电消除装置的制作方法

xiaoxiao2020-09-10  1

专利名称:电消除装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种电消除装置,其用于消除被正电荷或负电荷所 充电的主体所带的电。
背景技术
已知一种通过产生正离子或负离子来消除带电主体所带的电的
电消除装置(日本未审査专利公开No. 2000-58290以及日本未审査专 利公开No. 2003-86393)。该电消除装置通过在电极针上加载高电压 以形成电晕放电而产生离子,于是该电消除装置会具有这样的问题, 即离子产生能力由于电极针的磨损和腐蚀而随时间退化。
为了解决上述问题,日本未审査专利公开No. 2003-86393公开 了一种基于电消除装置的技术,该电消除装置用于通过将具有不同极 性的高电压交替地加载在公共电极针上来交替地产生正离子和负离 子,并且在正电压加载以后负电压加载之前提供没有电压加载的时间 段,例如,还对将要加载到电极针的电压进行调整从而使得离子平衡 在该时间段到来之前迅速变为中性。根据发明2003-86393的公开, 通过提供一个介于加载具有不同极性的电压之间的时间段,降低了电 极针的实际工作时间长度,因此抑制了电极针的磨损和腐蚀并适当地 保持了离子平衡。

发明内容
本发明的目标是提供能有效地消除带电主体所带的电的同时抑 制电极针的磨损和腐蚀的电消除装置。
根据本发明,上述技术问题可通过提供一种电消除装置来解决, 所述电消除装置能通过在电极针上加载高电压来产生离子,所述电消
除装置包括用来产生离子的电极;连接至电极电压电路,用来产生正电压和负电压电源来为所述电极提供电能;自放电检测电路,当所
述电极针上没有加载高电压时所述自放电检测电路对所述电极针的
自放电进行检测;以及控制单元,用于控制由所述电压电路所产生的 正电压和负电压,使其处于所述电极不主动产生离子的第一状态和所 述电极主动产生离子的第二状态中的一个。其中当所述自放电检测电 路在所述电极针被暂停运行(halt)的暂停期间内检测到所述电极针 的自放电时,用于将高电压加载在所述电极针上以产生离子的电消除 操作被启动,其中所述暂停周期被包括在暂停模式中,并且当所述带 电主体所带的电被消除了以后所述电消除操作被终止且所述暂停周 期重新开始。
根据本发明,当电极针被暂停运行时,带电主体的出现使得在 所述电极针的尖端感应出了与所述带电主体的极性相反的电荷,并且 这使得自放电很容易的产生了。此外,通过利用在所述装置中布置的 所述自放电检测电路来检测所述自放电的产生,不仅可以检测带电主 体的出现而且可以启动所述电消除操作。于是,可以利用所述电消除 装置自身自动地检测带电主体的出现并且利用所述电消除装置消除 电,而无需依靠外部传感器。于是,电极针通常地处于准备状态而不 会被加载高电压,因此抑制了所述电极针的磨损和腐蚀并且有效地消 除了所述带电主体所带的电。
所述自放电检测电路可以是用于对流经布置在所述电极针和高 电压产生电路之间的电阻的电流的值进行检测的电路,或者是用于对 流经布置在所述电极针和地之间的电阻的电流的值进行检测的电路。 根据流经所述电阻的电流的绝对值,不仅可以检测自放电,而且可以 获悉电消除的效果,因为当带电主体所带的电荷总数减少的时候流经 所述电阻的电流的值(绝对值)也变小了。因此,通过在流经所述电 阻的电流的值(绝对值)超过第一阈值的时候认为检测到自放电,并 启动所述电消除操作,以及在流经所述电阻的电流的绝对值低于第二 阈值的时候认为满足终止条件,并终止所述电消除操作,可以在暂停 模式下按照对应于带电主体的出现的方式控制电消除操作。应该理解 的是,可以使用计时器来终止所述电消除操作,于是所述电消除操作
在所述电消除操作启动后的一个预定的时间段以后被终止从而所述 暂停周期重新开始。
根据本发明的优选实施例,暂停模式通常处于暂停状态并且电 消除操作根据带电主体的出现而被执行,除了上述暂停模式以外还提 供了电消除模式,其中在所述电消除模式中高电压被加载在电极针上 以产生离子,而所述电消除模式和所述暂停模式可以根据用户通过对 模式选择器的操作进行选择而随意设置。于是,用户可以根据电消除 装置所放置的地点的环境相应地选择对电消除装置的操作。
在暂停模式中,所述暂停周期和离子产生周期交替地被设置, 其中在离子产生周期中电极针被加载了高电压。根据这种设置,可以 利用在离子产生周期中产生的离子来消除轻微带电的带电主体所带 的电。虽然所述暂停周期和所述离子产生周期的时间长度被固定,但
是应该理解的是所述暂停周期和所述离子产生周期的时间长度优选 地是可以被用户所任意地设置的。
在暂停模式中,优选地提供了在所述暂停周期和所述离子产生 周期或电消除操作之间的过渡周期。具体地说,通过在从电消除操作 或所述离子产生周期到所述暂停周期的过渡期内逐渐减小加载在所 述电极针的电压,可以根据在所述离子产生周期或电消除操作期间最 后被加载的高电压的极性而在所述暂停周期内抑制所述电极针周围 的空气中的未平衡离子。另一方面,通过在从所述暂停周期到所述离 子产生周期或电消除操作的过渡期内逐渐增大加载在所述电极针的 电压,可以抑制这样的问题发生所述带电主体由于要被进行电消除 的主体暴露在离子中而发生感应,所述离子是紧接着所述离子产生周 期或电消除操作之后在所述电极针附近突然产生的。
所述电消除装置还可以包括峰值检测单元来对流经所述电阻的 电流的峰值进行检测。其中控制单元把在从对应于第一状态的电极电 压切换至对应于第二状态的电极电压之后经过预定时间段确定为满 足终止条件。根据由所述峰值检测单元检测到的峰值的绝对值大小来 调节该预定时间段,于是,当所述绝对值较大时相比较于所述绝对值 较小时的情况而言延长预定的时间段,并且当所述绝对值较小时相比
较于所述绝对值较大时的情况而言缩短预定的时间段。
