全透明式立体显示屏的制造工艺的制作方法
专利名称：全透明式立体显示屏的制造工艺的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种平板显示制造领域的制造方法，具体的说是一种全透明式立体显 示屏的制造方法。
背景技术：
显示技术的不断发展，己从过去的CRT显示器发展到现有的平板显示器，进而有 电子纸等柔性技术的出现，二维显示技术发展己经非常的成熟；随着技术进步，现有显示器 件有从2D (二维)技术向3D (三维)显示技术发展的趋势；但现阶段3D显示技术仍有待改 进，3D显示器显示出的视觉效果一些观众较能接受，3D效果明显，但对于一些观众而言，3D 效果会带来一些视觉不适反映，因此单纯的2D或3D显示器不能满足不同用户的视觉要求。本发明采用一种全透明式的立体显示屏的制造工艺技术，使用透明材料制作成透 明的显示屏，可实现显示画面的双面观看；同时，可根据需要，在显示屏的一端加装3D显示 偏光棱镜器件，可将2D显示效果转换为3D效果，实现了不同用户2D、3D同机显示的效果， 提高的显示屏的性价比与可观赏性。
发明内容
本发明的目的是针对己有技术存在的缺陷提供一种全透明式立体显示屏的制造 方法，该方法制成的显示屏能全透明显示，不仅实现了显示屏的双面观看要求，更可以根据 观看要求，在其中一面加装偏光3D (三维)显示棱镜器件，实现画面的立体显示的效果；从 而使显示屏同时具有2D (二维)与3D显示的功能，可同时满足用户不同的观看需求，大大 提高了显示屏的性价比与可观赏性。为达到上述目的，本发明采用如下技术方案
一种全透明式立体显示屏的造工艺，其特征在于，采用全透明式材料制作成显示屏器 件，可实现显示屏图像的双面观察，并且通过增加分光透镜的方法实现单侧或双侧画面的 立体显示效果，其制造工艺步骤如下
1)在清洗洁净的ITO玻璃基板之上溅射一层极薄的栅极金属银电极，经勻胶、曝光、 显影之后，刻蚀银电极、ITO得到栅极电极图形；
2)生长氮化硅绝缘层、IGZO有源层，经勻胶、曝光、显影之后，湿法刻蚀IGZO而制得有 源层结构；
3)沉积ITO透明电极，接着再生长一层厚度极薄的金属银电极，经勻胶、曝光、显影之 后，湿法刻蚀银电极图形；
4)再次勻胶、曝光、显影光刻工艺之后，刻蚀ITO电极层得到ITO像素电极图形，同时部 分金属银电极与ITO电极层共同叠加作为源、漏电极层电极；
5)以蒸镀的方式在ITO像素电极图形之上生长有机发光层，透明显示屏工艺制作完 成；可实现2D显示画面的双面观看；
6)在制作完成的全透明显示屏的其中一面显示屏加装3D显示偏光棱镜器件，实现显示屏的2D、3D同时显示。至此，本发明所涉及的工艺步骤完成。本发明与现有技术相比较，具有如下显而易见的突出实质性特点和显著优点
1与现有的显示屏相比较，实现了显示屏的全透明式显示，可同时满足用户双面观看 的需求；
2与现有的2D或者3D显示屏相比较，本发明的全透明式显示屏可同时实现2D与3D 画面的显示，满足用户不同维度画面的观看需求。
图1全透明式立体显示屏制造工艺流程框图。图2-图11全透明式立体显示屏制造工艺各阶段流程结构示意图。图12全透明式立体显示屏单面2D显示转3D显示结构示意图。图13全透明式立体显示屏双面2D显示转3D显示结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明的优选实施例进行说明 实施例1
