一种惰性气体萃取和分离的制样系统的制作方法
专利名称：一种惰性气体萃取和分离的制样系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种天然气中惰性气体萃取和分离的制样系统。
背景技术：
目前，在天然气惰性气体同位素分析前处理方面存在的问题有同位素分析前处 理装置的不足严重限制了惰性气体同位素质谱主机功能的发挥；大气中Ar气对天然气样 品中Ar气严重污染；活性气体对惰性气体同位素质谱主机污染；前处理设备的动态极限真 空度不够高、漏气速率比较大和空白本底比较高以及检测项目较少等问题。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种能够弥补天然气同位素分析前处理装置不足，克服 大气中Ar气对天然气样品中Ar气严重污染、活性气体对主机污染、前处理设备参数较低以 及检测项目较少等问题而建立一套具有高真空、低漏率、低空白本底的天然气中惰性气体 萃取和分离的制样系统。本实用新型所述的天然气中惰性气体萃取和分离的制样系统包括抗腐蚀的金属 管线、阀门、连接组件、烘箱和系统支架；烘箱由前、后、左、右和顶部面板组合而成，放置于系统支架的顶部面板上；系统支架为一箱体，左机械泵和右机械泵分别置于系统支架箱内，左机械泵通过 左电磁隔断放气阀、左低真空规管、左不锈钢波纹管和不锈钢直管连接，不锈钢直管穿过系 统支架箱顶板分别通过阀门V3和阀门V4与第一三通和第二三通的下端连接，第一三通和第 二三通通过阀门V6连通，第一三通通过阀门V5与进气口连接，第二三通通过第一主管线、阀 门V7与位于烘箱内的第一活性碳炉连接；右机械泵通过右电磁隔断放气阀、快卸四通分别连接分子泵、右低真空规管、右不 锈钢波纹管；右不锈钢波纹管通过阀门V24与位于系统支架箱内的低温制冷器连接；分子泵的分子泵接管穿过系统支架箱顶板与位于烘箱内的阀门V12连接；低温制冷器穿过系统支架箱顶板通过位于烘箱内的阀门V23与第四主管线连接， 惰性气体同位素质谱主机通过阀门V2tl与第四主管线连接，四极质谱通过阀门V22与第四主 管线连接；第一主管线连接有阀门V7、薄膜规，通过阀门V8与第二主管线连接；第二主管线连 接有阀门V9、高真空规管、阀门Vn、阀门Vltl、阀门V12、阀门V13，通过阀门V14与第三主管线连 接，第三主管线连接有阀门V15、离子真空规、阀门V16、阀门V17、压杆阀组件，通过阀门V21以 及压杆阀组件的右端阀门V18分别与第四主管线相连；第四主管线连接有阀门V2tl、阀门V22 与阀门V23;第一活性碳炉与阀门V7连接，第二活性碳炉与阀门V11连接，锆基炉与阀门Vltl连 接，海绵钛炉与阀门V13连接，第三活性碳炉与阀门V16连接，离子泵与阀门V15连接、吸气剂 泵与阀门V17连接，分子泵与阀门V12连接。[0012]由于采用了上述的技术方案，通过对关键性参数检测得到(1)全系统的动态压 强LOXlO-7Pa; (2)关闭离子泵、分子泵，开启吸气剂泵，用四极杆质谱在4°Ar峰顶处 测量10分钟，漏气速率L ( 5. OX 10_12Cm3· STP. 40Ar/min ； (3)全系统在实验条件下(Zr-Al 炉650°C，Ti炉800°C，&-A1吸气泵开)操作，四极杆质谱在4°Ar峰顶处测量4°Ar的空白 本底B彡5. OX IO-11Cm3. STP. 4°Ar/min。主要参数均达到设计要求，表明该系统功能达到进 行高精度同位素分析的要求，保证了惰性气体同位素质谱主机测定实验数据的准确性和可 信性。与低真空系统相比，本系统的真空度提高了 5个量级，超高真空阀门的漏气率比原有 低真空阀门的漏气率低6个量级，将空气Ar对天然气样品Ar的污染由原来的百分之几降 低到万分之几，提高了天然气中Ar同位素检测的准确度，大大提高了惰性气体同位素分析 的准确性和精度，增加了惰性气体同位素质谱主机的检测项目和使用功能。
