玻璃层叠体、带支撑体的显示装置用面板及它们的制造方法
专利名称：玻璃层叠体、带支撑体的显示装置用面板及它们的制造方法
技术领域：
本发明涉及液晶显示装置、有机EL显示装置等中使用的包含玻璃基板的玻璃层 叠体、包含该玻璃层叠体的带支撑体的显示装置用面板、使用带支撑体的该面板形成的显 示装置用面板以及含有该显示装置用面板的显示装置以及玻璃层叠体和显示装置用面板 的制造方法。
背景技术：
在液晶显示装置(LCD)、有机EL显示装置(OLED)、特别是移动电话或手机等便携 型显示装置的领域中，显示装置的轻量化、薄型化是重要的课题。为了应对该课题，希望使显示装置中使用的玻璃基板的板厚度进一步变薄。作为 使板厚度变薄的方法，一般进行的有如下方法在玻璃基板的表面上形成显示装置用构件 之前或者之后，使用氢氟酸等对玻璃基板进行腐蚀处理，根据需要再进行物理研磨使其变薄。但是，在玻璃基板表面形成显示装置用构件之前通过进行腐蚀处理等将玻璃基板 变薄时，玻璃基板的强度下降，挠曲量也增大。因此，产生通过现有生产线不能处理的问题。另外，在玻璃基板表面形成显示装置用构件之后通过进行腐蚀处理等将玻璃基板 变薄时，在玻璃基板表面形成显示装置用构件的过程中，产生在玻璃基板表面上形成的微 小划痕变得明显的问题，即产生蚀坑的问题。因此，为了解决这样的问题，提出如下方法等将板厚薄的玻璃基板(以下也称为 “薄板玻璃基板”)与另一玻璃基板(以下也称为“支撑玻璃基板”)贴合形成层叠体，在该 状态下实施用于制造显示装置的预定处理，之后将薄板玻璃基板与支撑玻璃基板分离。例如，在专利文献1中，记载了如下方法将制品用的玻璃基板与加强用玻璃基板 利用玻璃基板相互的静电吸附力或真空吸附力粘合而一体化，制造使用了制品用玻璃基板 的显示装置。例如，在专利文献2中，记载了如下液晶显示装置的制造方法用玻璃粉类胶粘剂 将液晶显示装置的基板与支撑体的端部胶粘，之后形成电极图案等。例如，在专利文献3中，记载了具有对两个玻璃基板的至少周缘部的端面附近照 射激光而使所述两个玻璃基板熔合的工序的显示装置用基板的制造方法。例如，在专利文献4中，记载了如下所述的液晶显示装置的制造方法将基板粘贴 到在支撑体上设置有粘合材料层的基板运送用夹具上并通过液晶显示元件的制造工序输 送基板运送用夹具，从而对粘贴在基板运送用夹具上的基板依次进行液晶显示元件形成处 理，结束预定工序后，将基板从基板运送用夹具上剥离。例如，在专利文献5中，记载了一种液晶显示元件的制造方法，其特征在于，使用 在支撑体上设置有紫外线固化型粘合剂的夹具对液晶显示元件用电极基板进行预定的加 工，然后对紫外线固化型粘合剂照射紫外线，由此降低所述紫外线固化型粘合剂的粘合力，将所述液晶显示元件用电极基板从所述夹具上剥离。例如，在专利文献6中，记载了如下运送方法利用粘合材料将薄板暂时固定在支 撑板上，用密封材料将所述粘合材料的周缘部密封，并运送暂时固定有薄板的支撑板。例如，在专利文献7中，记载了一种薄板玻璃层叠体，由薄板玻璃基板与支撑玻璃 基板层叠而构成，其特征在于，所述薄板玻璃与所述支撑玻璃通过具有易剥离性和非粘合 性的有机硅树脂层层叠。而且，为了将薄板玻璃基板与支撑玻璃基板分离，施加沿垂直方 向将薄板玻璃基板从支撑玻璃基板拉开的力即可，用剃刀的刀刃等在端部设置剥离的起始 点，或者将空气注入层叠的界面，可以更容易地进行剥离。另外，在专利文献8中，记载了预 先使用剥离纸用有机硅将保护玻璃基板与TFT阵列基板层叠，组装显示装置后将保护玻璃
基板剥离。
现有技术文献
专利文献
专利文献1日本特开2000-241804号公报
专利文献2日本特开昭58-54316号公报
专利文献3日本特开2003-216068号公报
专利文献4日本特开平8-86993号公报
专利文献5日本特开平9-105896号公报
专利文献6日本特开2000-252342号公报
专利文献7国际公开第2007/018028号小册子
专利文献8国际公开第2008/007622号小册子
发明内容
但是，专利文献1中记载的利用静电吸引力或真空吸引力将玻璃基板之间固定的 方法、专利文献2中记载的使用玻璃粉将玻璃基板的两端固定的方法、或者专利文献3中 记载的对周缘部的端面附近照射激光而将两个玻璃基板熔合的方法中，使玻璃基板相互密 合。即，以玻璃基板之间不存在其它层的方式层叠密合。因此，由于混入到玻璃基板间的气 泡或尘埃等异物而容易在玻璃基板上产生歪斜缺陷，因此，难以得到表面平滑的玻璃基板 层叠体。另外，专利文献4 6中记载的在玻璃基板间配置粘合剂层等的方法中，尽管能 够避免上述这样的由于玻璃基板间混入气泡等而产生歪斜缺陷，但是难以将两玻璃基板分 离，分离时薄板玻璃基板可能破损。另外，也存在向分离后的薄板玻璃基板上残留粘合剂的 问题。与此相对，根据专利文献7所记载的薄板玻璃层叠体，难以产生上述这样的由于 玻璃基板间混入气泡等而产生歪斜缺陷。另外，也可以将薄板玻璃基板与支撑玻璃基板剥 离。另外，向分离后的薄板玻璃基板上的粘合剂残留问题也得到解决。但是，希望两玻璃基板的分离更容易且在更短时间内进行。特别是玻璃基板为大 型的情况下，这是工业应用上很重要的一点。另外，专利文献7所记载的薄板玻璃层压体，在高真空下进行热处理时，有时产 生从薄板玻璃基板与支撑玻璃基板之间的有机硅树脂层产生微量气体。当在约100 约
5350°C的比较低的温度下进行热处理时也能够产生该气体。产生该气体时，具有污染真空处 理工程设备等问题，因此不优选。另外，热处理温度更高例如超过约400°C时，有时在有机硅树脂层的端部与外部空 气接触的部分产生氧化而劣化。这样的话，与薄板玻璃基板的易剥离性丧失，可能进而与支 撑玻璃基板剥离。另外，有机硅树脂层由于氧化而白化，有可能产生粉状的SiO2而污染热 处理工程设备等。另外，树脂层这样劣化时，难以将与薄板玻璃基板分离后的带有树脂层的 支撑玻璃基板作为支撑体与另一薄板玻璃基板粘贴后再利用。本发明鉴于上述问题而做出。即，本发明的目的在于提供一种玻璃层叠体，能够抑 制由于玻璃基板间混入气泡或尘埃等异物而产生玻璃缺陷，能够在不产生蚀坑的情况下利 用现有的生产线进行处理，能够容易地将密合后的薄板玻璃基板与树脂层分离。另外，本发明的目的在于提供将高真空下的热处理时的气体的产生抑制到极微量 的玻璃层叠体。另外，本发明的目的在于提供即使热处理温度为比较高的温度(超过约400°C )， 薄板玻璃基板与支撑玻璃基板间的树脂层也难以氧化、难以劣化的玻璃层叠体。另外，本发明的目的在于提供包含这样的玻璃层叠体的带有支撑体的显示装置用 面板。另外，本发明的目的在于提供利用这样的带有支撑体的显示装置用面板形成的显示 装置用面板和显示装置。另外，本发明的目的在于提供所述玻璃层叠体或所述带有支撑体 的显示装置用面板的制造方法。本发明人为了解决上述问题反复进行了精心研究，结果完成了本发明。本发明涉及以下(1) (14)。(1) 一种玻璃层叠体，包含具有第一主面和第二主面的薄板玻璃基板，具有第一主面和第二主面的支撑玻璃基板，和配置在所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板之间的树脂层和外框层，所述树脂层固定在所述支撑玻璃基板的第一主面，具备对所述薄板玻璃基板的第 一主面的易剥离性，并且与所述薄板玻璃基板的第一主面密合，所述外框层位于所述支撑玻璃基板的第一主面，并且以所述树脂层与外部空气不 接触的方式包围所述树脂层。(2)如上述(1)所述的玻璃层叠体，其中，所述树脂层的端面与所述外框层的端面的至少一部分接触。(3)如上述⑴或⑵所述的玻璃层叠体，其中，所述薄板玻璃基板为TFT阵列用玻璃基板。(4)如上述(1)至(3)中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述外框层包含5%热失重温度为400°C以上的材料。(5)如上述(1)至(4)中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述外框层包含选自由聚酰亚胺树脂、有机硅树脂和无机材料组成的组中的至少 一种材料。(6)如上述(1)至(5)中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述树脂层包含选自由丙烯酸类树脂、聚烯烃类树脂、聚氨酯树脂和有机硅树脂组成的组中的至少一种材料。(7)如上述(1)至(6)中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述外框层的宽度为0. 5 10mm。(8) 一种带支撑体的显示装置用面板，其中，在上述(3)至(7)中任一项所述的玻璃层叠体中的所述薄板玻璃基板的第二主面 上，还具有TFT阵列。(9) 一种显示装置用面板，其使用上述(8)所述的带支撑体的显示装置用面板来 形成。(10) 一种显示装置，其具有上述(9)所述的显示装置用面板。(11) 一种玻璃层叠体的制造方法，制造上述(1)至(7)中任一项所述的玻璃层叠 体，其包括以下工序在所述支撑玻璃基板的第一主面上的内侧区域形成并固定所述树脂层的树脂层 形成工序，在所述支撑玻璃基板的第一主面上的外侧区域形成并固定所述外框层的外框层 形成工序，和将所述薄板玻璃基板的第一主面与所述树脂层和所述外框层密合的密合工序。(12) 一种带支撑体的显示装置用面板的制造方法，其中，上述(11)所述的玻璃层叠体的制造方法还包括在所得到的玻璃层叠体中的所述 薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用构件的工序。(13) 一种显示装置用面板的制造方法，其中，上述(12)所述的制造方法还包括将所得到的带支撑体的显示装置用面板中的所 述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板分离的分离工序。(14)如上述(13)所述的显示装置用面板的制造方法，其中，所述分离工序是通过对所述外框层照射激光而将所述薄板玻璃基板与所述支撑 玻璃基板分离的工序。发明效果根据本发明，可以提供一种玻璃层叠体，其能够抑制由于玻璃基板间混入气泡或 尘埃等异物而产生玻璃缺陷，能够在不产生蚀坑的情况下利用现有的生产线进行处理，能 够容易地将密合了的薄板玻璃基板与树脂层分离。另外，可以提供将高真空下的热处理时的气体产生抑制到极微量的玻璃层叠体。另外，通过形成优选的方式，可以提供即使热处理温度为比较高的温度(超过约 4000C )，薄板玻璃基板与支撑玻璃基板间的树脂层也难以氧化、难以劣化的玻璃层叠体。另外，可以提供包含这样的玻璃层叠体的带有支撑体的显示装置用面板。另外，可 以提供利用这样的带有支撑体的显示装置用面板形成的显示装置。另外，可以提供所述玻 璃层叠体或所述带有支撑体的显示装置用面板的制造方法。
图1是表示本发明的层叠体的一个实施方式的概略主视图。图2是表示本发明的层叠体的一个实施方式的概略剖视图。
图3是表示本发明的层叠体的另一个实施方式的概略主视图。图4是表示本发明的层叠体的另一个实施方式的概略剖视图。图5是用于说明将本发明的层叠体的支撑玻璃基板剥离的方法的概略剖视图。标号说明10、20、50玻璃层叠体(本发明的层叠体)12、22、52薄板玻璃基板14、24、54 树脂层14 α、24 α树脂层的端面16、26、56 外框层16 α外框层的端面27 片材27 α片材的端面18、28、58支撑玻璃基板51 平台
具体实施例方式对本发明进行说明。本发明涉及一种玻璃层叠体，其包含具有第一主面和第二主面的薄板玻璃基板， 具有第一主面和第二主面的支撑玻璃基板，和配置在所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基 板之间的树脂层和外框层，所述树脂层固定在所述支撑玻璃基板的第一主面，具备对所述 薄板玻璃基板的第一主面的易剥离性，并且与所述薄板玻璃基板的第一主面密合，所述外 框层位于所述支撑玻璃基板的第一主面上，并且以所述树脂层与外部空气不接触的方式包 围所述树脂层。这样的玻璃层叠体，以下也称为“本发明的层叠体”。首先，使用图1和图2对本发明的层叠体的形态进行说明。图1是表示本发明的层叠体的一个实施方式的概略主视图，图2是其Α-Α’剖视图 (概略剖视图)。以下，也将该实施方式称为“实施方式1”。该实施方式1中，本发明的层叠体10具有薄板玻璃基板12、树脂层14、外框层16 和支撑玻璃基板18。而且，如图2所示，薄板玻璃基板12与支撑玻璃基板18夹着树脂层 14和外框层16而层叠。另外，如图1所示，从正面观察时，薄板玻璃基板12、树脂层14和支撑玻璃基板18 各自为矩形，薄板玻璃基板12的主面面积大于树脂层14的主面面积，但是比支撑玻璃基板 18的主面面积稍小。另外，从正面观察时，薄板玻璃基板12以包含在支撑玻璃基板18的内 侧的方式设置，树脂层14和外框层16以包含在薄板玻璃基板12的内侧的方式设置。另外，如图1所示，从正面观察时，外框层16以包围树脂层14的外侧的框的方式 存在于薄板玻璃基板12的外缘附近(外侧区域)。另外，如图2所示，外框层16固定于薄 板玻璃基板12的第一主面和支撑玻璃基板18的第一主面。因此，在外框层16的内侧存在 的树脂层14不接触外部空气。不存在外框层16的情况下，树脂层14的端面14 α与外部
8空气接触。另外，从正面观察时，TFT阵列等在外框层的内侧形成，并且需要TFT阵列等与 外框层的形成区域重叠而无法观察到。相反地，从正面观察，需要在相当于薄板玻璃基板的 第二主面中除去形成TFT阵列等的有效区域以外的区域的薄板玻璃基板的第一主面上形 成外框层。这是因为可以防止因后述的激光照射导致TFT阵列等破损。另外，本发明的层叠体10中，树脂层14固定于支撑玻璃基板18的第一主面上，具 有对作为薄板玻璃基板12的一侧的主面的第一主面的易剥离性，并且与薄板玻璃基板12 的第一主面密合。另外，在实施方式1的本发明层叠体10中，树脂层14的端面14α与外框层16的 内侧的端面16 α接触。这样的实施方式1的玻璃层叠体在热处理时难以产生气体。这是因为由于存在外 框层16，使得从树脂层14产生的气体未散发到外部。另外，如果是后述的优选方式，即使热 处理温度为比较高的温度(超过约400°C )，薄板玻璃基板与支撑玻璃基板间的树脂层也难 以氧化、难以劣化。因为外框层16将外部空气与树脂层14的端面14 α的接触阻断。以下，对本发明的层叠体具有的薄板玻璃基板、支撑玻璃基板、树脂层及外框层分 别进行说明。对薄板玻璃基板进行说明。薄板玻璃基板的厚度、形状、大小、物性(热收缩率、表面形状、耐化学品性等)、组 成等没有特别限制，例如，可以与现有的LCD、OLED等显示装置用的玻璃基板同样。所述薄板玻璃基板优选为TFT阵列用玻璃基板。薄板玻璃基板的厚度优选小于0. 7mm，更优选0. 5mm以下，进一步优选0. 4mm以下。 另外，优选为0. 05mm以上，更优选0. 07mm以上，进一步优选0. Imm以上。薄板玻璃的形状没有限制，优选为矩形。薄板玻璃的大小没有限定，例如，矩形的情况下可以为100 2000mmX100 2000mm，更优选为 500 IOOOmmX 500 1000mm。另外，薄板玻璃的厚度是指通过使用激光聚焦位移计来测定面内9个点的值的平 均值来表示，大小是指使用钢尺分别计测短边和长边得到的值。后述的支撑玻璃基板的厚 度和大小也同样。即使是这样的厚度和大小，本发明的层叠体也可以容易地将薄板玻璃基板与支撑 玻璃基板分离。薄板玻璃基板的热收缩率、表面形状、耐化学品性等特性也没有特别限制，根据制 造的显示装置的种类而不同。另外，优选所述薄板玻璃基板的热收缩率较小。具体而言，优选使用热收缩率指标 即线膨胀系数为500X10_7°C以下的薄板玻璃基板。所述线膨胀系数更优选为300X 10_7°c以下，更优选200X 10_7°C以下，更优选 100X10-7/oC以下，进一步优选45X 10_7°c以下。理由是热收缩率大时不能制造高清晰度 的显示装置。另外，本发明中，线膨胀系数是指根据JIS R3102(1995年)规定的线膨胀系数。薄板玻璃基板的组成可以与例如碱性玻璃或无碱玻璃同样。其中，优选热收缩率 小的无碱玻璃。
