可堆叠基板载送装置的制作方法
专利名称：可堆叠基板载送装置的制作方法
可堆叠基板载送装置本申请要求2010年2月18日递交的题为“Stackable substrate carriers (可堆叠基板载送装置)”的美国临时专利申请序列号No. 61/305,567的优先权，通过参考将其结合于此。
背景技术：
在制造半导体器件、液晶面板和其他装置的过程中，有数以百计的各类处理装置用于处理半导体基板。基板载送装置通常用于保持将在处理装置之间载送的多个基板。在单个晶片处理装置中，在载送装置中的基板通过多关节机器人单独地和连续地捡起，并且然后移动通过半导体制造工艺。在批处理装置中，在有或没有基板载送装置的情况下，在同一时间处理多个基板。用于处理装置的输入站是标准化的，被设计用于基板载送装置的一个特定的设计或多个混合设计。例如，典型的基板载送装置被设计成处理25个基板。
基板在基板载送装置中的固定数目在某些情况下不是可取的。例如，有时只有少数特殊基板需要处理，留下超过一半的基板载送装置是空的。有时大量的基板需要具有相同的处理条件，但是由于每个载送装置对基板数量的限制而不得不分开至多个载送装置以被分开地处理。
发明内容
在一个实施例中，本发明公开了一种可堆叠基板载送装置，例如，用于可伸缩地储存、传输或处理多个基板。本基板载送装置可以通过连接机构并排地堆叠，形成具有双倍、三倍或多倍容量的一体式载送装置。在实施例中，本可堆叠基板载送装置包括用于基板输入和输出的开口、用于将多个基板保持在基板载送装置内的支撑元件、和具有用于与另一个基板载送装置配合的连接机构的至少一个端壁。连接机构可以被旋转地配合，以使基板载送装置旋转，用于与另一基板载送装置配合。在一个方面，基板载送装置中旋转180度，并且具有连接机构的两个端部侧面可以配合以形成一体式载送装置。连接机构可以线性地配合，以使基板载送装置平移用于与另一个基板载送装置配合。连接机构可以是基板载送装置的一个或多个侧面，允许一维(D)，二维或甚至三维可堆叠性。在实施例中，连接机构包括用于将基板载送装置固定在一起的配合或锁定机构。锁定机构可以通过配合两个基板载送装置以及两个基板载送装置的附加的旋转或平移运动而接合。代替地，锁定机构可以通过按压两个基板载送装置靠着彼此而结合，利用摩擦以将载送装置保持在一起。也可以使用其它锁定机构，如钩或闩锁。锁定机构也可以包括半永久性的固定机构，如螺纹或粘合剂。在实施例中，本可堆叠基板载送装置包括保持用于保持基板的多个侧面结构的两个相反的前端和后端结构。侧面结构可以包括具有齿的多个杆，其中基板被设置在由齿生成的凹槽中。可以使用多个杆，一些杆支撑基板的侧面，一些杆支撑基板的底部。侧面结构可以包括具有凹槽的多个板。两个侧板可以用于保持基板。可以包括带有凹槽或不带凹槽的底板以支撑基板。凹槽板可以是平面板，或L形板以支撑基板的两个侧面。在实施例中，本可堆叠基板载送装置被设计用于太阳能晶片载送装置，例如，方形单晶或多晶晶片。通过堆叠适当数量的载送装置，本可堆叠基板载送装置可以简化太阳能晶片的储存、传输或处理。
图IA说明本可堆叠基板载送装置的示例实施例。图IB说明两个可堆叠基板载送装置堆叠在一起以形成一体式载送装置的示例实施例。图2A和2B说明本可堆叠基板载送装置和由两个可堆叠载送装置形成的一体式载送装置的另一个示例的实施例。
图3A-3E说明堆叠可堆叠基板载送装置以形成一体式载送装置的示例性过程。图4A-4B说明堆叠可堆叠基板载送装置以形成一体式载送装置的另一个示例性过程。图5说明堆叠6个可堆叠基板载送装置以形成一体式载送装置的另一个示例性过程。图6A-6F说明用于堆叠两个可堆叠基板载送装置的示例性连接机构。图7A-7B说明用于堆叠两个可堆叠基板载送装置的另一个示例性连接机构。图8说明用于堆叠两个可堆叠基板载送装置的另一个示例性连接机构。图9说明用于堆叠两个可堆叠基板载送装置的另一个示例性连接机构。图10A-10B图示不同的可堆叠基板载送装置的示例部件。图11A-11B图示不同的可堆叠基板载送装置的其它示例部件。图12A-12B图示另一个示例性的可堆叠基板载送装置。图13A-13B说明用于装配或拆卸一体式载送装置的示例流程图。
具体实施例方式基板载送装置通常用于传输或储存半导体基板，如硅晶片、太阳能电池晶片或磁盘。例如，将太阳能电池晶片处理成太阳能电池往往涉及几个步骤，其中磁盘被反复地处理、存储和传输。基板的载送装置也可以在处理过程中用于支撑基板，如在湿槽清洗或涂层处理中保持基板。在一个实施例中，本发明公开可堆叠基板载送装置，其可以堆叠以形成具有较高基板存储容量的一体式载送装置。例如，两个可堆叠基板载送装置可以堆叠在一起以形成具有双倍基板保持容量的一体式基板载送装置。优选地，为了易于制造和堆叠载送装置，可堆叠基板载送装置是相同的。然而，基板载送装置可以分别地仅具有为了便于堆放的相同的端部结构，和不同或相同的侧面结构以保持不同的或相同数量的基板。图I说明本可堆叠基板载送装置的示例性实施例，其是并排可堆叠载送装置100，包括引入或取出基板的开口 110、侧面结构104和至少一个前端(或后端)结构108，侧面结构104具有用于保持多个基板的槽痕或凹槽106，前端(或后端)结构108具有用于与另一个基板载送装置配合的连接或配合机构102。载送装置100还可以包括底部结构105，底部结构105可以是与侧面结构104分开的元件，或者可以是侧面结构104的一体部分。图IB说明叠放在一起以形成一体式载送装置或侧面堆叠式组合载送装置的两个并排可堆叠基板载送装置100A和100B的示例实施例。载送装置一般地被配置为将基板轴向地布置在插槽中，例如，在凹槽106中，并且通过其外围边缘支撑或靠近基板。基板传统地能够在径向方向向上地或横向地从载送装置中移除，例如通过开口 110。基板的可见性是期望的，并且因而前端结构108可以配置成U形形状或O形形状，开口在端部结构的中部。此外，端部结构108的开口可以允许在堆叠的组合载送装置中的载送装置之间的化学物质流动。载送装置的尺寸被设计为提供稳定性，以防止对基板的损坏，并且最小化基板在载送装置内的运动。