阵列测试装置的制作方法
专利名称：阵列测试装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于测试玻璃面板的阵列测试装置。
背景技术：
一般来说，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩显像管(Braim Tube)的传统电视机或显示器薄而且轻的图像显示器。液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)是已开发并使用的平板显示器的代表实例。这种FPD中的IXD是以向排列为矩阵形状的液晶单元独立地提供基于图像信息的数据信号来控制液晶单元的透光性的方式来显示预期图像的图像显示器。IXD薄且轻而且还具有包括功耗低和操作电压低在内的许多其它优点，因此被广泛使用。下面将详细描述用在这种LCD中的液晶面板的典型制造方法。首先，在上玻璃面板上形成彩色滤光片和共用电极。之后，在与上玻璃面板相对的下玻璃面板上形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。随后将配向层分别涂布至上玻璃面板和下玻璃面板。之后摩擦配向层以便为随后在配向层之间形成的液晶层中的液晶分子提供预倾角和配向方位。此后，通过将密封胶涂布至玻璃面板中的至少一个来形成密封胶图案，以保持玻璃面板间的间隙、防止液晶漏出、以及密封玻璃面板间的间隙。随后，在玻璃面板之间形成液晶层，从而完成液晶面板。在上述过程中，测试具有TFT和像素电极的下玻璃面板(下文中称为“玻璃面板”) 是否有缺陷的操作，是通过例如检测栅极线或数据线是否断线或者检测像素单元是否显色不佳来实现的。通常，使用阵列测试装置来测试玻璃面板。阵列测试装置包括光源、设置有电光材料层的调制器、以及摄像单元。在将预定幅度的电压施加至调制器和玻璃面板的情况下，将调制器靠近玻璃面板。然后，如果玻璃面板没有缺陷，则调制器与玻璃面板之间形成电场。 但是，如果玻璃面板有缺陷，则调制器与玻璃面板之间不形成电场，或者电场的幅度小。阵列测试装置测量调制器与玻璃面板之间的电场幅度，并利用测得的电场幅度来确定玻璃面板是否有缺陷。精确测试玻璃面板所需的一个重要因素是调制器与玻璃面板之间的距离。在现有技术中，为了保持调制器与玻璃面板之间的距离恒定，气体排放到玻璃面板上，使得调制器由排放到玻璃面板上的气体的压力抬升。由此，可以将调制器保持在其与玻璃面板间隔预定距离的状态。但是，在这种现有技术中，由于直接将高压气体排放到玻璃面板上以抬升调制器，因此玻璃面板或安装在玻璃面板上的电子器件可能会由于气压而受损。
发明内容
因此，针对以上现有技术中产生的问题提出本发明，并且本发明的目的是提供一种阵列测试装置，其可以避免在将气体排放到玻璃面板上以将调制器与玻璃面板间隔开预
3定距离时玻璃面板可能受损的问题。为了实现以上目的，本发明提供一种阵列测试装置，包括调制器，其面向玻璃面板设置；固定块，其设置在调制器周围；移动块，其与调制器联接，移动块由固定块支撑以便能够被抬升；以及调制器移动单元，其设置在固定块与移动块之间，调制器移动单元沿远离玻璃面板的方向移动调制器。
从以下结合附图的详细描述，可以更加清楚理解本发明前述的和其他的目的、特征和优点，其中图1是根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置的立体图；图2是图1的阵列测试装置的测试模块的示意图；图3是图1的阵列测试装置的测试模块的另一个实例的示意图；图4是图1的阵列测试装置的测试模块的剖面图；图5是根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置的测试模块的剖面图；图6是图5的测试模块的仰视图；以及图7至图10是根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置的测试模块的几个实例的剖面图。
具体实施例方式下文将参照附图详细说明根据本发明的阵列测试装置的实施方式。如图1所示，根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置10包括将玻璃面板P加载到所述装置上的加载单元20、测试由加载单元20加载的玻璃面板P的测试单元30、以及将已由测试单元30测试的玻璃面板P从所述装置卸载的卸载单元40。加载单元20包括设置在以预定间距相互间隔开的位置处的多个第一支撑板22。 所述多个第一支撑板22支撑待测试的玻璃面板P。卸载单元40包括设置在以预定间距相互间隔开的位置处的多个第二支撑板42。第二支撑板42支撑已测试过的玻璃面板P。贯穿加载单元20的第一支撑板22以及卸载单元40的第二支撑板42分别形成有吹气孔M 和44。经由吹气孔M和44朝玻璃面板P的下表面排出气体，以使玻璃面板P悬浮。另夕卜， 加载单元20和卸载单元40中设置有玻璃面板输送单元70。玻璃面板输送单元70利用吸附力保持玻璃面板P的下表面，并且沿直线方向移动以输送玻璃面板P。测试单元30测试玻璃面板P的电缺陷。测试单元30包括透光支撑板31、测试模块32和探针组件33。由加载单元20加载的玻璃面板P置于透光支撑板31上。测试模块 32测试置于透光支撑板31上的玻璃面板P的电缺陷。探针组件33向置于透光支撑板31 上的玻璃面板P的电极施加电信号。测试模块32设置在测试模块移动单元60上，测试模块移动单元60设置在透光支撑板31上方并沿X轴方向延伸预定长度。