用于主轴低速旋转的气体密封装置的制作方法
专利名称：用于主轴低速旋转的气体密封装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及气体密封技术领域，特别涉及一种用于主轴低速旋转的气体密封装置。
背景技术：
目前，在多种设备中安装有旋转主轴低速旋转的结构，同时需要有气体通过旋转主轴中间通气孔到达顶部进行工艺试验的结构。根据不同工艺的要求，通过旋转主轴的气体压力需要有一定的保证，同时如果通过旋转主轴的气体是有害气体，必须保证该气体不可外漏；比如现阶段清洗机旋转主轴就需要有氮气通过主轴中间通气孔，对晶片背面进行喷气清洁处理。但是，而现阶段类似的结构都不能够完全解决漏气问题，即使能解决漏气问题也会造成工艺环境的极度恶化。对于磁悬浮密封会在空气中产生大量金属粒子的聚集而恶化环境，对于一般的油液密封采取循环填充油液的方式保证油液的量，填充过程中有油液的泄漏和飞溅等现象出现。
实用新型内容(一)要解决的技术问题本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于主轴低速旋转的气体密封装置，以克服现有技术中主轴在低速旋转时气体在旋转处外漏的缺陷。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于主轴低速旋转的气体密封装置，包括:主轴及与其连接的轴承，所述轴承固定在通气轴承座上，其特征在于，所述轴承与所述主轴密封连接，所述轴承的内圈端面密封连接有沿所述轴承内圈圆周方向的圆环形密封环，所述通气轴承座上相应的设置有圆环形油脂槽，所述圆环形油脂槽中填充高密度油月旨，所述圆环形密封环浸入在所述油脂中并在所述驱动装置的带动下使轴承的圆环形密封环在圆环形油脂槽中转动。进一步地，所述轴承与所述主轴过渡配合或过盈配合。进一步地，所述圆环形密封环采用焊接或粘接方式与所述轴承的端部连接。进一步地，所述通气轴承座的底部设有底部通气孔。(三)有益效果本实用新型提供的用于主轴低速旋转的气体密封装置，通过在轴承的内圈端面密封连有圆环形密封环，同时在通气轴承座上设置相应的圆环形油脂槽，使得气体被阻挡在旋转防漏气腔室内；又在圆环形油脂槽中设有油脂，采用油液密封将气体彻底阻挡在旋转防漏气腔室内而无法外漏，同时通气轴承座上直接设置底部通气孔，减少了单独设计通气孔装置再与轴承座连接的过程，保证了气体密封性。因此其能有效解决主轴低速旋转的气体密封的问题，保证工艺环境的洁净。
图1为本实用新型实施例用于主轴低速旋转的气体密封装置的剖面示意图；图2为本实用新型实施例主轴的结构示意图；图3为本实用新型实施例轴承连接圆环形密封环的结构示意图；图4为本实用新型实施例通气轴承座的结构示意图；图5为图4的剖视示意图。图中，1:通气轴承座；2:轴承；3:王轴；4:圆环形 封环；5:底部通气孔；6:旋转防漏气腔室；7:圆环形油脂槽；8:主轴通气孔。
具体实施方式
以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”等指示的方位或位置关系为
基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上。参见图1-图5，该密封装置包括主轴3及与其连接的轴承2，轴承2固定在通气轴承座I上，其中，轴承2与主轴3密封连接，轴承2的内圈端面密封连接有沿轴承2内圈圆周方向的圆环形密封环4，通气轴承座I上相应的设置有圆环形油脂槽7，圆环形油脂槽7中填充油脂，圆环形密封环4可在驱动装置带动下使轴承2上面的圆环形密封环4在圆环形油脂槽7中转动。轴承2由内圈、外圈以及中间的滚珠组成，滚珠会导致漏气，因此将圆环形密封环4设在轴承2的内圈端面。其中，主轴3的中央设有主轴通气孔8，通气轴承座I的底部设有底部通气孔5，气体从底部通气孔5进入该密封装置，然后通过主轴3上的主轴通气孔8到达主轴3的顶部进行工艺。在通气轴承座I的圆环形油脂槽7中填充适量的油脂，将密封连接的主轴3与轴承2固定在通气轴承座I上，此时圆环形密封环4正好位于圆环形油脂槽7中，此时由圆环形密封环4浸入到圆环形油脂槽7中而形成了一个旋转防漏气腔室6，利用轴承2与主轴3的配合可以使主轴3能够顺畅转动，同时由于是低速转动且油脂的密度很大，不会产生油液飞溅的现象。