阵列测试装置的制作方法
专利名称：阵列测试装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于测试玻璃面板的阵列测试装置。
背景技术：
一般来说，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩显像管(Braim Tube)的传统电视机或显示器薄而且轻的图像显示器。液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)是已开发并使用的平板显示器的代表实例。这种FPD中的IXD是以向排列为矩阵形状的液晶单元独立地提供基于图像信息的数据信号来控制液晶单元的透光性的方式来显示预期图像的图像显示器。IXD薄且轻，而且还具有包括功耗低以及操作电压低在内的许多其它优点，因此被广泛地使用。下面将详细描述用在这种LCD中的液晶面板的典型制造方法。首先，在上玻璃面板上形成彩色滤光片和共用电极。之后，在与上玻璃面板相对的下玻璃面板上形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。随后将配向层分别涂布至上玻璃面板和下玻璃面板。之后摩擦配向层以便为随后在配向层之间形成的液晶层中的液晶分子提供预倾角和配向方位。此后，通过将密封胶涂布至玻璃面板中的至少一个来形成密封胶图案，以保持玻璃面板间的间隙、防止液晶漏出、以及密封玻璃面板间的间隙。随后，在玻璃面板之间形成液晶层，从而完成液晶面板。在上述过程中，测试具有TFT和像素电极的下玻璃面板(下文中称为“玻璃面板”) 是否有缺陷的操作，是通过例如检测栅极线或数据线是否断线或者检测像素单元是否显色不佳来实现的。典型地，使用具有多个探针引脚的阵列测试装置来测试玻璃面板。利用阵列测试装置来对玻璃面板进行测试包括将探针引脚置于对应于形成在玻璃面板上的电极的位置、在压力下将探针引脚与电极接触、以及然后将电信号通过探针引脚施加至电极。设置在玻璃面板上的电极的位置以及电极的布置方式，也就是说，电极的数量以及各相邻电极之间的距离，对于不同种类的玻璃面板而言是不同的。因此，利用单一阵列测试装置来测试多种类型的玻璃面板必须包括将探针组件更换为具有与待测试玻璃面板的电极的位置和布置方式对应的探针引脚的另一个探针组件。然而，当测试多种类型的玻璃面板时，为了测试目的将探针组件更换为具有与玻璃面板的电极的位置和布置方式对应的探针引脚的另一个探针组件导致降低处理效率的问题。
发明内容
因此，针对以上现有技术中产生的问题提出本发明，并且本发明的目的是提供一种阵列测试装置，其构造为包括具有不同布置类型的探针引脚的不同种类的探针棒通过转动探针棒而切换，从而能够仅仅通过单一阵列测试装置来高效地测试具有不同电极位置、 布置方式和布置方位的不同种类的玻璃面板。
为了实现以上目的，本发明提供一种阵列测试装置，包括探针组件，其设置在探针组件支撑框架上，能够沿着探针组件支撑框架的纵向移动；以及多个探针棒，其设置在探针组件上，能够转动，其中在不同探针棒上以不同布置类型设置有探针引脚。
由以下结合附图的详细描述，将更加清楚地理解本发明前述的和其他的目的、特征和优点，其中图1是示出根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置的立体图；图2是图1的阵列测试装置的探针组件的立体图；图3和4是示出图2的探针组件的连续操作的立体图；图5和6是示出根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置的探针组件的立体图；以及图7和8是示出根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置的探针组件的立体图。
具体实施例方式下文将结合附图详细描述根据本发明的阵列测试装置的实施方式。如图1所示，根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置包括将玻璃面板P加载到其上的加载单元10、测试由加载单元10加载的玻璃面板P的测试单元20、以及将已由测试单元20测试的玻璃面板P从加载单元10卸载的卸载单元30。测试单元20测试玻璃面板P的电缺陷。测试单元20包括透光支撑板21、测试模块22、探针组件23以及控制单元(未示出)。由加载单元10加载的玻璃面板P放置在透光支撑板21上。测试模块22测试放置在透光支撑板21上的玻璃面板P的电缺陷。探针组件23向放置在透光支撑板21上的玻璃面板P的电极E施加电信号。控制单元控制测试模块22和探针组件23。如图2和3所示，探针组件支撑框架50设置在透光支撑板21上方并沿着透光支撑板21的纵向(X轴方向)延伸预定长度。探针组件23安装在探针组件支撑框架50上， 能够沿探针组件支撑框架50的纵向(X轴方向)移动。探针组件23包括多个探针棒70、 升降单元80和转动单元90。探针棒70以可转动的方式设置在探针组件23上。探针引脚 60以不同的方式布置在各个探针棒70上。升降单元80沿Z轴方向移动探针棒70。转动单元90转动探针棒70。探针组件支撑框架50连接于Y轴驱动单元51，从而探针组件支撑框架50能够由 Y轴驱动单元51沿水平地垂直于探针组件支撑框架50的纵向(X轴方向)的方向(Y轴方向)移动。而且，X轴驱动单元52设置在探针组件支撑框架50和探针组件23之间。X轴驱动单元52沿探针组件支撑框架50的纵向移动探针组件23。诸如线性马达、滚珠丝杠等的各种线性驱动装置可以用作Y轴驱动单元51和/或X轴驱动单元52。探针棒70从探针组件23沿水平方向延伸。