一种工艺气体互锁的控制方法和系统的制作方法
一种工艺气体互锁的控制方法和系统的制作方法
【专利摘要】本发明实施例提供了一种工艺气体互锁的控制方法，所述方法，包括以下步骤：步骤1，设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气体通道设置对应的配置参数；步骤2，遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参数，依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参数判断是否满足预设条件；若是，则执行步骤3；否则，执行步骤4；步骤3，打开所述目标路气体通道；步骤4，生成警报信息。本发明实施例增加了气体通道的配置参数，实现了在线编辑的功能。在线编辑配置参数和在线应用，提高了应用的灵活性，提高了效率，减少了时间的浪费。
【专利说明】一种工艺气体互锁的控制方法和系统
【技术领域】
[0001] 本发明涉及设备工艺控制领域，特别是涉及一种工艺气体互锁的控制方法和一种 工艺气体互锁的控制系统。
【背景技术】
[0002] 复杂产品的制作过程是一个涉及多个学科交叉的【技术领域】，例如在半导体制造工 艺中，刻蚀工艺的过程就是在既定的工艺条件下，如工艺腔室加热到一定温度，工艺腔室的 压力稳定在工艺要求的范围内，按照一定的比例对腔室通入多种气体，然后对射频设备加 一定的电压，通过电离工艺气体对硅片进行刻蚀的工艺过程。
[0003] 因此，通常在上述此类产品的制造工艺自动控制中，气体控制是很重要的内容。以 气体互锁为例进行说明。气体互锁，指的是两种或者多种气体之间，两两互相排斥，不能同 时通入到工艺腔室之中。例如氢气和氧气，如果同时通入到工艺腔室之中，在一定的比例和 温度的条件下，很容易发生爆炸。类似的气体还有甲烷和氧气等。
[0004] 现在可以通过设置型互锁，实现气体互锁。设置型互锁的原理，就是对该设备进行 设置操作之前，检查一系列的条件，比如厂务压力是否正常，气柜门是否关闭，气柜是否无 泄漏，气柜压力是否正常等，如果条件全部满足，则允许进行对该设备进行设置；反之，如果 有某一个或者几个条件不满足，则抛出报警，不允许对该设备进行设置。
[0005] 例如氧气是第二路气体通道中的气体，氢气是第三路气体通道中的气体，如果想 打开第三路的阀通入氢气，需要先查第二路气体通道的阀是否已经打开了，如果第二路气 体通道中的阀已经打开了，那么第三路气体通道的阀是不允许打开的；如果第二路气体通 道的阀没有打开，那么第三路气体通道的阀是允许打开的。反之亦然。
[0006] 现在实现了气体互锁的功能，能够防止两种危险气体通入腔室，但是是将具体的 气体种类配置到具体的通气管道上的，是一一对应的关系，灵活性很差。很多情况都不能够 很好地适应，需要对应修改软件、重启软件，才能够实现该实际情况下的气体互锁，操作十 分繁琐。
[0007] 例如，某种特殊工艺需要以极低的比例通入氢气和高比例的氧气，比如允许通入 lsccm的氢气和200sCCm的氧气，此时是不会有危险情况发生的，上述方案是不能实现该功 能的，只能对应修改软件代码，即重新设计一个软件，才能实现该功能。
[0008] 又例如，当某路气体通道的气体被换走后，假设原本第五路气体通道通氢气，第六 路气体通道通氧气，那么第五、六路气体通道的阀是不允许同时打开的，现在把其中第五、 六路气体通道中任一路通行的气体换成氮气，那么换了气体之后第五、六路气体通道的阀 理应是允许同时打开的，但是在没有对应修改软件、重启软件的状况下，现在还是不能同时 打开第五、六路气体通道的阀。
[0009] 又例如，当气体通道中通行的气体的顺序调换了之后，假设原本第一路气体通道 通氩气，第三路气体通道通氢气，现在把氢气换到了第一路气体通道，把氩气换到了第三路 气体通道，而本来第一路气体通道(氩气）跟其他路通道的气体的配置关系不会随着氩气换 到第三路气体通道而改变，又假设第二路气体通道通氧气，那么原本第一、二路气体通道的 阀是禁止同时打开的，第二、三路气体通道的阀是允许同时打开的，而调换第一、三路气体 通道通行的气体后，现在还是第一、二路气体通道的阀禁止同时打开，第二、三路气体通道 的阀允许同时打开，只有对应修改软件、重启软件才能实现正常运作。
[0010] 现有方案下气体互锁的机制导致了通入的气体每做一次调整，就要对应的修改软 件、重启软件，灵活性很差，操作十分繁琐。
【发明内容】
[0011] 本发明实施例所要解决的技术问题是提供一种工艺气体互锁的控制方法，以解决 重复修改软件、重启软件的缺陷，使气体控制更加灵活。
[0012] 本发明还提供了一种工艺气体互锁的控制装置，用以保证上述方法的实现及应 用。
[0013] 为了解决上述问题，本发明实施例公开了一种工艺气体互锁的控制方法，所述方 法，包括以下步骤：
[0014] 步骤1，设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气体通道设置对 应的配置参数；
[0015] 步骤2,遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气体 通道与其它各路气体通道的配置参数，依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配 置参数判断是否满足预设条件；若是，则执行步骤3 ;否则，执行步骤4 ;
[0016] 步骤3,打开所述目标路气体通道；
[0017] 步骤4,生成警报信息。
[0018] 优选地，所述配置参数包括允许参数permit或禁止参数forbid。
[0019] 优选地，所述预设条件包括：
[0020] 允许所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开；和/或，
[0021] 禁止所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开，并且，其它各路气体通 道都未打开；和/或，
[0022] 允许所述目标路气体通道与其它部分气体通道打开，禁止所述目标路气体通道与 剩余气体通道打开，并且所述剩余气体通道均未打开。
[0023] 优选地，所述步骤2,包括下列步骤：
[0024] 步骤21,查询与所述目标路气体通道的配置参数为禁止参数forbid的所有气体 通道，并标记为待定气体通道；
[0025] 步骤22,依次判断所有所述待定气体通道是否均为关闭状态，若是，则执行步骤 3;否则，执行步骤4。
[0026] 优选地，所述气体通道具有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述目标路气体通 道为第Ν路，其中，Μ、Ν为正整数；所述步骤21，包括下列步骤 ：
[0027] 步骤211，确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ;
[0028] 步骤212,判断I是否小于或等于Μ ;若是，则执行步骤213 ;否则，执行步骤22 ;
