半导体除尘装置制造方法
半导体除尘装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种半导体除尘装置，包括支架，所述的支架上设有工作台，所述的工作台与支架固定连接，所述的工作台上设有工作围板，所述的工作围板与工作台可拆卸连接，所述的工作围板上设有吹尘管，所述的吹尘管与工作围板固定连接，所述的工作台中心位置设有工作孔，所述的工作孔下方连接有吸尘件，所述的吸尘件上端与工作台固定连接，所述的吸尘件下端连接有吸尘装置，所述的吸尘装置与吸尘件固定连接。本实用新型结构简单，使用方便，制作成本较低，且体积小，不占空间，利用本装置对加工产品表面进行吹扫除尘，从而克服了因吹尘导致尘埃颗粒在无尘车间飘浮而造成工件的二次污染，有利地保证了加工产品以及无尘车间的洁净度。
【专利说明】半导体除尘装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及电子半导体领域，更具体的说，本实用新型涉及一种半导体除尘 |101|装直。
【背景技术】
[0002]目前，随着汽车、移动通讯以及遥控技术等应用的发展以及电子产品的微型化发展趋势，对于石英晶体元件的频率稳定度和微功耗方面提出了较高的要求，就石英晶体谐振器产品而言，以前此-4即产品的激励功率通常在100?500111左右，但随着产品小型化发展，产品的激励功率下降到了 0.1?100训，甚至于1?10抓也有出现。了解石英晶体谐振器产品的人们可能知道，石英晶体谐振器在使用中偶然会出现停振或震荡不稳定的现象，根据我们长期的分析总结的经验来看，有很大一部分不良是因为晶体在不同激励状态下其频率、阻抗发生较大变化造成，石英晶体这种随激励功率变化而引起的频率、阻抗变化的特性我们通常称为激励电平相关性⑶⑶)。石英晶体谐振器产品在制造过程中诸多不良因素会导致产品在微小激励或不同激励状态下阻抗和频率特性的恶化，其中最为常见、影响比例最大且最不易可控的就是尘埃颗粒。
[0003]众所周知，石英晶体谐振器生产需在极其严格的无尘车间完成，因为其对于质量的敏感度极高，类似于尘埃、湿气等都能引起石英晶体谐振器性能的变化，因此如何控制制程的尘埃吸附是行业一个永恒的话题。虽然广大石英晶体元件生产厂家大多都建造了无尘车间，员工进入振子加工车间均需更换连体净化工作服和除尘工序，但是在制程中由于设备、工装以及操作人员等方面的多种因素还是会导致各种尘埃的产生，这些尘埃一旦在粘附到石英晶片上不及时去除的话就可能导致产品的阻抗特性变差以及产品在不同激励状态下频率、阻抗特性变化大的问题，这种不良产品在应用时会出现工作不稳定或不能正常工作的问题，这个问题是石英晶体谐振器产品应用中非常普遍的问题，也是较难解决的问题。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于解决现有上述的问题，提供了一种半导体除尘装置。
[0005]为实现以上目的，本实用新型的技术方案是一种半导体除尘装置，包括支架，其特征是，所述的支架上设有工作台，所述的工作台与支架固定连接，所述的工作台上设有工作围板，所述的工作围板与工作台可拆卸连接，所述的工作围板上设有吹尘管，所述的吹尘管与工作围板固定连接，所述的工作台中心位置设有工作孔，所述的工作孔下方连接有吸尘件，所述的吸尘件上端与工作台固定连接，所述的吸尘件下端连接有吸尘装置，所述的吸尘装置与吸尘件固定连接。围板将加工产品密封，防止外部灰尘落如，吹尘管将加工产品表面的灰尘吹走，灰尘落到吸尘件内，通过吸尘装置将灰尘吸走，从而克服了因吹尘导致尘埃颗粒在无尘车间飘浮而造成工件的二次污染，有利地保证了加工产品以及无尘车间的洁净度。
[0006]作为优选，所述的工作孔上方设有工作网，所述的工作网与工作台固定连接。工作网方便灰尘落入吸尘件，从而方便吸尘装置将灰尘吸走。
[0007]作为优选，所述的工作网周边设有压条，所述的压条与工作网焊接固定，所述的压条与工作台固定连接。压条用于固定工作网，工作网还起到承载加工产品的作用。
[0008]作为优选，所述的压条上设有螺钉孔，所述的压条通过压条螺钉与工作台螺纹连接。压条螺钉通过螺钉孔将压条固定在工作台上，方便拆卸维修或更换工作网。