保持基板的插槽的公差通常是小的，以减少运动。载送装置材料可以被选择为保持其例如在高温下的稳定性。此外，载送装置材料 具有挥发成分的最小释放，并且被选择为具有最小电荷产生，例如，通过使用具有静电耗散特性的材料。载送装置材料也可以被选择为尽量减少金属污染，并且与任何暴露的化学品，例如，清洗液和诸如异丙醇的溶剂，和诸如氨基酸和其他苛刻化学品的处理溶液，是化学兼容的。在实施例中，载送装置材料由注塑成型塑料形成，如聚碳酸酯(PC)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、全氟烷氧基(PFA)和聚醚醚酮(PEEK)。已添加到注塑成型塑料的用于静电消散的填料，包括但不限于碳粉末或纤维、金属纤维、金属涂层的石墨和有机(胺基)添加剂。在实施例中，基板载送装置由单个模制部件形成，该模制部件包括具有连接机构的前端、具有或不具有第二连接机构的后端、具有凹槽或插槽的侧壁、具有或不具有凹槽或插槽的底壁、和用于基板输入/输出的开口顶部。在一个实施例中，基板载送装置通过组装诸如侧面结构、前端、后端和底部结构之类的不同部件而形成。载送装置的不同部分可以由不同的材料形成，例如，PEEK是更昂贵的材料，其具有理想用于诸如凹槽或插槽之类的基板接触部分的理想的耐磨损特性，但是很难成型。图2A和2B说明本可堆叠基板载送装置和由两个可堆叠载送装置形成的一体式载送装置的另一示例性实施例。侧壁支撑元件104具有用于附加的结构稳定性的加强杆。在一个实施例中，本基板载送装置被设计用于方形晶片，如用于太阳能电池应用的多晶晶片。侧壁104和底壁形成用于保持方形基板的方形U形。图2B显示由具有相同尺寸(例如，相同的基板载送容量)的两个可堆叠载送装置形成的一体式载送装置。在一个实施例中，可以使用具有不同基板载送容量的可堆叠载送装置以形成一体式载送装置。通过改变可堆叠载送装置的侧面结构，不同数量的基板可以存储在载送装置中。此外，前部和端部结构可以是相同的或可以是不同的。图3A-3C说明堆叠两个可堆叠基板载送装置以形成一体式载送装置的示例过程。图3A说明基板载送装置200A和200B，每个载送装置具有相反的壁208和205。相反的壁208和205可以是前端和后端，或者代替地，相反的壁208和205可以是两个相反的侧壁。如图所示，壁208包括连接或配合机构202A和202B，其对于载送装置200A和200B两者是相同的。其它壁，如壁205，不具有任何连接机构，或具有类似机构或不同的机构。在一个实施例中，仅壁208具有连接机构202A和202B，其对于全部基板载送装置200A和200B是相同。基板载送装置200B例如旋转(206) 180度，以使载送装置200B的壁208面对载送装置200A的相同壁208。图3B说明彼此面对的基板载送装置200A和200B，其具有带有连接机构202A和202B的壁208。基板载送装置然后线性地集合用于配合连接机构，产生包括载送装置200A和200B的一体式载送装置(图3C)。在实施例中，壁208中具有连接机构202A和202B，壁205不具有连接机构。每个载送装置可以具有相同的连接机构202A/202B，连接机构202A/202B被设计为在旋转运动以后彼此配合。例如，连接机构202A可以是阳部或凸部，连接机构202B可以是阴部或凹部，其在旋转以后彼此面对并且可以配合在一起。在这种情况下，所有的基板载送装置是相同的，并且任何两个基板载送装置可以彼此配合。如果连接机构仅形成在一个壁上，那么一体式载送装置仅仅由两个可堆叠载送装置组成。如果相反的壁205也具有与壁208的连接机构202A/202B或类似或不同的连接机构，则附加的载送装置可以配合到一体式载送装置。如果壁205具有相同的连接机构202A/202B，那么载送装置200A可以与载送装置200B在壁·205或208处并排地堆叠。在实施例中，连接机构配合地对称，例如，每个配合部具有位于对称位置处的相应的配合部。例如,连接机构可以关于划分端部结构的垂直中心线垂直地镜像对称。这种垂直镜面对称可以使一个端部结构能够旋转(例如，0、90、180或270度)以与具有相同连接机构的另一个端部结构配合。图3D-3E说明用于根据本发明的实施例的端部结构的对称性的示例实施例。在图3D中，可堆叠载送装置200A呈现侧壁208，侧壁208可以是载送装置200A的端部结构或侧面结构。侧壁208包括连接机构，如配合元件202A和相应的被配合元件202B。配合元件202A和被配合元件202B可以配合在一起以形成固定连接，例如，配合元件202A可以是对应阴连接器202B的阳连接器。配合元件202A和被配合元件202B关于对称线232镜像对称，对称线232是垂直的并且在侧壁208的中心处。对称线232可以被看作是旋转轴线，使侧壁208可以旋转适当角度以配合到另一个侧壁208。在关于旋转线232配合地对称配置中，元件202A生成镜像对称被配合元件202B。同样地，元件212B生成镜像对称元件212A。图3E说明用于侧壁208的另一个对称配置，侧壁208包括分别地具有镜像对称的被配合元件232B和234B的元件232A和234A。图4A-4B说明堆叠可堆叠基板载送装置以形成一体式载送装置的另一个示例性过程。图4A说明并排设置的两个基板载送装置300A/300B。基板载送装置，例如，基板载送装置300B，具有相反的壁305B和308B。基板载送装置布置有具有彼此面对的连接机构的壁，并且在移动(309)到一起以后，由两个被连接的可堆叠载送装置一起形成一体式载送装置(图4B)，具有两倍基板保持容量。另外的载送装置可以进一步连接到一体式载送装置，形成具有更大的基板保持容量的一体式载送装置。例如，附加的载送装置300C被添加到一体式载送装置300A/300B以形成具有3个可堆叠载送装置的一体式载送装置(图4C)。代替地，仅两个基板载送装置可以彼此连接，形成具有双倍基板保持容量的一体式载送装置。在一个实施例中，面对的壁具有配合的连接机构。例如，载送装置300A/300B的壁308A/308B分别面对载送装置300B/300C的具有相反的连接机构的壁305B/305C。