对支撑玻璃基板进行说明。支撑玻璃基板经由树脂层支撑薄板玻璃基板，并增强薄板玻璃基板的强度。支撑玻璃基板的厚度、形状、大小、物性(热收缩率、表面形状、耐化学品性等)、组 成等没有特别限制。支撑玻璃基板的厚度没有特别限制，优选为能够由现有的生产线进行处理的厚度。例如，厚度优选为0. 1 1. 1mm，更优选0.3 0.8mm，进一步优选0.4 0.7mm。例如，现有生产线设计为处理厚度0. 5mm的基板，当薄板玻璃基板的厚度为0. Imm 时，支撑玻璃基板的厚度与树脂层的厚度之和为0. 4mm。另外，现有的生产线最普遍的是设 计为处理厚度0. 7mm的玻璃基板，例如如果薄板玻璃基板的厚度为0. 4mm，则支撑玻璃基板 的厚度与树脂层的厚度之和为0. 3mm。 支撑玻璃基板的厚度优选比所述薄板玻璃基板厚。支撑玻璃基板的形状没有限定，优选为矩形。支撑玻璃基板的大小没有限定，优选为与所述薄板玻璃基板相同程度，优选比所 述玻璃基板稍大(纵向或横向分别为大约0. 05 约IOmm的尺寸)。理由是容易保护所述 薄板玻璃基板的端部免于接触显示装置用面板制造时的定位销等对准装置，并且可以更容 易地进行薄板玻璃基板与支撑玻璃基板的剥离。支撑玻璃基板的线膨胀系数可以与所述薄板玻璃基板实质上相同，也可以不同。 如果实质上相同，则对本发明的层叠体进行热处理时，薄板玻璃基板或支撑玻璃基板难以 产生翘曲，从该方面考虑优选。薄板玻璃基板与支撑玻璃基板的线膨胀系数之差优选为300 X 10_7°C以下，更优 选100 X10—7°C以下，进一步优选50 X10—7°c以下。支撑玻璃基板的组成可以与例如碱性玻璃、无碱玻璃同样。其中，优选热收缩率小 的无碱玻璃。对树脂层进行说明。本发明的层叠体中，树脂层固定于所述支撑玻璃基板的第一主面上。而且，虽然树脂层与所述薄板玻璃基板的第一主面密合，但可以容易地剥离。艮口， 树脂层具有对所述薄板玻璃基板的易剥离性。本发明的层叠体中，认为树脂层与薄板玻璃基板不会由粘合剂所具有的粘合力粘 附，认为通过因固体分子间的范德华力引起的力、即粘附力(密着力)粘附。树脂层的厚度没有特别限制，优选为1 ΙΟΟμπι，更优选5 30μπι，进一步优选 7 20 μ m。这是因为树脂层的厚度为这样的范围时，薄板玻璃基板与树脂层的密合充分。另外，因为即使夹有气泡或异物也可以抑制薄板玻璃基板产生歪斜缺陷。另外，树 脂层的厚度过厚时，由于形成树脂层花费时间并且需要材料，因此不经济。在此，树脂层的厚度是指使用激光聚焦位移计测定面内9点得到的值的平均值。 后述的外框层的厚度也同样。另外，树脂层也可以由两层以上构成。此时，“树脂层的厚度”是指全部层的总计厚度。另外，树脂层由两层以上构成时，形成各层的树脂的种类可以不同。
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对后述的外框层也同样。对于树脂层，优选树脂层的表面相对于所述薄板玻璃基板的第一主面的表面张力 为30mN/m以下，更优选25mN/m以下，进一步优选22mN/m以下。如果是这样的表面张力，则 可以更容易地与薄板玻璃基板剥离，同时与薄板玻璃基板的密合也充分。另外，树脂层优选包含玻璃化转变点比室温(约25°C )低的材料或不具备玻璃化 转变点的材料。这是因为能够形成为非粘合性的树脂层，具有更易剥离性，能够更容易地与 薄板玻璃基板剥离，同时与薄板玻璃基板的密合性也充分。另外，树脂层优选具有耐热性。这是因为在本发明的面板制造方法中，例如，在所 述薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用构件的情况下，可以将具有树脂层的玻璃层 叠体进行热处理。另外，树脂层的弹性模量过高时，与薄板玻璃基板的密合性下降，因此不优选。另 外，弹性模量过低时，易剥离性下降，因此不优选。形成树脂层的树脂种类没有特别限制。例如，可以列举丙烯酸类树脂、聚烯烃类树 脂、聚氨酯树脂及有机硅树脂。可以将两种树脂混合使用。其中，优选有机硅树脂。这是因 为有机硅树脂耐热性优良，并且对薄板玻璃基板的易剥离性优良。有机硅树脂层例如即使 在约400°C下处理约1小时，易剥离性也基本不劣化，因此优选。另外，因为有机硅树脂与支 撑玻璃基板表面的硅醇基发生缩合反应，因此容易将有机硅树脂层固定到支撑玻璃基板的 表面(第一主面)。另外，树脂层优选包含有机硅树脂中的剥离纸用有机硅，优选为其固化物。剥离纸 用有机硅以分子内含有直链状的二甲基聚硅氧烷的有机硅为基础成分。对于使用催化剂、 光聚合引发剂等将含有该基础成分和交联剂的组合物在所述支撑玻璃基板的表面(第一 主面)固化而形成的树脂层，由于具有优良的易剥离性，因此优选。另外，由于柔软性高，因 此即使在薄板玻璃基板与树脂层之间混入气泡或尘埃等异物，也可以抑制薄板玻璃基板产 生歪斜缺陷，因此优选。这样的剥离纸用有机硅，根据其固化机构分类为缩合反应型有机硅、加成反应型 有机硅、紫外线固化型有机硅和电子射线固化型有机硅，可以使用任何一种。其中，优选加 成反应型有机硅。因为固化反应容易，形成树脂层时易剥离性的程度良好，耐热性也高。另外，剥离纸用有机硅在形式上有溶剂型、乳液型和无溶剂型，可以使用任何一种 类型。其中，优选无溶剂型。因为生产性、安全性、环境特性方面优良。另外，由于不含有在 形成树脂层时的固化时、即加热固化、紫外线固化或电子射线固化时产生气泡的溶剂，因此 树脂层中难以残留气泡。另外，作为剥离纸用有机硅，具体而言作为市售的商品名或型号可以列举 KNS-320A、KS-847 (均为信越有机硅公司制造)、TPR6700 (GE东芝有机硅公司制造)、乙烯基 有机硅“8500”(荒川化学工业株式会社制造)与甲基氢聚硅氧烷“12031”(荒川化学工业 株式会社制造)的组合、乙烯基有机硅“11364”(荒川化学工业株式会社制造)与甲基氢 聚硅氧烷“12031”(荒川化学工业株式会社制造)的组合、乙烯基有机硅“11365”(荒川化 学工业株式会社制造)与甲基氢聚硅氧烷“12031”(荒川化学工业株式会社制造)的组合等。另外，KNS-320A、KS-847和TPR6700，是预先含有基础成分和交联剂的有机硅。
另外，对于形成树脂层的有机硅树脂，优选具有有机硅树脂层中的成分不向薄板 基板迁移的性质、即低有机硅迁移性。对外框层进行说明。外框层为带状，在所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板之间夹置于两玻璃基板 之间。另外，以在所述支撑玻璃基板上包围所述树脂层的外侧的框的形式存在。另外，固定 于薄板玻璃基板和支撑玻璃基板。因此，所述树脂层难以与外部空气接触。优选所述树脂 层以完全不接触外部空气的方式形成。另外，实施方式1的本发明的层叠体10中，树脂层14的端面14α与外框层16的 内侧端面16α接触，但是也可以不接触而是在树脂层端面与外框层内侧端面之间存在空 隙。但是，优选空隙少或者几乎不存在空隙。这是因为在比较高的温度下(超过400°C)下 对本发明的层叠体进行热处理时树脂层难以氧化。外框层的宽度没有特别限制，优选0. 5 10mm，更优选1 5mm，进一步优选1. 5 3.0mm。为这样的宽度时，所述树脂层更难以与外部空气接触。另外，在将所述薄板玻璃基 板和所述支撑玻璃基板剥离时容易剥离。外框层的宽度过宽时，有可能难以剥离。例如，在 后述的优选剥离方法即照射激光的方法中，有可能剥离需要花费长时间。外框层的厚度没有特别限制。可以与所述树脂层相同，优选比所述树脂层稍厚，更 优选厚5 20 μ m。外框层比所述树脂层的厚度稍厚时，所述薄板玻璃基板、外框层、及所述 支撑玻璃基板容易密合，因此优选。另外，外框层的厚度比所述树脂层的厚度过厚时，所述 薄板玻璃基板、所述树脂层、及所述支撑玻璃基板难以密合，在本发明的层叠体的制造过程 中，有可能导致所述薄板玻璃基板或所述支撑玻璃基板的破损。所述树脂层的厚度为5 100 μ m时，外框层的厚度优选为5 120 μ m，更优选外 框层的厚度厚为5 20 μ m。外框层的材料没有特别限制，优选即使对本发明的层叠体实施用于在所述薄板玻 璃基板的第二主面上形成TFT阵列的热处理，失重率也低的材料。例如，优选在400°C下进 行了热处理时失重率为5质量％以下的材料。即，优选5%热失重温度为400°C以上的材料。 更优选该温度为425°C以上，进一步优选450°C以上。如果是这样的材料，即使对本发明的 层叠体进行加热工序，也难以产生熔融等形态变化，因此优选。5%热失重温度是指在混合空气气流下每分钟升温10°C且试样的质量达到初始试 样质量的95%时的温度。外框层材料的具体例子可以列举例如聚酰亚胺树脂、有机硅树脂、无机材料。可以 是将这些材料中的两种以上混合而得到的材料。优选选自由聚酰亚胺树脂、有机硅树脂和 无机材料组成的组中的至少一种且5%热失重温度为400°C以上的材料。在此，作为有机硅树脂，可以例示直链状、梯形或笼形有机硅树脂。其中，优选梯形 或笼形有机硅树脂。这是因为耐热性高。另外，可以是具有烷基或芳基作为取代基的有机硅树脂，因为耐热性高，因此优选 硅原子具有芳基的有机硅树脂。另外，无机材料可以列举各种氧化物或氮化物等。例如，可以列举Al、Si、C、Mg及 B的氧化物或氮化物等。具体而言，可列举氧化铝、二氧化硅、石墨、氧化镁、氮化硼、氮化铝。 可以是以其作为基础成分，并且还含有偏硅酸钠、硅酸钾等硅酸盐化合物、磷酸铝作为粘结剂。外框层可以进一步含有氧化铝、二氧化硅、滑石、玻璃纤维等无机填料。它们的含 量优选为5 80质量％，更优选10 70质量％，进一步优选20 50质量％。本发明的层叠体具有这样的薄板玻璃基板、支撑玻璃基板、树脂层和外框层。本发明的层叠体优选还具有片材。这是因为通过拉伸片材可以将薄板玻璃基板与 支撑玻璃基板容易地剥离。具体的使用片材的剥离方法如后所述。关于具有片材的实施方式的本发明的层叠体，使用图3和图4进行说明。以下，也将该实施方式称为“实施方式2”。另外，该实施方式2的本发明的层叠体，与前述的实施方式1进行比较，不同之处 在于具有片材，其它方面相同。因此，以下的说明中，主要对不同点进行说明。图3是表示本发明的层叠体的另一实施方式的概略主视图，图4是其B-B’剖视图 (概略剖视图)。该实施方式2中，本发明的层叠体20具有薄板玻璃基板22、树脂层24、外框层26、 片材27和支撑玻璃基板28。而且，薄板玻璃基板22和支撑玻璃基板28夹着树脂层24、外 框层26和片材27而层叠。另外，如图3所示，从正面观察时，薄板玻璃基板22、树脂层24和支撑玻璃基板28 分别是矩形，片材27也为矩形。另外，树脂层24通过外框层26和片材27包围外侧。另外， 外框层26固定于薄板玻璃基板22和支撑玻璃基板28。另外，片材27与薄板玻璃基板22 和支撑玻璃基板28密合。因此，存在于它们的内侧的树脂层24与外部空气不接触。外框 层26或片材27不存在时，树脂层24的端面24 α与外部空气接触。另外，片材27如图3所示从正面观察时位于与本发明的层叠体20所具有四条边 中的一条边重叠的位置。而且，如图4所示，片材27的一部分(27a)由薄板玻璃基板22与 支撑玻璃基板28夹住。进而，片材27具有未被夹住并且与薄板玻璃基板22和支撑玻璃基 板28均不接触的部分(27b)。另外，在此所示的实施方式2的情况下，片材27具有未由薄 板玻璃基板22和支撑玻璃基板28夹住而与一个基板(支撑玻璃基板28)接触的部分27c。另外，片材26与树脂层24不重叠，以树脂层24的端面的一部分24 α与片材27 的端面27 α接触的方式进行配置。本发明的层叠体也可以是与具有这样的片材的实施方式不同的其它实施方式。例 如，可以是从正面观察的片材的大小比图3小的实施方式。另外，可以是具有多个片材的实 施方式。另外，可以是片材分别位于与本发明的层叠体所具有的四条边中的两条边以上重 叠的位置的实施方式。对片材进行说明。片材存在于所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板之间，其一部分夹在两玻璃基 板之间。而且，未被夹住的部分(其余部分)的至少一部分与所述薄板玻璃基板和所述支 撑玻璃基板均不接触。片材的形状没有特别限制，优选如上述实施方式2所示为矩形。片材的大小、表面积(两个主面中的一个主面面积)也没有特别限制。例如，矩形的情况下一片片材的大小可以为1 4000cm2，优选2 2000cm2，更优 选 4 1000cm2。
片材的由所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板夹住的部分的大小没有特 别限制。例如，该部分为矩形的情况下可以为10 2000mmX0.5 100mm，优选20 IOOOmmX 0. 5 100mm，更优选20 IOOOmmX 1 50mm。特别是，从正面观察片材的该部分 时的四条边中，与本发明的层叠体的边正交的一侧的边(如果是上述的实施方式2，则为与 图4所示的剖面平行的边)的长度(实施方式2的情况下，为“27a”表示的部分的长度) 可以为10 2000mm，优选20 1000mm，更优选40 1000mm。另外，该部分的面积可以为 0. 5 2000cm2，优选1 1000cm2，更优选2 500cm2。如果为这样的范围，则在薄板玻璃 基板的第二主面上形成显示装置用构件时，可以相对增大薄板玻璃基板中适合该形成的部 分的面积，因此优选。另外，在此所说的片材的“夹住的部分的大小”，例如如果为上述的实施方式2，则 表示27a的部分具有的两个主面中与支撑玻璃基板28相对侧的主面的面积。作为片材的未被所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板夹住的部分(其余部 分)的一部分、并且与所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板均不接触的部分的大小没有 特别限制。例如，该部分为矩形时，其大小可以为10 2000mmX0. 5 100mm，优选20 IOOOmmX 0. 5 100mm，更优选20 IOOOmmX 1 50mm。特别是矩形片材的边中与本发明 的层叠体的边正交一侧的边(例如，如果是上述的实施方式2，则为与图4所示的剖面平行 的边)的长度(实施方式2的情况下，为“27b”表示的部分的长度)可以为10 2000mm， 优选20 1000mm，更优选40 1000mm。另外，作为面积可以为0. 5 2000cm2，优选1 1000cm2，更优选2 500cm2。如 果为这样的范围，则在薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用构件时不会产生障碍， 因此优选。另外，在此所说的片材的“作为未被夹住的部分(其余部分)的一部分、并且与所 述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板均不接触的部分”，例如，上述实施方式2的情况下，是 指27b的部分具有的两个主面中，在端部与支撑玻璃基板28的第一主面接触的一个主面的 面积。作为片材的未被所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板夹住的部分、并且与所述 薄板玻璃基板或所述支撑玻璃基板接触的部分的大小没有特别限制。例如，可以为0 2000cm2，优选0 1000cm2，更优选0 500cm2。这样的范围必然由所述薄板玻璃基板和所 述支撑玻璃基板的大小差异和片材的设置部位确定。另外，在此所说的片材的“作为未被夹住的部分、并且与所述薄板玻璃基板或所述 支撑玻璃基板接触的部分”，例如，如果是上述的实施方式2的情况，则是指27c的部分所具 有的两个主面中与支撑玻璃基板28的第一主面接触的一个主面的面积。片材优选固定于所述支撑玻璃基板的第一主面。另外，上述说明过的“片材的由所 述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板夹住的部分”更优选固定于所述支撑玻璃基板的第一 主面。这是因为所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板的剥离变得更加容易。将片材固定于所述支撑玻璃基板的第一主面的方法没有限定。只要是不容易剥离 的方法即可。例如，可以使用胶粘剂、粘贴剂进行固定。作为胶粘剂，可以列举聚氨酯类、丙 烯酸类、环氧类、有机硅类胶粘剂。另外，也可以是无机类胶粘剂。其中，优选环氧类、丙烯 酸类、有机硅类胶粘剂或无机类胶粘剂。这是因为耐热性高。