[0009]作为优选，所述的吸尘件包括吸尘接口和吸尘漏斗，所述的吸尘接口与吸尘漏斗焊接固定。吸尘接口用于连接吸尘装置，吸尘漏斗用于承接加工产品表面的灰尘，方便吸尘装置吸走灰尘。
[0010]作为优选，所述的吸尘装置为吸尘器。
[0011]本实用新型具有以下有益效果:结构简单，使用方便，制作成本较低，且体积小，不占空间，可在各需要的工序中进行安装，利用本装置对加工产品表面进行吹扫除尘，从而克服了因吹尘导致尘埃颗粒在无尘车间飘浮而造成工件的二次污染，有利地保证了加工产品以及无尘车间的洁净度。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的一种结构示意图。
[0013]1、支架，2、工作台，3、工作围板，4、吹尘管，5、螺钉孔；6、压条螺钉，7、工作网；8、压条；9、吸尘件；10、吸尘装置，11、吸尘漏斗，12、吸尘接口，13、工作孔。
【具体实施方式】
[0014]下面结合具体实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的说明:
[0015]实施例:半导体除尘装置(见附图1、2?，包括支架1，所述的支架1上设有工作台2，所述的工作台2与支架1固定连接，所述的工作台2上设有工作围板3，所述的工作围板3与工作台2可拆卸连接，所述的工作围板3上设有吹尘管4，所述的吹尘管4与工作围板3固定连接，所述的工作台2中心位置设有工作孔13，所述的工作孔13下方连接有吸尘件9，所述的吸尘件9上端与工作台2固定连接，所述的吸尘件9下端连接有吸尘装置10，所述的吸尘装置10与吸尘件9固定连接，所述的工作孔13上方设有工作网7，所述的工作网7与工作台2固定连接，所述的工作网7周边设有压条8，所述的压条8与工作网7焊接固定，所述的压条8与工作台2固定连接，所述的压条8上设有螺钉孔5，所述的压条8通过压条螺钉6与工作台2螺纹连接，所述的吸尘件9包括吸尘接口 12和吸尘漏斗11，所述的吸尘接口 12与吸尘漏斗11焊接固定，所述的吸尘装置10为吸尘器。
[0016]使用时，从吹尘管吹入氮气，利用高压氮气对加工产品表面进行吹扫，吹落的灰尘通过工作网落入吸尘漏斗内，吸尘器通过吸尘接口将灰尘吸走，完成对半导体加工产品的除尘工序，即可对下一个加工产品进行除尘，本实用新型结构简单，使用方便，制作成本较低，且体积小，不占空间，可在各需要的工序中进行安装，利用本装置对加工产品表面进行吹扫除尘，从而克服了因吹尘导致尘埃颗粒在无尘车间飘浮而造成工件的二次污染，有利地保证了加工产品以及无尘车间的洁净度。
[0017]上述【具体实施方式】用来解释说明本实用新型，而不是对本实用新型进行限制，在本实用新型的精神和权利要求的保护范围内，对本实用新型做出的任何修改和改变，都落入本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种半导体除尘装置，包括支架，其特征是，所述的支架上设有工作台，所述的工作台与支架固定连接，所述的工作台上设有工作围板，所述的工作围板与工作台可拆卸连接，所述的工作围板上设有吹尘管，所述的吹尘管与工作围板固定连接，所述的工作台中心位置设有工作孔，所述的工作孔下方连接有吸尘件，所述的吸尘件上端与工作台固定连接，所述的吸尘件下端连接有吸尘装置，所述的吸尘装置与吸尘件固定连接。
2.根据权利要求1所述的半导体除尘装置，其特征是，所述的工作孔上方设有工作网，所述的工作网与工作台固定连接。
3.根据权利要求2所述的半导体除尘装置，其特征是，所述的工作网周边设有压条，所述的压条与工作网焊接固定，所述的压条与工作台固定连接。
4.根据权利要求3所述的半导体除尘装置，其特征是，所述的压条上设有螺钉孔，所述的压条通过压条螺钉与工作台螺纹连接。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的半导体除尘装置，其特征是，所述的吸尘件包括吸尘接口和吸尘漏斗，所述的吸尘接口与吸尘漏斗焊接固定。
6.根据权利要求1或2或3或4所述的半导体除尘装置，其特征是，所述的吸尘装置为吸尘器。
【文档编号】B08B15/02GK204122436SQ201420522292
【公开日】2015年1月28日 申请日期:2014年9月12日 优先权日:2014年9月12日
【发明者】马剑锋 申请人:舟山润达电子有限公司