[0029] 步骤213,判断I是否等于Ν ;若是，则执行1=1+1，返回步骤212 ;否则，执行步骤 214 ；
[0030] 步骤214,查询第I路气体通道与第N路气体通道的配置参数是否是允许参数 permit ;若是，则执行1=1+1，返回步骤212 ;否则，标记第I路气体通道为待定气体通道，执 行1=1+1，返回步骤212。
[0031] 优选地，所述气体通道具有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述目标气体通道 为第Ν路，其中，Μ、Ν为正整数；所述步骤2,包括下列步骤：
[0032] 步骤S1，确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ;
[0033] 步骤S2,判断I是否小于或等于Μ ;若是，则执行步骤S3 ;若否，则执行步骤3 ;
[0034] 步骤S3,判断I是否等于Ν ;若是，则执行步骤S6 ;若否，则执行步骤S4 ;
[0035] 步骤S4,查询第I路气体通道与第Ν路气体通道的配置参数是否是允许参数 permit ;若是，则执行步骤S6 ;若否，则执行步骤S5 ;
[0036] 步骤S5,查询第I路气体通道是否已经打开；若是，则执行步骤4 ;若否，则执行步 骤S6 ;
[0037] 步骤S6,将I的值加 1，返回执行步骤S2。
[0038] 优选地，所述气体通道为刻蚀设备的气体通道。
[0039] 优选地，所述方法，还包括：
[0040] 在所述配置页中设置每路气体通道的参数值，所述参数值包括：通气种类、通气 量、温度、压强和/或密度。
[0041] 本发明实施例公开了一种工艺气体互锁的控制系统，所述系统，包括以下模块：
[0042] 配置参数设置模块，用于设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两 路气体通道设置对应的配置参数；
[0043] 判断模块，用于遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标 路气体通道与其它各路气体通道的配置参数；并依据所述目标路气体通道与其它各路气体 通道的配置参数，判断是否满足预设条件；若是，则调用打开模块，若否，则调用警报模块； [0044] 打开模块，用于打开所述目标路气体通道；
[0045] 警报模块，用于生成警报信息。
[0046] 优选地，所述配置参数包括允许参数permit或禁止参数forbid。
[0047] 优选地,所述预设条件，包括：
[0048] 允许所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开；
[0049] 和 / 或，
[0050] 禁止所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开，并且，其它各路气体通 道都未打开；
[0051] 和 / 或，
[0052] 允许所述目标路气体通道与其它部分气体通道打开，禁止所述目标路气体通道与 剩余气体通道打开，并且，所述剩余气体通道均未打开。
[0053] 优选地，所述判断模块，包括以下子模块：
[0054] 禁止参数查询子模块，用于查询与所述目标路气体通道的配置参数为禁止参数 forbid的所有气体通道，并标记为待定气体通道；
[0055] 关闭状态判断子模块，用于依次判断所有所述待定气体通道是否均为关闭状态； 若是，则调用打开模块，若否，则调用警报模块。
[0056] 优选地，所述气体通道具有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述当前目标气体 通道为第Ν路，其中，Μ、Ν为正整数；所述禁止参数查询子模块，包括以下子模块：
[0057] 初始化子模块，用于确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ;
[0058] 判断子模块，用于判断I是否小于或等于Μ ;若是，则调用等同判断子模块；否则， 调用退出子模块；
[0059] 等同判断子模块，用于判断I是否等于Ν ;若是，则则执行1=1+1，返回所述判断子 模块；否则，调用查找子模块；
[0060] 查找子模块，用于查询第I路气体通道与第Ν路气体通道的配置参数是否是允许 参数permit ;若是，则执行1=1+1，并调用判断子模块；否则，调用记录子模块，执行1=1+1， 调用判断子模块；
[0061] 记录子模块，用于记录第I路气体通道为待定气体通道。
[0062] 优选地，所述气体通道具有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述目标气体通道 为第Ν路，其中，Μ、Ν为正整数；所述判断模块，包括以下模块：
[0063] 初始化子模块，用于确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ;
[0064] 第一判断子模块，用于判断I是否小于或等于Μ ;若是，则调用第二判断子模块；若 否，则调用打开模块；
[0065] 第二判断子模块，用于判断I是否等于Ν ;若是，则调用增值子模块；若否，则调用 第一查询子模块；
[0066] 第一查询子模块，用于查询第I路气体通道与第Ν路气体通道的配置参数是否是 允许参数permit ;若是，则调用增值子模块；若否，则调用第二查询子模块；
[0067] 第二查询子模块，用于查询第I路气体通道是否已经打开；若是，则调用警报模 块；若否，则调用增值子模块；
[0068] 增值子模块，用于将I的值加 1，返回调用第一判断子模块。
[0069] 优选地，所述气体通道为刻蚀设备的气体通道。
[0070] 优选地，所述系统，还包括：
[0071] 参数值设置模块，用于在所述配置页中设置每路气体通道的参数值，所述参数值 包括：通气种类、通气量、温度、压强和/或密度。
[0072] 与【背景技术】相比，本发明实施例包括以下优点：
[0073] 本发明实施例增加了气体通道的配置参数，可以通过修改配置参数，然后应用到 程序中，实现了在线编辑的功能。在线编辑配置参数和在线应用，提高了应用的灵活性，提 高了效率，减少了时间的浪费。
[0074] 本发明实施例由于可以在线编辑配置参数进行气体的控制，因此不需要修改软件 代码、重启软件，避免了生产情况发生变化时，随之反复修改代码的情况，对于突发性、临时 性的气体变动，具有良好的适应性，更易于维护和管理。
[0075] 本发明实施例通过气体通道间接控制气体的通入，在设置配置参数的时候，除了 可以考虑气体的种类，还可以考虑气体的流量、温度等气体工艺参数，实现了细颗粒度的气 体控制。
【专利附图】
【附图说明】
[0076] 图1是本发明实施例的一种气体通道的控制方法实施例的步骤流程图；
[0077] 图2是本发明实施例的一种气体互锁的配置参数的优选示意图；
[0078] 图3是本发明实施例的气体通道的控制方法中步骤102的一种优选示例的逻辑关 系不意图；