根据本发明的优选实施例,所述电消除装置除包括峰值检测单 元外还可包括电流减小速度检测单元,其用于当流经所述电阻的电流 的峰值绝对值逐渐变小时,对绝对值减小的速度进行检测。其中控制 单元把在从对应于第一状态的电极电压切换至对应于第二状态的电 极电压之后经过预定时间段确定为满足终止条件。根据由所述电流减 小速度检测单元在峰值的绝对值减小时检测到的减小速度来调节该 预定时间段,于是,当所述减小速度较小时相比较于所述减小速度较 大时的情况而言所述预定的时间段被延长,并且当所述减小速度较大 时相比较于所述减小速度较小时的情况而言所述预定的时间段被縮 短。
根据本发明的电消除装置,对应于第一状态的电压可以是处于 电压电路未对电极提供任何电压的状态下的电极电压,也可以是处于 在电极周围未产生离子的状态下的电极电压。当满足终止条件时,控 制单元逐渐将对应于第二状态的电压降低至对应于第一状态的电压。 反之,当自放电检测电路检测到自放电时,控制单元将对应于第一状 态的电压逐渐增加至对应于第二状态的电压。
另外,根据本发明的优选实施例,所述电消除装置还可以包括 用于控制离子平衡的离子平衡控制器、存储电极电压的存储器、和用 来确定要为电极提供的正电压和负电压的确定单元。当自放电检测电 路检测到自放电时,电压电路受控来将确定单元所确定的正电压和负 电压提供给电极。


图1示出了根据一个实施例的电消除装置的电路图2示出了根据该实施例的电消除装置修改后的电路图的一个
示例;
图3示出了用于在电消除装置中在电消除模式时加载高电压的 方法的示例的示意图,其中电消除模式和暂停模式可被选择性地设 置; 图4示出了用于在电消除装置中在电消除模式时加载高电压的 方法的另一个示例的示意图,其中电消除模式和暂停模式可被选择性 地设置;
图5示出了用于在电消除装置中在电消除模式时加载高电压的 方法的又一个示例的示意图,其中电消除模式和暂停模式可被选择性 地设置;
图6A和6B示出了暂停模式中的控制模式的示例,其中暂停模 式包括暂停周期和离子产生周期;图6A示出了在暂停模式的暂停周 期内在电极针上加载了不产生离子的低电平电压的示例;图6B示出 了在暂停模式的暂停周期内没有对电极针加载电压的示例;
图7A和7B示出了暂停模式中的控制模式的示例,其中暂停模 式仅仅包括暂停周期而不包括离子产生周期;图7A示出了在暂停模 式(暂停周期)内在电极针上加载了不产生离子的低电平电压的示例; 图7B示出了在暂停模式(暂停周期)内没有对电极针加载电压的示
例;
图8示出了当带电主体被处于暂停模式的电消除装置的内部电 路以与处于电消除模式时相同的方式所检测到的时候,控制通过加载 高电压至电极针上来执行电消除操作的示例,并且示出了利用阈值来 启动和终止电消除操作的示例;
图9示出了当在暂停模式的暂停周期内出现带电主体时执行电 消除操作的另一个示例,并且示出了利用计时器来启动和终止电消除 操作的示例;
图IO示出了当在暂停模式的暂停周期内出现带电主体时执行电 消除操作的又一个示例,并且示出了用来终止电消除操作的计时器被 可变地控制的示例;
图ll示出了当在暂停模式的暂停周期内出现带电主体时执行电 消除操作的另一个示例,并且示出了用来终止电消除操作的计时器被 可变地控制的另一个示例;
图12示出了在出现带电主体时执行电消除操作的控制中,在暂 停周期内在电极针上持续加载不产生离子的低电平电压的示例;
图13A和13B示出了处于离子产生周期终止之后或电消除操作
终止之后暂停周期之前的第一阶段过渡期内加载在电极针上的电压
逐渐减小的示例;图13A示出了在暂停周期内电极针上没有加载电压 的示例;图13B示出了在暂停周期内在电极针上加载了不产生离子的 低电压的示例;
图14A和14B示出了处于暂停周期之后离子产生周期之前或电 消除操作之前的第二阶段过渡期内加载在电极针上的电压逐渐增大 的示例;图14A示出了在暂停周期内电极针上没有加载电压的示例; 图14B示出了在暂停周期内在电极针上加载了不产生离子的低电压 的示例;
图15A和15B示出了处于离子产生周期终止之后或电消除操作 终止之后暂停周期之前的第一阶段过渡期以及处于暂停周期之后离 子产生周期之前或电消除操作之前的第二阶段过渡期的示例;图15A 示出了在暂停周期内电极针上没有加载电压的示例;图15B示出了在 暂停周期内在电极针上加载了不产生离子的低电压的示例;
图16示出了实施例中的电消除装置,其配置有位于用来供应压 縮气体的外部管道之间的开关阀门或开口调节阀门,该电消除装置通 过为开关阀门或开口调节阀门提供一个由用于控制电消除装置的内 部信号所产生的外部信号来对提供至电消除装置的压縮气体进行控 制;
图17示出了用于说明一个示例的图示,在该示例中,为了在暂 停周期中当带电主体出现时启动或者终止电消除操作,在电消除装置 内部与启动和终止同步地产生内部信号;
图18示出了在图8中所示的控制示例的流程图,其中在暂停模 式的暂停周期中,当电消除装置的内部电路检测到带电主体时,执行 电消除操作,并且电消除操作利用一个阈值而启动或终止;
图19示出了在图9中所示的控制示例的流程图,其中在暂停模 式的暂停周期中,当电消除装置的内部电路检测到带电主体时,执行 电消除操作,并且电消除操作利用一个阈值而启动并利用一个计时器 而终止;
图20示出了在图10中所示的控制示例的流程图,其中在暂停 模式的暂停周期中,当电消除装置的内部电路检测到带电主体时,执 行电消除操作,并且电消除操作利用一个阈值而启动并利用一个计时 器而终止并且计时器时间被调节;
图21示出了在图11中所示的控制示例的流程图,其中在暂停 模式的暂停周期中,当电消除装置的内部电路检测到带电主体时,执 行电消除操作,并且电消除操作利用一个阈值而启动并利用一个计时 器而终止并且计时器时间被调节;
图22A和22B示出了用于说明一个特定方法的图示,该方法用 于控制实施例中的电消除装置内的离子平衡;图22A示出了当离子平 衡偏向正侧时的控制示例,图22B示出了当离子平衡偏向负侧时的控 制示例;
图23示出了说明 一种用于控制实施例中的电消除装置内的离子 平衡的特定方法的图示,以及通过对应于离子平衡偏移的数值来改变 正或负高电压的平均值的控制示例;
图24示出了一个流程图,该流程图示出了一种控制示例,其中, 在电消除装置执行包括离子产生周期和暂停周期的暂停模式的暂停 周期内,停止对加载在电极针上的电压值的采样;和