载送装置可以是相同的；在这种情况下，所有的载送装置在相反的壁中具有相反的连接机构。代替地，载送装置可以是不同的，在这种情况下，只有面对的壁具有相反的连接机构。在一个实施例中，连接机构是配合地对称的。在这种情况下，载送装置300A的壁308A可以连接到载送装置300B的壁305B或壁308B (或任何其它的壁)。图5说明堆叠6个可堆叠基板载送装置以形成一体式载送装置的另一个示例性过程。如图所示，六个载送装置401-406以两个或三个侧面并排地连接以形成一体式载送装置。代替地，载送装置可以在两个或三个维度中连接以扩展基板保持容量。图6A-6B图示用于堆叠两个可堆叠基板载送装置的示例性连接机构。图6A图示透视图，图6B图示两个基板载送装置400A和400B的横截面视图。基板载送装置包括具有凹槽的侧壁404、前端408、后端405和底壁。前端408具有连接机构402A/402B，连接机构 402A/402B包括用于将两个基板载送装置400A和400B锁定在一起的锁定机构。该锁定机构包括孔402A和销402B，孔402A和销402B通过挤压接合在一起(409)，使用摩擦以将载送装置保持在一起。如图所示，孔402A不穿透端部结构408。在一个实施例中，孔/销配置被设计为在旋转载送装置以后配合，从而允许配合相同的载送装置。例如，如图所示，两个销/孔402B/402A彼此成对角线，因此在载送装置以例如180度的角度旋转时彼此配合。可以使用其他配置，例如，一列销402B和一列孔402A。销/孔的数量也可以变化。图6C图示根据本发明的实施例的销/孔连接的示例配置。侧壁428和428*中的每一个都包括具有销422B/424B和孔422A/424A的连接机构。在被配合时，销422B/424B穿过侧壁428和428*。可以通过压配合执行连接，意味着孔422A/424A略小于销422B/424B。也可以通过锁定机构，例如，销/孔424B/424A的锁定机构，执行连接，防止销424B从孔424A中释放。也可以通过诸如胶水的粘合材料执行连接。图6D图示根据本发明的实施例的销/孔连接的另一个示例配置。侧壁438和438*中的每一个包括具有销434B和孔434A的连接机构。在被配合时，锁435可以接合销434B，以防止销434B从孔434A中释放。连接也可以通过诸如胶水的粘合材料执行，或由诸如销/孔424B/424A的其它锁定机构执行。图6E-6F图示根据本发明的实施例的销/孔连接的另一个示例配置。侧壁448和448*中的每一个包括具有销442B和孔442A/443A的连接机构。孔442A大于销442B，用于容纳销442B。孔443A小于销442B，用于两个侧壁448和448*之间的牢固连接。在第一运动445中，侧壁448和448*朝向彼此移动，销442B与较大孔442A对齐。在第二运动446中，在两个侧壁被连接以后，侧壁448相对侧壁448*向下移动以将销442B与孔443A接合。较小直径和锁定缺口用于将销443A结合到孔442B。图7A-7B图示用于堆叠两个可堆叠基板载送装置的另一个示例性连接机构。图7A图不两个相反的侧壁508的透视图，图7B图不两个基板载送装置的横截面AA的视图。通过将销502A推入插槽502B或502C并且关于一个载送装置滑动另一个载送装置，载送装置被接合。插槽是细长插槽，并且可以是不同的设计，如502B或502C，被设计用于销502A以使用滑动运动509进入锁定。相同或不同的插槽设计可以结合在侧壁508中。在实施例中，销/插槽配置配合地对称以容纳用于相同载送装置的锁定机构。锁定机构可以通过在锁定接合之前关于一个载送装置旋转另一个载送装置来实现。代替地，锁定机构可以通过在锁定接合之前关于一个载送装置线性滑动另一个载送装置来实现。可以使用它锁定机构，如用于销/孔配置的锁435，或胶水粘合剂。图8图示用于通过滑动运动609堆叠两个可堆叠基板载送装置的另一个示例性连接机构。销602A可以类似于销502A。插槽602B类似于插槽502B，但仅具有一个延伸侧。销602A可以被推入插槽602B的大孔中，并且载送装置滑行￠09)以将销602A锁入插槽602B的小孔。图9图示用于通过旋转运动709堆叠两个可堆叠基板载送装置的另一个示例性连接机构。销和插槽702A/702B可以与销/插槽602A/602B相似。任选的销/孔结合708A/708B可以作为用于旋转运动(709)的旋转中心。孔708B被拉长以容纳销708A的旋转运动。这些设计提供相同的基板载送装置，具有被设计用于接合任何两个载送装置的锁定机构。可以使用其它设计，例如，用于不相同的载送装置。锁定机构只是示例性的锁定机构。可以使用其它机构，如挂钩或闩锁。此外，配合 地对称配置是期望的以便可以使用相同的载送装置，但是也可以实现非对称设计。图IOA图示不同的可堆叠基板载送装置的示例性部件，显示侧壁1001A/1001B和底壁1003。侧壁1001A/1001B和底壁1003具有用于保持基板的凹槽，凹槽或者一体地形成在壁上，或者分开地连接到壁。图IOB图示不同的可堆叠基板载送装置的其它示例性部件，显示侧壁1001A/1001B和底壁1005。侧壁1001A/1001B具有凹槽，凹槽或者一体地形成在壁上，或者分开地连接到壁。底壁1005没有任何凹槽。图11A-11B图示用于示例性的基板载送装置的侧壁的两个不同设计，分别地显示L形侧壁1101和1103。侧壁1101的底部1102不具有任何凹槽，而侧壁1103的底部1104