测试模块32可沿着测试模块移动单元60在X轴方向移动。测试模块32可以包括沿测试模块移动单元60 延伸的方向(X轴方向)设置的多个测试模块32。如图2所示，测试模块32包括光源321、控制光源321所发出的光的行进方向的半棱镜322、置于玻璃面板P上方并沿面向玻璃面板P的方向定位的调制器120、以及对调制器120摄像的摄像单元90。调制器120包括反射层121、电光材料层122、调制器电极层123和透光块124。反射层121与玻璃面板P相邻。电光材料层122根据玻璃面板P与调制器120之间所产生的电场幅度改变透光率。调制器电极层123与电源(未示出)连接。透光块124设置在调制器电极层123上方。反射层121可以包括薄反射膜，可选地，可以包括反射玻璃层，例如涂覆有反射膜的镜子。与反射层121由反射膜制成的情况相比，在反射层121由反射玻璃制成的情况下可以增加其硬度。由此，可以防止反射层121受损，例如由于与玻璃面板P接触而被划伤。电光材料层122由这样的材料制成当电信号施加于形成在玻璃面板P上的电极以及调制器120的调制器电极层123时，所述材料的特定物理性质会根据玻璃面板P与调制器120之间所产生的电场而变化。例如，电光材料层122可以由根据电场幅度而改变透光率的LC(液晶)制成。可选地，电光材料层122可以由根据电场幅度而沿预定方向定位并将入射光偏振到相应角度的PDLC(聚合物分散液晶)制成。在上述结构中，当电信号施加至玻璃面板P的电极以及调制器120的调制器电极层123时，玻璃面板P与调制器120之间形成电场。形成电光材料层122的电光材料的性质根据电场而变化。由此，在光从光源321发出并经由半棱镜322进入调制器120后，由调制器120的反射层121反射的光量发生变化。此时，摄像单元90对调制器120摄像。随后， 可以通过利用由摄像单元90拍摄的调制器120的图像分析光量来确定玻璃面板P与调制器120之间形成的电场幅度。如果玻璃面板P是有缺陷的，则玻璃面板P与调制器120之间不会形成电场或者电场幅度小于正常情况的电场幅度。这样，可以通过测量电场幅度来确定玻璃面板P是否有缺陷。另外，如上所述，可以按照光反射型来构造测试单元30，在所述光反射型中，光源 321设置在测试模块32中，并且反射层121设置在调制器120中。可选的，如图3所示，可以按照光透射型来构造测试单元30，在所述光透射型中，光源321设置在透光支撑板31下方，换句话说，设置在透光支撑板31的与调制器120面向透光支撑板31的一侧相反的那一侧，使得通过测量光从光源321发出之后经由调制器120所传送的光量来确定玻璃面板P 是否有缺陷。在利用光透射型的测试单元30中，上面放置有玻璃面板P的透光支撑板31是由可透光的材料制成的。另外，在调制器120的面向玻璃面板P的一侧设置有保护层125。 这样，可以依照光反射型或光透射型来构造本发明的阵列测试装置的测试单元30。图4图示可沿远离玻璃面板P的方向移动的调制器120的结构。如图4所示，测试模块32包括固定块110、移动块130和调制器移动单元200。固定块110设置在调制器 120周围。移动块130与调制器120连接，并由固定块110支撑，以便可以相对于玻璃面板 P被抬升。调制器移动单元200设置在固定块110与移动块130之间，并沿远离玻璃面板P 的方向(向上)移动调制器120。具体地，移动块130由固定块110的下端部支撑，以便可以被抬升。由此，调制器 120可以在测试模块32中由移动块130支撑，以便可以被抬升。摄像单元90位于固定块 110上方。调制器移动单元200包括向上朝着移动块130的下部吹气的吹气单元210。吹气单元210包括气体排出口 211，其位于移动块130下方，并且朝移动块130开口 ；气体通道212，其与气体排出口 211连通；以及气体供应单元213，其与气体通道212连通，并经由气体通道212向气体排出口 211提供气体。气体排出口 211可以包括沿移动块130的周向设置在调制器120周围的多个气体排出口 211。在此情况下，期望将气体排出口 211以规则间隔相互隔开，以在移动块130被抬升时保持移动块130水平。另外，延伸部131从移动块 130的外周表面向外延伸，使得延伸部131面向气体排出口 211，由此从气体排出口 211排出的气体吹向延伸部131。气体通道212设计为使得气体排出口 211中的至少一部分嵌入固定块110中。气体供应单元213提供的气体可以包括空气或惰性气体。在这种结构中，当调制器120被置于玻璃面板P上方与玻璃面板P相邻的位置用以测试玻璃面板P时，通过气体供应单元213经由气体排出口 211朝着移动块130向上吹气的操作而排出气体。然后，移动块130通过吹向移动块130的下部的气体被向上抬升。由此，与移动块130联接的调制器120也向上移动，并在与玻璃面板P的上表面间隔开预定距离的位置处保持与玻璃面板P的上表面平行。因此，调制器120和玻璃面板P可以可靠地保持相互间隔开适于产生调制器120与玻璃面板P之间的电场的距离的状态。另外，可以防止调制器120与玻璃面板P碰撞或与玻璃面板P接触。另外，可以通过调节从气体排出口 211排出的气体的压力来控制调制器120与玻璃面板P之间的距离。不同于将气体排放到玻璃面板P上的现有技术，在根据本发明第一个实施方式的具有上述结构的阵列测试装置中，以向上朝着与调制器120联接的移动块130的下部吹气的方式，调制器120可以向上移动并保持在与玻璃面板P隔开适当距离的位置。