电子器件的制造方法及该方法中使用的剥离装置的制作方法
专利名称：电子器件的制造方法及该方法中使用的剥离装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及电子器件的制造方法及该方法中使用的剥离装置。
背景技术：
近年来，液晶显示装置(IXD)、有机EL显示装置(OLED)作为显示装置被广泛利用。 特别是在移动或手机等便携型显示装置领域，寻求显示装置的轻量化、薄型化。同样，太阳电池、薄膜二次电池、表面形成有电路的半导体晶片等电子器件也寻求轻量化、薄型化。为了与此对应，用于显示装置等电子器件的玻璃、树脂、金属等基板正在进行薄板化。在玻璃基板的情况下，作为减薄板厚的方法，通常进行下述方法，在玻璃基板的表面形成显示装置用部件之前或形成之后，使用化学蚀刻对玻璃基板的外表面进行蚀刻处理，且根据需要进一步进行物理研磨来减薄。但是，在玻璃基板的表面形成显示装置等电子器件用部件之前，进行蚀刻处理等而减薄玻璃基板时，玻璃基板的强度降低，弯曲量也变大。因此，产生不能在已有的制造生产线进行处理的问题。另外，在玻璃基板的表面形成显示装置用部件之后，进行蚀刻处理等而减薄玻璃基板时，在玻璃基板的表面形成显示装置用部件的过程中，产生形成于玻璃基板表面的微细的损伤显现化的问题、即被称为边缘凹坑的问题。因此，为了解决这样的问题，提案有下述方法等，将板厚薄的玻璃基板(以下也称为“薄板玻璃基板”。)与其它支承玻璃基板贴合制成层叠体，在该状态下实施用于制造显示装置的规定的处理，之后，将薄板玻璃基板和支承玻璃基板分离。例如，专利文献1中记载有如下方法将制品用的玻璃基板和增强用玻璃基板利用玻璃基板之间的静电吸附力或真空吸附力贴合而形成一体，制造使用制品用的玻璃基板的显示装置。专利文献2中记载有如下方法将液晶显示装置的基板和支承体的端部使用玻璃粉系的粘接剂粘接，之后，形成电极图案等的液晶显示装置的制造。专利文献3中记载有具有向两个玻璃基板的至少周缘部的端面附近照射激光而使上述两个玻璃基板融合的工序的显示装置用基板的制造方法。专利文献4中记载有一种液晶显示装置的制造方法，在支承体上设有粘接材料层的基板输送用夹具上粘贴基板并通过液晶显示元件的制造工序输送基板输送用夹具，由此对于贴合于基板输送用夹具的基板依次进行液晶显示元件形成处理，在结束规定的工序后，将基板从基板输送用夹具剥离。专利文献5中记载有一种液晶显示元件的制造方法，其特征在于，将液晶显示元件用电极基板使用支承体上设有紫外线固化型粘接剂的夹具对液晶显示元件用电极基板实施了规定的加工后，对紫外线固化型粘接剂照射紫外线，由此使上述紫外线固化型粘接剂的粘接力降低，将上述液晶显示元件用电极基板从上述夹具剥离。专利文献6中记载有一种通过粘接材料将薄板临时固定于支承板上，通过密封材料将上述粘接材料的周缘部密封，输送临时固定有薄板的支承板的输送方法。专利文献7中记载有一种薄板玻璃层叠体，层叠薄板玻璃基板、支承玻璃基板而形成，其特征在于，上述薄板玻璃和上述支承玻璃经由具有易剥离性及非粘接性的硅酮树脂层而层叠。而且，要将薄板玻璃基板和支承玻璃基板分离，只要赋予将薄板玻璃基板从支承玻璃基板拉向垂直方向的力即可，通过由剃刀的刃等给予端部剥离的契机或向层叠界面注入空气，可以更容易地进行剥离。专利文献8中记载有用于将吸附保持于吸附片的玻璃基板等板状体从吸附片剥离的剥离装置。专利文献1 日本国特开2000-241804号公报专利文献2 日本国特开昭58-54316号公报专利文献3 日本国特开2003-216068号公报专利文献4 日本国特开平8-86993号公报专利文献5 日本国特开平9-105896号公报专利文献6 日本国特开2000-252342号公报专利文献7 国际公开第2007/0180 号小册子专利文献8 日本国特开2007-185725号公报但是，专利文献1中记载的将玻璃基板之间利用静电吸附力或真空吸附力固定的方法、专利文献2中记载的将玻璃基板的两端通过玻璃粉固定的方法、或专利文献3中记载的向周缘部的端面附近照射激光而使两个玻璃基板融合的方法中，由于使玻璃基板之间以不介有任何中间层的方式层叠密接，所以因向玻璃基板间混入的气泡或尘埃等异物而在玻璃基板上发生变形缺陷。因此，难以得到表面平滑的玻璃基板层叠体。另外，专利文献4 6中记载的在玻璃基板间配置粘接层等的方法中，虽然能够避免上述那样的向玻璃基板间混入气泡等导致的变形缺陷的发生，但难以将两玻璃基板分离，分离时薄板玻璃基板可能破损。另外还存在粘接剂残留于分离后的薄板玻璃基板的问题。与之相对，根据专利文献7中记载的薄板玻璃层叠体，难以产生上述那种向玻璃基板间混入气泡等造成的变形缺陷。另外，也可以将薄板玻璃基板和支承玻璃基板剥离。另外，解决了粘接剂残留于分离后的薄板玻璃基板的问题。但是，期望两玻璃基板的分离更容易且在更短时间内进行。特别是在玻璃基板为大型的情况下，在工业上利用方面为重要的
点ο另外，专利文献8中记载的剥离装置是将吸附保持于吸附片的玻璃基板等从吸附片剥离的装置，难以将经由树脂层密接的支承玻璃基板和薄板玻璃基板以不损伤上述薄板玻璃基板且不使上述树脂层残留于上述薄板玻璃基板上的方式进行剥离。
发明内容
本发明是鉴于上述问题点而做出的。即，其目的在于，提供一种电子器件的制造方法，抑制向基板间混入的气泡及尘埃等异物造成基板缺陷的发生，可以不产生边缘凹坑地利用已有的制造生产线进行处理，可以不损伤密接的基板和树脂层地将它们容易且在短时间内剥离并分离。另外，其目的在于，提供一种可以实施这种电子器件的制造方法的剥离装置。本发明者为解决上述课题而进行了潜心研究，完成了本发明。本发明涉及以下⑴ (18)。(1) 一种电子器件的制造方法，包含从带支承体的电子器件剥离支承体的操作，所述带支承体的电子器件在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有电子器件用部件的基板的第一主面上密接树脂层而形成，所述树脂层固定于具有第一主面及第二主面的支承基板的第一主面上且具有易剥离性，所述支承体由所述支承基板及所述树脂层构成，所述电子器件由所述电子器件用部件及所述基板构成，其中，具备固定工序，使所述带支承体的电子器件所具有的两个主面中的一个未附有在作为后工序的剥离工序中被剥离的支承体的主面向工作台所具备的平面状的固定面密接，将所述带支承体的电子器件固定于所述工作台的固定面上；及剥离工序，向固定于所述工作台的固定面上的所述带支承体的电子器件的端面中被剥离的所述支承体的所述树脂层和所述基板之间的界面插入刀片，将所述支承体和所述电子器件剥离。(2)如(1)所述的电子器件的制造方法，其中，在所述剥离工序中，插入到所述树脂层和所述基板之间的界面的所述刀片因来自所述树脂层及/或所述基板的作用而变形， 从而使所述刀片进一步向插入的方向移动，在该情况下，所述刀片沿所述树脂层的表面移动，将所述支承体和所述电子器件剥离。(3)如⑴或⑵所述的电子器件的制造方法，其中，在所述剥离工序中，向所述树脂层和所述基板之间的界面插入了所述刀片后，所述刀片以其前端部为中心旋转，后端部沿与所述工作台的所述固定面的法线平行的方向移动，进而所述刀片整体也向相同的平行的方向及插入的方向中至少一方移动，从而所述刀片沿着所述树脂层的表面移动，将所述支承体和所述电子器件剥离。(4)如⑴ (3)中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，还具备吸附工序，所述吸附工序在所述固定工序之后且所述剥离工序之前，使多个吸附垫吸附于被剥离的所述支承体的所述支承基板的第二主面，所述剥离工序进而是如下所述工序向所述树脂层和所述基板之间的界面插入所述刀片后，使所述吸附垫向剥离所述树脂层和所述基板的方向即剥离方向移动，将所述支承体和所述电子器件剥离。(5)如(4)所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序使吸附于所述支承基板的第二主面的多个吸附垫中位于最接近所述带支承体的电子器件的端面上插入了所述刀片的部位的位置的吸附垫首先向所述剥离方向移动，接着使与该吸附垫相邻的吸附垫向所述剥离方向移动，之后也同样地使与向所述剥离方向移动了的吸附垫相邻的吸附垫接着向所述剥离方向移动，顺次地进行上述操作，将所述支承体沿着从插入了所述刀片的端部朝向中央的方向剥离，进而朝向其延长线上剥离。(6)如(1) (5)中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序包含通过图像处理来确定所述树脂层和所述基板的界面上插入所述刀片的部位的操作。(7)如(1) (6)中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序在所述支承基板及/或所述基板的任意部位连接导体形成接地来抑制带电，并且将所述支承体和所述电子器件剥离。(8)如(1) (7)中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序在所述支承体和所述电子器件之间喷吹除电用物质进行带电控制，并且将所述支承体和所述电子器件剥离。(9)如(1) (8)中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序是如下所述工序检测作用在所述刀片上的载荷，并且向所述树脂层和所述基板之间的界面插入所述刀片。(10)如⑴ (9)中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述电子器件为显示装置用面板。(11) 一种剥离装置，从带支承体的电子器件剥离支承体，所述带支承体的电子器件在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有显示装置用部件的基板的第一主面密接树脂层而形成，所述树脂层固定于具有第一主面及第二主面的支承基板的第一主面上且具有易剥离性，所述支承体由所述支承基板及所述树脂层构成，其中，具备工作台，与所述带支承体的电子器件的主面密接，具备能够固定所述带支承体的电子器件的平面状的固定面；刀片，用于从所述带支承体的电子器件剥离所述支承体；法线方向移动单元，使所述刀片沿与所述工作台的所述固定面的法线平行的方向即法线方向移动，以使所述刀片插入固定于所述工作台的所述带支承体的电子器件的端面上被剥离的所述支承体的所述树脂层和所述基板之间的界面；固定面方向移动单元，使所述刀片在所述树脂层和所述基板之间移动，进而，所述刀片具备如下所述的性质在插入到所述树脂层和所述基板之间时，因来自所述树脂层及/或所述基板的作用而发生变形，从而沿所述树脂层的表面移动，及/或具备插入角度调节单元，具有使所述刀片以前端部为中心进行旋转并使所述刀片的后端部沿法线方向移动的旋转机构及设定所述刀片的插入角度的上下限的插入角度设定机构；以及法线方向移动机构，使所述刀片整体沿所述法线方向移动。(12)如(11)所述的剥离装置，其中，还具备对固定于所述工作台的固定面上的所述带支承体的电子器件的被剥离的所述支承体的所述支承基板的第二主面进行吸附的多个吸附垫、及使所述吸附垫向剥离所述树脂层和所述基板的方向即剥离方向移动的垫移动单元。(13)如(12)所述的剥离装置，其中，所述垫移动单元具备时间控制功能，使所述多个吸附垫中位于最接近所述带支承体的电子器件的端面上插入了所述刀片的部位的位置的吸附垫首先向所述剥离方向移动，接着使与该吸附垫相邻的吸附垫向所述剥离方向移动，之后同样地使与向所述剥离方向移动了的吸附垫相邻的吸附垫接着向所述剥离方向移动，顺次地进行上述操作，将所述支承体沿着从插入了所述刀片的端部朝向中央的方向剥离，进而朝向其延长线上剥离。(14)如(11) (13)中任一项所述的剥离装置，其中，还具备图像处理装置，用于确定所述树脂层和所述基板之间的界面上插入所述刀片的部位。(15)如(11) (14)中任一项所述的剥离装置，其中，还具备在所述支承基板及/ 或所述基板的任意部位连接导体而抑制带电的接地构造。(16)如(11) (15)中任一项所述的剥离装置，其中，还具备向所述支承体和所述电子器件之间喷吹除电用物质而进行带电控制的带电控制装置。(17)如(11) (16)中任一项所述的剥离装置，其中，还具备检测作用在所述刀片上的载荷的载荷检测装置。(18)如(11) (17)中任一项所述的剥离装置，其中，所述电子器件为显示装置用面板。根据本发明，可以提供一种电子器件的制造方法，能够抑制混入基板间的气泡及尘埃等异物造成的基板缺陷的产生，能够不产生边缘凹坑地用已有的制造生产线进行处理，能够不损伤密接的基板和树脂层地将它们容易且在短时间内剥离并分离。另外，可以提供一种能够实施这种电子器件的制造方法的剥离装置。
图1 (a) 1 (d)是表示本发明的剥离装置的优选实施方式的概略剖面图；图2(a) 2(d)是表示本发明的剥离装置的其它优选实施方式的概略剖面图；图3是表示本发明的剥离装置的优选实施方式的一部分的概略剖面图；图4(a)及4(b)是表示刀片的优选实施方式的概略上面图及概略端面图；图5(a)是用于说明刀片的支承部的概略立体图，图5(b)及图5(c)是概略上面图；图6(a) 6(c)是用于对剥离时的刀片的变形进行说明的概略立体图；图7是表示旋转机构的优选实施方式的概略剖面图；图8是表示吸附垫的优选实施方式的概略立体图；图9是示意性表示吸附垫吸附的情况的图；图10是表示吸附垫的控制系的框图；图11是表示带支承体显示装置用面板的一方式的概略剖面图；图12是表示带支承体显示装置用面板的其它方式的概略平面图；图13是表示带支承体显示装置用面板的其它方式的概略剖面图；图14是表示带支承体显示装置用面板的另一其它方式的概略剖面图；图15(a) 15(c)是用于对工作台的固定面的一部分为曲面的情况下的剥离方法进行说明的概略剖面图；图16(a) 16(c)是用于对工作台为可挠性部件的情况下的剥离方法进行说明的概略剖面图；图17是表示本发明的电子器件的制造方法之一实施方式的显示装置用面板的制造方法的流程之一例的流程图。标号说明1、11剥离装置2基台部件3第一移动部件主体4第三移动部件主体5第二移动部件主体10带支承体显示装置用面板
IOx带支承体显示装置用面板的端面12a、12b薄板玻璃基板16、116、1洸、136显示装置用面板17a、17b、117、127、137a、137b 支承体18a、18b 树脂层19a、19b支承玻璃基板20工作台22多孔质真空吸附片24 泵26工作台框架30 刀片30a刀片的前端部30b刀片的中段部30c刀片的后端部40上下方向移动单元40a第二移动侧部件40b第二固定侧部件42固定面方向移动单元42a第一移动侧部件42b第一移动侧部件44上方向移动机构44a第三移动侧部件44b第三固定侧部件44c止动器46三分力传感器50旋转机构51止动器52覆盖层54旋转轴56轴衬58覆盖层59插入角度调节单元60吸附垫61支承部611 臂70照相机73 喷嘴75带电抑制装置θ插入角度
77真空泵78电气调压阀79 阀82吸附垫83 气泵84 构架85电气调压阀86导向件87电磁阀88 气紅89 活塞90控制部110带支承体的显示装置用面板112薄板玻璃基板114显示装置用部件118树脂层119支承玻璃基板120带支承体的显示装置用面板122薄板玻璃基板IM显示装置用部件125间隙部1 树脂层1 支承玻璃基板132a、132b薄板玻璃基板1；34显示装置用部件138a、138b 树脂层139a、139b支承玻璃基板
具体实施例方式本发明由本发明的制造方法及剥离装置组成。本发明的制造方法可使用本发明的剥离装置最佳地实施。首先，列举两个优选实施例对本发明的剥离装置进行说明。另外，详细后述，本发明中使用的带支承体的电子器件在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有电子器件用部件的基板的第一主面上密接树脂层而形成，所述树脂层固定于具有第一主面及第二主面的支承基板的第一主面上且具有易剥离性。即，带支承体的电子器件具有电子器件用部件、基板、树脂层及支承基板，它们按上述顺序层叠。另外，电子器件具有电子器件用部件及基板，电子器件用部件形成于基板的第二主面上。另外，带支承体的电子器件也可以为将依次层叠有基板、树脂层及支承基板的层叠体经由电子器件用部件层叠二层而成的器件、即依次层叠支承基板、树脂层、基板、电子器件用部件、基板、树脂层及支承基板而成的器件。在此，电子器件是指显示装置用面板、太阳电池、薄膜二次电池、表面形成有电路的半导体晶片等电子零件。显示装置用面板是指包含液晶面板、有机EL面板、等离子体显示面板、场致发射面板等。对本发明的剥离装置的优选实施例进行说明。图1是本发明的剥离装置的优选实施例的剥离装置1的概略剖面图。图1(a) 1(d)是用于说明进行剥离时的剥离装置1的各部位的动作的连续图， 使用图1(a)对剥离装置1的构成进行说明。关于剥离时的各部位的动作后述。图1 (a)中，剥离装置1具备工作台20、刀片30、法线方向移动单元40、及固定面方向移动单元42，进而具备三分力传感器46。S卩，剥离装置1具备工作台20，与带支承体显示装置用面板10的主面密接，具备能够固定带支承体显示装置用面板10的平面状的固定面 ’刀片30，用于从带支承体显示装置用面板10剥离支承体；法线方向移动单元40，使刀片30沿与工作台20的固定面的法线平行的方向即法线方向(图1中为上下方向)移动，以使刀片30插入固定于工作台20的带支承体显示装置用面板10的端面上被剥离的支承体的树脂层和薄板玻璃基板之间的界面；固定面方向移动单元42，使刀片30在树脂层和薄板玻璃基板之间移动，进而，具备三分力传感器46作为可检测作用在刀片30上的载荷的载荷检测单元。另外，如后述，剥离装置1的刀片30具备在插入到树脂层和薄板玻璃基板之间时， 因来自树脂层及/或薄板玻璃基板的作用而发生变形，从而沿树脂层的表面移动的性质。另外，优选实施例的剥离装置1的基台部件2及工作台20被固定于设有剥离装置 1的房间的地板上且不移动。另外，工作台20的固定面20a(参照图3)为水平面(即与房间的地板平行)。另外，基台部件2和固定面方向移动单元42的第一固定侧部件42b被固定，同样，固定面方向移动单元42的第一移动侧部件4 和固定面方向的第一移动部件主体3、第一移动部件主体3和法线方向移动单元40的第二固定侧部件40b、法线方向移动单元40的第二移动侧部件40a和法线方向的第二移动部件主体5、第二移动部件主体5和三分力传感器46和法线方向的第三移动部件主体4、第三移动部件主体4和刀片30被固定。另外，图1中未图示，如之后使用图3说明，剥离装置1具备在带支承体显示装置用面板10的支承玻璃基板19b的第二主面吸附的吸附垫60 ；为了插入带支承体显示装置用面板的端面的刀片30而使用的照相机70 ；作为向被剥离的支承体的树脂层18b和薄板玻璃基板12b之间的界面喷吹除电用物质(水等)的喷吹装置的喷嘴73 ；及通过导体连接带支承体显示装置用面板10和地面而抑制带支承体显示装置用面板10的带电的带电抑制装置75。对本发明的剥离装置的其它优选实施例进行说明。图2是本发明的剥离装置的其它优选实施例的剥离装置11的概略剖面图。图2 (a) 2(d)是用于说明进行剥离时的剥离装置11的各部位的动作的连续图， 使用图2(a)对剥离装置11的构成进行说明。关于剥离时的各部位的动作后述。另外，剥离装置11具有与上述的剥离装置1共通的部位。该部位的说明简略进行。 另外，图2中，对于与剥离装置1共通的部位标注与图1相同的标号(序号)。
图2(a)中，剥离装置11具备工作台20、刀片300、法线方向移动单元40、固定面方向移动单元42、具有旋转机构50及止动器51的插入角度调节单元59、法线方向移动机构 44，另外还具备三分力传感器46。S卩，剥离装置11具备与剥离装置1相同的工作台20、法线方向移动单元40、固定面方向移动单元42、及三分力传感器46。而且，在此基础上还具备刀片300，用于从带支承体显示装置用面板10剥离支承体；插入角度调节单元59，具有使刀片300以前端部为中心旋转即转动规定角度(小于180度)并使刀片300的后端部可沿法线方向移动的旋转机构50及作为设定刀片300的插入角度的上下限的插入角度设定机构的止动器51 ；及法线方向移动机构44，使刀片300整体可沿上述法线方向移动。在此，剥离装置11的刀片300具备与上述的剥离装置1的刀片30不同的性质，不会发生变形。即，刀片300不具备如刀片30那样的性质，即在插入到树脂层和薄板玻璃基板之间时因来自树脂层及/或薄板玻璃基板的作用而发生变形从而沿树脂层的表面移动的性质。另外，优选实施例的剥离装置11的基台部件2及工作台20被固定于设有剥离装置11的房间的地板上，不移动。另外，工作台20的固定面为水平面(即与房间的地板平行)。另外，基台部件2和固定面方向移动单元42的第一固定侧部件42b被固定，同样，固定面方向移动单元42的第一移动侧部件4 和固定面方向的第一移动部件主体3、第一移动部件主体3和法线方向移动单元40的第二固定侧部件40b、法线方向移动单元40的第二移动侧部件40a和法线方向移动机构44的第三固定侧部件44b、法线方向移动机构44的第三移动侧部件4 和法线方向的第二移动部件主体5、第二移动部件主体5和三分力传感器46和法线方向的第三移动部件主体4被固定。另外，刀片30可旋转(转动)地支承于第三移动部件主体4。另外，图2中虽未图示，如之后使用图3所说明，剥离装置11与剥离装置1相同， 具备吸附垫60、照相机70、喷嘴73、及带电抑制装置75。〈工作台〉剥离装置1及剥离装置11 (以下也记载为“剥离装置1、11”。)具备工作台20。使用图3对剥离装置1、11的工作台20进行说明。图3是表示在剥离装置1、11的工作台20的固定面20a上固定有带支承体显示装置用面板10的概略剖面图。在此，带支承体显示装置用面板10为由薄板玻璃基板(12a、 12b)、树脂层(18a、18b)、及支承玻璃基板(19a、19b)的层叠体夹持显示装置用部件14的两主面的状态的结构。在此，将由薄板玻璃基板1 及12b夹持显示装置用部件14的两主面的结构称为狭义上的显示装置用面板16，将树脂层18a及18b和支承玻璃基板19a及19b的各层叠体称为支承体17a及17b。另外，被剥离的支承体17b由支承玻璃基板19b和树脂层18b构成。因此，广义上也可以将狭义上的显示装置用面板16和支承体17a—体称为显示装置用面板。剥离装置1、11具备工作台20，包括具备平面状的固定面的多孔质真空吸附片 22 ；带支承体显示装置用面板10，固定于工作台20的固定面上；及刀片30或刀片300，插入带支承体显示装置用面板10的端面IOx上被剥离的支承体17b的树脂层18b和薄板玻璃基板12b之间的界面。另外，具备吸附于带支承体显示装置用面板10的支承玻璃基板19b的第二主面上的吸附垫60 ；具备为了插入端面IOx的刀片30或刀片300而使用的图像处理装置的照相机70 ；向被剥离的支承体的树脂层18b和薄板玻璃基板12b之间的界面喷吹除电用物质的喷嘴73 ；及通过导体将带支承体显示装置用面板10和地面连接而抑制带支承体显示装置用面板10的带电的带电抑制装置75。另外，多孔质真空吸附片22与泵M连接，使用泵M进行抽真空，在多孔质真空吸附片22的固定面(图3所示的工作台20上为上表面)上真空吸附带支承体显示装置用面板10的支承玻璃基板19a的第二主面，将带支承体显示装置用面板10固定。本发明的剥离装置中，工作台的固定面是指与带支承体显示装置用面板10的主面密接且能够将带支承体显示装置用面板10固定的平面。本发明中，工作台只要能够将带支承体显示装置用面板保持固定于工作台的固定面上就没有特别限定，但如图3所示，优选通过真空吸附进行吸附固定。这是因为使带支承体显示装置用面板的表面难以损伤，另外，可在短时间内解吸。另外，工作台在其固定面上载置带支承体显示装置用面板，可以保持带支承体显示装置用面板，优选固定面上的宽度(面积)为与固定的带支承体显示装置用面板的薄板玻璃基板的主面面积同等程度。另外，本发明中，对于工作台的固定面，如图1 3所示设为水平面，但不限于水平面，也可以为曲面。图15是用于对工作台20的固定面的一部分为曲面的情况下的剥离方法进行说明的概略剖面图。首先，在将带支承体显示装置用面板10固定于固定面20a的一部分为曲面的工作台20上，在将刀片30插入到支承体17b的树脂层18b(参照图3)和显示装置用面板16的薄板玻璃基板12b(参照图3)之间的初期阶段(图15(a))，刀片30以沿着树脂层18b的表面的方式移动，赋予支承体17b和显示装置用面板16剥离的契机(图 15(b))。之后(图15(c))，使用吸附垫82吸附支承体17b，将支承体17b和显示装置用面板16剥离。由于工作台20的固定面20a为曲面，所以与固定面为水平面的工作台20相比较，能够将支承体17b的变形抑制为较小，不存在在剥离时支承体17b破坏的担心。另外，也可以使工作台20为可挠性部件，边依次挠曲变形边全面剥离。图16是用于对工作台20为可挠性部件时的剥离方法进行说明的概略剖面图。首先，将带支承体显示装置用面板10固定于固定面为水平的可挠性工作台20上，在将刀片30插入到支承体17b 的树脂层18b(参照图幻和显示装置用面板16的薄板玻璃基板12b(参照图幻之间的初期阶段(图16(a))，刀片30以沿着树脂层18b的表面的方式移动，赋予支承体17b和显示装置用面板16剥离的契机(图16(b))。之后(图6(c))，使用吸附垫82吸附支承体17b， 进一步由设置于工作台20下方的其它吸附垫82吸附工作台20，边使支承体17b及工作台 20依次挠曲变形，边将支承体17b和显示装置用面板16剥离。由于使工作台20为可挠性部件，边依次挠曲变形边进行剥离，所以与固定面为水平面且没有变形的工作台相比，可以将支承体17b的变形抑制为较小，不存在剥离时支承体17b破坏的可能性。另外，图3中由θ表示的角度表示刀片的插入角度。即，插入角度(Θ)是指刀片的上表面(如果刀片为后述的图4所示的二段刃的情况则为刀片的中段部及后端部的上表面)和被剥离的支承体17b的树脂层18b的表面所成的角度。