具有凹槽。图12A-12B图示根据本发明的另一个实施例的另一个示例性基板载送装置，分别地没有基板和具有基板。载送装置1200包括前端和后端1203，以及开槽的杆1205。可以包含任选的中间板1207用于结构的稳定性。前端和后端1203具有用于观察基板的在中心的开口，以及用于自动传输的顶端插槽。前端和后端1203具有矩形或方形形状，被设计为平坦地定位在表面上。任选的连接机构可以设置在前端/后端1203上，用于堆放到其它基板载送装置。U形中板1207可以设置在载送装置1200的中间，例如，用于支撑杆1205。多个杆1205与多个锯齿型轮廓、凹槽或具有基板接触边缘的插槽平行对齐。杆1205包括底部和侧面支撑杆。杆配置可以被设计用于支撑方形基板，在每一侧包括两个底部杆和两个侧杆。所述杆和前/后端是耐化学腐蚀的并且可以适应承受高温热循环。杆可以由含氟聚合物构造而成，或者可以被构造成具有内芯和外部涂层。内核的材料可以由含氟聚合物、陶瓷、具有碳纤维的聚醚酮酮、不锈钢和聚醚醚酮制成。外部涂层可以由含氟聚合物制成或者可以是合适的全氟烷氧基或乙烯和氯三氟乙烯的共聚物。在一个实施例中，本发明公开用于通过连接或拆卸单个可堆叠载送装置而形成一体式载送装置或并排堆叠的组合载送装置的方法。图13A图示形成一体式载送装置的示例流程图。可选操作1300确定要存储或由载送装置支撑的基板的数量超过本载送装置的容量。例如，基板的数量可能超过单个可堆叠载送装置的容量。或基板的数量可能超过一体式载送装置(已经包括多个可堆叠载送装置)的容量。操作1302连接多个可堆叠载送装置以形成一体式载送装置。例如，两个或两个以上并排的可堆叠载送装置可以连接在一起以形成侧面堆叠式组合载送装置。代替地，附加的可堆叠载送装置可以连接到一体式载送装置，以提高其容量。通过将两个载送装置压配合在一起，或通过配合连接机构和执行运动以将载送装置锁定一起，可以实现载送装置的连接。此外，用胶水粘合剂涂敷连接机构或载送装置的表面可以用来改善连接。也可以使用诸如锁、闩锁或螺纹之类的锁定机构。图13B图示用于形成载送装置的另一个示例性流程图。可选的操作1310确定要存储或由载送装置支撑的基板的数量。操作1312连接多个可堆叠载送装置从现有的载送装置中分离多个可堆叠载送装置以形成一体式载送装置或形成可堆 叠载送装置。例如，可堆叠的载送装置从一体式载送装置中分离以形成两个可堆叠的载送装置。或者可堆叠的载送装置连接到另一个可堆叠载送装置或者一体式载送装置以形成一体式载送装置。在一般情况下，从一体式载送装置中分离载送装置降低现有载送装置的容量，将载送装置连接到现有载送装置增加其容量。可以以未背离本发明的精神或本质属性的其它具体形式实施本发明，并且因此希望在所有方面将本实施例考虑为说明性的而不是限制性的，参见附后的权利要求而不是以上说明表明本发明的保护范围。
权利要求
1.一种用于多个基板的并排可堆叠载送装置，包括 两个侧面结构，包括用于保持基板的槽痕； 固定到所述侧面结构的两个端部结构，至少一个端部结构包括连接机构，该连接机构用于与另一个并排可堆叠载送装置的端部结构配合。
2.根据权利要求I所述的载送装置，其中连接机构对称地配合/被配合以使具有相同端部结构的两个载送装置能够配合。
3.根据权利要求I所述的载送装置，其中两个载送装置在相同的端部处都具有连接机构，使得一个载送装置在与另一个载送装置配合之前旋转180度。
4.根据权利要求I所述的载送装置，其中与具有连接机构的端部结构相反的端部结构不具有任何配合结构，使得仅两个载送装置能够彼此配合。
5.根据权利要求I所述的载送装置，其中与具有连接机构的端部结构相反的端部结构也具有连接机构，使得多于两个载送装置能够彼此配合。
6.根据权利要求I所述的载送装置，其中两个载送装置在相反的两个端部处都具有连接机构，使得一个载送装置的前部与另一个载送装置的端部配合。
7.根据权利要求I所述的载送装置，其中配合结构被配置用于压配合，包括销和配合孔。
8.根据权利要求I所述的载送装置，其中配合结构被配置用于滑动锁定，包括保持机构。
9.根据权利要求I所述的载送装置，其中滑动锁定包括旋转、垂直滑动和水平滑动中的一种。
10.根据权利要求I所述的载送装置，其中配合结构包括用于防止脱离的锁定机构。
11.根据权利要求I所述的载送装置，其中侧面结构包括L形形状，该L形形状具有部分地覆盖载送装置的侧面的一侧和部分地覆盖载送装置的底部的一侧。
12.根据权利要求I所述的载送装置，其中侧面结构仅覆盖载送装置的侧面，并且载送装置还包括用于在载送装置的底部处支撑基板的底部结构。
13.根据权利要求I所述的载送装置，其中底部结构包括具有槽痕的一个或多个杆。
14.根据权利要求I所述的载送装置，其中侧面结构包括具有槽痕的一个或多个杆。
15.一种侧面堆叠式组合载送装置，包括配合在一起的两个或两个以上的并排可堆叠载送装置，每个并排可堆叠载送装置包括 两个侧面结构，包括用于保持基板的槽痕； 固定到侧面结构的两个端部结构，一个端部结构包括用于与另一个端部结构配合的连接机构。
16.根据权利要求15所述的载送装置，其中并排可堆叠载送装置具有相同的端部结构。
17.根据权利要求15所述的载送装置，其中并排可堆叠载送装置的侧面结构支撑不同数量的基板。
18.一种用于在载送装置中载送多个基板的方法，包括下述步骤 使两个或两个以上的并排可堆叠载送装置配合以形成侧面堆叠式组合载送装置，其中每个并排可堆叠载送装置包括两个侧面结构，包括用于保持基板的槽痕； 固定到侧面结构的两个端部结构，一个端部结构包括用于与另一个端部结构配合的连接机构。
19.根据权利要求18所述的方法，还包括下述步骤 将并排可堆叠载送装置锁定一起。
20.根据权利要求18所述的方法，还包括下述步骤 调整侧面堆叠式组合载送装置中的并排可堆叠载送装置的数量以适应基板的数量。
全文摘要
在一个实施例中，本发明公开了一种用于可伸缩储存、传输或处理多个基板的可堆叠基板载送装置。本基板载送装置可以通过连接机构并排地堆叠，形成具有双倍、三倍或多倍容量的一体式载送装置。连接机构包括锁定机构，该锁定用于将基板载送装置固定在一起，通过使两个基板载送装置配合以及两个基板载送装置的附加的旋转或平移动作而接合。代替地，锁定机构可以通过按压两个基板载送装置靠着彼此，使用摩擦以保持载送装置在一起而接合。也可以使用其它的锁定机构，诸如钩或闩锁。
文档编号H01L21/673GK102792434SQ201180010288
公开日2012年11月21日 申请日期2011年2月17日 优先权日2010年2月18日
发明者卢茨·莱伯斯托克 申请人:动力微系统公司