参见图1-图11，本全透明式立体显示屏的创造方法采用如下工艺流程 首先清洗ITO玻璃基板10，在ITO玻璃基板10之上沉积一层厚度为300 A的金属银 电极21，经过光刻工艺之后，湿法刻蚀金属银电极21、ITO电极22，制作出栅极金属层20， ITO电极22的厚度为2000A ；接着利用PECVD的方法，在栅极金属层20之上沉积一层SiNx 层作为绝缘层30，SiNx层的厚度为3000 A ；接着生长一层厚度为2000A的IGZO层作为有 源层40，通过光刻工艺对其进行图形化处理，并采用湿刻的方法刻蚀IGZO层40，制作出有 源层图形；通过溅射的方式溅射一层厚度为1000A的ITO电极层51，并接着溅射一层厚度 为300A的金属银电极52，对其进行勻胶、曝光、显影处理之后，湿法刻蚀金属银电极52 ；再 次图形化处理之后，刻蚀ITO电极层51，刻蚀出电极图形以及像素电极图形60，金属银电极 52与ITO电极层51其同作为源、漏电极层电极50 ；以蒸镀的方式在像素电极图形60之上 生长有机发光层70，全透明式立体显示屏90工艺制造完成。实施例2
本实施例与实施例1基本相同，特别之处在于
参见图12，制作完成的全透明式立体显示屏90可实现画面的双面显示，用户可以进行 双面观看；为了增加不同用户2D以及3D效果的观看，在全透明式立体显示屏90的其中一 面加装3D显示偏光棱镜器件80，从而使此面显示画面由2D图形转化为3D显示的效果，实 现了一台显示器可实现双面观看且同时具有2D显示屏与3D显示屏的功能，满足不同用户 的不同观看需求。实施例3
本实施例与实施例2基本相同，特别之处在于
参见图13，如果用户需要双面观看3D画面，则可以在全透明式立体显示屏90的双面加 装3D显示偏光棱镜器件80，实现3D画面的双面显示。
权利要求
1.一种全透明式立体显示屏的制造工艺，其特征在于，采用全透明式材料制作成显示 屏器件，可实现显示屏图像的双面观察，并且通过增加分光透镜的方法实现单侧或双侧画 面的立体显示效果，其制造工艺步骤如下1)在清洗洁净的ITO玻璃基板(10)之上溅射一 层极薄的栅极金属银电极(21)，经勻胶、曝光、显影之后，刻蚀银电极Ol)、IT0电极(22)得 到栅极电极图形(20) ；2)生长氮化硅绝缘层(30)、IGZ0有源层(20)，经勻胶、曝光、显影之 后，湿法刻蚀IGZO有源层00)而制得有源层结构；3)沉积ITO透明电极(51)，接着再生 长一层厚度极薄的金属银电极(52)，经勻胶、曝光、显影之后，湿法刻蚀银电极而制成源漏 电极图形；4)再次勻胶、曝光、显影光刻工艺之后，刻蚀ITO电极层(51)得到ITO像素电极 图形(60)，同时部分金属银电极(52)与ITO电极层(51)共同叠加作为源、漏电极层电极 (50) ；5)以蒸镀的方式在ITO像素电极图形(60)之上生长有机发光层(70)，制作完成的 显示屏呈透明状，可实现2D显示画面的双面观看；6)在制作完成的全透明显示屏(90) — 面显示屏加装3D显示偏光棱镜器件(80)，实现显示屏的2D、3D同时显示。
2.根据权利要求1所述的全透明式立体显示屏的制造工艺，其特征在于，可根据需要 在全透明式立体显示屏(90)的双面加装3D显示偏光棱镜器件(80)，实现3D画面的双面显示。
全文摘要
本发明涉及一种全透明式立体显示屏的制造工艺。使用透明材料制作成透明的显示屏，可实现显示画面的双面观看；同时，可根据需要，在显示屏的一端加装3D显示偏光棱镜器件，可将2D显示效果转换为3D效果，实现了不同用户2D、3D同机显示的效果，提高的显示屏的性价比与可观赏性。
文档编号G09F9/30GK102148000SQ201110098810
公开日2011年8月10日 申请日期2011年4月20日 优先权日2011年4月20日