图1惰性气体萃取和分离的制样系统结构示意图。图2惰性气体萃取和分离的制样系统俯视图。图3惰性气体萃取和分离的制样系统原理图。图4惰性气体萃取和分离的制样系统低温制冷器连接示意图。其中1烘箱，2高真空规管，3薄膜规，4第一主管线，5进气口，6不锈钢直管，7左不锈 钢波纹管，7'右不锈钢波纹管，8外六方螺钉，9分子泵接管，10螺杆，11分子泵，12左低真 空规管，12'右低真空规管，13左电磁隔断放气阀，13'右电磁隔断放气阀，14左机械泵， 14'右机械泵，15快卸四通，16系统支架，17离子真空规，18低温制冷器，19离子泵脚，20 离子泵，21吸气剂泵，22第一三通，22 ‘第二三通，23管道卡环，24法兰卡环，25第二主管 线，28第三主管线，29压杆阀组件，30第四主管线，31大直径支撑，32质谱接管，33四极质 谱，34第一活性碳炉，34'第二活性碳炉，35海绵钛炉，36锆基炉，37惰性气体同位素质谱 主机，38加热电阻，39活性炭盒，40 二级冷头，41 一级冷头。
具体实施方式
本实用新型所述的天然气中惰性气体萃取和分离的制样系统主要包括抗腐蚀的 金属管线、阀门、连接组件、烘箱1和系统支架16 ；烘箱1由前、后、左、右和顶部面板组合而成，放置于系统支架16的顶部面板上；系统支架16为一箱体，左机械泵14和右机械泵14'分别置于系统支架箱内，左机 械泵14通过左电磁隔断放气阀13、左低真空规管12、左不锈钢波纹管7和不锈钢直管6连 接，不锈钢直管6穿过系统支架箱顶板分别通过阀门V3和阀门V4与第一三通22和第二三 通22'的下端连接，第一三通22和第二三通22'通过阀门V6连通，第一三通22通过阀门 V5与进气口 5连接，第二三通22'通过第一主管线4、阀门V7与位于烘箱内的第一活性碳 炉34连接；右机械泵14'通过右电磁隔断放气阀13'、快卸四通15分别连接分子泵11、右低 真空规管12'、右不锈钢波纹管7'；右不锈钢波纹管7'通过阀门V24与位于系统支架箱 内的低温制冷器18连接；分子泵11的分子泵接管9穿过系统支架箱顶板与位于烘箱内的阀门V12连接；c低温制冷器18穿过系统支架箱顶板通过位于烘箱内的阀门V23与第四主管线30 连接，惰性气体同位素质谱主机37通过阀门V2tl与第四主管线30连接，四极质谱33通过阀 门V22与第四主管线30连接；第一主管线4连接有阀门V7、薄膜规3，通过阀门V8与第二主管线25连接；第二主 管线25连接有阀门V9、高真空规管2、阀门Vn、阀门Vltl、阀门V12、阀门V13，通过阀门V14与第 三主管线28连接；第三主管线28连接有阀门V15、离子真空规17、阀门V16、阀门V17、压杆阀 组件29，通过阀门V21、压杆阀组件29的右端阀门V19分别与第四主管线30相连，第四主管 线30连接有阀门V20、阀门V22与阀门V23 ；第一活性碳炉34与阀门V7连接，第二活性碳炉34'与阀门V11连接，锆基炉36与 阀门Vltl连接，海绵钛炉35与阀门V13连接，第三活性碳炉34"与阀门V16连接，离子泵20 与阀门V15连接、吸气剂泵21与阀门V17连接，分子泵11与阀门V12连接。所述的烘箱1的长度为1000-1500mm，宽度为600-800mm，高度为550_750mm，为双 层不锈钢板，双层不锈钢板的缝隙内充硅酸铝保温纤维，其加热器安装于烘箱1的前、后板 上，由温控仪设定温度。所述的系统支架16的长度为1500-2300mm，宽度为800_1000mm，高度为 900-1000mm,底部由四个滑轮支撑，其前面为控制面板，顶部为双层不锈钢板，双层不锈钢 板的缝隙内充硅酸铝保温纤维。所述的抗腐蚀的金属管线部分为不锈钢直管线，主要由第一主管线4、第二主管线 25、第三主管线28和第四主管线30组成。所述的第一活性碳炉34、第二活性碳炉34'、第三活性碳炉34"的炉体为不锈 钢，内置活性碳，去气温度为380-420°C，工作在室温或液氮温度下，采用K型热电偶测温控