可堆叠基板载送装置本申请要求2010年2月18日递交的题为“Stackable substrate carriers (可堆叠基板载送装置)”的美国临时专利申请序列号No. 61/305,567的优先权，通过参考将其结合于此。
背景技术：
在制造半导体器件、液晶面板和其他装置的过程中，有数以百计的各类处理装置用于处理半导体基板。基板载送装置通常用于保持将在处理装置之间载送的多个基板。在单个晶片处理装置中，在载送装置中的基板通过多关节机器人单独地和连续地捡起，并且然后移动通过半导体制造工艺。在批处理装置中，在有或没有基板载送装置的情况下，在同一时间处理多个基板。用于处理装置的输入站是标准化的，被设计用于基板载送装置的一个特定的设计或多个混合设计。例如，典型的基板载送装置被设计成处理25个基板。
基板在基板载送装置中的固定数目在某些情况下不是可取的。例如，有时只有少数特殊基板需要处理，留下超过一半的基板载送装置是空的。有时大量的基板需要具有相同的处理条件，但是由于每个载送装置对基板数量的限制而不得不分开至多个载送装置以被分开地处理。
发明内容
在一个实施例中，本发明公开了一种可堆叠基板载送装置，例如，用于可伸缩地储存、传输或处理多个基板。本基板载送装置可以通过连接机构并排地堆叠，形成具有双倍、三倍或多倍容量的一体式载送装置。在实施例中，本可堆叠基板载送装置包括用于基板输入和输出的开口、用于将多个基板保持在基板载送装置内的支撑元件、和具有用于与另一个基板载送装置配合的连接机构的至少一个端壁。连接机构可以被旋转地配合，以使基板载送装置旋转，用于与另一基板载送装置配合。在一个方面，基板载送装置中旋转180度，并且具有连接机构的两个端部侧面可以配合以形成一体式载送装置。连接机构可以线性地配合，以使基板载送装置平移用于与另一个基板载送装置配合。连接机构可以是基板载送装置的一个或多个侧面，允许一维(D)，二维或甚至三维可堆叠性。在实施例中，连接机构包括用于将基板载送装置固定在一起的配合或锁定机构。锁定机构可以通过配合两个基板载送装置以及两个基板载送装置的附加的旋转或平移运动而接合。代替地，锁定机构可以通过按压两个基板载送装置靠着彼此而结合，利用摩擦以将载送装置保持在一起。也可以使用其它锁定机构，如钩或闩锁。锁定机构也可以包括半永久性的固定机构，如螺纹或粘合剂。在实施例中，本可堆叠基板载送装置包括保持用于保持基板的多个侧面结构的两个相反的前端和后端结构。侧面结构可以包括具有齿的多个杆，其中基板被设置在由齿生成的凹槽中。可以使用多个杆，一些杆支撑基板的侧面，一些杆支撑基板的底部。侧面结构可以包括具有凹槽的多个板。两个侧板可以用于保持基板。可以包括带有凹槽或不带凹槽的底板以支撑基板。凹槽板可以是平面板，或L形板以支撑基板的两个侧面。在实施例中，本可堆叠基板载送装置被设计用于太阳能晶片载送装置，例如，方形单晶或多晶晶片。通过堆叠适当数量的载送装置，本可堆叠基板载送装置可以简化太阳能晶片的储存、传输或处理。
图IA说明本可堆叠基板载送装置的示例实施例。图IB说明两个可堆叠基板载送装置堆叠在一起以形成一体式载送装置的示例实施例。图2A和2B说明本可堆叠基板载送装置和由两个可堆叠载送装置形成的一体式载送装置的另一个示例的实施例。
图3A-3E说明堆叠可堆叠基板载送装置以形成一体式载送装置的示例性过程。图4A-4B说明堆叠可堆叠基板载送装置以形成一体式载送装置的另一个示例性过程。图5说明堆叠6个可堆叠基板载送装置以形成一体式载送装置的另一个示例性过程。图6A-6F说明用于堆叠两个可堆叠基板载送装置的示例性连接机构。图7A-7B说明用于堆叠两个可堆叠基板载送装置的另一个示例性连接机构。图8说明用于堆叠两个可堆叠基板载送装置的另一个示例性连接机构。图9说明用于堆叠两个可堆叠基板载送装置的另一个示例性连接机构。图10A-10B图示不同的可堆叠基板载送装置的示例部件。图11A-11B图示不同的可堆叠基板载送装置的其它示例部件。图12A-12B图示另一个示例性的可堆叠基板载送装置。图13A-13B说明用于装配或拆卸一体式载送装置的示例流程图。
具体实施例方式基板载送装置通常用于传输或储存半导体基板，如硅晶片、太阳能电池晶片或磁盘。例如，将太阳能电池晶片处理成太阳能电池往往涉及几个步骤，其中磁盘被反复地处理、存储和传输。基板的载送装置也可以在处理过程中用于支撑基板，如在湿槽清洗或涂层处理中保持基板。在一个实施例中，本发明公开可堆叠基板载送装置，其可以堆叠以形成具有较高基板存储容量的一体式载送装置。例如，两个可堆叠基板载送装置可以堆叠在一起以形成具有双倍基板保持容量的一体式基板载送装置。优选地，为了易于制造和堆叠载送装置，可堆叠基板载送装置是相同的。然而，基板载送装置可以分别地仅具有为了便于堆放的相同的端部结构，和不同或相同的侧面结构以保持不同的或相同数量的基板。图I说明本可堆叠基板载送装置的示例性实施例，其是并排可堆叠载送装置100，包括引入或取出基板的开口 110、侧面结构104和至少一个前端(或后端)结构108，侧面结构104具有用于保持多个基板的槽痕或凹槽106，前端(或后端)结构108具有用于与另一个基板载送装置配合的连接或配合机构102。载送装置100还可以包括底部结构105，底部结构105可以是与侧面结构104分开的元件，或者可以是侧面结构104的一体部分。图IB说明叠放在一起以形成一体式载送装置或侧面堆叠式组合载送装置的两个并排可堆叠基板载送装置100A和100B的示例实施例。载送装置一般地被配置为将基板轴向地布置在插槽中，例如，在凹槽106中，并且通过其外围边缘支撑或靠近基板。基板传统地能够在径向方向向上地或横向地从载送装置中移除，例如通过开口 110。基板的可见性是期望的，并且因而前端结构108可以配置成U形形状或O形形状，开口在端部结构的中部。此外，端部结构108的开口可以允许在堆叠的组合载送装置中的载送装置之间的化学物质流动。载送装置的尺寸被设计为提供稳定性，以防止对基板的损坏，并且最小化基板在载送装置内的运动。保持基板的插槽的公差通常是小的，以减少运动。载送装置材料可以被选择为保持其例如在高温下的稳定性。