发明者张建华, 李喜峰, 陈龙龙 申请人:上海大学
技术领域：
本发明涉及一种平板显示制造领域的制造方法，具体的说是一种全透明式立体显 示屏的制造方法。
背景技术：
显示技术的不断发展，己从过去的CRT显示器发展到现有的平板显示器，进而有 电子纸等柔性技术的出现，二维显示技术发展己经非常的成熟；随着技术进步，现有显示器 件有从2D (二维)技术向3D (三维)显示技术发展的趋势；但现阶段3D显示技术仍有待改 进，3D显示器显示出的视觉效果一些观众较能接受，3D效果明显，但对于一些观众而言，3D 效果会带来一些视觉不适反映，因此单纯的2D或3D显示器不能满足不同用户的视觉要求。本发明采用一种全透明式的立体显示屏的制造工艺技术，使用透明材料制作成透 明的显示屏，可实现显示画面的双面观看；同时，可根据需要，在显示屏的一端加装3D显示 偏光棱镜器件，可将2D显示效果转换为3D效果，实现了不同用户2D、3D同机显示的效果， 提高的显示屏的性价比与可观赏性。
发明内容
本发明的目的是针对己有技术存在的缺陷提供一种全透明式立体显示屏的制造 方法，该方法制成的显示屏能全透明显示，不仅实现了显示屏的双面观看要求，更可以根据 观看要求，在其中一面加装偏光3D (三维)显示棱镜器件，实现画面的立体显示的效果；从 而使显示屏同时具有2D (二维)与3D显示的功能，可同时满足用户不同的观看需求，大大 提高了显示屏的性价比与可观赏性。为达到上述目的，本发明采用如下技术方案
一种全透明式立体显示屏的造工艺，其特征在于，采用全透明式材料制作成显示屏器 件，可实现显示屏图像的双面观察，并且通过增加分光透镜的方法实现单侧或双侧画面的 立体显示效果，其制造工艺步骤如下
1)在清洗洁净的ITO玻璃基板之上溅射一层极薄的栅极金属银电极，经勻胶、曝光、 显影之后，刻蚀银电极、ITO得到栅极电极图形；
2)生长氮化硅绝缘层、IGZO有源层，经勻胶、曝光、显影之后，湿法刻蚀IGZO而制得有 源层结构；
3)沉积ITO透明电极，接着再生长一层厚度极薄的金属银电极，经勻胶、曝光、显影之 后，湿法刻蚀银电极图形；
4)再次勻胶、曝光、显影光刻工艺之后，刻蚀ITO电极层得到ITO像素电极图形，同时部 分金属银电极与ITO电极层共同叠加作为源、漏电极层电极；
5)以蒸镀的方式在ITO像素电极图形之上生长有机发光层，透明显示屏工艺制作完 成；可实现2D显示画面的双面观看；
6)在制作完成的全透明显示屏的其中一面显示屏加装3D显示偏光棱镜器件，实现显示屏的2D、3D同时显示。至此，本发明所涉及的工艺步骤完成。本发明与现有技术相比较，具有如下显而易见的突出实质性特点和显著优点
1与现有的显示屏相比较，实现了显示屏的全透明式显示，可同时满足用户双面观看 的需求；
2与现有的2D或者3D显示屏相比较，本发明的全透明式显示屏可同时实现2D与3D 画面的显示，满足用户不同维度画面的观看需求。
图1全透明式立体显示屏制造工艺流程框图。图2-图11全透明式立体显示屏制造工艺各阶段流程结构示意图。图12全透明式立体显示屏单面2D显示转3D显示结构示意图。图13全透明式立体显示屏双面2D显示转3D显示结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明的优选实施例进行说明 实施例1
