一拖二开关切换式转接线缆的制作方法

专利名称：一拖二开关切换式转接线缆的制作方法
技术领域：
本发明属于半导体技术领域，尤其是一种半导体设备连接装置。
背景技术：
目前的半导体可靠性实验中，用到一台半导体测试分析仪(例如AgilentB1500A)，同时又有两个设备需要和它连接以进行测试，一台是探针台(例如Cascade Elite 300),另一台是测试夹具(例如 Agilent 16442B test fixture)。但是，目前Agilent B1500A由于端口受限,一次只能连接一台设备,所以需要反复插拔SMU (SourceMeasurement Unit)线缆以在 Cascade Elite 300 与 Agilent 16442Btest fixture 之间进行切换。这样做的弊端是会导致SMU连接线的连接头以及设备上的SMU端口的磨损，磨损会使得漏电流升高，进而影响测试的精度。而半导体技术领域中对于测试的精度是要求很高的，例如很多低漏电项目需要的测试精度在1E-13安培左右，容易受到上述磨损的影响

发明内容
本发明的目的是对上述连接方式进行改进，避免SMU反复插拔带来的磨损及其导致的测试精度受影响。本发明所采用的技术方案是一种一拖二开关切换式转接线缆，包括主控接头、第一分接头以及第二分接头；双控开关，所述双控开关包括主控端、第一连接端以及第二连接端，所述主控端通过主控线缆与主控接头连接，所述第一连接端通过第一分线缆与第一分接头连接，所述第二连接端通过第二分线缆与第二分接头连接；通过操作双控开关使得所述线缆具有两个工作状态第一，主控接头与第一分接头导通、与第二分接头断开；第二，主控接头与第一分接头断开、与第二分接头导通。此发明的一拖二开关切换式转接线缆，可以把一路SMU分成两路，而且可以通过切换开关随时在两路分支之间进行切换，从而实现不同设备之间的切换，避免了频繁插拔SMU连接线所带来的接头磨损和漏电加大的影响，不但减少了频繁的插拔动作，也保证了测试设备的高精度。并且，采用双控开关，可以确保当某一分支使用时，屏蔽另一分支所带来的噪音。


通过附图中所示的本发明的优选实施例的更具体说明，本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。图I是本发明提出的一拖二开关切换式转接线缆示意图；图2a 2c是各种切换开关工作原理示意图。
具体实施方式
参见图I所示的一拖二开关切换式转接线缆4，用于连接半导体测试分析仪I (例如Agilent B1500A)、探针台2 (例如Cascade Elite 300)以及是测试夹具3 (例如Agilent16442B test fixture)进行可靠性实验。所述线缆4首先包括分别与上述三个设备连接的主控接头41、第一分接头42以及第二分接头43，分别与三个设备上的SMU端口对应连接。线缆4还包括双控开关40，所述双控开关40用于实现连接端口的切换，该双控开关40包括主控端、第一连接端以及第二连接端。所述主控端通过主控线缆44与主控接头41连接；所述第一连接端通过第一分线缆45与第一分接头42连接；所述第二连接端通过第二分线缆46与第二分接头43连接。由此，通过操作双控开关40即可实现该线缆4的两个工作状态第一，主控接头41与第一分接头42导通、与第二分接头43断开；第二，主控接头41与第一分接头42断开、与第二分接头43导通。
下面通过三个更为具体的双控开关40的结构说明各种切换开关的工作原理。参见图2a所示的双控开关40为旋转拨片式的结构，旋转拨片的一端转动连接在双控开关40的主控端，另一端通过转动(参见图中旋转箭头方向)能分别实现主控端与第一连接端或者第二连接端的连接。图中实线表示旋转拨片与第一连接端导通、与第二连接端断开；图中虚线表示旋转拨片与第一连接端断开、与第二连接端导通。参见图2b所示的双控开关40为滑块式的结构，通过滑块的滑动(参见图中平移箭头方向)能分别实现主控端与第一连接端或者第二连接端的连接。图中实线表示旋转拨片与第一连接端导通、与第二连接端断开；图中虚线表示旋转拨片与第一连接端断开、与第二连接端导通。参见图2c，此图的视角与图2a、2b有区别，令图2a、2b为主视图，那么图2c则为俯视图或者仰视图。图2c所示的双控开关40为按钮式的结构，按钮的中间部分与主控端转动连接，通过按钮围绕主控端的旋转(参见图中旋转箭头方向)能分别实现主控端与第一连接端或者第二连接端的连接。图中实线表示旋转拨片与第一连接端导通、与第二连接端断开；图中虚线表示旋转拨片与第一连接端断开、与第二连接端导通。本发明虽然以较佳实施例公开如上，但本发明并不局限于半导体可靠性试验，其它需要应用到一拖二线缆连接的场合也适用于本专利。本发明的保护范围应当以本发明权利要求所界定的范围为准。
权利要求
1.一种一拖二开关切换式转接线缆，其特征在于包括主控接头、第一分接头以及第二分接头；双控开关，所述双控开关包括主控端、第一连接端以及第二连接端，所述主控端通过主控线缆与主控接头连接，所述第一连接端通过第一分线缆与第一分接头连接，所述第二连接端通过第二分线缆与第二分接头连接；通过操作双控开关使得所述线缆具有两个工作状态第一，主控接头与第一分接头导通、与第二分接头断开；第二，主控接头与第一分接头断开、与第二分接头导通。
2.如权利要求I所述的一拖二开关切换式转接线缆，其特征在于双控开关为旋转拨片式的结构，旋转拨片的一端转动连接在双控开关的主控端，另一端通过转动能分别实现主控端与第一连接端或者第二连接端的连接。
3.如权利要求I所述的一拖二开关切换式转接线缆，其特征在于双控开关为滑块式的结构，通过滑块的滑动能分别实现主控端与第一连接端或者第二连接端的连接。
4.如权利要求I所述的一拖二开关切换式转接线缆，其特征在于双控开关为按钮式的结构，按钮的中间部分与主控端转动连接，通过按钮围绕主控端的旋转能分别实现主控端与第一连接端或者第二连接端的连接。
全文摘要
本发明涉及一种半导体设备连接装置，尤其是一种一拖二开关切换式转接线缆，包括主控接头、第一分接头以及第二分接头；双控开关，所述双控开关包括主控端、第一连接端以及第二连接端，所述主控端通过主控线缆与主控接头连接，所述第一连接端通过第一分线缆与第一分接头连接，所述第二连接端通过第二分线缆与第二分接头连接；通过操作双控开关使得所述线缆具有分别与第一分接头或者第二分接头导通的工作状态。此发明通过切换开关随时在两路分支之间进行切换，避免了频繁插拔SMU连接线所带来的接头磨损和漏电加大的影响，保证了测试设备的高精度。并且，采用双控开关可以确保当某一分支使用时，屏蔽另一分支所带来的噪音。
文档编号G01R1/06GK102621359SQ20121009150
公开日2012年8月1日 申请日期2012年3月30日 优先权日2012年3月30日
发明者周柯, 尹彬锋, 王炯 申请人:上海华力微电子有限公司