〈刀片〉刀片30及刀片300为将支承体17b从带支承体显示装置用面板10剥离而使用的构件，插入到由支承玻璃基板1%和树脂层18b构成的支承体17b和薄板玻璃基板12b之间的界面而进行剥离。使用图4对剥离装置1的刀片30的形状进行说明。另外，在此仅对刀片30进行说明，剥离装置11的刀片300的形状也可以与剥离装置1的刀片30相同。图4(a)是刀片30的概略上面图，图4(b)是概略端面图。本发明中使用的刀片的大小、形状等没有特别限定，但优选实施例的刀片30为图 4所示的大小及形状。即，如图4(a)所示，从上面观察时刀片30为矩形，为宽度10mm、长度 IOOmm的大小。另外，如图4(b)所示，厚度为0. 1mm，为二段刃。构成二段刃的图4(b)所示的前端部30a为尖端，且从端面观察成25度的角度，中段部30b成15度的角度，后端部30c 形成为平坦。如上述所述，刀片30的大小为宽度10mm、长度100mm，但本发明中使用的刀片的大小优选为宽度5 50mm、长度30 200mm。另外，优选厚度为0. 05 1. 0mm。另外，优选如刀片30那样为二段刃。刀片的前端可以防止给予薄板玻璃基板及树脂层的表面带来损伤。另外，如上述，刀片30的前端部30a所成的角度为25度的程度，但在本发明中使用的刀片为二段刃的情况下，优选前端部构成的角度为20 30度。另外，同样，优选中段部构成的角度为10 20度。另外，前端的曲率虽没有特别限定，但优选曲率半径为0.001mm 以上。另外，本发明中使用的刀片优选如图4所示为双刃，但也可以为单刃。其次，对刀片的材质及变形能等进行说明。刀片30及刀片300的材质没有特别限定。可列举例如不锈钢等金属、陶瓷、塑料、 硬质橡胶。另外，优选为如下材料在插入树脂层和薄板玻璃基板之间而从树脂层及/或薄板玻璃基板承受任何作用(力)的情况下发生变形，在解除了作用的情况下也可逆地解除变形，返回本来形状。例如可优选示例橡胶那样的弹性体，但由于在对刀片施加的作用 (力)不大的范围内金属等也作为弹性体动作，因此可以优选使用。另外，优选由如下材料构成，即杨式模量为1，000 400，000N/mm2、优选为 200, ΟΟΟΝ/mm2程度的材料。不锈钢的杨式模量为206，ΟΟΟΝ/mm2,为可以优选使用的材料。另外，剥离装置1的刀片30具备特定的弯曲刚性[N · mm2]。具体而言，在刀片30的形状例如为上述的图4所示那样的情况下，相对于对刀片 30的上表面施加的负荷(厚度方向的负荷)的弯曲刚性(以下称为“弯曲刚性A”。)为 5，OOON · mm2以下，优选为200N · mm2以下。另外，在刀片30的形状例如为上述图4所示那样的情况下，相对于刀片宽度方向的负荷的弯曲刚性(向长度方向的边(面)施加了负荷时的弯曲刚性)(以下为“弯曲刚性 B”。)为 200，OOON · mm2 以上，优选为 1，000，OOON · mm2 以上。另外，更优选的是，弯曲刚性A为5，OOON -mm2以下，且弯曲刚性B为200，OOON -mm2以上。另外，在此所说的弯曲刚性(弯曲刚性A及弯曲刚性B)作为根据刀片的材质决定的杨式模量[N/mm2]和根据剖面形状及中性轴的位置决定的剖面二次力矩[mm4]之积求出。这样，对于剥离装置1的刀片30，由于具备上述特定范围的弯曲刚性A、B，因此，在插入到树脂层和薄板玻璃基板之间的情况下，因来自树脂层及/或薄板玻璃基板的作用而发生变形，从而沿树脂层的表面移动。如后述，剥离装置11的刀片300不需要具备刀片30 所具备的弯曲刚性，但也可以具备。其次，对支承剥离装置1的刀片30的支承部进行说明。刀片30优选由具备图5所示的构造的支承部61支承。图5 (a)为剥离装置1的刀片30及支承所述刀片30的支承部61的概略立体图。另外，图5(b)、(c)是表示图5(a) 的一侧的臂611的动作的概略上面图。图5(b)、(c)中省略图示刀片30。图5的支承部61具有两个板状的臂611，将它们与刀片30连结。对于臂611，在向刀片30施加任何的力时，能够以不会妨碍刀片30自身变形的方式发生变形。例如图5(b)所示，两个臂611可以以彼此靠近的方式变形。另外，例如图5(c)所示，从上面观察时能够以成为S字状的方式发生变形。刀片30具备上述的特定范围的弯曲刚性A、B，除此之外还由上述的支承部支承， 因此，在插入到树脂层和薄板玻璃基板之间时，因来自树脂层及/或薄板玻璃基板的作用而更容易变形，从而沿树脂层的表面移动。更具体而言，例如图6所示(图6(a) (c)中省略表示支承部61。)，将刀片插入到树脂层和薄板玻璃基板之间的初期阶段(图6(b))，刀片30因其自身的法线方向的变形以沿着树脂层的表面的方式移动，之后(图6 (c))，通过以插入方向的刀片30和带支承体显示装置用面板10接触的部分及刀片30和支承部连结的部分为支点的旋转方向的变形且与旋转方向复合的所谓的自身的扭转现象，可以沿树脂层的表面移动。与之相对，剥离装置11的刀片300不具备刀片30所具备的弯曲刚性，且也不具备支承部61这样的支承构造。因此，不会因来自树脂层及薄板玻璃基板的作用而变形。因此，剥离装置11需要具备插入角度调节单元以及法线方向移动机构，所述插入角度调节单元具有剥离装置1不具备的旋转机构及插入角度设定机构。另外，本发明的剥离装置还包括具有具备刀片30那样的变形能的刀片且如剥离装置11具备插入角度调节单元及法线方向移动机构的情况。当然，也有时根据变形能(变形的程度)使刀片更好的动作。〈法线方向移动单元〉使用图1(a)对剥离装置1的法线方向移动单元40进行说明。剥离装置11也具有同样的法线方向移动单元40。剥离装置1中，法线方向移动单元40具有第二移动侧部件40a及第二固定侧部件 40b。第二移动侧部件40a和第二固定侧部件40b经由未图示的交叉滚子导向件连接，通过驱动未图示的伺服电动机可以使第二移动侧部件40a相对于第二固定侧部件40b向法线方向移动，可以使与第二移动侧部件40a连接的刀片30向法线方向移动。如上所述，法线方向是指与工作台20的固定面20a(参照图3)的法线平行的方向。由于剥离装置1的工作台20的固定面20a为水平面，所以在剥离装置1中(剥离装置 11也同样)法线方向为上下方向(垂直方向)。可以以能够将刀片30插入固定于工作台20的固定面20a上的带支承体显示装置用面板10的端面中被剥离的支承体17b的树脂层18b和薄板玻璃基板12b的界面的方式 (参照图3)调节其位置。本发明中，法线方向移动单元只要是可以使刀片向法线方向的所希望的位置移动的单元则就没有特别限定。<插入角度调节单元>剥离装置11具备插入角度调节单元59，所述插入角度调节单元59具有旋转(或转动)机构50和作为上下限设定机构的止动器51。剥离装置1不具有插入角度调节单元。使用图2 (a)及图7对剥离装置11的旋转机构50进行说明。剥离装置11中，旋转机构50经由托架52连结旋转轴M和刀片300，为能够通过使旋转(或转动)轴讨旋转(或转动)规定角度来使刀片300也旋转(或转动)规定角度的机构。图7是用于说明这样的旋转机构50的概略剖面图，为从上面看到的在旋转轴M 的中心水平切开的剖面的图。图7中，矩形的刀片300的三边被固定地固定于托架52上，进而托架52被固定于旋转轴M上，因此，通过旋转轴M旋转，刀片300也同样地旋转。旋转轴M经由树脂制的滑动轴衬56由托架58支承。托架58被固定于图2 (a)所示的第三移动部件主体4上。另外，如图2(a)及图7所示，刀片300的前端和旋转轴M的中心大致一致。因此，刀片300 可以以其前端为中心旋转。另外，如图2(a)所示，剥离装置11具有止动器51。止动器51与第三移动部件主体4连结，相对于第三移动部件主体4相对地在法线方向(上下方向)移动，可以在所希望的位置固定。因此，如果固定，则止动器51追随第三移动部件主体4的法线方向的移动而移动。通过这样的止动器51可以调节刀片300的插入角度(θ )的上限或下限。以支承托架52的下表面的方式决定止动器51的位置，从而刀片300不会向插入角度(θ )增大的方向进一步旋转，因此可以设定上限。该情况下，可以向反方向(Θ减小的方向)旋转。插入角度(θ )没有特别限定，但优选为2 5度。<固定面方向移动单元>使用图1(a)对剥离装置1的固定面方向移动单元42进行说明。剥离装置11也具有同样的固定面方向移动单元。剥离装置1中，固定面方向移动单元42具有第一移动侧部件4 及第一固定侧部件42b。第一移动侧部件4 和第一固定侧部件42b经由未图示的交叉滚子导向件连接，通过驱动未图示的伺服电动机，使第一移动侧部件4 相对于第一固定侧部件42b向与工作台20的固定面平行的方向即固定面方向(图1(a)中为左右方向)移动，从而可以使与其连接的刀片30向固定面方向移动。而且，可以使刀片30在树脂层和薄板玻璃基板之间移动。本发明中，固定面方向移动单元只要是能够使刀片向固定面方向的所希望的位置移动的单元则就没有特别限定。〈法线方向移动机构〉使用图2(a)对剥离装置11的法线方向移动机构44进行说明。
剥离装置11中，法线方向移动机构44具有第三移动侧部件44a、第三固定侧部件 44b及止动器44c。第三移动侧部件4 和第三固定侧部件44b经由未图示的交叉滚子导向件连接，第三移动侧部件4 可以相对于第三固定侧部件44b沿法线方向(上方向)自由移动。另外，止动器Mc与法线方向移动单元40的第二移动侧部件40a连结，可以相对于第二移动侧部件40a相对地沿法线方向(上下方向)移动而在所希望的位置固定。因此， 如果固定，则止动器Mc追随第二移动侧部件40a的法线方向(上下方向)的移动而移动。通过这样的止动器Mc可以决定刀片30的法线方向(上下方向)的最下位置。以支承第二移动部件主体5的下表面的方式决定止动器Mc的位置，从而刀片30不会向更下方移动。可以向上方向移动。本发明中，法线方向移动机构只要是刀片整体能够向上方向移动的机构则就没有特别限定。<载荷检测单元>使用图1 (a)对剥离装置1的载荷检测单元进行说明。剥离装置11也具有同样的载荷检测单元。剥离装置1以由第三移动部件主体4和第二移动部件主体5夹持的方式具备三分力传感器46作为作用在刀片30上的载荷检测单元。本发明的剥离装置优选具备作用在这样的刀片上的载荷检测单元。另外，优选尽可能装备于刀片的附近。如果本发明的剥离装置具备作用在刀片上的载荷检测装置，则在使用刀片剥离支承体时，可以不施加无用的力而进行剥离，故而优选。<吸附垫>剥离装置1、11具备吸附于带支承体显示装置用面板10的支承玻璃基板19b的第二主面的多个吸附垫60。本发明中具备这种吸附垫，优选使用该吸附垫从带支承体显示装置用面板10剥离支承体。使用附图对剥离装置1、11所具备的吸附垫进行说明。图8是表示剥离装置1、11的局部的概略立体图。图8中，剥离装置1、11在工作台20的固定面上大致水平地固定有带支承体显示装置用面板10，多个吸附垫82吸附带支承体显示装置用面板10的被剥离的支承体17b的支承玻璃基板19b(参照图幻的第二主如图8所示，在固定有带支承体显示装置用面板10的工作台20的上方配置有多个吸附垫82。在剥离装置1、11中，这些吸附垫82棋盘格状地配置于构架84，但本发明中， 配置可以不必是等间距的。该构架84在剥离支承体时沿导向件86下降移动，在吸附垫82 与带支承体显示装置用面板10的上表面(支承玻璃基板的第二主面)抵接紧前的时刻，其下降移动因未图示的升降装置而停止。关于吸附垫82的尺寸，如果尺寸小，则向带支承体显示装置用面板10的保持力不足，吸附垫82的个数增多，是不经济的。另外，在吸附垫82的尺寸过大时，因抽真空而使吸附中央部的带支承体显示装置用面板10的变形增大，因此，根据情况而成为带支承体显示装置用面板10的损伤的原因。根据这种状况，吸附垫82的适当的尺寸(例如Φ25 80mm、优选为Φ25 65mm、更优选为Φ40πιπι程度)及个数根据带支承体显示装置用面板10的大
小及厚度等选定。吸附垫82与分别独立的气缸88的活塞89连结，通过该活塞89的伸缩动作使吸附垫82进行升降移动。通过吸附垫82的下降动作，将吸附垫82按压抵接于带支承体显示装置用面板10上，在吸附垫82上吸附带支承体显示装置用面板10的上表面，通过吸附垫 82的上升动作将带支承体显示装置用面板10的支承体17b (支承玻璃基板19b及树脂层 18b)从显示装置用面板16剥离(参照图3)。这样的吸附垫82的上升动作优选如下所述进行控制，即，不是使带支承体显示装置用面板10整个区域的吸附垫82 —起进行上升动作，而是从带支承体显示装置用面板10 的端部朝向中央伴随着支承体的剥离的进展依次进行上升动作。另外，吸附垫的上升距离优选根据支承体容许的弯曲应力及尺寸进行调节。另外，吸附垫82和活塞89的连结部分使用旋轴构造等，优选以吸附垫82可偏斜的方式支承。这是因为即使由吸附垫82的吸附面吸附的支承玻璃基板19b(参照图3)的部分，也可以从一端逐渐剥离，使剥离稳定化。另外，可以使吸附垫向法线方向上升而剥离支承体，但也可以使吸附垫向相对于法线方向具有角度的方向上升。例如如下详细说明，在从带支承体显示装置用面板10的端部朝向中央伴随支承体的剥离的进展而依次进行上升动作时，如果以使吸附垫向该中央方向倾斜的方式上升，则可以更容易地剥离支承体，故而优选。图9是表示带支承体显示装置用面板10的上表面(支承玻璃基板19b的第二主面)即图8所示的吸附垫82吸附的位置的上面图，图10是表示吸附垫82的控制系的框图。 另外，图9中，在右下角部插入刀片，设多个(图8、9中为42个)吸附垫82的最接近该角部的吸附垫为垫82a、设其相邻的(左上)两个吸附垫为垫82b、设进而相邻的(左上)三个吸附垫82为垫82c，以这样的方式之后标注标号为垫82d 821。使这些垫82a 821分别独立地动作(相同标号的垫同样地进行动作)，如图10 所示在垫8 821的气缸88a 881的每一个上设置电磁阀87a 871，并且通过控制部 (垫移动单元)90对这些电磁阀87a 871的开闭时间进行时间管理。即，进行控制，以使垫82a 821以规定时间间隔从因插入刀片30或刀片300而消除吸附力的部位(角部) 依次上升移动。即，具备时间控制功能。由此，能够防止使吸附力残存的部位不合理上升而导致的支承体破损。而且，可以从带支承体显示装置用面板10的端部朝向中央伴随支承体的剥离的进展依次进行上升动作而进行剥离。另外，垫8 821的气缸88a 881经由电磁阀87a 871和电气调压阀8 851而与气泵83连接，通过控制部90对这些电气调压阀8 851分别进行控制。即，由控制部90分别控制电气调压阀8 851，通过使向气缸88a 881供给的空气量逐渐增加，可以逐渐提高吸附垫82上升的力。通过执行这样的力控制，可以避免最初开始不合理地提高上升的力引起的带支承体的玻璃基板10的损伤问题，且可以将剥离所需的必要时间缩短为最低限。另一方面，吸附垫82经由由控制部90进行开闭控制的阀79和电气调压阀78而与真空泵77连接。吸附垫82的气压的控制通过调节器78进行。吸附垫82上升的时间和上升的力可通过操作设于控制部90的操作盘上的触摸面板等的开关(未图示)而由操作者设定为任意的值。<照相机>对于剥离装置1、11，为了确认插入带支承体显示装置用面板10的端面IOx的刀片 30或刀片300的部位而具备照相机70，所述照相机70具有图像处理装置。在照相机70中将刀片30或刀片300的位置信息作为图像数据取入到图像处理装置，对该图像数据进行处理，通过图像处理装置判断是否为所希望的位置，将其结果反馈给法线方向移动单元40，由此可使刀片30或刀片300向所希望的位置移动。本发明中具备这样的具有图像处理装置的照相机，优选通过图像处理来确定带支承体显示装置用面板的端面的插入刀片的部位。照相机及图像处理装置的种类等没有特别限定，可使用现有公知的类型。<喷吹装置>剥离装置1、11具备可向被剥离的支承体17b的树脂层18b和显示装置用面板16 的薄板玻璃基板12b之间的界面喷吹除电用物质(水等)的喷嘴73 (参照图3)。当使用本发明的剥离装置进行剥离时，有时得到的显示装置用面板会带电。例如也有时呈现+IOkV的带电压。因此，如果在剥离时喷吹除电用物质，则可以抑制上述的带
H1^ O作为除电用物质，可列举水或水蒸气等离子化了的液体及/或气体。另外，可列举通过脉冲电源装置等离子化了的空气及其它气体。另外，喷吹装置中，也可以喷吹除电用物质以外的物质(空气等)。该情况下实现促进剥离的效果。即使在喷吹了除电用物质的情况下，也能够实现同样的效果。例如通过喷吹水或水及空气的混合流体，实现除电作用及剥离促进作用，故而优选。本发明中，由于具备这种喷吹装置，从而可以使用其将支承体从带支承体显示装置用面板10剥离。〈带电控制装置〉剥离装置1、11具备带电抑制装置75 (参照图3)，所述带电抑制装置75通过导体连接带支承体显示装置用面板10和地面以抑制带支承体显示装置用面板10的带电即用于取得接地。优选在与显示装置用部件相接触的薄板玻璃基板的表面(主面)的周缘形成有护圈，所述护圈通过例如由透明电极膜形成的未施加驱动电压的非驱动电极膜构成，且将该护圈和导体连接而取得接地。当使用本发明的剥离装置进行剥离时，有时所得到的显示装置用面板会带电。例如也有时呈现+IOkV的带电压。因此，如果具备上述那样的带电抑制装置，则能够抑制上述的带电。本发明中，如果具备这种带电抑制装置，则可适宜地将支承体从带支承体显示装置用面板10剥离。上述说明的剥离装置1、11中，工作台20的固定面20a为水平面，但在本发明的剥离装置中，固定面也可以不是水平面、即可以不是与房间的地板等平行的面。例如也可以为与垂直方向平行的面，也可以是与之斜交叉的面。另外，不仅工作台，而且对于设置本发明的剥离装置自身的方向也完全没有限定。也可以以例如图1及图2所示的剥离装置1及剥离装置11中左右和上下调换的配置进行设置。〈剥离方法(其1)>其次，使用图1(a) (d)说明使用了剥离装置1的剥离方法。首先，将带支承体显示装置用面板10的不带之后剥离的支承体的一方的主面密接固定于工作台20所具备的平面状的固定面上(图1(a))。即，将带支承体显示装置用面板10以使带被剥离的支承体的主面为上、以其相反的主面为下的方式真空吸附固定于工作台20上。其次，如图1(b)所示，通过法线方向移动单元40调节刀片30的法线方向(上下方向)的位置。具体而言，通过驱动伺服电动机，使第二移动侧部件40a相对于第二固定侧部件40b向工作台20的固定面的法线方向(上下方向)移动，调节其位置以能够向被剥离的支承体的树脂层18b的表面和薄板玻璃基板12b的第一主面之间的界面插入刀片30。其次，如图1(c)及(d)所示，通过固定面方向移动单元42插入并压入刀片30。如果这样在树脂层18b和薄板玻璃基板12b之间的界面沿固定面方向的插入方向插入并压入刀片30，则如使用图5、图6所说明，刀片30及支承部61发生变形。本发明的剥离装置的优选实施方式的剥离装置1可以使刀片30进行这样的动作，因此，可以适宜地将支承体和上述显示装置用面板剥离。<剥离方法(其2) >其次，使用图2(a) (d)说明使用了剥离装置11的剥离方法。首先，将带支承体显示装置用面板10的不带之后被剥离的支承体的主面密接固定于工作台20所具备的平面状的固定面(图2(a))。即，将带支承体显示装置用面板10以带被剥离的支承体的主面为上、其相反的主面为下的方式真空吸附固定于工作台20上。其次，如图2(a)所示，调节刀片300的插入角度(θ )。具体而言，通过以旋转轴为中心旋转(转动)规定角度，将刀片300的插入角度(Θ)调节为所希望的角度，且通过以与覆盖层52的下表面相接触的方式载置止动器51，由此可以固定插入角度(θ )。其次，如图2(b)所示，通过法线方向移动单元40调节刀片300的法线方向(上下方向)的位置。具体而言，通过驱动伺服电动机，可以使第二移动侧部件40a相对于第二固定侧部件40b沿法线方向移动，调节其位置以能够向被剥离的支承体的树脂层18b的表面和薄板玻璃基板12b的第一主面之间的界面插入刀片30。其次，如图2(c)及(d)所示，通过固定面方向移动单元42插入并压入刀片300。 如果这样向树脂层18b和薄板玻璃基板12b之间的界面插入并压入刀片300，则刀片300以其前端部30a为中心旋转(转动)规定角度，使后端部30c向上方向移动，进而使刀片300 整体向上方向及/或固定面方向的插入方向移动，且使刀片300以沿着树脂层的表面的方式移动进而压入(图2(d))。本发明的剥离装置的优选实施方式的剥离装置11可以使刀片 300进行这样的动作，因此，可以将支承体和上述显示装置用面板适宜地剥离。另外，剥离装置1、11中，在剥离例如图3所示的带支承体显示装置用面板10的两个支承体17a及17b时，首先将一个支承体17b剥离，使其反转后再次固定于同一工作台的固定面上或其它本发明的剥离装置的工作台的固定面上，将另一支承体17a剥离，从而可得到显示装置用面板。其次，使用图8 10说明使用了具备吸附垫的剥离装置1、11的优选的剥离方法。
在工作台20的固定面上固定了带支承体显示装置用面板10后，使构架84下降移动，使吸附垫82在与带支承体显示装置用面板10的表面抵接紧前的时间停止所述下降移动。接着，使气缸88的活塞89伸长，使吸附垫82进行下降移动，与带支承体显示装置用面板10的表面按压抵接。而且，由电气调压阀78控制吸附垫82的气压，耗费某程度的时间将吸附垫82的气压提高至上述设定压力。由此，所有的吸附垫82吸附于带支承体显示装置用面板10上。其次，如图9所示，通过刀片30 (或刀片300)向带支承体显示装置用面板10的角部插入刀片30 (或刀片300)。在此，优选刀片30 (或刀片300)插入至图9所示的吸附垫 82a的紧下。这是因为可以更容易且适宜地进行基于吸附垫的剥离。而且，之后，控制部90 控制图10所示的电磁阀87a，使吸附保持图9所示的带支承体显示装置用面板10的角部的垫8 沿剥离方向(也可以为法线方向)上升移动，将支承体17b的角部从显示装置用面板剥离。其次，控制部90对图10的电磁阀87b进行开放控制，使吸附保持图9所示的支承体17b的缘部的垫82b沿剥离方向上升移动，使支承体17b的缘部从显示装置用面板16 (参照图3)分离。其次，控制部87对图10的电磁阀87c进行开放控制，使图9所示的垫82c沿剥离方向上升移动，将位于支承体17b的缘部内侧的部分从显示装置用面板16剥离。 之后，可同样进行将支承体从显示装置用面板完全地剥离。<带支承体显示装置用面板>其次，对本发明中使用的带支承体显示装置用面板、具有支承体及薄板玻璃基板的显示装置用面板进行说明。本发明的制造方法中使用的带支承体显示装置用面板中，在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有显示装置用部件的薄板玻璃基板的第一主面上密接树脂层而形成，所述树脂层固定在具有第一主面及第二主面的支承玻璃基板的第一主面上且具有易剥离性。本发明的实施方式中，电子器件为显示装置用面板，但本发明不限于此。作为其它电子器件，可列举太阳电池、薄膜二次电池、表面形成有电路的半导体晶片等电子零件。显示装置用面板包含液晶面板、有机EL面板、等离子体显示面板、场致发射面板等。特别适合薄型显示装置用面板的制造。其制造工艺的优点是，可直接利用单片式的制造装置。带支承体显示装置用面板中，薄板玻璃基板的厚度、形状、大小、物性(热收缩率、 表面形状、耐化学性等)、组成等没有特别限定，例如也可以与现有的IXD、0LED等显示装置用的玻璃基板相同。薄板玻璃基板的厚度优选为小于0. 7mm,更优选为0. 5mm以下，进一步优选为 0. 4mm以下。另外，优选为0. 05mm以上，更优选为0. 07mm以上，进一步优选为0. Imm以上。薄板玻璃的形状没有限定，但优选为矩形。薄板玻璃的大小没有限定，例如为矩形的情况下可以为100 2000mmX100 2000mm，更优选为 500 IOOOmmX 500 1000mm。即使为这样的厚度及大小，在本发明的制造方法的剥离工序中，也能够容易地将支承玻璃基板从薄板玻璃基板剥离并分离。