探针引脚60设置在每个探针棒70之下并且沿着探针棒70延伸的方向布置。探针引脚60在探针棒70上的布置方式可以相互不同。例如，探针引脚60的布置方式可以由探针引脚60的数量或者各相邻探针引脚60之间的距离确定。在该实施方式中，探针棒70包括第一探针棒71和第二探针棒72，第一探针棒71具有以第一布置类型布置的探针引脚61，第二探针棒72具有以第二布置类型布置的探针引脚62。第一布置类型可以包括16引脚型布置，其中具有十六个探针引脚61。第二布置类型可以包括M引脚型布置，其中探针引脚62的数量是二十四个。本发明不限于具有两个探针棒70并且探针引脚60以两种不同布置类型设置在探针棒上的这种结构。也就是说，本发明可以通过具有两个或更多个探针棒70并且探针引脚60以不同布置类型设置在探针棒上的结构来实施。在该实施方式中，沿着探针组件支撑框架50的纵向延伸的轴线称为X轴。水平地垂直于X轴并且沿着玻璃面板P加载到装置上或者玻璃面板P从装置卸载的方向延伸的轴线称为Y轴。竖立地垂直于X轴和Y轴的轴线称为Z轴。基于这种假定，第一探针棒71和第二探针棒72可以沿着包含X轴和Y轴的平面延伸预定长度并且相互成角度。在该实施方式中，尽管第一探针棒71和第二探针棒72的纵向之间的角度图示为90°，但是本发明不限于这种结构。例如，第一探针棒71和第二探针棒72的纵向之间的角度可以是180°或者其他一些角度。这样，第一探针棒71和第二探针棒72的纵向之间的角度可以大于或者小于90°。理想地，第一探针棒71和第二探针棒72的纵向之间的角度设定为当第一探针棒71和第二探针棒72中的一个位于对应于玻璃面板P的电极E的位置时，第一探针棒71和第二探针棒72中的另一个位于非玻璃面板P的区域或者处于玻璃面板P的实际上对于产品而言无用的部分的上方。在此情况下，能够防止不与电极E接触的探针棒70接触玻璃面板P的实际上对于产品而言有用的部分，从而防止损坏玻璃面板 P。升降单元80设置在探针组件23上并且连接于探针棒70。例如使用液压的致动器、使用电力的线性马达等的各种装置能够用作升降单元，只要它能够沿Z轴方向上下移动探针棒70。升降单元80用来向下移动探针棒70使得探针引脚60按压放置在透光支撑板21上的玻璃面板P的相应电极E。转动单元90可以包括设置在探针组件23上并且连接于探针棒70的转动轴，并且转动单元90构造为操作员 能够手动地转动探针棒70。可选地，转动单元90可以包括设置在探针组件23上并且连接于探针棒70的转动马达，从而探针棒70能够由转动马达绕Z轴自动地转动。在此情况下，理想地步进马达用作转动马达以便精确地控制探针棒70的转动角度。在本发明中，能够通过根据玻璃面板P的种类(玻璃面板能够具有以不同布置类型布置的电极E)来转动探针棒70而将具有对应于电极的布置类型的探针引脚60容易地对准于玻璃面板P的电极E。电极E的布置方式可以由电极E的数量、各相邻电极E之间的距离、或者电极E的布置方位来确定。如图3所示，电极E可以包括以第一布置类型布置在玻璃面板P上的电极El。可选地，如图4所示，电极E可以包括以第二布置类型布置在玻璃面板P上的电极E2。第一布置类型可以包括16电极型布置，其中电极E的数量是十六个。 第二布置类型可以包括对电极型布置，其中电极E的数量是二十四个。就电极E的布置方位而言，尽管在图3和4中示出具有沿Y轴方向布置的电极E的玻璃面板P，但是根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置能够应用于具有沿X轴方向布置的电极E的玻璃面板P。转动单元90用来绕Z轴转动探针棒70。例如，如图3所示，当具有对应于第一类型探针引脚61的电极El的玻璃面板P加载到装置上时，转动单元90绕Z轴转动探针棒70 5使得第一探针棒71移动到对应于电极El的位置。如图4所示，当具有对应于第二类型探针引脚62的电极E2的玻璃面板P加载到装置上时，转动单元90绕Z轴转动探针棒70使得第二探针棒72移动到对应于电极E2的位置。这样，在根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置中，能够通过根据具有以不同布置类型布置的电极E的玻璃面板P的种类来转动探针棒70而将具有与玻璃面板P的电极E的布置方式对应的布置方式的探针引脚60容易地对准于电极E。将描述具有上述构造的根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置的操作。首先，玻璃面板P由加载单元10加载到透光支撑板21上。随后，探针组件23向玻璃面板P的电极E施加电信号以利用测试单元20测试玻璃面板P的电缺陷。在探针组件23向玻璃面板P的电极E施加电信号之前，探针组件23可以由探针组件支撑框架50沿Y轴方向移动，也可以由X轴驱动单元52沿X轴方向移动，其中探针组件支撑框架50由Y轴驱动单元51沿Y轴方向移动。通过沿X轴和/或Y轴方向移动，探针组件23移动到玻璃面板P的形成有电极E的部分。由此，设置在相应的探针棒70上的探针引脚60邻近玻璃面板P的电极E放置。这里，探针棒70可以由操作员手动地或者由转动单元90绕Z轴转动。这样，在玻璃面板P具有对应于第一类型探针引脚61的第一类型电极El的情况下，第一探针棒71放置在对应于第一类型电极El的位置。在玻璃面板P具有对应于第二类型探针引脚62的第二类型电极E2的情况下，第二探针棒72放置在对应于第二类型电极E2的位置。随后，通过升降单元80的操作，探针棒70向下移动，从而探针棒70的与玻璃面板 P上的电极E对准的探针引脚60按压相应的电极E。