片材的厚度没有特别限制。可以与所述树脂层的厚度相同，优选比所述树脂层的 厚度稍厚，更优选比所述树脂层厚5 20 μ m。片材比所述树脂层的厚度稍厚时，所述薄板 玻璃基板、片材及所述支撑玻璃基板容易密合，因此优选。另外，片材的厚度比所述树脂层 的厚度过厚时，所述薄板玻璃基板、所述树脂层、及所述支撑玻璃基板难以密合，在本发明 的层叠体的制造过程中，有可能造成所述薄板玻璃基板或所述支撑玻璃基板的破损。所述树脂层的厚度为5 100 μ m时，片材的厚度优选为5 120 μ m，更优选片材 比树脂层厚5 20 μ m。片材的材质没有特别限制，优选包含有机树脂或金属。另外，有机树脂中，优选5%热失重温度为200°C以上的有机树脂。该温度更优选 为250°C以上，进一步优选为300°C以上。这是因为即使将本发明的层叠体供给加热工序也 难以产生熔融等形态变化。作为5%热失重温度为200°C以上的有机树脂，可以列举聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、 聚酰胺酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮、聚酰亚胺、聚烯丙酯、聚碳酸酯、聚四氟乙烯等含氟 树脂等。片材优选为由5%热失重温度为200°C以上的有机树脂制成的薄膜。片材可以仅由上述树脂构成，也可以进一步含有氧化铝、二氧化硅、滑石、玻璃纤 维等无机填料。它们的含量优选为5 80质量％，更优选为10 70质量％，进一步优选 为20 50质量％。片材的材质为金属的情况下，其中，优选铝、金、铜、不锈钢。这是因为耐热性高。这样，本发明的层叠体可以具有所述薄板玻璃基板、所述支撑玻璃基板、所述树脂 层和所述外框层，进而具有片材。以下，对本发明的带有支撑体的显示装置用面板进行说明。本发明的带有支撑体的显示装置用面板，是在本发明的层叠体中的所述薄板玻璃 基板的第二主面上进一步具有显示装置用构件的带有支撑体的显示装置用面板。该带有支撑体的显示装置用面板，可以通过在本发明的层叠体中的所述薄板玻璃 基板的第二主面上形成显示装置用构件来得到。显示装置用构件是指现有LCD、OLED等显示装置用的玻璃基板在其表面所具有的 发光层、保护层、滤色片、液晶、包含ITO的透明电极等各种电路图案等。本发明的带有支撑体的显示装置用面板，优选是在本发明的层叠体的薄板玻璃基 板的第二主面上形成有TFT阵列(以下仅称为“阵列”)的带有支撑体的显示装置用面板。本发明的带有支撑体的显示装置用面板也包含例如在薄板玻璃基板的第二主面 上形成有阵列的本发明的带有支撑体的显示装置用面板上进一步贴合形成有滤色片的另 一玻璃基板(例如，厚度0. 3mm以上的玻璃基板)而得到的带有支撑体的显示装置用面板。另外，由这样的带有支撑体的显示装置用面板可以得到显示装置用面板。由带有 支撑体的显示装置用面板，通过后述的方法，将固定于薄板玻璃基板和支撑玻璃基板的树 脂层剥离，可以得到具有显示装置用构件和薄板玻璃基板的显示装置用面板。另外，由这样的显示装置用面板可以得到显示装置。作为显示装置可以列举IXD、 OLED0作为LCD可以列举TN型、STN型、FE型、TFT型、MIM型。以下，对本发明的层叠体的制造方法进行说明。
本发明的层叠体的制造方法没有特别限制，优选为包括以下工序的玻璃层叠体制 造方法在所述支撑玻璃基板的第一主面上的内侧区域形成并固定所述树脂层的树脂层形 成工序；在所述支撑玻璃基板的第一主面上的外侧区域形成并固定所述外框层的外框层形 成工序；及将所述薄板玻璃基板的第一主面与所述树脂层和所述外框层密合的密合工序。 以下也将这样的制造方法称为“本发明的制造方法”。对树脂层形成工序进行说明。首先，准备薄板玻璃基板和支撑玻璃基板。薄板玻璃基板和支撑玻璃基板的制造方法没有特别限制。例如，可以通过现有公 知的方法制造。例如，将现有公知的玻璃原料熔解而得到熔融玻璃后，能够通过浮法、熔融 法、下拉法、流孔下引法、再拉延法等成形为板状来得到。在这样制造的支撑玻璃基板的表面(第一主面)的内侧区域形成树脂层。在此， 内侧区域是指支撑玻璃基板的第一主面上、后面说明的外侧区域的内侧的区域。例如，可以列举将薄膜状的树脂胶粘到支撑玻璃基板表面的方法。具体而言，可以 列举对薄膜的表面进行用于赋予高胶粘力的表面改性处理(底涂处理)并胶粘到支撑玻璃 基板的第一主面的方法。例如，可以例示通过硅烷偶联剂这样的通过化学方式提高密合力 的化学方法(底涂剂处理)、通过火焰处理这样的增加表面活性基团的物理方法、通过喷砂 处理这样的增加粗糙度以增加抓着(引 如'J )的机械处理方法等。另外，例如，可以列举通过公知的方法将形成树脂层的树脂组合物涂布到支撑玻 璃基板的第一主面上的方法。作为公知的方法，可以列举喷涂法、模缝涂布法(夕M 二一卜 法)、旋涂法、浸涂法、辊涂法、刮棒涂布法、丝网印刷法、凹版涂布法。这些方法中，可以根据 树脂组合物的种类适当选择。例如，使用无溶剂型的剥离纸用有机硅作为树脂组成物时，优选模缝涂布法、旋涂 法或丝网印刷法。另外，将树脂组合物涂布于支撑玻璃基板的第一主面上时，其涂布量优选为1 100g/m2，更优选为 5 20g/m2。例如，形成包含加成反应型有机硅的树脂层的情况下，通过上述的喷涂法等公知 的方法将包含分子内含有直链状的二甲基聚硅氧烷的有机硅(基础成分)、交联剂和催化 剂的树脂组合物涂布到支撑玻璃基板上，然后加热固化。加热固化条件根据催化剂的配合 量而不同，例如，相对于基础成分和交联剂的合计量100质量份配合2质量份钼系催化剂 时，在大气中在50°C 250°C下反应、优选在100°C 200V下进行反应。另外，此时的反应 时间为5 60分钟，优选10 30分钟。为了得到具有低有机硅迁移性的有机硅树脂层， 优选尽可能地进行固化反应以使有机硅树脂层中不残留未反应的有机硅成分。如果是上述 的反应温度和反应时间，则可以使有机硅树脂中不残留未反应的有机硅成分，因此优选。在 比上述的反应时间过长或者反应温度过高时，同时引起有机硅树脂的氧化分解，生成低分 子量的有机硅成分，因此有机硅迁移性有可能提高。为了使加热处理后的剥离性良好，优选 尽可能地进行固化反应以使有机硅树脂层中不残留未反应的有机硅成分。另外，例如，使用剥离纸用有机硅制造树脂层时，将在支撑玻璃基板上涂布的剥离 纸用有机硅加热固化而形成有机硅树脂之后，将薄板玻璃基板层叠在支撑玻璃基板的有机 硅树脂形成面上。通过将剥离纸用有机硅加热固化，有机硅树脂固化物与支撑玻璃基板的
16表面化学性结合。另外，有机硅树脂层通过锚固效果与支撑玻璃基板的表面结合。通过这 些作用，有机硅树脂层牢固地固定在支撑玻璃基板上。对外框层形成工序进行说明。通过上述的树脂层形成工序在支撑玻璃基板的第一主面上形成树脂层之后、或者 在形成该树脂层之前、或者在形成该树脂层的同时，在支撑玻璃基板的第一主面上的外侧 区域形成并固定外框层。在此，外侧区域是位于支撑玻璃基板的第一主面上，从正面观察本发明的层叠体 时(例如，如图1所示的情况下)，是包含在所述薄板玻璃基板的外缘内侧的区域，进而是 指所述薄板玻璃基板的外缘附近的区域。具体而言，例如，从正面观察时，从薄板玻璃基板 的缘向内侧0. 5 IOOmm的区域，优选0. 5 50mm，更优选0. 5 10mm，进一步优选0. 5 5mm为外侧区域。薄板玻璃基板大时，该区域的大小也可以大。在外框层形成工序中，作为在所述支撑玻璃基板的第一主面上形成外框层的方法 可以列举如下方法。(a)沿着所述树脂层的外周部使点胶器(fM 7《 > 寸一)移动并排出材料而形 成外框层的方法。(b)在将点胶器固定后的状态下，沿着所述树脂层的外周部使支撑玻璃基板移动 并从所述点胶器排出材料而形成外框层的方法。(c)使用具有与所述树脂层的外周部的形状相同形状的透过部的丝网并通过丝网 印刷形成外框层的方法。(d)经由所述树脂层将薄板玻璃基板与支撑玻璃基板密合而形成玻璃层叠体后， 在常压或真空下利用毛细管现象从所述玻璃层叠体的外周部注入材料而形成外框层的方 法。(e)经由所述树脂层将薄板玻璃基板与支撑玻璃基板密合而形成玻璃层叠体后， 通过蒸镀、溅射或化学气相淀积等覆盖所述树脂层的露出部而形成外框层的方法。(f)在支撑玻璃基板上形成树脂层后，通过蒸镀、溅射或化学气相淀积等在所述树 脂层的端部形成外框层的方法。例如，形成包含聚酰亚胺树脂的外框层时，可以通过上述丝网印刷法等公知的方 法将作为其前体的聚酰胺酸的清漆涂布到支撑玻璃基板上，然后加热固化而得到外框层。对密合工序进行说明。通过上述方法在支撑玻璃基板的第一主面上形成树脂层，在树脂层的表面层叠薄 板玻璃基板。薄板玻璃基板和树脂层通过起因于非常近接的相对的固体分子间的范德华力的 力即粘附力与树脂层密合。此时，可以将支撑玻璃基板与薄板玻璃基板保持为层叠的状态。将薄板玻璃基板层叠到固定于支撑玻璃基板上的树脂层的表面的方法没有特别 限制。例如，可以使用公知的方法实施。例如，可以列举在常压环境下将薄板玻璃基板重叠 在树脂层表面上后，使用辊或压机将树脂层与薄板玻璃基板压接的方法。通过用辊或压机 进行压接，将树脂层与薄板玻璃基板更加密合，因此优选。另外，通过用辊或压机进行压接， 树脂层与薄板玻璃基板之间混入的气泡容易地除去，因此优选。利用真空层压法或真空压制法进行压接时，可以更好地进行抑制气泡的混入、确保良好的密合，因此更优选。通过在真空下压接，即使残留有微小气泡的情况下，通过加热 也会使气泡不成长，具有薄板玻璃基板难以产生歪斜缺陷的优点。另外，通过这样的密合工序，可以将外框层与薄板玻璃基板密合。例如，在所述外 框层形成工序中形成包含无机材料的外框层时，在形成该外框层后，优选立即将薄板玻璃 基板密合。这是因为薄板玻璃基板的第一主面与外框层的密合变得更加牢固，并且可以利用 薄板玻璃基板的第一主面将外框层牢固地固定。另外，例如，也可以是，在形成外框层后，将例如胶粘剂等涂布到该外框层的与薄 板玻璃基板的第一主面密合的面，然后，将薄板玻璃基板密合而固定外框层。在树脂层的表面密合薄板玻璃基板时，优选将薄板玻璃基板的表面充分地清洗， 在洁净度高的环境下进行层叠。即使在树脂层与薄板玻璃基板间混入异物，由于树脂层变 形，因此不会对薄板玻璃基板的表面平坦性产生影响，但是由于洁净度越高平坦性越好，因 此优选。在形成所述具有片材的实施方式2的本发明的层叠体的情况下，在所述密合工序 的前面的阶段，还具有将片材的一部分固定到所述支撑玻璃基板的第一主面上和/或所述 树脂层的表面上的片材固定工序。作为附着片材的方法，可以列举例如将片材胶粘在支撑玻璃基板的表面上的方 法。具体而言，可以列举为了使片材的表面具有高胶粘力而进行表面改性处理并胶粘到支 撑玻璃基板的第一主面上的方法。这样，可以制造本发明的层叠体。以下，对本发明的带有支撑体的显示装置用面板的制造方法进行说明。本发明的带有支撑体的显示装置用面板的制造方法，具有在本发明的层叠体中的 所述薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用构件的工序。具体而言，例如，在通过上述方法制造的本发明的层叠体的薄板玻璃基板的第二 主面上形成显示装置用构件。显示装置用构件没有特别限制。例如，可以列举IXD所具有的阵列或滤色片。另 外，例如，可以列举OLED所具有的透明电极、空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层。这样的显示装置构件的形成方法没有特别限制，可以与现有公知的方法一样。例如，制造TFT-IXD作为显示装置时，可以与在现有公知的玻璃基板上形成阵列 的工序、形成滤色片的工序、将形成有阵列的玻璃基板与形成有滤色片的玻璃基板贴合的 工序(阵列/滤色片贴合工序)等各工序同样。更具体而言，作为这些工序中实施的处理， 可以列举例如纯水清洗、干燥、成膜、抗蚀剂涂布、曝光、显影、腐蚀和除去抗蚀剂。另外，作 为在实施阵列/滤色片贴合工序后进行的工序，存在液晶注入工序和在该处理实施后进行 的注入口的密封工序，可以列举这些工序中实施的处理。另外，若以制造OLED的情况为例，则作为在薄板玻璃基板的第二主面上形成有机 EL结构体的工序，包括形成透明电极的工序、蒸镀空穴注入层/空穴输送层/发光层和电子 输送层等的工序、密封工序等各种工序，作为这些工序中实施的处理，具体地可以列举例如 成膜处理、蒸镀处理、密封板的胶粘处理等。
这样，可以制造本发明的带有支撑体的层叠体。以下，对本发明的显示装置用面板的制造方法进行说明。本发明的显示装置用面板具有分离工序，所述分离工序是将通过上述制造方法得 到的带有支撑体的显示装置用面板中的所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板分离的工序。将所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板分离的方法没有特别限制。例如，可以施加从所述支撑玻璃基板沿垂直方向将所述薄板玻璃基板拉开的力， 可以用剃刀的刀刃等在端部设置剥离的起始点，或者可以向本发明的层叠体的端面喷吹空 气等流体来进行剥离。另外，优选对所述外缘部照射激光进行剥离。另外，本发明的层叠体 如果是所述具有片材的实施方式2的情况，则可以通过拉伸片材来容易地进行剥离。以下对照射激光的剥离方向和拉伸片材的剥离方法进行说明。通过对所述外框层照射激光来将所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板分离的 方法，可以容易地进行剥离，因此优选。通过所述薄板玻璃基板和/或所述支撑玻璃基板(优选通过支撑玻璃基板)对所 述外框层照射激光，由此当使所述外框层熔融或氧化分解时，所述薄板玻璃基板与所述支 撑玻璃基板的胶粘力变弱，因此可以容易地将两玻璃基板剥离。照射激光后，若应用上述使 用剃刀的方法或喷吹流体的方法，则可以更容易地进行剥离，因此优选。作为激光，优选在薄板玻璃基板或支撑玻璃基板中的透射率高且容易被所述外框 层吸收的激光。例如，可以列举YAG或YVO4激光的基本波(1064nm)或其二倍波(532nm) 的激光、半导体二极管激光(AlGaAs为650 905nm等)、掺杂Ti的蓝宝石激光(660 986nm)、He-Ne激光(543 633nm)和各种准分子激光等。激光例如可以使用激光照射装置在所述薄板玻璃基板和/或所述支撑玻璃基板 上方(优选支撑玻璃基板上方)向外框层照射激光。这样，可以产生外框层的氧化或分解、 或者热应力产生畸变导致破坏，因此所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板的胶粘力变 弱。因此，可以容易地将两玻璃基板剥离。在此，照射激光而破坏外框层时，有时产生外框层的残渣。此时，在剥离后利用有机溶剂或酸/碱等药液处理或者进行刷洗处理，可以除去 残渣。所述的具有片材的实施方式2的情况下，对带有支撑体的显示装置用面板中的所 述片材的所述其余部分(未被两玻璃基板夹住的部分)进行拉伸，可以将所述薄板玻璃基 板与所述支撑玻璃基板分离。使用图5对具体的剥离方法进行说明。图5中，在水平的平台51上，以薄板玻璃基板52在下、支撑玻璃基板58在上的方 式进行载置，将薄板玻璃基板52的第二主面在平坦的状态下真空吸附到平台51上，如图7 所示向上拉伸片材57，将支撑玻璃基板58提升。这样，能够在薄板玻璃基板52与树脂层 54的界面产生间隙，以该间隙为起点空气层进入界面，由此进行剥离。在此，向该间隙喷吹 空气时，该界面中的剥离现象更容易进行，因此优选。通过这样的方法将本发明的带有支撑体的层叠体中支撑体的部分剥离，需要的情 况下进一步进行加工，可以得到本发明的显示装置用面板。实施例