ilm ο所述的海绵钛炉35炉体为不锈钢，内置钛金属颗粒，采用铠装加热丝加热，去气 温度为950-1050°C，工作温度为800°C，测温控温采用S型钼铑钼热电偶。所述的锆基炉36是一种低温激活吸气炉，炉体为不锈钢材料，采用锆基作为吸气 材料，高频感应或电阻加热，激活温度为550-850°C，保温时间为30分钟，激活真空度小于 10_2Pa，在常温下吸气。所述的低温制冷器18为圆柱状，柱体内部管线下端连接活性碳盒39，活性碳盒39 与二级冷头40上端接触，二级冷头40下端与一级冷头41上端接触，在活性碳盒39上安装 加热电阻38，二级冷头40的最低温度为10K，一级冷头41的最低温度为35K。所述的吸气剂泵21合金成分为&-A1。所述的阀门V12、阀门V15、阀门V22为大直径超高真空角阀。所述的阀门V7至Vn、阀门V13、阀门V14、阀门V16、阀门V17、阀门V2(1、阀门V21、阀门V23 为小直径超高真空角阀。所述的左机械泵14、右机械泵14'，抽速3L/S，极限真空约为ICT1Pa,主要用作分 子泵的前级和进气主管线的预抽。所述的分子泵11，其抽速350L/S，极限压强< 1 X 10_1(lmbar，作为系统管线排气的 主抽泵和离子泵的前级，主要功能用于系统主管线的排气、实现系统高真空的要求。所述的离子泵20，抽速34L/S，最大启动压强为彡5 X 10"2mbar,最高烘烤为350°C，主要功能以分子泵为前级，实现系统超高真空；所述的高真空规2的量程为1000mbar-5X ΙΟ,π Μ，主要功能是用于样品气纯化
部分真空度的测量和显示。所述的薄膜规3量程为IOTorr-I X lO^mbar,主要功能是用于样品气进样控制部 分真空度的测量和显示。所述的左低真空规管12、右低真空规管12'主要用于管线及低温泵外腔低真空 的测量和显示，量程为1000mbar-5 X KT4Hibar。所述的离子真空规17主要功能是测量和显示离子泵20主抽获得的系统超高真空度。所述的吸气剂泵21主要功能是去除烃类气体、N2、02、CO2活性气体；所述的管道卡环23主要用于主管线之间的连接和固定。所述的法兰卡环24主要用于主管线与各阀门、部件之间连接和固定。所述的压杆阀组件29主要用于限定进入惰性气体同位素质谱主机37的样品量， 达到满足主机分析的要求。所述的四极质谱33的型号为QMG422，由离子源、质量分析器和离子检测器组成， 其主要功能是用于惰性气体组分含量的检测。当样品气分子在高真空条件下经过离子源的 离子化，电离后碎裂成较小质量的多种碎片离子和中性粒子，在加速电场作用下获取具有 相同能量的平均动能而进入质量分析器；不同质量的离子通过质量分析器将按照质荷比大 小进行分离，分离后的离子依次进入离子检测器，采集放大离子信号，经计算机处理，绘制 成质谱图，最后计算得到检测样品物质的含量。所述的四极质谱33的质量分析器的质量数 范围1-200，90°偏转后经二次电子倍增器和法拉第筒分别接收。法拉第筒的检测极限为 AXKr111Iibar,电子倍增器检测极限为lX10_14mbar。四极质谱33分析器最高工作温度为 150°C，最高烘烤温度为40(TC，四极杆直径6mm，长度为100mm，离子源为交叉离子源，双钨 灯丝。
权利要求一种惰性气体萃取和分离的制样系统，由抗腐蚀的金属管线、阀门、连接组件、烘箱(1)和系统支架(16)组成；其特征在于烘箱(1)由前、后、左、右和顶部面板组合而成，放置于系统支架(16)的顶部面板上；系统支架(16)为一箱体，左机械泵(14)和右机械泵(14′)分别置于系统支架箱内，左机械泵(14)通过左电磁隔断放气阀(13)、左低真空规管(12)、左不锈钢波纹管(7)和不锈钢直管(6)连接，不锈钢直管(6)穿过系统支架箱顶板分别通过阀门V3和阀门V4与第一三通(22)和第二三通(22′)的下端连接，第一三通(22)和第二三通(22′)通过阀门V6连通，第一三通(22)通过阀门V5与进气口(5)连接，第二三通(22′)通过第一主管线(4)、阀门V7与位于烘箱内的第一活性碳炉(34)连接；右机械泵(14′)通过右电磁隔断放气阀(13′)、快卸四通(15)分别连接分子泵(11)、右低真空规管(12′)、右不锈钢波纹管(7′)；右不锈钢波纹管(7′)通过阀门V24与位于系统支架箱内的低温制冷器(18)连接；分子泵(11)的分子泵接管(9)穿过系统支架箱顶板与位于烘箱内的阀门V12连接；低温制冷器(18)穿过系统支架箱顶板通过位于烘箱内的阀门V23与第四主管线(30)连接；惰性气体同位素质谱主机(37)通过阀门V20与第四主管线(30)连接；四极质谱(33)通过阀门V22与第四主管线(30