在此状态下，当电信号通过探针棒70 的已与玻璃面板P的相应电极E接触的探针引脚60施加到电极E时，测试单元20的测试模块22操作以测试玻璃面板P的电缺陷。如上所述，在根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置中，具有以不同布置类型设置的探针引脚60的探针棒70以可转动的方式安装在探针组件23上。这样，能够通过转动探针棒70而将设置有具有与电极E的布置方式对应的布置方式的探针引脚60的探针棒70容易地对准于电极E。因此，即使具有不同布置类型的电极E-例如电极E的数量、各相邻电极E之间的距离或者电极E的方位不同一的不同种类的玻璃面板P加载到单一阵列测试装置上，与需要更换探针组件23的现有技术不同，本发明的阵列测试装置能够高效地测试玻璃面板P而无须用另一探针组件来更换探针组件23。下文将结合图5和6详细描述根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置。在第二个实施方式的描述中，将使用相同的附图标记来表示与第一个实施方式中相同的那些构件，并略去它们的进一步说明。参见图5和6，根据第二个实施方式的阵列测试装置构造为包括具有第一布置类型的探针引脚61的第一探针棒71以及包括具有第二布置类型的探针引脚62的第二探针棒72沿相同方向定位。详细而言，如图5和6所示，各具有矩形形状的探针棒70可以相互集成在一起。在此情况下，探针棒70构造为具有不同布置类型的探针引脚60沿不同的方向突出。当然，本发明不限于这种构造。例如，探针棒70可以独立设置并且沿Z轴方向隔开预定距离。而且，本发明不限于包括具有以两种布置类型布置的探针引脚60的两个探针棒70，而是可以包括具有以不同布置类型布置的探针引脚60的两个或更多个探针棒70。
在该实施方式中，转动单元90包括第一转动单元91和第二转动单元92，第一转动单元91绕探针棒70延伸所沿的轴线(图5中的Y轴或者图6中的X轴)转动探针棒70， 第二转动单元92绕Z轴转动探针棒70。
第一转动单元91可以包括连接于探针棒70的转动轴，并且可以构造为操作员能够手动地转动探针棒70。可选地，第一转动单元91可以包括设置在探针组件23上并且连接于探针棒70的转动马达,从而探针棒70能够由转动马达自动地转动。在此情况下,理想地步进马达用作转动马达以便精确地控制探针棒70的转动角度。第一转动单元91用来绕探针棒70延伸所沿的轴线转动探针棒70。例如，当具有对应于第一类型探针引脚61的电极El的玻璃面板P加载到装置上时,第一转动单元91绕探针棒70延伸所沿的轴线转动探针棒70，使得第一探针棒71面向电极El。当具有对应于第二类型探针引脚62的电极E2 的玻璃面板P加载到装置上时，第一转动单元91绕探针棒70延伸所沿的轴线转动探针棒 70,使得第二探针棒72面向电极E2。
第二转动单元92可以包括安装在探针组件23上并连接于探针棒70的转动轴，并且第二转动单元92可以构造为操作员能够手动地绕Z轴转动探针棒70。可选地，第二转动单元92可以包括设置在探针组件23和第一转动单元91之间的转动马达，从而探针棒70 能够由转动马达自动地绕Z轴转动。在此情况下，理想地步进马达用作转动马达以便精确地控制探针棒70绕Z轴的转动角度。第二转动单元92用来绕Z轴转动探针棒70。例如， 如图5所示，当电极E沿Y轴方向布置在玻璃面板P上时，第二转动单元92绕Z轴转动探针棒70，使得探针引脚60与相应的电极E对准。如图6所示，当电极E沿X轴方向布置在玻璃面板P上时，第二转动单元92绕Z轴转动探针棒70，使得探针引脚60与沿X轴方向布置的相应电极E对准。而且，提供第二转动单元92用来应对具有以不同方位布置的电极E 的玻璃面板P。如果电极E在玻璃面板P上的布置方位总是不变的，则转动单元90可以仅仅包括第一转动单元91而不包括第二转动单元92。
在根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置中，能够仅仅通过转动探针棒70 而将探针引脚60容易地对准于相应电极E，即使具有不同布置类型的电极E-即相邻电极 E之间的距离或者电极E的数量不同一的不同种类的玻璃面板P加载到阵列测试装置上。
而且，即使电极E的位置和方位不同，也能够仅仅通过转动探针棒70而将探针引脚60容易地对准于相应电极E。
下文将结合图7和8详细描述根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置。在第三个实施方式的描述中，将使用相同的附图标记来表不与第一个或第二个实施方式中相同的那些构件，并略去它们的进一步说明。
在根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置中，如图7所示，假定沿探针组件支撑框架50的纵向延伸的轴线称为X轴，水平地垂直于X轴并且沿着玻璃面板P加载到装置上或者玻璃面板P从装置卸载的方向延伸的轴线称为Y轴，以及竖立地垂直于X轴和Y轴的轴线称为Z轴。基于这种假定，第一探针棒71和第二探针棒72可以在包含X轴和Z轴的平面上延伸预定长度并且相互成角度。而且，转动单元90可以包括第一转动单元91，其绕Y轴转动探针棒70。
可选地，如图8所示，当假定沿探针组件支撑框架50的纵向延伸的轴线称为X轴、 水平地垂直于X轴并且沿着玻璃面板P加载到装置上或者玻璃面板P从装置卸载的方向延伸的轴线称为Y轴、以及竖立地垂直于X轴和Y轴的轴线称为Z轴时，第一探针棒71和第二探针棒72可以沿着包含Y轴和Z轴的平面延伸预定长度并且相互成角度。而且，转动单元90可以包括第一转动单元91，其绕X轴转动探针棒70。