同时，底部通气孔5设计在通气轴承座I上面，既形成一体的通气轴承座1，避免了单独设计通气孔装置，减少了通气孔装置与轴承座连接的一个环节，可以更加有效的防止漏气现象出现。并且由于没有油液的飞溅以及循环填充油液时油液泄漏的现象出现，以及像磁流体密封中产生的大量金属粒子聚集的现象出现，因而保证了在低速旋转过程中该装置所在的工艺环境的洁净。此时对于除上下通气孔的位置，中间的旋转防漏气腔室6为封闭状态，油脂密封又保证不会有气体泄漏，因而达到了最佳的密封效果。其中，主轴3与轴承2密封配合，保证了旋转主轴3与轴承2之间没有间隙，是紧密配合的。防止气体从主轴3与轴承2的配合处漏出，同时保证主轴3的旋转顺畅以及主轴3与轴承2的同轴度。其中，轴承2内圈底部的圆环形密封环4，可采用粘接或焊接方式与轴承2的内圈端面连接，例如无缝焊接方式。从工艺和实现的效果角度来讲，采用焊接方式较好。当然也可以采用佩带密封圈的机械连接方式将圆环形密封环4与轴承2的内圈端面连接，例如，在圆环形密封环4和轴承2之间设置密封圈，再采用螺钉连接方式将圆环形密封环4、轴承2和密封圈连接成一个整体。无论采用哪种方式都可以保证轴承2和圆环形密封环4之间没有缝隙，从而保证了气体的密封性，使气体不能通过焊接的缝隙漏气。其中，圆环形密封环4浸入到密封油脂中。密封油脂为高密度油脂，其性能可以根据具体工艺需求选定，其性能为优良的高低温性、热稳定性和化学安定性，耐水密封性，良好的润滑性能和粘附性能，其在高温下稠度变化小，本身粘稠度大。采用高密度油脂密封，使气体不能通过圆环形密封环4与圆环形油脂槽7的缝隙漏出，对保证气压稳定以及防止有害气体的外漏有很好的效果；同时低速旋转的主轴3端部的圆环形密封环4在填充了适量高密度油脂的圆环形油脂槽7内旋转时，油脂不仅达到密封气体的作用，并且不会产生油液飞溅的现象，也不会产生大量杂质和油液对工艺环境造成破坏，保证了该装置所在的工艺环境的的洁净。该密封装置采用主轴3与轴承2的密封配合的方式如过渡配合或过盈配合来防止气体外漏；并且采用密封焊接或粘贴或佩带密封圈的机械连接，保证气体不能通过连接处的缝隙漏出；同时采用圆环形密封环浸入高密度油脂中的方式达到防漏气的目的；并且通气轴承座上直接设置底部通气孔，减少了单独设计通气孔装置再与轴承座连接的过程，保证了气体密封性。因此，本实用新型成功解决了主轴3低速旋转气体密封的问题，并且保证该装置所在的工艺环境的洁净。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种用于主轴低速旋转的气体密封装置，包括:主轴及与其连接的轴承，所述轴承固定在通气轴承座上，其特征在于，所述轴承与所述主轴密封连接，所述轴承的内圈端面密封连接有沿所述轴承内圈圆周方向的圆环形密封环，所述通气轴承座上相应的设置有圆环形油脂槽，所述圆环形油脂槽中填充油脂，所述圆环形密封环浸入在所述油脂中并在驱动装置的带动下使圆环形密封环在圆环形油脂槽中转动。
2.如权利要求1所述的用于主轴低速旋转的气体密封装置，其特征在于，所述轴承与所述主轴过渡配合或过盈配合。
3.如权利要求1所述的用于主轴低速旋转的气体密封装置，其特征在于，所述圆环形密封环采用焊接或粘接方式与所述轴承的内圈端面连接。
4.如权利要求1所述的用于主轴低速旋转的气体密封装置，其特征在于，所述通气轴承座的底部设有底部通气孔。
专利摘要本实用新型涉及气体密封技术领域，特别涉及一种用于主轴低速旋转的气体密封装置。该装置包括主轴及与其连接的轴承，所述轴承固定在通气轴承座上，所述轴承与所述主轴密封连接，所述轴承的内圈端面密封连接有沿所述轴承内圈圆周方向的圆环形密封环，所述通气轴承座上相应的设置有圆环形油脂槽，所述圆环形油脂槽中填充油脂，所述圆环形密封环浸入在所述油脂中并在驱动装置的带动下使圆环形密封环在圆环形油脂槽中转动。本实用新型提供一种用于主轴低速旋转的气体密封装置，其能够有效解决主轴低速旋转的气体密封的问题，保证不漏气；并且不会产生大量杂质和油液对工艺环境造成破坏，保证工艺环境的洁净。
文档编号F16C33/76GK203009595SQ201220634038
公开日2013年6月19日 申请日期2012年11月26日 优先权日2012年11月26日