因此，本发明可以避免可能在将气体排放到玻璃面板P上的现有技术中产生的损坏玻璃面板P或玻璃面板P上的电子器件的问题。下文将参照图5和图6来说明根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置。在第二个实施方式的说明中，将使用与第一个实施方式相同的附图标记来表示相同的构件，因此将省略对其的进一步解释。如图5和图6所示，在根据第二个实施方式的阵列测试装置中，沿远离玻璃面板P 的方向(向上)移动调制器120的调制器移动单元200包括向上朝着移动块130的下部吹气的第一吹气单元210。另外，调制器移动单元200还包括从移动块130向玻璃面板P吹气的第二吹气单元220。第一吹气单元210包括气体排出口 211，其位于移动块130下方，并且朝移动块 130开口 ；气体通道212，其与气体排出口 211连通；以及气体供应单元213，其与气体通道 212连通，并经由气体通道212向气体排出口 211供气。第二吹气单元220包括气体排出口 221，其形成在移动块130的下部，并且朝玻璃面板P开口 ；气体通道222，其与气体排出口 221连通；以及气体供应单元223，其与气体通道222连通，并经由气体通道222向气体排出口 221提供气体。气体排出口 221可以包括沿移动块130的周向设置在调制器120周围的多个气体排出口 221。在此情况下，期望气体排出口 211相互间隔开预定的间隔，以在调制器120被抬升时保持调制器120水平。气体通道222设计为使得气体通道222的至少一部分嵌入移动块130中。从气体供应单元213 提供的气体可以包括空气或惰性气体。如图6所示，可以沿调制器120的周向相互交替设置第一吹气单元210的气体排出口 211以及第二吹气单元220的气体排出口 221。在此情况下，从第一吹气单元210的气体排出口 211向上吹出的气体的压力以及从第二吹气单元220的气体排出口 221向下吹出的气体的压力是均勻分布的，并且免于相互干扰。因此，移动块130可以在其被抬升至预定高度时保持水平。如图5所示，可以相互独立地设置第一吹气单元210的气体供应单元213以及第二吹气单元220的气体供应单元223。可选地，如图6所示，第一吹气单元210的气体供应单元213以及第二吹气单元220的气体供应单元223可以包括单一气体供应单元213、223。 在包括单一气体供应单元213、223的结构的情况下，可以简化向气体排出口 211和气体排出口 221提供气体的结构。优选地，在管道214和2 上设置有调节器215和225，调节器 215和225分别将气体通道212和气体通道222与单一气体供应单元213、223连通。调节器215和225的作用是分别控制提供给气体排出口 211和气体排出口 221的气体的压力。在这种结构中，当调制器120被置于玻璃面板P上方的与玻璃面板P相邻的位置以测试玻璃面板P时，从第一吹气单元210的气体排出口 211朝着移动块130的下部向上排出气体。这样，移动块130向上被抬升从而向上移动调制器120。另外，气体从第二吹气单元220的气体排出口 221排放到玻璃面板P上。这样，调制器120借助于排放到玻璃面板P上的气体的压力而进一步向上移动，即沿着远离玻璃面板P的方向向上移动。由于调制器120的这种向上移动，调制器120与玻璃面板P可以相互间隔开适于产生调制器120 与玻璃面板P之间的电场的距离。这样，在根据本发明的第二个实施方式的阵列测试装置中，第一吹气单元210和第二吹气单元220共同执行将调制器120与玻璃面板P分离的操作。由此，与现有技术相比，可以降低排放到玻璃面板P上的气体的压力。因此，本实施方式可以最小化可能发生在将高压气体排放到玻璃面板P上的现有技术中的对玻璃面板P或玻璃面板P上的电子器件造成损伤的问题。另外，在本实施方式中，可以通过调节从第一吹气单元210的气体排出口 211排出的气体以及从第二吹气单元220的气体排出口 221排出的气体的压力来控制调制器120与玻璃面板P之间的距离。期望的是从第一吹气单元210的气体排出口 211排出的气体的压力比从第二吹气单元220的气体排出口 221排出的气体的压力大，从而减小排放到玻璃面板P上的气体的压力，以避免可能由于将气体排放到玻璃面板P上所导致的问题。下文将结合图7至图9详细说明根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置。在第三个实施方式的说明中，将使用与第一个实施方式和第二个实施方式相同的附图标记来表示相同的构件，因此将省略对其的进一步解释。如图7所示，在根据第三个实施方式的阵列测试装置中，沿着远离玻璃面板P的方向(向上)移动调制器120的调制器移动单元200包括第一磁性构件241和第二磁性构件 M2，第一磁性构件241和第二磁性构件242分别设置在固定块110和移动块130上的面向彼此的位置处，使得沿着调制器120被抬升的方向(沿竖直方向)产生斥力。第一磁性构件241和/或第二磁性构件242可以包括永磁体，或可选地包括设置有线圈的电磁体。在本实施方式中，第一磁性构件241安装在固定块110中，第二磁性构件242安装在从移动块 130的外周表面向外延伸的延伸部131中。第一磁性构件241和第二磁性构件242可以包括沿调制器120的周向设置的多个第一磁性构件241和多个第二磁性构件M2。