在该实施方式中，第一探针棒71和第二探针棒72的纵向之间的角度可以是90°， 并且本发明不限于这种结构。例如，第一探针棒71和第二探针棒72的纵向之间的角度可以大于或者小于90°。另外，本发明不限于包括具有以不同布置类型布置的探针引脚60的两种探针棒70的结构。也就是说，本发明可以通过包括具有以两种或更多种布置类型设置的探针引脚60的两个或更多个探针棒70的结构来实施。
第一转动单元91可以包括连接于探针棒70的转动轴，并且可以构造为操作员能够手动地转动探针棒70。可选地，第一转动单元91可以包括设置在探针组件23上并且连接于探针棒70的转动马达,从而探针棒70能够由转动马达自动地转动
第一转动单元91用来转动探针棒70。例如，当具有对应于第一类型探针引脚61 的电极El的玻璃面板P加载到装置上时，第一转动单元91转动探针棒70，使得第一探针棒 71位于对应于电极El的位置。当具有对应于第二类型探针引脚62的电极E2的玻璃面板 P加载到装置上时，第一转动单元91转动探针棒70,使得第二探针棒72移动到对应于电极 E2的位置。
而且，按照与第二实施方式相同的方式，转动单元90可以进一步包括绕Z轴转动探针棒70的第二转动单元92。第二转动单元92可以包括安装在探针组件23上并连接于探针棒70的转动轴,并且第二转动单元92可以构造为操作员能够手动地绕Z轴转动探针棒70。可选地，第二转动单元92可以包括设置在探针组件23和第一转动单元91之间的转动马达，从而探针棒70能够由转动马达自动地绕Z轴转动。第二转动单元92用来绕Z轴转动探针棒70。因此，即使具有不同布置方位的电极E的不同种类的玻璃面板P加载到装置上，探针引脚60也能够精确地对准电极E。这样，提供第二转动单元92用来应对具有不同布置方位的电极E的玻璃面板P。如果电极E在玻璃面板P上的布置方位总是不变的，则转动单元90可以仅仅包括第一转动单元91而不包括第二转动单元92。
在根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置中，能够仅仅通过转动探针棒70 而将探针引脚60容易地对准于相应电极E，即使具有不同布置类型的电极E-即各相邻电极E之间的距离或者电极E的数量不同一的不同种类的玻璃面板P加载到阵列测试装置上。而且，即使电极E的位置和方位不同，也能够仅仅通过转动探针棒70而将探针引脚60 容易地对准于相应电极E。
在本发明实施方式中描述的技术实质可独立实施或彼此结合。而且，根据本发明的探针组件不仅可以用在用于将电信号施加到玻璃面板的电极的装置中，而且可以用在用于将电信号施加到各种基板的电极的装置中，以测试它们的缺陷。
如上所述，在根据本发明的阵列测试装置中，当由单一阵列测试装置测试具有不同布置类型的电极E的不同种类的玻璃面板时，与需要用另一探针组件来更换探针组件的现有技术不同，仅仅通过转动探针棒就能够将探针引脚容易地对准于相应的电极。因此，能够提高生产过程的效率。
权利要求
1.一种阵列测试装置，包括探针组件，所述探针组件设置在探针组件支撑框架上，能够沿着所述探针组件支撑框架的纵向移动；以及多个探针棒，所述多个探针棒设置在所述探针组件上，能够转动，其中在不同探针棒上以不同布置类型设置有探针引脚。
2.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，当沿着所述探针组件支撑框架的纵向延伸的轴线称为X轴、水平地垂直于所述X轴的轴线称为Y轴、以及竖立地垂直于所述X轴和Y轴的轴线称为Z轴时，所述探针棒沿着包含所述X轴和Y轴的平面延伸预定长度，所述探针棒相互成角度，以及所述探针棒能够绕所述Z轴转动。
3.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，当沿着所述探针组件支撑框架的纵向延伸的轴线称为X轴、水平地垂直于所述X轴的轴线称为Y轴、以及竖立地垂直于所述X轴和Y轴的轴线称为Z轴时，所述探针棒沿着相同的方向延伸预定长度，以及所述探针棒能够绕所述探针棒延伸所沿的轴线转动。
4.根据权利要求3所述的阵列测试装置，其中，所述探针棒相互集成在一起。
5.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，当沿着所述探针组件支撑框架的纵向延伸的轴线称为X轴、水平地垂直于所述X轴的轴线称为Y轴、以及竖立地垂直于所述X轴和Y轴的轴线称为Z轴时，所述探针棒沿着包含所述X轴和Z轴的平面延伸预定长度，所述探针棒相互成角度，以及所述探针棒能够绕所述Y轴转动。
6.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，当沿着所述探针组件支撑框架的纵向延伸的轴线称为X轴、水平地垂直于所述X轴的轴线称为Y轴、以及竖立地垂直于所述X轴和Y轴的轴线称为Z轴时，所述探针棒沿着包含所述Y轴和Z轴的平面延伸预定长度，所述探针棒相互成角度，以及所述探针棒能够绕所述X轴转动。
7.根据权利要求3至6中任一项所述的阵列测试装置，其中，所述探针棒能够绕所述Z 轴转动。
全文摘要
本文公开一种阵列测试装置，其包括多个探针棒，在所述多个探针棒上以不同布置类型设置有探针引脚。探针棒通过转动而切换。因此，本发明的阵列测试装置能够高效地测试具有不同电极位置和布置方式的不同种类的玻璃面板。
文档编号G09G3/00GK102539850SQ201110036160
公开日2012年7月4日 申请日期2011年2月11日 优先权日2010年12月20日
发明者崔珍荣, 朴廷喜, 李在*, 潘俊浩 申请人:塔工程有限公司
