一种新型硅片清洗筐的制作方法

xiaoxiao2020-8-1  6

一种新型硅片清洗筐的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种新型硅片清洗筐,包括筐壁板和筐底板,所述筐壁板和框底板构成筐体,还包括挡板和挂耳,所述筐底板设有若干阶梯槽孔,且若干阶梯槽孔呈矩形均匀分布;所述阶梯槽孔同一阶梯各槽构成的矩形尺寸分别与4英寸、5英寸、6英寸硅片放置篮尺寸相对应。本实用新型具有的积极效果是:新型硅片清洗筐结构能够同时清洗4篮4-6英寸的硅片,相对于原来只能清洗2筐6英寸硅片的清洗筐,大大提高了清洗效率,降低了能源损耗及产能浪费;阶梯槽孔的设计,能够同时适应不同尺寸的硅片放置篮,并且保证硅片的放置稳定安全,虽然结构简单,但是功能性强;壁孔和底孔的设计,减少了对超声波的遮挡,超声震荡清洗更加充分,清洗效果更加。
【专利说明】一种新型硅片清洗筐

【技术领域】
[0001]本发明创造属于半导体材料中硅片的加工领域,尤其是涉及一种新型硅片清洗
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【背景技术】
[0002]近年来,随着电子信息技术产业的飞速发展、产品的需求不断提高,对电子产品的主要原材料一一硅片在质量方面也提出了更高的要求。同时随着信息产业对硅片的需求量的不断提高,对硅片的生产率也提出了更高的要求。
[0003]但是目前普遍使用的硅片腐前清洗机所配套的清洗筐存有诸多不足,如质量较重;遮挡较多;功能单一,清洗硅片时对硅片的尺寸有较多的限制;单次清洗硅片数量较少等不足。
[0004]基于现有清洗筐的诸多不足,迫使技术人员对现有清洗筐进行改造,以提高硅片清洗的质量和效率。


【发明内容】

[0005]本发明创造要解决的问题是针对现有技术的不足,提供一种用于硅片清洗工序的清洗筐O
[0006]为解决上述技术问题,本发明创造采用的技术方案是:一种新型硅片清洗筐,包括筐壁板和筐底板,所述筐壁板和框底板构成筐体,还包括挡板和挂耳;两个所述挡板分别设置在框底板两根中轴线上,且与筐壁板相连接,所述清洗筐分隔成四个部分;所述挂耳设置筐壁板外表面上,且对称设置;所述筐壁板设有若干壁孔且均匀分布;所述清洗筐分隔成的四个部分各部分框底板设有一个矩形孔,且所述矩形孔居中设置;所述筐底板设有若干阶梯槽孔,且若干阶梯槽孔呈矩形均匀分布;所述阶梯槽孔同一阶梯各槽构成的矩形尺寸分别与4英寸、5英寸、6英寸硅片放置篮尺寸相对应。
[0007]优选地,所述4-6英寸硅片放置篮对应的阶梯槽孔深度依次减少。
[0008]优选地,所述筐底板还设有若干底孔,且均匀分布。
[0009]优选地,所述清洗筐的材料为PP塑料。
[0010]优选地,所述挂耳为实体结构。
[0011]本发明创造具有的优点和积极效果是:本发明创造提供的新型硅片清洗筐结构能够同时清洗4篮4-6英寸的硅片,相对于原来只能清洗2筐6英寸硅片的清洗筐,大大提高了清洗效率,降低了能源损耗及产能浪费;阶梯槽孔的设计,能够同时适应不同尺寸的硅片放置篮,并且保证硅片的放置稳定安全,虽然结构简单,但是功能性强;壁孔和底孔的设计,减少了对超声波的遮挡,超声震荡清洗更加充分,清洗效果更加;采用PP塑料,使清洗筐质量轻便,便于机械手作业和人工搬运。

【专利附图】

【附图说明】
[0012]图1是本发明创造俯视结构示意图;
[0013]图2是本发明创造侧视结构示意图;
[0014]图3是阶梯槽孔俯视结构示意图;
[0015]图4是阶梯槽孔正剖视结构示意图;
[0016]图中:1-筐壁板,11-壁孔,2-框底板,21-底孔,3-挡板,4-挂耳,5-阶梯槽孔。