薄板玻璃基板的热收缩率、表面形状、耐化学性等特性也没有特别限定，根据制造的显示装置的种类而不同。优选热收缩率小。具体而言，优选热收缩率的指标即线膨胀系数为500X10_7°C 以下，更优选为300X 10_7°c以下，特别优选为200X 10_7°c以下，且更优选为100X 10_7°c 以下，进一步优选为45X10_7°C以下。另外，本发明中，线膨胀系数是指由JIS R3102(1995年)规定的内容。本发明的实施方式中，基板为薄板玻璃基板，但本发明不限于此。从工业的取得容易性的观点考虑，以玻璃板、硅晶片、金属板、塑料板等为优选例进行表示。在作为基板采用板厚薄的玻璃板(薄板玻璃基板)的情况下，薄板玻璃基板的组成例如可以与碱玻璃或无碱玻璃相同。其中，从热收缩率小的观点看，优选无碱玻璃。在采用塑料板作为基板的情况下，其种类没有特别限制，例如为透明的基板的情况下，示例聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚砜树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、聚丙烯酸树脂、聚硅氧烷树脂、透明含氟树脂等。为不透明的基板的情况下，示例聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、芳族聚酰胺树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、各种液晶聚合物树脂等。在采用金属板作为基板的情况下，其种类没有特别限制，例如示例不锈钢板、铜板寸。基板的耐热性没有特别限制，但在形成显示装置用部件的TFT阵列等的情况下优选耐热性高。具体而言，优选上述5%加热重量损失温度为300°C以上。更优选为350°C以上。该情况下，在耐热性方面，上述的玻璃板均适合。作为从耐热性的观点考虑优选的塑料板，示例聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、芳族聚酰胺树脂、聚醚砜树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、 各种液晶聚合物树脂等。另外，基板可以是层叠有玻璃板、硅晶片、金属板、塑料板等不同材质的层叠体。例如可以是玻璃板和塑料板的层叠体、以塑料板、玻璃、塑料板的顺序层叠的层叠体、及两个以上的玻璃板彼此或两个以上的塑料板彼此的层叠体等。带支承体显示装置用面板在上述薄板玻璃基板的第二主面上具有显示装置用部件。显示装置用部件是指其表面上具有由现有的IXD、OLED等显示装置用的玻璃基板的发光层、保护层、TFT阵列(以下称为阵列。)、彩色滤光片、液晶、ITO构成的透明电极等、 各种电路图案等。上述薄板玻璃基板的第二主面上的显示装置用部件的种类没有特别限定。显示装置用面板具有这样的显示装置用部件和上述薄板玻璃基板。对于带支承体显示装置用面板，在上述薄板玻璃基板的第一主面上作为支承体密接固定有树脂层的支承玻璃基板。支承玻璃基板经由树脂层与薄板玻璃基板密接，对薄板玻璃基板的强度进行增强。本发明的实施方式中，支承基板为支承玻璃基板，但本发明不限于此。从工业取得的容易性的观点看，以玻璃板、硅晶片、金属板、塑料板等为优选例进行表示。
在作为支承基板采用玻璃板的情况下，支承玻璃基板的厚度、形状、大小、物性 (热收缩率、表面形状、耐化学性等)、组成等没有特别限定。支承玻璃基板的厚度没有特别限定，但需要使带支承体显示装置用面板为在现行的制造生产线中能够处理的厚度。例如优选为0. 1 1. Imm的厚度，更优选为0. 3 0. 8mm,进一步优选为0. 4 0. 7mm。例如现行的制造生产线以能够处理厚度0. 5mm的基板的方式进行设计，在薄板玻璃基板的厚度为0. Imm的情况下，支承玻璃基板的厚度和树脂层的厚度共为0. 4mm。另外， 现行的制造生产线最通常的是以能够处理厚度0. 7mm的玻璃基板的方式进行设计，但例如薄板玻璃基板的厚度若为0. 4mm，则与树脂层的厚度共为0. 3mm。支承玻璃基板的厚度优选比上述薄板玻璃基板厚。支承玻璃基板的形状没有限定，优选为矩形。支承玻璃基板的大小没有限定，但优选与上述薄板玻璃基板同程度，更优选为比上述薄板玻璃基板稍大。例如，具体而言，优选纵方向或横方向分别大致0. 05 IOmm程度。 这是因为可以更容易地进行从薄板玻璃基板分离支承玻璃基板。支承玻璃基板的线膨胀系数可以与上述薄板玻璃基板实质上相同，也可以不同。 实质上相同时，在供于本发明的制造方法时，在薄板玻璃基板或支承玻璃基板上难以产生挠曲，在这一点上优选。薄板玻璃基板和支承玻璃基板的线膨胀系数之差优选为300 X 10_7°C以下，更优选为100X10_7°C以下，进一步优选为50X10_7°C以下。支承玻璃基板的组成例如可以与碱玻璃、无碱玻璃相同。其中，从热收缩率小的观点看，优选为无碱玻璃。在作为支承基板采用塑料板的情况下，其种类没有特别限制，例如示例聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、聚碳酸酯树脂、聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、芳族聚酰胺树脂、聚醚砜树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、聚丙烯酸树脂、各种液晶聚合物树脂、聚硅氧烷树脂等。在作为支承基板采用金属板的情况下，其种类没有特别限制，例如示例不锈钢板、 铜板等。支承基板的耐热性没有特别限制，但在形成显示装置用部件的TFT阵列等的情况下，优选耐热性高。具体而言，优选上述5%加热重量损失温度为300°C以上。进而更优选为350°C以上。该情况下，在耐热性这一点上上述的玻璃板均适合。作为从耐热性的观点考虑优选的塑料材料，示例聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、芳族聚酰胺树脂、聚醚砜树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、各种液晶聚合物树脂等。这样的支承玻璃基板的第一主面上所固定的树脂层与上述薄板玻璃基板的第一主面附着而密接，可以容易地剥离。即，树脂层相对于上述薄板玻璃基板具有易剥离性。本发明所使用的带支承体显示装置用面板中，认为树脂层和薄板玻璃基板不是因粘接剂所具有的粘接力而附着，认为是通过固体分子间的范德瓦耳斯力引起的力、即因密接力而附着。树脂层的厚度没有特别限定。优选为1 100 μ m,更优选为5 30 μ m，进一步优选为7 20 μ m。这是因为如果树脂层的厚度为这样的范围，则薄板玻璃基板和树脂层的密接充分。另外，这是因为即使夹杂气泡或异物，也能够抑制薄板玻璃基板的变形缺陷的发生。另外，如果树脂层的厚度过厚，则形成耗费时间及材料，是不经济的。另外，树脂层可以由2层以上构成。该情况下，“树脂层的厚度”是指所有的层的合计厚度。另外，树脂层由2层以上构成的情况下，形成各层的树脂的种类也可以不同。树脂层优选相对于上述薄板玻璃基板的第一主面的树脂层表面的表面张力为 30mN/m以下，更优选为25mN/m以下，进一步优选为22mN/m以下。这是因为，如果为这样的表面张力，则可以更容易地与薄板玻璃基板剥离，同时与薄板玻璃基板的密接也变得充分。另外，树脂层优选由玻化温度比室温(25°C程度)低的材料或不具有玻璃温度的材料构成。这是因为为非粘接性的树脂层，具有更容易的剥离性，可以更容易地与薄板玻璃基板剥离，同时与薄板玻璃基板的密接也变得充分。另外，优选树脂层具有耐热性。这是因为，本发明中，例如在上述薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用部件的情况下，有时将薄板玻璃基板和树脂层和支承玻璃基板的玻璃层叠体供于热处理。另外，当树脂层的弹性率过高时，与薄板玻璃基板的密接性降低，故而不予优选。 另外，如果弹性率过低，则易剥离性变低，故而不予优选。形成树脂层的树脂的种类没有特别限定。可列举例如丙烯酸树脂、聚烯烃系树脂、 聚氨酯树脂及硅酮树脂。也可以将几种类的树脂混合使用。在上述树脂组中优选硅酮树脂。 这是因为硅酮树脂耐热性优异且相对于薄板玻璃基板的易剥离性的程度适宜。另外，这是因为通过与支承玻璃基板的第一主面的硅烷醇的缩合反应而容易固定于支承玻璃基板上。 硅酮树脂层例如即使在300 400°C程度下处理1小时程度，易剥离性也几乎不会劣化，在这一点上也优选。另外，树脂层优选在硅酮树脂中也由剥离纸用硅酮构成，更优选为其固化物。剥离纸用硅酮以分子内含有直链状的二甲基聚硅氧烷的硅酮为主剂。使用催化剂、光聚合引发剂等将含有该主剂和交联剂的组成物固化形成于上述支承玻璃基板的表面(第一主面)的树脂层具有优异的易剥离性，故而优选。另外，由于柔软性高，所以即使气泡或尘埃等异物混入薄板玻璃基板和树脂层之间，也能够抑制薄板玻璃基板的变形缺陷的发生。这种剥离纸用硅酮根据其固化机构分类成缩合反应型硅酮、加成反应型硅酮、紫外线固化型硅酮及电子束固化型硅酮，均可以使用。其中优选加成反应型硅酮。这是因为固化反应的容易度、形成树脂层时易剥离性的程度良好，耐热性也高。另外，剥离纸用硅酮在形态上有溶剂型、乳剂型及无溶剂型，任何类型均可使用。 其中优选无溶剂型。生产性、安全性、环境特性方面优异。另外，由于不含有在形成树脂层时的固化时、即加热固化、紫外线固化或电子束固化时产生发泡的溶剂，所以树脂层中难以残留气泡。另外，作为剥离纸用硅酮，具体而言作为通常出售的商品或型号，列举KNS-320A、KS-847 (均为信越硅酮公司制)、TPR6700 (GE东芝硅酮公司制)、乙烯基硅酮“8500”(荒川化学工业株式会社制)和甲基氢聚硅氧烷“12031”(荒川化学工业株式会社制)的组合、乙烯基硅酮“11364”(荒川化学工业株式会社制)和甲基氢聚硅氧烷“12031”(荒川化学工业株式会社制)的组合、乙烯基硅酮“11365”(荒川化学工业株式会社制)和甲基氢聚硅氧烷“12031 ”(荒川化学工业株式会社制)的组合等。另外，KNS-320A、KS-847及TPR6700 为预先含有主剂和交联剂的硅酮。另外，形成树脂层的硅酮树脂优选具有硅酮树脂中的成分难以向薄板玻璃基板转移的性质、即低硅酮转移性。在这样作为树脂层使用硅酮树脂层的情况下，可以适宜地再利用由剥离了的上述支承玻璃基板及上述硅酮树脂层构成的支承体。在这样的剥离后的支承体的硅酮树脂具有低硅酮转移性的情况下，该硅酮树脂层具有高的残留粘接率的趋势。因此，能够没有问题地进行再利用。其次，使用附图对带支承体显示装置用面板进行说明。图11是表示本发明的带支承体显示装置用面板的一方式的概略剖面图。图11中，带支承体显示装置用面板110由显示装置用部件114、薄板玻璃基板 112、树脂层118及支承玻璃基板119构成，将它们层叠。另外，显示装置用面板116由层状的显示装置用部件114及薄板玻璃基板112构成，支承体117由树脂层118及支承玻璃基板119构成。另外，显示装置用部件114形成于薄板玻璃基板112的第二主面上。而且，薄板玻璃基板112的第一主面与在支承玻璃基板119的第一主面上固定的树脂层118的表面密接附着，形成带支承体显示装置用面板110。图11所示的方式的带支承体显示装置用面板110中，薄板玻璃基板112和树脂层 118和支承玻璃基板119为相同的大小。图12是表示带支承体显示装置用面板的其它方式的概略正面图，图13是其A-A’ 剖面图(概略剖面图)。图12及图13中，带支承体显示装置用面板120由显示装置用部件124、薄板玻璃基板122、树脂层1 及支承玻璃基板1 构成，将它们层叠。另外，显示装置用面板126由层状的显示装置用部件1 及薄板玻璃基板122构成，支承体127由树脂层1 及支承玻璃基板1 构成。另外，显示装置用部件1 形成于薄板玻璃基板122的第二主面上。而且，薄板玻璃基板122的第一主面与在支承玻璃基板129的第一主面上固定的树脂层1 密接附着，形成带支承体显示装置用面板120。图12及图13所示的方式的带支承体显示装置用面板120中，支承玻璃基板1 的主面面积比薄板玻璃基板122大。另外，图12及图13所示的方式的带支承体显示装置用面板120中，薄板玻璃基板122的第一主面的面积比树脂层128的表面(与薄板玻璃基板122相接触的面)的面积 (以下也称为树脂层的“表面面积”。)大。树脂层128的表面面积比薄板玻璃基板122的第一主面的面积小形成有间隙部125的量。而且，与薄板玻璃基板122的第一主面的树脂层1 未相接触的部分α和与所述α相对的支承玻璃基板129的一部分β形成与本发明的带支承体显示装置用面板120的端面(γ 1、γ 2)连接的间隙部125。当形成这种间隙部125时，在本发明的制造方法的剥离工序中，能够更容易地剥离薄板玻璃基板122和树脂层128，故而优选。图12、图13所示的α优选为0. 1 5. Omm,更优选为2. 5mm程度。另外，带支承体显示装置用面板如图14中概略剖面图所示，也可以为将显示装置用部件134的两主面由薄板玻璃基板(132a、132b)、树脂层(138a、138b)和支承玻璃基板 (139a、139b)的层叠体夹持的方式。此时，显示装置用面板136由层状的显示装置用部件 134及两侧的薄板玻璃基板132a、132b构成，支承体137a及137b分别由树脂层138a、138b 及支承玻璃基板139a、139b构成。即使为这样的方式，也为可以在本发明中使用的带支承体显示装置用面板。其次，对可以在本发明中使用的带支承体显示装置用面板的制造方法进行说明。薄板玻璃基板及支承玻璃基板的制造方法没有特别限定。例如可以通过现有公知的方法制造。例如可在将现有公知的玻璃原料溶解制成溶融玻璃后，通过浮法、熔融法、下降法、下引法、再拉法等成形为板状而得到。在这样制造的支承玻璃基板的表面(第一主面)上形成树脂层的方法也没有特别限定。例如可列举将薄膜粘接于支承玻璃基板的表面上的方法。具体而言，可列举为了对薄膜的表面赋予高的粘接力而进行表面改性的处理，而粘接于支承玻璃基板的第一主面上的方法。作为表面改性的处理方法，示例硅烷偶联剂之类的化学性上提高密接力的化学的方法、如火焰处理那样使表面活性基增加的物理方法、如喷砂处理那样通过使表面的粗度增加而增加拉伸的机械方法等。另外，可列举例如通过公知的方法将作为树脂层的树脂组成物涂敷于支承玻璃基板的第一主面上的方法。作为公知的方法，可列举喷涂法、模涂法、旋涂法、浸渍涂布法、辊涂法、棒涂法、网板印刷法、凹版涂布法。可从这些方法中根据树脂组成物的种类适宜选择。例如，在将无溶剂型的剥离纸用硅酮作为树脂组成物使用的情况下，优选模涂法、 旋涂法或网板印刷法。另外，在制造如使用图12、13说明的具有间隙部的带支承体显示装置用面板的情况下，优选预先对形成间隙部的部位进行掩蔽，在其上涂敷树脂组成物。掩蔽是指如下所述的方法，即涂敷树脂组成物时预先在形成间隙部的部位粘贴可再剥离的薄膜等，不在该部位涂敷树脂组成物，之后将该薄膜剥离。另外，在将树脂组成物涂敷于支承玻璃基板的第一主面上的情况下，其涂敷量优选为1 100g/m2，更优选为5 20g/m2。另外，作为其它方法，例如在由加成反应型硅酮形成树脂层时，将包括分子内含有直链状的二甲基聚硅氧烷的硅酮(主剂)、交联剂及催化剂的树脂组成物通过上述的喷涂法等公知的方法涂敷于支承玻璃基板上，之后加热固化。加热固化条件根据催化剂的配合量而不同，但例如在相对于主剂及交联剂的合计量100质量份配合2重量份的钼系催化剂时，使其在大气中在50°C 250°C下、优选为在100°C 200°C下进行反应。另外，该情况下的反应时间为5 60分钟、优选为10 30分钟。为了形成具有低硅酮转移性的硅酮树脂层，优选尽可能地进行固化反应以使硅酮树脂层中不残留未反应的硅酮成分，如果为这样的反应温度及反应时间，则可以在硅酮树脂层中不残留未反应的硅酮成分，故而优选。在比上述的反应时间过长的情况或反应温度过高的情况下，硅酮树脂的氧化分解同时产生，生成低分子量的硅酮成分，因此，硅酮转移性可能提高。以硅酮树脂层中不残留未反应的硅酮成分的方式尽可能地进行固化反应，能够使加热处理后的剥离性良好，故而优选。通过这样的方法在支承玻璃基板的第一主面上形成树脂层后，在树脂层的表面层叠薄板玻璃基板。在使用剥离纸用硅酮制造树脂层时，将涂敷于支承玻璃基板上的剥离纸用硅酮加热固化而形成硅酮树脂层，之后在支承玻璃基板的硅酮树脂形成面上层叠薄板玻璃基板。 通过将剥离纸用硅酮加热固化，硅酮树脂固化物与支承玻璃化学结合。另外，通过锚固效果使硅酮树脂层与支承玻璃结合。通过这些作用将硅酮树脂层牢固地固定于支承玻璃基板上。薄板玻璃基板和树脂层通过非常接近的相对的固体分子间的范德瓦耳斯力引起的力、即通过密接力与树脂层密接。该情况下，可以保持在将支承玻璃基板和薄板玻璃基板层叠后的状态。在固定于支承玻璃基板的树脂层的表面层叠薄板玻璃基板的方法没有特别限定。 例如可使用公知的方法实施。例如可列举在常压环境下在树脂层的表面重叠了薄板玻璃基板后，使用辊压机或挤压机将树脂层和薄板玻璃基板压接的方法。通过由辊压机或挤压机进行压接，树脂层和薄板玻璃基板更密接，故而优选。另外，通过由辊压机或挤压机进行压接，可以容易地除去混入树脂层和薄板玻璃基板之间的气泡，故而优选。通过真空层压法或真空挤压法进行压接时，能够更适宜地进行气泡混入的抑制及确保良好的密接，故而优选。通过在真空下进行压接，存在如下优点即使在残留微少的气泡的情况下，气泡也不会因加热而成长，也难以引起薄板玻璃基板的变形缺陷。在支承玻璃基板的树脂层的表面层叠薄板玻璃基板时，优选将薄板玻璃基板的表面充分清洗，在清洁度高的环境下进行层叠。这是因为即使存在异物，由于树脂层变形，从而也不会对薄板玻璃基板表面的平坦性带来影响，清洁度越高，其平坦性越好，越优选。在这样得到薄板玻璃基板和树脂层和支承玻璃基板层叠而成的玻璃层叠体(以下也称为“薄板玻璃层叠体”。)后，在该薄板玻璃层叠体的薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用部件。在形成显示装置用部件时，也优选根据需要对薄板玻璃基板的第二主面进行研磨，由此使其平坦度提高。显示装置用部件没有特别限定。例如可列举LCD具有的阵列及彩色滤光片。另外， 例如可列举OLED具有的透明电极、空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层。这种形成显示装置部件的方法也没有特别限定，可以与现有公知的方法相同。例如作为显示装置制造IXD时，也可以与在现有公知的玻璃基板上形成阵列的工序、形成彩色滤光片的工序、将形成有阵列的玻璃基板和形成有彩色滤光片的玻璃基板粘合的工序(阵列/彩色滤光片粘合工序)等各种工序相同。更具体而言，作为通过这些工序实施的处理，例如可列举纯水清洗、干燥、成膜、抗蚀剂涂敷、曝光、显影、蚀刻及抗蚀剂除去。另外，作为在实施了阵列侧基板/彩色滤光片侧基板的粘合工序后进行的工序，存在液晶注入工序及在实施了该处理后进行的注入口的密封工序，可列举在这些工序中实施的处理。另外，以制造OLED的情况为例，作为用于在薄板玻璃基板的第一主面上形成有机EL构造体的工序，包含形成透明电极的工序、蒸镀空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层等的工序、密封工序等各种工序，作为通过这些工序实施的处理，具体而言例如可列举成膜处理、蒸镀处理、密封板的粘接处理等。这样可以制造本发明中可使用的带支承体显示装置用面板。其次，对本发明的制造方法进行说明。本发明的制造方法是制造显示装置用面板的制造方法，包含从带支承体显示装置用面板剥离由所述支承玻璃基板及所述树脂层构成的支承体的操作，所述带支承体显示装置用面板在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有显示装置用部件的薄板玻璃基板的第一主面上密接树脂层而形成，所述树脂层固定于具有第一主面及第二主面的支承玻璃基板的第一主面上且具有易剥离性其中，具备固定工序，使上述带支承体显示装置用面板所具有的两个主面中的一个未附有在作为后工序的剥离工序中被剥离的支承体的主面向工作台所具备的平面状的固定面密接，将上述带支承体显示装置用面板固定于上述工作台的固定面上；及剥离工序，向固定于上述工作台的固定面上的上述带支承体显示装置用面板的端面中被剥离的上述支承体的上述树脂层和上述薄板玻璃基板之间的界面插入刀片，将上述支承体和上述显示装置用面板剥离。这样，本发明的制造方法具备上述固定工序及上述剥离工序，该固定工序及剥离工序可通过上述的本发明的剥离装置适宜实施。通过上述的剥离方法可以实施上述固定工序及上述剥离工序。本发明的制造方法中，对通过上述的方法得到的带支承体显示装置用面板应用上述固定工序及上述剥离工序，由此可得到显示装置用面板。图17是表示本发明的电子器件的制造方法之一实施方式的显示装置用面板的制造方法的流程之一例的流程图。基于使用图1及图2所示的本发明的剥离装置的情况说明图17所示的本发明的显示装置用面板的制造方法。如图17所示，在本发明的显示装置用面板的制造方法中，首先，在步骤SlOO中，准备带支承体显示装置用面板10，例如如上所述进行制造。其次，转移到步骤110的带支承体显示装置用面板的固定工序。在该固定工序SllO中，在步骤S112中使带支承体显示装置用面板10密接于工作台20的固定面上。其次，在步骤S114中将密接的步骤的带支承体显示装置用面板10真空吸附固定于工作台20的固定面。其次，转移到步骤120的带支承体显示装置用面板的剥离工序。该剥离工序S120中，应用上述的剥离方法(其1)及剥离方法(其2)这两个第一及第二剥离方法。当然也可以仅实施一个剥离方法。在剥离工序S120的第一剥离方法(参照图1)中，首先，在步骤S122中调节刀片 30向带支承体显示装置用面板10的支承体的树脂层和显示装置用面板的薄板玻璃基板之间的界面的插入位置(高度)。其次，在步骤SlM中，向树脂层和薄板玻璃基板之间的界面插入并压入刀片30。接着，在步骤SU6中使刀片30向插入方向移动而将支承体剥离。另一方面，在剥离工序S120的第二剥离方法(参照图2)中，首先，在步骤S132中，调节刀片300相对于带支承体显示装置用面板10的支承体的树脂层和显示装置用面板的薄板玻璃基板之间的界面的插入角度及插入位置(高度)。其次，在步骤S134中，向树脂层和薄板玻璃基板的界面插入并压入刀片300。接着，在步骤S136中，使刀片300以其前端为中心旋转(转动)规定角度，且使所述刀片向上方向及/或插入方向移动而将支承体剥离。这样，在剥离工序S120中从带支承体显示装置用面板10剥离支承体，由此，在步骤S140中制造显示装置用面板。根据本发明的制造方法具备的上述剥离工序，在支承玻璃基板较大的情况下，即使例如为730 X 920mm，也能够容易地分离上述支承玻璃基板。另外，在供于上述剥离工序后，可以进一步供于所希望的工序。所希望的工序是指，如果为例如LCD的情况，则可列举分割成所希望大小的单元的工序、注入液晶之后密封注入口的工序、粘贴偏振片的工序、模块形成工序。另外，如果为例如OLED的情况，则在可适用于LCD的情况的工序的基础上，还可列举将形成有有机EL构造体的薄板玻璃基板和相对基板组装的工序。另外，分割成所希望大小的单元的工序中，从薄板玻璃基板的强度不因进行切断处理而降低，另外也没有产生碎玻璃的观点出发，优选基于激光切割进行切断。在通过这样的本发明的制造方法得到显示装置用面板后，进一步供于现有公知的工序，由此可得到显示装置。这样的显示装置的制造方法适合手机或PDA之类的移动终端所使用的小型的显示装置的制造。显示装置主要为IXD或0LED，作为IXD，包含TN型、STN型、FE型、TFT型、 MIM型、IPS型、VA型等。基本上在无源驱动型、有源驱动型中任何的显示装置的情况下均可应用。对本发明的制造方法的优选例进行说明。首先，对本发明中可使用的带支承体显示装置用面板的制造方法进行说明。首先，准备薄板玻璃基板及支承玻璃基板，并对它们的表面进行清洗。作为清洗， 例如可列举纯水清洗、UV清洗。其次，在支承玻璃基板的第一主面上形成树脂层。例如在支承玻璃基板的第一主面上使用网板印刷机涂敷硅酮树脂。进行加热固化，在支承玻璃基板的第一主面上形成树脂层，得到固定了树脂层的支承玻璃基板。其次，将树脂层和薄板玻璃的第一主面附着粘合。例如可以将树脂层和薄板玻璃基板在室温下真空挤压粘合。然后，得到支承玻璃基板和树脂层和薄板玻璃基板的层叠体即玻璃层叠体。在此，根据需要也可以研磨玻璃层叠体的薄板玻璃基板的第二主面，且也可以进行清洗。作为清洗，例如可列举纯水清洗、UV清洗。在通过这种方法制造了两个玻璃层叠体后，在各玻璃层叠体的薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用部件。一个玻璃层叠体供于公知的彩色滤光片形成工序，由此在该薄板玻璃基板的第二主面形成彩色滤光片阵列。而且，另一个玻璃层叠体供于公知的阵列形成工序，由此在该薄板玻璃基板的第二主面形成TFT阵列。通过这样的方法，可制造两个带支承体显示装置用面板。另外，以下，将具有在此得到的彩色滤光片阵列的带支承体显示装置用面板称作 “带支承体面板X”、将具有TFT阵列的带支承体面板称作“带支承体面板y”。