技术领域：
本发明涉及一种用于测试玻璃面板的阵列测试装置。
背景技术：
一般来说，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩显像管(Braim Tube)的传统电视机或显示器薄而且轻的图像显示器。液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)是已开发并使用的平板显示器的代表实例。这种FPD中的IXD是以向排列为矩阵形状的液晶单元独立地提供基于图像信息的数据信号来控制液晶单元的透光性的方式来显示预期图像的图像显示器。IXD薄且轻，而且还具有包括功耗低以及操作电压低在内的许多其它优点，因此被广泛地使用。下面将详细描述用在这种LCD中的液晶面板的典型制造方法。首先，在上玻璃面板上形成彩色滤光片和共用电极。之后，在与上玻璃面板相对的下玻璃面板上形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。随后将配向层分别涂布至上玻璃面板和下玻璃面板。之后摩擦配向层以便为随后在配向层之间形成的液晶层中的液晶分子提供预倾角和配向方位。此后，通过将密封胶涂布至玻璃面板中的至少一个来形成密封胶图案，以保持玻璃面板间的间隙、防止液晶漏出、以及密封玻璃面板间的间隙。随后，在玻璃面板之间形成液晶层，从而完成液晶面板。在上述过程中，测试具有TFT和像素电极的下玻璃面板(下文中称为“玻璃面板”) 是否有缺陷的操作，是通过例如检测栅极线或数据线是否断线或者检测像素单元是否显色不佳来实现的。典型地，使用具有多个探针引脚的阵列测试装置来测试玻璃面板。利用阵列测试装置来对玻璃面板进行测试包括将探针引脚置于对应于形成在玻璃面板上的电极的位置、在压力下将探针引脚与电极接触、以及然后将电信号通过探针引脚施加至电极。设置在玻璃面板上的电极的位置以及电极的布置方式，也就是说，电极的数量以及各相邻电极之间的距离，对于不同种类的玻璃面板而言是不同的。因此，利用单一阵列测试装置来测试多种类型的玻璃面板必须包括将探针组件更换为具有与待测试玻璃面板的电极的位置和布置方式对应的探针引脚的另一个探针组件。然而，当测试多种类型的玻璃面板时，为了测试目的将探针组件更换为具有与玻璃面板的电极的位置和布置方式对应的探针引脚的另一个探针组件导致降低处理效率的问题。
发明内容
因此，针对以上现有技术中产生的问题提出本发明，并且本发明的目的是提供一种阵列测试装置，其构造为包括具有不同布置类型的探针引脚的不同种类的探针棒通过转动探针棒而切换，从而能够仅仅通过单一阵列测试装置来高效地测试具有不同电极位置、 布置方式和布置方位的不同种类的玻璃面板。
为了实现以上目的，本发明提供一种阵列测试装置，包括探针组件，其设置在探针组件支撑框架上，能够沿着探针组件支撑框架的纵向移动；以及多个探针棒，其设置在探针组件上，能够转动，其中在不同探针棒上以不同布置类型设置有探针引脚。
由以下结合附图的详细描述，将更加清楚地理解本发明前述的和其他的目的、特征和优点，其中图1是示出根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置的立体图；图2是图1的阵列测试装置的探针组件的立体图；图3和4是示出图2的探针组件的连续操作的立体图；图5和6是示出根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置的探针组件的立体图；以及图7和8是示出根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置的探针组件的立体图。
具体实施例方式下文将结合附图详细描述根据本发明的阵列测试装置的实施方式。如图1所示，根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置包括将玻璃面板P加载到其上的加载单元10、测试由加载单元10加载的玻璃面板P的测试单元20、以及将已由测试单元20测试的玻璃面板P从加载单元10卸载的卸载单元30。测试单元20测试玻璃面板P的电缺陷。测试单元20包括透光支撑板21、测试模块22、探针组件23以及控制单元(未示出)。由加载单元10加载的玻璃面板P放置在透光支撑板21上。测试模块22测试放置在透光支撑板21上的玻璃面板P的电缺陷。探针组件23向放置在透光支撑板21上的玻璃面板P的电极E施加电信号。控制单元控制测试模块22和探针组件23。如图2和3所示，探针组件支撑框架50设置在透光支撑板21上方并沿着透光支撑板21的纵向(X轴方向)延伸预定长度。探针组件23安装在探针组件支撑框架50上， 能够沿探针组件支撑框架50的纵向(X轴方向)移动。探针组件23包括多个探针棒70、 升降单元80和转动单元90。探针棒70以可转动的方式设置在探针组件23上。探针引脚 60以不同的方式布置在各个探针棒70上。升降单元80沿Z轴方向移动探针棒70。转动单元90转动探针棒70。探针组件支撑框架50连接于Y轴驱动单元51，从而探针组件支撑框架50能够由 Y轴驱动单元51沿水平地垂直于探针组件支撑框架50的纵向(X轴方向)的方向(Y轴方向)移动。而且，X轴驱动单元52设置在探针组件支撑框架50和探针组件23之间。X轴驱动单元52沿探针组件支撑框架50的纵向移动探针组件23。诸如线性马达、滚珠丝杠等的各种线性驱动装置可以用作Y轴驱动单元51和/或X轴驱动单元52。探针棒70从探针组件23沿水平方向延伸。探针引脚60设置在每个探针棒70之下并且沿着探针棒70延伸的方向布置。探针引脚60在探针棒70上的布置方式可以相互不同。