【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本发明创造的具体实施例做详细说明。
[0018]一种新型硅片清洗筐,包括筐壁板I和筐底板2,所述筐壁板I和框底板2构成筐体,还包括挡板3和挂耳4 ;两个所述挡板3分别设置在框底板2两根中轴线上,且与筐壁板I相连接,所述清洗筐分隔成四个部分;所述挂耳4设置筐壁板I外表面上,且对称设置;所述筐壁板I设有若干壁孔11且均匀分布;所述清洗筐分隔成的四个部分各部分框底板2设有一个矩形孔,且所述矩形孔居中设置;所述筐底板2设有若干阶梯槽孔5,且若干阶梯槽孔5呈矩形均匀分布;所述阶梯槽孔5同一阶梯各槽构成的矩形尺寸分别与4英寸、5英寸、6英寸硅片放置篮尺寸相对应;所述4-6英寸硅片放置篮对应的阶梯槽孔5深度依次减少;所述筐底板2还设有若干底孔21,且均匀分布;所述清洗筐的材料为PP塑料;所述挂耳4为实体结构。
[0019]目前针对主要生产的4、5、6英寸硅片的清洗工序,使用该清洗筐可以同时清洗这些尺寸的硅片。在清洗能力上的改进主要表现在:原清洗筐每批次清洗4英寸硅片4篮,5英寸硅片4篮,6英寸硅片2篮;改进后的清洗筐每批次清洗4英寸硅片4篮,5英寸硅片4篮,6英寸硅片4篮,提高了清洗效率。同时不同尺寸可以两两同时清洗,比如两篮4寸和两篮6寸,两篮5寸和两篮6寸,两篮4寸和两篮5寸这样的组合方式进行混合清洗,只需保证尺寸一致的硅片对角放置即可,如此可以保证在更换尺寸时,每批次均为四篮满筐运行,清洗效率至少提高了 20%。
[0020]阶梯槽孔5的设计,能够同时适应不同尺寸的硅片放置篮,并且保证硅片的放置稳定安全,虽然结构简单,但是功能性强;壁孔11和底孔21的设计,减少了对超声波的遮挡,超声震荡清洗更加充分,清洗效果更加,另外使清洗筐在槽体间转换过程中的残留液体流失降到最低;采用PP塑料,使清洗筐质量轻便,便于机械手作业和人工搬运。
[0021]以上对本发明创造的一个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本发明创造的较佳实施例,不能被认为用于限定本发明创造的实施范围。凡依本发明创造申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本发明创造的专利涵盖范围之内。
【权利要求】
1.一种新型硅片清洗筐,包括筐壁板和筐底板,所述筐壁板和框底板构成筐体,其特征在于:还包括挡板和挂耳;两个所述挡板分别设置在框底板两根中轴线上,且与筐壁板相连接,所述清洗筐分隔成四个部分;所述挂耳设置筐壁板外表面上,且对称设置;所述筐壁板设有若干壁孔且均匀分布;所述清洗筐分隔成的四个部分各部分框底板设有一个矩形孔,且所述矩形孔居中设置;所述筐底板设有若干阶梯槽孔,且若干阶梯槽孔呈矩形均匀分布;所述阶梯槽孔同一阶梯各槽构成的矩形尺寸分别与4英寸、5英寸、6英寸硅片放置篮尺寸相对应。
2.根据权利要求1所述的一种新型硅片清洗筐,其特征在于:所述4-6英寸硅片放置篮对应的阶梯槽孔深度依次减少。
3.根据权利要求1所述的一种新型硅片清洗筐,其特征在于:所述筐底板还设有若干底孔,且均勾分布。
4.根据权利要求1所述的一种新型硅片清洗筐,其特征在于:所述清洗筐的材料为PP塑料。
5.根据权利要求1所述的一种新型硅片清洗筐,其特征在于:所述挂耳为实体结构。
【文档编号】H01L21/673GK204230217SQ201420693964
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月18日 优先权日:2014年11月18日
【发明者】张俊生, 王俊朋, 甄红昌, 秦焱泽 申请人:天津中环领先材料技术有限公司

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