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在本发明的制造方法中，将这样制造的带支承体面板χ及带支承体面板y以例如如下所示的情况1 情况4的方法进一步进行处理，制造显示装置用面板。(情况1)情况1中，如上所述使带支承体面板χ及带支承体面板y各自的彩色滤光片阵列和TFT阵列相对，使用单元形成用紫外线固化型密封剂等密封剂进行粘合。以下，将在此得到的带支承体显示装置用面板也称作“带支承体面板zl”。带支承体面板zl为尚未封入液晶的状态。其次，将带支承体面板Zl的液晶注入孔密封。例如也可以使用紫外线固化型水溶性密封剂等将其外侧进一步密封。而且，将密封后的带支承体面板Zl供于本发明的制造方法的剥离工序。具体而言，在本发明的剥离装置即剥离装置1或剥离装置11的工作台20上以带剥离的支承体的主面为上、其相反的主面为下的方式进行固定，向薄板玻璃基板的第一主面和树脂层的密接界面的端部的任意部位插入刀片，形成间隙。而且，在支承体的支承玻璃基板的第二主面上吸附保持多个吸附垫，使所述吸附垫向上方向(剥离方向)移动，由此将支承体和薄板玻璃基板剥离分离。其次，通过对带支承体面板Zl的上下调换而同样地进行处理，可将两个支承体剥
1 O以下，也将这样得到的显示装置用面板称为“面板wl”。剥离并分离的两个支承体可以再利用于其它带支承体面板的制造。其次，将面板wl切断成单独单元。其次，将液晶注入切断后的单独单元，之后进行密封而形成液晶单元。然后，进一步附加偏振片，形成背光灯等，从而可得到IXD1。(情况2)情况2中，如上所述使带支承体面板χ及带支承体面板y各自的彩色滤光片阵列和TFT阵列相对，封入液晶，之后，使用单元形成用紫外线固化型密封剂等密封剂进行粘合。下面，将在此得到的本发明的带支承体面板也称作“带支承体面板z2”。其次，将带支承体面板z2供于本发明的制造方法的剥离工序。具体而言，在本发明的剥离装置即剥离装置1或剥离装置11的工作台20上以带被剥离的支承体的主面为上、其相反的主面为下的方式进行固定，在薄板玻璃基板的第一主面和树脂层的密接界面的端部的任意部位插入刀片，形成间隙。而且，在支承体的支承玻璃基板的第二主面上吸附保持多个吸附垫，通过使所述吸附垫向上方向(剥离方向)移动，可将支承体和薄板玻璃基板剥离并分离。其次，将带支承体面板z2的上下调换而同样地进行处理，由此可将两个支承体剥
1 O以下，将这样得到的显示装置用面板也称作“面板w2”。剥离并分离的两个支承体可以再利用于其它的带支承体面板的制造。其次，将面板w2切断成单独单元。然后，进而附加偏振片，形成背光灯等，从而可得到LCD2。(情况3)
情况3中，如上所述使带支承体面板χ及带支承体面板y各自的彩色滤光片阵列和TFT阵列相对，封入液晶，之后使用单元形成用紫外线固化型密封剂等密封剂进行粘合。 然后，与支承体一同切断成单独单元。下面，也将在此切断得到的带支承体显示装置用面板称作“带支承体面板z3”。其次，将带支承体面板z3供于剥离工序。具体而言，在本发明的剥离装置即剥离装置1或剥离装置11的工作台20，以带被剥离的支承体的主面为上、其相反的主面为下的方式进行固定，在薄板玻璃基板的第一主面和树脂层的密接界面的端部的任意部位插入刀片，形成间隙。然后，在支承体的支承玻璃基板的第二主面上吸附保持多个吸附垫，通过使所述吸附垫向上方向(剥离方向)移动，可以将支承体和薄板玻璃基板剥离并分离。其次，通过对带支承体面板z3的上下调换而同样地进行处理，可将两个支承体剥离。以下，也将这样得到的显示装置用面板称作“面板w3”。然后，进而附加偏振片，形成背光灯等，从而可得到LCD3。(情况4)情况4中，如上所述，使带支承体面板χ及带支承体面板y的各自的彩色滤光片阵列和TFT阵列相对，使用单元形成用紫外线固化型密封剂等密封剂进行粘合。然后，与支承体一同切断为单独单元。以下，也将在此切断而得到的本发明的带支承体面板称为“带支承体面板z4”。带支承体面板z4为尚未封入液晶的状态。其次，也可以将带支承体面板z4的液晶注入孔密封。也可以例如使用紫外线固化型水溶性密封剂等将其外侧进一步密封。然后，将密封后的带支承体面板z4供于剥离工序。具体而言，在本发明的剥离装置即剥离装置1或剥离装置11的工作台20上，以带被剥离的支承体的主面为上、其相反的主面为下的方式进行固定，在薄板玻璃基板的第一主面和树脂层的密接界面的端部的任意部位插入刀片，形成间隙。然后，在支承体的支承玻璃基板的第二主面上吸附保持多个吸附垫，使所述吸附垫向上方向(剥离方向)移动，由此可将支承体和薄板玻璃基板剥离并分离。其次，将带支承体面板z4的上下调换而同样地进行处理，由此可将两个支承体剥离。以下，也将在此分离两个支承体而得到的面板称作“面板w4”。其次，向面板w4的单元注入液晶，之后密封。然后，进而附加偏振片，形成背光灯等，从而可得到LCD4。以上，作为本发明的电子器件以在基板的表面(第二主面)具有显示装置用部件的显示装置用面板为代表例进行了说明，但如上所述，本发明不限于此，当然也可以是代替显示装置用部件而在基板的表面(第二主面)上分别具有太阳电池用部件、薄膜二次电池用部件及电子零件用电路等电子器件用部件的太阳电池、薄膜二次电池及电子零件等电子器件。例如作为太阳电池用部件，在硅型中，可列举正极的氧化锡等透明电极、以ρ层/ i层/n层表示的硅层、及负极的金属等，另外，可列举与化合物型、色素增感型、量子点型等相对应的各种部件等。
另外，作为薄膜二次电池用部件，在锂离子型中，可列举正极及负极的金属或金属氧化物等透明电极、电解质层的锂化合物、集电层的金属、作为密封层的树脂等，此外，可列举与镍氢型、聚合物型、陶瓷电解质型等相对应的各种部件等。另外，作为电子零件用电路，在CCD及CMOS中，可列举导电部的金属、绝缘部的氧化硅及氮化硅等，另外，可列举与压力传感器/加速度传感器等各种传感器及刚性印制基板、挠性印制基板、刚挠性印制基板等相对应的各种部件等。实施例1对本发明的实施例进行说明。首先，对纵720mm、横600mm、板厚0. 4mm、线膨胀系数38X 10_7°C的支承玻璃基板 (旭硝子株式会社制、AN100、无碱玻璃基板)进行纯水清洗、UV清洗而使之清洁化。其次，在支承玻璃基板上以纵705mm、横595mm的大小用网板印刷机涂敷(涂敷量 30g/m2)无溶剂加成反应型剥离纸用硅酮(信越硅酮公司制、KNS-320A、粘度0. 40Pa · s、 100质量份和钼系催化剂(信越硅酮公司制、CAT-PL-56) 2质量份的混合物。其次，将其在180°C下在大气中加热固化30分钟，在支承玻璃基板的表面得到厚度20 μ m的硅酮树脂层。其次，对与纵715mm、横595mm、板厚0. 3mm、线膨胀系数38 X 10—7°C的薄板玻璃基板(旭硝子株式会社制、AN100、无碱玻璃基板)的硅酮树脂层接触的一侧的面进行纯水清洗、UV清洗而使之清洁化后，将硅酮树脂层和薄板玻璃基板在室温下真空挤压粘合，得到玻璃层叠体(玻璃层叠体Al)。另外，树脂层的形成及薄板玻璃基板的层叠以在玻璃层叠体的端部形成深度15mm 的间隙部的方式进行。在得到的玻璃层叠体Al中，两玻璃基板以不产生气泡的方式与硅酮树脂层密接， 从而既没有歪斜状缺陷且平滑性也好。其次，与如上得到的玻璃层叠体Al不同，进一步将玻璃基板Al在大气中以300°C 加热处理1小时而得到玻璃层叠体A2。可确认玻璃层叠体A2的树脂层不会因热而劣化，耐热性良好。其次，将玻璃层叠体Al及A2供于以下的剥离试验1 6。<剥离试验1>利用使用上述图1说明的剥离装置1在多孔质真空吸附片上固定玻璃层叠体Al 的薄板玻璃基板的第二主面侧，在相反面即支承玻璃基板的第二主面侧吸附保持真空吸附垫(40mm Φ)。接着，将刀片(厚度0. 10mm、长度100mm、宽度10mm、不锈钢制、弯曲刚性A 170N· mm2、弯曲刚性B :1，720，000N ^mm2)载置于玻璃层叠体Al的角部(四个角部中的一个)且端面上，通过固定面方向移动单元使刀片稍微接触树脂层的表面，并且边滑动边插入到与薄板玻璃基板的第一主面之间的界面，插入约20mm，形成空隙。其次，使真空吸附垫从带支承体显示装置用面板的端部朝向中央，伴随支承体剥离的进展依次上升。这时的吸附垫的的提升距离为10mm。在这样的剥离试验1中，刀片自身变形，沿着树脂层的表面进行移动。而且，可以不损伤支承体和薄板玻璃基板地进行剥离。
<剥离试验2>利用使用上述图2说明的剥离装置11在多孔质真空吸附片上固定玻璃层叠体Al 的薄板玻璃基板的第二主面侧，且在相反面即支承玻璃基板的第二主面侧吸附保持真空吸附垫(40mm Φ)。其次，将刀片(厚度0. 40mm、长度100mm、宽度10mm、不锈钢制、弯曲刚性A 11000N · mm2、弯曲刚性B :6，870，000N · mm2)载置于玻璃层叠体Al的角部(四个角部中的一个)且端面上，通过固定面方向移动单元使刀片稍微接触树脂层的表面，同时边滑动边插入与薄板玻璃基板的第一主面之间的界面，插入约20mm，形成空隙。其次，使真空吸附垫从带支承体显示装置用面板的端部朝向中央，伴随支承体剥离的进展依次上升。这时的吸附垫的提升距离为10mm。在这样的剥离试验2中，刀片以前端部为中心进行旋转，后端部向上自如移动，进而使刀片整体向上方向移动，由此刀片以沿着树脂层的表面的方式进行移动。而且，可以不损伤支承体和薄板玻璃基板地进行剥离。<剥离试验3>使用剥离装置11在多孔质真空吸附片上固定玻璃层叠体Al的薄板玻璃基板的第二主面侧，在相反侧即支承玻璃基板的第二主面侧吸附并保持真空吸附垫GOmm Φ)。其次，将刀片(厚度0. 10mm、长度100mm、宽度10mm、不锈钢制)载置于玻璃层叠体Al的角部(四个角部中的一个)且端面，通过固定面方向移动单元使刀片稍微接触树脂层的表面，同时边滑动边插入到与薄板玻璃基板的第一主面之间的界面，插入约20mm而形成空隙。在此，插入在从静电除去器(矢一工> 7公司制)将除电性流体向该界面喷吹的同时进行。其次，从静电除去器朝向形成的空隙接着喷吹除电性流体的同时使真空吸附垫提升。其结果可以不损伤玻璃层叠体Al地将支承体和薄板玻璃剥离。剥离后的薄板玻璃基板的带电压为+0. 2kV。〈剥离试验4>使用剥离装置11在多孔质真空吸附片上固定玻璃层叠体Al的薄板玻璃基板的第二主面侧，在相反面即支承玻璃基板的第二主面侧吸附保持真空吸附垫GOmmct)。其次，将刀片(厚度0. 10mm、长度100mm、宽度10mm、不锈钢制。)载置于玻璃层叠体Al的角部(四个角部中的一个)且端面，通过固定面方向移动单元使刀片稍微接触树脂层的表面，同时边滑动边插入与薄板玻璃基板的第一主面之间的界面，插入约20mm而形成空隙。其次，从修整喷嘴(^ It 3 6公司制、Imm Φ)向形成的空隙喷吹高压水QMPa)。其结果可不损伤玻璃层叠体Al地剥离支承体和薄板玻璃。剥离后的薄板玻璃基板的带电压为 +0. ^V。<剥离试验5>除使用玻璃层叠体Α2以外，以与上述的剥离试验1相同的方法进行剥离试验4。 不损伤玻璃层叠体Α2地将支承玻璃基板和薄板玻璃基板剥离分离。<剥离试验6>使用两个玻璃层叠体Α2，将各薄板玻璃基板的第一主面侧用紫外线固化性密封剂(积水化学社制)在距玻璃端部5mm内侧的区域线状且四角形地涂敷后粘合，得到玻璃层叠体，除使用该玻璃层叠体外，以与剥离试验1相同的方法实施剥离试验5。可以将粘合有两个薄板玻璃基板而成的层叠体、即从面板不损伤面板地分离两个支承体。<剥离试验7>剥离装置1及剥离装置11都不使用地进行剥离。对于上述的玻璃层叠体Al，将刀片(刀刃的长度650mm、Imm厚)手动载置于玻璃层叠体Al的角部且端部，使所述刀片稍微接触形成于支承玻璃基板的第一主面的树脂层的表面上，同时边滑动边插入与薄板玻璃基板的第一主面之间的界面，使所述刀片接着直接移动，不损伤玻璃层叠体Al地将支承玻璃从薄板玻璃分离。分离后的薄板玻璃的带电压为 +10kV。实施例2实施例2中，除将基板变更为厚度0. Imm的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板以外， 与实施例1同样地制作层叠体B，进行与剥离试验3相同的试验。其结果可不损伤层叠体B 地将支承体和聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板剥离。剥离后的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板的带电压为+0. 3kV。实施例3在实施例3中，除将基板变更为厚度0. Imm的实施了镜面处理的不锈钢(SUS304) 基板以外，与实施例1同样地制作层叠体C，进行与剥离试验3相同的试验。其结果可不损伤层叠体C地将支承体和不锈钢基板剥离。剥离后的不锈钢基板的带电压为+0. 02kV。实施例4实施例4中，除将支承基板变更为厚度Imm的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板、将基板变更为厚度0. Imm的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板以外，与实施例1同样地制作层叠体D，实施了进行与剥离试验3相同的试验的模拟试验。其结果可不损伤层叠体D地将支承体和聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板剥离。剥离后的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板的带电压为+0. 5kV。实施例5实施例5中，除将支承基板变更为厚度1mm、直径6英寸的硅晶片基板、将基板变更为厚度0. 1mm、直径6英寸的硅晶片基板以外，与实施例1同样地制作层叠体E，实施了进行与剥离试验3相同的试验的模拟试验。其结果可不损伤层叠体E地将支承体和硅晶片基板剥离。剥离后的硅晶片基板的带电压为+0.05kV。实施例6实施例6中，除将支承基板变更为厚度Imm的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板、将基板变更为厚度0. Imm的薄板玻璃基板以外，与实施例1同样地制作层叠体F，实施了进行与剥离试验3相同的试验的模拟试验。其结果可不损伤层叠体F地将支承体和薄板玻璃基板剥离。剥离后的薄板玻璃树脂基板的带电压为+0. 2kV。实施例7实施例7中，除将基板变更为厚度0. 05mm的聚酰亚胺树脂基板(东> · 7 二求> 公司制、力卜> 200HV)以外，与实施例1同样地制作层叠体G，进行与剥离试验3相同的试验。其结果可不损伤层叠体G地将支承体和聚酰亚胺树脂基板剥离。剥离后的聚酰亚胺树脂基板的带电压为+0. 2kV。实施例8首先，将纵350mm、横300mm、板厚0. 08mm、线膨胀系数38 X 10_7°C的玻璃基板(旭硝子株式会社制、AN100、无碱玻璃基板)使用薄板玻璃专用的清洗装置利用碱洗剂进行清洗，使表面清洁化，进而对表面喷雾Y-巯基丙基三甲氧基硅烷的0. 甲醇溶液，接着在80°C下干燥3分钟，将由此得到的物质作为层叠用玻璃薄膜准备。另一方面，准备对纵 ；350讓、横300mm、板厚0. 05mm的聚酰亚胺基板(东> ·尹-水。>公司制、力卜> 200HV) 的表面进行了等离子体处理的物质。而且，与之前的玻璃基板重合，使用加热为320°C的挤压装置将两者层叠，制成玻璃/树脂层叠基板。实施例8中，将薄板玻璃基板变更为上述的玻璃/树脂层叠基板，将与该树脂基板的玻璃基板的层叠面的相反侧的面设为与支承体的层叠面，除此之外，与实施例1同样地制作层叠体H，进行与剥离试验3相同的试验。其结果，可不损伤层叠体H地将支承体和玻璃/树脂层叠薄膜基板剥离。剥离后的玻璃/树脂层叠薄膜基板的带电压为+0. 2kV。参照特定的实施方式对本发明详细进行了说明，但对于本领域技术人员而言可知，能够不脱离本发明的精神和范围地进行各种变更或修正。本申请基于2009年2月6日申请的日本专利申请2009-(^6196及2009年8月沘日申请的日本专利申请2009-198992，其内容在此作为参照引入。产业实用性根据本发明，可提供一种电子器件的制造方法，能够抑制混入基板间的气泡及尘埃等异物导致的基板缺陷的发生，能够不产生边缘凹坑地用现有的制造生产线进行处理， 可以不损伤密接的基板和树脂层而将它们容易且短时间地剥离并分离。另外，可提供一种能够实施这种电子器件的制造方法的剥离装置。
3权利要求
1.一种电子器件的制造方法，包含从带支承体的电子器件剥离支承体的操作，所述带支承体的电子器件在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有电子器件用部件的基板的第一主面上密接树脂层而形成，所述树脂层固定于具有第一主面及第二主面的支承基板的第一主面上且具有易剥离性，所述支承体由所述支承基板及所述树脂层构成，所述电子器件由所述电子器件用部件及所述基板构成，其中，具备固定工序，使所述带支承体的电子器件所具有的两个主面中的一个未附有在作为后工序的剥离工序中被剥离的支承体的主面向工作台所具备的平面状的固定面密接，将所述带支承体的电子器件固定于所述工作台的固定面上；及剥离工序，向固定于所述工作台的固定面上的所述带支承体的电子器件的端面中被剥离的所述支承体的所述树脂层和所述基板之间的界面插入刀片，将所述支承体和所述电子器件剥离。
2.如权利要求1所述的电子器件的制造方法，其中，在所述剥离工序中，插入到所述树脂层和所述基板之间的界面的所述刀片因来自所述树脂层及/或所述基板的作用而变形，从而使所述刀片进一步向插入的方向移动，在该情况下，所述刀片沿所述树脂层的表面移动，将所述支承体和所述电子器件剥离。
3.如权利要求1或2所述的电子器件的制造方法，其中，在所述剥离工序中，向所述树脂层和所述基板之间的界面插入了所述刀片后，所述刀片以其前端部为中心旋转，后端部沿与所述工作台的所述固定面的法线平行的方向移动， 进而所述刀片整体也向相同的平行的方向及插入的方向中至少一方移动，从而所述刀片沿所述树脂层的表面移动，将所述支承体和所述电子器件剥离。
4.如权利要求1 3中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，还具备吸附工序，所述吸附工序在所述固定工序之后且所述剥离工序之前，使多个吸附垫吸附于被剥离的所述支承体的所述支承基板的第二主面，所述剥离工序进而是如下所述工序向所述树脂层和所述基板之间的界面插入所述刀片后，使所述吸附垫向剥离所述树脂层和所述基板的方向即剥离方向移动，将所述支承体和所述电子器件剥离。
5.如权利要求4所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序使吸附于所述支承基板的第二主面的多个吸附垫中位于最接近所述带支承体的电子器件的端面上插入了所述刀片的部位的位置的吸附垫首先向所述剥离方向移动，接着使与该吸附垫相邻的吸附垫向所述剥离方向移动，之后也同样地使与向所述剥离方向移动了的吸附垫相邻的吸附垫接着向所述剥离方向移动，顺次地进行上述操作，将所述支承体沿着从插入了所述刀片的端部朝向中央的方向剥离，进而朝向其延长线上剥离。
6.如权利要求1 5中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序包含通过图像处理来确定所述树脂层和所述基板之间的界面上插入所述刀片的部位的操作。
7.如权利要求1 6中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序在所述支承基板及/或所述基板的任意部位连接导体形成接地来抑制带电，并且将所述支承体和所述电子器件剥离。
8.如权利要求1 7中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序在所述支承体和所述电子器件之间喷吹除电用物质进行带电控制，并且将所述支承体和所述电子器件剥离。
9.如权利要求1 8中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序检测作用在所述刀片上的载荷，并且向所述树脂层和所述基板之间的界面插入所述刀片。
10.如权利要求1 9中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述电子器件为显示装置用面板。
11.一种剥离装置，从带支承体的电子器件剥离支承体，所述带支承体的电子器件在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有显示装置用部件的基板的第一主面密接树脂层而形成，所述树脂层固定于具有第一主面及第二主面的支承基板的第一主面上且具有易剥离性，所述支承体由所述支承基板及所述树脂层构成，其中，具备工作台，与所述带支承体的电子器件的主面密接，具备能够固定所述带支承体的电子器件的平面状的固定面；刀片，用于从所述带支承体的电子器件剥离所述支承体；法线方向移动单元，使所述刀片沿与所述工作台的所述固定面的法线平行的方向即法线方向移动，以使所述刀片插入固定于所述工作台的所述带支承体的电子器件的端面上被剥离的所述支承体的所述树脂层和所述基板之间的界面；固定面方向移动单元，使所述刀片在所述树脂层和所述基板之间移动，进而，所述刀片具备如下所述的性质在插入到所述树脂层和所述基板之间时，因来自所述树脂层及/或所述基板的作用而发生变形，从而沿所述树脂层的表面移动，及/或具备插入角度调节单元，具有使所述刀片以前端部为中心进行旋转并使所述刀片的后端部沿法线方向移动的旋转机构及设定所述刀片的插入角度的上下限的插入角度设定机构；以及法线方向移动机构，使所述刀片整体沿所述法线方向移动。
12.如权利要求11所述的剥离装置，其中，还具备对固定于所述工作台的固定面上的所述带支承体的电子器件的被剥离的所述支承体的所述支承基板的第二主面进行吸附的多个吸附垫、及使所述吸附垫向剥离所述树脂层和所述基板的方向即剥离方向移动的垫移动单元。
13.如权利要求12所述的剥离装置，其中，所述垫移动单元具备时间控制功能，使所述多个吸附垫中位于最接近所述带支承体的电子器件的端面上插入了所述刀片的部位的位置的吸附垫首先向所述剥离方向移动，接着使与该吸附垫相邻的吸附垫向所述剥离方向移动，之后同样地使与向所述剥离方向移动了的吸附垫相邻的吸附垫接着向所述剥离方向移动，顺次地进行上述操作，将所述支承体沿着从插入了所述刀片的端部朝向中央的方向剥离，进而朝向其延长线上剥离。
14.如权利要求11 13中任一项所述的剥离装置，其中，还具备图像处理装置，用于确定所述树脂层和所述基板之间的界面上插入所述刀片的部位。
15.如权利要求11 14中任一项所述的剥离装置，其中，还具备在所述支承基板及/或所述基板的任意部位连接导体而抑制带电的接地构造。
16.如权利要求11 15中任一项所述的剥离装置，其中，还具备向所述支承体和所述电子器件之间喷吹除电用物质而进行带电控制的带电控制装置。
17.如权利要求11 16中任一项所述的剥离装置，其中， 还具备检测作用在所述刀片上的载荷的载荷检测装置。
18.如权利要求11 17中任一项所述的剥离装置，其中， 所述电子器件为显示装置用面板。
全文摘要
本发明提供电子器件的制造方法及该方法中使用的剥离装置，可以不损伤密接的基板和树脂层而容易且在短时间内进行剥离并分离。从在具有电子器件用部件(14)的基板(12b)上密接有固定于支承基板(19b)的树脂层(18b)的带支承体的电子器件(10)剥离由支承基板(19b)及树脂层(18b)构成的支承体(17b)时，使未附有之后剥离的支承体(17b)的主面与工作台(20)的固定面(20a)密接，将带支承体的电子器件(10)固定，向固定于工作台(20)的带支承体的电子器件(10)的端面中被剥离的支承体(17b)的树脂层(18b)和基板(12b)之间的界面插入刀片(30)，将支承体(17b)和电子器件(16)剥离，由此解决上述课题。
