，让玻璃基板卡闸仍可顺畅的在蚀刻槽中旋转。
[0044]如图6所示，其示为本实用新型中第三实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置3的示意图。该玻璃基板均匀蚀刻装置3与该玻璃基板均匀蚀刻装置I以及该玻璃基板均匀蚀刻装置2不同的是，该玻璃基板均匀蚀刻装置3的玻璃基板卡闸40还包括吊挂部43。
[0045]该吊挂部43设置于该玻璃基板卡闸40的顶部，当使用者想将该玻璃基板卡闸40由该蚀刻槽10中取出，或是由外部将该玻璃基板卡闸40置入该蚀刻槽10中时，使用者可利用吊车、天车或是人力来夹持该吊挂部43，以方便移动该玻璃基板卡闸40。在本实施例中，该吊挂部43由两个杆件所组成，但不局限于此，该吊挂部43的构成组件和设置位置可依用户需求有所调整。
[0046]综上所述，第三实施例的玻璃基板均匀蚀刻装置除了可以达到第一实施例与第二实施例的效果外，通过该吊挂部的设置，使用者可通过机具或是人力等方式夹持该吊挂部，以便于移动该玻璃基板卡闸。
[0047]应注意的是，本实用新型中所述的驱动马达、驱动杆、卡闸枢接部和枢轴之间的连接方式可通过齿轮彼此啮合连接，但不局限于此，凡是可使上述部件彼此配合连动的连接方式均适用于本实用新型。
[0048]借此，本实用新型的玻璃基板均匀蚀刻装置通过驱动组带动玻璃基板卡闸以使玻璃基板卡闸在蚀刻槽内旋转，进而带动蚀刻槽内的蚀刻液流动使蚀刻槽内各处的蚀刻液浓度更佳均匀；并且通过玻璃基板卡闸的转动，使玻璃基板卡闸内的玻璃基板可与蚀刻槽内不同深度的蚀刻液接触进而使玻璃基板均匀蚀刻，以达到增进玻璃基板的蚀刻制程良率的效果。
[0049]本实用新型在上文中已通过较佳实施例揭露，然而本领域技术人员应理解的是，该实施例仅用于描绘本实用新型，而不应解读为限制本实用新型的范围。应注意的是，凡是与该实施例等效的变化与置换，均应设为涵盖于本实用新型的范畴内。因此，本实用新型的保护范围应当以权利要求所界定的范围为准。
【权利要求】
1.一种玻璃基板均匀蚀刻装置，其特征在于，包括: 蚀刻槽； 第一卡闸枢接部，设置于该蚀刻槽的内壁面； 第二卡闸枢接部，设置于该蚀刻槽的另一内壁面；以及 玻璃基板卡闸，包括第一枢轴与第二枢轴，分别可分离地轴设于该第一卡闸枢接部和该第二卡闸枢接部； 其中，该第一卡闸枢接部、该第一枢轴、该第二枢轴和该第二卡闸枢接部设于同一轴线，且通过驱动组带动该第一枢轴使该玻璃基板卡闸旋转。
2.如权利要求1所述的玻璃基板均匀蚀刻装置，其特征在于，该驱动组包括: 驱动马达；以及 驱动杆，包括第一端部与第二端部，该第一端部与该驱动马达相连接，而该第二端部与该第一卡闸枢接部相连接，该驱动马达驱动该驱动杆来带动该第一枢轴，以使该玻璃基板卡闸旋转。
3.如权利要求2所述的玻璃基板均匀蚀刻装置，其特征在于，该驱动组还包括:连动臂组，包括第一连动部与第二连动部，该第一连动部与该驱动马达相连接，该第二连动部与该第二卡闸枢接部相连接，该驱动马达同步驱动该驱动杆与该连动臂组，以使该第一枢轴与该第二枢轴同步带动该玻璃基板卡闸旋转。
4.如权利要求3所述的玻璃基板均匀蚀刻装置，其特征在于，该玻璃基板卡闸还包括吊挂部。
5.如权利要求1或2中所述的玻璃基板均匀蚀刻装置，其特征在于，该玻璃基板卡闸的第二枢轴还包括轴承。
6.如权利要求5所述的玻璃基板均匀蚀刻装置，其特征在于，该玻璃基板卡闸还包括吊挂部。
【文档编号】H01L21/67GK204230213SQ201420687234
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月15日 优先权日:2014年11月15日
【发明者】胡崑源 申请人:欣弘元科技股份有限公司
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