图25示出了一幅图示,其中说明了当在图24中的离子产生周 期内采样的数据被存储至存储器时,在暂停周期内传递至存储器的传 输可被数字处理取消。
具体实施例方式
以下参考附图描述了根据本发明的优选实施例。 图1是根据一个实施例的电消除装置的电路图。在图1中,数 字1代表了直流电源,其由诸如蓄电池的外部直流电源所构成。数字 2a和数字2b分别代表了布置在直流电源l输出侧的第一开关和第二 开关。第一开关2a和第二开关2b的打开和闭合是由来自控制单元3 的控制信号Sa和Sb所控制。当然,诸如晶体管的电子开关可以用作 第一开关2a和第二开关2b。 直流电源1的正极通过第一开关2a与具有正极性的第一髙电压 产生电路5相连接,其中第一高电压产生电路5包括变压器5a和倍 压整流器电路5b。另一方面,直流电源1的负极通过第二开关2b与 具有负极性的第二高电压产生电路6相连接,其中第二高电压产生电 路6包括变压器6a和倍压整流器电路6b。
高电压产生电路5和6通过两个电阻Rl和Rl分别连接到电极 针4,其中两个电阻Rl和Rl的阻值相等并且都作为限流阻抗。随后, 电极针4通过第二电阻R2接地。
通过利用从控制单元3输出的控制信号Sa和Sb来交替地打开 和闭合第一开关2a和第二开关2b,脉冲形式的负或正高电压从第一 高电压产生电路5和第二高电压产生电路6以预定的频率交替地加载 到电极针4上。于是,正或负离子在电极针4上被交替地产生出来。
对电消除装置的控制包括电消除模式和暂停模式。在电消除模 式中,通过在电极针4上加载高电压以产生离子,即在电极针4上加 载能电离电极针4周围的空气的电压,以使带电主体所带的电被完全 地消除。在暂停模式中,通过暂停在电极针4上加载高电压从而不再 产生离子,即,通过在电极针4上不加载电压或者加载一个不能独自 电离电极针4周围的空气的电压使电极针4大致进入暂停状态。电消 除模式和暂停模式可以通过用户可操作的一个模式选择开关11 (图 1)而选择性地被设置。
与此同时,在暂停模式中运行时,当与能够自放电的电极针4 具有电势差的带电主体出现在电极针4前时,具有与带电主体相反极 性的电荷在电极针4的尖端被感应出来。于是发生自放电现象。通过 在电消除装置的内部电路中产生的信号可以知道自放电现象的发生。 具体地说,存在这样的一种方法,为了直接或间接检测自放电时流经 电极针4的电流,在电极针4与地之间或者在高电压产生电路5和6 与电极针4之间布置一个电阻,并且检测流经电阻的电流的值,如果 电流的值等于或者大于一个阈值那么就可以确定自放电发生了。具体 地说,示例包括(1)为了检测流经高电压电源和地之间的自放电检 测电流,插入了一个电阻,并且检测流经电阻的电流值从而间接地对 自放电进行检测;(2)为了检测流经相反电极(opposite electrode) 和地之间的自放电检测电流,插入了一个电阻,并且检测流经电阻的 电流值从而直接地对自放电进行检测;(3)结合(1)和(2),艮P, 为了检测流经高电压电源和地之间的自放电检测电流,插入了一个电 阻,而为了检测流经相反电极和地之间的自放电检测电流,插入了电 阻R2,并由此检测自放电(图1);以及(4)电阻R2被布置在电极 针和高电压电源之间,并且检测流经电阻的自放电检测电流值从而直 接地检测自放电(图2)。
当采用了上述自放电检测单元(1)到(3)中的一个,即,检 测流经地的电流的自放电检测电路时,那么同样可以利用这个电路至 少在电消除模式中作为用于在电消除中检测离子平衡的检测单元。具 体地说,对于流经每个电阻的电流的值,以及在该周期中流经这些电 阻的总电流的值,如果基于当前设置的负和正之间的占空比的电消除 是合适的,那么可以认为该占空比是合适的并且在下一个周期中采用 类似的占空比。另一方面,如果基于当前设置的负和正之间的占空比 的电消除是不合适的,则该周期中流经电阻的总电流的值偏向正或 负,那么在下一个周期中基于这个数值采用了一个通过校正当前占空 比而获得的占空比来更恰当地执行电消除。因此,电消除装置被控制 以使得图l中所示的电路根据来自模式选择开关3的信号而在电消除 模式和暂停模式中使用由电阻R2提供的电流值的数据。当然,在暂 停模式中,当出于电消除的目的而把高电压加载到电极针4上时可以 利用流经电阻R2的电流值进行离子平衡控制。
如图1和图2所示,流经与自放电相关的电路的自放电检测电 流通过放大器8、低通滤波器(LPF) 9、和模数转换器(A/D)被提 供到控制单元3。
如图3所示,在电消除模式中,具有不同极性的脉冲形式的高 电压被交替地并不断地加载至电极针4上。图4和图5示出了在电消 除模式中运行的修改的示例。如图4所示,可以在高电压的正侧与接 下来的负侧之间以及负侧与接下来的正侧之间插入不加载高电压的 时间段,这样便延长了电极针4的使用寿命。也可以做出另一种修改,
如图5所示,其中通过在正侧加载高电压而产生正离子,随后,负侧 的高电压被加载至电极针4上并持续一小段时间,随后,在一段时间 以后,通过以同样的方式在负侧加载高电压而产生负离子,随后,相
反极性(正侧)的高电压被加载至电极针4上并持续一小段时间,随
后,经过一段时间以后,通过在正侧加载高电压而产生了正离子。根
据图5所示的在另一个修改的示例中加载高电压的方法,可以通过产 生正离子并随后加载具有反向极性的电压至电极针4并持续一小段 时间来中和残存在通向电极针4的高电压加载路径中的正电压。此 外,还可以通过在电极针4上加载用于中和的电压来降低对于电极针 4的腐蚀程度。
当然,为了控制由于在电极针4上加载高电压而产生的正离子 和负离子之间的平衡,例如,当离子平衡在负侧时,通过执行占空控 制来相应地增加正的高电压的脉冲宽度,从而可以保持电极针4周围 空气的离子平衡。例如,日本未审査专利公开No. 2003-86393详细地 描述了离子平衡控制,并且所述公开的内容并入本文。在这个实施例 中,在电消除模式中,基于在前面所执行过的一个或者多个占空比而 确定占空比,其中在电极针4上按照占空比来加载具有正极性的高电 压和具有负极性的高电压。