[0079] 图4是本发明实施例的一种气体通道的控制系统实施例的结构框图。
【具体实施方式】
[0080] 为使本发明实施例的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和
【具体实施方式】对本发明实施例作进一步详细的说明。
[0081] 参照图1，示出了本发明实施例的一种气体通道的控制方法实施例的步骤流程图， 如图1所示，所述一种气体通道的控制方法，可以包括如下步骤：
[0082] 步骤1，设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气体通道设置对 应的配置参数；
[0083] 步骤2,遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气体 通道与其它各路气体通道的配置参数，依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配 置参数判断是否满足预设条件；若是，则执行步骤3 ;否则，则执行步骤4 ;
[0084] 步骤3,打开所述目标路气体通道；
[0085] 步骤4,生成警报信息。
[0086] 需要说明的是，配置参数可以是对应两路气体通道的运行参数，该两路气体通道 可以依据该配置参数进行开启、关闭等操作。本发明实施例增加了配置参数的设置，每两路 气体通道之间都对应一个配置参数，将配置参数放在配置的页面里面，通过配置该页，可以 修改配置参数，然后应用到程序中，实现了在线编辑的功能。在线编辑配置参数和在线应 用，提高了设备应用的灵活性，提高了效率，减少了时间的浪费。
[0087] 例如，当某路气体通道的气体被换走后，则相应修改该路气体通道与其他各路气 体通道的配置参数即可，无需修改软件代码、重启软件，保障生产的有序进行。
[0088] 本发明实施例可以通过控制气体通道去控制对应气体的通入，而气体通道与对应 气体不存在必然的关联关系。在设置配置参数的时候，所述配置参数由本领域技术人员根 据实际情况进行设定，诸如气体的种类、流量、温度等参数，可以由本领域技术人员在设置 配置参数的时候进行考虑，本发明实施例在此不加以详述。这样，本发明实施例实现了细颗 粒度的气体控制。
[0089] 例如，在某些特殊工艺下，某两路气体通道准备通入lsccm的氢气和200sccm的氧 气，则将该两路气体通道的配置参数设置为允许同时打开的参数，即允许上述两种气体同 时通入，及对应修改该两路气体通道与其他各路气体通道的配置参数即可，亦无需修改软 件代码、重启软件，很好地适应了某些特殊工艺要求。
[0090] 为使本领域技术人员更好地理解本发明实施例，在本说明书中，将半导体刻蚀工 艺中的气体互锁的应用作为气体通道的控制方法一种示例进行说明。
[0091] 那么，在本发明实施例中，所述气体通道为刻蚀设备的气体通道。
[0092] 为了实现互锁，在本发明实施例中，所述配置参数可以包括允许参数permit或禁 止参数forbid。
[0093] 可以理解，允许参数permit可以代表对应的两路气体通道允许同时打开，允许同 时通入该两路气体通道的气体；禁止参数forbid可以代表对应的两路气体通道禁止同时 打开，禁止同时通入该两路气体通道的气体。
[0094] 参照图2,示出了本发明实施例的一种气体互锁的配置参数的优选示意图。如图所 示，"参数名"是配置参数的名称，"参数信息"则是配置参数的具体参数值，最小值为0,代 表禁止参数forbid，最大值为1，代表允许参数permit，除此外并无其他值。
[0095] 在设置配置参数时，例如，GaslGas2的当前的值为permit，表示允许气体通道 Gas 1和气体通道Gas2同时打开，如果想禁止气体通道Gas 1和气体通道Gas2同时打开，则 操作该页面，把"设置值"设置为forbid，然后点击"应用"按钮，则"当前值"，"当前配置值"， "设置值"都变为forbid。
[0096] 此外，在本发明实施例中，可以将当前每两路气体通道的配置参数保存至预设位 置，在需要的时候，再导入已保存的每两路气体通道的配置参数，作为当前每两路气体通道 的配置参数。
[0097] 可以理解，在工业化生产中，一种产品的制作工艺是相对稳定的，那么刻蚀工艺中 每两路气体通道的配置参数也可以是相对稳定的，本发明实施例可以按照实际需要导入已 保存的每两路气体通道的配置参数，减少重复的设置配置参数过程，保证生产的高效进行。
[0098] 综合以上，对刻蚀设备气体互锁的配置参数举例说明如下：
[0099]
【权利要求】
1. 一种工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述方法，包括以下步骤： 步骤1，设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气体通道设置对应的 配置参数； 步骤2,遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气体通道 与其它各路气体通道的配置参数，依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参 数判断是否满足预设条件；若是，则执行步骤3 ;否则，执行步骤4 ; 步骤3,打开所述目标路气体通道； 步骤4,生成警报信息。
2. 根据权利要求1所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述配置参数包括 允许参数permit或禁止参数forbid。
3. 根据权利要求1所述的气体通道的控制方法，其特征在于，所述预设条件包括： 允许所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开；和/或， 禁止所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开，并且，其它各路气体通道都 未打开；和/或， 允许所述目标路气体通道与其它部分气体通道打开，禁止所述目标路气体通道与剩余 气体通道打开，并且所述剩余气体通道均未打开。
4. 根据权利要求2所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述步骤2,包括下 列步骤： 步骤21，查询与所述目标路气体通道的配置参数为禁止参数forbid的所有气体通道， 并标记为待定气体通道； 步骤22,依次判断所有所述待定气体通道是否均为关闭状态，若是，则执行步骤3 ;否 贝1J，执行步骤4。