【专利摘要】本实用新型公开了一种半导体除尘装置，包括支架，所述的支架上设有工作台，所述的工作台与支架固定连接，所述的工作台上设有工作围板，所述的工作围板与工作台可拆卸连接，所述的工作围板上设有吹尘管，所述的吹尘管与工作围板固定连接，所述的工作台中心位置设有工作孔，所述的工作孔下方连接有吸尘件，所述的吸尘件上端与工作台固定连接，所述的吸尘件下端连接有吸尘装置，所述的吸尘装置与吸尘件固定连接。本实用新型结构简单，使用方便，制作成本较低，且体积小，不占空间，利用本装置对加工产品表面进行吹扫除尘，从而克服了因吹尘导致尘埃颗粒在无尘车间飘浮而造成工件的二次污染，有利地保证了加工产品以及无尘车间的洁净度。
【专利说明】半导体除尘装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及电子半导体领域，更具体的说，本实用新型涉及一种半导体除尘 |101|装直。
【背景技术】
[0002]目前，随着汽车、移动通讯以及遥控技术等应用的发展以及电子产品的微型化发展趋势，对于石英晶体元件的频率稳定度和微功耗方面提出了较高的要求，就石英晶体谐振器产品而言，以前此-4即产品的激励功率通常在100?500111左右，但随着产品小型化发展，产品的激励功率下降到了 0.1?100训，甚至于1?10抓也有出现。了解石英晶体谐振器产品的人们可能知道，石英晶体谐振器在使用中偶然会出现停振或震荡不稳定的现象，根据我们长期的分析总结的经验来看，有很大一部分不良是因为晶体在不同激励状态下其频率、阻抗发生较大变化造成，石英晶体这种随激励功率变化而引起的频率、阻抗变化的特性我们通常称为激励电平相关性⑶⑶)。石英晶体谐振器产品在制造过程中诸多不良因素会导致产品在微小激励或不同激励状态下阻抗和频率特性的恶化，其中最为常见、影响比例最大且最不易可控的就是尘埃颗粒。
[0003]众所周知，石英晶体谐振器生产需在极其严格的无尘车间完成，因为其对于质量的敏感度极高，类似于尘埃、湿气等都能引起石英晶体谐振器性能的变化，因此如何控制制程的尘埃吸附是行业一个永恒的话题。虽然广大石英晶体元件生产厂家大多都建造了无尘车间，员工进入振子加工车间均需更换连体净化工作服和除尘工序，但是在制程中由于设备、工装以及操作人员等方面的多种因素还是会导致各种尘埃的产生，这些尘埃一旦在粘附到石英晶片上不及时去除的话就可能导致产品的阻抗特性变差以及产品在不同激励状态下频率、阻抗特性变化大的问题，这种不良产品在应用时会出现工作不稳定或不能正常工作的问题，这个问题是石英晶体谐振器产品应用中非常普遍的问题，也是较难解决的问题。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于解决现有上述的问题，提供了一种半导体除尘装置。
[0005]为实现以上目的，本实用新型的技术方案是一种半导体除尘装置，包括支架，其特征是，所述的支架上设有工作台，所述的工作台与支架固定连接，所述的工作台上设有工作围板，所述的工作围板与工作台可拆卸连接，所述的工作围板上设有吹尘管，所述的吹尘管与工作围板固定连接，所述的工作台中心位置设有工作孔，所述的工作孔下方连接有吸尘件，所述的吸尘件上端与工作台固定连接，所述的吸尘件下端连接有吸尘装置，所述的吸尘装置与吸尘件固定连接。围板将加工产品密封，防止外部灰尘落如，吹尘管将加工产品表面的灰尘吹走，灰尘落到吸尘件内，通过吸尘装置将灰尘吸走，从而克服了因吹尘导致尘埃颗粒在无尘车间飘浮而造成工件的二次污染，有利地保证了加工产品以及无尘车间的洁净度。
[0006]作为优选，所述的工作孔上方设有工作网，所述的工作网与工作台固定连接。工作网方便灰尘落入吸尘件，从而方便吸尘装置将灰尘吸走。
[0007]作为优选，所述的工作网周边设有压条，所述的压条与工作网焊接固定，所述的压条与工作台固定连接。压条用于固定工作网，工作网还起到承载加工产品的作用。
[0008]作为优选，所述的压条上设有螺钉孔，所述的压条通过压条螺钉与工作台螺纹连接。压条螺钉通过螺钉孔将压条固定在工作台上，方便拆卸维修或更换工作网。
[0009]作为优选，所述的吸尘件包括吸尘接口和吸尘漏斗，所述的吸尘接口与吸尘漏斗焊接固定。吸尘接口用于连接吸尘装置，吸尘漏斗用于承接加工产品表面的灰尘，方便吸尘装置吸走灰尘。