例如，探针引脚60的布置方式可以由探针引脚60的数量或者各相邻探针引脚60之间的距离确定。在该实施方式中，探针棒70包括第一探针棒71和第二探针棒72，第一探针棒71具有以第一布置类型布置的探针引脚61，第二探针棒72具有以第二布置类型布置的探针引脚62。第一布置类型可以包括16引脚型布置，其中具有十六个探针引脚61。第二布置类型可以包括M引脚型布置，其中探针引脚62的数量是二十四个。本发明不限于具有两个探针棒70并且探针引脚60以两种不同布置类型设置在探针棒上的这种结构。也就是说，本发明可以通过具有两个或更多个探针棒70并且探针引脚60以不同布置类型设置在探针棒上的结构来实施。在该实施方式中，沿着探针组件支撑框架50的纵向延伸的轴线称为X轴。水平地垂直于X轴并且沿着玻璃面板P加载到装置上或者玻璃面板P从装置卸载的方向延伸的轴线称为Y轴。竖立地垂直于X轴和Y轴的轴线称为Z轴。基于这种假定，第一探针棒71和第二探针棒72可以沿着包含X轴和Y轴的平面延伸预定长度并且相互成角度。在该实施方式中，尽管第一探针棒71和第二探针棒72的纵向之间的角度图示为90°，但是本发明不限于这种结构。例如，第一探针棒71和第二探针棒72的纵向之间的角度可以是180°或者其他一些角度。这样，第一探针棒71和第二探针棒72的纵向之间的角度可以大于或者小于90°。理想地，第一探针棒71和第二探针棒72的纵向之间的角度设定为当第一探针棒71和第二探针棒72中的一个位于对应于玻璃面板P的电极E的位置时，第一探针棒71和第二探针棒72中的另一个位于非玻璃面板P的区域或者处于玻璃面板P的实际上对于产品而言无用的部分的上方。在此情况下，能够防止不与电极E接触的探针棒70接触玻璃面板P的实际上对于产品而言有用的部分，从而防止损坏玻璃面板 P。升降单元80设置在探针组件23上并且连接于探针棒70。例如使用液压的致动器、使用电力的线性马达等的各种装置能够用作升降单元，只要它能够沿Z轴方向上下移动探针棒70。升降单元80用来向下移动探针棒70使得探针引脚60按压放置在透光支撑板21上的玻璃面板P的相应电极E。转动单元90可以包括设置在探针组件23上并且连接于探针棒70的转动轴，并且转动单元90构造为操作员 能够手动地转动探针棒70。可选地，转动单元90可以包括设置在探针组件23上并且连接于探针棒70的转动马达，从而探针棒70能够由转动马达绕Z轴自动地转动。在此情况下，理想地步进马达用作转动马达以便精确地控制探针棒70的转动角度。在本发明中，能够通过根据玻璃面板P的种类(玻璃面板能够具有以不同布置类型布置的电极E)来转动探针棒70而将具有对应于电极的布置类型的探针引脚60容易地对准于玻璃面板P的电极E。电极E的布置方式可以由电极E的数量、各相邻电极E之间的距离、或者电极E的布置方位来确定。如图3所示，电极E可以包括以第一布置类型布置在玻璃面板P上的电极El。可选地，如图4所示，电极E可以包括以第二布置类型布置在玻璃面板P上的电极E2。第一布置类型可以包括16电极型布置，其中电极E的数量是十六个。 第二布置类型可以包括对电极型布置，其中电极E的数量是二十四个。就电极E的布置方位而言，尽管在图3和4中示出具有沿Y轴方向布置的电极E的玻璃面板P，但是根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置能够应用于具有沿X轴方向布置的电极E的玻璃面板P。转动单元90用来绕Z轴转动探针棒70。例如，如图3所示，当具有对应于第一类型探针引脚61的电极El的玻璃面板P加载到装置上时，转动单元90绕Z轴转动探针棒70 5使得第一探针棒71移动到对应于电极El的位置。如图4所示，当具有对应于第二类型探针引脚62的电极E2的玻璃面板P加载到装置上时，转动单元90绕Z轴转动探针棒70使得第二探针棒72移动到对应于电极E2的位置。这样，在根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置中，能够通过根据具有以不同布置类型布置的电极E的玻璃面板P的种类来转动探针棒70而将具有与玻璃面板P的电极E的布置方式对应的布置方式的探针引脚60容易地对准于电极E。将描述具有上述构造的根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置的操作。首先，玻璃面板P由加载单元10加载到透光支撑板21上。随后，探针组件23向玻璃面板P的电极E施加电信号以利用测试单元20测试玻璃面板P的电缺陷。在探针组件23向玻璃面板P的电极E施加电信号之前，探针组件23可以由探针组件支撑框架50沿Y轴方向移动，也可以由X轴驱动单元52沿X轴方向移动，其中探针组件支撑框架50由Y轴驱动单元51沿Y轴方向移动。通过沿X轴和/或Y轴方向移动，探针组件23移动到玻璃面板P的形成有电极E的部分。由此，设置在相应的探针棒70上的探针引脚60邻近玻璃面板P的电极E放置。这里，探针棒70可以由操作员手动地或者由转动单元90绕Z轴转动。这样，在玻璃面板P具有对应于第一类型探针引脚61的第一类型电极El的情况下，第一探针棒71放置在对应于第一类型电极El的位置。在玻璃面板P具有对应于第二类型探针引脚62的第二类型电极E2的情况下，第二探针棒72放置在对应于第二类型电极E2的位置。随后，通过升降单元80的操作，探针棒70向下移动，从而探针棒70的与玻璃面板 P上的电极E对准的探针引脚60按压相应的电极E。在此状态下，当电信号通过探针棒70 的已与玻璃面板P的相应电极E接触的探针引脚60施加到电极E时，测试单元20的测试模块22操作以测试玻璃面板P的电缺陷。