(实施例1)通过以下的方法，制造与上述的使用图1、图2说明过的实施方式1的玻璃层叠体 基本同样的玻璃层叠体。与实施方式1的不同之处仅在于薄板玻璃基板和支撑玻璃基板的 大小。实施方式1的玻璃层叠体中，薄板玻璃基板12的主面面积小于支撑玻璃基板18的 主面面积，但是实施例1中制造的玻璃层叠体中，两玻璃基板的大小相同。首先，对长720mm、宽600mm、板厚0. 4mm、线膨胀系数38 X 10_7°C的支撑玻璃基板 (旭硝子株式会社制造，AN100)进行纯水清洗、UV清洗而使表面洁净。然后，将无溶剂加成反应型剥离纸用有机硅(信越有机硅公司制造，KNS-320A(粘 度0. 40Pa .s)) 100质量份与钼系催化剂(信越有机硅公司制造，CAT-PL-56) 2质量份的混 合物利用丝网印刷机在支撑玻璃基板的内侧区域涂布长710mm、宽590mm的大小(涂布量 30g/m2)。在此，内侧区域是在外侧全周均等地得到宽度5mm的外侧区域的区域。而且，在180°C下在大气中加热固化30分钟而得到厚度20 μ m的有机硅树脂层。然后，通过丝网印刷在所述的宽5mm的整个外侧区域印刷聚酰亚胺的前体即聚酰 胺酸溶液(“U-清漆-S”，宇部兴产公司制造，18质量％，N-甲基-2-吡咯烷酮溶液)。在 此，印刷聚酰胺酸溶液，使得与在内侧区域形成的有机硅树脂层的端部接触。另外，聚酰胺 酸溶液的湿厚度为160 μ m。然后，在300°C下在大气中加热60分钟，形成由聚酰亚胺构成 的外框层。外框层的厚度为20μπι。另外，通过该加热，在内侧区域形成的有机硅树脂层没 有任何变化。然后，对长720mm、宽600mm、板厚0. 3mm、线膨胀系数38 X 10_7°C的薄板玻璃基板 (旭硝子株式会社制造，AN100)的第一主面(后面与有机硅树脂层接触一侧的面)进行纯 水清洗、UV清洗而使表面洁净。然后，将支撑玻璃基板的有机硅树脂层的表面与薄板玻璃 基板在室温下利用真空压机贴合而得到玻璃层叠体。通过这样的方法制造两个本发明的层叠体的第一实施方式的“玻璃层叠体A”。然后，对两个玻璃层叠体A中的一个在450°C下在大气中加热处理1小时。另外， 独立地在高真空下(1. OX I(T5Pa)使玻璃层叠体A从室温升温到450°C，但从玻璃层叠体A 中没有产生气体。将大气中进行了加热处理后的玻璃层叠体称为“玻璃层叠体A-2”。另外， 将未进行加热处理的另一个玻璃层叠体A称为“玻璃层叠体A-I ”。然后，将玻璃层叠体A-I和玻璃层叠体A-2进行下述的剥离试验1，评价剥离性。〈剥离试验1>将玻璃层叠体以支撑玻璃基板为上侧、薄板玻璃基板为下侧的方式设置在平台 上，将薄板玻璃基板真空吸附到平台上。然后，在该状态下，通过支撑玻璃基板从上侧向外框层照射YVO4激光。而且，外 框层全部碳化破坏。在此，激光的照射中使用LASERTEC公司制造的Q开关YVO4激光装 置。另外，激光的照射条件是波长1064nm，输出1W，光点直径30 μ m，频率50kHz，扫描速度 250mm/s，扫描次数3次。即，向外框层的宽度方向点状照射激光的同时使其移动，在宽度方 向的同一部位往返1.5次后，对与宽度方向垂直的方向(即外框层的长度方向)点状照射 一次(直径30μπι)，使激光照射位置移动，再次在宽度方向的同一部位往返1.5次。通过将 该过程重复，向整个外框层照射激光。然后，在保持将玻璃层叠体的薄板玻璃基板真空吸附在平台上的状态下，以破坏
20外框层形成的支撑玻璃基板与薄板玻璃基板间的间隙为抓手，将支撑玻璃基板向垂直向上 侧拉伸。对玻璃层叠体A-I和玻璃层叠体A-2各自进行这样的剥离试验1，任意的玻璃层叠 体的情况均从端处开始在有机硅树脂层与薄板玻璃基板之间的界面形成空气层，该空气层 扩展，可以容易地将带有有机硅树脂层的支撑玻璃基板与薄板玻璃基板剥离。另外，剥离后 附着在薄板玻璃基板表面的外框层的残渣，可以通过使用醇进行刷洗而容易地除去。另外， 玻璃层叠体A-2的有机硅树脂层的端部未被氧化。(实施例2)使用热塑性聚酰亚胺树脂(三井化学公司制造，AURUM PLC450C) (5质量％热失重 温度=5700C )，使其熔融后，通过挤出点胶法形成外框层，除此以外与实施例1同样地进行 操作，制造两个玻璃层叠体。而且，与实施例1的情况同样地得到未加热处理的“玻璃层叠 体B-1”和加热处理后的“玻璃层叠体B-2”。另外，独立地在高真空下(1.0X10_5Pa)使玻 璃层叠体B从室温升温到450°C，但从玻璃层叠体B中没有产生气体。所得到的玻璃层叠 体B-I和玻璃层叠体B-2中，薄板玻璃基板与有机硅树脂没有气泡地密合，没有凸状缺陷， 平滑性也良好。另外，对玻璃层叠体B-I和玻璃层叠体B-2各自进行上述剥离试验1，与实施例1 的情况同样地可以容易地剥离，有机硅树脂层的端面也完好。通过同样的刷洗，可以除去残渣。(实施例3)实施例3与实施例1同样，但是，支撑玻璃基板、树脂层、外框层和薄板玻璃基板的 种类、大小、厚度等不同。作为支撑玻璃基板，使用长720mm、宽600mm、板厚0. 6mm、线膨胀系数38X10_7°C 的玻璃基板(旭硝子株式会社制，AN100)。另外，作为用于形成树脂层的树脂，使用两末端具有乙烯基的直链状聚有机硅氧 烷(荒川化学工业株式会社制造，商品名8500)和分子内具有氢甲硅烷基的甲基氢聚硅氧 烷(荒川化学工业株式会社制造，商品名12031)。而且，将其与钼基催化剂(荒川化学工业 株式会社制造，商品名CAT12070)混合制备混合物，利用丝网印刷机以长700mm、宽580mm 的大小进行涂布(涂布量20g/m2)，并在180°C在大气中加热固化30分钟，形成厚度20 μ m 的有机硅树脂层。在此，调节直链状聚硅氧烷与甲基氢聚硅氧烷的混合比以使氢化甲硅烷 基与乙烯基的摩尔比为1 1。对于钼系催化剂，相对于直链状聚硅氧烷与甲基氢聚硅氧烷 的合计100质量份添加5质量份。另外，作为用于形成外框层的材料，使用作为糊状物质的才一々公司制造的 力，7 # > K 835 (含有二氧化锆作为基础成分、硅酸盐化合物作为粘结剂的材料)。而且， 使用点胶器，在宽度20mm的外侧区域中以宽度5mm涂布该糊状物。在此，糊状物与有机硅 树脂层的端面接触。另外，糊状物的厚度超过20 μ m。另外，作为薄板玻璃基板，使用长720mm、宽600mm、板厚0. 1mm、线膨胀系数 50X 10_7°c的玻璃基板(旭硝子株式会社制，AN100)。对该薄板玻璃基板的第一主面进行纯水清洗、UV清洗而使表面洁净，然后，将支撑 玻璃基板的有机硅树脂层的表面与薄板玻璃基板在室温下利用真空压机贴合。此时，糊状物被两玻璃基板压塌并漫延，厚度达到20 ym。之后，在100°C下在大气中加热120分钟，糊 状物固化，形成厚度20 u m、宽度20mm的外框层。这样，得到未加热处理的“玻璃层叠体C-1”和进行加热处理后的“玻璃层叠体 C-2”。另外，即使在得到玻璃层叠体的过程中与玻璃层叠体A的情况同样独立地在高真空 下(1.0X10_5Pa)使玻璃层叠体C从室温升温到450°C，但从玻璃层叠体C中没有产生气体。 所得到的玻璃层叠体C-1和玻璃层叠体C-2中，薄板玻璃基板与有机硅树脂没有气泡地密 合，没有凸状缺陷，平滑性也良好。另外，对玻璃层叠体C-1和玻璃层叠体C-2各自进行上述剥离试验1。但是激光的 照射输出不是1W而是7W。结果，与实施例1的情况同样地可以容易地剥离，有机硅树脂层 的端面也完好。通过同样的刷洗，可以除去残渣。另外，玻璃层叠体C-2的情况下固化后的 外框层的热膨胀系数与支撑玻璃基板基本相同。因此，450°C处理后不产生支撑玻璃基板的 翘曲或外框层的剥离。(实施例4)本例中，使用实施例3中得到的玻璃层叠体C-1制造IXD。准备两个玻璃层叠体C-1，一个供给阵列形成工序而在薄板玻璃基板的第二主面 上形成阵列。另一个供给滤色片形成工序而在薄板玻璃基板的第二主面上形成滤色片。将 形成有阵列的玻璃层叠体与形成有滤色片的玻璃层叠体贴合后，一个单面一个单面向外框 层照射激光进行破坏，由此将各自的支撑玻璃基板分离。在分离后的薄板玻璃基板的表面 上没有产生导致强度下降的划痕。接着，将玻璃基板切断，分割为长51mmX宽38mm的168个单元后，实施液晶注入 工序和注入口的密封工序，形成液晶单元。对所形成的液晶单元实施粘贴偏振片的工序，接 着实施模块形成工序，得到LCD。这样得到的LCD特性上没有问题。(实施例5)本例中，使用实施例1中得到的玻璃层叠体A-1来制造IXD。准备两个玻璃层叠体A-1，一个供给阵列形成工序而在薄板玻璃基板的第二主面 上形成阵列。另一个供给滤色片形成工序而在薄板玻璃基板的第二主面上形成滤色片。将 形成有阵列的玻璃层叠体与形成有滤色片的玻璃层叠体贴合后，一个单面一个单面地向外 框层照射激光进行破坏，由此将各自的支撑玻璃基板分离。分离后的薄板玻璃基板的表面 上没有产生导致强度下降的划痕。接着，通过化学腐蚀处理使各个薄板玻璃基板的厚度变为0. 15mm。化学腐蚀处理 后的薄板玻璃基板的表面上没有导致光学上产生问题的蚀坑。其后，将薄板玻璃基板切断，分割为长51mmX宽38mm的168个单元后，实施液晶 注入工序和注入口的密封工序，形成液晶单元。对所形成的液晶单元实施粘贴偏振片的工 序，接着实施模块形成工序，得到LCD。这样得到的LCD特性上没有问题。(实施例6)本例中，使用实施例2中得到的玻璃层叠体B-1和厚度0. 7mm的无碱玻璃基板(旭 硝子制AN-100)来制造IXD。准备玻璃层叠体，供给滤色片形成工序而在玻璃层积体的薄板玻璃基板的第二主 面上形成滤色片。另一方面，将无碱玻璃基板供给阵列形成工序而在一个主面上形成阵列。
将形成有滤色片的玻璃层叠体与形成有阵列的无碱玻璃基板贴合后，一个单面一 个单面地向外框层照射激光进行破坏，由此将支撑玻璃基板从玻璃层叠体分离。分离后的 薄板玻璃基板的表面上没有产生导致强度下降的划痕。接着，使用激光切割机或划线及折断法(7々，4 7—f X々法)将把支撑玻 璃基板分离后得到的物体分割为长51mmX宽38mm的168个单元。然后实施液晶注入工序 和注入口的密封工序，形成液晶单元。对所形成的液晶单元实施粘贴偏振片的工序，接着实 施模块形成工序，得到IXD。这样得到的IXD特性上没有问题。(实施例7)在实施例7中，使用实施例3中得到的玻璃层叠体C-1来制造0LED。进行透明电极形成工序、辅助电极形成工序、蒸镀空穴注入层/空穴输送层/发光 层/电子输送层等的工序、将它们密封的密封工序，在玻璃层叠体的薄板玻璃基板上形成 有机EL结构体。然后，一个单面一个单面地向外框层照射激光进行破坏，由此将支撑玻璃 基板分离。分离后的薄板玻璃基板的表面上没有产生导致强度下降的划痕。接着，使用激光切割机或划线及折断法将薄板玻璃基板切断，分割为长41mmX宽 30mm的288个单元后，将形成有有机EL结构体的玻璃基板与相对基板组装，实施模块形成 工序，制成0LED。这样得到的0LED特性上没有问题。(比较例1)不形成外框层，将长710mm、宽590mm的树脂层大小设定为长715mm、宽595mm，除
此之外与实施例1同样地进行试验。所得到的比较例1的未进行加热处理的“玻璃层叠体 X-1”和进行加热处理后的“玻璃层叠体X-2”中，玻璃基板与有机硅树脂层不产生气泡地密 合，没有凸状缺陷，平滑性也良好。另外，将玻璃层叠体X-1和玻璃层叠体X-2供给以下的剥离试验2。<剥离试验2>将玻璃层叠体以支撑玻璃基板在上侧、薄板玻璃基板在下侧的方式设置于平台 上，将薄板玻璃基板真空吸附到平台上。然后，将锐利的剃刀贴在薄板玻璃基板与树脂层之 间，将界面的端处撬开，缓慢地从端处剥离。其结果，从端处开始在有机硅树脂层与薄板玻 璃基板的界面中形成空气层，该空气层扩展，可以容易地将带有有机硅树脂层的支撑玻璃 基板与薄板玻璃基板剥离。但是，加热处理后的玻璃层叠体X-2中的有机硅树脂层从其端面开始约5mm程度 氧化白化。产生这样的白化时，二氧化硅粉末飞散，有可能污染显示装置的形成工序。详细地或参考特定的实施方式对本发明进行了说明，但是，对本领域技术人员显 而易见的是，在不脱离本发明的精神和范围的情况下可以进行各种变更或修改。本申请基于2008年4月17日提出的日本专利申请2008-108169，该申请的内容以 参考的形式并入本说明书。产业实用性根据本发明，可以提供一种玻璃层叠体，能够抑制由于在玻璃基板间混入的气泡 或尘埃等异物而产生玻璃缺陷，可以在不产生蚀坑的情况下由现有的生产线处理，并且可 以容易地将密合的薄板玻璃基板与树脂层分离。
权利要求
1. 一种玻璃层叠体，包含具有第一主面和第二主面的薄板玻璃基板， 具有第一主面和第二主面的支撑玻璃基板，和配置在所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板之间的树脂层和外框层， 所述树脂层固定在所述支撑玻璃基板的第一主面，具备对所述薄板玻璃基板的第一主 面的易剥离性，并且与所述薄板玻璃基板的第一主面密合，所述外框层位于所述支撑玻璃基板的第一主面，并且以所述树脂层与外部空气不接触 的方式包围所述树脂层。
2.如权利要求1所述的玻璃层叠体，其中，所述树脂层的端面与所述外框层的端面的至少一部分接触。
3.如权利要求1或2所述的玻璃层叠体，其中， 所述薄板玻璃基板为TFT阵列用玻璃基板。
4.如权利要求1至3中任一项所述的玻璃层叠体，其中， 所述外框层包含5%热失重温度为400°C以上的材料。
5.如权利要求1至4中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述外框层包含选自由聚酰亚胺树脂、有机硅树脂和无机材料组成的组中的至少一种 材料。
6.如权利要求1至5中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述树脂层包含选自由丙烯酸类树脂、聚烯烃类树脂、聚氨酯树脂和有机硅树脂组成 的组中的至少一种材料。
7.如权利要求1至6中任一项所述的玻璃层叠体，其中， 所述外框层的宽度为0. 5 10mm。
8. 一种带支撑体的显示装置用面板，其中，在权利要求3至7中任一项所述的玻璃层叠体中的所述薄板玻璃基板的第二主面上， 还具有TFT阵列。
9. 一种显示装置用面板，其使用权利要求8所述的带支撑体的显示装置用面板来形成。
10. 一种显示装置，其具有权利要求9所述的显示装置用面板。
11. 一种玻璃层叠体的制造方法，制造权利要求1至7中任一项所述的玻璃层叠体，其 包括以下工序在所述支撑玻璃基板的第一主面上的内侧区域形成并固定所述树脂层的树脂层形成工序，在所述支撑玻璃基板的第一主面上的外侧区域形成并固定所述外框层的外框层形成 工序，和将所述薄板玻璃基板的第一主面与所述树脂层和所述外框层密合的密合工序。
12. —种带支撑体的显示装置用面板的制造方法，其中，权利要求11所述的玻璃层叠体的制造方法还包括在所得到的玻璃层叠体中的所述薄 板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用构件的工序。
13. —种显示装置用面板的制造方法，其中，权利要求12所述的制造方法还包括将所得到的带支撑体的显示装置用面板中的所述 薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板分离的分离工序。
14.如权利要求13所述的显示装置用面板的制造方法，其中， 所述分离工序是通过对所述外框层照射激光而将所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃 基板分离的工序。
全文摘要
本发明涉及一种玻璃层叠体，所述玻璃层叠体(10)包含具有第一主面和第二主面的薄板玻璃基板(12)，具有第一主面和第二主面的支撑玻璃基板(18)，和配置在所述薄板玻璃基板(12)和所述支撑玻璃基板(18)之间的树脂层(14)和外框层(16)，所述树脂层(14)固定在所述支撑玻璃基板(18)的第一主面，具备对所述薄板玻璃基板(12)的第一主面的易剥离性，并且与所述薄板玻璃基板(12)的第一主面密合，所述外框层(16)位于所述支撑玻璃基板(18)的第一主面，并且以所述树脂层(16)与外部空气不接触的方式包围所述树脂层(14)。