文档编号G09F9/30GK102171745SQ201080002805
公开日2011年8月31日 申请日期2010年1月29日 优先权日2009年2月6日
发明者伊藤泰则, 江畑研一, 近藤聪 申请人:旭硝子株式会社
技术领域：
本发明涉及电子器件的制造方法及该方法中使用的剥离装置。
背景技术：
近年来，液晶显示装置(IXD)、有机EL显示装置(OLED)作为显示装置被广泛利用。 特别是在移动或手机等便携型显示装置领域，寻求显示装置的轻量化、薄型化。同样，太阳电池、薄膜二次电池、表面形成有电路的半导体晶片等电子器件也寻求轻量化、薄型化。为了与此对应，用于显示装置等电子器件的玻璃、树脂、金属等基板正在进行薄板化。在玻璃基板的情况下，作为减薄板厚的方法，通常进行下述方法，在玻璃基板的表面形成显示装置用部件之前或形成之后，使用化学蚀刻对玻璃基板的外表面进行蚀刻处理，且根据需要进一步进行物理研磨来减薄。但是，在玻璃基板的表面形成显示装置等电子器件用部件之前，进行蚀刻处理等而减薄玻璃基板时，玻璃基板的强度降低，弯曲量也变大。因此，产生不能在已有的制造生产线进行处理的问题。另外，在玻璃基板的表面形成显示装置用部件之后，进行蚀刻处理等而减薄玻璃基板时，在玻璃基板的表面形成显示装置用部件的过程中，产生形成于玻璃基板表面的微细的损伤显现化的问题、即被称为边缘凹坑的问题。因此，为了解决这样的问题，提案有下述方法等，将板厚薄的玻璃基板(以下也称为“薄板玻璃基板”。)与其它支承玻璃基板贴合制成层叠体，在该状态下实施用于制造显示装置的规定的处理，之后，将薄板玻璃基板和支承玻璃基板分离。例如，专利文献1中记载有如下方法将制品用的玻璃基板和增强用玻璃基板利用玻璃基板之间的静电吸附力或真空吸附力贴合而形成一体，制造使用制品用的玻璃基板的显示装置。专利文献2中记载有如下方法将液晶显示装置的基板和支承体的端部使用玻璃粉系的粘接剂粘接，之后，形成电极图案等的液晶显示装置的制造。专利文献3中记载有具有向两个玻璃基板的至少周缘部的端面附近照射激光而使上述两个玻璃基板融合的工序的显示装置用基板的制造方法。专利文献4中记载有一种液晶显示装置的制造方法，在支承体上设有粘接材料层的基板输送用夹具上粘贴基板并通过液晶显示元件的制造工序输送基板输送用夹具，由此对于贴合于基板输送用夹具的基板依次进行液晶显示元件形成处理，在结束规定的工序后，将基板从基板输送用夹具剥离。专利文献5中记载有一种液晶显示元件的制造方法，其特征在于，将液晶显示元件用电极基板使用支承体上设有紫外线固化型粘接剂的夹具对液晶显示元件用电极基板实施了规定的加工后，对紫外线固化型粘接剂照射紫外线，由此使上述紫外线固化型粘接剂的粘接力降低，将上述液晶显示元件用电极基板从上述夹具剥离。专利文献6中记载有一种通过粘接材料将薄板临时固定于支承板上，通过密封材料将上述粘接材料的周缘部密封，输送临时固定有薄板的支承板的输送方法。专利文献7中记载有一种薄板玻璃层叠体，层叠薄板玻璃基板、支承玻璃基板而形成，其特征在于，上述薄板玻璃和上述支承玻璃经由具有易剥离性及非粘接性的硅酮树脂层而层叠。而且，要将薄板玻璃基板和支承玻璃基板分离，只要赋予将薄板玻璃基板从支承玻璃基板拉向垂直方向的力即可，通过由剃刀的刃等给予端部剥离的契机或向层叠界面注入空气，可以更容易地进行剥离。专利文献8中记载有用于将吸附保持于吸附片的玻璃基板等板状体从吸附片剥离的剥离装置。专利文献1 日本国特开2000-241804号公报专利文献2 日本国特开昭58-54316号公报专利文献3 日本国特开2003-216068号公报专利文献4 日本国特开平8-86993号公报专利文献5 日本国特开平9-105896号公报专利文献6 日本国特开2000-252342号公报专利文献7 国际公开第2007/0180 号小册子专利文献8 日本国特开2007-185725号公报但是，专利文献1中记载的将玻璃基板之间利用静电吸附力或真空吸附力固定的方法、专利文献2中记载的将玻璃基板的两端通过玻璃粉固定的方法、或专利文献3中记载的向周缘部的端面附近照射激光而使两个玻璃基板融合的方法中，由于使玻璃基板之间以不介有任何中间层的方式层叠密接，所以因向玻璃基板间混入的气泡或尘埃等异物而在玻璃基板上发生变形缺陷。因此，难以得到表面平滑的玻璃基板层叠体。另外，专利文献4 6中记载的在玻璃基板间配置粘接层等的方法中，虽然能够避免上述那样的向玻璃基板间混入气泡等导致的变形缺陷的发生，但难以将两玻璃基板分离，分离时薄板玻璃基板可能破损。另外还存在粘接剂残留于分离后的薄板玻璃基板的问题。与之相对，根据专利文献7中记载的薄板玻璃层叠体，难以产生上述那种向玻璃基板间混入气泡等造成的变形缺陷。另外，也可以将薄板玻璃基板和支承玻璃基板剥离。另外，解决了粘接剂残留于分离后的薄板玻璃基板的问题。但是，期望两玻璃基板的分离更容易且在更短时间内进行。特别是在玻璃基板为大型的情况下，在工业上利用方面为重要的
点ο另外，专利文献8中记载的剥离装置是将吸附保持于吸附片的玻璃基板等从吸附片剥离的装置，难以将经由树脂层密接的支承玻璃基板和薄板玻璃基板以不损伤上述薄板玻璃基板且不使上述树脂层残留于上述薄板玻璃基板上的方式进行剥离。
发明内容
本发明是鉴于上述问题点而做出的。即，其目的在于，提供一种电子器件的制造方法，抑制向基板间混入的气泡及尘埃等异物造成基板缺陷的发生，可以不产生边缘凹坑地利用已有的制造生产线进行处理，可以不损伤密接的基板和树脂层地将它们容易且在短时间内剥离并分离。另外，其目的在于，提供一种可以实施这种电子器件的制造方法的剥离装置。本发明者为解决上述课题而进行了潜心研究，完成了本发明。本发明涉及以下⑴ (18)。(1) 一种电子器件的制造方法，包含从带支承体的电子器件剥离支承体的操作，所述带支承体的电子器件在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有电子器件用部件的基板的第一主面上密接树脂层而形成，所述树脂层固定于具有第一主面及第二主面的支承基板的第一主面上且具有易剥离性，所述支承体由所述支承基板及所述树脂层构成，所述电子器件由所述电子器件用部件及所述基板构成，其中，具备固定工序，使所述带支承体的电子器件所具有的两个主面中的一个未附有在作为后工序的剥离工序中被剥离的支承体的主面向工作台所具备的平面状的固定面密接，将所述带支承体的电子器件固定于所述工作台的固定面上；及剥离工序，向固定于所述工作台的固定面上的所述带支承体的电子器件的端面中被剥离的所述支承体的所述树脂层和所述基板之间的界面插入刀片，将所述支承体和所述电子器件剥离。(2)如(1)所述的电子器件的制造方法，其中，在所述剥离工序中，插入到所述树脂层和所述基板之间的界面的所述刀片因来自所述树脂层及/或所述基板的作用而变形， 从而使所述刀片进一步向插入的方向移动，在该情况下，所述刀片沿所述树脂层的表面移动，将所述支承体和所述电子器件剥离。(3)如⑴或⑵所述的电子器件的制造方法，其中，在所述剥离工序中，向所述树脂层和所述基板之间的界面插入了所述刀片后，所述刀片以其前端部为中心旋转，后端部沿与所述工作台的所述固定面的法线平行的方向移动，进而所述刀片整体也向相同的平行的方向及插入的方向中至少一方移动，从而所述刀片沿着所述树脂层的表面移动，将所述支承体和所述电子器件剥离。(4)如⑴ (3)中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，还具备吸附工序，所述吸附工序在所述固定工序之后且所述剥离工序之前，使多个吸附垫吸附于被剥离的所述支承体的所述支承基板的第二主面，所述剥离工序进而是如下所述工序向所述树脂层和所述基板之间的界面插入所述刀片后，使所述吸附垫向剥离所述树脂层和所述基板的方向即剥离方向移动，将所述支承体和所述电子器件剥离。(5)如(4)所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序使吸附于所述支承基板的第二主面的多个吸附垫中位于最接近所述带支承体的电子器件的端面上插入了所述刀片的部位的位置的吸附垫首先向所述剥离方向移动，接着使与该吸附垫相邻的吸附垫向所述剥离方向移动，之后也同样地使与向所述剥离方向移动了的吸附垫相邻的吸附垫接着向所述剥离方向移动，顺次地进行上述操作，将所述支承体沿着从插入了所述刀片的端部朝向中央的方向剥离，进而朝向其延长线上剥离。(6)如(1) (5)中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序包含通过图像处理来确定所述树脂层和所述基板的界面上插入所述刀片的部位的操作。(7)如(1) (6)中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序在所述支承基板及/或所述基板的任意部位连接导体形成接地来抑制带电，并且将所述支承体和所述电子器件剥离。(8)如(1) (7)中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序在所述支承体和所述电子器件之间喷吹除电用物质进行带电控制，并且将所述支承体和所述电子器件剥离。(9)如(1) (8)中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序是如下所述工序检测作用在所述刀片上的载荷，并且向所述树脂层和所述基板之间的界面插入所述刀片。(10)如⑴ (9)中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述电子器件为显示装置用面板。(11) 一种剥离装置，从带支承体的电子器件剥离支承体，所述带支承体的电子器件在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有显示装置用部件的基板的第一主面密接树脂层而形成，所述树脂层固定于具有第一主面及第二主面的支承基板的第一主面上且具有易剥离性，所述支承体由所述支承基板及所述树脂层构成，其中，具备工作台，与所述带支承体的电子器件的主面密接，具备能够固定所述带支承体的电子器件的平面状的固定面；刀片，用于从所述带支承体的电子器件剥离所述支承体；法线方向移动单元，使所述刀片沿与所述工作台的所述固定面的法线平行的方向即法线方向移动，以使所述刀片插入固定于所述工作台的所述带支承体的电子器件的端面上被剥离的所述支承体的所述树脂层和所述基板之间的界面；固定面方向移动单元，使所述刀片在所述树脂层和所述基板之间移动，进而，所述刀片具备如下所述的性质在插入到所述树脂层和所述基板之间时，因来自所述树脂层及/或所述基板的作用而发生变形，从而沿所述树脂层的表面移动，及/或具备插入角度调节单元，具有使所述刀片以前端部为中心进行旋转并使所述刀片的后端部沿法线方向移动的旋转机构及设定所述刀片的插入角度的上下限的插入角度设定机构；以及法线方向移动机构，使所述刀片整体沿所述法线方向移动。(12)如(11)所述的剥离装置，其中，还具备对固定于所述工作台的固定面上的所述带支承体的电子器件的被剥离的所述支承体的所述支承基板的第二主面进行吸附的多个吸附垫、及使所述吸附垫向剥离所述树脂层和所述基板的方向即剥离方向移动的垫移动单元。(13)如(12)所述的剥离装置，其中，所述垫移动单元具备时间控制功能，使所述多个吸附垫中位于最接近所述带支承体的电子器件的端面上插入了所述刀片的部位的位置的吸附垫首先向所述剥离方向移动，接着使与该吸附垫相邻的吸附垫向所述剥离方向移动，之后同样地使与向所述剥离方向移动了的吸附垫相邻的吸附垫接着向所述剥离方向移动，顺次地进行上述操作，将所述支承体沿着从插入了所述刀片的端部朝向中央的方向剥离，进而朝向其延长线上剥离。(14)如(11) (13)中任一项所述的剥离装置，其中，还具备图像处理装置，用于确定所述树脂层和所述基板之间的界面上插入所述刀片的部位。(15)如(11) (14)中任一项所述的剥离装置，其中，还具备在所述支承基板及/ 或所述基板的任意部位连接导体而抑制带电的接地构造。(16)如(11) (15)中任一项所述的剥离装置，其中，还具备向所述支承体和所述电子器件之间喷吹除电用物质而进行带电控制的带电控制装置。(17)如(11) (16)中任一项所述的剥离装置，其中，还具备检测作用在所述刀片上的载荷的载荷检测装置。(18)如(11) (17)中任一项所述的剥离装置，其中，所述电子器件为显示装置用面板。根据本发明，可以提供一种电子器件的制造方法，能够抑制混入基板间的气泡及尘埃等异物造成的基板缺陷的产生，能够不产生边缘凹坑地用已有的制造生产线进行处理，能够不损伤密接的基板和树脂层地将它们容易且在短时间内剥离并分离。另外，可以提供一种能够实施这种电子器件的制造方法的剥离装置。
图1 (a) 1 (d)是表示本发明的剥离装置的优选实施方式的概略剖面图；图2(a) 2(d)是表示本发明的剥离装置的其它优选实施方式的概略剖面图；图3是表示本发明的剥离装置的优选实施方式的一部分的概略剖面图；图4(a)及4(b)是表示刀片的优选实施方式的概略上面图及概略端面图；图5(a)是用于说明刀片的支承部的概略立体图，图5(b)及图5(c)是概略上面图；图6(a) 6(c)是用于对剥离时的刀片的变形进行说明的概略立体图；图7是表示旋转机构的优选实施方式的概略剖面图；图8是表示吸附垫的优选实施方式的概略立体图；图9是示意性表示吸附垫吸附的情况的图；图10是表示吸附垫的控制系的框图；图11是表示带支承体显示装置用面板的一方式的概略剖面图；图12是表示带支承体显示装置用面板的其它方式的概略平面图；图13是表示带支承体显示装置用面板的其它方式的概略剖面图；图14是表示带支承体显示装置用面板的另一其它方式的概略剖面图；图15(a) 15(c)是用于对工作台的固定面的一部分为曲面的情况下的剥离方法进行说明的概略剖面图；图16(a) 16(c)是用于对工作台为可挠性部件的情况下的剥离方法进行说明的概略剖面图；图17是表示本发明的电子器件的制造方法之一实施方式的显示装置用面板的制造方法的流程之一例的流程图。标号说明1、11剥离装置2基台部件3第一移动部件主体4第三移动部件主体5第二移动部件主体10带支承体显示装置用面板
IOx带支承体显示装置用面板的端面12a、12b薄板玻璃基板16、116、1洸、136显示装置用面板17a、17b、117、127、137a、137b 支承体18a、18b 树脂层19a、19b支承玻璃基板20工作台22多孔质真空吸附片24 泵26工作台框架30 刀片30a刀片的前端部30b刀片的中段部30c刀片的后端部40上下方向移动单元40a第二移动侧部件40b第二固定侧部件42固定面方向移动单元42a第一移动侧部件42b第一移动侧部件44上方向移动机构44a第三移动侧部件44b第三固定侧部件44c止动器46三分力传感器50旋转机构51止动器52覆盖层54旋转轴56轴衬58覆盖层59插入角度调节单元60吸附垫61支承部611 臂70照相机73 喷嘴75带电抑制装置θ插入角度
77真空泵78电气调压阀79 阀82吸附垫83 气泵84 构架85电气调压阀86导向件87电磁阀88 气紅89 活塞90控制部110带支承体的显示装置用面板112薄板玻璃基板114显示装置用部件118树脂层119支承玻璃基板120带支承体的显示装置用面板122薄板玻璃基板IM显示装置用部件125间隙部1 树脂层1 支承玻璃基板132a、132b薄板玻璃基板1；34显示装置用部件138a、138b 树脂层139a、139b支承玻璃基板
具体实施例方式本发明由本发明的制造方法及剥离装置组成。本发明的制造方法可使用本发明的剥离装置最佳地实施。首先，列举两个优选实施例对本发明的剥离装置进行说明。另外，详细后述，本发明中使用的带支承体的电子器件在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有电子器件用部件的基板的第一主面上密接树脂层而形成，所述树脂层固定于具有第一主面及第二主面的支承基板的第一主面上且具有易剥离性。即，带支承体的电子器件具有电子器件用部件、基板、树脂层及支承基板，它们按上述顺序层叠。另外，电子器件具有电子器件用部件及基板，电子器件用部件形成于基板的第二主面上。另外，带支承体的电子器件也可以为将依次层叠有基板、树脂层及支承基板的层叠体经由电子器件用部件层叠二层而成的器件、即依次层叠支承基板、树脂层、基板、电子器件用部件、基板、树脂层及支承基板而成的器件。在此，电子器件是指显示装置用面板、太阳电池、薄膜二次电池、表面形成有电路的半导体晶片等电子零件。显示装置用面板是指包含液晶面板、有机EL面板、等离子体显示面板、场致发射面板等。对本发明的剥离装置的优选实施例进行说明。图1是本发明的剥离装置的优选实施例的剥离装置1的概略剖面图。图1(a) 1(d)是用于说明进行剥离时的剥离装置1的各部位的动作的连续图， 使用图1(a)对剥离装置1的构成进行说明。关于剥离时的各部位的动作后述。图1 (a)中，剥离装置1具备工作台20、刀片30、法线方向移动单元40、及固定面方向移动单元42，进而具备三分力传感器46。S卩，剥离装置1具备工作台20，与带支承体显示装置用面板10的主面密接，具备能够固定带支承体显示装置用面板10的平面状的固定面 ’刀片30，用于从带支承体显示装置用面板10剥离支承体；法线方向移动单元40，使刀片30沿与工作台20的固定面的法线平行的方向即法线方向(图1中为上下方向)移动，以使刀片30插入固定于工作台20的带支承体显示装置用面板10的端面上被剥离的支承体的树脂层和薄板玻璃基板之间的界面；固定面方向移动单元42，使刀片30在树脂层和薄板玻璃基板之间移动，进而，具备三分力传感器46作为可检测作用在刀片30上的载荷的载荷检测单元。另外，如后述，剥离装置1的刀片30具备在插入到树脂层和薄板玻璃基板之间时， 因来自树脂层及/或薄板玻璃基板的作用而发生变形，从而沿树脂层的表面移动的性质。另外，优选实施例的剥离装置1的基台部件2及工作台20被固定于设有剥离装置 1的房间的地板上且不移动。另外，工作台20的固定面20a(参照图3)为水平面(即与房间的地板平行)。另外，基台部件2和固定面方向移动单元42的第一固定侧部件42b被固定，同样，固定面方向移动单元42的第一移动侧部件4 和固定面方向的第一移动部件主体3、第一移动部件主体3和法线方向移动单元40的第二固定侧部件40b、法线方向移动单元40的第二移动侧部件40a和法线方向的第二移动部件主体5、第二移动部件主体5和三分力传感器46和法线方向的第三移动部件主体4、第三移动部件主体4和刀片30被固定。另外，图1中未图示，如之后使用图3说明，剥离装置1具备在带支承体显示装置用面板10的支承玻璃基板19b的第二主面吸附的吸附垫60 ；为了插入带支承体显示装置用面板的端面的刀片30而使用的照相机70 ；作为向被剥离的支承体的树脂层18b和薄板玻璃基板12b之间的界面喷吹除电用物质(水等)的喷吹装置的喷嘴73 ；及通过导体连接带支承体显示装置用面板10和地面而抑制带支承体显示装置用面板10的带电的带电抑制装置75。对本发明的剥离装置的其它优选实施例进行说明。图2是本发明的剥离装置的其它优选实施例的剥离装置11的概略剖面图。图2 (a) 2(d)是用于说明进行剥离时的剥离装置11的各部位的动作的连续图， 使用图2(a)对剥离装置11的构成进行说明。关于剥离时的各部位的动作后述。另外，剥离装置11具有与上述的剥离装置1共通的部位。该部位的说明简略进行。 另外，图2中，对于与剥离装置1共通的部位标注与图1相同的标号(序号)。
图2(a)中，剥离装置11具备工作台20、刀片300、法线方向移动单元40、固定面方向移动单元42、具有旋转机构50及止动器51的插入角度调节单元59、法线方向移动机构 44，另外还具备三分力传感器46。S卩，剥离装置11具备与剥离装置1相同的工作台20、法线方向移动单元40、固定面方向移动单元42、及三分力传感器46。而且，在此基础上还具备刀片300，用于从带支承体显示装置用面板10剥离支承体；插入角度调节单元59，具有使刀片300以前端部为中心旋转即转动规定角度(小于180度)并使刀片300的后端部可沿法线方向移动的旋转机构50及作为设定刀片300的插入角度的上下限的插入角度设定机构的止动器51 ；及法线方向移动机构44，使刀片300整体可沿上述法线方向移动。在此，剥离装置11的刀片300具备与上述的剥离装置1的刀片30不同的性质，不会发生变形。即，刀片300不具备如刀片30那样的性质，即在插入到树脂层和薄板玻璃基板之间时因来自树脂层及/或薄板玻璃基板的作用而发生变形从而沿树脂层的表面移动的性质。另外，优选实施例的剥离装置11的基台部件2及工作台20被固定于设有剥离装置11的房间的地板上，不移动。另外，工作台20的固定面为水平面(即与房间的地板平行)。另外，基台部件2和固定面方向移动单元42的第一固定侧部件42b被固定，同样，固定面方向移动单元42的第一移动侧部件4 和固定面方向的第一移动部件主体3、第一移动部件主体3和法线方向移动单元40的第二固定侧部件40b、法线方向移动单元40的第二移动侧部件40a和法线方向移动机构44的第三固定侧部件44b、法线方向移动机构44的第三移动侧部件4 和法线方向的第二移动部件主体5、第二移动部件主体5和三分力传感器46和法线方向的第三移动部件主体4被固定。另外，刀片30可旋转(转动)地支承于第三移动部件主体4。另外，图2中虽未图示，如之后使用图3所说明，剥离装置11与剥离装置1相同， 具备吸附垫60、照相机70、喷嘴73、及带电抑制装置75。〈工作台〉剥离装置1及剥离装置11 (以下也记载为“剥离装置1、11”。)具备工作台20。使用图3对剥离装置1、11的工作台20进行说明。图3是表示在剥离装置1、11的工作台20的固定面20a上固定有带支承体显示装置用面板10的概略剖面图。在此，带支承体显示装置用面板10为由薄板玻璃基板(12a、 12b)、树脂层(18a、18b)、及支承玻璃基板(19a、19b)的层叠体夹持显示装置用部件14的两主面的状态的结构。在此，将由薄板玻璃基板1 及12b夹持显示装置用部件14的两主面的结构称为狭义上的显示装置用面板16，将树脂层18a及18b和支承玻璃基板19a及19b的各层叠体称为支承体17a及17b。另外，被剥离的支承体17b由支承玻璃基板19b和树脂层18b构成。因此，广义上也可以将狭义上的显示装置用面板16和支承体17a—体称为显示装置用面板。剥离装置1、11具备工作台20，包括具备平面状的固定面的多孔质真空吸附片 22 ；带支承体显示装置用面板10，固定于工作台20的固定面上；及刀片30或刀片300，插入带支承体显示装置用面板10的端面IOx上被剥离的支承体17b的树脂层18b和薄板玻璃基板12b之间的界面。另外，具备吸附于带支承体显示装置用面板10的支承玻璃基板19b的第二主面上的吸附垫60 ；具备为了插入端面IOx的刀片30或刀片300而使用的图像处理装置的照相机70 ；向被剥离的支承体的树脂层18b和薄板玻璃基板12b之间的界面喷吹除电用物质的喷嘴73 ；及通过导体将带支承体显示装置用面板10和地面连接而抑制带支承体显示装置用面板10的带电的带电抑制装置75。另外，多孔质真空吸附片22与泵M连接，使用泵M进行抽真空，在多孔质真空吸附片22的固定面(图3所示的工作台20上为上表面)上真空吸附带支承体显示装置用面板10的支承玻璃基板19a的第二主面，将带支承体显示装置用面板10固定。本发明的剥离装置中，工作台的固定面是指与带支承体显示装置用面板10的主面密接且能够将带支承体显示装置用面板10固定的平面。本发明中，工作台只要能够将带支承体显示装置用面板保持固定于工作台的固定面上就没有特别限定，但如图3所示，优选通过真空吸附进行吸附固定。这是因为使带支承体显示装置用面板的表面难以损伤，另外，可在短时间内解吸。另外，工作台在其固定面上载置带支承体显示装置用面板，可以保持带支承体显示装置用面板，优选固定面上的宽度(面积)为与固定的带支承体显示装置用面板的薄板玻璃基板的主面面积同等程度。另外，本发明中，对于工作台的固定面，如图1 3所示设为水平面，但不限于水平面，也可以为曲面。图15是用于对工作台20的固定面的一部分为曲面的情况下的剥离方法进行说明的概略剖面图。首先，在将带支承体显示装置用面板10固定于固定面20a的一部分为曲面的工作台20上，在将刀片30插入到支承体17b的树脂层18b(参照图3)和显示装置用面板16的薄板玻璃基板12b(参照图3)之间的初期阶段(图15(a))，刀片30以沿着树脂层18b的表面的方式移动，赋予支承体17b和显示装置用面板16剥离的契机(图 15(b))。之后(图15(c))，使用吸附垫82吸附支承体17b，将支承体17b和显示装置用面板16剥离。由于工作台20的固定面20a为曲面，所以与固定面为水平面的工作台20相比较，能够将支承体17b的变形抑制为较小，不存在在剥离时支承体17b破坏的担心。另外，也可以使工作台20为可挠性部件，边依次挠曲变形边全面剥离。图16是用于对工作台20为可挠性部件时的剥离方法进行说明的概略剖面图。首先，将带支承体显示装置用面板10固定于固定面为水平的可挠性工作台20上，在将刀片30插入到支承体17b 的树脂层18b(参照图幻和显示装置用面板16的薄板玻璃基板12b(参照图幻之间的初期阶段(图16(a))，刀片30以沿着树脂层18b的表面的方式移动，赋予支承体17b和显示装置用面板16剥离的契机(图16(b))。之后(图6(c))，使用吸附垫82吸附支承体17b， 进一步由设置于工作台20下方的其它吸附垫82吸附工作台20，边使支承体17b及工作台 20依次挠曲变形，边将支承体17b和显示装置用面板16剥离。由于使工作台20为可挠性部件，边依次挠曲变形边进行剥离，所以与固定面为水平面且没有变形的工作台相比，可以将支承体17b的变形抑制为较小，不存在剥离时支承体17b破坏的可能性。另外，图3中由θ表示的角度表示刀片的插入角度。即，插入角度(Θ)是指刀片的上表面(如果刀片为后述的图4所示的二段刃的情况则为刀片的中段部及后端部的上表面)和被剥离的支承体17b的树脂层18b的表面所成的角度。