5. 根据权利要求4所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述气体通道具有 预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述目标路气体通道为第N路，其中，Μ、N为正整数；所 述步骤21，包括下列步骤： 步骤211，确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ; 步骤212,判断I是否小于或等于Μ ;若是，则执行步骤213 ;否则，执行步骤22 ; 步骤213,判断I是否等于Ν ;若是，则执行1=1+1，返回步骤212 ;否则，执行步骤214 ; 步骤214,查询第I路气体通道与第Ν路气体通道的配置参数是否是允许参数permit ; 若是，则执行1=1+1，返回步骤212 ;否则，标记第I路气体通道为待定气体通道，执行 1=1+1，返回步骤212。
6. 根据权利要求2或3所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述气体通道具 有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述目标气体通道为第N路，其中，Μ、N为正整数；所 述步骤2,包括下列步骤： 步骤S1，确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ; 步骤S2,判断I是否小于或等于Μ ;若是，则执行步骤S3 ;若否，则执行步骤3 ; 步骤S3,判断I是否等于Ν ;若是，则执行步骤S6 ;若否，则执行步骤S4 ; 步骤S4,查询第I路气体通道与第Ν路气体通道的配置参数是否是允许参数permit ; 若是，则执行步骤S6 ;若否，则执行步骤S5 ; 步骤S5,查询第I路气体通道是否已经打开；若是，则执行步骤4 ;若否，则执行步骤 S6 ； 步骤S6,将I的值加1，返回执行步骤S2。
7. 根据权利要求1所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述气体通道为刻 蚀设备的气体通道。
8. 根据权利要求1所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述方法，还包括： 在所述配置页中设置每路气体通道的参数值，所述参数值包括：通气种类、通气量、温 度、压强和/或密度。
9. 一种工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述系统，包括以下模块： 配置参数设置模块，用于设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气 体通道设置对应的配置参数； 判断模块，用于遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气 体通道与其它各路气体通道的配置参数；并依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道 的配置参数，判断是否满足预设条件；若是，则调用打开模块，若否，则调用警报模块； 打开模块，用于打开所述目标路气体通道； 警报模块，用于生成警报信息。
10. 根据权利要求9所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述配置参数包括 允许参数permit或禁止参数forbid。
11. 根据权利要求9所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述预设条件，包 括： 允许所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开； 和/或， 禁止所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开，并且，其它各路气体通道都 未打开； 和/或， 允许所述目标路气体通道与其它部分气体通道打开，禁止所述目标路气体通道与剩余 气体通道打开，并且，所述剩余气体通道均未打开。
12. 根据权利要求10所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述判断模块，包 括以下子模块： 禁止参数查询子模块，用于查询与所述目标路气体通道的配置参数为禁止参数forbid 的所有气体通道，并标记为待定气体通道； 关闭状态判断子模块，用于依次判断所有所述待定气体通道是否均为关闭状态；若是， 则调用打开模块，若否，则调用警报模块。
13. 根据权利要求12所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述气体通道具 有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述当前目标气体通道为第N路，其中，M、N为正整数； 所述禁止参数查询子模块，包括以下子模块： 初始化子模块，用于确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ; 判断子模块，用于判断I是否小于或等于Μ ;若是，则调用等同判断子模块；否则，调用 退出子模块； 等同判断子模块，用于判断I是否等于N ;若是，则则执行1=1+1，返回所述判断子模块； 否则，调用查找子模块； 查找子模块，用于查询第I路气体通道与第N路气体通道的配置参数是否是允许参数 permit ;若是，则执行1=1+1，并调用判断子模块；否则，调用记录子模块，执行1=1+1，调用 判断子模块； 记录子模块，用于记录第I路气体通道为待定气体通道。
14. 根据权利要求10或11所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述气体通 道具有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述目标气体通道为第N路，其中，M、N为正整数； 所述判断模块，包括以下模块： 初始化子模块，用于确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ; 第一判断子模块，用于判断I是否小于或等于Μ ;若是，则调用第二判断子模块；若否， 则调用打开模块； 第二判断子模块，用于判断I是否等于Ν ;若是，则调用增值子模块；若否，则调用第一 查询子模块； 第一查询子模块，用于查询第I路气体通道与第Ν路气体通道的配置参数是否是允许 参数permit ;若是，则调用增值子模块；若否，则调用第二查询子模块； 第二查询子模块，用于查询第I路气体通道是否已经打开；若是，则调用警报模块；若 否，则调用增值子模块； 增值子模块，用于将I的值加1，返回调用第一判断子模块。
15. 根据权利要求9所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述气体通道为刻 蚀设备的气体通道。
16. 根据权利要求9所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述系统，还包括： 参数值设置模块，用于在所述配置页中设置每路气体通道的参数值，所述参数值包括： 通气种类、通气量、温度、压强和/或密度。
【文档编号】G05B19/43GK104281141SQ201310279777