)连接；第一主管线(4)连接有阀门V7、薄膜规(3)，通过阀门V8与第二主管线(25)连接；第二主管线(25)连接有阀门V9、高真空规管(2)、阀门V11、阀门V10、阀门V12、阀门V13，通过阀门V14与第三主管线(28)连接，第三主管线(28)连接有阀门V15、离子真空规(17)、阀门V16、阀门V17、压杆阀组件(29)，通过阀门V21、压杆阀组件(29)的右端阀门V19分别与第四主管线(30)相连；第四主管线(30)连接有阀门V20、阀门V22与阀门V23；第一活性碳炉(34)与阀门V7连接，第二活性碳炉(34′)与阀门V11连接，锆基炉(36)与阀门V10连接，海绵钛炉(35)与阀门V13连接，第三活性碳炉(34″)与阀门V16连接，离子泵(20)与阀门V15连接、吸气剂泵(21)与阀门V17连接，分子泵(11)与阀门V12连接。
2.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的烘箱 (1)的长度为 1000-1500mm，宽度为 600_800mm，高度为 550_750mm。
3.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的系统 支架(16)的长度为 1500-2300mm，宽度为 800-1000mm，高度为 900_1000mm。
4.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的第一 活性碳炉(34)、第二活性碳炉(34')、第三活性碳炉(34〃)的炉体为不锈钢，内置活性 碳，采用K型热电偶测温控温。
5.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的海绵 钛炉(35)炉体为不锈钢，内置钛金属颗粒，采用铠装加热丝加热，测温控温采用S型钼铑钼 热电偶。
6.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的锆基 炉(36)是一种低温激活吸气炉，炉体为不锈钢材料，采用锆基作为吸气材料，高频感应或 电阻加热。
7.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的低温 制冷器(18)为圆柱状，柱体内部管线下端连接活性碳盒(39)，活性碳盒(39)与二级冷头(40)上端接触，二级冷头(40)下端与一级冷头(41)上端接触，在活性碳盒(39)上安装加 热电阻(38)。
8.根据权利要求7所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的二级 冷头(40)的最低温度为10K，一级冷头(41)的最低温度为35K。
9.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的阀门 V12、阀门V15、阀门V22为大直径超高真空角阀；所述的阀门^至乂…阀门V13、阀门V14、阀V16 门、阀门V17、阀门V2tl、阀门V21、阀门V23为小直径超高真空角阀。
专利摘要本实用新型涉及一种惰性气体萃取和分离的制样系统；左机械泵通过左低真空规管、左不锈钢波纹管、不锈钢直管与第一主管线连接；右机械泵通过快卸四通连接分子泵、低温制冷器；系统进样口连接第一主管线，第一主管线连接有薄膜规、第一活性碳炉，与第二主管线连接；第二主管线连接有高真空规管、第二活性碳炉、分子泵、锆基炉、海绵钛炉，与第三主管线连接；第三主管线连接有离子真空规、离子泵、吸气剂泵、压杆阀组件、第三活性碳炉，与第四主管线连接；低温制冷器、惰性气体同位素质谱主机和四极质谱与第四主管线连接；系统真空度提高了5个量级，将空气Ar对天然气样品Ar的污染由百分之几降到万分之几，提高了天然气中Ar同位素检测的准确度。
文档编号G01N27/62GK201740685SQ20102026993
公开日2011年2月9日 申请日期2010年7月22日 优先权日2010年7月22日
发明者刘保湘, 孙明良, 张英, 李剑, 李志生, 杨凤杰, 王东良, 王晓波 申请人:中国石油天然气股份有限公司;北京纳诺帕真空技术有限责任公司