〈刀片〉刀片30及刀片300为将支承体17b从带支承体显示装置用面板10剥离而使用的构件，插入到由支承玻璃基板1%和树脂层18b构成的支承体17b和薄板玻璃基板12b之间的界面而进行剥离。使用图4对剥离装置1的刀片30的形状进行说明。另外，在此仅对刀片30进行说明，剥离装置11的刀片300的形状也可以与剥离装置1的刀片30相同。图4(a)是刀片30的概略上面图，图4(b)是概略端面图。本发明中使用的刀片的大小、形状等没有特别限定，但优选实施例的刀片30为图 4所示的大小及形状。即，如图4(a)所示，从上面观察时刀片30为矩形，为宽度10mm、长度 IOOmm的大小。另外，如图4(b)所示，厚度为0. 1mm，为二段刃。构成二段刃的图4(b)所示的前端部30a为尖端，且从端面观察成25度的角度，中段部30b成15度的角度，后端部30c 形成为平坦。如上述所述，刀片30的大小为宽度10mm、长度100mm，但本发明中使用的刀片的大小优选为宽度5 50mm、长度30 200mm。另外，优选厚度为0. 05 1. 0mm。另外，优选如刀片30那样为二段刃。刀片的前端可以防止给予薄板玻璃基板及树脂层的表面带来损伤。另外，如上述，刀片30的前端部30a所成的角度为25度的程度，但在本发明中使用的刀片为二段刃的情况下，优选前端部构成的角度为20 30度。另外，同样，优选中段部构成的角度为10 20度。另外，前端的曲率虽没有特别限定，但优选曲率半径为0.001mm 以上。另外，本发明中使用的刀片优选如图4所示为双刃，但也可以为单刃。其次，对刀片的材质及变形能等进行说明。刀片30及刀片300的材质没有特别限定。可列举例如不锈钢等金属、陶瓷、塑料、 硬质橡胶。另外，优选为如下材料在插入树脂层和薄板玻璃基板之间而从树脂层及/或薄板玻璃基板承受任何作用(力)的情况下发生变形，在解除了作用的情况下也可逆地解除变形，返回本来形状。例如可优选示例橡胶那样的弹性体，但由于在对刀片施加的作用 (力)不大的范围内金属等也作为弹性体动作，因此可以优选使用。另外，优选由如下材料构成，即杨式模量为1，000 400，000N/mm2、优选为 200, ΟΟΟΝ/mm2程度的材料。不锈钢的杨式模量为206，ΟΟΟΝ/mm2,为可以优选使用的材料。另外，剥离装置1的刀片30具备特定的弯曲刚性[N · mm2]。具体而言，在刀片30的形状例如为上述的图4所示那样的情况下，相对于对刀片 30的上表面施加的负荷(厚度方向的负荷)的弯曲刚性(以下称为“弯曲刚性A”。)为 5，OOON · mm2以下，优选为200N · mm2以下。另外，在刀片30的形状例如为上述图4所示那样的情况下，相对于刀片宽度方向的负荷的弯曲刚性(向长度方向的边(面)施加了负荷时的弯曲刚性)(以下为“弯曲刚性 B”。)为 200，OOON · mm2 以上，优选为 1，000，OOON · mm2 以上。另外，更优选的是，弯曲刚性A为5，OOON -mm2以下，且弯曲刚性B为200，OOON -mm2以上。另外，在此所说的弯曲刚性(弯曲刚性A及弯曲刚性B)作为根据刀片的材质决定的杨式模量[N/mm2]和根据剖面形状及中性轴的位置决定的剖面二次力矩[mm4]之积求出。这样，对于剥离装置1的刀片30，由于具备上述特定范围的弯曲刚性A、B，因此，在插入到树脂层和薄板玻璃基板之间的情况下，因来自树脂层及/或薄板玻璃基板的作用而发生变形，从而沿树脂层的表面移动。如后述，剥离装置11的刀片300不需要具备刀片30 所具备的弯曲刚性，但也可以具备。其次，对支承剥离装置1的刀片30的支承部进行说明。刀片30优选由具备图5所示的构造的支承部61支承。图5 (a)为剥离装置1的刀片30及支承所述刀片30的支承部61的概略立体图。另外，图5(b)、(c)是表示图5(a) 的一侧的臂611的动作的概略上面图。图5(b)、(c)中省略图示刀片30。图5的支承部61具有两个板状的臂611，将它们与刀片30连结。对于臂611，在向刀片30施加任何的力时，能够以不会妨碍刀片30自身变形的方式发生变形。例如图5(b)所示，两个臂611可以以彼此靠近的方式变形。另外，例如图5(c)所示，从上面观察时能够以成为S字状的方式发生变形。刀片30具备上述的特定范围的弯曲刚性A、B，除此之外还由上述的支承部支承， 因此，在插入到树脂层和薄板玻璃基板之间时，因来自树脂层及/或薄板玻璃基板的作用而更容易变形，从而沿树脂层的表面移动。更具体而言，例如图6所示(图6(a) (c)中省略表示支承部61。)，将刀片插入到树脂层和薄板玻璃基板之间的初期阶段(图6(b))，刀片30因其自身的法线方向的变形以沿着树脂层的表面的方式移动，之后(图6 (c))，通过以插入方向的刀片30和带支承体显示装置用面板10接触的部分及刀片30和支承部连结的部分为支点的旋转方向的变形且与旋转方向复合的所谓的自身的扭转现象，可以沿树脂层的表面移动。与之相对，剥离装置11的刀片300不具备刀片30所具备的弯曲刚性，且也不具备支承部61这样的支承构造。因此，不会因来自树脂层及薄板玻璃基板的作用而变形。因此，剥离装置11需要具备插入角度调节单元以及法线方向移动机构，所述插入角度调节单元具有剥离装置1不具备的旋转机构及插入角度设定机构。另外，本发明的剥离装置还包括具有具备刀片30那样的变形能的刀片且如剥离装置11具备插入角度调节单元及法线方向移动机构的情况。当然，也有时根据变形能(变形的程度)使刀片更好的动作。〈法线方向移动单元〉使用图1(a)对剥离装置1的法线方向移动单元40进行说明。剥离装置11也具有同样的法线方向移动单元40。剥离装置1中，法线方向移动单元40具有第二移动侧部件40a及第二固定侧部件 40b。第二移动侧部件40a和第二固定侧部件40b经由未图示的交叉滚子导向件连接，通过驱动未图示的伺服电动机可以使第二移动侧部件40a相对于第二固定侧部件40b向法线方向移动，可以使与第二移动侧部件40a连接的刀片30向法线方向移动。如上所述，法线方向是指与工作台20的固定面20a(参照图3)的法线平行的方向。由于剥离装置1的工作台20的固定面20a为水平面，所以在剥离装置1中(剥离装置 11也同样)法线方向为上下方向(垂直方向)。可以以能够将刀片30插入固定于工作台20的固定面20a上的带支承体显示装置用面板10的端面中被剥离的支承体17b的树脂层18b和薄板玻璃基板12b的界面的方式 (参照图3)调节其位置。本发明中，法线方向移动单元只要是可以使刀片向法线方向的所希望的位置移动的单元则就没有特别限定。<插入角度调节单元>剥离装置11具备插入角度调节单元59，所述插入角度调节单元59具有旋转(或转动)机构50和作为上下限设定机构的止动器51。剥离装置1不具有插入角度调节单元。使用图2 (a)及图7对剥离装置11的旋转机构50进行说明。剥离装置11中，旋转机构50经由托架52连结旋转轴M和刀片300，为能够通过使旋转(或转动)轴讨旋转(或转动)规定角度来使刀片300也旋转(或转动)规定角度的机构。图7是用于说明这样的旋转机构50的概略剖面图，为从上面看到的在旋转轴M 的中心水平切开的剖面的图。图7中，矩形的刀片300的三边被固定地固定于托架52上，进而托架52被固定于旋转轴M上，因此，通过旋转轴M旋转，刀片300也同样地旋转。旋转轴M经由树脂制的滑动轴衬56由托架58支承。托架58被固定于图2 (a)所示的第三移动部件主体4上。另外，如图2(a)及图7所示，刀片300的前端和旋转轴M的中心大致一致。因此，刀片300 可以以其前端为中心旋转。另外，如图2(a)所示，剥离装置11具有止动器51。止动器51与第三移动部件主体4连结，相对于第三移动部件主体4相对地在法线方向(上下方向)移动，可以在所希望的位置固定。因此，如果固定，则止动器51追随第三移动部件主体4的法线方向的移动而移动。通过这样的止动器51可以调节刀片300的插入角度(θ )的上限或下限。以支承托架52的下表面的方式决定止动器51的位置，从而刀片300不会向插入角度(θ )增大的方向进一步旋转，因此可以设定上限。该情况下，可以向反方向(Θ减小的方向)旋转。插入角度(θ )没有特别限定，但优选为2 5度。<固定面方向移动单元>使用图1(a)对剥离装置1的固定面方向移动单元42进行说明。剥离装置11也具有同样的固定面方向移动单元。剥离装置1中，固定面方向移动单元42具有第一移动侧部件4 及第一固定侧部件42b。第一移动侧部件4 和第一固定侧部件42b经由未图示的交叉滚子导向件连接，通过驱动未图示的伺服电动机，使第一移动侧部件4 相对于第一固定侧部件42b向与工作台20的固定面平行的方向即固定面方向(图1(a)中为左右方向)移动，从而可以使与其连接的刀片30向固定面方向移动。而且，可以使刀片30在树脂层和薄板玻璃基板之间移动。本发明中，固定面方向移动单元只要是能够使刀片向固定面方向的所希望的位置移动的单元则就没有特别限定。〈法线方向移动机构〉使用图2(a)对剥离装置11的法线方向移动机构44进行说明。
剥离装置11中，法线方向移动机构44具有第三移动侧部件44a、第三固定侧部件 44b及止动器44c。第三移动侧部件4 和第三固定侧部件44b经由未图示的交叉滚子导向件连接，第三移动侧部件4 可以相对于第三固定侧部件44b沿法线方向(上方向)自由移动。另外，止动器Mc与法线方向移动单元40的第二移动侧部件40a连结，可以相对于第二移动侧部件40a相对地沿法线方向(上下方向)移动而在所希望的位置固定。因此， 如果固定，则止动器Mc追随第二移动侧部件40a的法线方向(上下方向)的移动而移动。通过这样的止动器Mc可以决定刀片30的法线方向(上下方向)的最下位置。以支承第二移动部件主体5的下表面的方式决定止动器Mc的位置，从而刀片30不会向更下方移动。可以向上方向移动。本发明中，法线方向移动机构只要是刀片整体能够向上方向移动的机构则就没有特别限定。<载荷检测单元>使用图1 (a)对剥离装置1的载荷检测单元进行说明。剥离装置11也具有同样的载荷检测单元。剥离装置1以由第三移动部件主体4和第二移动部件主体5夹持的方式具备三分力传感器46作为作用在刀片30上的载荷检测单元。本发明的剥离装置优选具备作用在这样的刀片上的载荷检测单元。另外，优选尽可能装备于刀片的附近。如果本发明的剥离装置具备作用在刀片上的载荷检测装置，则在使用刀片剥离支承体时，可以不施加无用的力而进行剥离，故而优选。<吸附垫>剥离装置1、11具备吸附于带支承体显示装置用面板10的支承玻璃基板19b的第二主面的多个吸附垫60。本发明中具备这种吸附垫，优选使用该吸附垫从带支承体显示装置用面板10剥离支承体。使用附图对剥离装置1、11所具备的吸附垫进行说明。图8是表示剥离装置1、11的局部的概略立体图。图8中，剥离装置1、11在工作台20的固定面上大致水平地固定有带支承体显示装置用面板10，多个吸附垫82吸附带支承体显示装置用面板10的被剥离的支承体17b的支承玻璃基板19b(参照图幻的第二主如图8所示，在固定有带支承体显示装置用面板10的工作台20的上方配置有多个吸附垫82。在剥离装置1、11中，这些吸附垫82棋盘格状地配置于构架84，但本发明中， 配置可以不必是等间距的。该构架84在剥离支承体时沿导向件86下降移动，在吸附垫82 与带支承体显示装置用面板10的上表面(支承玻璃基板的第二主面)抵接紧前的时刻，其下降移动因未图示的升降装置而停止。关于吸附垫82的尺寸，如果尺寸小，则向带支承体显示装置用面板10的保持力不足，吸附垫82的个数增多，是不经济的。另外，在吸附垫82的尺寸过大时，因抽真空而使吸附中央部的带支承体显示装置用面板10的变形增大，因此，根据情况而成为带支承体显示装置用面板10的损伤的原因。根据这种状况，吸附垫82的适当的尺寸(例如Φ25 80mm、优选为Φ25 65mm、更优选为Φ40πιπι程度)及个数根据带支承体显示装置用面板10的大
小及厚度等选定。吸附垫82与分别独立的气缸88的活塞89连结，通过该活塞89的伸缩动作使吸附垫82进行升降移动。通过吸附垫82的下降动作，将吸附垫82按压抵接于带支承体显示装置用面板10上，在吸附垫82上吸附带支承体显示装置用面板10的上表面，通过吸附垫 82的上升动作将带支承体显示装置用面板10的支承体17b (支承玻璃基板19b及树脂层 18b)从显示装置用面板16剥离(参照图3)。这样的吸附垫82的上升动作优选如下所述进行控制，即，不是使带支承体显示装置用面板10整个区域的吸附垫82 —起进行上升动作，而是从带支承体显示装置用面板10 的端部朝向中央伴随着支承体的剥离的进展依次进行上升动作。另外，吸附垫的上升距离优选根据支承体容许的弯曲应力及尺寸进行调节。另外，吸附垫82和活塞89的连结部分使用旋轴构造等，优选以吸附垫82可偏斜的方式支承。这是因为即使由吸附垫82的吸附面吸附的支承玻璃基板19b(参照图3)的部分，也可以从一端逐渐剥离，使剥离稳定化。另外，可以使吸附垫向法线方向上升而剥离支承体，但也可以使吸附垫向相对于法线方向具有角度的方向上升。例如如下详细说明，在从带支承体显示装置用面板10的端部朝向中央伴随支承体的剥离的进展而依次进行上升动作时，如果以使吸附垫向该中央方向倾斜的方式上升，则可以更容易地剥离支承体，故而优选。图9是表示带支承体显示装置用面板10的上表面(支承玻璃基板19b的第二主面)即图8所示的吸附垫82吸附的位置的上面图，图10是表示吸附垫82的控制系的框图。 另外，图9中，在右下角部插入刀片，设多个(图8、9中为42个)吸附垫82的最接近该角部的吸附垫为垫82a、设其相邻的(左上)两个吸附垫为垫82b、设进而相邻的(左上)三个吸附垫82为垫82c，以这样的方式之后标注标号为垫82d 821。使这些垫82a 821分别独立地动作(相同标号的垫同样地进行动作)，如图10 所示在垫8 821的气缸88a 881的每一个上设置电磁阀87a 871，并且通过控制部 (垫移动单元)90对这些电磁阀87a 871的开闭时间进行时间管理。即，进行控制，以使垫82a 821以规定时间间隔从因插入刀片30或刀片300而消除吸附力的部位(角部) 依次上升移动。即，具备时间控制功能。由此，能够防止使吸附力残存的部位不合理上升而导致的支承体破损。而且，可以从带支承体显示装置用面板10的端部朝向中央伴随支承体的剥离的进展依次进行上升动作而进行剥离。另外，垫8 821的气缸88a 881经由电磁阀87a 871和电气调压阀8 851而与气泵83连接，通过控制部90对这些电气调压阀8 851分别进行控制。即，由控制部90分别控制电气调压阀8 851，通过使向气缸88a 881供给的空气量逐渐增加，可以逐渐提高吸附垫82上升的力。通过执行这样的力控制，可以避免最初开始不合理地提高上升的力引起的带支承体的玻璃基板10的损伤问题，且可以将剥离所需的必要时间缩短为最低限。另一方面，吸附垫82经由由控制部90进行开闭控制的阀79和电气调压阀78而与真空泵77连接。吸附垫82的气压的控制通过调节器78进行。吸附垫82上升的时间和上升的力可通过操作设于控制部90的操作盘上的触摸面板等的开关(未图示)而由操作者设定为任意的值。<照相机>对于剥离装置1、11，为了确认插入带支承体显示装置用面板10的端面IOx的刀片 30或刀片300的部位而具备照相机70，所述照相机70具有图像处理装置。在照相机70中将刀片30或刀片300的位置信息作为图像数据取入到图像处理装置，对该图像数据进行处理，通过图像处理装置判断是否为所希望的位置，将其结果反馈给法线方向移动单元40，由此可使刀片30或刀片300向所希望的位置移动。本发明中具备这样的具有图像处理装置的照相机，优选通过图像处理来确定带支承体显示装置用面板的端面的插入刀片的部位。照相机及图像处理装置的种类等没有特别限定，可使用现有公知的类型。<喷吹装置>剥离装置1、11具备可向被剥离的支承体17b的树脂层18b和显示装置用面板16 的薄板玻璃基板12b之间的界面喷吹除电用物质(水等)的喷嘴73 (参照图3)。当使用本发明的剥离装置进行剥离时，有时得到的显示装置用面板会带电。例如也有时呈现+IOkV的带电压。因此，如果在剥离时喷吹除电用物质，则可以抑制上述的带
H1^ O作为除电用物质，可列举水或水蒸气等离子化了的液体及/或气体。另外，可列举通过脉冲电源装置等离子化了的空气及其它气体。另外，喷吹装置中，也可以喷吹除电用物质以外的物质(空气等)。该情况下实现促进剥离的效果。即使在喷吹了除电用物质的情况下，也能够实现同样的效果。例如通过喷吹水或水及空气的混合流体，实现除电作用及剥离促进作用，故而优选。本发明中，由于具备这种喷吹装置，从而可以使用其将支承体从带支承体显示装置用面板10剥离。〈带电控制装置〉剥离装置1、11具备带电抑制装置75 (参照图3)，所述带电抑制装置75通过导体连接带支承体显示装置用面板10和地面以抑制带支承体显示装置用面板10的带电即用于取得接地。优选在与显示装置用部件相接触的薄板玻璃基板的表面(主面)的周缘形成有护圈，所述护圈通过例如由透明电极膜形成的未施加驱动电压的非驱动电极膜构成，且将该护圈和导体连接而取得接地。当使用本发明的剥离装置进行剥离时，有时所得到的显示装置用面板会带电。例如也有时呈现+IOkV的带电压。因此，如果具备上述那样的带电抑制装置，则能够抑制上述的带电。本发明中，如果具备这种带电抑制装置，则可适宜地将支承体从带支承体显示装置用面板10剥离。上述说明的剥离装置1、11中，工作台20的固定面20a为水平面，但在本发明的剥离装置中，固定面也可以不是水平面、即可以不是与房间的地板等平行的面。例如也可以为与垂直方向平行的面，也可以是与之斜交叉的面。另外，不仅工作台，而且对于设置本发明的剥离装置自身的方向也完全没有限定。也可以以例如图1及图2所示的剥离装置1及剥离装置11中左右和上下调换的配置进行设置。〈剥离方法(其1)>其次，使用图1(a) (d)说明使用了剥离装置1的剥离方法。首先，将带支承体显示装置用面板10的不带之后剥离的支承体的一方的主面密接固定于工作台20所具备的平面状的固定面上(图1(a))。即，将带支承体显示装置用面板10以使带被剥离的支承体的主面为上、以其相反的主面为下的方式真空吸附固定于工作台20上。其次，如图1(b)所示，通过法线方向移动单元40调节刀片30的法线方向(上下方向)的位置。具体而言，通过驱动伺服电动机，使第二移动侧部件40a相对于第二固定侧部件40b向工作台20的固定面的法线方向(上下方向)移动，调节其位置以能够向被剥离的支承体的树脂层18b的表面和薄板玻璃基板12b的第一主面之间的界面插入刀片30。其次，如图1(c)及(d)所示，通过固定面方向移动单元42插入并压入刀片30。如果这样在树脂层18b和薄板玻璃基板12b之间的界面沿固定面方向的插入方向插入并压入刀片30，则如使用图5、图6所说明，刀片30及支承部61发生变形。本发明的剥离装置的优选实施方式的剥离装置1可以使刀片30进行这样的动作，因此，可以适宜地将支承体和上述显示装置用面板剥离。<剥离方法(其2) >其次，使用图2(a) (d)说明使用了剥离装置11的剥离方法。首先，将带支承体显示装置用面板10的不带之后被剥离的支承体的主面密接固定于工作台20所具备的平面状的固定面(图2(a))。即，将带支承体显示装置用面板10以带被剥离的支承体的主面为上、其相反的主面为下的方式真空吸附固定于工作台20上。其次，如图2(a)所示，调节刀片300的插入角度(θ )。具体而言，通过以旋转轴为中心旋转(转动)规定角度，将刀片300的插入角度(Θ)调节为所希望的角度，且通过以与覆盖层52的下表面相接触的方式载置止动器51，由此可以固定插入角度(θ )。其次，如图2(b)所示，通过法线方向移动单元40调节刀片300的法线方向(上下方向)的位置。具体而言，通过驱动伺服电动机，可以使第二移动侧部件40a相对于第二固定侧部件40b沿法线方向移动，调节其位置以能够向被剥离的支承体的树脂层18b的表面和薄板玻璃基板12b的第一主面之间的界面插入刀片30。其次，如图2(c)及(d)所示，通过固定面方向移动单元42插入并压入刀片300。 如果这样向树脂层18b和薄板玻璃基板12b之间的界面插入并压入刀片300，则刀片300以其前端部30a为中心旋转(转动)规定角度，使后端部30c向上方向移动，进而使刀片300 整体向上方向及/或固定面方向的插入方向移动，且使刀片300以沿着树脂层的表面的方式移动进而压入(图2(d))。本发明的剥离装置的优选实施方式的剥离装置11可以使刀片 300进行这样的动作，因此，可以将支承体和上述显示装置用面板适宜地剥离。另外，剥离装置1、11中，在剥离例如图3所示的带支承体显示装置用面板10的两个支承体17a及17b时，首先将一个支承体17b剥离，使其反转后再次固定于同一工作台的固定面上或其它本发明的剥离装置的工作台的固定面上，将另一支承体17a剥离，从而可得到显示装置用面板。其次，使用图8 10说明使用了具备吸附垫的剥离装置1、11的优选的剥离方法。
在工作台20的固定面上固定了带支承体显示装置用面板10后，使构架84下降移动，使吸附垫82在与带支承体显示装置用面板10的表面抵接紧前的时间停止所述下降移动。接着，使气缸88的活塞89伸长，使吸附垫82进行下降移动，与带支承体显示装置用面板10的表面按压抵接。而且，由电气调压阀78控制吸附垫82的气压，耗费某程度的时间将吸附垫82的气压提高至上述设定压力。由此，所有的吸附垫82吸附于带支承体显示装置用面板10上。其次，如图9所示，通过刀片30 (或刀片300)向带支承体显示装置用面板10的角部插入刀片30 (或刀片300)。在此，优选刀片30 (或刀片300)插入至图9所示的吸附垫 82a的紧下。这是因为可以更容易且适宜地进行基于吸附垫的剥离。而且，之后，控制部90 控制图10所示的电磁阀87a，使吸附保持图9所示的带支承体显示装置用面板10的角部的垫8 沿剥离方向(也可以为法线方向)上升移动，将支承体17b的角部从显示装置用面板剥离。其次，控制部90对图10的电磁阀87b进行开放控制，使吸附保持图9所示的支承体17b的缘部的垫82b沿剥离方向上升移动，使支承体17b的缘部从显示装置用面板16 (参照图3)分离。其次，控制部87对图10的电磁阀87c进行开放控制，使图9所示的垫82c沿剥离方向上升移动，将位于支承体17b的缘部内侧的部分从显示装置用面板16剥离。 之后，可同样进行将支承体从显示装置用面板完全地剥离。<带支承体显示装置用面板>其次，对本发明中使用的带支承体显示装置用面板、具有支承体及薄板玻璃基板的显示装置用面板进行说明。本发明的制造方法中使用的带支承体显示装置用面板中，在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有显示装置用部件的薄板玻璃基板的第一主面上密接树脂层而形成，所述树脂层固定在具有第一主面及第二主面的支承玻璃基板的第一主面上且具有易剥离性。本发明的实施方式中，电子器件为显示装置用面板，但本发明不限于此。作为其它电子器件，可列举太阳电池、薄膜二次电池、表面形成有电路的半导体晶片等电子零件。显示装置用面板包含液晶面板、有机EL面板、等离子体显示面板、场致发射面板等。特别适合薄型显示装置用面板的制造。其制造工艺的优点是，可直接利用单片式的制造装置。带支承体显示装置用面板中，薄板玻璃基板的厚度、形状、大小、物性(热收缩率、 表面形状、耐化学性等)、组成等没有特别限定，例如也可以与现有的IXD、0LED等显示装置用的玻璃基板相同。薄板玻璃基板的厚度优选为小于0. 7mm,更优选为0. 5mm以下，进一步优选为 0. 4mm以下。另外，优选为0. 05mm以上，更优选为0. 07mm以上，进一步优选为0. Imm以上。薄板玻璃的形状没有限定，但优选为矩形。薄板玻璃的大小没有限定，例如为矩形的情况下可以为100 2000mmX100 2000mm，更优选为 500 IOOOmmX 500 1000mm。即使为这样的厚度及大小，在本发明的制造方法的剥离工序中，也能够容易地将支承玻璃基板从薄板玻璃基板剥离并分离。