【公开日】2015年1月14日 申请日期:2013年7月4日 优先权日:2013年7月4日
【发明者】马平 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
【专利摘要】本发明实施例提供了一种工艺气体互锁的控制方法，所述方法，包括以下步骤：步骤1，设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气体通道设置对应的配置参数；步骤2，遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参数，依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参数判断是否满足预设条件；若是，则执行步骤3；否则，执行步骤4；步骤3，打开所述目标路气体通道；步骤4，生成警报信息。本发明实施例增加了气体通道的配置参数，实现了在线编辑的功能。在线编辑配置参数和在线应用，提高了应用的灵活性，提高了效率，减少了时间的浪费。
【专利说明】一种工艺气体互锁的控制方法和系统
【技术领域】
[0001] 本发明涉及设备工艺控制领域，特别是涉及一种工艺气体互锁的控制方法和一种 工艺气体互锁的控制系统。
【背景技术】
[0002] 复杂产品的制作过程是一个涉及多个学科交叉的【技术领域】，例如在半导体制造工 艺中，刻蚀工艺的过程就是在既定的工艺条件下，如工艺腔室加热到一定温度，工艺腔室的 压力稳定在工艺要求的范围内，按照一定的比例对腔室通入多种气体，然后对射频设备加 一定的电压，通过电离工艺气体对硅片进行刻蚀的工艺过程。
[0003] 因此，通常在上述此类产品的制造工艺自动控制中，气体控制是很重要的内容。以 气体互锁为例进行说明。气体互锁，指的是两种或者多种气体之间，两两互相排斥，不能同 时通入到工艺腔室之中。例如氢气和氧气，如果同时通入到工艺腔室之中，在一定的比例和 温度的条件下，很容易发生爆炸。类似的气体还有甲烷和氧气等。
[0004] 现在可以通过设置型互锁，实现气体互锁。设置型互锁的原理，就是对该设备进行 设置操作之前，检查一系列的条件，比如厂务压力是否正常，气柜门是否关闭，气柜是否无 泄漏，气柜压力是否正常等，如果条件全部满足，则允许进行对该设备进行设置；反之，如果 有某一个或者几个条件不满足，则抛出报警，不允许对该设备进行设置。
[0005] 例如氧气是第二路气体通道中的气体，氢气是第三路气体通道中的气体，如果想 打开第三路的阀通入氢气，需要先查第二路气体通道的阀是否已经打开了，如果第二路气 体通道中的阀已经打开了，那么第三路气体通道的阀是不允许打开的；如果第二路气体通 道的阀没有打开，那么第三路气体通道的阀是允许打开的。反之亦然。
[0006] 现在实现了气体互锁的功能，能够防止两种危险气体通入腔室，但是是将具体的 气体种类配置到具体的通气管道上的，是一一对应的关系，灵活性很差。很多情况都不能够 很好地适应，需要对应修改软件、重启软件，才能够实现该实际情况下的气体互锁，操作十 分繁琐。
[0007] 例如，某种特殊工艺需要以极低的比例通入氢气和高比例的氧气，比如允许通入 lsccm的氢气和200sCCm的氧气，此时是不会有危险情况发生的，上述方案是不能实现该功 能的，只能对应修改软件代码，即重新设计一个软件，才能实现该功能。
[0008] 又例如，当某路气体通道的气体被换走后，假设原本第五路气体通道通氢气，第六 路气体通道通氧气，那么第五、六路气体通道的阀是不允许同时打开的，现在把其中第五、 六路气体通道中任一路通行的气体换成氮气，那么换了气体之后第五、六路气体通道的阀 理应是允许同时打开的，但是在没有对应修改软件、重启软件的状况下，现在还是不能同时 打开第五、六路气体通道的阀。
[0009] 又例如，当气体通道中通行的气体的顺序调换了之后，假设原本第一路气体通道 通氩气，第三路气体通道通氢气，现在把氢气换到了第一路气体通道，把氩气换到了第三路 气体通道，而本来第一路气体通道(氩气）跟其他路通道的气体的配置关系不会随着氩气换 到第三路气体通道而改变，又假设第二路气体通道通氧气，那么原本第一、二路气体通道的 阀是禁止同时打开的，第二、三路气体通道的阀是允许同时打开的，而调换第一、三路气体 通道通行的气体后，现在还是第一、二路气体通道的阀禁止同时打开，第二、三路气体通道 的阀允许同时打开，只有对应修改软件、重启软件才能实现正常运作。
[0010] 现有方案下气体互锁的机制导致了通入的气体每做一次调整，就要对应的修改软 件、重启软件，灵活性很差，操作十分繁琐。
【发明内容】
[0011] 本发明实施例所要解决的技术问题是提供一种工艺气体互锁的控制方法，以解决 重复修改软件、重启软件的缺陷，使气体控制更加灵活。
[0012] 本发明还提供了一种工艺气体互锁的控制装置，用以保证上述方法的实现及应 用。
[0013] 为了解决上述问题，本发明实施例公开了一种工艺气体互锁的控制方法，所述方 法，包括以下步骤：
[0014] 步骤1，设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气体通道设置对 应的配置参数；
[0015] 步骤2,遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气体 通道与其它各路气体通道的配置参数，依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配 置参数判断是否满足预设条件；若是，则执行步骤3 ;否则，执行步骤4 ;
[0016] 步骤3,打开所述目标路气体通道；
[0017] 步骤4,生成警报信息。
[0018] 优选地，所述配置参数包括允许参数permit或禁止参数forbid。
[0019] 优选地，所述预设条件包括：
[0020] 允许所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开；和/或，
[0021] 禁止所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开，并且，其它各路气体通 道都未打开；和/或，
[0022] 允许所述目标路气体通道与其它部分气体通道打开，禁止所述目标路气体通道与 剩余气体通道打开，并且所述剩余气体通道均未打开。
[0023] 优选地，所述步骤2,包括下列步骤：
[0024] 步骤21,查询与所述目标路气体通道的配置参数为禁止参数forbid的所有气体 通道，并标记为待定气体通道；
[0025] 步骤22,依次判断所有所述待定气体通道是否均为关闭状态，若是，则执行步骤 3;否则，执行步骤4。
[0026] 优选地，所述气体通道具有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述目标路气体通 道为第Ν路，其中，Μ、Ν为正整数；所述步骤21，包括下列步骤 ：