此外，载送装置材料 具有挥发成分的最小释放，并且被选择为具有最小电荷产生，例如，通过使用具有静电耗散特性的材料。载送装置材料也可以被选择为尽量减少金属污染，并且与任何暴露的化学品，例如，清洗液和诸如异丙醇的溶剂，和诸如氨基酸和其他苛刻化学品的处理溶液，是化学兼容的。在实施例中，载送装置材料由注塑成型塑料形成，如聚碳酸酯(PC)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)、聚丙烯(PP)、聚乙烯(PE)、全氟烷氧基(PFA)和聚醚醚酮(PEEK)。已添加到注塑成型塑料的用于静电消散的填料，包括但不限于碳粉末或纤维、金属纤维、金属涂层的石墨和有机(胺基)添加剂。在实施例中，基板载送装置由单个模制部件形成，该模制部件包括具有连接机构的前端、具有或不具有第二连接机构的后端、具有凹槽或插槽的侧壁、具有或不具有凹槽或插槽的底壁、和用于基板输入/输出的开口顶部。在一个实施例中，基板载送装置通过组装诸如侧面结构、前端、后端和底部结构之类的不同部件而形成。载送装置的不同部分可以由不同的材料形成，例如，PEEK是更昂贵的材料，其具有理想用于诸如凹槽或插槽之类的基板接触部分的理想的耐磨损特性，但是很难成型。图2A和2B说明本可堆叠基板载送装置和由两个可堆叠载送装置形成的一体式载送装置的另一示例性实施例。侧壁支撑元件104具有用于附加的结构稳定性的加强杆。在一个实施例中，本基板载送装置被设计用于方形晶片，如用于太阳能电池应用的多晶晶片。侧壁104和底壁形成用于保持方形基板的方形U形。图2B显示由具有相同尺寸(例如，相同的基板载送容量)的两个可堆叠载送装置形成的一体式载送装置。在一个实施例中，可以使用具有不同基板载送容量的可堆叠载送装置以形成一体式载送装置。通过改变可堆叠载送装置的侧面结构，不同数量的基板可以存储在载送装置中。此外，前部和端部结构可以是相同的或可以是不同的。图3A-3C说明堆叠两个可堆叠基板载送装置以形成一体式载送装置的示例过程。图3A说明基板载送装置200A和200B，每个载送装置具有相反的壁208和205。相反的壁208和205可以是前端和后端，或者代替地，相反的壁208和205可以是两个相反的侧壁。如图所示，壁208包括连接或配合机构202A和202B，其对于载送装置200A和200B两者是相同的。其它壁，如壁205，不具有任何连接机构，或具有类似机构或不同的机构。在一个实施例中，仅壁208具有连接机构202A和202B，其对于全部基板载送装置200A和200B是相同。基板载送装置200B例如旋转(206) 180度，以使载送装置200B的壁208面对载送装置200A的相同壁208。图3B说明彼此面对的基板载送装置200A和200B，其具有带有连接机构202A和202B的壁208。基板载送装置然后线性地集合用于配合连接机构，产生包括载送装置200A和200B的一体式载送装置(图3C)。在实施例中，壁208中具有连接机构202A和202B，壁205不具有连接机构。每个载送装置可以具有相同的连接机构202A/202B，连接机构202A/202B被设计为在旋转运动以后彼此配合。例如，连接机构202A可以是阳部或凸部，连接机构202B可以是阴部或凹部，其在旋转以后彼此面对并且可以配合在一起。在这种情况下，所有的基板载送装置是相同的，并且任何两个基板载送装置可以彼此配合。如果连接机构仅形成在一个壁上，那么一体式载送装置仅仅由两个可堆叠载送装置组成。如果相反的壁205也具有与壁208的连接机构202A/202B或类似或不同的连接机构，则附加的载送装置可以配合到一体式载送装置。如果壁205具有相同的连接机构202A/202B，那么载送装置200A可以与载送装置200B在壁·205或208处并排地堆叠。在实施例中，连接机构配合地对称，例如，每个配合部具有位于对称位置处的相应的配合部。例如,连接机构可以关于划分端部结构的垂直中心线垂直地镜像对称。这种垂直镜面对称可以使一个端部结构能够旋转(例如，0、90、180或270度)以与具有相同连接机构的另一个端部结构配合。图3D-3E说明用于根据本发明的实施例的端部结构的对称性的示例实施例。在图3D中，可堆叠载送装置200A呈现侧壁208，侧壁208可以是载送装置200A的端部结构或侧面结构。侧壁208包括连接机构，如配合元件202A和相应的被配合元件202B。配合元件202A和被配合元件202B可以配合在一起以形成固定连接，例如，配合元件202A可以是对应阴连接器202B的阳连接器。配合元件202A和被配合元件202B关于对称线232镜像对称，对称线232是垂直的并且在侧壁208的中心处。对称线232可以被看作是旋转轴线，使侧壁208可以旋转适当角度以配合到另一个侧壁208。在关于旋转线232配合地对称配置中，元件202A生成镜像对称被配合元件202B。同样地，元件212B生成镜像对称元件212A。图3E说明用于侧壁208的另一个对称配置，侧壁208包括分别地具有镜像对称的被配合元件232B和234B的元件232A和234A。图4A-4B说明堆叠可堆叠基板载送装置以形成一体式载送装置的另一个示例性过程。图4A说明并排设置的两个基板载送装置300A/300B。基板载送装置，例如，基板载送装置300B，具有相反的壁305B和308B。基板载送装置布置有具有彼此面对的连接机构的壁，并且在移动(309)到一起以后，由两个被连接的可堆叠载送装置一起形成一体式载送装置(图4B)，具有两倍基板保持容量。另外的载送装置可以进一步连接到一体式载送装置，形成具有更大的基板保持容量的一体式载送装置。例如，附加的载送装置300C被添加到一体式载送装置300A/300B以形成具有3个可堆叠载送装置的一体式载送装置(图4C)。代替地，仅两个基板载送装置可以彼此连接，形成具有双倍基板保持容量的一体式载送装置。在一个实施例中，面对的壁具有配合的连接机构。例如，载送装置300A/300B的壁308A/308B分别面对载送装置300B/300C的具有相反的连接机构的壁305B/305C。