薄板玻璃基板的热收缩率、表面形状、耐化学性等特性也没有特别限定，根据制造的显示装置的种类而不同。优选热收缩率小。具体而言，优选热收缩率的指标即线膨胀系数为500X10_7°C 以下，更优选为300X 10_7°c以下，特别优选为200X 10_7°c以下，且更优选为100X 10_7°c 以下，进一步优选为45X10_7°C以下。另外，本发明中，线膨胀系数是指由JIS R3102(1995年)规定的内容。本发明的实施方式中，基板为薄板玻璃基板，但本发明不限于此。从工业的取得容易性的观点考虑，以玻璃板、硅晶片、金属板、塑料板等为优选例进行表示。在作为基板采用板厚薄的玻璃板(薄板玻璃基板)的情况下，薄板玻璃基板的组成例如可以与碱玻璃或无碱玻璃相同。其中，从热收缩率小的观点看，优选无碱玻璃。在采用塑料板作为基板的情况下，其种类没有特别限制，例如为透明的基板的情况下，示例聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚砜树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、聚丙烯酸树脂、聚硅氧烷树脂、透明含氟树脂等。为不透明的基板的情况下，示例聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、芳族聚酰胺树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、各种液晶聚合物树脂等。在采用金属板作为基板的情况下，其种类没有特别限制，例如示例不锈钢板、铜板寸。基板的耐热性没有特别限制，但在形成显示装置用部件的TFT阵列等的情况下优选耐热性高。具体而言，优选上述5%加热重量损失温度为300°C以上。更优选为350°C以上。该情况下，在耐热性方面，上述的玻璃板均适合。作为从耐热性的观点考虑优选的塑料板，示例聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、芳族聚酰胺树脂、聚醚砜树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、 各种液晶聚合物树脂等。另外，基板可以是层叠有玻璃板、硅晶片、金属板、塑料板等不同材质的层叠体。例如可以是玻璃板和塑料板的层叠体、以塑料板、玻璃、塑料板的顺序层叠的层叠体、及两个以上的玻璃板彼此或两个以上的塑料板彼此的层叠体等。带支承体显示装置用面板在上述薄板玻璃基板的第二主面上具有显示装置用部件。显示装置用部件是指其表面上具有由现有的IXD、OLED等显示装置用的玻璃基板的发光层、保护层、TFT阵列(以下称为阵列。)、彩色滤光片、液晶、ITO构成的透明电极等、 各种电路图案等。上述薄板玻璃基板的第二主面上的显示装置用部件的种类没有特别限定。显示装置用面板具有这样的显示装置用部件和上述薄板玻璃基板。对于带支承体显示装置用面板，在上述薄板玻璃基板的第一主面上作为支承体密接固定有树脂层的支承玻璃基板。支承玻璃基板经由树脂层与薄板玻璃基板密接，对薄板玻璃基板的强度进行增强。本发明的实施方式中，支承基板为支承玻璃基板，但本发明不限于此。从工业取得的容易性的观点看，以玻璃板、硅晶片、金属板、塑料板等为优选例进行表示。
在作为支承基板采用玻璃板的情况下，支承玻璃基板的厚度、形状、大小、物性 (热收缩率、表面形状、耐化学性等)、组成等没有特别限定。支承玻璃基板的厚度没有特别限定，但需要使带支承体显示装置用面板为在现行的制造生产线中能够处理的厚度。例如优选为0. 1 1. Imm的厚度，更优选为0. 3 0. 8mm,进一步优选为0. 4 0. 7mm。例如现行的制造生产线以能够处理厚度0. 5mm的基板的方式进行设计，在薄板玻璃基板的厚度为0. Imm的情况下，支承玻璃基板的厚度和树脂层的厚度共为0. 4mm。另外， 现行的制造生产线最通常的是以能够处理厚度0. 7mm的玻璃基板的方式进行设计，但例如薄板玻璃基板的厚度若为0. 4mm，则与树脂层的厚度共为0. 3mm。支承玻璃基板的厚度优选比上述薄板玻璃基板厚。支承玻璃基板的形状没有限定，优选为矩形。支承玻璃基板的大小没有限定，但优选与上述薄板玻璃基板同程度，更优选为比上述薄板玻璃基板稍大。例如，具体而言，优选纵方向或横方向分别大致0. 05 IOmm程度。 这是因为可以更容易地进行从薄板玻璃基板分离支承玻璃基板。支承玻璃基板的线膨胀系数可以与上述薄板玻璃基板实质上相同，也可以不同。 实质上相同时，在供于本发明的制造方法时，在薄板玻璃基板或支承玻璃基板上难以产生挠曲，在这一点上优选。薄板玻璃基板和支承玻璃基板的线膨胀系数之差优选为300 X 10_7°C以下，更优选为100X10_7°C以下，进一步优选为50X10_7°C以下。支承玻璃基板的组成例如可以与碱玻璃、无碱玻璃相同。其中，从热收缩率小的观点看，优选为无碱玻璃。在作为支承基板采用塑料板的情况下，其种类没有特别限制，例如示例聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂、聚碳酸酯树脂、聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、芳族聚酰胺树脂、聚醚砜树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、聚丙烯酸树脂、各种液晶聚合物树脂、聚硅氧烷树脂等。在作为支承基板采用金属板的情况下，其种类没有特别限制，例如示例不锈钢板、 铜板等。支承基板的耐热性没有特别限制，但在形成显示装置用部件的TFT阵列等的情况下，优选耐热性高。具体而言，优选上述5%加热重量损失温度为300°C以上。进而更优选为350°C以上。该情况下，在耐热性这一点上上述的玻璃板均适合。作为从耐热性的观点考虑优选的塑料材料，示例聚酰亚胺树脂、含氟树脂、聚酰胺树脂、芳族聚酰胺树脂、聚醚砜树脂、聚醚酮树脂、聚醚醚酮树脂、聚萘二甲酸乙二醇酯树脂、各种液晶聚合物树脂等。这样的支承玻璃基板的第一主面上所固定的树脂层与上述薄板玻璃基板的第一主面附着而密接，可以容易地剥离。即，树脂层相对于上述薄板玻璃基板具有易剥离性。本发明所使用的带支承体显示装置用面板中，认为树脂层和薄板玻璃基板不是因粘接剂所具有的粘接力而附着，认为是通过固体分子间的范德瓦耳斯力引起的力、即因密接力而附着。树脂层的厚度没有特别限定。优选为1 100 μ m,更优选为5 30 μ m，进一步优选为7 20 μ m。这是因为如果树脂层的厚度为这样的范围，则薄板玻璃基板和树脂层的密接充分。另外，这是因为即使夹杂气泡或异物，也能够抑制薄板玻璃基板的变形缺陷的发生。另外，如果树脂层的厚度过厚，则形成耗费时间及材料，是不经济的。另外，树脂层可以由2层以上构成。该情况下，“树脂层的厚度”是指所有的层的合计厚度。另外，树脂层由2层以上构成的情况下，形成各层的树脂的种类也可以不同。树脂层优选相对于上述薄板玻璃基板的第一主面的树脂层表面的表面张力为 30mN/m以下，更优选为25mN/m以下，进一步优选为22mN/m以下。这是因为，如果为这样的表面张力，则可以更容易地与薄板玻璃基板剥离，同时与薄板玻璃基板的密接也变得充分。另外，树脂层优选由玻化温度比室温(25°C程度)低的材料或不具有玻璃温度的材料构成。这是因为为非粘接性的树脂层，具有更容易的剥离性，可以更容易地与薄板玻璃基板剥离，同时与薄板玻璃基板的密接也变得充分。另外，优选树脂层具有耐热性。这是因为，本发明中，例如在上述薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用部件的情况下，有时将薄板玻璃基板和树脂层和支承玻璃基板的玻璃层叠体供于热处理。另外，当树脂层的弹性率过高时，与薄板玻璃基板的密接性降低，故而不予优选。 另外，如果弹性率过低，则易剥离性变低，故而不予优选。形成树脂层的树脂的种类没有特别限定。可列举例如丙烯酸树脂、聚烯烃系树脂、 聚氨酯树脂及硅酮树脂。也可以将几种类的树脂混合使用。在上述树脂组中优选硅酮树脂。 这是因为硅酮树脂耐热性优异且相对于薄板玻璃基板的易剥离性的程度适宜。另外，这是因为通过与支承玻璃基板的第一主面的硅烷醇的缩合反应而容易固定于支承玻璃基板上。 硅酮树脂层例如即使在300 400°C程度下处理1小时程度，易剥离性也几乎不会劣化，在这一点上也优选。另外，树脂层优选在硅酮树脂中也由剥离纸用硅酮构成，更优选为其固化物。剥离纸用硅酮以分子内含有直链状的二甲基聚硅氧烷的硅酮为主剂。使用催化剂、光聚合引发剂等将含有该主剂和交联剂的组成物固化形成于上述支承玻璃基板的表面(第一主面)的树脂层具有优异的易剥离性，故而优选。另外，由于柔软性高，所以即使气泡或尘埃等异物混入薄板玻璃基板和树脂层之间，也能够抑制薄板玻璃基板的变形缺陷的发生。这种剥离纸用硅酮根据其固化机构分类成缩合反应型硅酮、加成反应型硅酮、紫外线固化型硅酮及电子束固化型硅酮，均可以使用。其中优选加成反应型硅酮。这是因为固化反应的容易度、形成树脂层时易剥离性的程度良好，耐热性也高。另外，剥离纸用硅酮在形态上有溶剂型、乳剂型及无溶剂型，任何类型均可使用。 其中优选无溶剂型。生产性、安全性、环境特性方面优异。另外，由于不含有在形成树脂层时的固化时、即加热固化、紫外线固化或电子束固化时产生发泡的溶剂，所以树脂层中难以残留气泡。另外，作为剥离纸用硅酮，具体而言作为通常出售的商品或型号，列举KNS-320A、KS-847 (均为信越硅酮公司制)、TPR6700 (GE东芝硅酮公司制)、乙烯基硅酮“8500”(荒川化学工业株式会社制)和甲基氢聚硅氧烷“12031”(荒川化学工业株式会社制)的组合、乙烯基硅酮“11364”(荒川化学工业株式会社制)和甲基氢聚硅氧烷“12031”(荒川化学工业株式会社制)的组合、乙烯基硅酮“11365”(荒川化学工业株式会社制)和甲基氢聚硅氧烷“12031 ”(荒川化学工业株式会社制)的组合等。另外，KNS-320A、KS-847及TPR6700 为预先含有主剂和交联剂的硅酮。另外，形成树脂层的硅酮树脂优选具有硅酮树脂中的成分难以向薄板玻璃基板转移的性质、即低硅酮转移性。在这样作为树脂层使用硅酮树脂层的情况下，可以适宜地再利用由剥离了的上述支承玻璃基板及上述硅酮树脂层构成的支承体。在这样的剥离后的支承体的硅酮树脂具有低硅酮转移性的情况下，该硅酮树脂层具有高的残留粘接率的趋势。因此，能够没有问题地进行再利用。其次，使用附图对带支承体显示装置用面板进行说明。图11是表示本发明的带支承体显示装置用面板的一方式的概略剖面图。图11中，带支承体显示装置用面板110由显示装置用部件114、薄板玻璃基板 112、树脂层118及支承玻璃基板119构成，将它们层叠。另外，显示装置用面板116由层状的显示装置用部件114及薄板玻璃基板112构成，支承体117由树脂层118及支承玻璃基板119构成。另外，显示装置用部件114形成于薄板玻璃基板112的第二主面上。而且，薄板玻璃基板112的第一主面与在支承玻璃基板119的第一主面上固定的树脂层118的表面密接附着，形成带支承体显示装置用面板110。图11所示的方式的带支承体显示装置用面板110中，薄板玻璃基板112和树脂层 118和支承玻璃基板119为相同的大小。图12是表示带支承体显示装置用面板的其它方式的概略正面图，图13是其A-A’ 剖面图(概略剖面图)。图12及图13中，带支承体显示装置用面板120由显示装置用部件124、薄板玻璃基板122、树脂层1 及支承玻璃基板1 构成，将它们层叠。另外，显示装置用面板126由层状的显示装置用部件1 及薄板玻璃基板122构成，支承体127由树脂层1 及支承玻璃基板1 构成。另外，显示装置用部件1 形成于薄板玻璃基板122的第二主面上。而且，薄板玻璃基板122的第一主面与在支承玻璃基板129的第一主面上固定的树脂层1 密接附着，形成带支承体显示装置用面板120。图12及图13所示的方式的带支承体显示装置用面板120中，支承玻璃基板1 的主面面积比薄板玻璃基板122大。另外，图12及图13所示的方式的带支承体显示装置用面板120中，薄板玻璃基板122的第一主面的面积比树脂层128的表面(与薄板玻璃基板122相接触的面)的面积 (以下也称为树脂层的“表面面积”。)大。树脂层128的表面面积比薄板玻璃基板122的第一主面的面积小形成有间隙部125的量。而且，与薄板玻璃基板122的第一主面的树脂层1 未相接触的部分α和与所述α相对的支承玻璃基板129的一部分β形成与本发明的带支承体显示装置用面板120的端面(γ 1、γ 2)连接的间隙部125。当形成这种间隙部125时，在本发明的制造方法的剥离工序中，能够更容易地剥离薄板玻璃基板122和树脂层128，故而优选。图12、图13所示的α优选为0. 1 5. Omm,更优选为2. 5mm程度。另外，带支承体显示装置用面板如图14中概略剖面图所示，也可以为将显示装置用部件134的两主面由薄板玻璃基板(132a、132b)、树脂层(138a、138b)和支承玻璃基板 (139a、139b)的层叠体夹持的方式。此时，显示装置用面板136由层状的显示装置用部件 134及两侧的薄板玻璃基板132a、132b构成，支承体137a及137b分别由树脂层138a、138b 及支承玻璃基板139a、139b构成。即使为这样的方式，也为可以在本发明中使用的带支承体显示装置用面板。其次，对可以在本发明中使用的带支承体显示装置用面板的制造方法进行说明。薄板玻璃基板及支承玻璃基板的制造方法没有特别限定。例如可以通过现有公知的方法制造。例如可在将现有公知的玻璃原料溶解制成溶融玻璃后，通过浮法、熔融法、下降法、下引法、再拉法等成形为板状而得到。在这样制造的支承玻璃基板的表面(第一主面)上形成树脂层的方法也没有特别限定。例如可列举将薄膜粘接于支承玻璃基板的表面上的方法。具体而言，可列举为了对薄膜的表面赋予高的粘接力而进行表面改性的处理，而粘接于支承玻璃基板的第一主面上的方法。作为表面改性的处理方法，示例硅烷偶联剂之类的化学性上提高密接力的化学的方法、如火焰处理那样使表面活性基增加的物理方法、如喷砂处理那样通过使表面的粗度增加而增加拉伸的机械方法等。另外，可列举例如通过公知的方法将作为树脂层的树脂组成物涂敷于支承玻璃基板的第一主面上的方法。作为公知的方法，可列举喷涂法、模涂法、旋涂法、浸渍涂布法、辊涂法、棒涂法、网板印刷法、凹版涂布法。可从这些方法中根据树脂组成物的种类适宜选择。例如，在将无溶剂型的剥离纸用硅酮作为树脂组成物使用的情况下，优选模涂法、 旋涂法或网板印刷法。另外，在制造如使用图12、13说明的具有间隙部的带支承体显示装置用面板的情况下，优选预先对形成间隙部的部位进行掩蔽，在其上涂敷树脂组成物。掩蔽是指如下所述的方法，即涂敷树脂组成物时预先在形成间隙部的部位粘贴可再剥离的薄膜等，不在该部位涂敷树脂组成物，之后将该薄膜剥离。另外，在将树脂组成物涂敷于支承玻璃基板的第一主面上的情况下，其涂敷量优选为1 100g/m2，更优选为5 20g/m2。另外，作为其它方法，例如在由加成反应型硅酮形成树脂层时，将包括分子内含有直链状的二甲基聚硅氧烷的硅酮(主剂)、交联剂及催化剂的树脂组成物通过上述的喷涂法等公知的方法涂敷于支承玻璃基板上，之后加热固化。加热固化条件根据催化剂的配合量而不同，但例如在相对于主剂及交联剂的合计量100质量份配合2重量份的钼系催化剂时，使其在大气中在50°C 250°C下、优选为在100°C 200°C下进行反应。另外，该情况下的反应时间为5 60分钟、优选为10 30分钟。为了形成具有低硅酮转移性的硅酮树脂层，优选尽可能地进行固化反应以使硅酮树脂层中不残留未反应的硅酮成分，如果为这样的反应温度及反应时间，则可以在硅酮树脂层中不残留未反应的硅酮成分，故而优选。在比上述的反应时间过长的情况或反应温度过高的情况下，硅酮树脂的氧化分解同时产生，生成低分子量的硅酮成分，因此，硅酮转移性可能提高。以硅酮树脂层中不残留未反应的硅酮成分的方式尽可能地进行固化反应，能够使加热处理后的剥离性良好，故而优选。通过这样的方法在支承玻璃基板的第一主面上形成树脂层后，在树脂层的表面层叠薄板玻璃基板。在使用剥离纸用硅酮制造树脂层时，将涂敷于支承玻璃基板上的剥离纸用硅酮加热固化而形成硅酮树脂层，之后在支承玻璃基板的硅酮树脂形成面上层叠薄板玻璃基板。 通过将剥离纸用硅酮加热固化，硅酮树脂固化物与支承玻璃化学结合。另外，通过锚固效果使硅酮树脂层与支承玻璃结合。通过这些作用将硅酮树脂层牢固地固定于支承玻璃基板上。薄板玻璃基板和树脂层通过非常接近的相对的固体分子间的范德瓦耳斯力引起的力、即通过密接力与树脂层密接。该情况下，可以保持在将支承玻璃基板和薄板玻璃基板层叠后的状态。在固定于支承玻璃基板的树脂层的表面层叠薄板玻璃基板的方法没有特别限定。 例如可使用公知的方法实施。例如可列举在常压环境下在树脂层的表面重叠了薄板玻璃基板后，使用辊压机或挤压机将树脂层和薄板玻璃基板压接的方法。通过由辊压机或挤压机进行压接，树脂层和薄板玻璃基板更密接，故而优选。另外，通过由辊压机或挤压机进行压接，可以容易地除去混入树脂层和薄板玻璃基板之间的气泡，故而优选。通过真空层压法或真空挤压法进行压接时，能够更适宜地进行气泡混入的抑制及确保良好的密接，故而优选。通过在真空下进行压接，存在如下优点即使在残留微少的气泡的情况下，气泡也不会因加热而成长，也难以引起薄板玻璃基板的变形缺陷。在支承玻璃基板的树脂层的表面层叠薄板玻璃基板时，优选将薄板玻璃基板的表面充分清洗，在清洁度高的环境下进行层叠。这是因为即使存在异物，由于树脂层变形，从而也不会对薄板玻璃基板表面的平坦性带来影响，清洁度越高，其平坦性越好，越优选。在这样得到薄板玻璃基板和树脂层和支承玻璃基板层叠而成的玻璃层叠体(以下也称为“薄板玻璃层叠体”。)后，在该薄板玻璃层叠体的薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用部件。在形成显示装置用部件时，也优选根据需要对薄板玻璃基板的第二主面进行研磨，由此使其平坦度提高。显示装置用部件没有特别限定。例如可列举LCD具有的阵列及彩色滤光片。另外， 例如可列举OLED具有的透明电极、空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层。这种形成显示装置部件的方法也没有特别限定，可以与现有公知的方法相同。例如作为显示装置制造IXD时，也可以与在现有公知的玻璃基板上形成阵列的工序、形成彩色滤光片的工序、将形成有阵列的玻璃基板和形成有彩色滤光片的玻璃基板粘合的工序(阵列/彩色滤光片粘合工序)等各种工序相同。更具体而言，作为通过这些工序实施的处理，例如可列举纯水清洗、干燥、成膜、抗蚀剂涂敷、曝光、显影、蚀刻及抗蚀剂除去。另外，作为在实施了阵列侧基板/彩色滤光片侧基板的粘合工序后进行的工序，存在液晶注入工序及在实施了该处理后进行的注入口的密封工序，可列举在这些工序中实施的处理。另外，以制造OLED的情况为例，作为用于在薄板玻璃基板的第一主面上形成有机EL构造体的工序，包含形成透明电极的工序、蒸镀空穴注入层/空穴输送层/发光层/电子输送层等的工序、密封工序等各种工序，作为通过这些工序实施的处理，具体而言例如可列举成膜处理、蒸镀处理、密封板的粘接处理等。这样可以制造本发明中可使用的带支承体显示装置用面板。其次，对本发明的制造方法进行说明。本发明的制造方法是制造显示装置用面板的制造方法，包含从带支承体显示装置用面板剥离由所述支承玻璃基板及所述树脂层构成的支承体的操作，所述带支承体显示装置用面板在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有显示装置用部件的薄板玻璃基板的第一主面上密接树脂层而形成，所述树脂层固定于具有第一主面及第二主面的支承玻璃基板的第一主面上且具有易剥离性其中，具备固定工序，使上述带支承体显示装置用面板所具有的两个主面中的一个未附有在作为后工序的剥离工序中被剥离的支承体的主面向工作台所具备的平面状的固定面密接，将上述带支承体显示装置用面板固定于上述工作台的固定面上；及剥离工序，向固定于上述工作台的固定面上的上述带支承体显示装置用面板的端面中被剥离的上述支承体的上述树脂层和上述薄板玻璃基板之间的界面插入刀片，将上述支承体和上述显示装置用面板剥离。这样，本发明的制造方法具备上述固定工序及上述剥离工序，该固定工序及剥离工序可通过上述的本发明的剥离装置适宜实施。通过上述的剥离方法可以实施上述固定工序及上述剥离工序。本发明的制造方法中，对通过上述的方法得到的带支承体显示装置用面板应用上述固定工序及上述剥离工序，由此可得到显示装置用面板。图17是表示本发明的电子器件的制造方法之一实施方式的显示装置用面板的制造方法的流程之一例的流程图。基于使用图1及图2所示的本发明的剥离装置的情况说明图17所示的本发明的显示装置用面板的制造方法。如图17所示，在本发明的显示装置用面板的制造方法中，首先，在步骤SlOO中，准备带支承体显示装置用面板10，例如如上所述进行制造。其次，转移到步骤110的带支承体显示装置用面板的固定工序。在该固定工序SllO中，在步骤S112中使带支承体显示装置用面板10密接于工作台20的固定面上。其次，在步骤S114中将密接的步骤的带支承体显示装置用面板10真空吸附固定于工作台20的固定面。其次，转移到步骤120的带支承体显示装置用面板的剥离工序。该剥离工序S120中，应用上述的剥离方法(其1)及剥离方法(其2)这两个第一及第二剥离方法。当然也可以仅实施一个剥离方法。在剥离工序S120的第一剥离方法(参照图1)中，首先，在步骤S122中调节刀片 30向带支承体显示装置用面板10的支承体的树脂层和显示装置用面板的薄板玻璃基板之间的界面的插入位置(高度)。其次，在步骤SlM中，向树脂层和薄板玻璃基板之间的界面插入并压入刀片30。接着，在步骤SU6中使刀片30向插入方向移动而将支承体剥离。另一方面，在剥离工序S120的第二剥离方法(参照图2)中，首先，在步骤S132中，调节刀片300相对于带支承体显示装置用面板10的支承体的树脂层和显示装置用面板的薄板玻璃基板之间的界面的插入角度及插入位置(高度)。其次，在步骤S134中，向树脂层和薄板玻璃基板的界面插入并压入刀片300。接着，在步骤S136中，使刀片300以其前端为中心旋转(转动)规定角度，且使所述刀片向上方向及/或插入方向移动而将支承体剥离。这样，在剥离工序S120中从带支承体显示装置用面板10剥离支承体，由此，在步骤S140中制造显示装置用面板。根据本发明的制造方法具备的上述剥离工序，在支承玻璃基板较大的情况下，即使例如为730 X 920mm，也能够容易地分离上述支承玻璃基板。另外，在供于上述剥离工序后，可以进一步供于所希望的工序。所希望的工序是指，如果为例如LCD的情况，则可列举分割成所希望大小的单元的工序、注入液晶之后密封注入口的工序、粘贴偏振片的工序、模块形成工序。另外，如果为例如OLED的情况，则在可适用于LCD的情况的工序的基础上，还可列举将形成有有机EL构造体的薄板玻璃基板和相对基板组装的工序。另外，分割成所希望大小的单元的工序中，从薄板玻璃基板的强度不因进行切断处理而降低，另外也没有产生碎玻璃的观点出发，优选基于激光切割进行切断。在通过这样的本发明的制造方法得到显示装置用面板后，进一步供于现有公知的工序，由此可得到显示装置。这样的显示装置的制造方法适合手机或PDA之类的移动终端所使用的小型的显示装置的制造。显示装置主要为IXD或0LED，作为IXD，包含TN型、STN型、FE型、TFT型、 MIM型、IPS型、VA型等。基本上在无源驱动型、有源驱动型中任何的显示装置的情况下均可应用。对本发明的制造方法的优选例进行说明。首先，对本发明中可使用的带支承体显示装置用面板的制造方法进行说明。首先，准备薄板玻璃基板及支承玻璃基板，并对它们的表面进行清洗。作为清洗， 例如可列举纯水清洗、UV清洗。其次，在支承玻璃基板的第一主面上形成树脂层。例如在支承玻璃基板的第一主面上使用网板印刷机涂敷硅酮树脂。进行加热固化，在支承玻璃基板的第一主面上形成树脂层，得到固定了树脂层的支承玻璃基板。其次，将树脂层和薄板玻璃的第一主面附着粘合。例如可以将树脂层和薄板玻璃基板在室温下真空挤压粘合。然后，得到支承玻璃基板和树脂层和薄板玻璃基板的层叠体即玻璃层叠体。在此，根据需要也可以研磨玻璃层叠体的薄板玻璃基板的第二主面，且也可以进行清洗。作为清洗，例如可列举纯水清洗、UV清洗。在通过这种方法制造了两个玻璃层叠体后，在各玻璃层叠体的薄板玻璃基板的第二主面上形成显示装置用部件。一个玻璃层叠体供于公知的彩色滤光片形成工序，由此在该薄板玻璃基板的第二主面形成彩色滤光片阵列。而且，另一个玻璃层叠体供于公知的阵列形成工序，由此在该薄板玻璃基板的第二主面形成TFT阵列。通过这样的方法，可制造两个带支承体显示装置用面板。另外，以下，将具有在此得到的彩色滤光片阵列的带支承体显示装置用面板称作 “带支承体面板X”、将具有TFT阵列的带支承体面板称作“带支承体面板y”。