文档编号G09F9/00GK102007524SQ20098011355
公开日2011年4月6日 申请日期2009年4月6日 优先权日2008年4月17日
发明者江畑研一, 近藤聪 申请人:旭硝子株式会社
技术领域：
本发明涉及液晶显示装置、有机EL显示装置等中使用的包含玻璃基板的玻璃层 叠体、包含该玻璃层叠体的带支撑体的显示装置用面板、使用带支撑体的该面板形成的显 示装置用面板以及含有该显示装置用面板的显示装置以及玻璃层叠体和显示装置用面板 的制造方法。
背景技术：
在液晶显示装置(LCD)、有机EL显示装置(OLED)、特别是移动电话或手机等便携 型显示装置的领域中，显示装置的轻量化、薄型化是重要的课题。为了应对该课题，希望使显示装置中使用的玻璃基板的板厚度进一步变薄。作为 使板厚度变薄的方法，一般进行的有如下方法在玻璃基板的表面上形成显示装置用构件 之前或者之后，使用氢氟酸等对玻璃基板进行腐蚀处理，根据需要再进行物理研磨使其变薄。但是，在玻璃基板表面形成显示装置用构件之前通过进行腐蚀处理等将玻璃基板 变薄时，玻璃基板的强度下降，挠曲量也增大。因此，产生通过现有生产线不能处理的问题。另外，在玻璃基板表面形成显示装置用构件之后通过进行腐蚀处理等将玻璃基板 变薄时，在玻璃基板表面形成显示装置用构件的过程中，产生在玻璃基板表面上形成的微 小划痕变得明显的问题，即产生蚀坑的问题。因此，为了解决这样的问题，提出如下方法等将板厚薄的玻璃基板(以下也称为 “薄板玻璃基板”)与另一玻璃基板(以下也称为“支撑玻璃基板”)贴合形成层叠体，在该 状态下实施用于制造显示装置的预定处理，之后将薄板玻璃基板与支撑玻璃基板分离。例如，在专利文献1中，记载了如下方法将制品用的玻璃基板与加强用玻璃基板 利用玻璃基板相互的静电吸附力或真空吸附力粘合而一体化，制造使用了制品用玻璃基板 的显示装置。例如，在专利文献2中，记载了如下液晶显示装置的制造方法用玻璃粉类胶粘剂 将液晶显示装置的基板与支撑体的端部胶粘，之后形成电极图案等。例如，在专利文献3中，记载了具有对两个玻璃基板的至少周缘部的端面附近照 射激光而使所述两个玻璃基板熔合的工序的显示装置用基板的制造方法。例如，在专利文献4中，记载了如下所述的液晶显示装置的制造方法将基板粘贴 到在支撑体上设置有粘合材料层的基板运送用夹具上并通过液晶显示元件的制造工序输 送基板运送用夹具，从而对粘贴在基板运送用夹具上的基板依次进行液晶显示元件形成处 理，结束预定工序后，将基板从基板运送用夹具上剥离。例如，在专利文献5中，记载了一种液晶显示元件的制造方法，其特征在于，使用 在支撑体上设置有紫外线固化型粘合剂的夹具对液晶显示元件用电极基板进行预定的加 工，然后对紫外线固化型粘合剂照射紫外线，由此降低所述紫外线固化型粘合剂的粘合力，将所述液晶显示元件用电极基板从所述夹具上剥离。例如，在专利文献6中，记载了如下运送方法利用粘合材料将薄板暂时固定在支 撑板上，用密封材料将所述粘合材料的周缘部密封，并运送暂时固定有薄板的支撑板。例如，在专利文献7中，记载了一种薄板玻璃层叠体，由薄板玻璃基板与支撑玻璃 基板层叠而构成，其特征在于，所述薄板玻璃与所述支撑玻璃通过具有易剥离性和非粘合 性的有机硅树脂层层叠。而且，为了将薄板玻璃基板与支撑玻璃基板分离，施加沿垂直方 向将薄板玻璃基板从支撑玻璃基板拉开的力即可，用剃刀的刀刃等在端部设置剥离的起始 点，或者将空气注入层叠的界面，可以更容易地进行剥离。另外，在专利文献8中，记载了预 先使用剥离纸用有机硅将保护玻璃基板与TFT阵列基板层叠，组装显示装置后将保护玻璃
基板剥离。
现有技术文献
专利文献
专利文献1日本特开2000-241804号公报
专利文献2日本特开昭58-54316号公报
专利文献3日本特开2003-216068号公报
专利文献4日本特开平8-86993号公报
专利文献5日本特开平9-105896号公报
专利文献6日本特开2000-252342号公报
专利文献7国际公开第2007/018028号小册子
专利文献8国际公开第2008/007622号小册子
发明内容
但是，专利文献1中记载的利用静电吸引力或真空吸引力将玻璃基板之间固定的 方法、专利文献2中记载的使用玻璃粉将玻璃基板的两端固定的方法、或者专利文献3中 记载的对周缘部的端面附近照射激光而将两个玻璃基板熔合的方法中，使玻璃基板相互密 合。即，以玻璃基板之间不存在其它层的方式层叠密合。因此，由于混入到玻璃基板间的气 泡或尘埃等异物而容易在玻璃基板上产生歪斜缺陷，因此，难以得到表面平滑的玻璃基板 层叠体。另外，专利文献4 6中记载的在玻璃基板间配置粘合剂层等的方法中，尽管能 够避免上述这样的由于玻璃基板间混入气泡等而产生歪斜缺陷，但是难以将两玻璃基板分 离，分离时薄板玻璃基板可能破损。另外，也存在向分离后的薄板玻璃基板上残留粘合剂的 问题。与此相对，根据专利文献7所记载的薄板玻璃层叠体，难以产生上述这样的由于 玻璃基板间混入气泡等而产生歪斜缺陷。另外，也可以将薄板玻璃基板与支撑玻璃基板剥 离。另外，向分离后的薄板玻璃基板上的粘合剂残留问题也得到解决。但是，希望两玻璃基板的分离更容易且在更短时间内进行。特别是玻璃基板为大 型的情况下，这是工业应用上很重要的一点。另外，专利文献7所记载的薄板玻璃层压体，在高真空下进行热处理时，有时产 生从薄板玻璃基板与支撑玻璃基板之间的有机硅树脂层产生微量气体。当在约100 约
5350°C的比较低的温度下进行热处理时也能够产生该气体。产生该气体时，具有污染真空处 理工程设备等问题，因此不优选。另外，热处理温度更高例如超过约400°C时，有时在有机硅树脂层的端部与外部空 气接触的部分产生氧化而劣化。这样的话，与薄板玻璃基板的易剥离性丧失，可能进而与支 撑玻璃基板剥离。另外，有机硅树脂层由于氧化而白化，有可能产生粉状的SiO2而污染热 处理工程设备等。另外，树脂层这样劣化时，难以将与薄板玻璃基板分离后的带有树脂层的 支撑玻璃基板作为支撑体与另一薄板玻璃基板粘贴后再利用。本发明鉴于上述问题而做出。即，本发明的目的在于提供一种玻璃层叠体，能够抑 制由于玻璃基板间混入气泡或尘埃等异物而产生玻璃缺陷，能够在不产生蚀坑的情况下利 用现有的生产线进行处理，能够容易地将密合后的薄板玻璃基板与树脂层分离。另外，本发明的目的在于提供将高真空下的热处理时的气体的产生抑制到极微量 的玻璃层叠体。另外，本发明的目的在于提供即使热处理温度为比较高的温度(超过约400°C )， 薄板玻璃基板与支撑玻璃基板间的树脂层也难以氧化、难以劣化的玻璃层叠体。另外，本发明的目的在于提供包含这样的玻璃层叠体的带有支撑体的显示装置用 面板。另外，本发明的目的在于提供利用这样的带有支撑体的显示装置用面板形成的显示 装置用面板和显示装置。另外，本发明的目的在于提供所述玻璃层叠体或所述带有支撑体 的显示装置用面板的制造方法。本发明人为了解决上述问题反复进行了精心研究，结果完成了本发明。本发明涉及以下(1) (14)。(1) 一种玻璃层叠体，包含具有第一主面和第二主面的薄板玻璃基板，具有第一主面和第二主面的支撑玻璃基板，和配置在所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板之间的树脂层和外框层，所述树脂层固定在所述支撑玻璃基板的第一主面，具备对所述薄板玻璃基板的第 一主面的易剥离性，并且与所述薄板玻璃基板的第一主面密合，所述外框层位于所述支撑玻璃基板的第一主面，并且以所述树脂层与外部空气不 接触的方式包围所述树脂层。(2)如上述(1)所述的玻璃层叠体，其中，所述树脂层的端面与所述外框层的端面的至少一部分接触。(3)如上述⑴或⑵所述的玻璃层叠体，其中，所述薄板玻璃基板为TFT阵列用玻璃基板。(4)如上述(1)至(3)中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述外框层包含5%热失重温度为400°C以上的材料。(5)如上述(1)至(4)中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述外框层包含选自由聚酰亚胺树脂、有机硅树脂和无机材料组成的组中的至少 一种材料。(6)如上述(1)至(5)中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述树脂层包含选自由丙烯酸类树脂、聚烯烃类树脂、聚氨酯树脂和有机硅树脂组成的组中的至少一种材料。(7)如上述(1)至(6)中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述外框层的宽度为0. 5 10mm。(8) 一种带支撑体的显示装置用面板，其中，在上述(3)至(7)中任一项所述的玻璃层叠体中的所述薄板玻璃基板的第二主面 上，还具有TFT阵列。(9) 一种显示装置用面板，其使用上述(8)所述的带支撑体的显示装置用面板来 形成。(10) 一种显示装置，其具有上述(9)所述的显示装置用面板。(11) 一种玻璃层叠体的制造方法，制造上述(1)至(7)中任一项所述的玻璃层叠 体，其包括以下工序在所述支撑玻璃基板的第一主面上的内侧区域形成并固定所述树脂层的树脂层 形成工序，在所述支撑玻璃基板的第一主面上的外侧区域形成并固定所述外框层的外框层 形成工序，和将所述薄板玻璃基板的第一主面与所述树脂层和所述外框层密合的密合工序。(12) 一种带支撑体的显示装置用面板的制造方法，其中，上述(11)所述的玻璃层叠体的制造方法还包括在所得到的玻璃层叠体中的所述 薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用构件的工序。(13) 一种显示装置用面板的制造方法，其中，上述(12)所述的制造方法还包括将所得到的带支撑体的显示装置用面板中的所 述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板分离的分离工序。(14)如上述(13)所述的显示装置用面板的制造方法，其中，所述分离工序是通过对所述外框层照射激光而将所述薄板玻璃基板与所述支撑 玻璃基板分离的工序。发明效果根据本发明，可以提供一种玻璃层叠体，其能够抑制由于玻璃基板间混入气泡或 尘埃等异物而产生玻璃缺陷，能够在不产生蚀坑的情况下利用现有的生产线进行处理，能 够容易地将密合了的薄板玻璃基板与树脂层分离。另外，可以提供将高真空下的热处理时的气体产生抑制到极微量的玻璃层叠体。另外，通过形成优选的方式，可以提供即使热处理温度为比较高的温度(超过约 4000C )，薄板玻璃基板与支撑玻璃基板间的树脂层也难以氧化、难以劣化的玻璃层叠体。另外，可以提供包含这样的玻璃层叠体的带有支撑体的显示装置用面板。另外，可 以提供利用这样的带有支撑体的显示装置用面板形成的显示装置。另外，可以提供所述玻 璃层叠体或所述带有支撑体的显示装置用面板的制造方法。
图1是表示本发明的层叠体的一个实施方式的概略主视图。图2是表示本发明的层叠体的一个实施方式的概略剖视图。
图3是表示本发明的层叠体的另一个实施方式的概略主视图。图4是表示本发明的层叠体的另一个实施方式的概略剖视图。图5是用于说明将本发明的层叠体的支撑玻璃基板剥离的方法的概略剖视图。标号说明10、20、50玻璃层叠体(本发明的层叠体)12、22、52薄板玻璃基板14、24、54 树脂层14 α、24 α树脂层的端面16、26、56 外框层16 α外框层的端面27 片材27 α片材的端面18、28、58支撑玻璃基板51 平台
具体实施例方式对本发明进行说明。本发明涉及一种玻璃层叠体，其包含具有第一主面和第二主面的薄板玻璃基板， 具有第一主面和第二主面的支撑玻璃基板，和配置在所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基 板之间的树脂层和外框层，所述树脂层固定在所述支撑玻璃基板的第一主面，具备对所述 薄板玻璃基板的第一主面的易剥离性，并且与所述薄板玻璃基板的第一主面密合，所述外 框层位于所述支撑玻璃基板的第一主面上，并且以所述树脂层与外部空气不接触的方式包 围所述树脂层。这样的玻璃层叠体，以下也称为“本发明的层叠体”。首先，使用图1和图2对本发明的层叠体的形态进行说明。图1是表示本发明的层叠体的一个实施方式的概略主视图，图2是其Α-Α’剖视图 (概略剖视图)。以下，也将该实施方式称为“实施方式1”。该实施方式1中，本发明的层叠体10具有薄板玻璃基板12、树脂层14、外框层16 和支撑玻璃基板18。而且，如图2所示，薄板玻璃基板12与支撑玻璃基板18夹着树脂层 14和外框层16而层叠。另外，如图1所示，从正面观察时，薄板玻璃基板12、树脂层14和支撑玻璃基板18 各自为矩形，薄板玻璃基板12的主面面积大于树脂层14的主面面积，但是比支撑玻璃基板 18的主面面积稍小。另外，从正面观察时，薄板玻璃基板12以包含在支撑玻璃基板18的内 侧的方式设置，树脂层14和外框层16以包含在薄板玻璃基板12的内侧的方式设置。另外，如图1所示，从正面观察时，外框层16以包围树脂层14的外侧的框的方式 存在于薄板玻璃基板12的外缘附近(外侧区域)。另外，如图2所示，外框层16固定于薄 板玻璃基板12的第一主面和支撑玻璃基板18的第一主面。因此，在外框层16的内侧存在 的树脂层14不接触外部空气。不存在外框层16的情况下，树脂层14的端面14 α与外部
8空气接触。另外，从正面观察时，TFT阵列等在外框层的内侧形成，并且需要TFT阵列等与 外框层的形成区域重叠而无法观察到。相反地，从正面观察，需要在相当于薄板玻璃基板的 第二主面中除去形成TFT阵列等的有效区域以外的区域的薄板玻璃基板的第一主面上形 成外框层。这是因为可以防止因后述的激光照射导致TFT阵列等破损。另外，本发明的层叠体10中，树脂层14固定于支撑玻璃基板18的第一主面上，具 有对作为薄板玻璃基板12的一侧的主面的第一主面的易剥离性，并且与薄板玻璃基板12 的第一主面密合。另外，在实施方式1的本发明层叠体10中，树脂层14的端面14α与外框层16的 内侧的端面16 α接触。这样的实施方式1的玻璃层叠体在热处理时难以产生气体。这是因为由于存在外 框层16，使得从树脂层14产生的气体未散发到外部。另外，如果是后述的优选方式，即使热 处理温度为比较高的温度(超过约400°C )，薄板玻璃基板与支撑玻璃基板间的树脂层也难 以氧化、难以劣化。因为外框层16将外部空气与树脂层14的端面14 α的接触阻断。以下，对本发明的层叠体具有的薄板玻璃基板、支撑玻璃基板、树脂层及外框层分 别进行说明。对薄板玻璃基板进行说明。薄板玻璃基板的厚度、形状、大小、物性(热收缩率、表面形状、耐化学品性等)、组 成等没有特别限制，例如，可以与现有的LCD、OLED等显示装置用的玻璃基板同样。所述薄板玻璃基板优选为TFT阵列用玻璃基板。薄板玻璃基板的厚度优选小于0. 7mm，更优选0. 5mm以下，进一步优选0. 4mm以下。 另外，优选为0. 05mm以上，更优选0. 07mm以上，进一步优选0. Imm以上。薄板玻璃的形状没有限制，优选为矩形。薄板玻璃的大小没有限定，例如，矩形的情况下可以为100 2000mmX100 2000mm，更优选为 500 IOOOmmX 500 1000mm。另外，薄板玻璃的厚度是指通过使用激光聚焦位移计来测定面内9个点的值的平 均值来表示，大小是指使用钢尺分别计测短边和长边得到的值。后述的支撑玻璃基板的厚 度和大小也同样。即使是这样的厚度和大小，本发明的层叠体也可以容易地将薄板玻璃基板与支撑 玻璃基板分离。薄板玻璃基板的热收缩率、表面形状、耐化学品性等特性也没有特别限制，根据制 造的显示装置的种类而不同。另外，优选所述薄板玻璃基板的热收缩率较小。具体而言，优选使用热收缩率指标 即线膨胀系数为500X10_7°C以下的薄板玻璃基板。所述线膨胀系数更优选为300X 10_7°c以下，更优选200X 10_7°C以下，更优选 100X10-7/oC以下，进一步优选45X 10_7°c以下。理由是热收缩率大时不能制造高清晰度 的显示装置。另外，本发明中，线膨胀系数是指根据JIS R3102(1995年)规定的线膨胀系数。薄板玻璃基板的组成可以与例如碱性玻璃或无碱玻璃同样。其中，优选热收缩率 小的无碱玻璃。