[0027] 步骤211，确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ;
[0028] 步骤212,判断I是否小于或等于Μ ;若是，则执行步骤213 ;否则，执行步骤22 ;
[0029] 步骤213,判断I是否等于Ν ;若是，则执行1=1+1，返回步骤212 ;否则，执行步骤 214 ；
[0030] 步骤214,查询第I路气体通道与第N路气体通道的配置参数是否是允许参数 permit ;若是，则执行1=1+1，返回步骤212 ;否则，标记第I路气体通道为待定气体通道，执 行1=1+1，返回步骤212。
[0031] 优选地，所述气体通道具有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述目标气体通道 为第Ν路，其中，Μ、Ν为正整数；所述步骤2,包括下列步骤：
[0032] 步骤S1，确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ;
[0033] 步骤S2,判断I是否小于或等于Μ ;若是，则执行步骤S3 ;若否，则执行步骤3 ;
[0034] 步骤S3,判断I是否等于Ν ;若是，则执行步骤S6 ;若否，则执行步骤S4 ;
[0035] 步骤S4,查询第I路气体通道与第Ν路气体通道的配置参数是否是允许参数 permit ;若是，则执行步骤S6 ;若否，则执行步骤S5 ;
[0036] 步骤S5,查询第I路气体通道是否已经打开；若是，则执行步骤4 ;若否，则执行步 骤S6 ;
[0037] 步骤S6,将I的值加 1，返回执行步骤S2。
[0038] 优选地，所述气体通道为刻蚀设备的气体通道。
[0039] 优选地，所述方法，还包括：
[0040] 在所述配置页中设置每路气体通道的参数值，所述参数值包括：通气种类、通气 量、温度、压强和/或密度。
[0041] 本发明实施例公开了一种工艺气体互锁的控制系统，所述系统，包括以下模块：
[0042] 配置参数设置模块，用于设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两 路气体通道设置对应的配置参数；
[0043] 判断模块，用于遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标 路气体通道与其它各路气体通道的配置参数；并依据所述目标路气体通道与其它各路气体 通道的配置参数，判断是否满足预设条件；若是，则调用打开模块，若否，则调用警报模块； [0044] 打开模块，用于打开所述目标路气体通道；
[0045] 警报模块，用于生成警报信息。
[0046] 优选地，所述配置参数包括允许参数permit或禁止参数forbid。
[0047] 优选地,所述预设条件，包括：
[0048] 允许所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开；
[0049] 和 / 或，
[0050] 禁止所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开，并且，其它各路气体通 道都未打开；
[0051] 和 / 或，
[0052] 允许所述目标路气体通道与其它部分气体通道打开，禁止所述目标路气体通道与 剩余气体通道打开，并且，所述剩余气体通道均未打开。
[0053] 优选地，所述判断模块，包括以下子模块：
[0054] 禁止参数查询子模块，用于查询与所述目标路气体通道的配置参数为禁止参数 forbid的所有气体通道，并标记为待定气体通道；
[0055] 关闭状态判断子模块，用于依次判断所有所述待定气体通道是否均为关闭状态； 若是，则调用打开模块，若否，则调用警报模块。
[0056] 优选地，所述气体通道具有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述当前目标气体 通道为第Ν路，其中，Μ、Ν为正整数；所述禁止参数查询子模块，包括以下子模块：
[0057] 初始化子模块，用于确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ;
[0058] 判断子模块，用于判断I是否小于或等于Μ ;若是，则调用等同判断子模块；否则， 调用退出子模块；
[0059] 等同判断子模块，用于判断I是否等于Ν ;若是，则则执行1=1+1，返回所述判断子 模块；否则，调用查找子模块；
[0060] 查找子模块，用于查询第I路气体通道与第Ν路气体通道的配置参数是否是允许 参数permit ;若是，则执行1=1+1，并调用判断子模块；否则，调用记录子模块，执行1=1+1， 调用判断子模块；
[0061] 记录子模块，用于记录第I路气体通道为待定气体通道。
[0062] 优选地，所述气体通道具有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述目标气体通道 为第Ν路，其中，Μ、Ν为正整数；所述判断模块，包括以下模块：
[0063] 初始化子模块，用于确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ;
[0064] 第一判断子模块，用于判断I是否小于或等于Μ ;若是，则调用第二判断子模块；若 否，则调用打开模块；
[0065] 第二判断子模块，用于判断I是否等于Ν ;若是，则调用增值子模块；若否，则调用 第一查询子模块；
[0066] 第一查询子模块，用于查询第I路气体通道与第Ν路气体通道的配置参数是否是 允许参数permit ;若是，则调用增值子模块；若否，则调用第二查询子模块；
[0067] 第二查询子模块，用于查询第I路气体通道是否已经打开；若是，则调用警报模 块；若否，则调用增值子模块；
[0068] 增值子模块，用于将I的值加 1，返回调用第一判断子模块。
[0069] 优选地，所述气体通道为刻蚀设备的气体通道。
[0070] 优选地，所述系统，还包括：
[0071] 参数值设置模块，用于在所述配置页中设置每路气体通道的参数值，所述参数值 包括：通气种类、通气量、温度、压强和/或密度。
[0072] 与【背景技术】相比，本发明实施例包括以下优点：
[0073] 本发明实施例增加了气体通道的配置参数，可以通过修改配置参数，然后应用到 程序中，实现了在线编辑的功能。在线编辑配置参数和在线应用，提高了应用的灵活性，提 高了效率，减少了时间的浪费。
[0074] 本发明实施例由于可以在线编辑配置参数进行气体的控制，因此不需要修改软件 代码、重启软件，避免了生产情况发生变化时，随之反复修改代码的情况，对于突发性、临时 性的气体变动，具有良好的适应性，更易于维护和管理。
[0075] 本发明实施例通过气体通道间接控制气体的通入，在设置配置参数的时候，除了 可以考虑气体的种类，还可以考虑气体的流量、温度等气体工艺参数，实现了细颗粒度的气 体控制。
【专利附图】
【附图说明】
[0076] 图1是本发明实施例的一种气体通道的控制方法实施例的步骤流程图；