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在本发明的制造方法中，将这样制造的带支承体面板χ及带支承体面板y以例如如下所示的情况1 情况4的方法进一步进行处理，制造显示装置用面板。(情况1)情况1中，如上所述使带支承体面板χ及带支承体面板y各自的彩色滤光片阵列和TFT阵列相对，使用单元形成用紫外线固化型密封剂等密封剂进行粘合。以下，将在此得到的带支承体显示装置用面板也称作“带支承体面板zl”。带支承体面板zl为尚未封入液晶的状态。其次，将带支承体面板Zl的液晶注入孔密封。例如也可以使用紫外线固化型水溶性密封剂等将其外侧进一步密封。而且，将密封后的带支承体面板Zl供于本发明的制造方法的剥离工序。具体而言，在本发明的剥离装置即剥离装置1或剥离装置11的工作台20上以带剥离的支承体的主面为上、其相反的主面为下的方式进行固定，向薄板玻璃基板的第一主面和树脂层的密接界面的端部的任意部位插入刀片，形成间隙。而且，在支承体的支承玻璃基板的第二主面上吸附保持多个吸附垫，使所述吸附垫向上方向(剥离方向)移动，由此将支承体和薄板玻璃基板剥离分离。其次，通过对带支承体面板Zl的上下调换而同样地进行处理，可将两个支承体剥
1 O以下，也将这样得到的显示装置用面板称为“面板wl”。剥离并分离的两个支承体可以再利用于其它带支承体面板的制造。其次，将面板wl切断成单独单元。其次，将液晶注入切断后的单独单元，之后进行密封而形成液晶单元。然后，进一步附加偏振片，形成背光灯等，从而可得到IXD1。(情况2)情况2中，如上所述使带支承体面板χ及带支承体面板y各自的彩色滤光片阵列和TFT阵列相对，封入液晶，之后，使用单元形成用紫外线固化型密封剂等密封剂进行粘合。下面，将在此得到的本发明的带支承体面板也称作“带支承体面板z2”。其次，将带支承体面板z2供于本发明的制造方法的剥离工序。具体而言，在本发明的剥离装置即剥离装置1或剥离装置11的工作台20上以带被剥离的支承体的主面为上、其相反的主面为下的方式进行固定，在薄板玻璃基板的第一主面和树脂层的密接界面的端部的任意部位插入刀片，形成间隙。而且，在支承体的支承玻璃基板的第二主面上吸附保持多个吸附垫，通过使所述吸附垫向上方向(剥离方向)移动，可将支承体和薄板玻璃基板剥离并分离。其次，将带支承体面板z2的上下调换而同样地进行处理，由此可将两个支承体剥
1 O以下，将这样得到的显示装置用面板也称作“面板w2”。剥离并分离的两个支承体可以再利用于其它的带支承体面板的制造。其次，将面板w2切断成单独单元。然后，进而附加偏振片，形成背光灯等，从而可得到LCD2。(情况3)
情况3中，如上所述使带支承体面板χ及带支承体面板y各自的彩色滤光片阵列和TFT阵列相对，封入液晶，之后使用单元形成用紫外线固化型密封剂等密封剂进行粘合。 然后，与支承体一同切断成单独单元。下面，也将在此切断得到的带支承体显示装置用面板称作“带支承体面板z3”。其次，将带支承体面板z3供于剥离工序。具体而言，在本发明的剥离装置即剥离装置1或剥离装置11的工作台20，以带被剥离的支承体的主面为上、其相反的主面为下的方式进行固定，在薄板玻璃基板的第一主面和树脂层的密接界面的端部的任意部位插入刀片，形成间隙。然后，在支承体的支承玻璃基板的第二主面上吸附保持多个吸附垫，通过使所述吸附垫向上方向(剥离方向)移动，可以将支承体和薄板玻璃基板剥离并分离。其次，通过对带支承体面板z3的上下调换而同样地进行处理，可将两个支承体剥离。以下，也将这样得到的显示装置用面板称作“面板w3”。然后，进而附加偏振片，形成背光灯等，从而可得到LCD3。(情况4)情况4中，如上所述，使带支承体面板χ及带支承体面板y的各自的彩色滤光片阵列和TFT阵列相对，使用单元形成用紫外线固化型密封剂等密封剂进行粘合。然后，与支承体一同切断为单独单元。以下，也将在此切断而得到的本发明的带支承体面板称为“带支承体面板z4”。带支承体面板z4为尚未封入液晶的状态。其次，也可以将带支承体面板z4的液晶注入孔密封。也可以例如使用紫外线固化型水溶性密封剂等将其外侧进一步密封。然后，将密封后的带支承体面板z4供于剥离工序。具体而言，在本发明的剥离装置即剥离装置1或剥离装置11的工作台20上，以带被剥离的支承体的主面为上、其相反的主面为下的方式进行固定，在薄板玻璃基板的第一主面和树脂层的密接界面的端部的任意部位插入刀片，形成间隙。然后，在支承体的支承玻璃基板的第二主面上吸附保持多个吸附垫，使所述吸附垫向上方向(剥离方向)移动，由此可将支承体和薄板玻璃基板剥离并分离。其次，将带支承体面板z4的上下调换而同样地进行处理，由此可将两个支承体剥离。以下，也将在此分离两个支承体而得到的面板称作“面板w4”。其次，向面板w4的单元注入液晶，之后密封。然后，进而附加偏振片，形成背光灯等，从而可得到LCD4。以上，作为本发明的电子器件以在基板的表面(第二主面)具有显示装置用部件的显示装置用面板为代表例进行了说明，但如上所述，本发明不限于此，当然也可以是代替显示装置用部件而在基板的表面(第二主面)上分别具有太阳电池用部件、薄膜二次电池用部件及电子零件用电路等电子器件用部件的太阳电池、薄膜二次电池及电子零件等电子器件。例如作为太阳电池用部件，在硅型中，可列举正极的氧化锡等透明电极、以ρ层/ i层/n层表示的硅层、及负极的金属等，另外，可列举与化合物型、色素增感型、量子点型等相对应的各种部件等。
另外，作为薄膜二次电池用部件，在锂离子型中，可列举正极及负极的金属或金属氧化物等透明电极、电解质层的锂化合物、集电层的金属、作为密封层的树脂等，此外，可列举与镍氢型、聚合物型、陶瓷电解质型等相对应的各种部件等。另外，作为电子零件用电路，在CCD及CMOS中，可列举导电部的金属、绝缘部的氧化硅及氮化硅等，另外，可列举与压力传感器/加速度传感器等各种传感器及刚性印制基板、挠性印制基板、刚挠性印制基板等相对应的各种部件等。实施例1对本发明的实施例进行说明。首先，对纵720mm、横600mm、板厚0. 4mm、线膨胀系数38X 10_7°C的支承玻璃基板 (旭硝子株式会社制、AN100、无碱玻璃基板)进行纯水清洗、UV清洗而使之清洁化。其次，在支承玻璃基板上以纵705mm、横595mm的大小用网板印刷机涂敷(涂敷量 30g/m2)无溶剂加成反应型剥离纸用硅酮(信越硅酮公司制、KNS-320A、粘度0. 40Pa · s、 100质量份和钼系催化剂(信越硅酮公司制、CAT-PL-56) 2质量份的混合物。其次，将其在180°C下在大气中加热固化30分钟，在支承玻璃基板的表面得到厚度20 μ m的硅酮树脂层。其次，对与纵715mm、横595mm、板厚0. 3mm、线膨胀系数38 X 10—7°C的薄板玻璃基板(旭硝子株式会社制、AN100、无碱玻璃基板)的硅酮树脂层接触的一侧的面进行纯水清洗、UV清洗而使之清洁化后，将硅酮树脂层和薄板玻璃基板在室温下真空挤压粘合，得到玻璃层叠体(玻璃层叠体Al)。另外，树脂层的形成及薄板玻璃基板的层叠以在玻璃层叠体的端部形成深度15mm 的间隙部的方式进行。在得到的玻璃层叠体Al中，两玻璃基板以不产生气泡的方式与硅酮树脂层密接， 从而既没有歪斜状缺陷且平滑性也好。其次，与如上得到的玻璃层叠体Al不同，进一步将玻璃基板Al在大气中以300°C 加热处理1小时而得到玻璃层叠体A2。可确认玻璃层叠体A2的树脂层不会因热而劣化，耐热性良好。其次，将玻璃层叠体Al及A2供于以下的剥离试验1 6。<剥离试验1>利用使用上述图1说明的剥离装置1在多孔质真空吸附片上固定玻璃层叠体Al 的薄板玻璃基板的第二主面侧，在相反面即支承玻璃基板的第二主面侧吸附保持真空吸附垫(40mm Φ)。接着，将刀片(厚度0. 10mm、长度100mm、宽度10mm、不锈钢制、弯曲刚性A 170N· mm2、弯曲刚性B :1，720，000N ^mm2)载置于玻璃层叠体Al的角部(四个角部中的一个)且端面上，通过固定面方向移动单元使刀片稍微接触树脂层的表面，并且边滑动边插入到与薄板玻璃基板的第一主面之间的界面，插入约20mm，形成空隙。其次，使真空吸附垫从带支承体显示装置用面板的端部朝向中央，伴随支承体剥离的进展依次上升。这时的吸附垫的的提升距离为10mm。在这样的剥离试验1中，刀片自身变形，沿着树脂层的表面进行移动。而且，可以不损伤支承体和薄板玻璃基板地进行剥离。
<剥离试验2>利用使用上述图2说明的剥离装置11在多孔质真空吸附片上固定玻璃层叠体Al 的薄板玻璃基板的第二主面侧，且在相反面即支承玻璃基板的第二主面侧吸附保持真空吸附垫(40mm Φ)。其次，将刀片(厚度0. 40mm、长度100mm、宽度10mm、不锈钢制、弯曲刚性A 11000N · mm2、弯曲刚性B :6，870，000N · mm2)载置于玻璃层叠体Al的角部(四个角部中的一个)且端面上，通过固定面方向移动单元使刀片稍微接触树脂层的表面，同时边滑动边插入与薄板玻璃基板的第一主面之间的界面，插入约20mm，形成空隙。其次，使真空吸附垫从带支承体显示装置用面板的端部朝向中央，伴随支承体剥离的进展依次上升。这时的吸附垫的提升距离为10mm。在这样的剥离试验2中，刀片以前端部为中心进行旋转，后端部向上自如移动，进而使刀片整体向上方向移动，由此刀片以沿着树脂层的表面的方式进行移动。而且，可以不损伤支承体和薄板玻璃基板地进行剥离。<剥离试验3>使用剥离装置11在多孔质真空吸附片上固定玻璃层叠体Al的薄板玻璃基板的第二主面侧，在相反侧即支承玻璃基板的第二主面侧吸附并保持真空吸附垫GOmm Φ)。其次，将刀片(厚度0. 10mm、长度100mm、宽度10mm、不锈钢制)载置于玻璃层叠体Al的角部(四个角部中的一个)且端面，通过固定面方向移动单元使刀片稍微接触树脂层的表面，同时边滑动边插入到与薄板玻璃基板的第一主面之间的界面，插入约20mm而形成空隙。在此，插入在从静电除去器(矢一工> 7公司制)将除电性流体向该界面喷吹的同时进行。其次，从静电除去器朝向形成的空隙接着喷吹除电性流体的同时使真空吸附垫提升。其结果可以不损伤玻璃层叠体Al地将支承体和薄板玻璃剥离。剥离后的薄板玻璃基板的带电压为+0. 2kV。〈剥离试验4>使用剥离装置11在多孔质真空吸附片上固定玻璃层叠体Al的薄板玻璃基板的第二主面侧，在相反面即支承玻璃基板的第二主面侧吸附保持真空吸附垫GOmmct)。其次，将刀片(厚度0. 10mm、长度100mm、宽度10mm、不锈钢制。)载置于玻璃层叠体Al的角部(四个角部中的一个)且端面，通过固定面方向移动单元使刀片稍微接触树脂层的表面，同时边滑动边插入与薄板玻璃基板的第一主面之间的界面，插入约20mm而形成空隙。其次，从修整喷嘴(^ It 3 6公司制、Imm Φ)向形成的空隙喷吹高压水QMPa)。其结果可不损伤玻璃层叠体Al地剥离支承体和薄板玻璃。剥离后的薄板玻璃基板的带电压为 +0. ^V。<剥离试验5>除使用玻璃层叠体Α2以外，以与上述的剥离试验1相同的方法进行剥离试验4。 不损伤玻璃层叠体Α2地将支承玻璃基板和薄板玻璃基板剥离分离。<剥离试验6>使用两个玻璃层叠体Α2，将各薄板玻璃基板的第一主面侧用紫外线固化性密封剂(积水化学社制)在距玻璃端部5mm内侧的区域线状且四角形地涂敷后粘合，得到玻璃层叠体，除使用该玻璃层叠体外，以与剥离试验1相同的方法实施剥离试验5。可以将粘合有两个薄板玻璃基板而成的层叠体、即从面板不损伤面板地分离两个支承体。<剥离试验7>剥离装置1及剥离装置11都不使用地进行剥离。对于上述的玻璃层叠体Al，将刀片(刀刃的长度650mm、Imm厚)手动载置于玻璃层叠体Al的角部且端部，使所述刀片稍微接触形成于支承玻璃基板的第一主面的树脂层的表面上，同时边滑动边插入与薄板玻璃基板的第一主面之间的界面，使所述刀片接着直接移动，不损伤玻璃层叠体Al地将支承玻璃从薄板玻璃分离。分离后的薄板玻璃的带电压为 +10kV。实施例2实施例2中，除将基板变更为厚度0. Imm的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板以外， 与实施例1同样地制作层叠体B，进行与剥离试验3相同的试验。其结果可不损伤层叠体B 地将支承体和聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板剥离。剥离后的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板的带电压为+0. 3kV。实施例3在实施例3中，除将基板变更为厚度0. Imm的实施了镜面处理的不锈钢(SUS304) 基板以外，与实施例1同样地制作层叠体C，进行与剥离试验3相同的试验。其结果可不损伤层叠体C地将支承体和不锈钢基板剥离。剥离后的不锈钢基板的带电压为+0. 02kV。实施例4实施例4中，除将支承基板变更为厚度Imm的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板、将基板变更为厚度0. Imm的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板以外，与实施例1同样地制作层叠体D，实施了进行与剥离试验3相同的试验的模拟试验。其结果可不损伤层叠体D地将支承体和聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板剥离。剥离后的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板的带电压为+0. 5kV。实施例5实施例5中，除将支承基板变更为厚度1mm、直径6英寸的硅晶片基板、将基板变更为厚度0. 1mm、直径6英寸的硅晶片基板以外，与实施例1同样地制作层叠体E，实施了进行与剥离试验3相同的试验的模拟试验。其结果可不损伤层叠体E地将支承体和硅晶片基板剥离。剥离后的硅晶片基板的带电压为+0.05kV。实施例6实施例6中，除将支承基板变更为厚度Imm的聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂基板、将基板变更为厚度0. Imm的薄板玻璃基板以外，与实施例1同样地制作层叠体F，实施了进行与剥离试验3相同的试验的模拟试验。其结果可不损伤层叠体F地将支承体和薄板玻璃基板剥离。剥离后的薄板玻璃树脂基板的带电压为+0. 2kV。实施例7实施例7中，除将基板变更为厚度0. 05mm的聚酰亚胺树脂基板(东> · 7 二求> 公司制、力卜> 200HV)以外，与实施例1同样地制作层叠体G，进行与剥离试验3相同的试验。其结果可不损伤层叠体G地将支承体和聚酰亚胺树脂基板剥离。剥离后的聚酰亚胺树脂基板的带电压为+0. 2kV。实施例8首先，将纵350mm、横300mm、板厚0. 08mm、线膨胀系数38 X 10_7°C的玻璃基板(旭硝子株式会社制、AN100、无碱玻璃基板)使用薄板玻璃专用的清洗装置利用碱洗剂进行清洗，使表面清洁化，进而对表面喷雾Y-巯基丙基三甲氧基硅烷的0. 甲醇溶液，接着在80°C下干燥3分钟，将由此得到的物质作为层叠用玻璃薄膜准备。另一方面，准备对纵 ；350讓、横300mm、板厚0. 05mm的聚酰亚胺基板(东> ·尹-水。>公司制、力卜> 200HV) 的表面进行了等离子体处理的物质。而且，与之前的玻璃基板重合，使用加热为320°C的挤压装置将两者层叠，制成玻璃/树脂层叠基板。实施例8中，将薄板玻璃基板变更为上述的玻璃/树脂层叠基板，将与该树脂基板的玻璃基板的层叠面的相反侧的面设为与支承体的层叠面，除此之外，与实施例1同样地制作层叠体H，进行与剥离试验3相同的试验。其结果，可不损伤层叠体H地将支承体和玻璃/树脂层叠薄膜基板剥离。剥离后的玻璃/树脂层叠薄膜基板的带电压为+0. 2kV。参照特定的实施方式对本发明详细进行了说明，但对于本领域技术人员而言可知，能够不脱离本发明的精神和范围地进行各种变更或修正。本申请基于2009年2月6日申请的日本专利申请2009-(^6196及2009年8月沘日申请的日本专利申请2009-198992，其内容在此作为参照引入。产业实用性根据本发明，可提供一种电子器件的制造方法，能够抑制混入基板间的气泡及尘埃等异物导致的基板缺陷的发生，能够不产生边缘凹坑地用现有的制造生产线进行处理， 可以不损伤密接的基板和树脂层而将它们容易且短时间地剥离并分离。另外，可提供一种能够实施这种电子器件的制造方法的剥离装置。
3权利要求
1.一种电子器件的制造方法，包含从带支承体的电子器件剥离支承体的操作，所述带支承体的电子器件在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有电子器件用部件的基板的第一主面上密接树脂层而形成，所述树脂层固定于具有第一主面及第二主面的支承基板的第一主面上且具有易剥离性，所述支承体由所述支承基板及所述树脂层构成，所述电子器件由所述电子器件用部件及所述基板构成，其中，具备固定工序，使所述带支承体的电子器件所具有的两个主面中的一个未附有在作为后工序的剥离工序中被剥离的支承体的主面向工作台所具备的平面状的固定面密接，将所述带支承体的电子器件固定于所述工作台的固定面上；及剥离工序，向固定于所述工作台的固定面上的所述带支承体的电子器件的端面中被剥离的所述支承体的所述树脂层和所述基板之间的界面插入刀片，将所述支承体和所述电子器件剥离。
2.如权利要求1所述的电子器件的制造方法，其中，在所述剥离工序中，插入到所述树脂层和所述基板之间的界面的所述刀片因来自所述树脂层及/或所述基板的作用而变形，从而使所述刀片进一步向插入的方向移动，在该情况下，所述刀片沿所述树脂层的表面移动，将所述支承体和所述电子器件剥离。
3.如权利要求1或2所述的电子器件的制造方法，其中，在所述剥离工序中，向所述树脂层和所述基板之间的界面插入了所述刀片后，所述刀片以其前端部为中心旋转，后端部沿与所述工作台的所述固定面的法线平行的方向移动， 进而所述刀片整体也向相同的平行的方向及插入的方向中至少一方移动，从而所述刀片沿所述树脂层的表面移动，将所述支承体和所述电子器件剥离。
4.如权利要求1 3中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，还具备吸附工序，所述吸附工序在所述固定工序之后且所述剥离工序之前，使多个吸附垫吸附于被剥离的所述支承体的所述支承基板的第二主面，所述剥离工序进而是如下所述工序向所述树脂层和所述基板之间的界面插入所述刀片后，使所述吸附垫向剥离所述树脂层和所述基板的方向即剥离方向移动，将所述支承体和所述电子器件剥离。
5.如权利要求4所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序使吸附于所述支承基板的第二主面的多个吸附垫中位于最接近所述带支承体的电子器件的端面上插入了所述刀片的部位的位置的吸附垫首先向所述剥离方向移动，接着使与该吸附垫相邻的吸附垫向所述剥离方向移动，之后也同样地使与向所述剥离方向移动了的吸附垫相邻的吸附垫接着向所述剥离方向移动，顺次地进行上述操作，将所述支承体沿着从插入了所述刀片的端部朝向中央的方向剥离，进而朝向其延长线上剥离。
6.如权利要求1 5中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序包含通过图像处理来确定所述树脂层和所述基板之间的界面上插入所述刀片的部位的操作。
7.如权利要求1 6中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序在所述支承基板及/或所述基板的任意部位连接导体形成接地来抑制带电，并且将所述支承体和所述电子器件剥离。
8.如权利要求1 7中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序在所述支承体和所述电子器件之间喷吹除电用物质进行带电控制，并且将所述支承体和所述电子器件剥离。
9.如权利要求1 8中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述剥离工序进而是如下所述工序检测作用在所述刀片上的载荷，并且向所述树脂层和所述基板之间的界面插入所述刀片。
10.如权利要求1 9中任一项所述的电子器件的制造方法，其中，所述电子器件为显示装置用面板。
11.一种剥离装置，从带支承体的电子器件剥离支承体，所述带支承体的电子器件在具有第一主面及第二主面且在第二主面上具有显示装置用部件的基板的第一主面密接树脂层而形成，所述树脂层固定于具有第一主面及第二主面的支承基板的第一主面上且具有易剥离性，所述支承体由所述支承基板及所述树脂层构成，其中，具备工作台，与所述带支承体的电子器件的主面密接，具备能够固定所述带支承体的电子器件的平面状的固定面；刀片，用于从所述带支承体的电子器件剥离所述支承体；法线方向移动单元，使所述刀片沿与所述工作台的所述固定面的法线平行的方向即法线方向移动，以使所述刀片插入固定于所述工作台的所述带支承体的电子器件的端面上被剥离的所述支承体的所述树脂层和所述基板之间的界面；固定面方向移动单元，使所述刀片在所述树脂层和所述基板之间移动，进而，所述刀片具备如下所述的性质在插入到所述树脂层和所述基板之间时，因来自所述树脂层及/或所述基板的作用而发生变形，从而沿所述树脂层的表面移动，及/或具备插入角度调节单元，具有使所述刀片以前端部为中心进行旋转并使所述刀片的后端部沿法线方向移动的旋转机构及设定所述刀片的插入角度的上下限的插入角度设定机构；以及法线方向移动机构，使所述刀片整体沿所述法线方向移动。
12.如权利要求11所述的剥离装置，其中，还具备对固定于所述工作台的固定面上的所述带支承体的电子器件的被剥离的所述支承体的所述支承基板的第二主面进行吸附的多个吸附垫、及使所述吸附垫向剥离所述树脂层和所述基板的方向即剥离方向移动的垫移动单元。
13.如权利要求12所述的剥离装置，其中，所述垫移动单元具备时间控制功能，使所述多个吸附垫中位于最接近所述带支承体的电子器件的端面上插入了所述刀片的部位的位置的吸附垫首先向所述剥离方向移动，接着使与该吸附垫相邻的吸附垫向所述剥离方向移动，之后同样地使与向所述剥离方向移动了的吸附垫相邻的吸附垫接着向所述剥离方向移动，顺次地进行上述操作，将所述支承体沿着从插入了所述刀片的端部朝向中央的方向剥离，进而朝向其延长线上剥离。
14.如权利要求11 13中任一项所述的剥离装置，其中，还具备图像处理装置，用于确定所述树脂层和所述基板之间的界面上插入所述刀片的部位。
15.如权利要求11 14中任一项所述的剥离装置，其中，还具备在所述支承基板及/或所述基板的任意部位连接导体而抑制带电的接地构造。
16.如权利要求11 15中任一项所述的剥离装置，其中，还具备向所述支承体和所述电子器件之间喷吹除电用物质而进行带电控制的带电控制装置。
17.如权利要求11 16中任一项所述的剥离装置，其中， 还具备检测作用在所述刀片上的载荷的载荷检测装置。
18.如权利要求11 17中任一项所述的剥离装置，其中， 所述电子器件为显示装置用面板。
全文摘要
本发明提供电子器件的制造方法及该方法中使用的剥离装置，可以不损伤密接的基板和树脂层而容易且在短时间内进行剥离并分离。从在具有电子器件用部件(14)的基板(12b)上密接有固定于支承基板(19b)的树脂层(18b)的带支承体的电子器件(10)剥离由支承基板(19b)及树脂层(18b)构成的支承体(17b)时，使未附有之后剥离的支承体(17b)的主面与工作台(20)的固定面(20a)密接，将带支承体的电子器件(10)固定，向固定于工作台(20)的带支承体的电子器件(10)的端面中被剥离的支承体(17b)的树脂层(18b)和基板(12b)之间的界面插入刀片(30)，将支承体(17b)和电子器件(16)剥离，由此解决上述课题。
文档编号G09F9/30GK102171745SQ201080002805
公开日2011年8月31日 申请日期2010年1月29日 优先权日2009年2月6日
发明者伊藤泰则, 江畑研一, 近藤聪 申请人:旭硝子株式会社
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