对支撑玻璃基板进行说明。支撑玻璃基板经由树脂层支撑薄板玻璃基板，并增强薄板玻璃基板的强度。支撑玻璃基板的厚度、形状、大小、物性(热收缩率、表面形状、耐化学品性等)、组 成等没有特别限制。支撑玻璃基板的厚度没有特别限制，优选为能够由现有的生产线进行处理的厚度。例如，厚度优选为0. 1 1. 1mm，更优选0.3 0.8mm，进一步优选0.4 0.7mm。例如，现有生产线设计为处理厚度0. 5mm的基板，当薄板玻璃基板的厚度为0. Imm 时，支撑玻璃基板的厚度与树脂层的厚度之和为0. 4mm。另外，现有的生产线最普遍的是设 计为处理厚度0. 7mm的玻璃基板，例如如果薄板玻璃基板的厚度为0. 4mm，则支撑玻璃基板 的厚度与树脂层的厚度之和为0. 3mm。 支撑玻璃基板的厚度优选比所述薄板玻璃基板厚。支撑玻璃基板的形状没有限定，优选为矩形。支撑玻璃基板的大小没有限定，优选为与所述薄板玻璃基板相同程度，优选比所 述玻璃基板稍大(纵向或横向分别为大约0. 05 约IOmm的尺寸)。理由是容易保护所述 薄板玻璃基板的端部免于接触显示装置用面板制造时的定位销等对准装置，并且可以更容 易地进行薄板玻璃基板与支撑玻璃基板的剥离。支撑玻璃基板的线膨胀系数可以与所述薄板玻璃基板实质上相同，也可以不同。 如果实质上相同，则对本发明的层叠体进行热处理时，薄板玻璃基板或支撑玻璃基板难以 产生翘曲，从该方面考虑优选。薄板玻璃基板与支撑玻璃基板的线膨胀系数之差优选为300 X 10_7°C以下，更优 选100 X10—7°C以下，进一步优选50 X10—7°c以下。支撑玻璃基板的组成可以与例如碱性玻璃、无碱玻璃同样。其中，优选热收缩率小 的无碱玻璃。对树脂层进行说明。本发明的层叠体中，树脂层固定于所述支撑玻璃基板的第一主面上。而且，虽然树脂层与所述薄板玻璃基板的第一主面密合，但可以容易地剥离。艮口， 树脂层具有对所述薄板玻璃基板的易剥离性。本发明的层叠体中，认为树脂层与薄板玻璃基板不会由粘合剂所具有的粘合力粘 附，认为通过因固体分子间的范德华力引起的力、即粘附力(密着力)粘附。树脂层的厚度没有特别限制，优选为1 ΙΟΟμπι，更优选5 30μπι，进一步优选 7 20 μ m。这是因为树脂层的厚度为这样的范围时，薄板玻璃基板与树脂层的密合充分。另外，因为即使夹有气泡或异物也可以抑制薄板玻璃基板产生歪斜缺陷。另外，树 脂层的厚度过厚时，由于形成树脂层花费时间并且需要材料，因此不经济。在此，树脂层的厚度是指使用激光聚焦位移计测定面内9点得到的值的平均值。 后述的外框层的厚度也同样。另外，树脂层也可以由两层以上构成。此时，“树脂层的厚度”是指全部层的总计厚度。另外，树脂层由两层以上构成时，形成各层的树脂的种类可以不同。
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对后述的外框层也同样。对于树脂层，优选树脂层的表面相对于所述薄板玻璃基板的第一主面的表面张力 为30mN/m以下，更优选25mN/m以下，进一步优选22mN/m以下。如果是这样的表面张力，则 可以更容易地与薄板玻璃基板剥离，同时与薄板玻璃基板的密合也充分。另外，树脂层优选包含玻璃化转变点比室温(约25°C )低的材料或不具备玻璃化 转变点的材料。这是因为能够形成为非粘合性的树脂层，具有更易剥离性，能够更容易地与 薄板玻璃基板剥离，同时与薄板玻璃基板的密合性也充分。另外，树脂层优选具有耐热性。这是因为在本发明的面板制造方法中，例如，在所 述薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用构件的情况下，可以将具有树脂层的玻璃层 叠体进行热处理。另外，树脂层的弹性模量过高时，与薄板玻璃基板的密合性下降，因此不优选。另 外，弹性模量过低时，易剥离性下降，因此不优选。形成树脂层的树脂种类没有特别限制。例如，可以列举丙烯酸类树脂、聚烯烃类树 脂、聚氨酯树脂及有机硅树脂。可以将两种树脂混合使用。其中，优选有机硅树脂。这是因 为有机硅树脂耐热性优良，并且对薄板玻璃基板的易剥离性优良。有机硅树脂层例如即使 在约400°C下处理约1小时，易剥离性也基本不劣化，因此优选。另外，因为有机硅树脂与支 撑玻璃基板表面的硅醇基发生缩合反应，因此容易将有机硅树脂层固定到支撑玻璃基板的 表面(第一主面)。另外，树脂层优选包含有机硅树脂中的剥离纸用有机硅，优选为其固化物。剥离纸 用有机硅以分子内含有直链状的二甲基聚硅氧烷的有机硅为基础成分。对于使用催化剂、 光聚合引发剂等将含有该基础成分和交联剂的组合物在所述支撑玻璃基板的表面(第一 主面)固化而形成的树脂层，由于具有优良的易剥离性，因此优选。另外，由于柔软性高，因 此即使在薄板玻璃基板与树脂层之间混入气泡或尘埃等异物，也可以抑制薄板玻璃基板产 生歪斜缺陷，因此优选。这样的剥离纸用有机硅，根据其固化机构分类为缩合反应型有机硅、加成反应型 有机硅、紫外线固化型有机硅和电子射线固化型有机硅，可以使用任何一种。其中，优选加 成反应型有机硅。因为固化反应容易，形成树脂层时易剥离性的程度良好，耐热性也高。另外，剥离纸用有机硅在形式上有溶剂型、乳液型和无溶剂型，可以使用任何一种 类型。其中，优选无溶剂型。因为生产性、安全性、环境特性方面优良。另外，由于不含有在 形成树脂层时的固化时、即加热固化、紫外线固化或电子射线固化时产生气泡的溶剂，因此 树脂层中难以残留气泡。另外，作为剥离纸用有机硅，具体而言作为市售的商品名或型号可以列举 KNS-320A、KS-847 (均为信越有机硅公司制造)、TPR6700 (GE东芝有机硅公司制造)、乙烯基 有机硅“8500”(荒川化学工业株式会社制造)与甲基氢聚硅氧烷“12031”(荒川化学工业 株式会社制造)的组合、乙烯基有机硅“11364”(荒川化学工业株式会社制造)与甲基氢 聚硅氧烷“12031”(荒川化学工业株式会社制造)的组合、乙烯基有机硅“11365”(荒川化 学工业株式会社制造)与甲基氢聚硅氧烷“12031”(荒川化学工业株式会社制造)的组合等。另外，KNS-320A、KS-847和TPR6700，是预先含有基础成分和交联剂的有机硅。
另外，对于形成树脂层的有机硅树脂，优选具有有机硅树脂层中的成分不向薄板 基板迁移的性质、即低有机硅迁移性。对外框层进行说明。外框层为带状，在所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板之间夹置于两玻璃基板 之间。另外，以在所述支撑玻璃基板上包围所述树脂层的外侧的框的形式存在。另外，固定 于薄板玻璃基板和支撑玻璃基板。因此，所述树脂层难以与外部空气接触。优选所述树脂 层以完全不接触外部空气的方式形成。另外，实施方式1的本发明的层叠体10中，树脂层14的端面14α与外框层16的 内侧端面16α接触，但是也可以不接触而是在树脂层端面与外框层内侧端面之间存在空 隙。但是，优选空隙少或者几乎不存在空隙。这是因为在比较高的温度下(超过400°C)下 对本发明的层叠体进行热处理时树脂层难以氧化。外框层的宽度没有特别限制，优选0. 5 10mm，更优选1 5mm，进一步优选1. 5 3.0mm。为这样的宽度时，所述树脂层更难以与外部空气接触。另外，在将所述薄板玻璃基 板和所述支撑玻璃基板剥离时容易剥离。外框层的宽度过宽时，有可能难以剥离。例如，在 后述的优选剥离方法即照射激光的方法中，有可能剥离需要花费长时间。外框层的厚度没有特别限制。可以与所述树脂层相同，优选比所述树脂层稍厚，更 优选厚5 20 μ m。外框层比所述树脂层的厚度稍厚时，所述薄板玻璃基板、外框层、及所述 支撑玻璃基板容易密合，因此优选。另外，外框层的厚度比所述树脂层的厚度过厚时，所述 薄板玻璃基板、所述树脂层、及所述支撑玻璃基板难以密合，在本发明的层叠体的制造过程 中，有可能导致所述薄板玻璃基板或所述支撑玻璃基板的破损。所述树脂层的厚度为5 100 μ m时，外框层的厚度优选为5 120 μ m，更优选外 框层的厚度厚为5 20 μ m。外框层的材料没有特别限制，优选即使对本发明的层叠体实施用于在所述薄板玻 璃基板的第二主面上形成TFT阵列的热处理，失重率也低的材料。例如，优选在400°C下进 行了热处理时失重率为5质量％以下的材料。即，优选5%热失重温度为400°C以上的材料。 更优选该温度为425°C以上，进一步优选450°C以上。如果是这样的材料，即使对本发明的 层叠体进行加热工序，也难以产生熔融等形态变化，因此优选。5%热失重温度是指在混合空气气流下每分钟升温10°C且试样的质量达到初始试 样质量的95%时的温度。外框层材料的具体例子可以列举例如聚酰亚胺树脂、有机硅树脂、无机材料。可以 是将这些材料中的两种以上混合而得到的材料。优选选自由聚酰亚胺树脂、有机硅树脂和 无机材料组成的组中的至少一种且5%热失重温度为400°C以上的材料。在此，作为有机硅树脂，可以例示直链状、梯形或笼形有机硅树脂。其中，优选梯形 或笼形有机硅树脂。这是因为耐热性高。另外，可以是具有烷基或芳基作为取代基的有机硅树脂，因为耐热性高，因此优选 硅原子具有芳基的有机硅树脂。另外，无机材料可以列举各种氧化物或氮化物等。例如，可以列举Al、Si、C、Mg及 B的氧化物或氮化物等。具体而言，可列举氧化铝、二氧化硅、石墨、氧化镁、氮化硼、氮化铝。 可以是以其作为基础成分，并且还含有偏硅酸钠、硅酸钾等硅酸盐化合物、磷酸铝作为粘结剂。外框层可以进一步含有氧化铝、二氧化硅、滑石、玻璃纤维等无机填料。它们的含 量优选为5 80质量％，更优选10 70质量％，进一步优选20 50质量％。本发明的层叠体具有这样的薄板玻璃基板、支撑玻璃基板、树脂层和外框层。本发明的层叠体优选还具有片材。这是因为通过拉伸片材可以将薄板玻璃基板与 支撑玻璃基板容易地剥离。具体的使用片材的剥离方法如后所述。关于具有片材的实施方式的本发明的层叠体，使用图3和图4进行说明。以下，也将该实施方式称为“实施方式2”。另外，该实施方式2的本发明的层叠体，与前述的实施方式1进行比较，不同之处 在于具有片材，其它方面相同。因此，以下的说明中，主要对不同点进行说明。图3是表示本发明的层叠体的另一实施方式的概略主视图，图4是其B-B’剖视图 (概略剖视图)。该实施方式2中，本发明的层叠体20具有薄板玻璃基板22、树脂层24、外框层26、 片材27和支撑玻璃基板28。而且，薄板玻璃基板22和支撑玻璃基板28夹着树脂层24、外 框层26和片材27而层叠。另外，如图3所示，从正面观察时，薄板玻璃基板22、树脂层24和支撑玻璃基板28 分别是矩形，片材27也为矩形。另外，树脂层24通过外框层26和片材27包围外侧。另外， 外框层26固定于薄板玻璃基板22和支撑玻璃基板28。另外，片材27与薄板玻璃基板22 和支撑玻璃基板28密合。因此，存在于它们的内侧的树脂层24与外部空气不接触。外框 层26或片材27不存在时，树脂层24的端面24 α与外部空气接触。另外，片材27如图3所示从正面观察时位于与本发明的层叠体20所具有四条边 中的一条边重叠的位置。而且，如图4所示，片材27的一部分(27a)由薄板玻璃基板22与 支撑玻璃基板28夹住。进而，片材27具有未被夹住并且与薄板玻璃基板22和支撑玻璃基 板28均不接触的部分(27b)。另外，在此所示的实施方式2的情况下，片材27具有未由薄 板玻璃基板22和支撑玻璃基板28夹住而与一个基板(支撑玻璃基板28)接触的部分27c。另外，片材26与树脂层24不重叠，以树脂层24的端面的一部分24 α与片材27 的端面27 α接触的方式进行配置。本发明的层叠体也可以是与具有这样的片材的实施方式不同的其它实施方式。例 如，可以是从正面观察的片材的大小比图3小的实施方式。另外，可以是具有多个片材的实 施方式。另外，可以是片材分别位于与本发明的层叠体所具有的四条边中的两条边以上重 叠的位置的实施方式。对片材进行说明。片材存在于所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板之间，其一部分夹在两玻璃基 板之间。而且，未被夹住的部分(其余部分)的至少一部分与所述薄板玻璃基板和所述支 撑玻璃基板均不接触。片材的形状没有特别限制，优选如上述实施方式2所示为矩形。片材的大小、表面积(两个主面中的一个主面面积)也没有特别限制。例如，矩形的情况下一片片材的大小可以为1 4000cm2，优选2 2000cm2，更优 选 4 1000cm2。
片材的由所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板夹住的部分的大小没有特 别限制。例如，该部分为矩形的情况下可以为10 2000mmX0.5 100mm，优选20 IOOOmmX 0. 5 100mm，更优选20 IOOOmmX 1 50mm。特别是，从正面观察片材的该部分 时的四条边中，与本发明的层叠体的边正交的一侧的边(如果是上述的实施方式2，则为与 图4所示的剖面平行的边)的长度(实施方式2的情况下，为“27a”表示的部分的长度) 可以为10 2000mm，优选20 1000mm，更优选40 1000mm。另外，该部分的面积可以为 0. 5 2000cm2，优选1 1000cm2，更优选2 500cm2。如果为这样的范围，则在薄板玻璃 基板的第二主面上形成显示装置用构件时，可以相对增大薄板玻璃基板中适合该形成的部 分的面积，因此优选。另外，在此所说的片材的“夹住的部分的大小”，例如如果为上述的实施方式2，则 表示27a的部分具有的两个主面中与支撑玻璃基板28相对侧的主面的面积。作为片材的未被所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板夹住的部分(其余部 分)的一部分、并且与所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板均不接触的部分的大小没有 特别限制。例如，该部分为矩形时，其大小可以为10 2000mmX0. 5 100mm，优选20 IOOOmmX 0. 5 100mm，更优选20 IOOOmmX 1 50mm。特别是矩形片材的边中与本发明 的层叠体的边正交一侧的边(例如，如果是上述的实施方式2，则为与图4所示的剖面平行 的边)的长度(实施方式2的情况下，为“27b”表示的部分的长度)可以为10 2000mm， 优选20 1000mm，更优选40 1000mm。另外，作为面积可以为0. 5 2000cm2，优选1 1000cm2，更优选2 500cm2。如 果为这样的范围，则在薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用构件时不会产生障碍， 因此优选。另外，在此所说的片材的“作为未被夹住的部分(其余部分)的一部分、并且与所 述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板均不接触的部分”，例如，上述实施方式2的情况下，是 指27b的部分具有的两个主面中，在端部与支撑玻璃基板28的第一主面接触的一个主面的 面积。作为片材的未被所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板夹住的部分、并且与所述 薄板玻璃基板或所述支撑玻璃基板接触的部分的大小没有特别限制。例如，可以为0 2000cm2，优选0 1000cm2，更优选0 500cm2。这样的范围必然由所述薄板玻璃基板和所 述支撑玻璃基板的大小差异和片材的设置部位确定。另外，在此所说的片材的“作为未被夹住的部分、并且与所述薄板玻璃基板或所述 支撑玻璃基板接触的部分”，例如，如果是上述的实施方式2的情况，则是指27c的部分所具 有的两个主面中与支撑玻璃基板28的第一主面接触的一个主面的面积。片材优选固定于所述支撑玻璃基板的第一主面。另外，上述说明过的“片材的由所 述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板夹住的部分”更优选固定于所述支撑玻璃基板的第一 主面。这是因为所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板的剥离变得更加容易。将片材固定于所述支撑玻璃基板的第一主面的方法没有限定。只要是不容易剥离 的方法即可。例如，可以使用胶粘剂、粘贴剂进行固定。作为胶粘剂，可以列举聚氨酯类、丙 烯酸类、环氧类、有机硅类胶粘剂。另外，也可以是无机类胶粘剂。其中，优选环氧类、丙烯 酸类、有机硅类胶粘剂或无机类胶粘剂。这是因为耐热性高。