在暂停模式中,电极针4上完全没有加载电压。随后,当根据 流经电消除装置内部电路的第二电阻R2的电流值检测到未加载电压 的暂停周期内所发生的自放电时,启动电消除操作。随后,在经过时 间段以后或者对带电主体所进行的电消除完成以后,操作进入暂停周 期。即,在暂停模式中电极针4上的电压加载基本被暂停,并且只有 当检测到带电主体出现在电消除区域内的时候,电消除操作才被执 行。随后,带电主体进入电消除区域被电消除装置的内部电路所检测。
以下详细地描述了电消除模式。图6和图7示出了暂停模式中 的控制的示例。图6A示出了作为第一示例的暂停模式(1),而图 6B示出了作为第二示例的暂停模式(2),图7A示出了作为第三示 例的暂停模式(3),图7B示出了作为第四示例的暂停模式(4)。
除了并不产生离子且为一预定的周期的暂停周期之外,图6A和
图6B所示的暂停模式(1)和(2)中的控制模式还包括处于暂停周
期之前和之后预定的周期,以及通过在电极针4上加载高电压而产生
离子的离子产生周期。作为一种用于设定与暂停周期有关的那些预定 周期的方法,可以设置针对电消除装置的一些周期,或者用户可以根 据多个脉冲或时间而随意地进行设置。作为一种用于对与离子产生周 期有关的预定周期进行设定的方法,可以设置针对于电消除装置的一 些周期,或者用户可以根据多个脉冲或时间而随意地进行设置。
图7A和图7B所示的暂停模式(3)和(4)中的控制模式仅仅 包括暂停周期。因此,在暂停模式(3)和(4)中的控制模式中的暂 停周期不包括那些预定的周期,并且暂停周期一直持续,直到由于检 测到被充电至超过一个预定数值的带电主体而启动电消除操作。此 外,参见图6和图7,在暂停周期中,只要被充电至超过一个预定数 值的带电主体在电消除区域内出现,就可以在电极针4上加载不产生 离子的电压(图6A中的暂停模式(l),以及图7A中的暂停模式(3)), 或者在电极针4上不加载任何电压(暂停加载电压)(图6B中的暂 停模式(2),以及图7B中的暂停模式(4))。
当采用了图6A和图7A所示的暂停模式(1)和(3)时,在暂 停周期内,在电极4上加载一个低于放电开始时电压的电压会降低电 极针4和带电主体之间的电势差,因此改进了对轻微带电的带电主体 的灵敏度。
在如图6B和图7B所示的暂停模式(2)和(4)中在暂停周期 内暂停在电极针4上加载电压的时候,例如,假设能够通过在电极针 4上加载高电压而使得电极针4周围的空气电离的电压值为3kV,那 么在电极针4和带电主体之间的电势差超过阈值(例如3 kV)的时 候在暂停周期内在电极针4上发生自放电,并且自放电被电消除装置 内的电路检测到(流经第二电阻的电流值),于是启动电消除操作。 例如,在这个电消除操作中加载在电极针4上的电压值是5. 3 kV。
在如图6A和图7A所示的暂停模式(1)和(3)中在暂停周期 内暂停在电极针4上加载一个相对低(例如2 kV)的电压的时候, 那么在暂停周期内在电极针4和带电主体之间的电势差超过阈值(例
如1 kV)的时候在电极针4上发生自放电,并且通过流经第二电阻
R2的(电流值而检测到自放电,从而将一个能电离电极针4周围空气 的高电压(例如5.3 KV)加载在电极针4上(启动电消除操作)。 该电消除操作与在电消除模式中所描述的操作完全一样。按照这个方 式,在暂停周期内加载一个相对较低的高电压有助于增加对带电主体 进行检测的灵敏度。于是,不需要外部传感器来检测带电主体是否进 入电消除区域(带电主体的出现),电消除操作可以仅仅在带电主体 出现的时候利用电消除装置内部电路来执行。换言之,由于当带电主 体不出现的时候可以保持禁止利用电极针4产生离子的状态,这样抑 制了电极4的磨损以及对其的附带腐蚀。
显然,上述基于图6和图7的控制中的"阈值"并不是一个存 储在存储器中的"阈值"或者类似的预先知道的值,而是在根据图6 和图7所示的暂停模式中的暂停周期内加载在电极针4上的电压或没 有电压加载的状态中地与电极针4之间的电势差而确定的,也可以是 根据能电离电极针4周围的空气的电势差而确定的。然而,在暂停模 式中的暂停周期内没有电压加载在电极针4上时,阈值可以等于或者 大于3 KV,并且不一定必须是3 KV。类似地,在暂停模式中的暂停 周期内,当加载了一个相对低的高电压时,如果即将加载至电极针4 上的电压值为2KV,那么阈值可等于或大于1KV,不一定必须是1KV。 于是,根据上述逻辑,所述"阈值"对于电消除装置而言在暂停模式 中可以是固定值,或者通过自动地设置一个最小值作为"阈值"并将 最大值作为要在电消除模式中加载的电压值,用户可以设置任何一个 其认为合适的处于最小值和最大值之间的数值作为"阈值"。
如上所述,在暂停模式中可以根据"阈值"来进行切换以终止 暂停周期并启动电消除操作,也可以根据流经第二电阻R2 (图1和 图2)的电流i的值(被放大器7放大的绝对值)来执行切换以终止 电消除操作并重新开始暂停周期。图8示出了控制的示例,其中在暂 停模式的暂停周期内,检测带电主体而执行电消除操作,以及终止电 消除操作而重新开始暂停周期。参见图8,当自放电检测电流的绝对 值I i I超过第一阈值(例如对应于3KV的电流值)时,暂停周斯被终止而电消除操作开始。随后,当带电主体的电消除继续进行而自放 电检测电流的绝对值I i I低于第二阈值(例如对应于低于1KV的电 流值)时,电消除操作被终止而暂停周期重新开始。换言之,图8 所示的控制的示例是这样一个示例,其中在暂停模式中电消除操作的 启动和终止都是利用阈值完成的。
作为在暂停模式中执行的一种特定的电消除控制,其可以采用
与参考图3到图5进行特殊说明的在电消除模式中进行的各种电压加
载方法中的一个相同的电压加载方法。当然,不同于在电消除模式中 采用的电压加载方法的电压加载方法也可以在暂停模式中的电消除 操作中予以采用。
在暂停模式中,在利用所述"阈值"使得暂停周期终止而电消
除操作启动以后,可以利用计时器来终止电消除操作。图9至图11 示出了这种计时器的一个特定示例。图9示出了计时器的时间t是固
定值的示例,并且所述时间t可以是出厂时设置的也可以是由用户任 意设置的。