[0077] 图2是本发明实施例的一种气体互锁的配置参数的优选示意图；
[0078] 图3是本发明实施例的气体通道的控制方法中步骤102的一种优选示例的逻辑关 系不意图；
[0079] 图4是本发明实施例的一种气体通道的控制系统实施例的结构框图。
【具体实施方式】
[0080] 为使本发明实施例的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和
【具体实施方式】对本发明实施例作进一步详细的说明。
[0081] 参照图1，示出了本发明实施例的一种气体通道的控制方法实施例的步骤流程图， 如图1所示，所述一种气体通道的控制方法，可以包括如下步骤：
[0082] 步骤1，设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气体通道设置对 应的配置参数；
[0083] 步骤2,遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气体 通道与其它各路气体通道的配置参数，依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配 置参数判断是否满足预设条件；若是，则执行步骤3 ;否则，则执行步骤4 ;
[0084] 步骤3,打开所述目标路气体通道；
[0085] 步骤4,生成警报信息。
[0086] 需要说明的是，配置参数可以是对应两路气体通道的运行参数，该两路气体通道 可以依据该配置参数进行开启、关闭等操作。本发明实施例增加了配置参数的设置，每两路 气体通道之间都对应一个配置参数，将配置参数放在配置的页面里面，通过配置该页，可以 修改配置参数，然后应用到程序中，实现了在线编辑的功能。在线编辑配置参数和在线应 用，提高了设备应用的灵活性，提高了效率，减少了时间的浪费。
[0087] 例如，当某路气体通道的气体被换走后，则相应修改该路气体通道与其他各路气 体通道的配置参数即可，无需修改软件代码、重启软件，保障生产的有序进行。
[0088] 本发明实施例可以通过控制气体通道去控制对应气体的通入，而气体通道与对应 气体不存在必然的关联关系。在设置配置参数的时候，所述配置参数由本领域技术人员根 据实际情况进行设定，诸如气体的种类、流量、温度等参数，可以由本领域技术人员在设置 配置参数的时候进行考虑，本发明实施例在此不加以详述。这样，本发明实施例实现了细颗 粒度的气体控制。
[0089] 例如，在某些特殊工艺下，某两路气体通道准备通入lsccm的氢气和200sccm的氧 气，则将该两路气体通道的配置参数设置为允许同时打开的参数，即允许上述两种气体同 时通入，及对应修改该两路气体通道与其他各路气体通道的配置参数即可，亦无需修改软 件代码、重启软件，很好地适应了某些特殊工艺要求。
[0090] 为使本领域技术人员更好地理解本发明实施例，在本说明书中，将半导体刻蚀工 艺中的气体互锁的应用作为气体通道的控制方法一种示例进行说明。
[0091] 那么，在本发明实施例中，所述气体通道为刻蚀设备的气体通道。
[0092] 为了实现互锁，在本发明实施例中，所述配置参数可以包括允许参数permit或禁 止参数forbid。
[0093] 可以理解，允许参数permit可以代表对应的两路气体通道允许同时打开，允许同 时通入该两路气体通道的气体；禁止参数forbid可以代表对应的两路气体通道禁止同时 打开，禁止同时通入该两路气体通道的气体。
[0094] 参照图2,示出了本发明实施例的一种气体互锁的配置参数的优选示意图。如图所 示，"参数名"是配置参数的名称，"参数信息"则是配置参数的具体参数值，最小值为0,代 表禁止参数forbid，最大值为1，代表允许参数permit，除此外并无其他值。
[0095] 在设置配置参数时，例如，GaslGas2的当前的值为permit，表示允许气体通道 Gas 1和气体通道Gas2同时打开，如果想禁止气体通道Gas 1和气体通道Gas2同时打开，则 操作该页面，把"设置值"设置为forbid，然后点击"应用"按钮，则"当前值"，"当前配置值"， "设置值"都变为forbid。
[0096] 此外，在本发明实施例中，可以将当前每两路气体通道的配置参数保存至预设位 置，在需要的时候，再导入已保存的每两路气体通道的配置参数，作为当前每两路气体通道 的配置参数。
[0097] 可以理解，在工业化生产中，一种产品的制作工艺是相对稳定的，那么刻蚀工艺中 每两路气体通道的配置参数也可以是相对稳定的，本发明实施例可以按照实际需要导入已 保存的每两路气体通道的配置参数，减少重复的设置配置参数过程，保证生产的高效进行。
[0098] 综合以上，对刻蚀设备气体互锁的配置参数举例说明如下：
[0099]
【权利要求】
1. 一种工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述方法，包括以下步骤： 步骤1，设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气体通道设置对应的 配置参数； 步骤2,遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气体通道 与其它各路气体通道的配置参数，依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道的配置参 数判断是否满足预设条件；若是，则执行步骤3 ;否则，执行步骤4 ; 步骤3,打开所述目标路气体通道； 步骤4,生成警报信息。
2. 根据权利要求1所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述配置参数包括 允许参数permit或禁止参数forbid。
3. 根据权利要求1所述的气体通道的控制方法，其特征在于，所述预设条件包括： 允许所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开；和/或， 禁止所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开，并且，其它各路气体通道都 未打开；和/或， 允许所述目标路气体通道与其它部分气体通道打开，禁止所述目标路气体通道与剩余 气体通道打开，并且所述剩余气体通道均未打开。
4. 根据权利要求2所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述步骤2,包括下 列步骤： 步骤21，查询与所述目标路气体通道的配置参数为禁止参数forbid的所有气体通道， 并标记为待定气体通道； 步骤22,依次判断所有所述待定气体通道是否均为关闭状态，若是，则执行步骤3 ;否 贝1J，执行步骤4。
