一种卧式lpcvd石英舟的制作方法

xiaoxiao2020-8-1  8

一种卧式lpcvd石英舟的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种卧式LPCVD石英舟,包括卡槽、上石英面板、下石英面板、用于连接所述上石英面板和下石英面板的5个连接棒,5个连接棒与上石英面板和下石英面板垂直连接,并在上石英面板和下石英面板的周边成圆弧分布,在下石英面板的底部固定有两个卡槽,5个连接棒包括4个开槽石英棒和1个未开槽石英棒,未开槽石英棒的垂直投影位于下石英面板上的两个卡槽的中心线上,4个开槽石英棒两根一组对称分布于该中心线的两边,在4个开槽石英棒上均设有大小相同的若干插片槽。本石英舟可以方便向其加载晶片并大容量容纳加工硅片,还可以减少薄膜沉积时插片槽阻挡气流所造成的对晶片边缘薄膜厚度的影响,使晶片边缘膜厚更加均匀。
【专利说明】一种卧式LPCVD石英舟

【技术领域】
[0001]本实用新型属于晶片加工领域,尤其是涉及一种卧式LPCVD石英舟。

【背景技术】
[0002]石英玻璃制品以其优良的物理化学特性,被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业。石英舟是集成电路芯片生产线常采用的晶片载体,一般用于离子注入、LPCVD等重要工序。现有的卧式LPCVD用石英舟一般设计成类似专利号为201220356123.5的石英舟,这种石英舟虽然可以在一定程度上减少晶片与插槽的接触面积,但是生产加工时晶片垂直放于石英舟内,加工面仍容易与插片槽接触,使得晶片该处的气流受阻,影响边缘淀积厚度。并且这种石英舟不能使用专用倒片器直接从片蓝中将晶片全部倒出,给操作带来不便,而其他的一些石英舟也存在着需要逐片插片或边缘沉积均匀性差等问题。


【发明内容】

[0003]本实用新型要解决的问题是提供一种稳定性高、易于装载且装载量大、薄膜沉积均匀的卧式LPCVD石英舟。
[0004]为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案是:一种卧式LPCVD石英舟,包括卡槽、上石英面板、下石英面板、用于连接所述上石英面板和下石英面板的5个连接棒,所述5个连接棒与所述上石英面板和下石英面板垂直连接,并在所述上石英面板和下石英面板的周边成圆弧分布,在所述下石英面板的底部固定有两个相同大小和形状的所述卡槽,且所述两个卡槽与LPCVD晶片托架的两根托管平行,间距比两托管之间的距离略短,既简单又可起到固定石英舟的作用,可以将石英舟平稳地架于托架上,所述5个连接棒包括4个开槽石英棒和I个未开槽石英棒,所述未开槽石英棒的垂直投影位于所述下石英面板上的两个卡槽的中心线上,所述4个开槽石英棒两根一组对称分布于该中心线的两边,在所述4个开槽石英棒上均设有大小相同的若干插片槽,所述插片槽的槽口宽度与晶片的厚度相匹配。
[0005]进一步的,远离未开槽石英棒的两根开槽石英棒之间的距离与晶片的直径相适配,其余两根开槽石英棒在该开槽石英棒与未开槽石英棒之间且距离该开槽石英棒较近,距离以晶片可在石英舟中稳定放置为准,未开槽石英棒的作用既可以帮助稳定晶片,保证晶片整齐放置,一侧的开槽石英棒之间距离的缩短也可以方便往石英舟中装载晶片,减少蹭伤。
[0006]进一步的,所述上石英面板和下石英面板均为圆形,与晶片形状一致,所述两个石英面板的直径较所加工晶片略大。
[0007]进一步的,所述开槽石英棒上插片槽的个数为25个,与一般承装晶片的片蓝的装片数相对应。
[0008]本实用新型具有的优点和积极效果是:由于采用上述技术方案,可以方便向本石英舟中加载晶片,并可大容量容纳加工的硅片,增加产能,还可以减少薄膜沉积时石英舟插片槽阻挡气流所造成的对晶片边缘薄膜厚度的影响,使晶片边缘膜厚更加均匀;具有稳定性好,易于装载且装载量大、薄膜沉积均匀等优点。

【专利附图】

【附图说明】
[0009]图1是本实用新型的立体图;
[0010]图2是本实用新型的主视图;
[0011]图3是本实用新型的侧视图;
[0012]图4是本实用新型的俯视图。
[0013]图中:
[0014]1、开槽石英棒 2、未开槽石英棒 3、上石英面板
[0015]4、卡槽5、下石英面板6、插片槽