发明者王浩 申请人:北京七星华创电子股份有限公司
技术领域：
本实用新型涉及气体密封技术领域，特别涉及一种用于主轴低速旋转的气体密封装置。
背景技术：
目前，在多种设备中安装有旋转主轴低速旋转的结构，同时需要有气体通过旋转主轴中间通气孔到达顶部进行工艺试验的结构。根据不同工艺的要求，通过旋转主轴的气体压力需要有一定的保证，同时如果通过旋转主轴的气体是有害气体，必须保证该气体不可外漏；比如现阶段清洗机旋转主轴就需要有氮气通过主轴中间通气孔，对晶片背面进行喷气清洁处理。但是，而现阶段类似的结构都不能够完全解决漏气问题，即使能解决漏气问题也会造成工艺环境的极度恶化。对于磁悬浮密封会在空气中产生大量金属粒子的聚集而恶化环境，对于一般的油液密封采取循环填充油液的方式保证油液的量，填充过程中有油液的泄漏和飞溅等现象出现。
实用新型内容(一)要解决的技术问题本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于主轴低速旋转的气体密封装置，以克服现有技术中主轴在低速旋转时气体在旋转处外漏的缺陷。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于主轴低速旋转的气体密封装置，包括:主轴及与其连接的轴承，所述轴承固定在通气轴承座上，其特征在于，所述轴承与所述主轴密封连接，所述轴承的内圈端面密封连接有沿所述轴承内圈圆周方向的圆环形密封环，所述通气轴承座上相应的设置有圆环形油脂槽，所述圆环形油脂槽中填充高密度油月旨，所述圆环形密封环浸入在所述油脂中并在所述驱动装置的带动下使轴承的圆环形密封环在圆环形油脂槽中转动。进一步地，所述轴承与所述主轴过渡配合或过盈配合。进一步地，所述圆环形密封环采用焊接或粘接方式与所述轴承的端部连接。进一步地，所述通气轴承座的底部设有底部通气孔。(三)有益效果本实用新型提供的用于主轴低速旋转的气体密封装置，通过在轴承的内圈端面密封连有圆环形密封环，同时在通气轴承座上设置相应的圆环形油脂槽，使得气体被阻挡在旋转防漏气腔室内；又在圆环形油脂槽中设有油脂，采用油液密封将气体彻底阻挡在旋转防漏气腔室内而无法外漏，同时通气轴承座上直接设置底部通气孔，减少了单独设计通气孔装置再与轴承座连接的过程，保证了气体密封性。因此其能有效解决主轴低速旋转的气体密封的问题，保证工艺环境的洁净。
图1为本实用新型实施例用于主轴低速旋转的气体密封装置的剖面示意图；图2为本实用新型实施例主轴的结构示意图；图3为本实用新型实施例轴承连接圆环形密封环的结构示意图；图4为本实用新型实施例通气轴承座的结构示意图；图5为图4的剖视示意图。图中，1:通气轴承座；2:轴承；3:王轴；4:圆环形 封环；5:底部通气孔；6:旋转防漏气腔室；7:圆环形油脂槽；8:主轴通气孔。
具体实施方式
以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”等指示的方位或位置关系为
基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上。参见图1-图5，该密封装置包括主轴3及与其连接的轴承2，轴承2固定在通气轴承座I上，其中，轴承2与主轴3密封连接，轴承2的内圈端面密封连接有沿轴承2内圈圆周方向的圆环形密封环4，通气轴承座I上相应的设置有圆环形油脂槽7，圆环形油脂槽7中填充油脂，圆环形密封环4可在驱动装置带动下使轴承2上面的圆环形密封环4在圆环形油脂槽7中转动。轴承2由内圈、外圈以及中间的滚珠组成，滚珠会导致漏气，因此将圆环形密封环4设在轴承2的内圈端面。其中，主轴3的中央设有主轴通气孔8，通气轴承座I的底部设有底部通气孔5，气体从底部通气孔5进入该密封装置，然后通过主轴3上的主轴通气孔8到达主轴3的顶部进行工艺。在通气轴承座I的圆环形油脂槽7中填充适量的油脂，将密封连接的主轴3与轴承2固定在通气轴承座I上，此时圆环形密封环4正好位于圆环形油脂槽7中，此时由圆环形密封环4浸入到圆环形油脂槽7中而形成了一个旋转防漏气腔室6，利用轴承2与主轴3的配合可以使主轴3能够顺畅转动，同时由于是低速转动且油脂的密度很大，不会产生油液飞溅的现象。同时，底部通气孔5设计在通气轴承座I上面，既形成一体的通气轴承座1，避免了单独设计通气孔装置，减少了通气孔装置与轴承座连接的一个环节，可以更加有效的防止漏气现象出现。