5. 根据权利要求4所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述气体通道具有 预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述目标路气体通道为第N路，其中，Μ、N为正整数；所 述步骤21，包括下列步骤： 步骤211，确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ; 步骤212,判断I是否小于或等于Μ ;若是，则执行步骤213 ;否则，执行步骤22 ; 步骤213,判断I是否等于Ν ;若是，则执行1=1+1，返回步骤212 ;否则，执行步骤214 ; 步骤214,查询第I路气体通道与第Ν路气体通道的配置参数是否是允许参数permit ; 若是，则执行1=1+1，返回步骤212 ;否则，标记第I路气体通道为待定气体通道，执行 1=1+1，返回步骤212。
6. 根据权利要求2或3所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述气体通道具 有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述目标气体通道为第N路，其中，Μ、N为正整数；所 述步骤2,包括下列步骤： 步骤S1，确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ; 步骤S2,判断I是否小于或等于Μ ;若是，则执行步骤S3 ;若否，则执行步骤3 ; 步骤S3,判断I是否等于Ν ;若是，则执行步骤S6 ;若否，则执行步骤S4 ; 步骤S4,查询第I路气体通道与第Ν路气体通道的配置参数是否是允许参数permit ; 若是，则执行步骤S6 ;若否，则执行步骤S5 ; 步骤S5,查询第I路气体通道是否已经打开；若是，则执行步骤4 ;若否，则执行步骤 S6 ； 步骤S6,将I的值加1，返回执行步骤S2。
7. 根据权利要求1所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述气体通道为刻 蚀设备的气体通道。
8. 根据权利要求1所述的工艺气体互锁的控制方法，其特征在于，所述方法，还包括： 在所述配置页中设置每路气体通道的参数值，所述参数值包括：通气种类、通气量、温 度、压强和/或密度。
9. 一种工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述系统，包括以下模块： 配置参数设置模块，用于设置独立配置页，并在所述独立配置页中分别针对每两路气 体通道设置对应的配置参数； 判断模块，用于遍历所述配置页，针对目标路气体通道的打开操作，查询所述目标路气 体通道与其它各路气体通道的配置参数；并依据所述目标路气体通道与其它各路气体通道 的配置参数，判断是否满足预设条件；若是，则调用打开模块，若否，则调用警报模块； 打开模块，用于打开所述目标路气体通道； 警报模块，用于生成警报信息。
10. 根据权利要求9所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述配置参数包括 允许参数permit或禁止参数forbid。
11. 根据权利要求9所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述预设条件，包 括： 允许所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开； 和/或， 禁止所述目标路气体通道与其它各路气体通道均为打开，并且，其它各路气体通道都 未打开； 和/或， 允许所述目标路气体通道与其它部分气体通道打开，禁止所述目标路气体通道与剩余 气体通道打开，并且，所述剩余气体通道均未打开。
12. 根据权利要求10所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述判断模块，包 括以下子模块： 禁止参数查询子模块，用于查询与所述目标路气体通道的配置参数为禁止参数forbid 的所有气体通道，并标记为待定气体通道； 关闭状态判断子模块，用于依次判断所有所述待定气体通道是否均为关闭状态；若是， 则调用打开模块，若否，则调用警报模块。
13. 根据权利要求12所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述气体通道具 有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述当前目标气体通道为第N路，其中，M、N为正整数； 所述禁止参数查询子模块，包括以下子模块： 初始化子模块，用于确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ; 判断子模块，用于判断I是否小于或等于Μ ;若是，则调用等同判断子模块；否则，调用 退出子模块； 等同判断子模块，用于判断I是否等于N ;若是，则则执行1=1+1，返回所述判断子模块； 否则，调用查找子模块； 查找子模块，用于查询第I路气体通道与第N路气体通道的配置参数是否是允许参数 permit ;若是，则执行1=1+1，并调用判断子模块；否则，调用记录子模块，执行1=1+1，调用 判断子模块； 记录子模块，用于记录第I路气体通道为待定气体通道。
14. 根据权利要求10或11所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述气体通 道具有预置序列，当前共有Μ路气体通道，所述目标气体通道为第N路，其中，M、N为正整数； 所述判断模块，包括以下模块： 初始化子模块，用于确定第I路气体通道为当前的气体通道；其中，I的值为1 ; 第一判断子模块，用于判断I是否小于或等于Μ ;若是，则调用第二判断子模块；若否， 则调用打开模块； 第二判断子模块，用于判断I是否等于Ν ;若是，则调用增值子模块；若否，则调用第一 查询子模块； 第一查询子模块，用于查询第I路气体通道与第Ν路气体通道的配置参数是否是允许 参数permit ;若是，则调用增值子模块；若否，则调用第二查询子模块； 第二查询子模块，用于查询第I路气体通道是否已经打开；若是，则调用警报模块；若 否，则调用增值子模块； 增值子模块，用于将I的值加1，返回调用第一判断子模块。
15. 根据权利要求9所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述气体通道为刻 蚀设备的气体通道。
16. 根据权利要求9所述的工艺气体互锁的控制系统，其特征在于，所述系统，还包括： 参数值设置模块，用于在所述配置页中设置每路气体通道的参数值，所述参数值包括： 通气种类、通气量、温度、压强和/或密度。
【文档编号】G05B19/43GK104281141SQ201310279777
【公开日】2015年1月14日 申请日期:2013年7月4日 优先权日:2013年7月4日
【发明者】马平 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
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