在此情况下，期望第一磁性构件241和第二磁性构件M2以规则的间隔相互隔开，从而在调制器120相对于玻璃面板P被抬升时保持调制器120水平。在这种结构中，当调制器120被置于玻璃面板P上方的与玻璃面板P相邻的位置以测试玻璃面板P时，移动块130借助于第一磁性构件241与第二磁性构件242之间的斥力向上移动，使得调制器120与移动块130 —起向上移动。由于调制器120的这种向上移动，调制器120与玻璃面板P可以相互间隔开适于产生调制器120与玻璃面板P之间的电场的距离。另外，可以通过调节第一磁性构件241与第二磁性构件242之间的磁力的幅度来控制调制器120与玻璃面板P之间的距离。在第一磁性构件241和第二磁性构件242包括电磁体的情况下，可以通过调节施加至线圈的功率的幅度来实施它们之间的磁力幅度的调节。在根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置中，调制器120可以借助于设置在固定块110和移动块130中的位于面向彼此的位置处的第一磁性构件241与第二磁性构件 242之间的斥力而远离玻璃面板P向上移动，并保持在与玻璃面板P间隔开适当距离的位置处。由此，根据第三个实施方式的阵列测试装置可以避免将气体排放到玻璃面板P上的现有技术的结构。因此，根据第三个实施方式的阵列测试装置可以防止可能发生在将高压气体排放到玻璃面板P上的现有技术中的对玻璃面板P或玻璃面板P上的电子器件造成损伤的问题。另外，如图8所示，根据本发明第三个实施的阵列测试装置还可以包括第二吹气单元220，第二吹气单元220从移动块130朝玻璃面板P排出气体。在此情况下，第二吹气单元220以及第一磁性构件241和第二磁性构件242共同执行将调制器120与玻璃面板P 分离的操作。因此，与现有技术相比，可以减小排放到玻璃面板P上的气体的压力，使得可以解决现有技术中的在将高压气体排放到玻璃面板P上时可能导致的问题。由此，可以为调节调制器120与玻璃面板P之间的距离提供便利。可选地，如图9所示，根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置还可以包括向上朝着移动块130的下部吹气的第一吹气单元210。在这种结构的情况下，第一吹气单元 210以及第一磁性构件241和第二磁性构件242共同执行将调制器120与玻璃面板P分离的操作。另外，可以通过调节从第一吹气单元210的气体排出口 211排出的气体的压力来控制调制器120与玻璃面板P之间的距离。由此，可以为调节调制器120与玻璃面板P之间的距离提供便利。另外，如图10所示，根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置还可以既包括向上朝着移动块130的下部吹气的第一吹气单元210，也包括从移动块130朝玻璃面板P排出气体的第二吹气单元220。本发明的实施方式所描述的技术主旨可以独立地实施，也可以结合地实施。如上所述，根据本发明的阵列测试装置可以不需要将气体排放到玻璃面板上以将调制器与玻璃面板间隔开预定距离的结构，或者可以构造为使得排放到玻璃面板上的气体的压力减小。因此，本发明可以解决由于排放到玻璃面板上的气体所导致的损伤玻璃面板的问题。
权利要求
1.一种阵列测试装置，包括调制器，所述调制器面向玻璃面板设置；固定块，所述固定块设置在所述调制器周围；移动块，所述移动块与所述调制器联接，所述移动块由所述固定块支撑以能够被抬升；以及调制器移动单元，所述调制器移动单元设置在所述固定块与所述移动块之间，所述调制器移动单元沿远离所述玻璃面板的方向移动所述调制器。
2.如权利要求1所述的阵列测试装置，其中所述调制器移动单元包括第一吹气单元， 所述第一吹气单元向上朝着所述移动块的下部排出气体。
3.如权利要求2所述的阵列测试装置，其中所述调制器移动单元还包括第二吹气单元，所述第二吹气单元从所述移动块朝所述玻璃面板排出气体。
4.如权利要求3所述的阵列测试装置，其中所述第一吹气单元和所述第二吹气单元中的每个包括气体排出口，其中所述第一吹气单元的气体排出口以及所述第二吹气单元的气体排出口沿所述调制器的周向相互交替地设置。
5.如权利要求3所述的阵列测试装置，其中所述第一吹气单元和所述第二吹气单元中的每个包括气体排出口，其中从所述第一吹气单元的气体排出口排出的气体的压力大于从所述第二吹气单元的气体排出口排出的气体的压力。
6.如权利要求1至5中任一项所述的阵列测试装置，其中所述调制器移动单元包括第一磁性构件和第二磁性构件，所述第一磁性构件和第二磁性构件分别设置在所述固定块和所述移动块上，使得所述第一磁性构件和第二磁性构件面向彼此以沿所述调制器被抬升的方向在它们之间产生斥力。
7.如权利要求1所示的阵列测试装置，其中所述调制器移动单元包括第二吹气单元，所述第二吹气单元从所述移动块朝所述玻璃面板排出气体；以及第一磁性构件和第二磁性构件，所述第一磁性构件和第二磁性构件分别设置在所述固定块和所述移动块上，使得所述第一磁性构件和第二磁性构件面向彼此以沿所述调制器被抬升的方向在它们之间产生斥力。
全文摘要
本发明公开一种阵列测试装置。本发明的阵列测试装置可以不需要将气体排放到玻璃面板上以将调制器与玻璃面板间隔开预定距离的结构，或者可以构造为使得排放到玻璃面板上的气体的压力减小。因此，本发明可以解决由于排放到玻璃面板上的气体所导致的损伤玻璃面板的问题。
文档编号G09G3/00GK102568359SQ20111018485