如上所述，在根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置中，具有以不同布置类型设置的探针引脚60的探针棒70以可转动的方式安装在探针组件23上。这样，能够通过转动探针棒70而将设置有具有与电极E的布置方式对应的布置方式的探针引脚60的探针棒70容易地对准于电极E。因此，即使具有不同布置类型的电极E-例如电极E的数量、各相邻电极E之间的距离或者电极E的方位不同一的不同种类的玻璃面板P加载到单一阵列测试装置上，与需要更换探针组件23的现有技术不同，本发明的阵列测试装置能够高效地测试玻璃面板P而无须用另一探针组件来更换探针组件23。下文将结合图5和6详细描述根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置。在第二个实施方式的描述中，将使用相同的附图标记来表示与第一个实施方式中相同的那些构件，并略去它们的进一步说明。参见图5和6，根据第二个实施方式的阵列测试装置构造为包括具有第一布置类型的探针引脚61的第一探针棒71以及包括具有第二布置类型的探针引脚62的第二探针棒72沿相同方向定位。详细而言，如图5和6所示，各具有矩形形状的探针棒70可以相互集成在一起。在此情况下，探针棒70构造为具有不同布置类型的探针引脚60沿不同的方向突出。当然，本发明不限于这种构造。例如，探针棒70可以独立设置并且沿Z轴方向隔开预定距离。而且，本发明不限于包括具有以两种布置类型布置的探针引脚60的两个探针棒70，而是可以包括具有以不同布置类型布置的探针引脚60的两个或更多个探针棒70。
在该实施方式中，转动单元90包括第一转动单元91和第二转动单元92，第一转动单元91绕探针棒70延伸所沿的轴线(图5中的Y轴或者图6中的X轴)转动探针棒70， 第二转动单元92绕Z轴转动探针棒70。
第一转动单元91可以包括连接于探针棒70的转动轴，并且可以构造为操作员能够手动地转动探针棒70。可选地，第一转动单元91可以包括设置在探针组件23上并且连接于探针棒70的转动马达,从而探针棒70能够由转动马达自动地转动。在此情况下,理想地步进马达用作转动马达以便精确地控制探针棒70的转动角度。第一转动单元91用来绕探针棒70延伸所沿的轴线转动探针棒70。例如，当具有对应于第一类型探针引脚61的电极El的玻璃面板P加载到装置上时,第一转动单元91绕探针棒70延伸所沿的轴线转动探针棒70，使得第一探针棒71面向电极El。当具有对应于第二类型探针引脚62的电极E2 的玻璃面板P加载到装置上时，第一转动单元91绕探针棒70延伸所沿的轴线转动探针棒 70,使得第二探针棒72面向电极E2。
第二转动单元92可以包括安装在探针组件23上并连接于探针棒70的转动轴，并且第二转动单元92可以构造为操作员能够手动地绕Z轴转动探针棒70。可选地，第二转动单元92可以包括设置在探针组件23和第一转动单元91之间的转动马达，从而探针棒70 能够由转动马达自动地绕Z轴转动。在此情况下，理想地步进马达用作转动马达以便精确地控制探针棒70绕Z轴的转动角度。第二转动单元92用来绕Z轴转动探针棒70。例如， 如图5所示，当电极E沿Y轴方向布置在玻璃面板P上时，第二转动单元92绕Z轴转动探针棒70，使得探针引脚60与相应的电极E对准。如图6所示，当电极E沿X轴方向布置在玻璃面板P上时，第二转动单元92绕Z轴转动探针棒70，使得探针引脚60与沿X轴方向布置的相应电极E对准。而且，提供第二转动单元92用来应对具有以不同方位布置的电极E 的玻璃面板P。如果电极E在玻璃面板P上的布置方位总是不变的，则转动单元90可以仅仅包括第一转动单元91而不包括第二转动单元92。
在根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置中，能够仅仅通过转动探针棒70 而将探针引脚60容易地对准于相应电极E，即使具有不同布置类型的电极E-即相邻电极 E之间的距离或者电极E的数量不同一的不同种类的玻璃面板P加载到阵列测试装置上。
而且，即使电极E的位置和方位不同，也能够仅仅通过转动探针棒70而将探针引脚60容易地对准于相应电极E。
下文将结合图7和8详细描述根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置。在第三个实施方式的描述中，将使用相同的附图标记来表不与第一个或第二个实施方式中相同的那些构件，并略去它们的进一步说明。
在根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置中，如图7所示，假定沿探针组件支撑框架50的纵向延伸的轴线称为X轴，水平地垂直于X轴并且沿着玻璃面板P加载到装置上或者玻璃面板P从装置卸载的方向延伸的轴线称为Y轴，以及竖立地垂直于X轴和Y轴的轴线称为Z轴。基于这种假定，第一探针棒71和第二探针棒72可以在包含X轴和Z轴的平面上延伸预定长度并且相互成角度。而且，转动单元90可以包括第一转动单元91，其绕Y轴转动探针棒70。
可选地，如图8所示，当假定沿探针组件支撑框架50的纵向延伸的轴线称为X轴、 水平地垂直于X轴并且沿着玻璃面板P加载到装置上或者玻璃面板P从装置卸载的方向延伸的轴线称为Y轴、以及竖立地垂直于X轴和Y轴的轴线称为Z轴时，第一探针棒71和第二探针棒72可以沿着包含Y轴和Z轴的平面延伸预定长度并且相互成角度。而且，转动单元90可以包括第一转动单元91，其绕X轴转动探针棒70。