技术领域：
本实用新型涉及一种天然气中惰性气体萃取和分离的制样系统。
背景技术：
目前，在天然气惰性气体同位素分析前处理方面存在的问题有同位素分析前处 理装置的不足严重限制了惰性气体同位素质谱主机功能的发挥；大气中Ar气对天然气样 品中Ar气严重污染；活性气体对惰性气体同位素质谱主机污染；前处理设备的动态极限真 空度不够高、漏气速率比较大和空白本底比较高以及检测项目较少等问题。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种能够弥补天然气同位素分析前处理装置不足，克服 大气中Ar气对天然气样品中Ar气严重污染、活性气体对主机污染、前处理设备参数较低以 及检测项目较少等问题而建立一套具有高真空、低漏率、低空白本底的天然气中惰性气体 萃取和分离的制样系统。本实用新型所述的天然气中惰性气体萃取和分离的制样系统包括抗腐蚀的金属 管线、阀门、连接组件、烘箱和系统支架；烘箱由前、后、左、右和顶部面板组合而成，放置于系统支架的顶部面板上；系统支架为一箱体，左机械泵和右机械泵分别置于系统支架箱内，左机械泵通过 左电磁隔断放气阀、左低真空规管、左不锈钢波纹管和不锈钢直管连接，不锈钢直管穿过系 统支架箱顶板分别通过阀门V3和阀门V4与第一三通和第二三通的下端连接，第一三通和第 二三通通过阀门V6连通，第一三通通过阀门V5与进气口连接，第二三通通过第一主管线、阀 门V7与位于烘箱内的第一活性碳炉连接；右机械泵通过右电磁隔断放气阀、快卸四通分别连接分子泵、右低真空规管、右不 锈钢波纹管；右不锈钢波纹管通过阀门V24与位于系统支架箱内的低温制冷器连接；分子泵的分子泵接管穿过系统支架箱顶板与位于烘箱内的阀门V12连接；低温制冷器穿过系统支架箱顶板通过位于烘箱内的阀门V23与第四主管线连接， 惰性气体同位素质谱主机通过阀门V2tl与第四主管线连接，四极质谱通过阀门V22与第四主 管线连接；第一主管线连接有阀门V7、薄膜规，通过阀门V8与第二主管线连接；第二主管线连 接有阀门V9、高真空规管、阀门Vn、阀门Vltl、阀门V12、阀门V13，通过阀门V14与第三主管线连 接，第三主管线连接有阀门V15、离子真空规、阀门V16、阀门V17、压杆阀组件，通过阀门V21以 及压杆阀组件的右端阀门V18分别与第四主管线相连；第四主管线连接有阀门V2tl、阀门V22 与阀门V23;第一活性碳炉与阀门V7连接，第二活性碳炉与阀门V11连接，锆基炉与阀门Vltl连 接，海绵钛炉与阀门V13连接，第三活性碳炉与阀门V16连接，离子泵与阀门V15连接、吸气剂 泵与阀门V17连接，分子泵与阀门V12连接。[0012]由于采用了上述的技术方案，通过对关键性参数检测得到(1)全系统的动态压 强LOXlO-7Pa; (2)关闭离子泵、分子泵，开启吸气剂泵，用四极杆质谱在4°Ar峰顶处 测量10分钟，漏气速率L ( 5. OX 10_12Cm3· STP. 40Ar/min ； (3)全系统在实验条件下(Zr-Al 炉650°C，Ti炉800°C，&-A1吸气泵开)操作，四极杆质谱在4°Ar峰顶处测量4°Ar的空白 本底B彡5. OX IO-11Cm3. STP. 4°Ar/min。主要参数均达到设计要求，表明该系统功能达到进 行高精度同位素分析的要求，保证了惰性气体同位素质谱主机测定实验数据的准确性和可 信性。与低真空系统相比，本系统的真空度提高了 5个量级，超高真空阀门的漏气率比原有 低真空阀门的漏气率低6个量级，将空气Ar对天然气样品Ar的污染由原来的百分之几降 低到万分之几，提高了天然气中Ar同位素检测的准确度，大大提高了惰性气体同位素分析 的准确性和精度，增加了惰性气体同位素质谱主机的检测项目和使用功能。