图IO示出的示例中,计时器时间t可以根据自放电检测电流的 绝对值的峰值而调整。图ll示出的示例中,计时器时间t可以根据 曲线的斜率而作调整,其中该斜率代表了自放电检测电流数值的减
在如图IO所示的根据"峰值"来对计时器时间t进行的调整中, 优选地,当"峰值"大时,S卩,当带电主体所带的电荷量大时,将计
时器时间t设置得较长;而当"峰值"小时,即,当带电主体所带的
电荷量小时,将计时器时间t设置得较短。
在如图11所示的根据"斜率"来对计时器时间t进行的调整中, 优选地,当"斜率"小时,即,当带电主体所带的电荷量缓慢减小时,
将计时器时间t设置得较长;而当"斜率"大时,即,当带电主体所 带的电荷量迅速减少时,将计时器时间t设置得较短。
在图8到图11中,作为暂停模式示出了这样的示例,其中电极 针4上没有加载任何电压(图7中的暂停模式(4))。然而,应该 理解的是,同样可以釆用适合于暂停模式(1)、暂停模式(3)、以 及随后将予以描述的其它暂停模式的控制模式。图12示出了这样的 示例,其中"阈值"在控制中被用于通过在图6A所示的暂停模式(1)
或图7A所示的暂停模式(3)(在这两个模式中,在暂停周期内一个 相对低的电压被加载至电极针4上)中检测带电体来启动电消除操作 以及终止电消除操作。然而,应该理解的是,类似于图9到图11所 示的示例,同样可以采用计时器来控制电消除操作的终止。
如上所述,当在暂停周期中由电消除装置的内部电路检测到带 电主体时执行电消除操作,其中在电消除操作中电极针4上加载了高 电压从而产生离子。此外,如图6A和图7A所示,通过在暂停模式中 包含离子产生周期(其间高电压被间歇性地并周期性地加载在电极针 4上),可以确保对轻微带电的带电主体进行的电消除。在此,在图 6A和图7A所示的暂停模式(1)和(3)中的控制模式中,离子产生 周期的长度和暂停周期的长度可以被任意地设置。此外,由离子产生 周期和随后的暂停周期组成的单个周期的时间长度以及单个周期中 离子产生周期和暂停周期的比例也可以被任意地设置。以单个周期的 时间长度为例,例如,如果为承载工件(所带的电将被消除的主体) 的传输装置(transfer conveyer)提供电消除装置,那么它可以设 置成符合工件传输节拍(transfer tact)的时间长度。
当暂停模式中布置了离子产生周期时或者在暂停模式中执行电 消除操作时,优选地在离子产生周期(其间电极针4上加载了高电压)
或电消除操作结束后与暂停周期之间增加一个过渡期。具体来说,当 刚从离子产生周期(或电消除操作)切换至暂停周期时,在紧邻暂停 周期到来之前也就是离子产生周期的最后时刻,加载在电极针4上的 高电压的极性在电消除区域内影响了暂停周期内早期的离子平衡,于 是使得离子平衡变得不平衡。此外,在离子产生周期(或电消除操作) 内在电路中积累的残留电荷在暂停周期加载至电极针4上,于是在暂
停周期内离子产生可能还在继续。为了解决这个问题,如图13所示, 优选地在从离子产生周期(或电消除操作)到暂停周期的切换之前插 入第一过渡周期进而在第一过渡周期内将一个绝对值逐渐减小的电 压加载在电极针4上。图13A示出了暂停模式中的控制模式的示例, 其中在暂停周期内电极针4上完全没有电压加载。图13B示出了暂停
模式中的控制模式的示例,其中在暂停周期内在电极针4上加载了一
个低电平电压。
类似的,优选地在从暂停周期到离子产生周期或电消除操作的 变换之间增加一个过渡周期。具体来说,当刚从暂停周期切换至离子 产生周期(或电消除操作)时,需要消除电荷的主体突然暴露在离子 中,使得需要消除电荷的主体被充电。结果就是,例如,如果需要消 除电荷的主体是一个半导体,则会对需要消除电荷的主体造成不期望 的损坏,于是对主体的迅速充电将导致存储器中内容被删除。为了解
决这个问题,如图14所示,需要在从暂停周期到离子产生周期(或 电消除操作)的切换之前插入第二过渡周期,并且将一个绝对值逐渐 增大的电压加载在电极针4上。图14A示出了暂停模式中的控制模式 的示例,其中在暂停周期内电极针4上完全没有电压加载。图14B 示出了暂停模式中的控制模式的示例,其中在暂停周期内电极针4 上加载了一个低电平电压。
图15示出了当在暂停模式中提供离子产生周期时的优选控制示 例,其中在紧邻从离子产生周期(或电消除操作)到暂停周期的切换 之前插入第一过渡周期,而在紧邻从暂停周期到离子产生周期(或电 消除操作)的切换之前插入第二过渡周期。图15A示出了暂停模式中 的控制模式的示例,其中在暂停周期内电极针4上完全没有电压加 载。图15B示出了暂停模式中的控制模式的示例,其中在暂停周期内 电极针4上加载了一个低电平电压。
为了有效地将通过在电极针4上加载高电压而产生的离子传送 到需要消除电荷的主体(带电主体),实践上一般把离子吹至电消除 装置。图16示出了一种电消除装置100。电消除装置100具有多个 包含上述电极针4的电极单元12,电极单元12以一定间距排列,并 且过滤压縮气体以及诸如氮的惰性气体通过外部管道13而被提供给 电消除装置100。进入电消除装置100的过滤压縮气体以及惰性气体 通过各个电极单元12放电。
外部管道13具有在其间插入的电磁开关阀门或者电气开口调节
阀门14,并且开关阀门或者开口调节阀门14被来自电消除装置100 的输出信号Sc所控制。对开关阀门或者开口调节阀门14的控制的示 例可以通过参考图17予以解释。在图17所示的示例中,在附图中可 以清楚的看出,在暂停周期停止在电极针4上加载电压。当自放电检 测电流i的绝对值变得大于第一阈值时,操作被切换至电消除操作并 且加载在电极针4上的高电压被启动。在自放电检测电流i的绝对值 变得大于第一阈值的同时,电消除装置100输出输出信号Sc以打开 电磁开关阀门14。于是,在切换至电消除操作的同时,启动了对电 消除装置100进行的压縮气体或惰性气体的供应。另一方面,当自放 电检测电流i的绝对值变得小于第二阈值的时候,电消除操作终止而 暂停周期重新开始,并且同时闭合电磁开关阀门14以终止对电消除 装置100进行的压縮气体或惰性气体的供应。