并且由于没有油液的飞溅以及循环填充油液时油液泄漏的现象出现，以及像磁流体密封中产生的大量金属粒子聚集的现象出现，因而保证了在低速旋转过程中该装置所在的工艺环境的洁净。此时对于除上下通气孔的位置，中间的旋转防漏气腔室6为封闭状态，油脂密封又保证不会有气体泄漏，因而达到了最佳的密封效果。其中，主轴3与轴承2密封配合，保证了旋转主轴3与轴承2之间没有间隙，是紧密配合的。防止气体从主轴3与轴承2的配合处漏出，同时保证主轴3的旋转顺畅以及主轴3与轴承2的同轴度。其中，轴承2内圈底部的圆环形密封环4，可采用粘接或焊接方式与轴承2的内圈端面连接，例如无缝焊接方式。从工艺和实现的效果角度来讲，采用焊接方式较好。当然也可以采用佩带密封圈的机械连接方式将圆环形密封环4与轴承2的内圈端面连接，例如，在圆环形密封环4和轴承2之间设置密封圈，再采用螺钉连接方式将圆环形密封环4、轴承2和密封圈连接成一个整体。无论采用哪种方式都可以保证轴承2和圆环形密封环4之间没有缝隙，从而保证了气体的密封性，使气体不能通过焊接的缝隙漏气。其中，圆环形密封环4浸入到密封油脂中。密封油脂为高密度油脂，其性能可以根据具体工艺需求选定，其性能为优良的高低温性、热稳定性和化学安定性，耐水密封性，良好的润滑性能和粘附性能，其在高温下稠度变化小，本身粘稠度大。采用高密度油脂密封，使气体不能通过圆环形密封环4与圆环形油脂槽7的缝隙漏出，对保证气压稳定以及防止有害气体的外漏有很好的效果；同时低速旋转的主轴3端部的圆环形密封环4在填充了适量高密度油脂的圆环形油脂槽7内旋转时，油脂不仅达到密封气体的作用，并且不会产生油液飞溅的现象，也不会产生大量杂质和油液对工艺环境造成破坏，保证了该装置所在的工艺环境的的洁净。该密封装置采用主轴3与轴承2的密封配合的方式如过渡配合或过盈配合来防止气体外漏；并且采用密封焊接或粘贴或佩带密封圈的机械连接，保证气体不能通过连接处的缝隙漏出；同时采用圆环形密封环浸入高密度油脂中的方式达到防漏气的目的；并且通气轴承座上直接设置底部通气孔，减少了单独设计通气孔装置再与轴承座连接的过程，保证了气体密封性。因此，本实用新型成功解决了主轴3低速旋转气体密封的问题，并且保证该装置所在的工艺环境的洁净。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种用于主轴低速旋转的气体密封装置，包括:主轴及与其连接的轴承，所述轴承固定在通气轴承座上，其特征在于，所述轴承与所述主轴密封连接，所述轴承的内圈端面密封连接有沿所述轴承内圈圆周方向的圆环形密封环，所述通气轴承座上相应的设置有圆环形油脂槽，所述圆环形油脂槽中填充油脂，所述圆环形密封环浸入在所述油脂中并在驱动装置的带动下使圆环形密封环在圆环形油脂槽中转动。
2.如权利要求1所述的用于主轴低速旋转的气体密封装置，其特征在于，所述轴承与所述主轴过渡配合或过盈配合。
3.如权利要求1所述的用于主轴低速旋转的气体密封装置，其特征在于，所述圆环形密封环采用焊接或粘接方式与所述轴承的内圈端面连接。
4.如权利要求1所述的用于主轴低速旋转的气体密封装置，其特征在于，所述通气轴承座的底部设有底部通气孔。
专利摘要本实用新型涉及气体密封技术领域，特别涉及一种用于主轴低速旋转的气体密封装置。该装置包括主轴及与其连接的轴承，所述轴承固定在通气轴承座上，所述轴承与所述主轴密封连接，所述轴承的内圈端面密封连接有沿所述轴承内圈圆周方向的圆环形密封环，所述通气轴承座上相应的设置有圆环形油脂槽，所述圆环形油脂槽中填充油脂，所述圆环形密封环浸入在所述油脂中并在驱动装置的带动下使圆环形密封环在圆环形油脂槽中转动。本实用新型提供一种用于主轴低速旋转的气体密封装置，其能够有效解决主轴低速旋转的气体密封的问题，保证不漏气；并且不会产生大量杂质和油液对工艺环境造成破坏，保证工艺环境的洁净。
文档编号F16C33/76GK203009595SQ201220634038
公开日2013年6月19日 申请日期2012年11月26日 优先权日2012年11月26日
发明者王浩 申请人:北京七星华创电子股份有限公司
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