图1惰性气体萃取和分离的制样系统结构示意图。图2惰性气体萃取和分离的制样系统俯视图。图3惰性气体萃取和分离的制样系统原理图。图4惰性气体萃取和分离的制样系统低温制冷器连接示意图。其中1烘箱，2高真空规管，3薄膜规，4第一主管线，5进气口，6不锈钢直管，7左不锈 钢波纹管，7'右不锈钢波纹管，8外六方螺钉，9分子泵接管，10螺杆，11分子泵，12左低真 空规管，12'右低真空规管，13左电磁隔断放气阀，13'右电磁隔断放气阀，14左机械泵， 14'右机械泵，15快卸四通，16系统支架，17离子真空规，18低温制冷器，19离子泵脚，20 离子泵，21吸气剂泵，22第一三通，22 ‘第二三通，23管道卡环，24法兰卡环，25第二主管 线，28第三主管线，29压杆阀组件，30第四主管线，31大直径支撑，32质谱接管，33四极质 谱，34第一活性碳炉，34'第二活性碳炉，35海绵钛炉，36锆基炉，37惰性气体同位素质谱 主机，38加热电阻，39活性炭盒，40 二级冷头，41 一级冷头。
具体实施方式
本实用新型所述的天然气中惰性气体萃取和分离的制样系统主要包括抗腐蚀的 金属管线、阀门、连接组件、烘箱1和系统支架16 ；烘箱1由前、后、左、右和顶部面板组合而成，放置于系统支架16的顶部面板上；系统支架16为一箱体，左机械泵14和右机械泵14'分别置于系统支架箱内，左机 械泵14通过左电磁隔断放气阀13、左低真空规管12、左不锈钢波纹管7和不锈钢直管6连 接，不锈钢直管6穿过系统支架箱顶板分别通过阀门V3和阀门V4与第一三通22和第二三 通22'的下端连接，第一三通22和第二三通22'通过阀门V6连通，第一三通22通过阀门 V5与进气口 5连接，第二三通22'通过第一主管线4、阀门V7与位于烘箱内的第一活性碳 炉34连接；右机械泵14'通过右电磁隔断放气阀13'、快卸四通15分别连接分子泵11、右低 真空规管12'、右不锈钢波纹管7'；右不锈钢波纹管7'通过阀门V24与位于系统支架箱 内的低温制冷器18连接；分子泵11的分子泵接管9穿过系统支架箱顶板与位于烘箱内的阀门V12连接；c低温制冷器18穿过系统支架箱顶板通过位于烘箱内的阀门V23与第四主管线30 连接，惰性气体同位素质谱主机37通过阀门V2tl与第四主管线30连接，四极质谱33通过阀 门V22与第四主管线30连接；第一主管线4连接有阀门V7、薄膜规3，通过阀门V8与第二主管线25连接；第二主 管线25连接有阀门V9、高真空规管2、阀门Vn、阀门Vltl、阀门V12、阀门V13，通过阀门V14与第 三主管线28连接；第三主管线28连接有阀门V15、离子真空规17、阀门V16、阀门V17、压杆阀 组件29，通过阀门V21、压杆阀组件29的右端阀门V19分别与第四主管线30相连，第四主管 线30连接有阀门V20、阀门V22与阀门V23 ；第一活性碳炉34与阀门V7连接，第二活性碳炉34'与阀门V11连接，锆基炉36与 阀门Vltl连接，海绵钛炉35与阀门V13连接，第三活性碳炉34"与阀门V16连接，离子泵20 与阀门V15连接、吸气剂泵21与阀门V17连接，分子泵11与阀门V12连接。所述的烘箱1的长度为1000-1500mm，宽度为600-800mm，高度为550_750mm，为双 层不锈钢板，双层不锈钢板的缝隙内充硅酸铝保温纤维，其加热器安装于烘箱1的前、后板 上，由温控仪设定温度。所述的系统支架16的长度为1500-2300mm，宽度为800_1000mm，高度为 900-1000mm,底部由四个滑轮支撑，其前面为控制面板，顶部为双层不锈钢板，双层不锈钢 板的缝隙内充硅酸铝保温纤维。所述的抗腐蚀的金属管线部分为不锈钢直管线，主要由第一主管线4、第二主管线 25、第三主管线28和第四主管线30组成。所述的第一活性碳炉34、第二活性碳炉34'、第三活性碳炉34"的炉体为不锈 钢，内置活性碳，去气温度为380-420°C，工作在室温或液氮温度下，采用K型热电偶测温控