如上所述,通过根据自放电检测电流i的绝对值或者一个根据 触发信号的控制信号来输出一个用于离子产生周期或电消除操作与 暂停周期之间的切换进行控制的触发信号,例如,根据输出信号Sc 来控制提供到电消除装置100的气体流量,可以使得压縮气体或惰性 气体的消耗变得合理。如果在暂停周期内电极针4上加载了一个低电 平电压,那么在过渡至暂停周期的同时,优选地通过输出信号Sc而 使得开口调节阀门14的开口更小因而供应到电消除装置100的压縮 气体或惰性气体的总量减低。
此外,如图6所示在暂停模式包括离子产生周期和暂停周期的 情况下,为了从离子产生周期切换至暂停周期,以及从暂停周期切换 至离子产生周期,在电消除装置100内产生的信号或者根据该信号得 到的控制信号可作为输出信号Sc从电消除装置100提供到开关阔门 或者开口调节阀门14。在这个情况下,如图6B和图7B所示,当暂 停周期内电极针4上完全没有电压加载时,优选地闭合开关阀门14 从而终止对电消除装置100供应压縮气体或惰性气体。如图6A所示, 当暂停周期内电极针4上加载了一个低电平电压时,优选地从电消除 装置IOO处提供一个使得开关阀门14的开口变得更小的信号。来自 电消除装置100的输出信号Sc可被用于显示电消除装置100的当前
操作状态。具体地说,当由配置在电消除装置100上或其附近的一个 指示器(未示出)指示电消除装置100当前正在执行离子产生周期或 者暂停周期或者其处于电消除模式的操作中的时候,指示器的开灯和
熄灯可以由基于控制电消除装置100的内部信号而得到的输出信号 Sc所控制。
通过参考图18到图21的流程图对一些特殊的控制的示例进行 了描述。图18是关于在暂停模式中根据图8中的"阈值"对电消除 操作进行控制的流程图。根据图18所示的流程图,在步骤S1中,确
定暂停模式是否被设置,并且如果回答是肯定的(暂停模式被设置), 则操作进入步骤S2从而对自放电检测电流i进行测量。随后,确定 测量到的自放电检测电流i的绝对值是否超过第一阈值(步骤S3)。 如果回答是肯定的,操作进入步骤S4从而启动电消除操作。接下来, 在步骤S5中对自放电检测电流i进行检测,并且电消除操作一直持 续到自放电检测电流i的绝对值小于第二阈值。当自放电检测电流i 的绝对值变得小于第二阈值时,电消除操作在步骤S6终止。于是, 电消除装置重新进入暂停模式的暂停周期,并对带电主体的出现即自 放电的发生继续进行监控,而电消除操作在暂停状态中处于准备状 态。
图19中的流程图对应于图9所示的控制,其中通过使用计时器 来终止电消除操作。根据图19所示的流程图,在步骤S10中,确定 暂停模式是否被设置,并且如果回答是肯定的(暂停模式被设置), 则在步骤Sll测量自放电检测电流i;并确定测量到的自放电检测电 流i的绝对值是否超过第一阈值(步骤S12)。如果回答是肯定的, 则操作进入步骤S13从而启动电消除操作。接下来,在步骤S14中计 时器被启动,并且当计时器的时间t到达预定时间t0时,操作进入 步骤S15来终止电消除操作。于是,电消除装置返回至暂停模式的暂 停周期。于是,电消除装置重新进入暂停模式的暂停周期,并对带电 主体的出现即自放电的发生继续进行监控。
图20中的流程图对应于图10所示的控制,其中计时器时间是 可变的。根据图20所示的流程图,在步骤S20中,确定暂停模式是
否被设置,并且如果回答是肯定的(暂停模式被设置),则在步骤 S21测量自放电检测电流i;并确定测量到的自放电检测电流i的绝 对值是否超过第一阈值(步骤S22)。如果回答是肯定的,操作进入 步骤S23从而启动电消除操作。随后,在步骤24对自放电检测电流 i进行测量,根据自放电检测电流i测量出接地电流的峰值(步骤25), 并且从一个数据表格中获得对应于峰值的计时器时间t0(步骤26)。 接下来,计时器时间被设置成时间t0并且计时器被启动(步骤27), 并且当计时器的时间t到达被设置的预定时间t0 (步骤28)时,电 消除操作被终止(步骤29)。于是,电消除装置返回至暂停模式的 暂停周期。于是,电消除装置重新进入暂停模式的暂停周期,并对带 电主体的出现即自放电的发生继续进行监控。
图21中的流程图对应于图ll所示的控制。根据图21所示的流 程图,在步骤S30中,确定暂停模式是否被设置,并且如果回答是肯 定的(暂停模式被设置),则在步骤S31测量自放电检测电流i;并 确定测量到的自放电检测电流i的绝对值是否超过第一阈值(步骤 S32)。如果回答是肯定的,操作进入步骤S33从而启动电消除操作。 随后,在步骤34对自放电检测电流i进行测量,根据自放电检测电 流i测量出接地电流的峰值(步骤35)。在检测了峰值以后,操作 进入步骤S36以测量自放电检测电流i,并且从自放电检测电流i的 导数值中获得一个斜率(步骤37)。随后,从一个数据表格中获得 对应于所得斜率的计时器时间t0 (步骤38)。接下来,计时器时间 被设置成时间tO并且计时器被启动(步骤39),并且当计时器的时 间t到达被设置的预定时间t0 (步骤40)时,电消除操作被终止(步 骤41)。于是,电消除装置返回至暂停模式的暂停周期。于是,电 消除装置重新进入暂停模式的暂停周期,并对带电主体的出现即自放 电的发生继续进行监控。
在上述电消除装置100中,当电消除区域内的离子平衡在暂停 模式的操作期间发生偏移时,优选地,可以适当地执行诸如图22和 图23所示的控制以保持离子平衡。图22所示的离子平衡控制是改变 了加载在电极针4上的脉冲状高电压的脉冲宽度的控制(占空比控
制)。图22A示出了当电极针4附近的离子平衡偏向正侧时的控制的 示例。在这个情况下,进行控制使得加载正的高电压的脉冲宽度较小。
图22B示出了当电极针4附近的离子平衡偏向负侧时的控制的示例。 在这个情况下,进行控制使得加载正的高电压的脉冲宽度较大。
图22所示的控制的示例是通过改变高电压的脉冲宽度来适当地 保持离子平衡的示例,但是加载在电极针4上的正的或负的高电压的 值也可以被改变。此外,如图23所示,电压可以被控制来使得正的 或负的高电压的平均值对应于离子平衡偏移的程度。当然,该值可被 数字化地平均。在暂停模式中执行这样的离子平衡控制时,需要对加 载在电极针4上的正的或负的高电压进行合适的釆样。此外,优选地 利用一个合适的平均技术来恰当地执行离子平衡控制。