公开日2012年7月11日 申请日期2011年7月4日 优先权日2010年12月30日
发明者潘俊浩 申请人:塔工程有限公司
技术领域：
本发明涉及一种用于测试玻璃面板的阵列测试装置。
背景技术：
一般来说，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩显像管(Braim Tube)的传统电视机或显示器薄而且轻的图像显示器。液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)是已开发并使用的平板显示器的代表实例。这种FPD中的IXD是以向排列为矩阵形状的液晶单元独立地提供基于图像信息的数据信号来控制液晶单元的透光性的方式来显示预期图像的图像显示器。IXD薄且轻而且还具有包括功耗低和操作电压低在内的许多其它优点，因此被广泛使用。下面将详细描述用在这种LCD中的液晶面板的典型制造方法。首先，在上玻璃面板上形成彩色滤光片和共用电极。之后，在与上玻璃面板相对的下玻璃面板上形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。随后将配向层分别涂布至上玻璃面板和下玻璃面板。之后摩擦配向层以便为随后在配向层之间形成的液晶层中的液晶分子提供预倾角和配向方位。此后，通过将密封胶涂布至玻璃面板中的至少一个来形成密封胶图案，以保持玻璃面板间的间隙、防止液晶漏出、以及密封玻璃面板间的间隙。随后，在玻璃面板之间形成液晶层，从而完成液晶面板。在上述过程中，测试具有TFT和像素电极的下玻璃面板(下文中称为“玻璃面板”) 是否有缺陷的操作，是通过例如检测栅极线或数据线是否断线或者检测像素单元是否显色不佳来实现的。通常，使用阵列测试装置来测试玻璃面板。阵列测试装置包括光源、设置有电光材料层的调制器、以及摄像单元。在将预定幅度的电压施加至调制器和玻璃面板的情况下，将调制器靠近玻璃面板。然后，如果玻璃面板没有缺陷，则调制器与玻璃面板之间形成电场。 但是，如果玻璃面板有缺陷，则调制器与玻璃面板之间不形成电场，或者电场的幅度小。阵列测试装置测量调制器与玻璃面板之间的电场幅度，并利用测得的电场幅度来确定玻璃面板是否有缺陷。精确测试玻璃面板所需的一个重要因素是调制器与玻璃面板之间的距离。在现有技术中，为了保持调制器与玻璃面板之间的距离恒定，气体排放到玻璃面板上，使得调制器由排放到玻璃面板上的气体的压力抬升。由此，可以将调制器保持在其与玻璃面板间隔预定距离的状态。但是，在这种现有技术中，由于直接将高压气体排放到玻璃面板上以抬升调制器，因此玻璃面板或安装在玻璃面板上的电子器件可能会由于气压而受损。
发明内容
因此，针对以上现有技术中产生的问题提出本发明，并且本发明的目的是提供一种阵列测试装置，其可以避免在将气体排放到玻璃面板上以将调制器与玻璃面板间隔开预
3定距离时玻璃面板可能受损的问题。为了实现以上目的，本发明提供一种阵列测试装置，包括调制器，其面向玻璃面板设置；固定块，其设置在调制器周围；移动块，其与调制器联接，移动块由固定块支撑以便能够被抬升；以及调制器移动单元，其设置在固定块与移动块之间，调制器移动单元沿远离玻璃面板的方向移动调制器。
从以下结合附图的详细描述，可以更加清楚理解本发明前述的和其他的目的、特征和优点，其中图1是根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置的立体图；图2是图1的阵列测试装置的测试模块的示意图；图3是图1的阵列测试装置的测试模块的另一个实例的示意图；图4是图1的阵列测试装置的测试模块的剖面图；图5是根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置的测试模块的剖面图；图6是图5的测试模块的仰视图；以及图7至图10是根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置的测试模块的几个实例的剖面图。
具体实施例方式下文将参照附图详细说明根据本发明的阵列测试装置的实施方式。如图1所示，根据本发明第一个实施方式的阵列测试装置10包括将玻璃面板P加载到所述装置上的加载单元20、测试由加载单元20加载的玻璃面板P的测试单元30、以及将已由测试单元30测试的玻璃面板P从所述装置卸载的卸载单元40。加载单元20包括设置在以预定间距相互间隔开的位置处的多个第一支撑板22。 所述多个第一支撑板22支撑待测试的玻璃面板P。卸载单元40包括设置在以预定间距相互间隔开的位置处的多个第二支撑板42。第二支撑板42支撑已测试过的玻璃面板P。贯穿加载单元20的第一支撑板22以及卸载单元40的第二支撑板42分别形成有吹气孔M 和44。经由吹气孔M和44朝玻璃面板P的下表面排出气体，以使玻璃面板P悬浮。另夕卜， 加载单元20和卸载单元40中设置有玻璃面板输送单元70。玻璃面板输送单元70利用吸附力保持玻璃面板P的下表面，并且沿直线方向移动以输送玻璃面板P。测试单元30测试玻璃面板P的电缺陷。测试单元30包括透光支撑板31、测试模块32和探针组件33。由加载单元20加载的玻璃面板P置于透光支撑板31上。测试模块 32测试置于透光支撑板31上的玻璃面板P的电缺陷。探针组件33向置于透光支撑板31 上的玻璃面板P的电极施加电信号。测试模块32设置在测试模块移动单元60上，测试模块移动单元60设置在透光支撑板31上方并沿X轴方向延伸预定长度。测试模块32可沿着测试模块移动单元60在X轴方向移动。