ilm ο所述的海绵钛炉35炉体为不锈钢，内置钛金属颗粒，采用铠装加热丝加热，去气 温度为950-1050°C，工作温度为800°C，测温控温采用S型钼铑钼热电偶。所述的锆基炉36是一种低温激活吸气炉，炉体为不锈钢材料，采用锆基作为吸气 材料，高频感应或电阻加热，激活温度为550-850°C，保温时间为30分钟，激活真空度小于 10_2Pa，在常温下吸气。所述的低温制冷器18为圆柱状，柱体内部管线下端连接活性碳盒39，活性碳盒39 与二级冷头40上端接触，二级冷头40下端与一级冷头41上端接触，在活性碳盒39上安装 加热电阻38，二级冷头40的最低温度为10K，一级冷头41的最低温度为35K。所述的吸气剂泵21合金成分为&-A1。所述的阀门V12、阀门V15、阀门V22为大直径超高真空角阀。所述的阀门V7至Vn、阀门V13、阀门V14、阀门V16、阀门V17、阀门V2(1、阀门V21、阀门V23 为小直径超高真空角阀。所述的左机械泵14、右机械泵14'，抽速3L/S，极限真空约为ICT1Pa,主要用作分 子泵的前级和进气主管线的预抽。所述的分子泵11，其抽速350L/S，极限压强< 1 X 10_1(lmbar，作为系统管线排气的 主抽泵和离子泵的前级，主要功能用于系统主管线的排气、实现系统高真空的要求。所述的离子泵20，抽速34L/S，最大启动压强为彡5 X 10"2mbar,最高烘烤为350°C，主要功能以分子泵为前级，实现系统超高真空；所述的高真空规2的量程为1000mbar-5X ΙΟ,π Μ，主要功能是用于样品气纯化
部分真空度的测量和显示。所述的薄膜规3量程为IOTorr-I X lO^mbar,主要功能是用于样品气进样控制部 分真空度的测量和显示。所述的左低真空规管12、右低真空规管12'主要用于管线及低温泵外腔低真空 的测量和显示，量程为1000mbar-5 X KT4Hibar。所述的离子真空规17主要功能是测量和显示离子泵20主抽获得的系统超高真空度。所述的吸气剂泵21主要功能是去除烃类气体、N2、02、CO2活性气体；所述的管道卡环23主要用于主管线之间的连接和固定。所述的法兰卡环24主要用于主管线与各阀门、部件之间连接和固定。所述的压杆阀组件29主要用于限定进入惰性气体同位素质谱主机37的样品量， 达到满足主机分析的要求。所述的四极质谱33的型号为QMG422，由离子源、质量分析器和离子检测器组成， 其主要功能是用于惰性气体组分含量的检测。当样品气分子在高真空条件下经过离子源的 离子化，电离后碎裂成较小质量的多种碎片离子和中性粒子，在加速电场作用下获取具有 相同能量的平均动能而进入质量分析器；不同质量的离子通过质量分析器将按照质荷比大 小进行分离，分离后的离子依次进入离子检测器，采集放大离子信号，经计算机处理，绘制 成质谱图，最后计算得到检测样品物质的含量。所述的四极质谱33的质量分析器的质量数 范围1-200，90°偏转后经二次电子倍增器和法拉第筒分别接收。法拉第筒的检测极限为 AXKr111Iibar,电子倍增器检测极限为lX10_14mbar。四极质谱33分析器最高工作温度为 150°C，最高烘烤温度为40(TC，四极杆直径6mm，长度为100mm，离子源为交叉离子源，双钨 灯丝。
权利要求一种惰性气体萃取和分离的制样系统，由抗腐蚀的金属管线、阀门、连接组件、烘箱(1)和系统支架(16)组成；其特征在于烘箱(1)由前、后、左、右和顶部面板组合而成，放置于系统支架(16)的顶部面板上；系统支架(16)为一箱体，左机械泵(14)和右机械泵(14′)分别置于系统支架箱内，左机械泵(14)通过左电磁隔断放气阀(13)、左低真空规管(12)、左不锈钢波纹管(7)和不锈钢直管(6)连接，不锈钢直管(6)穿过系统支架箱顶板分别通过阀门V3和阀门V4与第一三通(22)和第二三通(22′)的下端连接，第一三通(22)和第二三通(22′)通过阀门V6连通，第一三通(22)通过阀门V5与进气口(5)连接，第二三通(22′)通过第一主管线(4)、阀门V7与位于烘箱内的第一活性碳炉(34)连接；右机械泵(14′)通过右电磁隔断放气阀(13′)、快卸四通(15)分别连接分子泵(11)、右低真空规管(12′)、右不锈钢波纹管(7′)；右不锈钢波纹管(7′)通过阀门V24与位于系统支架箱内的低温制冷器(18)连接；分子泵(11)的分子泵接管(9)穿过系统支架箱顶板与位于烘箱内的阀门V12连接；低温制冷器(18)穿过系统支架箱顶板通过位于烘箱内的阀门V23与第四主管线(30)连接；惰性气体同位素质谱主机(37)通过阀门V20与第四主管线(30)连接；四极质谱(33)通过阀门V22与第四主管线(30)连接；第一主管线(4)连接有阀门V7、薄膜规(3)，通过阀门V8与第二主管线(25)连接；第二主管线(25)连