现就这点予以详细的解释。离子平衡控制是要控制加载在电极 针4上的正侧高电压和负侧高电压从而使得电极针4周围的正离子和
负离子的平衡可以恰当地中和带电主体所带的电。在这个离子平衡控 制中,在利用正电压和负电压之间的占空比来执行离子平衡控制的情 况下,例如当带了正电的主体进入了电消除区域的时候,该电荷状态 被检测并且一个被调节成增加了负侧的占空比的高电压被加载到电 极针4上。为了恰当地执行控制,至少当前被用于执行控制的占空比 和作为当前控制结果的电消除区域内离子平衡的状态优选地转用 (reflect)在下一次控制中加载在电极针4上的高电压的占空比的
确定中。
如上所述,暂停模式包括暂停周期,在暂停周期内电极针4周 围并不产生离子。在从暂停周期转换至离子产生周期时,或者从暂停 周期转换至电消除操作时,当前被用来执行控制的占空比基本不是现 有的。于是,紧接在转换至离子产生周期或电消除操作之后而把暂停 周期内占空比转用到离子平衡控制上可能很容易成为导致紧接在转 换至离子产生周期或电消除操作之后离子平衡不恰当的一个原因。
此外,当采用了这样的方法,其中在暂停模式中的暂停周期内 电极针4上没有加载用于电离的高电压,这时为了优化包括暂停周期 在内的用于离子平衡控制的数据,比较合适的就是将在此之前存储起
来的一个或多个块的旧数据平均。然而,对包括暂停周期内的数据在 内的数据进行平均很容易成为导致在转换至离子产生周期或电消除 操作时离子平衡不恰当的一个原因。具体地说,一般对于电消除装置, 加载在电极针4上的正极性高电压和负极性高电压之间的占空比是 根据紧挨着此次之前使用过的一个或多个占空比确定的。然而,当使 用在包括暂停周期的暂停模式中时,想要设置一个合适的占空比并不
太可能。为了避免这种问题,如图24中的流程图所示,优选地停止
暂停周期中的采样,并且采用前面的离子产生周期或前面的电消除操
作中的最后一个数据对电极针4上电压的加载进行控制。此外,为了
优化高电压加载中的离子平衡控制,优选地将前面的数据平均。
图24是根据图6A和6B所示的包括暂停周期和离子产生周期的 暂停模式(1)和暂停模式(2)的执行流程。首先,在步骤S50中高 电压电源被打开,随后,在步骤S51确定是否是离子产生周期。如果 回答是肯定的,即,通过在电极针4上加载高电压产生了离子,则操 作进入步骤S52。对加载在电极针4上的例如正侧和负侧的高电压的 占空比进行采样,并如图25所示存储在存储器中。随后,在步骤S53, 根据预定数目的采样数据块计算出一个平均值,而且将平均值存储在 存储器中并且根据平均值来执行离子平衡控制。
当从离子产生周期切换至暂停周期时,操作从步骤S51进入步 骤S54以关闭高电压电源。随后,在步骤S55,根据存储器中所存储 的数值确定下一次执行中使用的加载在电极针4上的电压的数值或 者其占空比,并且将所确定的数据存储在存储器中。当暂停周期结束 以后,依照在暂停周期中所确定的数值或占空比的高电压从高电压电 源加载至电极针4上。具体地说,例如在暂停周期中,对占空比的采 样并没有被执行。图25示出了数字处理的示例,并且在暂停周期内 禁止数据传输至存储器。
为了在紧接着从暂停周期转换至离子产生周期之后对离子平衡 控制进行优化,对暂停周期内电消除区域的离子平衡进行检测并将其 存储在存储器中,并且这些将在暂停周期内不断更新,并且在暂停周 期末期添加电消除区域内的离子平衡的数据,并且对上述在暂停周期
所确定的高电压的数据或者占空比进行校正,因此可对随后的高电压 加载进行控制。
于是,可以确定紧接着从暂停周期转换至离子产生周期之后适 合于离子平衡控制的占空比或高电压电平。在不包括离子产生周期的
暂停模式中(图7A和图7B),优选地,在电消除操作中对作为离子
平衡控制的结果的最近的占空比或最近的高电压值进行连续采样以 进行存储,并且就在开始电消除操作之前,对在最近的电消除操作中
存储的数据进行平均以确定将要加载在电极针4上的电压的值或其
占空比。于是,可以避免在加载零电压的暂停周期内进行平均化。此 外,可以检测暂停周期内电消除区域的离子平衡并将其存储在存储器 中,并且这些将在暂停周期内不断更新,根据紧挨着转换至电消除操 作之前得到的数据,被确定的数据可被校正成即将执行的加载在上述
电极针4上的高电压的值或其占空比。
离子产生周期内的离子平衡控制可以是这样的,例如在转换至 离子产生周期之后的早期阶段,首先,根据在暂停周期中确定的高电 压的值或其占空比来将一个正的或负的电压作为估计控制加载在电 极针4上,并且在随后的离子平衡控制中,可以执行与电消除模式中 相同的离子平衡控制,即,通过流经内部电路的电流来确定加载在电 极针4上的正或负高电压的值或其占空比以进行反馈控制并进而基 于反馈控制所执行的离子平衡控制。具体地说,在离子产生周期的早 期阶段,根据在暂停周期中确定的数据而执行作为估计控制的离子平 衡控制,并且在随后的离子平衡控制中离子平衡控制切换至反馈控 制。此外,作为一个修改的示例,优选地,在离子产生周期的早期阶 段,根据在暂停周期中确定的数据而执行作为估计控制的离子平衡控 制,并且随后,根据流经内部电路的电流而执行离子平衡控制并且同 时根据在暂停周期中确定的数据对数据进行校正。
在不包括离子产生周期的暂停模式中(图7A和图7B),优选地, 把与暂停周期的电消除操作中的电离平衡相关的流经内部电路的电 流的值和电流方向的离子平衡数据存储在存储器中,例如,利用在上 一个电消除操作中在电极针4上加载高电压所获得的离子平衡数据
来执行早期阶段的离子平衡控制,执行下一个电消除操作,并且离子 平衡控制可被切换至如上的反馈控制,依此进行。同样优选地,利用 在电消除操作中存储的数据,在下一个电消除操作早期阶段执行作为 估计控制的离子平衡控制,并且随后根据流经内部电路的电流进行校 正从而执行离子平衡控制(例如占空比控制)。