[0010]作为优选，所述的吸尘装置为吸尘器。
[0011]本实用新型具有以下有益效果:结构简单，使用方便，制作成本较低，且体积小，不占空间，可在各需要的工序中进行安装，利用本装置对加工产品表面进行吹扫除尘，从而克服了因吹尘导致尘埃颗粒在无尘车间飘浮而造成工件的二次污染，有利地保证了加工产品以及无尘车间的洁净度。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的一种结构示意图。
[0013]1、支架，2、工作台，3、工作围板，4、吹尘管，5、螺钉孔；6、压条螺钉，7、工作网；8、压条；9、吸尘件；10、吸尘装置，11、吸尘漏斗，12、吸尘接口，13、工作孔。
【具体实施方式】
[0014]下面结合具体实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的说明:
[0015]实施例:半导体除尘装置(见附图1、2?，包括支架1，所述的支架1上设有工作台2，所述的工作台2与支架1固定连接，所述的工作台2上设有工作围板3，所述的工作围板3与工作台2可拆卸连接，所述的工作围板3上设有吹尘管4，所述的吹尘管4与工作围板3固定连接，所述的工作台2中心位置设有工作孔13，所述的工作孔13下方连接有吸尘件9，所述的吸尘件9上端与工作台2固定连接，所述的吸尘件9下端连接有吸尘装置10，所述的吸尘装置10与吸尘件9固定连接，所述的工作孔13上方设有工作网7，所述的工作网7与工作台2固定连接，所述的工作网7周边设有压条8，所述的压条8与工作网7焊接固定，所述的压条8与工作台2固定连接，所述的压条8上设有螺钉孔5，所述的压条8通过压条螺钉6与工作台2螺纹连接，所述的吸尘件9包括吸尘接口 12和吸尘漏斗11，所述的吸尘接口 12与吸尘漏斗11焊接固定，所述的吸尘装置10为吸尘器。
[0016]使用时，从吹尘管吹入氮气，利用高压氮气对加工产品表面进行吹扫，吹落的灰尘通过工作网落入吸尘漏斗内，吸尘器通过吸尘接口将灰尘吸走，完成对半导体加工产品的除尘工序，即可对下一个加工产品进行除尘，本实用新型结构简单，使用方便，制作成本较低，且体积小，不占空间，可在各需要的工序中进行安装，利用本装置对加工产品表面进行吹扫除尘，从而克服了因吹尘导致尘埃颗粒在无尘车间飘浮而造成工件的二次污染，有利地保证了加工产品以及无尘车间的洁净度。
[0017]上述【具体实施方式】用来解释说明本实用新型，而不是对本实用新型进行限制，在本实用新型的精神和权利要求的保护范围内，对本实用新型做出的任何修改和改变，都落入本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种半导体除尘装置，包括支架，其特征是，所述的支架上设有工作台，所述的工作台与支架固定连接，所述的工作台上设有工作围板，所述的工作围板与工作台可拆卸连接，所述的工作围板上设有吹尘管，所述的吹尘管与工作围板固定连接，所述的工作台中心位置设有工作孔，所述的工作孔下方连接有吸尘件，所述的吸尘件上端与工作台固定连接，所述的吸尘件下端连接有吸尘装置，所述的吸尘装置与吸尘件固定连接。
2.根据权利要求1所述的半导体除尘装置，其特征是，所述的工作孔上方设有工作网，所述的工作网与工作台固定连接。
3.根据权利要求2所述的半导体除尘装置，其特征是，所述的工作网周边设有压条，所述的压条与工作网焊接固定，所述的压条与工作台固定连接。
4.根据权利要求3所述的半导体除尘装置，其特征是，所述的压条上设有螺钉孔，所述的压条通过压条螺钉与工作台螺纹连接。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的半导体除尘装置，其特征是，所述的吸尘件包括吸尘接口和吸尘漏斗，所述的吸尘接口与吸尘漏斗焊接固定。
6.根据权利要求1或2或3或4所述的半导体除尘装置，其特征是，所述的吸尘装置为吸尘器。
【文档编号】B08B15/02GK204122436SQ201420522292
【公开日】2015年1月28日 申请日期:2014年9月12日 优先权日:2014年9月12日
【发明者】马剑锋 申请人:舟山润达电子有限公司
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