测试模块32可以包括沿测试模块移动单元60 延伸的方向(X轴方向)设置的多个测试模块32。如图2所示，测试模块32包括光源321、控制光源321所发出的光的行进方向的半棱镜322、置于玻璃面板P上方并沿面向玻璃面板P的方向定位的调制器120、以及对调制器120摄像的摄像单元90。调制器120包括反射层121、电光材料层122、调制器电极层123和透光块124。反射层121与玻璃面板P相邻。电光材料层122根据玻璃面板P与调制器120之间所产生的电场幅度改变透光率。调制器电极层123与电源(未示出)连接。透光块124设置在调制器电极层123上方。反射层121可以包括薄反射膜，可选地，可以包括反射玻璃层，例如涂覆有反射膜的镜子。与反射层121由反射膜制成的情况相比，在反射层121由反射玻璃制成的情况下可以增加其硬度。由此，可以防止反射层121受损，例如由于与玻璃面板P接触而被划伤。电光材料层122由这样的材料制成当电信号施加于形成在玻璃面板P上的电极以及调制器120的调制器电极层123时，所述材料的特定物理性质会根据玻璃面板P与调制器120之间所产生的电场而变化。例如，电光材料层122可以由根据电场幅度而改变透光率的LC(液晶)制成。可选地，电光材料层122可以由根据电场幅度而沿预定方向定位并将入射光偏振到相应角度的PDLC(聚合物分散液晶)制成。在上述结构中，当电信号施加至玻璃面板P的电极以及调制器120的调制器电极层123时，玻璃面板P与调制器120之间形成电场。形成电光材料层122的电光材料的性质根据电场而变化。由此，在光从光源321发出并经由半棱镜322进入调制器120后，由调制器120的反射层121反射的光量发生变化。此时，摄像单元90对调制器120摄像。随后， 可以通过利用由摄像单元90拍摄的调制器120的图像分析光量来确定玻璃面板P与调制器120之间形成的电场幅度。如果玻璃面板P是有缺陷的，则玻璃面板P与调制器120之间不会形成电场或者电场幅度小于正常情况的电场幅度。这样，可以通过测量电场幅度来确定玻璃面板P是否有缺陷。另外，如上所述，可以按照光反射型来构造测试单元30，在所述光反射型中，光源 321设置在测试模块32中，并且反射层121设置在调制器120中。可选的，如图3所示，可以按照光透射型来构造测试单元30，在所述光透射型中，光源321设置在透光支撑板31下方，换句话说，设置在透光支撑板31的与调制器120面向透光支撑板31的一侧相反的那一侧，使得通过测量光从光源321发出之后经由调制器120所传送的光量来确定玻璃面板P 是否有缺陷。在利用光透射型的测试单元30中，上面放置有玻璃面板P的透光支撑板31是由可透光的材料制成的。另外，在调制器120的面向玻璃面板P的一侧设置有保护层125。 这样，可以依照光反射型或光透射型来构造本发明的阵列测试装置的测试单元30。图4图示可沿远离玻璃面板P的方向移动的调制器120的结构。如图4所示，测试模块32包括固定块110、移动块130和调制器移动单元200。固定块110设置在调制器 120周围。移动块130与调制器120连接，并由固定块110支撑，以便可以相对于玻璃面板 P被抬升。调制器移动单元200设置在固定块110与移动块130之间，并沿远离玻璃面板P 的方向(向上)移动调制器120。具体地，移动块130由固定块110的下端部支撑，以便可以被抬升。由此，调制器 120可以在测试模块32中由移动块130支撑，以便可以被抬升。摄像单元90位于固定块 110上方。调制器移动单元200包括向上朝着移动块130的下部吹气的吹气单元210。吹气单元210包括气体排出口 211，其位于移动块130下方，并且朝移动块130开口 ；气体通道212，其与气体排出口 211连通；以及气体供应单元213，其与气体通道212连通，并经由气体通道212向气体排出口 211提供气体。气体排出口 211可以包括沿移动块130的周向设置在调制器120周围的多个气体排出口 211。在此情况下，期望将气体排出口 211以规则间隔相互隔开，以在移动块130被抬升时保持移动块130水平。另外，延伸部131从移动块 130的外周表面向外延伸，使得延伸部131面向气体排出口 211，由此从气体排出口 211排出的气体吹向延伸部131。气体通道212设计为使得气体排出口 211中的至少一部分嵌入固定块110中。气体供应单元213提供的气体可以包括空气或惰性气体。在这种结构中，当调制器120被置于玻璃面板P上方与玻璃面板P相邻的位置用以测试玻璃面板P时，通过气体供应单元213经由气体排出口 211朝着移动块130向上吹气的操作而排出气体。然后，移动块130通过吹向移动块130的下部的气体被向上抬升。由此，与移动块130联接的调制器120也向上移动，并在与玻璃面板P的上表面间隔开预定距离的位置处保持与玻璃面板P的上表面平行。因此，调制器120和玻璃面板P可以可靠地保持相互间隔开适于产生调制器120与玻璃面板P之间的电场的距离的状态。另外，可以防止调制器120与玻璃面板P碰撞或与玻璃面板P接触。另外，可以通过调节从气体排出口 211排出的气体的压力来控制调制器120与玻璃面板P之间的距离。不同于将气体排放到玻璃面板P上的现有技术，在根据本发明第一个实施方式的具有上述结构的阵列测试装置中，以向上朝着与调制器120联接的移动块130的下部吹气的方式，调制器120可以向上移动并保持在与玻璃面板P隔开适当距离的位置。