如上所述,利用在公共电极针4上加载极性相反的电压来交替 地产生正负离子的示例对实施例进行了说明。然而,应该理解的是, 本发明还可以应用到如下电消除装置中,其中一对电极针分别被加载 了正高电压和负高电压从而如在日本未审査专利公开
No. 2000-58290的图16和图17所示的实施例中所描述地产生正离子 和负离子。具体地说,自放电检测电路可分别被布置在正负电极针和 地之间,并且当任何一个电极针上检测到自放电时,与在电消除模式 中同样的高电压可被加载在电极针上以执行电消除操作。此外,应该 理解的是,在暂停模式的暂停周期中,可以在电极针上加载一个不产 生离子的电压,即,能提高对带电主体进行检测的灵敏度的电压(例 如2 kV)。
权利要求
1.一种电消除装置,所述电消除装置通过产生离子来中和带电主体,所述电消除装置包括电极,用来产生离子;电压电路,其连接至所述电极,用来产生正电压和负电压电源来为所述电极提供电能;自放电检测电路,用于检测所述电极的自放电;以及控制单元,用于控制由所述电压电路所产生的正电压和负电压,使其处于所述电极不主动产生离子的第一状态和所述电极主动产生离子的第二状态中的一个;用于当所述自放电检测电路检测到自放电时,将对应于第一状态的电极电压转换成对应于第二状态的电极电压;以及用于在满足终止的条件时,将对应于第二状态的电极电压转换成对应于第一状态的电极电压。
2. 如权利要求l所述的电消除装置,其中所述自放电检测电路包括用于对流经布置在所述电极和所述电 压电路之伺的电阻的电流的值进行检测的电路。
3. 如权利要求l所述的电消除装置,其中所述自放电检测电路包括用于对流经布置在所述电极和地之间 的电阻的电流的值进行检测的电路。
4. 如权利要求2所述的电消除装置,其中所述自放电检测电路包括用于检测流经电阻的电流绝对值的部 分,当所述绝对值超过第一阈值时则认为检测到自放电。
5. 如权利要求2所述的电消除装置,其中所述控制单元确定流经电阻的电流的绝对值,当所述绝对值低 于第二阈值时则认为满足终止条件。
6. 如权利要求l所述的电消除装置,其中控制单元把在从对应于第一状态的电极电压切换至对应于第二 状态的电极电压之后经过预定时间段确定为满足终止条件。
7. 如权利要求2所述的电消除装置,还包括峰值检测单元,其对流经所述电阻的电流的峰值进行检测,其中所述控制单元把在从对应于第一状态的电极电压切换至对应于第二状态的电极电压之后经过预定时间段确定为满足终止条件;并且根据由所述峰值检测单元检测到的峰值的绝对值大小来调节预 定的时间段,于是,当所述绝对值较大时相比较于所述绝对值较小时 的情况而言延长预定的时间段,并且当所述绝对值较小时相比较于所 述绝对值较大时的情况而言縮短预定的时间段。
8. 如权利要求2所述的电消除装置,还包括 峰值检测单元,其对流经所述电阻的电流的峰值进行检测,以及电流减小速度检测单元,其用于当流经所述电阻的电流峰值的 绝对值逐渐变小时,对绝对值减小的速度进行检测,其中所述控制单元把在从对应于第一状态的电极电压切换至对应于 第二状态的电极电压之后经过预定时间段确定为满足终止条件;并且根据由所述电流减小速度检测单元在峰值的绝对值减小时检测 到的减小速度来调节预定的时间段,于是,当所述减小速度较小时相 比较于所述减小速度较大时的情况而言所述预定的时间段被延长,并 且当所述减小速度较大时相比较于所述减小速度较小时的情况而言 所述预定的时间段被縮短。
9. 如权利要求l所述的电消除装置,其中对应于第一状态的电压是处于电压电路未对电极提供任何电压的状态下的电极电压。
10. 如权利要求1所述的电消除装置,其中对应于第一状态的电压是处于在电极周围未产生离子的状态下的电极电压。
11. 如权利要求1所述的电消除装置,其中当满足终止条件时,控制单元逐渐将对应于第二状态的电压降低至对应于第一状态的电压。
12. 如权利要求1所述的电消除装置,其中当自放电检测电路检测到自放电时,控制单元将对应于第一状态的电压逐渐增加至对应于第二状态的电压。
13. 如权利要求1所述的电消除装置,还包括模式选择器,用于从包括第一模式和第二模式的组中进行手动选择,其中在所述第一模式中,即使在满足终止条件时控制单元仍将维持对应于第二状态的电压,而在第二模式中,当满足终止条件时,控制单元将对应于第二状态的电极电压切换至对应于第一状态的电极电压。
14. 如权利要求l所述的电消除装置,还包括第一输出单元,其用于在自放电检测电路检测到自放电时产生第一信号并且将第一信号输出至外部器件。
15. 如权利要求1所述的电消除装置,还包括第二输出单元,其用于在满足终止条件时产生第二信号并且将第二信号输出至外部器件。
16. 如权利要求l所述的电消除装置,还包括离子平衡控制器,其用于调节与第二状态相对应的电极电压以控制离子平衡;存储器,其用于存储被离子平衡控制器调节后的对应于第二状态的电极电压;以及确定单元,其用于根据存储在存储器中的对应于第二状态的电极电压来确定将要为电极提供的正电压和负电压;其中,当自放电检测电路检测到自放电时,电压电路受控来将 确定单元所确定的正电压和负电压提供给电极。
全文摘要
本发明提供一种电消除装置,用于抑制电极针的磨损和腐蚀并且有效地消除带电主体所带的电。提供了在电极针上加载高电压以产生离子的电消除模式和电极针被暂停运行的暂停模式,并且电消除模式和暂停模式可以根据用户的选择而交替地被选择。暂停模式包括暂停周期,在暂停周期内在电极针上基本上没有加载高电压。当在暂停模式中由于靠近带电主体而发生自放电并且流经电阻的电流的绝对值大于第一阈值时,电消除操作被启动,其中在电消除操作中高电压被加载在电极针上以产生离子。随后,例如,在经过一个预定的时间段以后,电消除操作被终止而暂停周期重新开始。
文档编号H05F3/00GK101207964SQ20071030221
公开日2008年6月25日 申请日期2007年12月20日 优先权日2006年12月20日
发明者藤田司 申请人:株式会社其恩斯

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