片材的厚度没有特别限制。可以与所述树脂层的厚度相同，优选比所述树脂层的 厚度稍厚，更优选比所述树脂层厚5 20 μ m。片材比所述树脂层的厚度稍厚时，所述薄板 玻璃基板、片材及所述支撑玻璃基板容易密合，因此优选。另外，片材的厚度比所述树脂层 的厚度过厚时，所述薄板玻璃基板、所述树脂层、及所述支撑玻璃基板难以密合，在本发明 的层叠体的制造过程中，有可能造成所述薄板玻璃基板或所述支撑玻璃基板的破损。所述树脂层的厚度为5 100 μ m时，片材的厚度优选为5 120 μ m，更优选片材 比树脂层厚5 20 μ m。片材的材质没有特别限制，优选包含有机树脂或金属。另外，有机树脂中，优选5%热失重温度为200°C以上的有机树脂。该温度更优选 为250°C以上，进一步优选为300°C以上。这是因为即使将本发明的层叠体供给加热工序也 难以产生熔融等形态变化。作为5%热失重温度为200°C以上的有机树脂，可以列举聚砜、聚醚砜、聚苯硫醚、 聚酰胺酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮、聚酰亚胺、聚烯丙酯、聚碳酸酯、聚四氟乙烯等含氟 树脂等。片材优选为由5%热失重温度为200°C以上的有机树脂制成的薄膜。片材可以仅由上述树脂构成，也可以进一步含有氧化铝、二氧化硅、滑石、玻璃纤 维等无机填料。它们的含量优选为5 80质量％，更优选为10 70质量％，进一步优选 为20 50质量％。片材的材质为金属的情况下，其中，优选铝、金、铜、不锈钢。这是因为耐热性高。这样，本发明的层叠体可以具有所述薄板玻璃基板、所述支撑玻璃基板、所述树脂 层和所述外框层，进而具有片材。以下，对本发明的带有支撑体的显示装置用面板进行说明。本发明的带有支撑体的显示装置用面板，是在本发明的层叠体中的所述薄板玻璃 基板的第二主面上进一步具有显示装置用构件的带有支撑体的显示装置用面板。该带有支撑体的显示装置用面板，可以通过在本发明的层叠体中的所述薄板玻璃 基板的第二主面上形成显示装置用构件来得到。显示装置用构件是指现有LCD、OLED等显示装置用的玻璃基板在其表面所具有的 发光层、保护层、滤色片、液晶、包含ITO的透明电极等各种电路图案等。本发明的带有支撑体的显示装置用面板，优选是在本发明的层叠体的薄板玻璃基 板的第二主面上形成有TFT阵列(以下仅称为“阵列”)的带有支撑体的显示装置用面板。本发明的带有支撑体的显示装置用面板也包含例如在薄板玻璃基板的第二主面 上形成有阵列的本发明的带有支撑体的显示装置用面板上进一步贴合形成有滤色片的另 一玻璃基板(例如，厚度0. 3mm以上的玻璃基板)而得到的带有支撑体的显示装置用面板。另外，由这样的带有支撑体的显示装置用面板可以得到显示装置用面板。由带有 支撑体的显示装置用面板，通过后述的方法，将固定于薄板玻璃基板和支撑玻璃基板的树 脂层剥离，可以得到具有显示装置用构件和薄板玻璃基板的显示装置用面板。另外，由这样的显示装置用面板可以得到显示装置。作为显示装置可以列举IXD、 OLED0作为LCD可以列举TN型、STN型、FE型、TFT型、MIM型。以下，对本发明的层叠体的制造方法进行说明。
本发明的层叠体的制造方法没有特别限制，优选为包括以下工序的玻璃层叠体制 造方法在所述支撑玻璃基板的第一主面上的内侧区域形成并固定所述树脂层的树脂层形 成工序；在所述支撑玻璃基板的第一主面上的外侧区域形成并固定所述外框层的外框层形 成工序；及将所述薄板玻璃基板的第一主面与所述树脂层和所述外框层密合的密合工序。 以下也将这样的制造方法称为“本发明的制造方法”。对树脂层形成工序进行说明。首先，准备薄板玻璃基板和支撑玻璃基板。薄板玻璃基板和支撑玻璃基板的制造方法没有特别限制。例如，可以通过现有公 知的方法制造。例如，将现有公知的玻璃原料熔解而得到熔融玻璃后，能够通过浮法、熔融 法、下拉法、流孔下引法、再拉延法等成形为板状来得到。在这样制造的支撑玻璃基板的表面(第一主面)的内侧区域形成树脂层。在此， 内侧区域是指支撑玻璃基板的第一主面上、后面说明的外侧区域的内侧的区域。例如，可以列举将薄膜状的树脂胶粘到支撑玻璃基板表面的方法。具体而言，可以 列举对薄膜的表面进行用于赋予高胶粘力的表面改性处理(底涂处理)并胶粘到支撑玻璃 基板的第一主面的方法。例如，可以例示通过硅烷偶联剂这样的通过化学方式提高密合力 的化学方法(底涂剂处理)、通过火焰处理这样的增加表面活性基团的物理方法、通过喷砂 处理这样的增加粗糙度以增加抓着(引 如'J )的机械处理方法等。另外，例如，可以列举通过公知的方法将形成树脂层的树脂组合物涂布到支撑玻 璃基板的第一主面上的方法。作为公知的方法，可以列举喷涂法、模缝涂布法(夕M 二一卜 法)、旋涂法、浸涂法、辊涂法、刮棒涂布法、丝网印刷法、凹版涂布法。这些方法中，可以根据 树脂组合物的种类适当选择。例如，使用无溶剂型的剥离纸用有机硅作为树脂组成物时，优选模缝涂布法、旋涂 法或丝网印刷法。另外，将树脂组合物涂布于支撑玻璃基板的第一主面上时，其涂布量优选为1 100g/m2，更优选为 5 20g/m2。例如，形成包含加成反应型有机硅的树脂层的情况下，通过上述的喷涂法等公知 的方法将包含分子内含有直链状的二甲基聚硅氧烷的有机硅(基础成分)、交联剂和催化 剂的树脂组合物涂布到支撑玻璃基板上，然后加热固化。加热固化条件根据催化剂的配合 量而不同，例如，相对于基础成分和交联剂的合计量100质量份配合2质量份钼系催化剂 时，在大气中在50°C 250°C下反应、优选在100°C 200V下进行反应。另外，此时的反应 时间为5 60分钟，优选10 30分钟。为了得到具有低有机硅迁移性的有机硅树脂层， 优选尽可能地进行固化反应以使有机硅树脂层中不残留未反应的有机硅成分。如果是上述 的反应温度和反应时间，则可以使有机硅树脂中不残留未反应的有机硅成分，因此优选。在 比上述的反应时间过长或者反应温度过高时，同时引起有机硅树脂的氧化分解，生成低分 子量的有机硅成分，因此有机硅迁移性有可能提高。为了使加热处理后的剥离性良好，优选 尽可能地进行固化反应以使有机硅树脂层中不残留未反应的有机硅成分。另外，例如，使用剥离纸用有机硅制造树脂层时，将在支撑玻璃基板上涂布的剥离 纸用有机硅加热固化而形成有机硅树脂之后，将薄板玻璃基板层叠在支撑玻璃基板的有机 硅树脂形成面上。通过将剥离纸用有机硅加热固化，有机硅树脂固化物与支撑玻璃基板的
16表面化学性结合。另外，有机硅树脂层通过锚固效果与支撑玻璃基板的表面结合。通过这 些作用，有机硅树脂层牢固地固定在支撑玻璃基板上。对外框层形成工序进行说明。通过上述的树脂层形成工序在支撑玻璃基板的第一主面上形成树脂层之后、或者 在形成该树脂层之前、或者在形成该树脂层的同时，在支撑玻璃基板的第一主面上的外侧 区域形成并固定外框层。在此，外侧区域是位于支撑玻璃基板的第一主面上，从正面观察本发明的层叠体 时(例如，如图1所示的情况下)，是包含在所述薄板玻璃基板的外缘内侧的区域，进而是 指所述薄板玻璃基板的外缘附近的区域。具体而言，例如，从正面观察时，从薄板玻璃基板 的缘向内侧0. 5 IOOmm的区域，优选0. 5 50mm，更优选0. 5 10mm，进一步优选0. 5 5mm为外侧区域。薄板玻璃基板大时，该区域的大小也可以大。在外框层形成工序中，作为在所述支撑玻璃基板的第一主面上形成外框层的方法 可以列举如下方法。(a)沿着所述树脂层的外周部使点胶器(fM 7《 > 寸一)移动并排出材料而形 成外框层的方法。(b)在将点胶器固定后的状态下，沿着所述树脂层的外周部使支撑玻璃基板移动 并从所述点胶器排出材料而形成外框层的方法。(c)使用具有与所述树脂层的外周部的形状相同形状的透过部的丝网并通过丝网 印刷形成外框层的方法。(d)经由所述树脂层将薄板玻璃基板与支撑玻璃基板密合而形成玻璃层叠体后， 在常压或真空下利用毛细管现象从所述玻璃层叠体的外周部注入材料而形成外框层的方 法。(e)经由所述树脂层将薄板玻璃基板与支撑玻璃基板密合而形成玻璃层叠体后， 通过蒸镀、溅射或化学气相淀积等覆盖所述树脂层的露出部而形成外框层的方法。(f)在支撑玻璃基板上形成树脂层后，通过蒸镀、溅射或化学气相淀积等在所述树 脂层的端部形成外框层的方法。例如，形成包含聚酰亚胺树脂的外框层时，可以通过上述丝网印刷法等公知的方 法将作为其前体的聚酰胺酸的清漆涂布到支撑玻璃基板上，然后加热固化而得到外框层。对密合工序进行说明。通过上述方法在支撑玻璃基板的第一主面上形成树脂层，在树脂层的表面层叠薄 板玻璃基板。薄板玻璃基板和树脂层通过起因于非常近接的相对的固体分子间的范德华力的 力即粘附力与树脂层密合。此时，可以将支撑玻璃基板与薄板玻璃基板保持为层叠的状态。将薄板玻璃基板层叠到固定于支撑玻璃基板上的树脂层的表面的方法没有特别 限制。例如，可以使用公知的方法实施。例如，可以列举在常压环境下将薄板玻璃基板重叠 在树脂层表面上后，使用辊或压机将树脂层与薄板玻璃基板压接的方法。通过用辊或压机 进行压接，将树脂层与薄板玻璃基板更加密合，因此优选。另外，通过用辊或压机进行压接， 树脂层与薄板玻璃基板之间混入的气泡容易地除去，因此优选。利用真空层压法或真空压制法进行压接时，可以更好地进行抑制气泡的混入、确保良好的密合，因此更优选。通过在真空下压接，即使残留有微小气泡的情况下，通过加热 也会使气泡不成长，具有薄板玻璃基板难以产生歪斜缺陷的优点。另外，通过这样的密合工序，可以将外框层与薄板玻璃基板密合。例如，在所述外 框层形成工序中形成包含无机材料的外框层时，在形成该外框层后，优选立即将薄板玻璃 基板密合。这是因为薄板玻璃基板的第一主面与外框层的密合变得更加牢固，并且可以利用 薄板玻璃基板的第一主面将外框层牢固地固定。另外，例如，也可以是，在形成外框层后，将例如胶粘剂等涂布到该外框层的与薄 板玻璃基板的第一主面密合的面，然后，将薄板玻璃基板密合而固定外框层。在树脂层的表面密合薄板玻璃基板时，优选将薄板玻璃基板的表面充分地清洗， 在洁净度高的环境下进行层叠。即使在树脂层与薄板玻璃基板间混入异物，由于树脂层变 形，因此不会对薄板玻璃基板的表面平坦性产生影响，但是由于洁净度越高平坦性越好，因 此优选。在形成所述具有片材的实施方式2的本发明的层叠体的情况下，在所述密合工序 的前面的阶段，还具有将片材的一部分固定到所述支撑玻璃基板的第一主面上和/或所述 树脂层的表面上的片材固定工序。作为附着片材的方法，可以列举例如将片材胶粘在支撑玻璃基板的表面上的方 法。具体而言，可以列举为了使片材的表面具有高胶粘力而进行表面改性处理并胶粘到支 撑玻璃基板的第一主面上的方法。这样，可以制造本发明的层叠体。以下，对本发明的带有支撑体的显示装置用面板的制造方法进行说明。本发明的带有支撑体的显示装置用面板的制造方法，具有在本发明的层叠体中的 所述薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用构件的工序。具体而言，例如，在通过上述方法制造的本发明的层叠体的薄板玻璃基板的第二 主面上形成显示装置用构件。显示装置用构件没有特别限制。例如，可以列举IXD所具有的阵列或滤色片。另 外，例如，可以列举OLED所具有的透明电极、空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层。这样的显示装置构件的形成方法没有特别限制，可以与现有公知的方法一样。例如，制造TFT-IXD作为显示装置时，可以与在现有公知的玻璃基板上形成阵列 的工序、形成滤色片的工序、将形成有阵列的玻璃基板与形成有滤色片的玻璃基板贴合的 工序(阵列/滤色片贴合工序)等各工序同样。更具体而言，作为这些工序中实施的处理， 可以列举例如纯水清洗、干燥、成膜、抗蚀剂涂布、曝光、显影、腐蚀和除去抗蚀剂。另外，作 为在实施阵列/滤色片贴合工序后进行的工序，存在液晶注入工序和在该处理实施后进行 的注入口的密封工序，可以列举这些工序中实施的处理。另外，若以制造OLED的情况为例，则作为在薄板玻璃基板的第二主面上形成有机 EL结构体的工序，包括形成透明电极的工序、蒸镀空穴注入层/空穴输送层/发光层和电子 输送层等的工序、密封工序等各种工序，作为这些工序中实施的处理，具体地可以列举例如 成膜处理、蒸镀处理、密封板的胶粘处理等。
这样，可以制造本发明的带有支撑体的层叠体。以下，对本发明的显示装置用面板的制造方法进行说明。本发明的显示装置用面板具有分离工序，所述分离工序是将通过上述制造方法得 到的带有支撑体的显示装置用面板中的所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板分离的工序。将所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板分离的方法没有特别限制。例如，可以施加从所述支撑玻璃基板沿垂直方向将所述薄板玻璃基板拉开的力， 可以用剃刀的刀刃等在端部设置剥离的起始点，或者可以向本发明的层叠体的端面喷吹空 气等流体来进行剥离。另外，优选对所述外缘部照射激光进行剥离。另外，本发明的层叠体 如果是所述具有片材的实施方式2的情况，则可以通过拉伸片材来容易地进行剥离。以下对照射激光的剥离方向和拉伸片材的剥离方法进行说明。通过对所述外框层照射激光来将所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板分离的 方法，可以容易地进行剥离，因此优选。通过所述薄板玻璃基板和/或所述支撑玻璃基板(优选通过支撑玻璃基板)对所 述外框层照射激光，由此当使所述外框层熔融或氧化分解时，所述薄板玻璃基板与所述支 撑玻璃基板的胶粘力变弱，因此可以容易地将两玻璃基板剥离。照射激光后，若应用上述使 用剃刀的方法或喷吹流体的方法，则可以更容易地进行剥离，因此优选。作为激光，优选在薄板玻璃基板或支撑玻璃基板中的透射率高且容易被所述外框 层吸收的激光。例如，可以列举YAG或YVO4激光的基本波(1064nm)或其二倍波(532nm) 的激光、半导体二极管激光(AlGaAs为650 905nm等)、掺杂Ti的蓝宝石激光(660 986nm)、He-Ne激光(543 633nm)和各种准分子激光等。激光例如可以使用激光照射装置在所述薄板玻璃基板和/或所述支撑玻璃基板 上方(优选支撑玻璃基板上方)向外框层照射激光。这样，可以产生外框层的氧化或分解、 或者热应力产生畸变导致破坏，因此所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板的胶粘力变 弱。因此，可以容易地将两玻璃基板剥离。在此，照射激光而破坏外框层时，有时产生外框层的残渣。此时，在剥离后利用有机溶剂或酸/碱等药液处理或者进行刷洗处理，可以除去 残渣。所述的具有片材的实施方式2的情况下，对带有支撑体的显示装置用面板中的所 述片材的所述其余部分(未被两玻璃基板夹住的部分)进行拉伸，可以将所述薄板玻璃基 板与所述支撑玻璃基板分离。使用图5对具体的剥离方法进行说明。图5中，在水平的平台51上，以薄板玻璃基板52在下、支撑玻璃基板58在上的方 式进行载置，将薄板玻璃基板52的第二主面在平坦的状态下真空吸附到平台51上，如图7 所示向上拉伸片材57，将支撑玻璃基板58提升。这样，能够在薄板玻璃基板52与树脂层 54的界面产生间隙，以该间隙为起点空气层进入界面，由此进行剥离。在此，向该间隙喷吹 空气时，该界面中的剥离现象更容易进行，因此优选。通过这样的方法将本发明的带有支撑体的层叠体中支撑体的部分剥离，需要的情 况下进一步进行加工，可以得到本发明的显示装置用面板。实施例