因此，本发明可以避免可能在将气体排放到玻璃面板P上的现有技术中产生的损坏玻璃面板P或玻璃面板P上的电子器件的问题。下文将参照图5和图6来说明根据本发明第二个实施方式的阵列测试装置。在第二个实施方式的说明中，将使用与第一个实施方式相同的附图标记来表示相同的构件，因此将省略对其的进一步解释。如图5和图6所示，在根据第二个实施方式的阵列测试装置中，沿远离玻璃面板P 的方向(向上)移动调制器120的调制器移动单元200包括向上朝着移动块130的下部吹气的第一吹气单元210。另外，调制器移动单元200还包括从移动块130向玻璃面板P吹气的第二吹气单元220。第一吹气单元210包括气体排出口 211，其位于移动块130下方，并且朝移动块 130开口 ；气体通道212，其与气体排出口 211连通；以及气体供应单元213，其与气体通道 212连通，并经由气体通道212向气体排出口 211供气。第二吹气单元220包括气体排出口 221，其形成在移动块130的下部，并且朝玻璃面板P开口 ；气体通道222，其与气体排出口 221连通；以及气体供应单元223，其与气体通道222连通，并经由气体通道222向气体排出口 221提供气体。气体排出口 221可以包括沿移动块130的周向设置在调制器120周围的多个气体排出口 221。在此情况下，期望气体排出口 211相互间隔开预定的间隔，以在调制器120被抬升时保持调制器120水平。气体通道222设计为使得气体通道222的至少一部分嵌入移动块130中。从气体供应单元213 提供的气体可以包括空气或惰性气体。如图6所示，可以沿调制器120的周向相互交替设置第一吹气单元210的气体排出口 211以及第二吹气单元220的气体排出口 221。在此情况下，从第一吹气单元210的气体排出口 211向上吹出的气体的压力以及从第二吹气单元220的气体排出口 221向下吹出的气体的压力是均勻分布的，并且免于相互干扰。因此，移动块130可以在其被抬升至预定高度时保持水平。如图5所示，可以相互独立地设置第一吹气单元210的气体供应单元213以及第二吹气单元220的气体供应单元223。可选地，如图6所示，第一吹气单元210的气体供应单元213以及第二吹气单元220的气体供应单元223可以包括单一气体供应单元213、223。 在包括单一气体供应单元213、223的结构的情况下，可以简化向气体排出口 211和气体排出口 221提供气体的结构。优选地，在管道214和2 上设置有调节器215和225，调节器 215和225分别将气体通道212和气体通道222与单一气体供应单元213、223连通。调节器215和225的作用是分别控制提供给气体排出口 211和气体排出口 221的气体的压力。在这种结构中，当调制器120被置于玻璃面板P上方的与玻璃面板P相邻的位置以测试玻璃面板P时，从第一吹气单元210的气体排出口 211朝着移动块130的下部向上排出气体。这样，移动块130向上被抬升从而向上移动调制器120。另外，气体从第二吹气单元220的气体排出口 221排放到玻璃面板P上。这样，调制器120借助于排放到玻璃面板P上的气体的压力而进一步向上移动，即沿着远离玻璃面板P的方向向上移动。由于调制器120的这种向上移动，调制器120与玻璃面板P可以相互间隔开适于产生调制器120 与玻璃面板P之间的电场的距离。这样，在根据本发明的第二个实施方式的阵列测试装置中，第一吹气单元210和第二吹气单元220共同执行将调制器120与玻璃面板P分离的操作。由此，与现有技术相比，可以降低排放到玻璃面板P上的气体的压力。因此，本实施方式可以最小化可能发生在将高压气体排放到玻璃面板P上的现有技术中的对玻璃面板P或玻璃面板P上的电子器件造成损伤的问题。另外，在本实施方式中，可以通过调节从第一吹气单元210的气体排出口 211排出的气体以及从第二吹气单元220的气体排出口 221排出的气体的压力来控制调制器120与玻璃面板P之间的距离。期望的是从第一吹气单元210的气体排出口 211排出的气体的压力比从第二吹气单元220的气体排出口 221排出的气体的压力大，从而减小排放到玻璃面板P上的气体的压力，以避免可能由于将气体排放到玻璃面板P上所导致的问题。下文将结合图7至图9详细说明根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置。在第三个实施方式的说明中，将使用与第一个实施方式和第二个实施方式相同的附图标记来表示相同的构件，因此将省略对其的进一步解释。如图7所示，在根据第三个实施方式的阵列测试装置中，沿着远离玻璃面板P的方向(向上)移动调制器120的调制器移动单元200包括第一磁性构件241和第二磁性构件 M2，第一磁性构件241和第二磁性构件242分别设置在固定块110和移动块130上的面向彼此的位置处，使得沿着调制器120被抬升的方向(沿竖直方向)产生斥力。第一磁性构件241和/或第二磁性构件242可以包括永磁体，或可选地包括设置有线圈的电磁体。在本实施方式中，第一磁性构件241安装在固定块110中，第二磁性构件242安装在从移动块 130的外周表面向外延伸的延伸部131中。第一磁性构件241和第二磁性构件242可以包括沿调制器120的周向设置的多个第一磁性构件241和多个第二磁性构件M2。在此情况下，期望第一磁性构件241和第二磁性构件M2以规则的间隔相互隔开，从而在调制器120相对于玻璃面板P被抬升时保持调制器120水平。