载送装置可以是相同的；在这种情况下，所有的载送装置在相反的壁中具有相反的连接机构。代替地，载送装置可以是不同的，在这种情况下，只有面对的壁具有相反的连接机构。在一个实施例中，连接机构是配合地对称的。在这种情况下，载送装置300A的壁308A可以连接到载送装置300B的壁305B或壁308B (或任何其它的壁)。图5说明堆叠6个可堆叠基板载送装置以形成一体式载送装置的另一个示例性过程。如图所示，六个载送装置401-406以两个或三个侧面并排地连接以形成一体式载送装置。代替地，载送装置可以在两个或三个维度中连接以扩展基板保持容量。图6A-6B图示用于堆叠两个可堆叠基板载送装置的示例性连接机构。图6A图示透视图，图6B图示两个基板载送装置400A和400B的横截面视图。基板载送装置包括具有凹槽的侧壁404、前端408、后端405和底壁。前端408具有连接机构402A/402B，连接机构 402A/402B包括用于将两个基板载送装置400A和400B锁定在一起的锁定机构。该锁定机构包括孔402A和销402B，孔402A和销402B通过挤压接合在一起(409)，使用摩擦以将载送装置保持在一起。如图所示，孔402A不穿透端部结构408。在一个实施例中，孔/销配置被设计为在旋转载送装置以后配合，从而允许配合相同的载送装置。例如，如图所示，两个销/孔402B/402A彼此成对角线，因此在载送装置以例如180度的角度旋转时彼此配合。可以使用其他配置，例如，一列销402B和一列孔402A。销/孔的数量也可以变化。图6C图示根据本发明的实施例的销/孔连接的示例配置。侧壁428和428*中的每一个都包括具有销422B/424B和孔422A/424A的连接机构。在被配合时，销422B/424B穿过侧壁428和428*。可以通过压配合执行连接，意味着孔422A/424A略小于销422B/424B。也可以通过锁定机构，例如，销/孔424B/424A的锁定机构，执行连接，防止销424B从孔424A中释放。也可以通过诸如胶水的粘合材料执行连接。图6D图示根据本发明的实施例的销/孔连接的另一个示例配置。侧壁438和438*中的每一个包括具有销434B和孔434A的连接机构。在被配合时，锁435可以接合销434B，以防止销434B从孔434A中释放。连接也可以通过诸如胶水的粘合材料执行，或由诸如销/孔424B/424A的其它锁定机构执行。图6E-6F图示根据本发明的实施例的销/孔连接的另一个示例配置。侧壁448和448*中的每一个包括具有销442B和孔442A/443A的连接机构。孔442A大于销442B，用于容纳销442B。孔443A小于销442B，用于两个侧壁448和448*之间的牢固连接。在第一运动445中，侧壁448和448*朝向彼此移动，销442B与较大孔442A对齐。在第二运动446中，在两个侧壁被连接以后，侧壁448相对侧壁448*向下移动以将销442B与孔443A接合。较小直径和锁定缺口用于将销443A结合到孔442B。图7A-7B图示用于堆叠两个可堆叠基板载送装置的另一个示例性连接机构。图7A图不两个相反的侧壁508的透视图，图7B图不两个基板载送装置的横截面AA的视图。通过将销502A推入插槽502B或502C并且关于一个载送装置滑动另一个载送装置，载送装置被接合。插槽是细长插槽，并且可以是不同的设计，如502B或502C，被设计用于销502A以使用滑动运动509进入锁定。相同或不同的插槽设计可以结合在侧壁508中。在实施例中，销/插槽配置配合地对称以容纳用于相同载送装置的锁定机构。锁定机构可以通过在锁定接合之前关于一个载送装置旋转另一个载送装置来实现。代替地，锁定机构可以通过在锁定接合之前关于一个载送装置线性滑动另一个载送装置来实现。可以使用它锁定机构，如用于销/孔配置的锁435，或胶水粘合剂。图8图示用于通过滑动运动609堆叠两个可堆叠基板载送装置的另一个示例性连接机构。销602A可以类似于销502A。插槽602B类似于插槽502B，但仅具有一个延伸侧。销602A可以被推入插槽602B的大孔中，并且载送装置滑行￠09)以将销602A锁入插槽602B的小孔。图9图示用于通过旋转运动709堆叠两个可堆叠基板载送装置的另一个示例性连接机构。销和插槽702A/702B可以与销/插槽602A/602B相似。任选的销/孔结合708A/708B可以作为用于旋转运动(709)的旋转中心。孔708B被拉长以容纳销708A的旋转运动。这些设计提供相同的基板载送装置，具有被设计用于接合任何两个载送装置的锁定机构。可以使用其它设计，例如，用于不相同的载送装置。锁定机构只是示例性的锁定机构。可以使用其它机构，如挂钩或闩锁。此外，配合 地对称配置是期望的以便可以使用相同的载送装置，但是也可以实现非对称设计。图IOA图示不同的可堆叠基板载送装置的示例性部件，显示侧壁1001A/1001B和底壁1003。侧壁1001A/1001B和底壁1003具有用于保持基板的凹槽，凹槽或者一体地形成在壁上，或者分开地连接到壁。图IOB图示不同的可堆叠基板载送装置的其它示例性部件，显示侧壁1001A/1001B和底壁1005。侧壁1001A/1001B具有凹槽，凹槽或者一体地形成在壁上，或者分开地连接到壁。底壁1005没有任何凹槽。图11A-11B图示用于示例性的基板载送装置的侧壁的两个不同设计，分别地显示L形侧壁1101和1103。侧壁1101的底部1102不具有任何凹槽，而侧壁1103的底部1104