接有阀门V9、高真空规管(2)、阀门V11、阀门V10、阀门V12、阀门V13，通过阀门V14与第三主管线(28)连接，第三主管线(28)连接有阀门V15、离子真空规(17)、阀门V16、阀门V17、压杆阀组件(29)，通过阀门V21、压杆阀组件(29)的右端阀门V19分别与第四主管线(30)相连；第四主管线(30)连接有阀门V20、阀门V22与阀门V23；第一活性碳炉(34)与阀门V7连接，第二活性碳炉(34′)与阀门V11连接，锆基炉(36)与阀门V10连接，海绵钛炉(35)与阀门V13连接，第三活性碳炉(34″)与阀门V16连接，离子泵(20)与阀门V15连接、吸气剂泵(21)与阀门V17连接，分子泵(11)与阀门V12连接。
2.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的烘箱 (1)的长度为 1000-1500mm，宽度为 600_800mm，高度为 550_750mm。
3.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的系统 支架(16)的长度为 1500-2300mm，宽度为 800-1000mm，高度为 900_1000mm。
4.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的第一 活性碳炉(34)、第二活性碳炉(34')、第三活性碳炉(34〃)的炉体为不锈钢，内置活性 碳，采用K型热电偶测温控温。
5.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的海绵 钛炉(35)炉体为不锈钢，内置钛金属颗粒，采用铠装加热丝加热，测温控温采用S型钼铑钼 热电偶。
6.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的锆基 炉(36)是一种低温激活吸气炉，炉体为不锈钢材料，采用锆基作为吸气材料，高频感应或 电阻加热。
7.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的低温 制冷器(18)为圆柱状，柱体内部管线下端连接活性碳盒(39)，活性碳盒(39)与二级冷头(40)上端接触，二级冷头(40)下端与一级冷头(41)上端接触，在活性碳盒(39)上安装加 热电阻(38)。
8.根据权利要求7所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的二级 冷头(40)的最低温度为10K，一级冷头(41)的最低温度为35K。
9.根据权利要求1所述的惰性气体萃取和分离的制样系统，其特征在于所述的阀门 V12、阀门V15、阀门V22为大直径超高真空角阀；所述的阀门^至乂…阀门V13、阀门V14、阀V16 门、阀门V17、阀门V2tl、阀门V21、阀门V23为小直径超高真空角阀。
专利摘要本实用新型涉及一种惰性气体萃取和分离的制样系统；左机械泵通过左低真空规管、左不锈钢波纹管、不锈钢直管与第一主管线连接；右机械泵通过快卸四通连接分子泵、低温制冷器；系统进样口连接第一主管线，第一主管线连接有薄膜规、第一活性碳炉，与第二主管线连接；第二主管线连接有高真空规管、第二活性碳炉、分子泵、锆基炉、海绵钛炉，与第三主管线连接；第三主管线连接有离子真空规、离子泵、吸气剂泵、压杆阀组件、第三活性碳炉，与第四主管线连接；低温制冷器、惰性气体同位素质谱主机和四极质谱与第四主管线连接；系统真空度提高了5个量级，将空气Ar对天然气样品Ar的污染由百分之几降到万分之几，提高了天然气中Ar同位素检测的准确度。
文档编号G01N27/62GK201740685SQ20102026993
公开日2011年2月9日 申请日期2010年7月22日 优先权日2010年7月22日
发明者刘保湘, 孙明良, 张英, 李剑, 李志生, 杨凤杰, 王东良, 王晓波 申请人:中国石油天然气股份有限公司;北京纳诺帕真空技术有限责任公司
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