【具体实施方式】
[0016]下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细说明。
[0017]如图1至4所示,一种卧式LPCVD石英舟,包括卡槽4、上石英面板3、下石英面板5、用于连接所述上石英面板3和下石英面板5的5个连接棒,所述上石英面板3和下石英面板5均为圆形,与晶片形状一致,所述上石英面板3和下石英面板5的直径较所加工晶片略大,所述5个连接棒与所述上石英面板3和下石英面板4垂直连接,并在所述上石英面板3和下石英面板5的周边成圆弧分布,在所述下石英面板5的底部固定有两个相同大小和形状的所述卡槽4,且所述两个卡槽4与LPCVD晶片托架的两根托管平行,间距比两托管之间的距离略短,既简单又可起到固定石英舟的作用,可以将石英舟平稳地架于托架上,所述5个连接棒包括4个开槽石英棒I和I个未开槽石英棒2,所述未开槽石英棒2的垂直投影位于所述下石英面板5上的两个卡槽4的中心线上,所述4个开槽石英棒I两根一组对称分布于该中心线的两边,远离未开槽石英棒2的两根开槽石英棒I之间的距离与晶片的直径相适配,其余两根开槽石英棒I在该开槽石英棒I与未开槽石英棒2之间且距离该开槽石英棒较近,距离以晶片可在石英舟中稳定放置为准,未开槽石英棒2的作用既可以帮助稳定晶片,保证晶片整齐放置,一侧的开槽石英棒I之间距离的缩短也可以方便往石英舟中装载晶片,减少蹭伤,在所述4个开槽石英棒I上均设有大小相同的25个插片槽6,与一般承装晶片的片蓝的装片数相对应,所述插片槽6的槽口宽度与晶片的厚度相匹配。
[0018]本实例的工作过程:使用时,使用真空吸笔向本石英舟中人工插片时,可以把本石英舟倒放于起固定作用的片盒内,未开槽石英棒2位于最下面放置,此时由于调整了开槽石英棒I的位置,使插片时插片槽6都位于人眼易于观察的位置,底部未设插槽避免了插片时将晶片插斜造成划片。晶片插入槽内后,其与上石英面板3和下石英面板5平行,晶片水平放置于托架上,加工面朝上,由于重力作用晶片非加工面会贴近插片槽6,而加工面则不会与插片槽6有接触而有一定的间隙,加工时气流方便通过,会很大程度的增加晶片边缘的均匀性。可根据加工晶片的大小和厚度,适当调整上石英面板3和下石英面板5的直径和卡槽4的大小,也可根据托架上托管的间隔适当调整下石英面板5底面卡槽4的位置,卡槽4与下石英面板5为固定连结。本石英舟整体类似圆柱形的设计使得本石英舟也可放倒,架于LPCVD设备的托架上,来实现晶片垂直放置。
[0019]以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明,但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例,不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等,均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
【权利要求】
1.一种卧式LPCVD石英舟,其特征在于:包括卡槽、上石英面板、下石英面板、用于连接所述上石英面板和下石英面板的5个连接棒,所述5个连接棒与所述上石英面板和下石英面板垂直连接,并在所述上石英面板和下石英面板的周边成圆弧分布,在所述下石英面板的底部固定有两个相同大小和形状的所述卡槽,且所述两个卡槽与LPCVD晶片托架的两根托管平行,间距比两托管之间的距离短,所述5个连接棒包括4个开槽石英棒和I个未开槽石英棒,所述未开槽石英棒的垂直投影位于所述下石英面板上的两个卡槽的中心线上,所述4个开槽石英棒两根一组对称分布于该中心线的两边,在所述4个开槽石英棒上均设有大小相同的若干插片槽,所述插片槽的槽口宽度与晶片的厚度相匹配。
2.根据权利要求1所述的一种卧式LPCVD石英舟,其特征在于:远离所述未开槽石英棒的两根开槽石英棒之间的距离与晶片的直径相适配,其余两根开槽石英棒在该开槽石英棒与未开槽石英棒之间且距离该开槽石英棒近。
3.根据权利要求1或2所述的一种卧式LPCVD石英舟,其特征在于:所述上石英面板和下石英面板均为圆形,与晶片形状一致,所述两个石英面板的直径较所加工晶片大。
4.根据权利要求3所述的一种卧式LPCVD石英舟,其特征在于:所述开槽石英棒上插片槽的个数为25个。
【文档编号】H01L21/673GK204230218SQ201420693965
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月18日 优先权日:2014年11月18日
【发明者】吕莹, 门小云, 宋楠, 刘志超, 张宇 申请人:天津中环领先材料技术有限公司

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