具有凹槽。图12A-12B图示根据本发明的另一个实施例的另一个示例性基板载送装置，分别地没有基板和具有基板。载送装置1200包括前端和后端1203，以及开槽的杆1205。可以包含任选的中间板1207用于结构的稳定性。前端和后端1203具有用于观察基板的在中心的开口，以及用于自动传输的顶端插槽。前端和后端1203具有矩形或方形形状，被设计为平坦地定位在表面上。任选的连接机构可以设置在前端/后端1203上，用于堆放到其它基板载送装置。U形中板1207可以设置在载送装置1200的中间，例如，用于支撑杆1205。多个杆1205与多个锯齿型轮廓、凹槽或具有基板接触边缘的插槽平行对齐。杆1205包括底部和侧面支撑杆。杆配置可以被设计用于支撑方形基板，在每一侧包括两个底部杆和两个侧杆。所述杆和前/后端是耐化学腐蚀的并且可以适应承受高温热循环。杆可以由含氟聚合物构造而成，或者可以被构造成具有内芯和外部涂层。内核的材料可以由含氟聚合物、陶瓷、具有碳纤维的聚醚酮酮、不锈钢和聚醚醚酮制成。外部涂层可以由含氟聚合物制成或者可以是合适的全氟烷氧基或乙烯和氯三氟乙烯的共聚物。在一个实施例中，本发明公开用于通过连接或拆卸单个可堆叠载送装置而形成一体式载送装置或并排堆叠的组合载送装置的方法。图13A图示形成一体式载送装置的示例流程图。可选操作1300确定要存储或由载送装置支撑的基板的数量超过本载送装置的容量。例如，基板的数量可能超过单个可堆叠载送装置的容量。或基板的数量可能超过一体式载送装置(已经包括多个可堆叠载送装置)的容量。操作1302连接多个可堆叠载送装置以形成一体式载送装置。例如，两个或两个以上并排的可堆叠载送装置可以连接在一起以形成侧面堆叠式组合载送装置。代替地，附加的可堆叠载送装置可以连接到一体式载送装置，以提高其容量。通过将两个载送装置压配合在一起，或通过配合连接机构和执行运动以将载送装置锁定一起，可以实现载送装置的连接。此外，用胶水粘合剂涂敷连接机构或载送装置的表面可以用来改善连接。也可以使用诸如锁、闩锁或螺纹之类的锁定机构。图13B图示用于形成载送装置的另一个示例性流程图。可选的操作1310确定要存储或由载送装置支撑的基板的数量。操作1312连接多个可堆叠载送装置从现有的载送装置中分离多个可堆叠载送装置以形成一体式载送装置或形成可堆 叠载送装置。例如，可堆叠的载送装置从一体式载送装置中分离以形成两个可堆叠的载送装置。或者可堆叠的载送装置连接到另一个可堆叠载送装置或者一体式载送装置以形成一体式载送装置。在一般情况下，从一体式载送装置中分离载送装置降低现有载送装置的容量，将载送装置连接到现有载送装置增加其容量。可以以未背离本发明的精神或本质属性的其它具体形式实施本发明，并且因此希望在所有方面将本实施例考虑为说明性的而不是限制性的，参见附后的权利要求而不是以上说明表明本发明的保护范围。
权利要求
1.一种用于多个基板的并排可堆叠载送装置，包括 两个侧面结构，包括用于保持基板的槽痕； 固定到所述侧面结构的两个端部结构，至少一个端部结构包括连接机构，该连接机构用于与另一个并排可堆叠载送装置的端部结构配合。
2.根据权利要求I所述的载送装置，其中连接机构对称地配合/被配合以使具有相同端部结构的两个载送装置能够配合。
3.根据权利要求I所述的载送装置，其中两个载送装置在相同的端部处都具有连接机构，使得一个载送装置在与另一个载送装置配合之前旋转180度。
4.根据权利要求I所述的载送装置，其中与具有连接机构的端部结构相反的端部结构不具有任何配合结构，使得仅两个载送装置能够彼此配合。
5.根据权利要求I所述的载送装置，其中与具有连接机构的端部结构相反的端部结构也具有连接机构，使得多于两个载送装置能够彼此配合。
6.根据权利要求I所述的载送装置，其中两个载送装置在相反的两个端部处都具有连接机构，使得一个载送装置的前部与另一个载送装置的端部配合。
7.根据权利要求I所述的载送装置，其中配合结构被配置用于压配合，包括销和配合孔。
8.根据权利要求I所述的载送装置，其中配合结构被配置用于滑动锁定，包括保持机构。
9.根据权利要求I所述的载送装置，其中滑动锁定包括旋转、垂直滑动和水平滑动中的一种。
10.根据权利要求I所述的载送装置，其中配合结构包括用于防止脱离的锁定机构。
11.根据权利要求I所述的载送装置，其中侧面结构包括L形形状，该L形形状具有部分地覆盖载送装置的侧面的一侧和部分地覆盖载送装置的底部的一侧。
12.根据权利要求I所述的载送装置，其中侧面结构仅覆盖载送装置的侧面，并且载送装置还包括用于在载送装置的底部处支撑基板的底部结构。
13.根据权利要求I所述的载送装置，其中底部结构包括具有槽痕的一个或多个杆。
14.根据权利要求I所述的载送装置，其中侧面结构包括具有槽痕的一个或多个杆。
15.一种侧面堆叠式组合载送装置，包括配合在一起的两个或两个以上的并排可堆叠载送装置，每个并排可堆叠载送装置包括 两个侧面结构，包括用于保持基板的槽痕； 固定到侧面结构的两个端部结构，一个端部结构包括用于与另一个端部结构配合的连接机构。
16.根据权利要求15所述的载送装置，其中并排可堆叠载送装置具有相同的端部结构。
17.根据权利要求15所述的载送装置，其中并排可堆叠载送装置的侧面结构支撑不同数量的基板。
18.一种用于在载送装置中载送多个基板的方法，包括下述步骤 使两个或两个以上的并排可堆叠载送装置配合以形成侧面堆叠式组合载送装置，其中每个并排可堆叠载送装置包括两个侧面结构，包括用于保持基板的槽痕； 固定到侧面结构的两个端部结构，一个端部结构包括用于与另一个端部结构配合的连接机构。
19.根据权利要求18所述的方法，还包括下述步骤 将并排可堆叠载送装置锁定一起。
20.根据权利要求18所述的方法，还包括下述步骤 调整侧面堆叠式组合载送装置中的并排可堆叠载送装置的数量以适应基板的数量。
全文摘要
在一个实施例中，本发明公开了一种用于可伸缩储存、传输或处理多个基板的可堆叠基板载送装置。本基板载送装置可以通过连接机构并排地堆叠，形成具有双倍、三倍或多倍容量的一体式载送装置。连接机构包括锁定机构，该锁定用于将基板载送装置固定在一起，通过使两个基板载送装置配合以及两个基板载送装置的附加的旋转或平移动作而接合。代替地，锁定机构可以通过按压两个基板载送装置靠着彼此，使用摩擦以保持载送装置在一起而接合。也可以使用其它的锁定机构，诸如钩或闩锁。
文档编号H01L21/673GK102792434SQ201180010288
公开日2012年11月21日 申请日期2011年2月17日 优先权日2010年2月18日
发明者卢茨·莱伯斯托克 申请人:动力微系统公司
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