参见图1-图11，本全透明式立体显示屏的创造方法采用如下工艺流程 首先清洗ITO玻璃基板10，在ITO玻璃基板10之上沉积一层厚度为300 A的金属银 电极21，经过光刻工艺之后，湿法刻蚀金属银电极21、ITO电极22，制作出栅极金属层20， ITO电极22的厚度为2000A ；接着利用PECVD的方法，在栅极金属层20之上沉积一层SiNx 层作为绝缘层30，SiNx层的厚度为3000 A ；接着生长一层厚度为2000A的IGZO层作为有 源层40，通过光刻工艺对其进行图形化处理，并采用湿刻的方法刻蚀IGZO层40，制作出有 源层图形；通过溅射的方式溅射一层厚度为1000A的ITO电极层51，并接着溅射一层厚度 为300A的金属银电极52，对其进行勻胶、曝光、显影处理之后，湿法刻蚀金属银电极52 ；再 次图形化处理之后，刻蚀ITO电极层51，刻蚀出电极图形以及像素电极图形60，金属银电极 52与ITO电极层51其同作为源、漏电极层电极50 ；以蒸镀的方式在像素电极图形60之上 生长有机发光层70，全透明式立体显示屏90工艺制造完成。实施例2
本实施例与实施例1基本相同，特别之处在于
参见图12，制作完成的全透明式立体显示屏90可实现画面的双面显示，用户可以进行 双面观看；为了增加不同用户2D以及3D效果的观看，在全透明式立体显示屏90的其中一 面加装3D显示偏光棱镜器件80，从而使此面显示画面由2D图形转化为3D显示的效果，实 现了一台显示器可实现双面观看且同时具有2D显示屏与3D显示屏的功能，满足不同用户 的不同观看需求。实施例3
本实施例与实施例2基本相同，特别之处在于
参见图13，如果用户需要双面观看3D画面，则可以在全透明式立体显示屏90的双面加 装3D显示偏光棱镜器件80，实现3D画面的双面显示。
权利要求
1.一种全透明式立体显示屏的制造工艺，其特征在于，采用全透明式材料制作成显示 屏器件，可实现显示屏图像的双面观察，并且通过增加分光透镜的方法实现单侧或双侧画 面的立体显示效果，其制造工艺步骤如下1)在清洗洁净的ITO玻璃基板(10)之上溅射一 层极薄的栅极金属银电极(21)，经勻胶、曝光、显影之后，刻蚀银电极Ol)、IT0电极(22)得 到栅极电极图形(20) ；2)生长氮化硅绝缘层(30)、IGZ0有源层(20)，经勻胶、曝光、显影之 后，湿法刻蚀IGZO有源层00)而制得有源层结构；3)沉积ITO透明电极(51)，接着再生 长一层厚度极薄的金属银电极(52)，经勻胶、曝光、显影之后，湿法刻蚀银电极而制成源漏 电极图形；4)再次勻胶、曝光、显影光刻工艺之后，刻蚀ITO电极层(51)得到ITO像素电极 图形(60)，同时部分金属银电极(52)与ITO电极层(51)共同叠加作为源、漏电极层电极 (50) ；5)以蒸镀的方式在ITO像素电极图形(60)之上生长有机发光层(70)，制作完成的 显示屏呈透明状，可实现2D显示画面的双面观看；6)在制作完成的全透明显示屏(90) — 面显示屏加装3D显示偏光棱镜器件(80)，实现显示屏的2D、3D同时显示。
2.根据权利要求1所述的全透明式立体显示屏的制造工艺，其特征在于，可根据需要 在全透明式立体显示屏(90)的双面加装3D显示偏光棱镜器件(80)，实现3D画面的双面显示。
全文摘要
本发明涉及一种全透明式立体显示屏的制造工艺。使用透明材料制作成透明的显示屏，可实现显示画面的双面观看；同时，可根据需要，在显示屏的一端加装3D显示偏光棱镜器件，可将2D显示效果转换为3D效果，实现了不同用户2D、3D同机显示的效果，提高的显示屏的性价比与可观赏性。
文档编号G09F9/30GK102148000SQ201110098810
公开日2011年8月10日 申请日期2011年4月20日 优先权日2011年4月20日
发明者张建华, 李喜峰, 陈龙龙 申请人:上海大学
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