在这种结构中，当调制器120被置于玻璃面板P上方的与玻璃面板P相邻的位置以测试玻璃面板P时，移动块130借助于第一磁性构件241与第二磁性构件242之间的斥力向上移动，使得调制器120与移动块130 —起向上移动。由于调制器120的这种向上移动，调制器120与玻璃面板P可以相互间隔开适于产生调制器120与玻璃面板P之间的电场的距离。另外，可以通过调节第一磁性构件241与第二磁性构件242之间的磁力的幅度来控制调制器120与玻璃面板P之间的距离。在第一磁性构件241和第二磁性构件242包括电磁体的情况下，可以通过调节施加至线圈的功率的幅度来实施它们之间的磁力幅度的调节。在根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置中，调制器120可以借助于设置在固定块110和移动块130中的位于面向彼此的位置处的第一磁性构件241与第二磁性构件 242之间的斥力而远离玻璃面板P向上移动，并保持在与玻璃面板P间隔开适当距离的位置处。由此，根据第三个实施方式的阵列测试装置可以避免将气体排放到玻璃面板P上的现有技术的结构。因此，根据第三个实施方式的阵列测试装置可以防止可能发生在将高压气体排放到玻璃面板P上的现有技术中的对玻璃面板P或玻璃面板P上的电子器件造成损伤的问题。另外，如图8所示，根据本发明第三个实施的阵列测试装置还可以包括第二吹气单元220，第二吹气单元220从移动块130朝玻璃面板P排出气体。在此情况下，第二吹气单元220以及第一磁性构件241和第二磁性构件242共同执行将调制器120与玻璃面板P 分离的操作。因此，与现有技术相比，可以减小排放到玻璃面板P上的气体的压力，使得可以解决现有技术中的在将高压气体排放到玻璃面板P上时可能导致的问题。由此，可以为调节调制器120与玻璃面板P之间的距离提供便利。可选地，如图9所示，根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置还可以包括向上朝着移动块130的下部吹气的第一吹气单元210。在这种结构的情况下，第一吹气单元 210以及第一磁性构件241和第二磁性构件242共同执行将调制器120与玻璃面板P分离的操作。另外，可以通过调节从第一吹气单元210的气体排出口 211排出的气体的压力来控制调制器120与玻璃面板P之间的距离。由此，可以为调节调制器120与玻璃面板P之间的距离提供便利。另外，如图10所示，根据本发明第三个实施方式的阵列测试装置还可以既包括向上朝着移动块130的下部吹气的第一吹气单元210，也包括从移动块130朝玻璃面板P排出气体的第二吹气单元220。本发明的实施方式所描述的技术主旨可以独立地实施，也可以结合地实施。如上所述，根据本发明的阵列测试装置可以不需要将气体排放到玻璃面板上以将调制器与玻璃面板间隔开预定距离的结构，或者可以构造为使得排放到玻璃面板上的气体的压力减小。因此，本发明可以解决由于排放到玻璃面板上的气体所导致的损伤玻璃面板的问题。
权利要求
1.一种阵列测试装置，包括调制器，所述调制器面向玻璃面板设置；固定块，所述固定块设置在所述调制器周围；移动块，所述移动块与所述调制器联接，所述移动块由所述固定块支撑以能够被抬升；以及调制器移动单元，所述调制器移动单元设置在所述固定块与所述移动块之间，所述调制器移动单元沿远离所述玻璃面板的方向移动所述调制器。
2.如权利要求1所述的阵列测试装置，其中所述调制器移动单元包括第一吹气单元， 所述第一吹气单元向上朝着所述移动块的下部排出气体。
3.如权利要求2所述的阵列测试装置，其中所述调制器移动单元还包括第二吹气单元，所述第二吹气单元从所述移动块朝所述玻璃面板排出气体。
4.如权利要求3所述的阵列测试装置，其中所述第一吹气单元和所述第二吹气单元中的每个包括气体排出口，其中所述第一吹气单元的气体排出口以及所述第二吹气单元的气体排出口沿所述调制器的周向相互交替地设置。
5.如权利要求3所述的阵列测试装置，其中所述第一吹气单元和所述第二吹气单元中的每个包括气体排出口，其中从所述第一吹气单元的气体排出口排出的气体的压力大于从所述第二吹气单元的气体排出口排出的气体的压力。
6.如权利要求1至5中任一项所述的阵列测试装置，其中所述调制器移动单元包括第一磁性构件和第二磁性构件，所述第一磁性构件和第二磁性构件分别设置在所述固定块和所述移动块上，使得所述第一磁性构件和第二磁性构件面向彼此以沿所述调制器被抬升的方向在它们之间产生斥力。
7.如权利要求1所示的阵列测试装置，其中所述调制器移动单元包括第二吹气单元，所述第二吹气单元从所述移动块朝所述玻璃面板排出气体；以及第一磁性构件和第二磁性构件，所述第一磁性构件和第二磁性构件分别设置在所述固定块和所述移动块上，使得所述第一磁性构件和第二磁性构件面向彼此以沿所述调制器被抬升的方向在它们之间产生斥力。
全文摘要
本发明公开一种阵列测试装置。本发明的阵列测试装置可以不需要将气体排放到玻璃面板上以将调制器与玻璃面板间隔开预定距离的结构，或者可以构造为使得排放到玻璃面板上的气体的压力减小。因此，本发明可以解决由于排放到玻璃面板上的气体所导致的损伤玻璃面板的问题。
文档编号G09G3/00GK102568359SQ20111018485
公开日2012年7月11日 申请日期2011年7月4日 优先权日2010年12月30日
发明者潘俊浩 申请人:塔工程有限公司
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