在该实施方式中，第一探针棒71和第二探针棒72的纵向之间的角度可以是90°， 并且本发明不限于这种结构。例如，第一探针棒71和第二探针棒72的纵向之间的角度可以大于或者小于90°。另外，本发明不限于包括具有以不同布置类型布置的探针引脚60的两种探针棒70的结构。也就是说，本发明可以通过包括具有以两种或更多种布置类型设置的探针引脚60的两个或更多个探针棒70的结构来实施。
第一转动单元91可以包括连接于探针棒70的转动轴，并且可以构造为操作员能够手动地转动探针棒70。可选地，第一转动单元91可以包括设置在探针组件23上并且连接于探针棒70的转动马达,从而探针棒70能够由转动马达自动地转动
第一转动单元91用来转动探针棒70。例如，当具有对应于第一类型探针引脚61 的电极El的玻璃面板P加载到装置上时，第一转动单元91转动探针棒70，使得第一探针棒 71位于对应于电极El的位置。当具有对应于第二类型探针引脚62的电极E2的玻璃面板 P加载到装置上时，第一转动单元91转动探针棒70,使得第二探针棒72移动到对应于电极 E2的位置。
而且，按照与第二实施方式相同的方式，转动单元90可以进一步包括绕Z轴转动探针棒70的第二转动单元92。第二转动单元92可以包括安装在探针组件23上并连接于探针棒70的转动轴,并且第二转动单元92可以构造为操作员能够手动地绕Z轴转动探针棒70。可选地，第二转动单元92可以包括设置在探针组件23和第一转动单元91之间的转动马达，从而探针棒70能够由转动马达自动地绕Z轴转动。第二转动单元92用来绕Z轴转动探针棒70。因此，即使具有不同布置方位的电极E的不同种类的玻璃面板P加载到装置上，探针引脚60也能够精确地对准电极E。这样，提供第二转动单元92用来应对具有不同布置方位的电极E的玻璃面板P。如果电极E在玻璃面板P上的布置方位总是不变的，则转动单元90可以仅仅包括第一转动单元91而不包括第二转动单元92。
在根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置中，能够仅仅通过转动探针棒70 而将探针引脚60容易地对准于相应电极E，即使具有不同布置类型的电极E-即各相邻电极E之间的距离或者电极E的数量不同一的不同种类的玻璃面板P加载到阵列测试装置上。而且，即使电极E的位置和方位不同，也能够仅仅通过转动探针棒70而将探针引脚60 容易地对准于相应电极E。
在本发明实施方式中描述的技术实质可独立实施或彼此结合。而且，根据本发明的探针组件不仅可以用在用于将电信号施加到玻璃面板的电极的装置中，而且可以用在用于将电信号施加到各种基板的电极的装置中，以测试它们的缺陷。
如上所述，在根据本发明的阵列测试装置中，当由单一阵列测试装置测试具有不同布置类型的电极E的不同种类的玻璃面板时，与需要用另一探针组件来更换探针组件的现有技术不同，仅仅通过转动探针棒就能够将探针引脚容易地对准于相应的电极。因此，能够提高生产过程的效率。
权利要求
1.一种阵列测试装置，包括探针组件，所述探针组件设置在探针组件支撑框架上，能够沿着所述探针组件支撑框架的纵向移动；以及多个探针棒，所述多个探针棒设置在所述探针组件上，能够转动，其中在不同探针棒上以不同布置类型设置有探针引脚。
2.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，当沿着所述探针组件支撑框架的纵向延伸的轴线称为X轴、水平地垂直于所述X轴的轴线称为Y轴、以及竖立地垂直于所述X轴和Y轴的轴线称为Z轴时，所述探针棒沿着包含所述X轴和Y轴的平面延伸预定长度，所述探针棒相互成角度，以及所述探针棒能够绕所述Z轴转动。
3.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，当沿着所述探针组件支撑框架的纵向延伸的轴线称为X轴、水平地垂直于所述X轴的轴线称为Y轴、以及竖立地垂直于所述X轴和Y轴的轴线称为Z轴时，所述探针棒沿着相同的方向延伸预定长度，以及所述探针棒能够绕所述探针棒延伸所沿的轴线转动。
4.根据权利要求3所述的阵列测试装置，其中，所述探针棒相互集成在一起。
5.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，当沿着所述探针组件支撑框架的纵向延伸的轴线称为X轴、水平地垂直于所述X轴的轴线称为Y轴、以及竖立地垂直于所述X轴和Y轴的轴线称为Z轴时，所述探针棒沿着包含所述X轴和Z轴的平面延伸预定长度，所述探针棒相互成角度，以及所述探针棒能够绕所述Y轴转动。
6.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，当沿着所述探针组件支撑框架的纵向延伸的轴线称为X轴、水平地垂直于所述X轴的轴线称为Y轴、以及竖立地垂直于所述X轴和Y轴的轴线称为Z轴时，所述探针棒沿着包含所述Y轴和Z轴的平面延伸预定长度，所述探针棒相互成角度，以及所述探针棒能够绕所述X轴转动。
7.根据权利要求3至6中任一项所述的阵列测试装置，其中，所述探针棒能够绕所述Z 轴转动。
全文摘要
本文公开一种阵列测试装置，其包括多个探针棒，在所述多个探针棒上以不同布置类型设置有探针引脚。探针棒通过转动而切换。因此，本发明的阵列测试装置能够高效地测试具有不同电极位置和布置方式的不同种类的玻璃面板。
文档编号G09G3/00GK102539850SQ201110036160
公开日2012年7月4日 申请日期2011年2月11日 优先权日2010年12月20日
发明者崔珍荣, 朴廷喜, 李在*, 潘俊浩 申请人:塔工程有限公司
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