(实施例1)通过以下的方法，制造与上述的使用图1、图2说明过的实施方式1的玻璃层叠体 基本同样的玻璃层叠体。与实施方式1的不同之处仅在于薄板玻璃基板和支撑玻璃基板的 大小。实施方式1的玻璃层叠体中，薄板玻璃基板12的主面面积小于支撑玻璃基板18的 主面面积，但是实施例1中制造的玻璃层叠体中，两玻璃基板的大小相同。首先，对长720mm、宽600mm、板厚0. 4mm、线膨胀系数38 X 10_7°C的支撑玻璃基板 (旭硝子株式会社制造，AN100)进行纯水清洗、UV清洗而使表面洁净。然后，将无溶剂加成反应型剥离纸用有机硅(信越有机硅公司制造，KNS-320A(粘 度0. 40Pa .s)) 100质量份与钼系催化剂(信越有机硅公司制造，CAT-PL-56) 2质量份的混 合物利用丝网印刷机在支撑玻璃基板的内侧区域涂布长710mm、宽590mm的大小(涂布量 30g/m2)。在此，内侧区域是在外侧全周均等地得到宽度5mm的外侧区域的区域。而且，在180°C下在大气中加热固化30分钟而得到厚度20 μ m的有机硅树脂层。然后，通过丝网印刷在所述的宽5mm的整个外侧区域印刷聚酰亚胺的前体即聚酰 胺酸溶液(“U-清漆-S”，宇部兴产公司制造，18质量％，N-甲基-2-吡咯烷酮溶液)。在 此，印刷聚酰胺酸溶液，使得与在内侧区域形成的有机硅树脂层的端部接触。另外，聚酰胺 酸溶液的湿厚度为160 μ m。然后，在300°C下在大气中加热60分钟，形成由聚酰亚胺构成 的外框层。外框层的厚度为20μπι。另外，通过该加热，在内侧区域形成的有机硅树脂层没 有任何变化。然后，对长720mm、宽600mm、板厚0. 3mm、线膨胀系数38 X 10_7°C的薄板玻璃基板 (旭硝子株式会社制造，AN100)的第一主面(后面与有机硅树脂层接触一侧的面)进行纯 水清洗、UV清洗而使表面洁净。然后，将支撑玻璃基板的有机硅树脂层的表面与薄板玻璃 基板在室温下利用真空压机贴合而得到玻璃层叠体。通过这样的方法制造两个本发明的层叠体的第一实施方式的“玻璃层叠体A”。然后，对两个玻璃层叠体A中的一个在450°C下在大气中加热处理1小时。另外， 独立地在高真空下(1. OX I(T5Pa)使玻璃层叠体A从室温升温到450°C，但从玻璃层叠体A 中没有产生气体。将大气中进行了加热处理后的玻璃层叠体称为“玻璃层叠体A-2”。另外， 将未进行加热处理的另一个玻璃层叠体A称为“玻璃层叠体A-I ”。然后，将玻璃层叠体A-I和玻璃层叠体A-2进行下述的剥离试验1，评价剥离性。〈剥离试验1>将玻璃层叠体以支撑玻璃基板为上侧、薄板玻璃基板为下侧的方式设置在平台 上，将薄板玻璃基板真空吸附到平台上。然后，在该状态下，通过支撑玻璃基板从上侧向外框层照射YVO4激光。而且，外 框层全部碳化破坏。在此，激光的照射中使用LASERTEC公司制造的Q开关YVO4激光装 置。另外，激光的照射条件是波长1064nm，输出1W，光点直径30 μ m，频率50kHz，扫描速度 250mm/s，扫描次数3次。即，向外框层的宽度方向点状照射激光的同时使其移动，在宽度方 向的同一部位往返1.5次后，对与宽度方向垂直的方向(即外框层的长度方向)点状照射 一次(直径30μπι)，使激光照射位置移动，再次在宽度方向的同一部位往返1.5次。通过将 该过程重复，向整个外框层照射激光。然后，在保持将玻璃层叠体的薄板玻璃基板真空吸附在平台上的状态下，以破坏
20外框层形成的支撑玻璃基板与薄板玻璃基板间的间隙为抓手，将支撑玻璃基板向垂直向上 侧拉伸。对玻璃层叠体A-I和玻璃层叠体A-2各自进行这样的剥离试验1，任意的玻璃层叠 体的情况均从端处开始在有机硅树脂层与薄板玻璃基板之间的界面形成空气层，该空气层 扩展，可以容易地将带有有机硅树脂层的支撑玻璃基板与薄板玻璃基板剥离。另外，剥离后 附着在薄板玻璃基板表面的外框层的残渣，可以通过使用醇进行刷洗而容易地除去。另外， 玻璃层叠体A-2的有机硅树脂层的端部未被氧化。(实施例2)使用热塑性聚酰亚胺树脂(三井化学公司制造，AURUM PLC450C) (5质量％热失重 温度=5700C )，使其熔融后，通过挤出点胶法形成外框层，除此以外与实施例1同样地进行 操作，制造两个玻璃层叠体。而且，与实施例1的情况同样地得到未加热处理的“玻璃层叠 体B-1”和加热处理后的“玻璃层叠体B-2”。另外，独立地在高真空下(1.0X10_5Pa)使玻 璃层叠体B从室温升温到450°C，但从玻璃层叠体B中没有产生气体。所得到的玻璃层叠 体B-I和玻璃层叠体B-2中，薄板玻璃基板与有机硅树脂没有气泡地密合，没有凸状缺陷， 平滑性也良好。另外，对玻璃层叠体B-I和玻璃层叠体B-2各自进行上述剥离试验1，与实施例1 的情况同样地可以容易地剥离，有机硅树脂层的端面也完好。通过同样的刷洗，可以除去残渣。(实施例3)实施例3与实施例1同样，但是，支撑玻璃基板、树脂层、外框层和薄板玻璃基板的 种类、大小、厚度等不同。作为支撑玻璃基板，使用长720mm、宽600mm、板厚0. 6mm、线膨胀系数38X10_7°C 的玻璃基板(旭硝子株式会社制，AN100)。另外，作为用于形成树脂层的树脂，使用两末端具有乙烯基的直链状聚有机硅氧 烷(荒川化学工业株式会社制造，商品名8500)和分子内具有氢甲硅烷基的甲基氢聚硅氧 烷(荒川化学工业株式会社制造，商品名12031)。而且，将其与钼基催化剂(荒川化学工业 株式会社制造，商品名CAT12070)混合制备混合物，利用丝网印刷机以长700mm、宽580mm 的大小进行涂布(涂布量20g/m2)，并在180°C在大气中加热固化30分钟，形成厚度20 μ m 的有机硅树脂层。在此，调节直链状聚硅氧烷与甲基氢聚硅氧烷的混合比以使氢化甲硅烷 基与乙烯基的摩尔比为1 1。对于钼系催化剂，相对于直链状聚硅氧烷与甲基氢聚硅氧烷 的合计100质量份添加5质量份。另外，作为用于形成外框层的材料，使用作为糊状物质的才一々公司制造的 力，7 # > K 835 (含有二氧化锆作为基础成分、硅酸盐化合物作为粘结剂的材料)。而且， 使用点胶器，在宽度20mm的外侧区域中以宽度5mm涂布该糊状物。在此，糊状物与有机硅 树脂层的端面接触。另外，糊状物的厚度超过20 μ m。另外，作为薄板玻璃基板，使用长720mm、宽600mm、板厚0. 1mm、线膨胀系数 50X 10_7°c的玻璃基板(旭硝子株式会社制，AN100)。对该薄板玻璃基板的第一主面进行纯水清洗、UV清洗而使表面洁净，然后，将支撑 玻璃基板的有机硅树脂层的表面与薄板玻璃基板在室温下利用真空压机贴合。此时，糊状物被两玻璃基板压塌并漫延，厚度达到20 ym。之后，在100°C下在大气中加热120分钟，糊 状物固化，形成厚度20 u m、宽度20mm的外框层。这样，得到未加热处理的“玻璃层叠体C-1”和进行加热处理后的“玻璃层叠体 C-2”。另外，即使在得到玻璃层叠体的过程中与玻璃层叠体A的情况同样独立地在高真空 下(1.0X10_5Pa)使玻璃层叠体C从室温升温到450°C，但从玻璃层叠体C中没有产生气体。 所得到的玻璃层叠体C-1和玻璃层叠体C-2中，薄板玻璃基板与有机硅树脂没有气泡地密 合，没有凸状缺陷，平滑性也良好。另外，对玻璃层叠体C-1和玻璃层叠体C-2各自进行上述剥离试验1。但是激光的 照射输出不是1W而是7W。结果，与实施例1的情况同样地可以容易地剥离，有机硅树脂层 的端面也完好。通过同样的刷洗，可以除去残渣。另外，玻璃层叠体C-2的情况下固化后的 外框层的热膨胀系数与支撑玻璃基板基本相同。因此，450°C处理后不产生支撑玻璃基板的 翘曲或外框层的剥离。(实施例4)本例中，使用实施例3中得到的玻璃层叠体C-1制造IXD。准备两个玻璃层叠体C-1，一个供给阵列形成工序而在薄板玻璃基板的第二主面 上形成阵列。另一个供给滤色片形成工序而在薄板玻璃基板的第二主面上形成滤色片。将 形成有阵列的玻璃层叠体与形成有滤色片的玻璃层叠体贴合后，一个单面一个单面向外框 层照射激光进行破坏，由此将各自的支撑玻璃基板分离。在分离后的薄板玻璃基板的表面 上没有产生导致强度下降的划痕。接着，将玻璃基板切断，分割为长51mmX宽38mm的168个单元后，实施液晶注入 工序和注入口的密封工序，形成液晶单元。对所形成的液晶单元实施粘贴偏振片的工序，接 着实施模块形成工序，得到LCD。这样得到的LCD特性上没有问题。(实施例5)本例中，使用实施例1中得到的玻璃层叠体A-1来制造IXD。准备两个玻璃层叠体A-1，一个供给阵列形成工序而在薄板玻璃基板的第二主面 上形成阵列。另一个供给滤色片形成工序而在薄板玻璃基板的第二主面上形成滤色片。将 形成有阵列的玻璃层叠体与形成有滤色片的玻璃层叠体贴合后，一个单面一个单面地向外 框层照射激光进行破坏，由此将各自的支撑玻璃基板分离。分离后的薄板玻璃基板的表面 上没有产生导致强度下降的划痕。接着，通过化学腐蚀处理使各个薄板玻璃基板的厚度变为0. 15mm。化学腐蚀处理 后的薄板玻璃基板的表面上没有导致光学上产生问题的蚀坑。其后，将薄板玻璃基板切断，分割为长51mmX宽38mm的168个单元后，实施液晶 注入工序和注入口的密封工序，形成液晶单元。对所形成的液晶单元实施粘贴偏振片的工 序，接着实施模块形成工序，得到LCD。这样得到的LCD特性上没有问题。(实施例6)本例中，使用实施例2中得到的玻璃层叠体B-1和厚度0. 7mm的无碱玻璃基板(旭 硝子制AN-100)来制造IXD。准备玻璃层叠体，供给滤色片形成工序而在玻璃层积体的薄板玻璃基板的第二主 面上形成滤色片。另一方面，将无碱玻璃基板供给阵列形成工序而在一个主面上形成阵列。
将形成有滤色片的玻璃层叠体与形成有阵列的无碱玻璃基板贴合后，一个单面一 个单面地向外框层照射激光进行破坏，由此将支撑玻璃基板从玻璃层叠体分离。分离后的 薄板玻璃基板的表面上没有产生导致强度下降的划痕。接着，使用激光切割机或划线及折断法(7々，4 7—f X々法)将把支撑玻 璃基板分离后得到的物体分割为长51mmX宽38mm的168个单元。然后实施液晶注入工序 和注入口的密封工序，形成液晶单元。对所形成的液晶单元实施粘贴偏振片的工序，接着实 施模块形成工序，得到IXD。这样得到的IXD特性上没有问题。(实施例7)在实施例7中，使用实施例3中得到的玻璃层叠体C-1来制造0LED。进行透明电极形成工序、辅助电极形成工序、蒸镀空穴注入层/空穴输送层/发光 层/电子输送层等的工序、将它们密封的密封工序，在玻璃层叠体的薄板玻璃基板上形成 有机EL结构体。然后，一个单面一个单面地向外框层照射激光进行破坏，由此将支撑玻璃 基板分离。分离后的薄板玻璃基板的表面上没有产生导致强度下降的划痕。接着，使用激光切割机或划线及折断法将薄板玻璃基板切断，分割为长41mmX宽 30mm的288个单元后，将形成有有机EL结构体的玻璃基板与相对基板组装，实施模块形成 工序，制成0LED。这样得到的0LED特性上没有问题。(比较例1)不形成外框层，将长710mm、宽590mm的树脂层大小设定为长715mm、宽595mm，除
此之外与实施例1同样地进行试验。所得到的比较例1的未进行加热处理的“玻璃层叠体 X-1”和进行加热处理后的“玻璃层叠体X-2”中，玻璃基板与有机硅树脂层不产生气泡地密 合，没有凸状缺陷，平滑性也良好。另外，将玻璃层叠体X-1和玻璃层叠体X-2供给以下的剥离试验2。<剥离试验2>将玻璃层叠体以支撑玻璃基板在上侧、薄板玻璃基板在下侧的方式设置于平台 上，将薄板玻璃基板真空吸附到平台上。然后，将锐利的剃刀贴在薄板玻璃基板与树脂层之 间，将界面的端处撬开，缓慢地从端处剥离。其结果，从端处开始在有机硅树脂层与薄板玻 璃基板的界面中形成空气层，该空气层扩展，可以容易地将带有有机硅树脂层的支撑玻璃 基板与薄板玻璃基板剥离。但是，加热处理后的玻璃层叠体X-2中的有机硅树脂层从其端面开始约5mm程度 氧化白化。产生这样的白化时，二氧化硅粉末飞散，有可能污染显示装置的形成工序。详细地或参考特定的实施方式对本发明进行了说明，但是，对本领域技术人员显 而易见的是，在不脱离本发明的精神和范围的情况下可以进行各种变更或修改。本申请基于2008年4月17日提出的日本专利申请2008-108169，该申请的内容以 参考的形式并入本说明书。产业实用性根据本发明，可以提供一种玻璃层叠体，能够抑制由于在玻璃基板间混入的气泡 或尘埃等异物而产生玻璃缺陷，可以在不产生蚀坑的情况下由现有的生产线处理，并且可 以容易地将密合的薄板玻璃基板与树脂层分离。
权利要求
1. 一种玻璃层叠体，包含具有第一主面和第二主面的薄板玻璃基板， 具有第一主面和第二主面的支撑玻璃基板，和配置在所述薄板玻璃基板和所述支撑玻璃基板之间的树脂层和外框层， 所述树脂层固定在所述支撑玻璃基板的第一主面，具备对所述薄板玻璃基板的第一主 面的易剥离性，并且与所述薄板玻璃基板的第一主面密合，所述外框层位于所述支撑玻璃基板的第一主面，并且以所述树脂层与外部空气不接触 的方式包围所述树脂层。
2.如权利要求1所述的玻璃层叠体，其中，所述树脂层的端面与所述外框层的端面的至少一部分接触。
3.如权利要求1或2所述的玻璃层叠体，其中， 所述薄板玻璃基板为TFT阵列用玻璃基板。
4.如权利要求1至3中任一项所述的玻璃层叠体，其中， 所述外框层包含5%热失重温度为400°C以上的材料。
5.如权利要求1至4中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述外框层包含选自由聚酰亚胺树脂、有机硅树脂和无机材料组成的组中的至少一种 材料。
6.如权利要求1至5中任一项所述的玻璃层叠体，其中，所述树脂层包含选自由丙烯酸类树脂、聚烯烃类树脂、聚氨酯树脂和有机硅树脂组成 的组中的至少一种材料。
7.如权利要求1至6中任一项所述的玻璃层叠体，其中， 所述外框层的宽度为0. 5 10mm。
8. 一种带支撑体的显示装置用面板，其中，在权利要求3至7中任一项所述的玻璃层叠体中的所述薄板玻璃基板的第二主面上， 还具有TFT阵列。
9. 一种显示装置用面板，其使用权利要求8所述的带支撑体的显示装置用面板来形成。
10. 一种显示装置，其具有权利要求9所述的显示装置用面板。
11. 一种玻璃层叠体的制造方法，制造权利要求1至7中任一项所述的玻璃层叠体，其 包括以下工序在所述支撑玻璃基板的第一主面上的内侧区域形成并固定所述树脂层的树脂层形成工序，在所述支撑玻璃基板的第一主面上的外侧区域形成并固定所述外框层的外框层形成 工序，和将所述薄板玻璃基板的第一主面与所述树脂层和所述外框层密合的密合工序。
12. —种带支撑体的显示装置用面板的制造方法，其中，权利要求11所述的玻璃层叠体的制造方法还包括在所得到的玻璃层叠体中的所述薄 板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用构件的工序。
13. —种显示装置用面板的制造方法，其中，权利要求12所述的制造方法还包括将所得到的带支撑体的显示装置用面板中的所述 薄板玻璃基板与所述支撑玻璃基板分离的分离工序。
14.如权利要求13所述的显示装置用面板的制造方法，其中， 所述分离工序是通过对所述外框层照射激光而将所述薄板玻璃基板与所述支撑玻璃 基板分离的工序。
全文摘要
本发明涉及一种玻璃层叠体，所述玻璃层叠体(10)包含具有第一主面和第二主面的薄板玻璃基板(12)，具有第一主面和第二主面的支撑玻璃基板(18)，和配置在所述薄板玻璃基板(12)和所述支撑玻璃基板(18)之间的树脂层(14)和外框层(16)，所述树脂层(14)固定在所述支撑玻璃基板(18)的第一主面，具备对所述薄板玻璃基板(12)的第一主面的易剥离性，并且与所述薄板玻璃基板(12)的第一主面密合，所述外框层(16)位于所述支撑玻璃基板(18)的第一主面，并且以所述树脂层(16)与外部空气不接触的方式包围所述树脂层(14)。
文档编号G09F9/00GK102007524SQ20098011355
公开日2011年4月6日 申请日期2009年4月6日 优先权日2008年4月17日
发明者江畑研一, 近藤聪 申请人:旭硝子株式会社
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